KR20090050791A

KR20090050791A - Tunable rf resonator

Info

Publication number: KR20090050791A
Application number: KR1020070117415A
Authority: KR
Inventors: 송인상; 하병주; 김철수; 박윤권; 신제식
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2007-11-16
Filing date: 2007-11-16
Publication date: 2009-05-20
Also published as: KR101331494B1

Abstract

RF 튜너블 공진기가 개시된다. 본 RF 튜너블 공진기는, 캐비티를 구비한 공동형 공진부 및 외부 신호에 따라 캐비티의 크기를 조정하여, 공동형 공진부의 공진 주파수를 튜닝할 수 있는 구동부를 포함한다. 이에 따라, 공진 주파수를 가변할 수 있으며, 공진 주파수의 가변 범위 또한 향상된다.An RF tunable resonator is disclosed. The RF tunable resonator includes a cavity resonator having a cavity and a driver capable of tuning the resonant frequency of the cavity resonator by adjusting the size of the cavity in accordance with an external signal. Accordingly, the resonant frequency can be varied, and the variable range of the resonant frequency is also improved.

캐비티(cavity), 구동부, 튜너블 RF 공진기 Cavity, Drive, Tunable RF Resonator

Description

Tunable RF Resonator

본 발명은 공진 주파수를 가변할 수 있는 튜너블 RF 공진기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 캐비티(cavity)의 구조를 변형시켜 공진주파수를 튜닝할 수 있는 RF 공진기에 관한 것이다.The present invention relates to a tunable RF resonator capable of varying the resonant frequency, and more particularly, to an RF resonator capable of tuning the resonant frequency by modifying the structure of the cavity.

일반적으로 공진기(resonator)는 안테나, 듀플렉서(duplexer), 필터와 같은 무선통신장치의 동조 회로 등에서 이용된다. 공진은 L(인덕터) 및 C(캐패시터)를 이용하는 전기적 공진과, 캐비티(cavity)와 같은 특정의 구조를 이용하는 구조적 공진으로 나눌 수 있다. 이 중에서, 캐비티(cavity) 내에서 공진이 발생하는 구조적 공진의 경우에는 공진 주파수를 튜닝하기 위해서는 캐비티의 크기 및 모양을 변형하거나, 캐비티 내부에 유전체 또는 자성체를 채워넣는 방법으로 공진 주파수를 튜닝할 수 있다. In general, a resonator is used in a tuning circuit of a wireless communication device such as an antenna, a duplexer, a filter, and the like. The resonance can be divided into electrical resonance using L (inductor) and C (capacitor), and structural resonance using a specific structure such as a cavity. Among these, in the case of structural resonance in which resonance occurs in a cavity, in order to tune the resonance frequency, the resonance frequency may be tuned by modifying the size and shape of the cavity or by filling a dielectric or magnetic material inside the cavity. have.

도 1은 주파수 튜닝이 가능한 종래 캐비티 구조의 공진기를 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 종래의 공진기는 캐비티(1), 발진기(2), 동조 나사(3), 금속(4)으로 구성된다. 이 경우, 동조 나사(3)를 통해 동조 나사(3) 아래의 금속(4)과 발진기(2) 간의 높이(H)를 조절함으로써, 발진기(2)의 주파수 조절이 가능하게 된다. 이러한 경우에는 주파수 가변 범위에 한계가 있게 되며, 동조 나사(3)의 회전 동작에 의해 나사산이 마모되는 등의 문제점이 있었다. 1 is a view showing a resonator of a conventional cavity structure capable of frequency tuning. Referring to FIG. 1, a conventional resonator is composed of a cavity 1, an oscillator 2, a tuning screw 3, and a metal 4. In this case, the frequency H of the oscillator 2 can be adjusted by adjusting the height H between the metal 4 under the tuning screw 3 and the oscillator 2 via the tuning screw 3. In this case, there is a limit in the frequency variable range, there is a problem that the thread is worn by the rotation operation of the tuning screw (3).

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명은 캐비티(cavity)의 구조를 변형함으로써, 공진 주파수 튜닝이 가능한 튜너블 RF 공진기를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a tunable RF resonator capable of resonant frequency tuning by modifying a structure of a cavity.

이상과 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 RF 튜너블 공진기는, 캐비티를 구비한 공동형 공진부; 및, 외부 신호에 따라 상기 캐비티의 크기를 조정하여, 상기 공동형 공진부의 공진주파수를 튜닝할 수 있는 구동부;를 포함한다.RF tunable resonator according to an embodiment of the present invention for achieving the above object, the cavity-type resonator having a cavity; And a driver configured to adjust the size of the cavity according to an external signal and tune the resonance frequency of the cavity-type resonator.

이때, 상기 공동형 공진부는, 상부 프레임; 상기 상부 프레임과 이격배치된 하부 프레임; 및, 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임 사이에 형성되어, 상기 캐비티를 이루는 사이드 월;을 포함할 수 있다.At this time, the cavity-type resonator, the upper frame; A lower frame spaced apart from the upper frame; And a side wall formed between the upper frame and the lower frame to form the cavity.

또한, 상기 구동부는, 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임 사이의 간격을 조정하는 것이 가능하다.In addition, the driving unit, it is possible to adjust the interval between the upper frame and the lower frame.

여기서, 상기 구동부는, 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임 중 적어도 하나와 소정 거리 이격 배치되어, 상기 외부 신호가 인가되면 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임 중 적어도 하나를 풀링(pulling)하여 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임 사이의 간격을 조정하는 전극부;를 포함할 수 있다.The driving unit may be spaced apart from at least one of the upper frame and the lower frame by a predetermined distance, and when the external signal is applied, at least one of the upper frame and the lower frame is pulled to pull the upper frame and the lower frame. It may include; an electrode unit for adjusting the interval between the lower frame.

또한, 상기 공동형 공진부의 상부 프레임은 상기 사이드 월의 일 영역에 고정되어 함께 이동 가능하고, 상기 공동형 공진부의 하부 프레임은 상기 사이드 월의 타 영역과 고정된 것을 특징으로 한다.The upper frame of the cavity resonator may be fixed to one region of the sidewall and move together, and the lower frame of the cavity resonator may be fixed to the other region of the sidewall.

여기서, 상기 구동부는, 상기 상부 프레임에 연결된 이동 전극; 및,상기 이동 전극과 일정 거리 이격 배치되며, 상기 외부 신호가 인가되면 상기 상부 프레임 및 상기 상부 프레임에 고정된 사이드 월 영역이 이동하도록 상기 이동 전극을 풀링하는 고정 전극;을 포함할 수 있다.Here, the driving unit, a moving electrode connected to the upper frame; And a fixed electrode spaced apart from the moving electrode at a predetermined distance, and configured to pull the moving electrode to move the side wall area fixed to the upper frame and the upper frame when the external signal is applied.

또한, 상기 구동부는, 상기 사이드 월의 일 영역에 연결된 이동 전극; 및,The driving unit may include a moving electrode connected to one region of the sidewall; And,

상기 이동 전극과 일정 거리 이격 배치되며, 상기 외부 신호가 인가되면 상기 사이드 월의 일 영역이 이동하도록 상기 이동 전극을 풀링하는 고정 전극;을 포함할 수 있다.And a fixed electrode spaced apart from the moving electrode at a predetermined distance and pulling the moving electrode to move one region of the sidewall when the external signal is applied.

여기서, 상기 공동형 공진부 및 상기 구동부를 지지하는 기판; 상기 기판 상에 형성된 앵커; 및, 상기 앵커 및 상기 공동형 공진부의 상부 프레임 또는 사이드월의 일 영역을 연결하여, 상기 상부 프레임 또는 사이드월의 일 영역이 상기 기판 상에서 이동 가능하도록 하는 연결부;를 더 포함할 수 있다.Here, the substrate supporting the cavity-type resonator and the drive unit; An anchor formed on the substrate; And a connection part connecting the anchor and one region of the upper frame or the sidewall of the cavity-type resonator to move one region of the upper frame or the sidewall on the substrate.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 보다 상세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in more detail with respect to the present invention.

도 2는 캐비티의 모양에 따른 공진 주파수를 설명하기 위한 캐비티의 구성을 나타내는 도면이다. 도 2를 참조하면, 캐비티(cavity)는 직사각형 형태로 이루어지며, +x축 방향으로 길이 a를 가지며, +y축 방향으로 길이 b를 가지며, +z축 방향으로 길이 c를 갖는다. 이러한 캐비티의 공진 주파수는 아래와 같이 수학식 1로 표현될 수 있다.2 is a view showing the configuration of a cavity for explaining the resonance frequency according to the shape of the cavity. Referring to FIG. 2, the cavity has a rectangular shape, has a length a in the + x axis direction, a length b in the + y axis direction, and a length c in the + z axis direction. The resonance frequency of the cavity may be expressed by Equation 1 below.

여기서 a, b, c는 캐비티의 각 변의 길이를 나타내고, l, m, n은 공진 모드(resonance mode)를 나타내며, v는 캐비티 내에서의 신호의 속도를 나타낸다. 수학식 1을 참조하면, 다른 변수가 고정된 경우에, 캐비티의 크기를 나타내는 변수인, a, b, c의 값이 작을수록 공진 주파수는 커지는 것을 알 수 있다. 캐비티는 내부에 발진기(미도시)를 구비하여, 신호를 직접 생성할 수 있으며, 캐비티의 슬롯(미도시)을 통하여 외부로부터 신호를 입력받을 수도 있다. 또한, 캐비티는 금속(metal)으로 이루어지거나, 도전성 박막으로 이루어질 수 있다. Where a, b, and c represent the length of each side of the cavity, l, m, and n represent the resonance mode, and v represents the speed of the signal in the cavity. Referring to Equation 1, when other variables are fixed, it can be seen that the smaller the values of a, b, and c, which are variables representing the size of the cavity, the larger the resonance frequency. The cavity may include an oscillator (not shown) therein to directly generate a signal, and may receive a signal from the outside through a slot (not shown) of the cavity. In addition, the cavity may be made of metal, or may be made of a conductive thin film.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 튜너블 RF 공진기의 공동형 공진부 구성을 나타내는 도면이다. 도 3을 참조하면, 본 튜너블 RF 공진기의 공동형 공진부는 하부 프레임(310), 사이드 월(320a, 320b), 및 상부 프레임(330)을 포함한다. 여기서, 하부 프레임(310)은 상부 프레임(330)과 이격 배치되며, 사이드 월(320a, 320b)은 상부 프레임(330) 및 하부 프레임(310) 사이에 형성된다. 이에 따라, 캐비티를 이룰 수 있다. 한편, 도 3에서 y축의 방향으로는 비어있는 것처럼 도시되어 있으나, 이는 설명의 편의를 위한 것이며, 실제로는 도시된 사이드 월(320a, 320b) 뿐만 아니라, +y방향 및 -y 방향은 모두 채워져 있어야 한다. 사이드 월(side wall)에 대한 구체적인 설명은 도 7을 참조하여 후술하기로 한다. 3 is a view showing the configuration of a cavity-type resonator of the tunable RF resonator according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, the cavity resonator of the tunable RF resonator includes a lower frame 310, side walls 320a and 320b, and an upper frame 330. Here, the lower frame 310 is spaced apart from the upper frame 330, the side walls 320a and 320b are formed between the upper frame 330 and the lower frame 310. Thus, a cavity can be achieved. On the other hand, in the direction of the y-axis in FIG. 3 is shown as being empty, but this is for convenience of description, in fact, as well as the side walls 320a and 320b shown, both the + y direction and the -y direction should be filled. do. A detailed description of the side wall will be described later with reference to FIG. 7.

상술한 것처럼, 상부 프레임(330)은 하부 프레임(310)과 이격 배치되며, 상부 프레임(330) 및 하부 프레임(310) 중 어느 하나가, 수평 또는 수직 방향 중 어느 한 방향으로 움직임으로써, 캐비티 구조를 변형할 수 있다. 또는 사이드 월(320a, 320b) 중 적어도 일부가 이동하여, 캐비티 구조를 변형할 수도 있다. 그 결과, 공진 주파수의 튜닝(tuning)이 가능하게 된다. As described above, the upper frame 330 is spaced apart from the lower frame 310, and any one of the upper frame 330 and the lower frame 310 moves in either the horizontal or vertical direction, the cavity structure Can be modified. Alternatively, at least some of the side walls 320a and 320b may move to deform the cavity structure. As a result, the resonance frequency can be tuned.

만약 상부 프레임(330)이 +x 방향으로 움직인다면, a의 길이가 증가하게 되며, 이는 상술한 수학식 1을 참조할 때, 공진 주파수가 감소하는 방향으로 할 수 있음을 의미한다. 이에 따라, 공진 주파수의 가변 범위가 훨씬 광범위한 RF 튜너블 공진기를 제공할 수 있게 된다. 이 때, 캐비티의 슬롯(미도시)을 통해 외부로부터 고주파수 신호가 입력될 때, 캐비티는 상부 프레임(330) 또는 하부 프레임(310) 중 어느 하나가 움직이기 때문에 완전히 밀폐된 공간이 될 수 없고 틈이 존재하게 된다. 하지만, 주파수가 아주 높은 고주파 신호가 캐비티 내로 입사되기 때문에, 상부 프레임(330)과 하부 프레임(310) 사이에 틈이 있다고 하더라도 이를 밀폐된 공간으로 인식하여 공진 주파수를 튜닝할 수 있게 된다. If the upper frame 330 moves in the + x direction, the length of a increases, which means that the resonance frequency may decrease in a direction when referring to Equation 1 described above. This makes it possible to provide a much wider range of RF tunable resonators with a variable range of resonant frequencies. At this time, when a high frequency signal is input from the outside through a slot (not shown) of the cavity, the cavity cannot be a completely enclosed space because either the upper frame 330 or the lower frame 310 is moved, and there is no gap. Will exist. However, since a high frequency signal having a very high frequency is incident into the cavity, even if there is a gap between the upper frame 330 and the lower frame 310, the resonance frequency may be tuned by recognizing it as a closed space.

상부 프레임(330) 및 사이드 월(320a, 320b)중 어느 하나에 연결되어 상부 프레임(330) 및 하부 프레임(310) 중 어느 하나를 움직일 수 있게 하는 구동부에 대해서는 후술하기로 한다.A driving unit connected to any one of the upper frame 330 and the side walls 320a and 320b to move one of the upper frame 330 and the lower frame 310 will be described later.

도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 튜너블 RF 공진기의 공동형 공진부의 캐비티 구성을 나타내는 도면이다. 도 4를 참조하면, 튜너블 RF 공진기의 공동형 공진부는 하부 프레임(410), 사이드 월(420 : 420a, 420b, 420c), 및 상부 프레임(430)을 포함한다. 이에 따라, 복수의 캐비티를 가지게 된다. 도 4에서 도시된 공동형 공진부 또한 도 3에서 도시된 공동형 공진부 구조와 마찬가지로 상부 프레임(430) 및 하부 프레임(410) 중 어느 하나 또는 사이드 월 일부가 수평 또는 수직 방향 중 어느 한 방향으로 움직임으로써, 공동형 공진부의 캐비티의 구조를 변경할 수 있고, 그 결과 캐비티의 공진 주파수를 튜닝할 수 있다.4 is a view illustrating a cavity configuration of a cavity resonator of a tunable RF resonator according to another exemplary embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4, the cavity resonator of the tunable RF resonator includes a lower frame 410, sidewalls 420: 420a, 420b, and 420c, and an upper frame 430. This has a plurality of cavities. Similarly to the cavity resonator structure shown in FIG. 3, the cavity resonator illustrated in FIG. 4 may be configured such that any one of the upper frame 430 and the lower frame 410 or a portion of the sidewall may be in either the horizontal or vertical direction. By moving, the structure of the cavity of the cavity resonator can be changed, and as a result, the resonance frequency of the cavity can be tuned.

다만, 도 4에서 도시된 공동형 공진부의 캐비티 구조의 경우에는, 가령, 상부 프레임(420)이 +x 방향으로 움직인다면, 좌측 캐비티는 x축 성분의 길이가 a 가 되나, 우측 캐비티는 x 축 성분의 길이가 h-a-a'가 된다. 따라서, 좌측 캐비티와 우측 캐비티의 공진 주파수가 서로 다르게 형성될 수 있다. 따라서, 도 3에 도시된 캐비티 구조와 달리, 도 4에서 도시된 캐비티 구조는 서로 다른 2개의 공진 주파수를 각각 얻을 수 있다. However, in the cavity structure of the cavity-type resonator illustrated in FIG. 4, for example, if the upper frame 420 moves in the + x direction, the length of the x-axis component of the left cavity becomes a, but the right cavity of the cavity of the cavity resonates to the x-axis. The length of the component is ha-a '. Therefore, the resonance frequencies of the left cavity and the right cavity may be formed differently. Thus, unlike the cavity structure shown in FIG. 3, the cavity structure shown in FIG. 4 may obtain two different resonant frequencies, respectively.

도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 튜너블 RF 공진기의 구성을 나타내는 도면이다. 도 5를 참조하면, 본 RF 튜너블 공진기는 공동형 공진부(510, 520, 530, 550) 및 구동부(540)를 포함한다. 공동형 공진부(510, 520, 530, 550)는 캐비티를 구비하며, 상술한 것처럼 상부 프레임(530), 하부 프레임(510), 사이드 월(520) 이외에 기판(550)을 더 포함할 수 있다. 기판(550)은 공동형 공진부(510, 520, 530, 550)를 지지한다. 구동부(540)는 외부 신호에 따라 캐비티의 크기를 조정하여, 공 동형 공진부(510, 520, 530, 550)의 공진 주파수를 튜닝할 수 있다. 5 is a diagram illustrating a configuration of a tunable RF resonator according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 5, the RF tunable resonator includes cavity type resonators 510, 520, 530, and 550 and a driver 540. The cavity type resonators 510, 520, 530, and 550 have a cavity and may further include a substrate 550 in addition to the upper frame 530, the lower frame 510, and the side wall 520, as described above. . The substrate 550 supports the cavity resonators 510, 520, 530, and 550. The driver 540 may tune the resonant frequencies of the cavity resonators 510, 520, 530, and 550 by adjusting the size of the cavity according to an external signal.

구체적으로, 구동부(540)는 사이드 월의 일 영역에 연결된 이동 전극(540b) 및 이동 전극(540b)과 일정 거리 이격 배치되며, 외부 신호가 인가되면 사이드 월의 일 영역이 이동하도록 이동 전극(540b)을 풀링(pulling)하는 고정 전극(540a)을 포함한다. 또한, 구동부(540)는 상부 프레임(530)에 연결된 이동 전극(540b) 및 이동 전극(540b)과 일정 거리 이격 배치되여, 외부 신호가 인가되면 상부 프레임(530) 및 상부 프레임(530)에 고정된 사이드 월 영역(520)이 이동하도록 이동 전극(540b)을 풀링(pulling)하는 고정 전극(540a)을 포함한다. In detail, the driving unit 540 is disposed at a distance from the moving electrode 540b and the moving electrode 540b connected to one region of the sidewall, and when an external signal is applied, the driving electrode 540b moves to move one region of the sidewall. It includes a fixed electrode (540a) for pulling (). In addition, the driving unit 540 is spaced apart from the moving electrode 540b and the moving electrode 540b connected to the upper frame 530 by a predetermined distance, and fixed to the upper frame 530 and the upper frame 530 when an external signal is applied. The fixed side wall region 520 includes a fixed electrode 540a that pulls the moving electrode 540b to move.

즉, 구동부(540)는 상부 프레임(530)에 연결될 수도 있으며, 또한 사이드 월 영역(520)에 연결될 수도 있다. 이동 전극(540b)의 일 단 및 그와 대향하는 고정 전극(540a) 부분은 콤(comb) 구조로 이루어질 수 있으며, 고정 전극(540a) 및 이동 전극(540b) 각각에 전압 등의 외부 신호를 인가하면, 정전기력(electrostatic force) 등에 의해 이동 전극(540b)이 움직일 수 있게 된다.That is, the driving unit 540 may be connected to the upper frame 530 or may be connected to the side wall region 520. One end of the moving electrode 540b and a portion of the fixed electrode 540a opposite to the moving electrode 540b may have a comb structure, and an external signal such as a voltage is applied to each of the fixed electrode 540a and the moving electrode 540b. In this case, the moving electrode 540b can move by an electrostatic force or the like.

도 5에서는 구동부(540)가 수평 방향으로 움직이면, 그와 연결된 캐비티의 상부 프레임(530)이 수평 방향으로 움직일 수 있는 것으로 도시되어 있으나, 구동부(530)가 상부 프레임(530)의 상부에 배치되어 수직 방향으로 움직이게 되면, 그와 연결된 상부 프레임(530) 역시 수직 방향으로 움직일 수 있게 된다. 그 결과, 수직 방향의 c 길이를 변경할 수 있게 되므로, 본 RF 튜너블 공진기의 공진 주파수를 튜닝할 수 있다.In FIG. 5, when the driving unit 540 moves in the horizontal direction, the upper frame 530 of the cavity connected thereto may move in the horizontal direction, but the driving unit 530 is disposed above the upper frame 530. When moved in the vertical direction, the upper frame 530 connected thereto can also move in the vertical direction. As a result, since the length c in the vertical direction can be changed, the resonance frequency of the present RF tunable resonator can be tuned.

또한, 구동부(540)는 수평 또는 수직 방향 중 어느 한 방향으로 움직이는 것 이 가능하기만 하면, 도 5에서 도시된 구조가 아니라, 다양한 구조 및 재료를 이용하여 구현될 수 있다. In addition, the driving unit 540 may be implemented using various structures and materials, not the structure shown in FIG. 5, as long as the driving unit 540 can move in either the horizontal or vertical direction.

도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 튜너블 RF 공진기의 구성을 나타내는 도면이다. 도 6의 구동부(640)는 도 5와 동일하나, 공동형 공진부(610, 620, 630, 650)의 구조가 도 5와 차이가 있다. 이미 상술한 것처럼, 2개의 서로 다른 공진 주파수를 생성할 수 있는 것 이외에는 도 5와 동일하므로 중복되는 설명은 생략하기로 한다.6 is a diagram illustrating a configuration of a tunable RF resonator according to another embodiment of the present invention. The driving unit 640 of FIG. 6 is the same as that of FIG. 5, but the structure of the cavity type resonators 610, 620, 630, and 650 is different from FIG. 5. As described above, since two different resonance frequencies may be generated, the same description as in FIG. 5 will be omitted.

도 7은 튜너블 RF 공진기를 보다 구체적으로 나타내는 평면도이다. 도 7을 참조하면, 상부 프레임(730) 및 구동부(740) 이외에 앵커(710) 및 연결부(750)를 더 포함한다. 기판은 공동형 공진부(720, 730) 및 구동부(740)를 지지한다. 앵커(710)는 상기 기판상에 형성되고, 연결부(750)는 앵커(710) 및 공동형 공진부(720, 730)의 상부 프레임(730) 또는 사이드 월(720)의 일 영역(720a)을 연결하여, 상부 프레임(730) 또는 사이드 월의 일 영역(720a)이 기판상에서 이동가능하도록 연결한다. 7 is a plan view illustrating the tunable RF resonator in more detail. Referring to FIG. 7, an anchor 710 and a connector 750 are further included in addition to the upper frame 730 and the driver 740. The substrate supports the cavity resonators 720 and 730 and the driver 740. An anchor 710 is formed on the substrate, and the connection portion 750 may form an area 720a of the upper frame 730 or the side wall 720 of the anchor 710 and the cavity resonators 720 and 730. In connection, the upper frame 730 or one region 720a of the side wall is connected to be movable on the substrate.

즉, 수평 방향으로 변위가 형성되는 경우 복수의 앵커(710)들 및 이들에 연결된 연결부(750)가 형성됨으로써, 구동부(740)의 이동 전극(740b)을 기판상에서 지지할 수 있게 한다.That is, when the displacement is formed in the horizontal direction, a plurality of anchors 710 and connecting portions 750 connected thereto are formed, thereby supporting the moving electrode 740b of the driving portion 740 on the substrate.

본 튜너블 RF 공진기의 공동형 공진부(720, 730)의 상부 프레임(730)은 사이드 월(720)의 일 영역에 고정되어 함께 이동 가능하고, 공동형 공진부(720, 730)의 하부 프레임은 사이드 월의 타 영역과 고정되도록 형성될 수 있다. 구체적으로, 도 7에서는 상부 프레임(730)에 사이드 월의 일 영역(720a)이 연결되고, 하부 프레임에 사이드 월의 타 영역(720b)이 연결되어 있도록 도시되어 있다. 하지만, 사이드 월(720)은 상부 프레임(730)에 사이드 월의 타 영역(720b)이 연결되고, 하부 프레임에 사이드 월의 일 영역(720a)가 연결되도록 형성될 수 있다. 다른 일 예로서, 사각형 모양의 사이드 월 영역의 대향하는 두 면이 상부 프레임에 연결되고, 그 나머지 대향하는 두 면이 하부 프레임에 연결되도록 형성될 수 있다. 이와 같이 다양하게 변형하여 연결 구조를 형성하는 것이 가능하다. The upper frame 730 of the cavity type resonators 720 and 730 of the tunable RF resonator is fixed to one region of the side wall 720 and movable together, and the lower frame of the cavity type resonators 720 and 730. The can be formed to be fixed to the other area of the side wall. Specifically, in FIG. 7, one region 720a of the side wall is connected to the upper frame 730, and the other region 720b of the side wall is connected to the lower frame. However, the side wall 720 may be formed such that the other area 720b of the side wall is connected to the upper frame 730, and the one area 720a of the side wall is connected to the lower frame. As another example, two opposite surfaces of the rectangular side wall region may be connected to the upper frame, and the remaining two opposite surfaces may be connected to the lower frame. It is possible to form a connection structure by various modifications as described above.

도 8은 수직 방향으로 변형 가능한 튜너블 RF 공진기의 구성을 나타내기 위한 도면이다. 도 8을 참조하면, 공동형 공진부(810, 820, 830, 850)는 하부 프레임(810), 사이드 월(820), 상부 프레임(830), 및 기판(850)을 포함할 수 있으며, 구동부는 전극부(840)를 포함할 수 있다.8 is a diagram for illustrating a configuration of a tunable RF resonator deformable in a vertical direction. Referring to FIG. 8, the cavity type resonators 810, 820, 830, and 850 may include a lower frame 810, a side wall 820, an upper frame 830, and a substrate 850. May include an electrode unit 840.

여기서 전극부(840)는 상부 프레임(830) 및 하부 프레임(810) 중 적어도 하나와 소정 거리 이격 배치되어, 외부 신호가 인가되면 상부 프레임(830) 및 하부 프레임(810) 중 적어도 하나를 풀링(pulling)하여 상부 프레임(830) 및 하부 프레임(810) 사이의 간격을 조정할 수 있다.The electrode unit 840 is spaced apart from the at least one of the upper frame 830 and the lower frame 810 by a predetermined distance, and when an external signal is applied, at least one of the upper frame 830 and the lower frame 810 is pulled ( pulling to adjust the spacing between the upper frame 830 and the lower frame 810.

일 예로서, 상부 프레임(830)은 캔틸리버(cantilever) 구조를 갖는 FBAR로 구성될 수 있으며, 상부 프레임(830) 및 하부 프레임(810)에 이격 배치되어 전극부(840)의 상부에 있는 상부 프레임(830)의 일 영역과 정전기력(electro-static force)이 작용하여, 상부 프레임(830)의 일 영역을 기판 쪽으로 풀링하는 것이 가능하다. 따라서, 공동형 공진부는 캐비티를 이룰 수 있게 되고, 주파수 튜닝이 가 능한 공진기를 제공할 수 있다. For example, the upper frame 830 may be configured of an FBAR having a cantilever structure, and the upper frame 830 is disposed on the upper frame 830 and the lower frame 810, and is disposed on the upper portion of the electrode part 840. One region of the frame 830 and an electro-static force act to pull one region of the upper frame 830 toward the substrate. Therefore, the cavity type resonator may form a cavity, and may provide a resonator capable of frequency tuning.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 누구든지 본 발명의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않는 범주 내에서 본 발명의 바람직한 실시 예를 다양하게 변경할 수 있음은 물론이다. 따라서 본 발명은 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어나지 않는다면 다양한 변형 실시가 가능할 것이며, 이러한 변형 실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다. Although the preferred embodiments of the present invention have been illustrated and described above, those skilled in the art to which the present invention pertains should preferably practice the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention. Of course, the examples can be changed in various ways. Therefore, various modifications may be made without departing from the spirit of the invention as claimed in the claims, and such modifications should not be individually understood from the technical spirit or outlook of the invention.

도 1은 주파수 튜닝이 가능한 종래 캐비티 구조의 공진기를 나타내는 도면.1 is a view showing a resonator of a conventional cavity structure capable of frequency tuning.

도 2는 캐비티의 모양에 따른 공진 주파수를 설명하기 위한 캐비티의 구성을 나타내는 도면.FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of a cavity for explaining a resonance frequency according to the shape of the cavity. FIG.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 튜너블 RF 공진기의 공동형 공진부의 구성을 나타내는 도면.3 is a view showing the configuration of a cavity-type resonator of the tunable RF resonator according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 튜너블 RF 공진기의 공동형 공진부의 구성을 나타내는 도면.4 is a view showing the configuration of a cavity-type resonator of the tunable RF resonator according to another embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 튜너블 RF 공진기의 구성을 나타내는 도면.5 is a view showing the configuration of a tunable RF resonator according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 튜너블 RF 공진기의 구성을 나타내는 도면.6 is a view showing the configuration of a tunable RF resonator according to another embodiment of the present invention.

도 7은 튜너블 RF 공진기를 보다 구체적으로 나타내는 평면도.7 is a plan view illustrating the tunable RF resonator in more detail.

도 8은 도 수직 방향으로 변형 가능한 튜너블 RF 공진기의 구성을 나타내기 위한 도면.8 is a diagram for illustrating a configuration of a tunable RF resonator deformable in a vertical direction in FIG.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

310, 410, 510, 610 : 하부 프레임 710 : 앵커 310, 410, 510, 610: lower frame 710: anchor

330, 430, 530, 630, 730, 830 : 상부 프레임330, 430, 530, 630, 730, 830: upper frame

550, 650, 850 : 기판 840 : 전극부550, 650, 850: substrate 840: electrode portion

320, 420, 520, 620, 720, 820 : 사이드 월 750 : 연결부 320, 420, 520, 620, 720, 820: Sidewall 750: Connection

Claims

A cavity resonator having a cavity; And,

And a driver configured to adjust the size of the cavity according to an external signal to tune the resonant frequency of the cavity-type resonator.

The method of claim 1,

The cavity resonator,

Upper frame;

A lower frame spaced apart from the upper frame; And,

And a sidewall formed between the upper frame and the lower frame to form the cavity.

The method of claim 2,

The driving unit,

RF tunable resonator, characterized in that for adjusting the spacing between the upper frame and the lower frame.

The method of claim 3,

The driving unit,

It is arranged to be spaced apart from at least one of the upper frame and the lower frame by a predetermined distance, and when the external signal is applied, at least one of the upper frame and the lower frame is pulled to reduce the distance between the upper frame and the lower frame. RF tunable resonator comprising a.

The method of claim 2,

The upper frame of the cavity resonator is fixed to one region of the side wall and is movable together,

And a lower frame of the cavity resonator is fixed to another region of the sidewall.

The method of claim 5,

The driving unit,

A moving electrode connected to the upper frame; And,

And a fixed electrode disposed to be spaced apart from the moving electrode by a predetermined distance and pulling the moving electrode to move the side wall region fixed to the upper frame and the upper frame when the external signal is applied.

The method of claim 2,

The driving unit,

A moving electrode connected to one region of the sidewall; And,

And a fixed electrode disposed to be spaced apart from the moving electrode by a predetermined distance and pulling the moving electrode to move one region of the sidewall when the external signal is applied.

The method of claim 2,

A substrate supporting the cavity resonator and the driver;

An anchor formed on the substrate; And,

An RF tunable further comprising a connection part connecting the anchor and the region of the upper frame or the side wall of the cavity resonator to move the region of the upper frame or the side wall on the substrate; Resonator.