KR20090035774A - 터치 센서 및 이를 이용한 터치 스크린 - Google Patents

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KR20090035774A
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김동한
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한국과학기술원
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Abstract

본 발명은 터치 센서 및 이를 이용한 터치 스크린에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 센서는 부유되어 고정 형성된 제1전극, 제1전극에 이격되고 부유되어 고정 형성된 제2전극 및 제1전극과 제2전극 사이에 존재하는 정전용량 값의 변화를 감지하는 정전용량 감지부를 포함한다.

Description

터치 센서 및 이를 이용한 터치 스크린{TOUCH SENSOR AND TOUCH SCREEN USING THEREOF}
본 발명은 터치 센서 및 이를 이용한 터치 스크린에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 접촉 또는 비접촉 방식으로 구동이 가능하고, 구조가 간단하여 소형화에 적합한 터치 센서 및 이를 이용한 터치 스크린에 관한 것이다.
도1의 (a) 내지 (b)는 종래의 터치 센서를 설명하기 위한 단면도이다. 먼저, 도1의 (a)는 종래의 터치 센서의 단면도이다. 도1의 (a)에 도시된 바와 같이, 종래의 터치 센서(100)는 상단전극(110)과 하단전극(120) 사이에 소정의 정전 용량 값(C)이 존재하고 있고, 상단전극(110)과 하단전극(120)은 절연기판(130) 아래에 위치하고, 절연기판(130)은 외부 장치가 접촉할 수 있는 터치부이다.
도1의 (b)를 참조하여 종래의 터치 센서(100)의 구동 방식을 설명한다. 도1의 (b)는 종래의 터치 센서(100)에 손가락 내지 터치용 펜 및 이에 준하는 터치 장비(140)로 접촉하여 압력을 가한 상태를 나타내는 단면도이다. 도1의 (b)에 도시된 바와 같이, 터치부가 되는 절연기판(130)을 손가락 또는 터치 장비(140)로 눌러 압력을 가해지면, 상단전극(110)은 압력을 전달받아 그 위치가 아래로 밀리게 된다. 따라서 상단전극(110)과 하단전극(120) 사이의 거리가 감소하게 되고, 그 거리의 감소에 따라 상단전극(110)과 하단전극(120) 사이에 유기되는 정전 용량 값(C')이 변화하게 된다. 손가락 또는 터치 장비(140)로 접촉하였을 때 정전 용량 값(C')은 접촉되지 않았을 때의 정전 용량 값(C)보다 커지므로 이 변화된 값을 측정하여 절연기판(130)에 손가락 또는 터치 장비(140)의 접촉여부를 감지한다.
도2의 (a) 내지 (b)는 종래의 터치 센서를 이용한 터치 스크린를 설명하기 위한 단면도이다. 먼저, 도2의 (a)는 종래의 터치 센서를 이용한 터치 스크린의 단면도이다. 도2의 (a)에 도시된 바와 같이, 상단전극(210)과 하단전극(220)으로 구성되는 단말 터치 센서들이 다수 배열된다. 상단전극(210)과 하단전극(220) 사이에는 소정의 정전 용량 값(C)이 존재한다. 다수의 단말 터치 센서들은 절연기판(230) 아래에 배치된다.
다음으로, 도2의 (b)를 참조하여 종래의 터치 센서를 이용한 터치 스크린을 구동 방식을 설명한다. 도2의 (b)는 종래의 터치 센서를 이용한 터치 스크린(200)에 손가락 또는 터치 장비(240)로 접촉하여 압력을 가한 상태를 모식적으로 나타낸 도면이다. 도2의 (b)에 도시된 바와 같이, 손가락 또는 터치 장비(240)가 접촉된 절연기판(230)의 일부분이 손가락 또는 터치 장비(240)의 압력 전달로 인하여 상단전극(210)이 눌려 하단전극(220)과의 거리가 감소한다. 이에 따라 상단전극(210)과 하단전극(220) 사이에 유기되는 정전 용량 값(C')이 변화하여, 주위의 다른 단말 터치 센서들의 상단전극(210)과 하단전극(220) 사이에 존재하는 정전 용량 값(C)들과 달라진다. 그 정전 용량 값의 변화(C에서 C')를 측정하여 접촉된 부위를 식별하여 터치 스크린(200)으로 작동한다.
이와 같이, 도1 내지 도2에 도시된 종래의 터치 센서와 이를 이용한 터치 스크린은 상단전극과 하단전극을 소정의 거리만큼 깊이를 두어 배치되므로, 다층의 구조가 동반된다. 따라서 소형 전자 기기의 두께를 감소시키기에는 한계가 있다. 또한, 정전 용량 값을 직접적으로 이용하지 않고, 물리적인 압력을 통해 2차적으로 구동하므로 구동구조가 단순하지 못하고 복잡하다는 문제점이 있다.
본 발명은 구조가 간단하여 소형화에 적합하며, 접촉 또는 비접촉 방식으로 구동이 가능한 터치 센서 및 이를 이용한 터치 스크린을 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 센서는 부유되어 고정 형성된 제1전극, 상기 제1전극에 이격되고, 부유되어 고정 형성된 제2전극 및 상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에 존재하는 정전용량 값의 변화를 감지하는 정전용량 감지부를 포함한다.
여기서, 상기 제1전극과 상기 제2전극은 동일 평면상에 형성되고, 상기 제1전극과 상기 제2전극 상의 절연기판을 더 포함하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 제1전극과 상기 제2전극은 빗살(comb)의 형상인 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 센서를 이용한 터치 스크린은 부유되어 고정 형성된 제1전극, 상기 제1전극에 이격되고, 부유되어 고정 형성된 제2전극 및 상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에 존재하는 정전용량 값의 변화를 감지하는 정전용량 감지부를 포함하되, 한 쌍의 상기 제1전극과 상기 제2전극이 행 또 는 열 방향으로 복수개가 배열된다.
여기서, 복수의 상기 제1전극과 상기 제2전극은 동일 평면상에 형성되고, 복수의 상기 제1전극과 상기 제2전극 상의 절연기판을 더 포함하는 것이 바람직하다.
여기서, 복수의 상기 제1전극과 상기 제2전극은 빗살(comb)의 형상인 것이 바람직하다.
본 발명은 구조가 간단하여 소형화에 적합하며, 접촉 또는 비접촉 방식으로 구동이 가능한 터치 센서 및 이를 이용한 터치 스크린을 제공한다.
도3의 (a) 내지 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 터치 센서를 설명하기 위한 도면이다.
도3의 (a)는 본 발명의 일 실시예에 따른 터치 센서(300)를 나타낸 도면이다. 도3의 (a)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 터치 센서(300)는 제1전극(310), 제2전극(320) 및 정전용량 감지부(330)를 포함한다.
제1전극(310) 및 제2전극(320)은 부유(floating)되어 고정 형성된다. 여기서, 부유(floating)되었다 함은 제1 및 제2전극이 접지되지 않음을 의미한다. 그리고 제1전극(310)과 제2전극(320)은 서로 이격되어 형성된다. 이러한 제1전극(310) 및 제2전극(320)은 도펀트(dopant)가 도핑(doping)된 다결정 실리콘(silicon), 반 도체 또는 도체로 이루어질 수 있다. 또한, 제1전극(310)과 제2전극(320) 사이에는 정전 용량 값(C1)이 존재한다.
정전용량 감지부(330)은 제1전극(310)과 제2전극(320) 사이의 정전용량 값의 변화를 감지한다. 이러한 정전용량 감지부(330)는 일반적으로 당업자에게 알려진 구성 또는 방법으로 구현될 수 있다.
도3의 (b)는 일 실시예에 따른 비접촉식 터치센서(300)의 구동방식을 모식적으로 나타낸 도면이다. 도3의 (b)에 도시된 바와 같이, 사용자의 필요에 의해 손가락 또는 터치 장비(340)가 접근하였을 때, 제1전극(310)과 제2전극(320) 사이에 존재하는 정전 용량 값(Ctotal)은 제1전극(310)과 손가락 또는 터치 장비(340) 사이에 존재하는 정전 용량 값(Ca), 제2전극(320)과 손가락 또는 터치 장비(340) 사이에 존재하는 정전 용량 값(Cb) 및 손가락 또는 터치 장비(340) 내부에 존재하는 정전 용량 값(Cc)이 직렬화된 값과 같다. 따라서 손가락 또는 터치 장비(340)가 접근하였을 때의 전체 정전 용량 값(Ctotal)은 손가락 또는 터치 장비(340)가 접근하지 않았을 때, 즉 도2의 (a)의 정전 용량 값(C1)과 다른 값을 갖는다. 이러한 정전 용량 값의 변화를 정전 용량 감지부(330)에서 감지하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 센서(300)에 손가락 또는 터지 장비(340)의 접근이 이루어졌음을 판단할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 터치 센서(300)를 도1에 도시된 종래의 정전 용량을 이용한 터치 센서(100)와 비교하면, 종래의 터치 센서(100)는 상단전극(110) 과 하단전극(120)이 절연기판(140) 아래에 수직으로 상하 배치되어 있다. 이러한 종래의 터치 센서(100)는 절연기판(140)이 외부의 물체에 의해 눌렸을 때, 상단전극(110)이 눌려 상단전극(110)과 하단전극(120) 사이의 정전 용량(130)에 변화가 생기게 하여 감지하는 방식이므로 물리적 압력에 바탕을 둔 정전 용량 감지 방식이고 직접적으로 정전 용량을 이용하는 것이 아닌 2차적인 구동 방식이다. 또한, 종래의 터치 센서(100)는 상단 전극(110)과 하단전극(120)을 깊이를 두고 배치하고 그 사이를 수직으로 이격시키므로 일정 두께가 필요하며 생산 과정에 다층 구조가 동반된다. 아울러 정전 용량을 직접적으로 이용하지 않고 물리적 압력을 통해 2차적으로 이용하므로 구동 구조가 단순하지 않고 복잡하다. 반면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 센서(300)는 제1전극(310) 및 제2전극(320)은 부유되고, 서로 이격되어 고정 형성된다. 더욱이 도3에 도시된 바와 같이, 제1전극(310)과 제2전극(320)이 동일 평면 상에 수평으로 배치되고, 터치 센서(300)의 깊이가 단층에 불과하고 정전 용량 값의 변화를 직접적으로 이용하기 때문에, 구동 구조가 단순하여 그 활용이 용이하다. 또한, 정전 용량 값을 직접적으로 이용하는 방식이므로 접촉식이 아닌 비접촉식으로도 구동될 수 있는 특성이 있다. 따라서 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 센서(300)는 터치 센서뿐만 아니라 스위치, 터치 스크린 및 터치를 기반으로 하는 각종 구동 및 감지 장치로 활용될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 터치 센서(300)는 제1전극(310)과 제2전극(320) 사이의 정전 용량 값을 이용하고, 접지점을 갖지 않는 부유전극인 제1 및 제2전극(310, 320) 사이의 차동값만을 감지하게 된다. 접지점을 갖지 않는 부유전 극인 제1 및 제2전극(310, 320) 사이의 차동값만을 감지하였을 때의 이점으로는 첫째, 제1전극(310)과 제2전극(320) 사이만을 감지 대상으로 하므로, 전체적인 터치 센서(300)의 구조가 매우 간단해지고, 외부 자극에 의한 감지가 용이하다. 둘째, 부유전극인 제1 및 제2전극(310, 320)은 접지점을 요구하지 않으므로, 접지점을 통해 인가되는 기생 정전 용량 값에 의한 영향을 방지할 수 있어 감지 대상의 정전 용량 값에 신뢰를 더할 수 있다. 셋째, 외부의 노이즈(잡음)에 강하다. 넷째, 제1 및 제2전극(310, 320) 자체의 정전 용량 값을 요구하지 않으므로, 제1 및 제2전극(310, 320)을 구현함에 있어 구조를 더욱 간단하게 할 수 있고, 구조를 변형함에 있어서의 제약 조건이 적다. 다섯째, 배선 구조를 간략화시킬 수 있고, 제1 및 제2전극(310, 320)의 층을 단층화할 수 있어 소형화와 고집적에 유리하다. 여섯째, 제1 및 제2전극(310, 320) 사이의 정전 용량 값만으로 그 변화를 감지하는 방식이므로 두 전극 사이의 정전 용량 값을 측정할 수 있는 일반적인 측정 방법만으로 쉽게 시스템을 구현할 수 있다. 일곱째, 원거리에서의 접근도 식별할 수 있으며 손가락 또는 터치 장비의 정전 용량 값을 직접적으로 이용하므로, 정전 용량 값의 변화 추이가 직관적이다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 센서(300)는 정전 용량 값을 직접적으로 이용하는 구조로 서로 이격되어 고정 형성되고, 부유된 제1전극(310)과 제2전극(320) 사이와 손가락 또는 터치 장비(340) 사이에 정전 용량 값이 유기되는 매체의 유전율(dielectric constant)의 영향을 크게 받는다. 따라서 정전 용량 값이 유기되는 매체의 유전율을 조절하여 원하는 정전 용량 값의 변화를 이끌어내고 활 용할 수 있다. 예를 들면, 상온상압의 공기 속이나 진공 혹은 특정 기체의 패키징을 통한 매체 속에서 구현될 수 있고, 특정 유전율을 갖는 물질을 이용한 절연기판이나 스크린, 필름 내에서 구현될 수도 있다. 또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 센서(300)에 접촉을 야기하는 손가락 또는 터치 장비(340)에 있어서, 정전 용량 값의 변화를 더욱 크게 또는 작게 만드는 물질을 터치용 펜 및 이에 준하는 터치 장비의 재료로 사용하여 다양한 터치 센서 양상을 구현할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에서 제1 및 제2 전극(310, 320)이 동일 평면 상에 수평 방향으로 배치되었으나, 이러한 배치는 예시적인 것으로서 제1 및 제2전극이 서로 전기적으로 절연되어 있고, 전극 사이에 형성되는 정전 용량 값에 변화를 줄 수만 있으면 그 위치는 제한되지 않는다.
도4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 터치 센서(400)의 단면도이다. 도4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 터치 센서(400)는 제1전극(410), 제2전극(420), 정전 용량 감지부(430) 및 절연기판(450)을 포함한다. 부유전극인 제1전극(410)과 제2전극(420)은 서로 이격되어 형성되고, 제1전극(410)과 제2전극(420) 상에 절연기판(450)이 형성된다. 여기서, 절연기판(450)은 다양한 유전율을 갖는 물질들을 이용하여 정전 용량 값과 그 변화를 조절하도록 제작될 수 있다. 또한, 절연기판(450)은 절연성을 갖고 높은 정밀도로 평평하게 형성할 수 있는 유리 기판, 세라믹 기판 또는 실리콘 기판으로 이루어질 수 있다. 또한 구부러질 수 있는 탄력성을 갖는 기판으로 이루어질 수 있다.
제1전극(410)과 제2전극(420) 사이에는 정전 용량 값이 존재하고, 사용자에 의해 손가락 또는 터치 장비(440)가 접근하는 경우에, 제1전극(410)과 제2전극(420) 사이에 존재하는 전체 정전 용량 값(Ctotal)은 제1전극(410)과 손가락 또는 터치 장비(440) 사이에 존재하는 정전 용량 값(Ca), 제2전극(420)과 손가락 또는 터치 장비(440) 사이에 존재하는 정전 용량 값(Cb) 및 손가락 또는 터치 장비(440) 내부에 존재하는 정전 용량 값(Cc)이 직렬화된 값과 같다. 전체 정전 용량 값(Ctotal)은 손가락 또는 터치 장비(440)가 접근하지 않았을 때의 정전 용량 값과 다른 값을 갖는다. 따라서 본 발명의 다른 실시예에 따른 터치 센서(400)는 정전 용량 값의 변화를 정전용량 감지부(430)에서 감지하여 절연기판(450)에 손가락 또는 터치 장비(440)가 근접하였는지 여부를 판단하게 된다.
뿐만 아니라, 손가락 또는 터치 장비(440)가 절연기판(450)에 접촉하는 경우에도 제1 및 제2전극 사이에 존재하는 정전 용량 값의 변화를 감지하여 절연기판(450)에 손가락 또는 터치 장비(440)가 근접하였는지 여부를 판단할 수 있다.
또한, 손가락 또는 터치 장비(440)가 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 센서(400)에 접근여부, 접촉여부 또는 접근 및 접촉을 하지 않았는지의 각 경우들을 정전 용량 값의 변화 추이로 감지할 수 있다. 이러한 식별을 통해 임의의 위치에서 접근, 접촉, 접근 및 접촉하지 않은 경우를 감지하여 활용할 수 있다. 따라서 본 발명의 다른 실시예에 따른 터치 센서(400)는 접촉/비접촉 타입의 스위치, 터치 센서, 다수 터치 센서의 배치 내지 터치 스크린 및 이를 활용한 각종 터치 장치에 활용될 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에서 제1 및 제2 전극(410, 420)이 동일 평면 상에 수평 방향으로 배치되었으나, 이러한 배치는 예시적인 것으로서 제1 및 제2전극이 서로 전기적으로 절연되어 있고, 전극 사이에 형성되는 정전 용량 값에 변화를 줄 수 있으면 그 위치는 제한되지 않는다.
도5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 터치 스크린(500)를 나타낸 도면이다. 도5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 터치 스크린(500)은 한 쌍의 제1전극(510)과 제2전극(520)이 행 또는 열 방향으로 다수개가 배열된다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 터치 스크린(500)에 손가락 또는 터치 장비(530)를 접근하면, 제1 및 제2전극(510, 520) 사이에 존재하는 정전 용량 값이 손가락 내지 터치 장비(530) 내의 정전 용량과 직렬화되어 변하게 된다. 이러한 정전 용량 값의 변화를 정전용량 감지부에서 감지하여 터치 스크린(500)에서의 손가락 또는 터치 장비(530)가 위치한 해당 위치(540)를 식별할 수 있다. 여기서, 정전용량 감지부는 도3에 도시된 바와 같이, 다수의 전극들 각각에 전기적으로 연결되어 구성될 수 있음은 당연하다.
도6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 터치 스크린(600)을 나타낸 도면이다. 도6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 터치 스크린(600)은 도5에 도시된 터치 스크린(500)에 절연기판(650)이 추가된다. 도6에서 점선으로 표시된 제1 및 제2 전극(610, 620)은 위에서 내려다보았을 때를 기준으로 절연기판(650)의 수직 아래에 서로 이격되어 배치된다. 여기에 손가락 또는 터치 장비(630)를 접근 내지 접촉하였을 때 제1 및 제2전극(610, 620) 사이에 존재하는 정전 용량 값이 손가락 또는 터치 장비(620) 내의 정전 용량 값과 직렬화되어 값이 변하게 되고, 해당 위치(640)의 정전 용량 값 변화를 도3에 도시된 정전용량 감지부를 구비함으로써, 해당 위치(640)를 식별할 수 있다.
도7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 빗장(Comb) 형상의 터치 센서를 나타낸 도면이다. 도7에 도시된 바와 같이, 위에서 내려다보았을 때를 기준으로 빗장 형상의 제1전극(710)과 제2전극(720)이 서로 이격되어 위치한다. 여기서, 추가적으로 제1 및 제2전극(710, 720) 상에 절연기판이 추가될 수도 있다. 제1전극(710)과 제2전극(720) 사이(730)에는 정전 용량 값이 존재하며, 손가락 또는 터치 장비를 접근 내지 접촉하면, 전극 사이 영역(730)의 정전 용량 값의 변화를 도3에 도시된 정전용량 감지부를 구비함으로써, 터치 영역(730)을 식별할 수 있다. 이러한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 빗장 형상의 터치 센서(700)는 터치 스크린 및 각종 터치 장비에서 각 전극 사이의 정전 용량 값과 그 변화값의 증가가 필요할 경우에 빗장 모양의 전극 구조를 사용함으로써 특성의 개선을 이루어낼 수 있다. 여기서, 빗장 모양은 일례이며 이외에 기하학적으로 다양한 구조의 형상 변형을 활용할 수 있음은 당연하다.
도8은 본 발명의 도6에 도시된 터치 스크린을 지문(Fingerprint) 센서로 활용한 단면도이다. 도8에 도시된 바와 같이, 다수의 제1 및 제2전극(810, 820)들이 손가락(830)의 지문(840)을 감지할 수 있을 만큼 충분히 작게 형성되면, 제1 및 제2전극이 지문(840)의 좌우에 배치하게 된다. 따라서 지문(840)에 의한 제1전극(810)과 제2전극(820) 사이의 정전 용량 값의 변화를 정전 용량 감지부(미도시)에서 감지하여 지문의 식별이 가능하다. 구체적으로는 절연기판(850)에 손가락(830)을 접촉한 경우에, 절연기판(850)에 접촉되는 돌출된 각 지문들 중 한 지문(840)을 기준으로 하여 제1전극(810)과 제2전극(820) 사이에 정전 용량 값(Ca, Cb)이 해당 지문(840)의 돌출 부분에 존재하는 정전 용량(Cc)과 직렬화되어 그 값이 변화하게 된다. 그 정전 용량 값의 변화를 정전 용량 감지부에서 측정하여 지문의 접촉을 감지하게 된다. 한편, 지문이 돌출되지 않은 부분 아래에 위치하는 전극들 사이의 정전 용량 값은 상대적으로 변화가 없다. 이러한 지문 감지를 각 전극들이 수행하고 측정치를 모두 수집하여 손가락에 대한 지문 형상과 패턴을 감지할 수 있다. 그리고 다수의 각 전극들의 배열을 통해 동시 다발적 지문 감지 센서 및 각종 지문 감지 장치로 활용될 수 있다.
이상에서 보는 바와 같이, 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어 지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
도1의 (a) 내지 (b)는 종래의 터치 센서를 설명하기 위한 단면도이다.
도2의 (a) 내지 (b)는 종래의 터치 센서를 이용한 터치 스크린를 설명하기 위한 단면도이다.
도3의 (a) 내지 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 터치센서를 설명하기 위한 도면이다.
도4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 터치 센서의 단면도이다.
도5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 터치 스크린을 나타낸 도면이다.
도6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 터치 스크린을 나타낸 도면이다.
도7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 빗장(Comb) 형상의 터치 센서를 나타낸 도면이다.
도8은 본 발명의 도6에 도시된 터치 스크린을 지문(Fingerprint) 센서로 활용한 단면도이다.

Claims (6)

  1. 부유되어 고정 형성된 제1전극;
    상기 제1전극에 이격되고, 부유되어 고정 형성된 제2전극; 및
    상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에 존재하는 정전용량 값의 변화를 감지하는 정전용량 감지부
    를 포함하는, 터치 센서.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1전극과 상기 제2전극은,
    동일 평면상에 형성되고, 상기 제1전극과 상기 제2전극 상의 절연기판을 더 포함하는, 터치 센서.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1전극과 상기 제2전극은,
    빗살(comb)의 형상인, 터치 센서.
  4. 부유되어 고정 형성된 제1전극, 상기 제1전극에 이격되고, 부유되어 고정 형성된 제2전극 및 상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에 존재하는 정전용량 값의 변화를 감지하는 정전용량 감지부를 포함하되, 한 쌍의 상기 제1전극과 상기 제2전극 이 행 또는 열 방향으로 복수개가 배열된, 터치 스크린.
  5. 제4항에 있어서,
    복수의 상기 제1전극과 상기 제2전극은 동일 평면상에 형성되고, 복수의 상기 제1전극과 상기 제2전극 상의 절연기판을 더 포함하는, 터치 스크린.
  6. 제4항에 있어서,
    복수의 상기 제1전극과 상기 제2전극은,
    빗살(comb)의 형상인, 터치 스크린.
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