KR20090052981A - 씨엠피의 클리닝 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 씨엠피의 클리닝 장치에 관한 것으로서, 즉 본 발명은 씨엠피의 클리닝 장치는 회전 가능하게 구비되는 플래튼(10)의 상부에 장착되는 연마 패드(20)의 일측 상부에서 슬러리와 세정수를 분사하는 복수의 노즐(41)(42)을 구비하는 노즐 암(40)을 통하여 상기 연마 패드(20)에 잔류하는 슬러리와 연마 부산물을 제거하는 씨엠피 클리닝 장치에 있어서, 상기 노즐 암(40)에 연결되는 세정수 공급 라인(43)에는 초음파 진동 챔버(50)를 구비하고, 상기 초음파 진동 챔버(50)에는 반도체 공정 중 설비의 냉각에 사용되는 프로세스 냉각수(PCW)와 N2가스를 혼합하여 공급되도록 하며, 혼합된 프로세스 냉각수와 N2가스는 상기 초음파 진동 챔버(50)에서 초음파 진동을 가해 상기 연마 패드(20)에 분사하도록 하여 연마 패드(20)의 그루브(21)에 낀 슬러리를 효과적으로 제거할 수 있도록 하여 슬러리의 고형화와 그로 인한 웨이퍼 스크래치를 방지하는 동시에 연마 패드(20)와 웨이퍼(W)간 마찰에 의한 고온의 마찰열을 적절하게 냉각시킬 수 있도록 하는 것이다.

씨엠피, 폴리싱 헤드, 연마 패드, 세정

Description

씨엠피의 클리닝 장치{Apparatus for cleaning CMP}

본 발명은 씨엠피의 클리닝 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 연마 공정 수행 직후 초음파 진동을 가한 세정수에 의해서 연마 공정 수행 중 연마 패드의 그루브에 낀 슬러리를 효과적으로 제거함으로써 슬러리의 고형화 및 고착을 방지하여 공정 수율을 향상시키고, 웨이퍼 스크래치를 방지함과 동시에 연마 패드의 사용 수명을 연장시키도록 하는 씨엠피의 클리닝 장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 장치에서 연마설비는 화학적 작용과 기계적 작용을 이용하여 웨이퍼의 표면이 연마되게 함으로써 평탄화하는 방식을 사용하며, 이를 통상 화학적 기계적 연마(Chemical Mechanical Polishing, 일명 약칭해서 CMP라고도 함)라고 한다.

반도체 분야에서 미세한 선폭의 회로선들을 다단층의 고밀도로 집적시켜 반도체 소자를 제조하는 것이 요구되며, 이러한 고집적도의 반도체 소자 제조를 위해서는 그에 상응하는 고도의 표면 평탄화를 이루어낼 수 있는 연마기술이 필요하다.

이러한 고집적 반도체 소자 제조를 위한 미크론 단위(약 1㎛ 이하)의 초정밀 표면연마를 이루어내기 위해서는 기계적인 표면 연마만으로는 한계가 있으므로 현재는 화학적 연마와 기계적 연마를 병행토록 하는 화학적 기계적 연마가 주로 이용되고 있다.

웨이퍼의 평탄화는 폴리싱 헤드에서의 진공압에 의해 웨이퍼의 비연마면을 흡착하고, 연마면은 연마 패드에 면접촉되도록 한 상태에서 연마 패드와 폴리싱 헤드를 동시에 회전시키도록 하는 것이다.

이때 연마 패드와 웨이퍼의 연마면 사이로는 슬러리(slury)가 동시에 공급되게 함으로써 기계적인 연마와 함께 화학적인 연마가 이루어지도록 하는 것이다.

기계적 마찰과 슬러리를 이용하여 화학적 기계적 연마가 수행되도록 한 다음에는 연속적으로 후속의 웨이퍼를 연마할 수 있도록 연마 패드에 잔류하는 슬러리를 제거하는 클리닝을 수행한다.

도 1은 종래의 화학적 기계적 연마장치를 개략적으로 도시한 측면도이다.

화학적 기계적 연마장치는 회전 가능하게 구비되는 회전 테이블인 플래튼(100)의 상부면에 연마 패드(200)가 장착되도록 하고, 연마 패드(200)의 상부에는 연마 패드(200)를 향해 폴리싱 헤드(300)가 구비된다.

폴리싱 헤드(300)는 회전이 가능하도록 구비되는 캐리어에 복수개로 구비되어 캐리어의 승강 작용에 연동하게 되며, 폴리싱 헤드(300)에는 웨이퍼(W)의 비연마면을 진공압에 의해 흡착할 수 있도록 하는 구성이 마련된다.

또한 연마 패드(200)의 상부면 일측에는 폴리싱 헤드(300)에 의한 웨이퍼(W) 연마 시 마찰면으로 슬러리가 공급되도록 하는 슬러리 공급 노즐(410)과 세정수 분사 노즐(420)을 형성한 세정수 분사 암(400)이 구비된다.

따라서 폴리싱 헤드(300)에 웨이퍼(W)의 비연마면을 흡착시킨 상태에서 연마 패드(200)에 웨이퍼(W)의 연마면이 안치되도록 한 후 일정 압력으로 웨이퍼(W)를 가압하면서 폴리싱 헤드(300)를 회전시켜 웨이퍼(W)가 회전하도록 하면서 동시에 연마 패드(200)도 회전하게 함으로써 웨이퍼(W)와 연마 패드(200)간 기계적 마찰력과 이들 마찰면간으로 슬러리를 공급하여 화학적 마찰이 일어나게 함으로써 웨이퍼(W)가 연마되도록 하는 것이다.

웨이퍼(W)의 연마가 수행된 직후 폴리싱 헤드(300)에 의해서 웨이퍼(W)를 흡착시킨 상태에서 소정의 높이로 상승시킨 뒤 연마 패드(200)에는 초순수(DIW)가 분사되도록 하여 연마 패드(200)에 잔류하는 슬러리와 함께 연마 패드(200)와 웨이퍼(W)의 마찰면 사이에서 발생되는 부산물이 제거될 수 있도록 하고 있다.

이와 같은 연마 작업과 세정 작업을 반복하면서 캐리어를 일정한 각도로 회전시켜 연마 패드(200)에서 복수 회를 반복 수행하여 필요로 하는 연마가 이루어질 수 있도록 하고 있다.

한편 웨이퍼(W)의 연마 중에는 웨이퍼(W)와 연마 패드(200)의 사이에서는 고온의 마찰열이 발생되고, 이 마찰열에 의해 급기야 연마 패드(200)의 표면 손상과 함께 버블이 발생되기도 하면서 연마 패드(200)의 사용 수명을 단축시키는 심각한 문제 발생의 원인이 되고 있다.

이 보다 더 심각한 문제는 연마 패드(200)에서 일정한 매수 이상 웨이퍼(W) 를 연마하다보면 연마 패드(200)에 형성되어 있는 그루브에 슬러리가 낀 상태에서 고형화되어 웨이퍼(W)를 연마 시 웨이퍼(W)에 스크래치를 유발시키게 되므로 조기에 연마 패드(200)를 교체시켜야만 하는 불편과 함께 잦은 연마 패드 교체를 위한 공정의 중단으로 수율 저하(yield drop)와 함께 생산성 저하의 주요 원인이 되고 있다.

본 발명은 상기한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 이를 위하여 본 발명은 연마 패드의 세정을 위해 공급되는 세정수에 초음파 진동을 가하여 분사되도록 함으로써 연마 패드의 그루브에 끼는 슬러리를 효과적으로 제거하여 연마 패드에서의 고형화가 방지되게 함에 따라 연마 패드 및 웨이퍼에서의 스크래치 발생을 미연에 방지시켜 연마 패드의 사용 수명 연장과 함께 웨이퍼 제조 수율이 향상되도록 하는 씨엠피의 클리닝 장치를 제공하는데 주된 목적이 있다.

그리고 본 발명은 초음파 진동을 가한 세정수를 N2에 의해 분사되게 함으로써 분사 압력을 보다 상승시켜 세정 효율이 향상될 수 있도록 하는 씨엠피의 클리닝 장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.

또한 본 발명은 초음파 진동을 가하게 되는 세정수를 반도체 프로세스 수행에서 설비의 냉각을 위해 사용하는 냉각수를 사용함으로써 연마 패드에서의 마찰열을 효과적으로 냉각시켜 연마 패드의 손상이 방지되도록 함에 의해 연마 패드 교체 시기를 최대한 연장시켜 공정 수행을 중단시키는 주기를 지연시키게 되므로써 CMP 공정 수행 효율을 극대화시킬 수 있도록 하는 씨엠피의 클리닝 장치를 제공하는데 또다른 목적이 있다.

상기의 목적 달성을 위하여 본 발명에 따른 씨엠피의 클리닝 장치는 회전 가능하게 구비되는 플래튼의 상부에 장착되는 연마 패드의 일측 상부에서 슬러리와 세정수를 분사하는 복수의 노즐을 구비하는 노즐 암을 통하여 상기 연마 패드에 잔류하는 슬러리와 연마 부산물을 제거하는 씨엠피 클리닝 장치에 있어서, 상기 노즐 암에 연결되는 세정수 공급 라인에 구비하여 상기 세정수 공급 라인을 통해 유동하는 세정수에 초음파 진동을 가하여 상기 노즐 암에 공급되게 함으로써 초음파 진동력을 갖는 세정수에 의해 상기 연마 패드를 세정하도록 하는 것이다.

또한 본 발명의 씨엠피의 클리닝 장치는 상기 노즐 암에 연결되는 세정수 공급 라인에는 초음파 진동 챔버를 구비하고, 상기 초음파 진동 챔버에는 반도체 공정 중 설비의 냉각에 사용되는 프로세스 냉각수(PCW)와 N2가스를 혼합하여 공급되도록 하며, 혼합된 프로세스 냉각수와 N2가스는 상기 초음파 진동 챔버에서 초음파 진동을 가해 상기 연마 패드에 분사하도록 하는 것이다.

상기의 씨엠피 클리닝 장치에서 상기 노즐 암을 통해 분사되는 세정수는 N2가스에 의해 가압되도록 하여 고압의 압력으로 상기 연마 패드에 분사되도록 한다.

이때의 N2가스에 의해서는 50㎏/㎤의 압력으로 세정수가 토출되도록 하는 것 이 보다 바람직하다.

또한 본 발명의 씨엠피 클리닝 장치에서 세정수는 반도체 공정 중 설비의 냉각에 사용되는 프로세스 냉각수로서 적용하며, 이 냉각수에 의해서 연마 패드를 냉각시키면서 세정하도록 한다.

한편 연마 패드에 공급되는 프로세스 냉각수는 5℃~7℃의 온도를 유지하도록 한다.

본 발명에 따른 씨엠피의 클리닝 장치는 연마 공정 수행 직후 초음파 진동을 가한 세정수에 의해서 연마 패드의 그루브에 낀 슬러리를 효과적으로 제거할 수 있도록 하여 슬러리의 고형화와 그로 인한 웨이퍼 스크래치를 방지하는 동시에 연마 패드와 웨이퍼간 마찰에 의한 고온의 마찰열을 적절하게 냉각시킬 수 있도록 함으로써 지나치게 상승하는 마찰열에 의한 연마 패드의 뜯겨짐이나 버블 발생 및 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있도록 한다.

또한 본 발명은 연마 패드의 사용 수명을 대폭 연장시키게 됨으로써 웨이퍼 수율을 향상시켜 보다 경제적인 공정 수행을 제공할 수 있도록 한다.

이하 본 발명의 실시예에 따른 씨엠피의 클리닝 장치를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명에 따른 씨엠피의 클리닝 장치의 실시예 구조를 도시한 개략도이다.

본 발명의 씨엠피 클리닝 장치는 플래튼(10)의 상부에 연마 패드(20)를 구비하고, 연마 패드(20)의 상부에는 도시되지 않은 캐리어에 의해 승강이 가능하면서 일정한 각도로 회전하도록 하며, 자체가 일정한 속도로 회전할 수 있도록 하는 폴리싱 헤드(30)가 일측에 구비된다.

폴리싱 헤드(30)는 웨이퍼(W)의 비연마면을 진공압에 의해서 흡착할 수 있도록 하면서 흡착한 웨이퍼를 일정한 속도로 회전시킬 수 있도록 하는 구성이다.

캐리어에는 이러한 폴리싱 헤드(30)를 4개로 형성하고, 이들 폴리싱 헤드(30)에 대응되게 그 하부에 연마 패드(20)가 각각 구비되며, 따라서 각 폴리싱 헤드(30)에 흡착한 웨이퍼(W)는 캐리어를 일정한 각도로 회전시켜 인접한 연마 패드(20)로 이동되게 하면서 복수회에 걸쳐 연마가 이루어지도록 한다.

연마 패드(20)의 폴리싱 헤드(30)가 구비되는 위치와 다른 타측에는 노즐 암(40)이 구비된다.

노즐 암(40)은 연마 공정의 수행 중에는 슬러리를 분사하고, 연마 공정이 완료되고 세정 공정이 수행될 때에 세정수가 분사될 수 있도록 하는 구성이다.

따라서 노즐 암(40)에는 슬러리를 분사할 수 있도록 하는 슬러리 분사 노즐(41)과 함께 세정수를 분사하도록 하는 세정수 분사 노즐(42)이 동시에 구비되도록 하며, 다만 슬러리 분사 노즐(41)은 연마 패드(20)와 웨이퍼(W)간 마찰면을 향해 형성되도록 하고, 세정수 분사 노즐(42)은 연마 패드(20)의 상부면을 향해 세정 수가 분사되도록 하는 방향으로 복수 개로서 구비되도록 한다.

상기와 같은 구성은 종전의 씨엠피 설비에 구비되는 클리닝 장치의 구성과 대동소이하다.

다만 본 발명은 상기한 구성에서 노즐 암(40)의 세정수 분사 노즐(42)에 세정수를 유도하는 세정수 공급 라인(43)에 초음파 진동 챔버(50)가 구비되도록 하는데 가장 두드러진 특징이 있다.

초음파 진동 챔버(50)는 내부를 유동하는 세정수에 초음파를 가하여 진동에 의해서 물분자를 활성화시키도록 하는 것이다.

따라서 초음파 진동 챔버(50)의 내부에는 세정수를 진동시킬 수 있도록 하는 초음파 진동자가 내장되도록 하여 특정한 크기로 세정수의 물분자를 진동시키도록 한다.

세정수를 진동시키는 초음파 진동 챔버(50)는 세정수의 초음파 진동력이 충분히 연마 패드(20)에 도달하여 작용할 수 있도록 노즐 암(40)에서 세정수 분사 노즐(42)에 최대한 가까운 위치에 구비되도록 하는 것이 가장 바람직하다.

또한 본 발명의 초음파 진동 챔버(50)에 공급되는 세정수는 세정수 분사 노즐(42)을 통한 분사 압력을 보다 강력하게 형성되도록 하기 위하여 반도체 공정에서 통상 퍼지 가스로 사용하는 N2가스에 의해 가압되도록 하는 것이 보다 바람직하다.

N2가스에 의한 세정수 분사 압력은 50㎏/㎤ 정도가 가장 바람직하다.

이와 함께 상기의 세정수는 종전부터 사용하는 초순수를 사용할 수도 있으나 연마 패드(20)와 웨이퍼(W)간 마찰에 의한 마찰열의 신속한 냉각을 위하여 보다 저온의 초순수를 사용하는 것이 바람직하다.

이러한 저온의 초순수로는 반도체 제조 공정 중 설비의 냉각을 위해 사용되는 PCW(process cooling water) 즉 프로세스 냉각수를 사용하는 것이 가장 바람직하다.

한편 연마 공정 수행 중의 연마 패드(20)와 웨이퍼(W)간 마찰열의 냉각을 위하여 연마 패드(20)를 받치고 있는 플래튼(10)에 냉각수로를 형성하거나 플래튼(10)의 연마 패드(20)가 안치되는 상부면으로 냉각용 가스가 유동할 수 있는 그루브가 형성되게 할 수도 있다.

도 3과 도 4는 본 발명에 따른 연마 패드와 웨이퍼간 마찰열 냉각을 위한 냉각 구조를 예시한 구조도로서, 도 3은 플래튼(10)에 냉각수가 유동할 수 있도록 하는 냉각수로(11)를 형성하여 연마 공정 수행 중에도 지속적으로 플래튼(10)에 냉각수가 순환하면서 플래튼(10)을 냉각시키면 플래튼(10)의 상부면에 안치된 연마 패드(20)를 냉각시켜 연마 패드(20)와 웨이퍼(W)간 마찰열에 의한 연마 패드(20)의 손상이나 버블 발생이 미연에 방지될 수 있도록 한다.

또한 도 4에서와 같이 플래튼(10)의 연마 패드(20)가 안치되는 상부면으로 다양한 형상으로 가스 그루브(12)를 형성하고, 이 가스 그루브(12)에는 종전의 반도체 제조 공정에서 웨이퍼가 안치되도록 하는 플레이트 냉각을 위해 사용되던 헬륨과 같은 냉각 가스가 공급되도록 하여 이 냉각 가스가 플래튼(10) 상부면의 가스 그루브(12)를 유동하면서 그 상부의 연마 패드(20)를 균등하게 냉각시키게 할 수도 있다.

상기한 구성의 씨엠피 쿨링 장치를 이용한 세정 작용에 대해서 다음과 같이 살펴보기로 한다.

도 5는 본 발명에 따른 작동 회로를 개략적으로 도시한 것으로서, 노즐 암(40)에는 슬러리와 함께 세정수가 공급되는 구조이다.

노즐 암(40)에서 슬러리는 연마하는 웨이퍼 막질의 종류 등에 따라서 성분이 다르게 공급되며, 이들 슬러리는 연마 패드(20)와 웨이퍼(W)의 마찰면을 향하도록 구비되는 슬러리 분사 노즐(41)을 통해서 토출되도록 한다.

웨이퍼(W)를 연마 시 연마 패드(20)와 폴리싱 헤드(30)는 동일한 방향으로 회전을 하게 되며, 연마 패드(20)와 웨이퍼(W)간 마찰면으로 기계적 마찰이 이루어지면서 이들 사이로 공급되는 슬러리에 의하여 화학적 마찰이 이루어지게 된다.

특히 연마 패드(20)의 웨이퍼(W)와 마찰되는 상부면에는 웨이퍼(W)의 연마면을 연마시키기 위해서 미세한 폭으로 그루브(21)를 형성하고 있으며, 연마 패드(20)와 웨이퍼(W)의 마찰면으로 공급되는 슬러리는 이들 그루브(21)에 채워지면서 그루브(21)로부터 오버 플로(overflow)되는 미세한 양의 슬러리에 의해서 웨이퍼(W)의 마찰면을 연마하게 된다.

웨이퍼(W)의 연마가 완료나면 웨이퍼(W)는 캐리어의 상승 작용에 의해서 연마 패드(20)로부터 일정한 높이만큼 상승되고, 연마 패드(20)에는 연마 직후의 슬러리와 함께 부산물이 잔류하게 된다.

이때 노즐 암(40)으로 세정수를 공급하는 세정수 공급 라인(43)에는 초음파 진동 챔버(50)가 구비되어 웨이퍼(W)의 연마가 완료된 직후 이들 세정수 공급 라인(43)과 초음파 진동 챔버(50)에는 세정수가 흐르도록 한다.

세정수 공급 라인(43)을 통해 유동하는 세정수는 초음파 진동 챔버(50)를 통과하면서 초음파 진동자에 의해 초음파 진동이 가해지게 되고, 따라서 초음파 진동 챔버(50)에서는 웨이퍼(W)의 연마가 완료되는 즉시 세정 시점으로 전환하면서 세정수가 세정수 공급 라인(43)을 통해 공급되도록 하는 동시에 초음파 진동자를 작동시켜 세정수에 초음파 진동이 가해지도록 한다.

초음파 진동이 가해지는 세정수는 노즐 암(40)의 세정수 분사 노즐(42)을 통해 연마 패드(20)에 분사되면서 연마 패드(20)의 상부면에 잔류하는 슬러리와 함께 연마 부산물을 제거하게 된다.

세정수에 초음파 진동을 가하게 되면 연마 패드(20)에 분사되는 세정수가 연마 패드(20)의 상부면에 형성한 그루브(21)의 바닥에까지 분사되도록 하여 그루브(21)에 채워져 있던 슬러리조차 효과적으로 파내서 제거하게 된다.

또한 초음파 진동 챔버(50)를 통해 세정수를 공급하면서 동시에 반도체 제조 공정에서 통상 퍼지가스로서 사용되는 N2가스를 공급하게 되면 보다 강력한 분사 압력을 제공하게 되므로 세정 효과를 배가시키게 된다.

도 6a와 도 6b는 본 발명을 적용하기 전후의 연마 패드 표면 상태를 도시한 요부 확대도이다.

도시한 바와 같이 도 6a는 종전과 같이 웨이퍼를 1200매 연마하고, 세정수만을 사용하여 세정한 후 연마 패드(20)의 표면에 형성된 그루브(21)의 일부를 확대 도시한 것으로서, 종전에는 1200매의 웨이퍼(W)를 연마한 직후에 세정수만을 사용해서 세정을 하더라도 이미 연마 패드(20)의 표면에서 웨이퍼(W)의 효율적인 연마를 위하여 형성시킨 그루브(21)에서 슬러리는 이미 고형화된 상태이다.

도 6b는 도 6a에서와 동일하게 웨이퍼를 1200매 연마하고, 세정수에 N2가스를 혼합하여 초음파 진동 챔버(50)를 통과시키게 되면 연마 패드(20)의 표면에서 그루브(21)에 채워져 있던 슬러리도 완전 제거시키게 된다.

이렇게 연마 패드(20)의 그루브(21)를 초음파 진동을 가한 세정수 또는 세정수와 N2가스의 혼합수에 의해 공정 수행 직후 세정시키게 되면 그루브(21)에 채워진 슬러리를 경화되기 전에 제거시킬 수가 있으므로 그루브(21)에서의 고착을 방지시키게 된다.

그루브(21)에서의 슬러리 고착이 방지되면 통상 후속의 웨이퍼(W)가 고착된 슬러리와의 마찰에 의해 연마 중 스크래치를 발생시키게 되는데 이러한 스크래치 발생을 미연에 방지할 수가 있게 된다.

한편 연마 패드(20)는 슬러리의 고착 여부에 따라 스크래치 없이 웨이퍼를 연마할 수 있는 정상적인 연마 매수가 결정되므로 통상적으로는 웨이퍼 연마 매수에 의해서 교체 주기가 결정되도록 하고 있다.

따라서 연마 패드(20)에서의 슬러리 고착을 방지시키게 되면 그만큼 연마 패드(20)의 교체 주기도 연장시킬 수가 있게 되며, 실질적으로 최대 3배까지 연장이 가능하게 되면서 고가의 연마 패드(20) 구입에 따른 유지 관리 비용의 부담을 대폭적으로 경감시킬 수가 있도록 한다.

N2가스를 혼합한 세정수에 초음파 진동을 가하는 작용에 의해서 연마 패드(20)에서의 슬러리 고착을 방지시키는 작용에 의해 웨이퍼(W)에서의 스크래치 발생을 방지하게 됨으로써 보다 안정된 공정 수행과 함께 수율을 더욱 향상시킬 수 있도록 한다.

이와 함께 N2가스를 혼합하는 세정수를 보다 저온의 프로세스 냉각수로서 사용하게 되면 연마 패드(20)와 웨이퍼(W)의 마찰에 의해 발생되는 고온의 마찰열을 보다 신속하게 냉각시킬 수가 있게 되어 이들 고온의 마찰열에 의한 연마 패드(20)와 웨이퍼(W)의 물성 변화 및 그로 인한 연마 패드(20)의 연마면 뜯김이나 버블 발생을 방지시킬 수가 있게 된다.

즉 연마 패드(20)에서 웨이퍼(W)를 지속적으로 연마시키게 되면 연마 패드(20)에서는 마찰열이 계속 누적되면서 연마 패드(20)가 심각한 열적 손상을 발생할 수가 있으므로 세정할 때마다 사용되는 세정수를 보다 저온인 프로세스 냉각수로서 사용하게 되면 더욱 냉각 효율을 향상시킬 수가 있으므로 연마 패드(20)의 마찰열에 의한 손상을 미연에 방지시킬 수가 있게 된다.

이렇게 본 발명은 연마 패드(20)의 사용 수명을 연장시키면서 연마 패드(20)의 교체를 위한 공정 중단 시간을 대폭적으로 단축시킴으로써 설비 가동율과 함께 웨이퍼 수율과 생산성이 대폭적으로 향상되도록 한다.

한편 상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있기는 하나, 그들은 발명의 권리범위를 한정하는 것이라기보다는 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다.

따라서 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.

도 1은 종래의 화학적 기계적 연마장치를 개략적으로 도시한 측면도,

도 2는 본 발명에 따른 씨엠피의 클리닝 장치의 실시예 구조를 도시한 개략도,

도 3과 도 4는 본 발명에 따른 연마 패드와 웨이퍼간 마찰열 냉각을 위한 냉각 구조를 예시한 구조도,

도 5는 본 발명에 따른 작동 회로를 개략적으로 도시한 회로도,

도 6a와 도 6b는 본 발명을 적용하기 전후의 연마 패드 표면 상태를 도시한 요부 확대도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 플래튼 11 : 냉각수로

12 : 가스 그루브(gas groove) 20 : 연마 패드

21 : 그루브((groove) 30 : 폴리싱 헤드

40 : 노즐 암 41 : 슬러리 공급 노즐

42 : 세정수 공급 노즐 43 : 세정수 공급 라인

50 : 초음파 진동 챔버 W : 웨이퍼

Claims (10)

1. 회전 가능하게 구비되는 플래튼의 상부에 장착되는 연마 패드의 일측 상부에서 슬러리와 세정수를 분사하는 복수의 노즐을 구비하는 노즐 암을 통하여 상기 연마 패드에 잔류하는 슬러리와 연마 부산물을 제거하는 씨엠피의 클리닝 장치에 있어서,

   상기 노즐 암에 연결되는 세정수 공급 라인에서 상기 세정수 공급 라인을 통해 유동하는 세정수에 초음파 진동을 가하도록 하는 초음파 진동 챔버가 구비되도록 하여 초음파 진동력을 갖는 세정수에 의해 상기 연마 패드의 연마면을 세정하도록 하는 씨엠피의 클리닝 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 초음파 진동 챔버에 공급되는 세정수는 N2가스가 혼합되면서 가압되도록 하여 상기 노즐 암을 통해 상기 연마 패드에 분사되도록 하는 씨엠피의 클리닝 장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 N2가스에 의해서는 세정수 분사 압력을 50㎏/㎤로 형성되게 하는 씨엠피의 클리닝 장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 세정수는 반도체 공정 중 설비의 냉각에 사용되는 프로세스 냉각수(PCW)를 사용하여 상기 연마 패드를 냉각시키면서 세정하도록 하는 씨엠피의 클리닝 장치.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 연마 패드에 공급되는 프로세스 냉각수는 5℃~7℃의 온도를 유지하도록 하는 씨엠피의 클리닝 장치.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 플래튼에는 냉각수가 유동하는 냉각수로를 형성하여 연마 공정 수행 중의 상기 연마 패드를 냉각시키도록 하는 씨엠피의 클리닝 장치.
7. 제 1 항에 있어서, 상기 플래튼에는 냉각가스가 유동하는 가스 그루브가 상부면에 형성되도록 하여 연마 공정 수행 중의 상기 연마 패드를 냉각시키도록 하는 씨엠피의 클리닝 장치.
8. 회전 가능하게 구비되는 플래튼의 상부에 장착되는 연마 패드의 일측 상부에 서 슬러리와 세정수를 분사하는 복수의 노즐을 구비하는 노즐 암을 통하여 상기 연마 패드에 잔류하는 슬러리와 연마 부산물을 제거하는 씨엠피의 클리닝 장치에 있어서,

   상기 노즐 암에 연결되는 세정수 공급 라인에는 초음파 진동 챔버를 구비하고, 상기 초음파 진동 챔버에는 반도체 공정 중 설비의 냉각에 사용되는 프로세스 냉각수(PCW)와 N2가스를 혼합하여 공급되도록 하며, 혼합된 프로세스 냉각수와 N2가스는 상기 초음파 진동 챔버에서 초음파 진동을 가해 상기 연마 패드에 분사하도록 하는 씨엠피의 클리닝 장치.
9. 제 8 항에 있어서, 상기 N2가스에 의해서는 세정수 분사 압력을 50㎏/㎤로 형성되게 하는 씨엠피의 클리닝 장치.
10. 제 8 항에 있어서, 상기 연마 패드에 공급되는 프로세스 냉각수는 5℃~7℃의 온도를 유지하도록 하는 씨엠피의 클리닝 장치.

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