KR20090060741A - 반도체 장비용 타이밍 벨트장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 장비용 타이밍 벨트장치에 관한 것으로서, 일정 간격을 두고 이격된 구동축 및 종동축의 풀리에 연결되며, 별도의 구동모터의 펄스 신호를 전송받아 정해진 값만큼 회전하는 타이밍 벨트가 홈부를 구비한 플레이트부와, 상기 플레이트부의 양측 핀홀에 장착되는 핀부로 이루어진 벨트부가 몸체 측부에 둘레를 따라 요철된 형상을 이루는 산 및 골을 구비하고 있는 기어부로 이루어진 풀리에 치합된 금속 재질의 체인 구조로 구성됨으로써, 재질의 변형 및 마모가 없으며, 이로 인하여 타이밍 벨트가 절단되는 현상이 발생하지 않게 되므로 반도체 제조설비의 공정 수행상 전체적인 효율성 향상을 도모할 수 있는 반도체 장비용 타이밍 벨트장치에 관한 것이다.

반도체, 타이밍 벨트, 풀리, 금속재질, 체인

Description

반도체 장비용 타이밍 벨트장치{Timing belt for semiconductor equipment}

본 발명은 반도체 장비용 타이밍 벨트장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 풀리와의 연결관계를 보다 더 강화하기 위하여 구조 및 기능적 차별이 되는 금속재질의 체인으로 개선한 반도체 장비용 타이밍 벨트장치에 관한 것이다.

일반적으로, 구동축과 종동축이 소정의 축간 거리를 가지며 이격되어 있는 경우에 있어서, 구동축으로부터 종동축으로의 동력전달을 위한 수단으로는 기어, 벨트, 로프 등이 사용되는데, 이들 중 높은 토크와 큰 속도비에서도 윤활유를 필요로 하지 않고 원활한 동력 전달이 가능한 수단으로서 타이밍 벨트가 널리 사용되고 있다.

이러한 타이밍 벨트는 그 소재로 유연성이 있는 고무나 합성수지 재질이 사용되며, 두 개 이상의 풀리 사이를 선택적으로 감싸는 형상으로 연결이 이루어짐으로써, 이들 풀리와 상호 맞물림에 따라 구동축의 회전력을 다른 종동축에 전달하도록 하거나, 풀리의 회전각을 이와 연결된 다른 풀리 사이의 구간에 대한 직선운동 으로 변환시키는 등의 기능을 담당한다.

즉, 양측 풀리(160)를 연결한 종래의 타이밍 벨트(200)는 구동축(120)의 회전력으로 양측 풀리(160)를 상호 연동하게 회전되도록 되어 있다.

그런데, 종래의 타이밍 벨트(200)는 양측 풀리(160)와의 계속적인 연결 상태를 필요로 하나, 그 형태상 또는 구조상의 문제점으로 인하여 상기 풀리(160)로부터 이탈되거나, 타이밍 벨트(200) 자체가 절단되는 문제점이 있었다.

즉, 타이밍 벨트(200)의 계속적인 사용으로 인하여 소정 범위가 느슨하게 변형되거나 외부로부터 물리적인 힘을 받게 될 경우 풀리(160)의 산들 사이에 대한 수직 방향으로의 이탈이 빈번하게 발생함으로써, 상기 타이밍 벨트(200)의 교체비용 및 보수비용이 증가될 뿐만 아니라, 구동축(120)으로부터 종동축(140)으로 동력을 전달하지 못하는 문제를 야기하거나, 웨이퍼(W)에 대한 비정상적인 이송이 이루어져 웨이퍼(W)의 손상 또는 파손을 일으키게 되어 상기 타이밍 벨트(200)가 사용되는 반도체 제조설비의 공정 수행상 전체적인 효율성을 떨어뜨리는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발명한 것으로서, 일정 간격을 두고 이격된 구동축 및 종동축의 풀리에 연결되며, 구동모터의 펄스 신호를 전송받아 정해진 값만큼 회전하는 타이밍 벨트가 홈부를 구비한 플레이트부와, 상기 플레이트부의 양측 핀홀에 장착되는 핀부로 이루어진 벨트부가 몸체 측부에 둘레를 따라 요철된 형상을 이루는 산 및 골을 구비하고 있는 기어부로 이루어진 풀리에 치합된 금속 재질의 체인 구조로 구성됨으로써, 재질의 변형 및 마모가 없으며, 이로 인하여 타이밍 벨트가 절단되는 현상이 발생하지 않게 되므로 반도체 제조설비의 공정 수행상 전체적인 효율성 향상을 도모할 수 있는 반도체 장비용 타이밍 벨트장치를 제공하고자 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 일정 간격을 두고 이격된 구동축 및 종동축의 풀리에 연결되며, 별도의 구동모터의 펄스 신호를 전송받아 정해진 값만큼 회전하는 반도체 장비용 타이밍 벨트장치에 있어서,

타이밍 벨트(20)는 한 쌍으로 이루어져 핀을 통해 연결되며, 홈부(24)를 구비한 플레이트부(26)와, 상기 플레이트부(26)의 양측 핀홀에 장착되는 핀 및 상기 핀의 둘레에 장착되어 풀리(16)와의 충격을 완화시키는 로울러를 포함하여 구성된 핀부(22)로 이루어진 벨트부(28)가 몸체 측부에 둘레를 따라 요철된 형상을 이루는 산(18a) 및 골(18b)을 구비하고 있는 기어부(18)로 이루어진 풀리(16)에 치합된 체인 구조로 구성된 것을 특징으로 한다.

바람직한 실시예로서, 상기 타이밍 벨트(20)는 금속재질로 이루어지되, 알루미늄 재질 또는 SUS(스테인레스 스틸) 재질 중, 선택된 어느 하나의 재질로 이루어진 것이 바람직하다.

이상에서 본 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 장비용 타이밍 벨트장치에 의하면, 재질의 변형 및 마모가 없으며, 이로 인하여 타이밍 벨트가 절단되는 현상이 발생하지 않게 되므로 반도체 제조설비의 공정 수행상 전체적인 효율성 향상을 도모할 수 있는 효과가 있다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 구성에 대해 상세하게 설명하면 다음과 같다.

첨부한 도 1은 본 발명에 따른 반도체 장비용 타이밍 벨트장치의 사용 상태를 나타내는 사시도이며, 도 2는 본 발명에 따른 반도체 장비용 타이밍 벨트장치의 벨트부를 나타내는 사시도이다.

도 1은 풀리의 회전각을 소정 구간에 대한 변위로 변환시켜 대상체를 이송시키는 이송장치의 일 예를 나타낸 것이며, 그 대상체로는 반도체소자 제조과정의 웨 이퍼를 그 실시예로 한다.

상기 반도체 장비용 타이밍 벨트장치는 구동모터(10)에 의해 회전하는 구동축(12)이 장착되어 있고, 상기 구동축(12)으로부터 일정한 간격을 두고 이격된 위치에 종동축(14)이 장착되어 있다.

이들 구동축(12)과 종동축(14)은 각각 풀리(16)를 구비하고 있으며, 이들 풀리(16) 중 상기 구동축(12)에 구비된 풀리(16)는 구동축(12)과 함께 회전하도록 통상의 체결수단으로 고정되고, 상기 종동축(14)에 구비된 풀리(16)는 종동축(14)의 회전이 불필요한 경우에 한하여 그 종동축(14)과의 사이에 회전이 자유로운 상태가 되도록 레이디얼 베어링(미도시)이 연결되어 있다.

이와 같은 구성으로 이루어진 상태에서, 상기 구동축(12) 및 종동축(14)의 풀리(16)에 연결되며, 구동모터(10)의 펄스 신호를 전송받아 정해진 값만큼 회전하는 타이밍 벨트(20)는 구동축(12)의 회전력으로 양측의 풀리(16)를 상호 연동하게 회전되도록 되어 있다.

즉, 상기 타이밍 벨트(20)는 각각의 풀리(16)에 결합된 상태에서 구동축(12)이 회전하게 될 경우, 타이밍 벨트(20)를 매개로 종동축(14)도 회전하게 되는 것이다.

여기서, 상기 풀리(16) 및 타이밍 벨트(20)에 대해 상세히 살펴보면, 풀리(16)는 그 몸체 측부에 둘레를 따라 요철된 형상을 이루는 산(18a) 및 골(18b)을 구비하고 있는 기어부(18)가 형성되어 있다.

상기 풀리(16)에 대하여 타이밍 벨트(20)는 그 풀리(16)의 기어부(18)를 감 싸는 형상으로서, 상기 기어부(18)를 수용하는 타이밍 벨트(20)는 체인 형상으로 이루어져 있다.

즉, 상기 타이밍 벨트(20)는 풀리(16)에 형성된 기어부(18)의 골(18b) 및 산(18a)과 대응하는 각각의 핀부(22)와, 상기 핀부(22) 및 핀부(22) 사이의 홈부(24)를 포함하는 벨트부(28)를 가지며, 각각의 벨트부(28)가 그 길이방향으로 연결되어 형성되어 있다.

이때, 상기 벨트부(28)는 금속재질로서, 일반적인 알루미늄 재질 또는 SUS(스테인레스 스틸) 재질로 이루어져 있으며, 기존의 고무나 합성수지 재질에 비하여 물리적 성질, 다시 말해서 종래에 비해 강성 및 강도가 향상되므로 마모되거나 절단되지 않게 되며, 더욱 상세하게는 한 쌍으로 이루어져 핀을 통해 연결되며, 홈부(24)를 구비하는 플레이트부(26)와, 상기 플레이트부(26)의 양측 핀홀에 장착되는 핀 및 상기 핀의 둘레에 장착되어 풀리(16)와의 충격을 완화시키는 로울러를 포함하여 구성된 핀부(22)로 이루어진 체인 형상인 것이다.

상기 알루미늄 재질 또는 SUS(스테인레스 스틸) 재질은 이에 한정되지 않으며, 종래 기술에 비해 강성 및 강도가 크며, 부식이 없는 금속의 특성을 갖는 것이라면 어떠한 재질로 이루어져도 무방하다.

따라서, 구동축(12)의 풀리(16)가 회전 시 이와 연동하여 회전하는 종동축(14) 사이에 매개체 기능을 하는 상기 타이밍 벨트(20)는 상기 풀리(16)의 기어부(18)가 맞물려 회전하게 되므로 벨트(20)의 불량으로 절단되거나, 텐션 불량으로 타이밍 벨트(20)가 이탈되는 현상을 효과적으로 방지하여 주는 새로운 반도체 장비 용 타이밍 벨트장치이다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에서 청구된 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 기재된 청구범위 내에 있게 된다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 장비용 타이밍 벨트장치의 사용 상태를 나타내는 사시도,

도 2는 본 발명에 따른 반도체 장비용 타이밍 벨트장치의 벨트부를 나타내는 사시도,

도 3은 종래의 반도체 장비용 타이밍 벨트장치의 사용 상태를 나타내는 사시도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10 : 구동모터 12 : 구동축

14 : 종동축 16 : 풀리

18 : 기어부 20 : 타이밍 벨트

22 : 핀부 24 : 홈부

26 : 플레이트부 28 : 벨트부

Claims (3)

1. 일정 간격을 두고 이격된 구동축 및 종동축의 풀리에 연결되며, 별도의 구동모터의 펄스 신호를 전송받아 정해진 값만큼 회전하는 반도체 장비용 타이밍 벨트장치에 있어서,

   타이밍 벨트(20)는 한 쌍으로 이루어져 핀을 통해 연결되며, 홈부(24)를 구비한 플레이트부(26)와, 상기 플레이트부(26)의 양측 핀홀에 장착되는 핀 및 상기 핀의 둘레에 장착되어 풀리(16)와의 충격을 완화시키는 로울러를 포함하여 구성된 핀부(22)로 이루어진 벨트부(28)가 몸체 측부에 둘레를 따라 요철된 형상을 이루는 산(18a) 및 골(18b)을 구비하고 있는 기어부(18)로 이루어진 풀리(16)에 치합된 체인 구조로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 장비용 타이밍 벨트장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 타이밍 벨트(20)는 금속재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 장비용 타이밍 벨트장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 타이밍 벨트(20)는 알루미늄 재질 또는 SUS(스테인레스 스틸) 재질 중, 선택된 어느 하나의 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 장비용 타이밍 벨트장치.

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