KR20090069053A - 도파관형 마이크로파 필터 및 이를 이용한 마이크로파처리장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 도파관형 마이크로파 필터 및 이를 이용한 마이크로파 처리장치에 관한 것으로, 마이크로파 필터에 있어서, 마이크로파가 통과하는 도파관을 형성하고, 상기 도파관 내부의 적어도 일면에 저감하고자 하는 적어도 하나의 파형의 쵸크 구조가 형성된 것을 특징으로 한다.

이와 같은 발명을 제공하게 되면, 다양한 주파수의 마이크로파를 발생하여 피처리물을 처리하는 경우에, 마이크로파 발생기에서 발생한 마이크로파 반사 손실 없이 마이크로파 처리실로 전송하고 마이크로파 발생기 쪽으로 입사되는 다른 주파수의 마이크로파는 마이크로파 처리실로 반사시킴으로써 마이크로파 발생기가 받는 영향과 마이크로파 에너지 손실을 줄일 수 있게 된다.

마이크로파, 필터, 도파관, 쵸크 구조, 마이크로파 발생기

Description

도파관형 마이크로파 필터 및 이를 이용한 마이크로파 처리장치{MICROWAVE WAVEGUIDE FILTER AND MICROWAVE PROCESSING APPARATUS HAVING THIS FILTER}

본 발명은 마이크로파 필터 및 이를 이용한 마이크로파 처리장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 도파관 내부에 적어도 하나의 특정 주파수의 마이크로파를 저감 또는 차단할 수 있는 쵸크 구조를 형성한 도파관형 마이크로파 필터 및 이를 이용한 마이크로파 처리장치에 관한 것이다.

이하에서 종래의 마이크로파 처리장치의 구조 및 이의 작용을 설명하고 이에 대함 문제점을 자세히 설명하기로 한다.

도 1은 종래의 두 주파수의 마이크로파 가열을 이용한 마이크로파 템퍼링 시스템의 구조를 예시한 도면이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 제1,제2 마이크로파 발생장치(101)(102)와, 도파관(103) (104) 및 챔버(105)를 기본적으로 구비하며, 여기에 컨베이어 시스템(106), 차폐 커튼(107)(108), 흡수체(109)(110) 등이 더 설치될 수 있다.

제1 마이크로파 발생장치(101)는 915MHz±25MHz의 주파수를 발생한다. 이 915MHz±25MHz 주파수는 템퍼링 시작부터 마무리까지 전체 공정에 이용된다. 제2 마이크로파 발생장치(102)는 2450MHz±50MHz의 주파수를 발생한다. 여기서, 이 2450MHz±50MHz 주파수의 마이크로파는 영하 수십 ℃에서 영하 수 ℃까지 피가열물의 온도를 올리는데 보조적으로 이용된다. 이 2450MHz±50MHz 주파수의 사용 온도 기준은 피가열물의 종류, 크기, 형상 등에 따라 다를 수 있다. 또한, 이 제2 마이크로파발생장치(102)는 후술되는 도파관(104)을 거치지 않고 챔버(105)에 직접 연결할 수도 있다.

도파관(103)(104)은 상기 제1,제2 마이크로파 발생장치(101)(102)의 출력단에 각각 연결되며, 제1,제2 마이크로파 발생장치(101)(102)로부터 발생된 마이크로파를 전송한다. 챔버(105)는 상기 도파관(103)(104)의 출력단에 연결되며, 도파관(103)(104)을 통해 전송되어온 마이크로파가 피가열물(120)에 조사될 수 있도록 하는 차폐 공간을 제공한다. 이 챔버(105)의 벽은 금속 전도체로 구성되며, 따라서 마이크로파는 여러 방향으로 반사되면서 피가열물(120)에 조사된다.

컨베이어 시스템(106)은 상기 챔버(105) 하부에 설치되며, 피가열물(120)을 연속적으로 이동시키면서 마이크로파조사를 가능하게 한다. 차폐 커튼(107)(108)은 상기 컨베이어 시스템(106)에 의해 피가열물(120)이 챔버(105)로 인입되는 입구와 챔버(105)로부터 인출되는 출구에 설치되며, 마이크로파가 챔버(105) 밖으로 누출되는 양을 저감시키는 역할을 한다.

이와 같은 차폐 커튼(107)(108)은 얇은 금속 전도체로 제작되며, 피가열물(120)의 이동을 방해하지 않도록 전후로 자유롭게 회전가능하게 설치된다. 흡수체(109)(110)는 상기 챔버(105)의 입구 전방 및 출구 후방의 컨베이어 주행로 주변 부에 설치되며, 챔버(105) 밖으로 누출된 마이크로파를 흡수하여 제거하는 역할을 한다. 이와 같은 흡수체(109)(110)로는 페라이트나 탄소 분말, 산화철 등에 시멘트나 플라스틱 등을 혼합하여 경화시킨 것이나, 물, 식염수 등이 사용될 수 있다. 또한, 이 흡수체(109)(110) 대신 셔터나 초크를 사용할 수도 있다.

한편, 도 2는 종래의 두 주파수의 마이크로파 가열을 이용한 마이크로파 템퍼링 시스템의 다른 실시예를 나타내는 것으로서, 위의 도 1의 실시 예와 그 구성면에서 크게 다른 점은 없다. 다만, 도 1의 실시 예의 경우는 챔버(105)가 한 개인 것에 반해, 도 2의 다른 실시 예의 경우는 챔버(105)의 중간에 격벽(115)을 두어 챔버(105)를 두 개로 구성하여 분할된 챔버(105)의 일측 방에는 제1 마이크로파 발생장치(101)로부터 발생된 마이크로파가, 그리고 챔버(105)의 타측 방에는 제2 마이크로파 발생장치(102)로부터 발생된 마이크로파가 조사되도록 구성한 점이 다를 뿐이다. 도 2에서 참조 번호 116은 차폐 커튼을 나타낸다.

이처럼, 종래의 도파관이나 아이솔레이터는 f1 주파수의 마이크로파 발생기 쪽으로 f2 주파수의 마이크로파가 입사되거나 f2 주파수의 마이크로파 발생기 쪽으로 f1 주파수의 마이크로파가 입사되어 마이크로파 발생기에 미치는 영향과 마이크로파 에너지 손실이 발생하는 문제점이 있다. 여기서 다중 주파수란 두 개 이상의 서로 다른 주파수를 의미한다.

또한, 서로 다른 주파수의 마이크로파를 발생하는 마이크로파 발생기를 사용하는 다중 주파수 마이크로파 응용 시스템에 있어서, 종래에는 마이크로파 발생기 사이에 격벽을 두거나 차폐구조를 두어 다른 주파수의 마이크로파를 차단하는 방식 을 사용하였으나, 설치가 용이하지 않고, 피처리물의 자유로운 이동 및 공간확보가 어렵다는 문제점이 있었다.

상술한 문제를 해결하기 위한 본 발명의 과제는 서로 다른 주파수의 마이크로파를 발생하는 마이크로파 발생기를 사용하는 다중 주파수 마이크로파 응용 시스템에 있어서, f1 주파수의 마이크로파 발생기 쪽으로 f2 주파수의 마이크로파가 입사되거나 f2 주파수의 마이크로파 발생기 쪽으로 f1 주파수의 마이크로파가 입사되어 마이크로파 발생기에 미치는 영향과 마이크로파 에너지 손실을 저감하여 고효율의 마이크로파 처리장치를 제공하고자 하는 것을 목적으로 한다.

상술한 문제를 해결하기 위한 본 발명의 수단은 마이크로파 필터에 있어서, 마이크로파가 통과하는 도파관을 형성하고, 상기 도파관 내부의 적어도 일면에 저감하고자 하는 적어도 하나의 파형의 쵸크 구조가 형성된 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 쵸크 구조는 'ㄴ'형 홈 구조이고, 상기 저감하고자 하는 파의 λ/4 쵸크 구조인 것이 바람직하고, 상기 'ㄴ'형 구조는

λ/2 - λ/8 ≤ L₁ + L₂ + H ≤ λ/2 + λ/8

(여기서 λ 는 저감하고자 하는 파의 파장, L₁ 은 홈의 밑면의 길이, L₂ 는 홈의 윗면의 길이, H는 깊이의 관계식을 만족하는 것이 바람직하며, 상기 쵸크 구조는 저감하고자 하는 서로 다른 주파수를 갖는 복수개의 마이크로파의 쵸크 구조가 직렬 로 형성된 것이 바람직하다.

그리고 본 발명에 따른 또 다른 실시 예로서 마이크로파 처리장치에 있어서, 마이크로파를 발생하는 발생기; 상기 발진기에서 발생하는 마이크로파를 전송하는 도파관; 및 상기 마이크로파에 의하여 피처리물을 처리하는 처리실을 포함하고, 상기 도파관은 마이크로파가 통과하는 관통형 관이고, 상기 관 내부의 적어도 일면에 저감하고자 하는 적어도 하나의 파형의 쵸크 구조가 형성된 것을 특징으로 한다.

더하여, 바람직하게는 상기 쵸크 구조는 'ㄴ'형 홈 구조이고, 상기 저감하고자 하는 파의 λ/4 쵸크 구조인 것일 수 있고, 상기 'ㄴ'형 구조는

λ/2 - λ/8 ≤ L₁ + L₂ + H ≤ λ/2 + λ/8

(여기서 λ 는 저감하고자 하는 파의 파장, L₁ 은 홈의 밑면의 길이, L₂ 는 홈의 윗면의 길이, H는 깊이의 관계식을 만족하는 것일 수 있으며, 상기 쵸크 구조는 저감하고자 하는 서로 다른 주파수를 갖는 복수개의 마이크로파의 쵸크 구조가 직렬로 형성된 것일 수 있다.

또한, 본 발명은 마이크로파 처리장치에 있어서, 복수개의 서로 다른 주파수를 갖는 마이크로파를 발생하는 발진기; 상기 발진기에서 발생하는 마이크로파를 전송하는 복수개의 도파관; 및 상기 마이크로파에 의하여 피처리물을 처리하는 처리실을 포함하고, 상기 복수개의 도파관은 마이크로파가 통과하는 관통형 관이고, 상기 관 내부의 적어도 일면에 저감하고자 하는 적어도 하나의 파형의 쵸크 구조가 형성된 것을 특징으로 한다.

더 나아가, 상기 쵸크 구조는 'ㄴ'형 홈 구조이고, 상기 저감하고자 하는 파의 λ/4 쵸크 구조인 것이 바람직하고, 상기 'ㄴ'형 구조는

λ/2 - λ/8 ≤ L₁ + L₂ + H ≤ λ/2 + λ/8

(여기서 λ 는 저감하고자 하는 파의 파장, L₁ 은 홈의 밑면의 길이, L₂ 는 홈의 윗면의 길이, H는 깊이의 관계식을 만족하는 것이 바람직하고, 상기 쵸크 구조는 저감하고자 하는 서로 다른 주파수를 갖는 복수개의 마이크로파의 쵸크 구조가 직렬로 형성된 것이 바람직하다.

이와 같은 본 발명에 따른 도파관형 마이크로파 필터 및 이를 이용한 마이크로파 처리장치를 제공하게 되면, 다양한 주파수의 마이크로파를 발생하여 피처리물을 처리하는 경우에, 마이크로파 발생기에서 발생한 마이크로파 반사 손실 없이 마이크로파 처리실로 전송하고 마이크로파 발생기 쪽으로 입사되는 다른 주파수의 마이크로파는 마이크로파 처리실로 반사시킴으로써 마이크로파 발생기가 받는 영향과 마이크로파 에너지 손실을 줄일 수 있게 된다.

또한, 피 처리실 내부에 별도로 차폐구조를 설치할 필요가 없어 마이크로파 처리장치의 내부구성이 간단해지고 그 제작이 용이해질 뿐만 아니라, 피처리물을 처리할 수 있는 공간 확보가 용이해지는 장점이 있다.

도 3은 본 발명에 따른 도파관형 마이크로파 필터의 구조를 예시한 사시도이다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 마이크로파를 가이드 하는 도파관(200)으로서, 육면체 관통형 구조이고, 도파관(200) 내부 적어도 1면에 저감하고자 하는 마이크로파의 쵸크 구조(215)가 형성되는 구조이다. 즉, 도 3에 나타난 발명은 저감하고자 하는 마이크로파의 주파수가 f₁ 일 때, f₁ 의 마이크로파를 저지 또는 차단할 수 있는 쵸크 구조(215)가 도파관 내부 적어도 일면(230,210)에 적어도 하나 구비하는 도파관형 마이크로파 필터 구조를 예시한 것이다.

종래에는 마이크로파 발생기로부터 발생한 마이크로파가 도파관을 통하여 피처리물로 방출하는 구성을 통하여 마이크로파 처리를 함으로써, 하나의 마이크로파 발생기에서 특정 주파수를 갖는 마이크로파가 발생하도록 하여 피처리실 외부로의 마이크로파 누출을 차단하는 것이 가장 큰 문제였다.

그러나 복수개의 마이크로파 발생기를 갖고 다양한 주파수의 마이크로파를 이용하는 마이크로파 처리장치의 경우에는 서로 다른 주파수의 마이크로파가 마이크로파 발생기와 연결되어 마이크로파를 전송 또는 가이드 하는 도파관에 침투하여 발생기 효율을 떨어뜨리거나 마이크로파 에너지 손실을 가져오는 문제점이 있다.

이와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명에서는 마이크로파를 전송 또는 가이드하는 도파관(200) 내부에 저감하고자 하는 주파수를 갖는 마이크로파 적어도 하나의 쵸크 구조(215)를 형성하여 발생기로부터 발생되는 특정 주파수를 갖는 마 이크로파 이외의 저감하고자 하는 주파수를 갖는 마이크로파의 쵸크 구조(215)를 도파관 내부 적어도 일면에 형성하여 다른 마이크로파의 마이크로파 발생기 내부로의 진입을 방지하여 시스템 및 에너지 효율을 높이고자 한다.

도 4는 본 발명에 따른 도파관형 마이크로파 필터의 쵸크 구조를 예시한 도면이다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 도파관 내부 일면(230)에 'ㄴ'형 홈 구조 형태의 쵸크 구조(215)를 적어도 하나 형성하게 되면, 저감하고자 하는 주파수를 갖는 마이크로파는 쵸크 구조(215)에 의해 차단되게 되어 마이크로파 발생기의 시스템 효율 및 에너지효율을 높일 수 있게 된다.

즉, 도파관 내부 적어도 일면에 저감하고자 하는 주파수의 λ/4 쵸크 구조(215)를 적어도 하나를 형성하는 구성으로서, 여기서, 'ㄴ'형의 쵸크 구조는 도 4에 예시된 바와 같이, H의 깊이와 홈 내부 하단의 길이 L1 및 상단의 길이 L2를 갖고 쵸크 구조를 형성한다. 이러한 값에 따라 저감하고자 하는 주파수 대역을 결정하게 된다. 여기서 λ는 도파관의 저감하고자 하는 마이크로파 관내파장(guided wavelength)을 의미한다.

그리고, 도 3에서 예시된 저감하고자 하는 주파수의 λ/4 쵸크 구조(215)가 제대로 동작하기 위해서는 이하의 [식 1] 과 같은 조건을 만족해야 한다.

[식 1]

λ/2 - λ/8 ≤ L₁ + L₂ + H ≤ λ/2 + λ/8

이와 같이, 쵸크 구조(215)의 홈 내부의 상. 하단면의 길이 L1, L2 와 홈의 깊이 H의 합이 저감하고자 하는 파장이 [식 1]의 범위 내에 있을 때, 마이크로파의 차단 또는 저감 효과를 가장 크게 얻을 수 있다. 저감하고자 하는 마이크로파는 쵸크 구조(215)로서 케비티의 폭 또는 깊이가 그 파장의 일정 부분의 길이에 해당하는 경우 마이크로파가 케비티에 갇히게 되어 마이크로파 차단 또는 저감 효과를 가져오게 되는 원리이다.

즉, 마이크로파 발생기로부터 특정 주파수를 f1을 갖는 마이크로파를 전송하기 위한 도파관의 경우, f1과 다른 f2의 주파수를 갖는 마이크로파를 필터링 하기 위한 것으로, f2의 쵸크 구조를 도파관 내부 적어도 일면에 적어도 하나를 형성하는 것이다. 그리고, 쵸크 구조는 'ㄴ'형의 홈 구조로서, 그 깊이와 폭의 합이 [식 1]의 범위를 만족하도록 형성하여 f2 등의 주파수를 갖는 마이크로파의 차단 및 저감효과를 가장 크게 얻을 수 있다.

도 5는 본 발명에 따른 또 다른 실시 예로서, 복수개의 마이크로파 쵸크 구조를 예시한 도면이다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 쵸크 구조(215)는 도파관 내부 일면에 하나를 형성하는 것이 아니고 연속적으로 복수개를 형성하여 저감 및 차단 효과를 증대하는 효과를 얻을 수 있도록 하는 구조이다.

특정 주파수 즉, 예를 들어 f0를 갖는 마이크로파를 저감하기 위해 도파관 내부 일면에 'ㄴ'형의 홈 구조를 갖는 쵸크 구조(215)를 연속적으로 복수개를 형성하고, 그 깊이와 길이방향의 폭의 합을 [식 1]의 범위를 만족하도록 형성하여 f0의 마이크로파를 더욱 효과적으로 저감 또는 차단할 수 있게 되어 마이크로파 발생기에 미치는 영향과 전송하려는 마이크로파 에너지 손실을 저감하게 된다.

도 6은 본 발명에 따른 또 다른 실시 예로서, 다중 주파수 도파관형 마이크로파 필터의 쵸크 구조를 예시한 도면이다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 도파관 내부에 복수개의 주파수에 해당하는 'ㄴ' 형 홈 구조를 갖는 쵸크 구조를(215,235) 직렬로 형성함으로써, 도파관 내부로 전송하려는 특정 주파수의 마이크로파를 제외하고 다른 주파수를 차단 또는 저감하는 구조를 예시하고 있다.

즉, 도파관 내부 적어도 일면에 복수개의 주파수의 마이크로파 쵸크 구조(215,235)를 직렬로 형성하는 것으로, 쵸크 구조(215,235)의 깊이 및 길이 방향의 폭이 주파수마다 다르게 될 수 있는 구조로서, [식 1]의 범위를 만족하는 각 쵸크 구조(215,235)가 직렬로 형성하는 구조이다.

이와 같은 발명을 제공하게 되면, 도파관 안으로 다양한 주파수를 갖는 마이크로파가 진입하더라도 각 쵸크 구조(215,235)에서 차단할 수 있게 되어, 다양한 주파수의 마이크로파를 발생하여 처리하는 마이크로파 응용 처리장치에 용이하게 선택적으로 사용할 수 있는 장점이 있게 된다. 역시 각 쵸크 구조(215,235)는 [식 1]의 범위를 만족하는 홈 구조의 깊이 및 길이 방향을 폭을 갖게 된다.

도 7은 본 발명에 따른 도파관형 마이크로파 필터를 갖는 마이크로파 처리 장치의 구성도를 예시한 도면이다. 도 7을 참조하면, 마이크로파 처리 장치는 마이크로파를 발생하는 복수개의 마이크로파 발생기(300,400), 마이크로파 발생기로부터 발생된 마이크로파를 전송 또는 가이드하는 복수개의 도파관(310,410) 및 피처리물을 수납하여 처리할 수 있는 처리실(500)을 포함하고, 여기서 도파관 내부 적어도 일면에는 적어도 하나의 주파수를 갖는 주파수의 마이크로파 쵸크 구 조(315,415)가 복수개 형성되는 구조이다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 복수개의 마이크로파 발생기(300,400)는 각각 서로 다른 주파수를 갖도록 각각 개별적, 독립적으로 구비되고, 도파관(310,410)은 해당 마이크로파 발생기로부터 발생하는 주파수의 마이크로파를 제외한 다른 주파수의 마이크로파를 차단 또는 저감 할 수 있는 쵸크 구조(315,415)가 복수개 형성된 구조로 되어 있다. 즉 각 도파관 내부에는 도 6에서 예시한 다중 주파수 마이크로파 필터를 구비하는 것으로서, 쵸크 구조(315,415)는 [식 1]의 범위를 만족하는 범위에서 쵸크 구조의 홈 깊이(H) 및 길이방향의 폭(L1, L2)이 결정되어 설계된다.

이처럼, 다중 주파수 마이크로파 쵸크 구조를 구비한 마이크로파 처리장치는 다양한 주파수의 마이크로파를 발생하여 피처리물을 처리하는 경우에, 마이크로파 발생기에서 발생한 마이크로파 반사 손실 없이 마이크로파 처리실로 전송하고 마이크로파 발생기 쪽으로 입사되는 다른 주파수의 마이크로파는 마이크로파 처리실로 반사시킴으로써 마이크로파 발생기가 받는 영향과 마이크로파 에너지 손실을 줄일 수 있게 된다.

또한, 피처리실 내부에 별도로 차폐구조를 설치할 필요가 없어 마이크로파 처리장치의 내부구성이 간단해지고 그 제작이 용이해질 뿐만 아니라, 피처리물을 처리할 수 있는 공간 확보가 용이해지는 장점이 있다.

도 8은 본 발명에 따른 도파관형 마이크로파 필터에 저감하고자 하는 마이크로파를 인입시키는 경우 투과 정도를 나타낸 그래프이다. 도 8에 나타낸 바와 같이, WR975 도파관에 2.45GHz 의 λ/4 쵸크 구조가 형성된 도파관에 TE20 모드에서 마이크로파 투과 정도를 나타내는 S21을 계산한 결과로서, 2.45GHz에서 S21이 약 -30dB이므로 2.45GHz 전력의 백만 분의 1 정도만 투과할 수 있음을 보여준다. 즉, 본 발명에서 제안한 쵸크 구조는 저감하고자 하는 마이크로파를 훌륭히 저감 또는 차단할 수 있는 훌륭한 필터역할을 하고 있음을 알 수 있다.

도 9는 본 발명에 따른 도파관형 마이크로파 필터에 저감하고자 하는 마이크로파 외의 주파수 대역에서 투과 정도를 나타낸 그래프이다. 도 9에 나타낸 바와 같이, WR975 도파관에 2.45GHz 의 λ/4 쵸크 구조가 형성된 도파관에 TE10 모드에서 마이크로파 투과 정도를 나타내는 S21을 계산한 결과로서, 915MHz에서 S21이 약 0dB이므로 915MHz 전력의 대부분이 투과하고 있음을 나타낸다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 관하여 중점적으로 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예 및 도면에 한정되지 아니하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이므로, 본 발명의 범위는 첨부된 청구범위 및 그와 균등한 범위에 의해 결정되어야 할 것이다.

도 1은 종래의 두 주파수의 마이크로파 가열을 이용한 마이크로파 템퍼링 시스템의 구조를 예시한 도면,

도 2는 종래의 두 주파수의 마이크로파 가열을 이용한 마이크로파 템퍼링 시스템의 다른 실시예를 나타내는 도면,

도 3은 본 발명에 따른 도파관형 마이크로파 필터의 구조를 예시한 도면,

도 4는 본 발명에 따른 도파관형 마이크로파 필터의 쵸크 구조를 예시한 도면,

도 5는 본 발명에 따른 또 다른 실시 예로서, 복수개의 마이크로파 쵸크 구조를 예시한 도면,

도 6은 본 발명에 따른 또 다른 실시 예로서, 다중 주파수 도파관형 마이크로파 필터의 쵸크 구조를 예시한 도면,

도 7은 본 발명에 따른 도파관형 마이크로파 필터를 갖는 마이크로파 처리 장치의 구성도를 예시한 도면,

도 8은 본 발명에 따른 도파관형 마이크로파 필터에 저감하고자 하는 마이크로파를 인입시키는 경우 투과 정도를 나타낸 그래프,

도 9는 본 발명에 따른 도파관형 마이크로파 필터에 저감하고자 하는 마이크로파 외의 주파수 대역에서 투과 정도를 나타낸 그래프이다.

Claims (12)

1. 마이크로파 필터에 있어서,

   마이크로파가 통과하는 도파관을 형성하고,

   상기 도파관 내부의 적어도 일면에 저감하고자 하는 적어도 하나의 파형의 쵸크 구조가 형성된 것을 특징으로 하는 도파관형 마이크로파 필터.
2. 제1항에 있어서,

   상기 쵸크 구조는 'ㄴ'형 홈 구조이고, 상기 저감하고자 하는 파의 λ/4 쵸크 구조인 것을 특징으로 하는 도파관형 마이크로파 필터.
3. 제2항에 있어서,

   상기 'ㄴ'형 구조는

   λ/2 - λ/8 ≤ L₁ + L₂ + H ≤ λ/2 + λ/8

   (여기서 λ 는 저감하고자 하는 파의 파장, L₁ 은 홈의 밑면의 길이, L₂ 는 홈의 윗면의 길이, H는 깊이)

   의 관계식을 만족하는 것을 특징으로 하는 도파관형 마이크로파 필터.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 쵸크 구조는 저감하고자 하는 서로 다른 주파수를 갖는 복수개의 마이크로파의 쵸크 구조가 직렬로 형성된 것을 특징으로 하는 도파관형 마이크로파 필터.
5. 마이크로파 처리장치에 있어서,

   마이크로파를 발생하는 발진기;

   상기 발진기에서 발생하는 마이크로파를 전송하는 도파관; 및

   상기 마이크로파에 의하여 피처리물을 처리하는 처리실을 포함하고,

   상기 도파관은 마이크로파가 통과하는 관통형 관이고, 상기 관 내부의 적어도 일면에 저감하고자 하는 적어도 하나의 파형의 쵸크 구조가 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로파 처리장치.
6. 상기 제5항에 있어서,

   상기 쵸크 구조는 'ㄴ'형 홈 구조이고, 상기 저감하고자 하는 파의 λ/4 쵸크 구조인 것을 특징으로 하는 마이크로파 처리장치.
7. 상기 제5항에 있어서,

   상기 'ㄴ'형 구조는

   λ/2 - λ/8 ≤ L₁ + L₂ + H ≤ λ/2 + λ/8

   (여기서 λ 는 저감하고자 하는 파의 파장, L₁ 은 홈의 밑면의 길이, L₂ 는 홈의 윗면의 길이, H는 깊이)

   의 관계식을 만족하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 처리장치.
8. 상기 제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 쵸크 구조는 저감하고자 하는 서로 다른 주파수를 갖는 복수개의 마이크로파의 쵸크 구조가 직렬로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로파 처리장치.
9. 마이크로파 처리장치에 있어서,

   복수개의 서로 다른 주파수를 갖는 마이크로파를 발생하는 발생기;

   상기 발진기에서 발생하는 마이크로파를 전송하는 복수개의 도파관; 및

   상기 마이크로파에 의하여 피처리물을 처리하는 처리실을 포함하고,

   상기 복수개의 도파관은 마이크로파가 통과하는 관통형 관이고, 상기 관 내 부의 적어도 일면에 저감하고자 하는 적어도 하나의 파형의 쵸크 구조가 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로파 처리장치.
10. 제9항에 있어서,

    상기 쵸크 구조는 'ㄴ'형 홈 구조이고, 상기 저감하고자 하는 파의 λ/4 쵸크 구조인 것을 특징으로 하는 마이크로파 처리장치.
11. 제10항에 있어서,

    상기 'ㄴ'형 구조는

    λ/2 - λ/8 ≤ L₁ + L₂ + H ≤ λ/2 + λ/8

    (여기서 λ 는 저감하고자 하는 파의 파장, L₁ 은 홈의 밑면의 길이, L₂ 는 홈의 윗면의 길이, H는 깊이)

    의 관계식을 만족하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 처리장치.
12. 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 쵸크 구조는 저감하고자 하는 서로 다른 주파수를 갖는 복수개의 마이 크로파의 쵸크 구조가 직렬로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로파 처리장치.

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