KR20090035106A - 반도체 제조 설비의 이송 장치 - Google Patents

반도체 제조 설비의 이송 장치 Download PDF

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KR20090035106A
KR20090035106A KR1020070100183A KR20070100183A KR20090035106A KR 20090035106 A KR20090035106 A KR 20090035106A KR 1020070100183 A KR1020070100183 A KR 1020070100183A KR 20070100183 A KR20070100183 A KR 20070100183A KR 20090035106 A KR20090035106 A KR 20090035106A
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김우성
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 제조 설비의 웨이퍼 또는 복수 매의 웨이퍼들이 탑재된 카세트를 이송하는 이송 장치에 관한 것이다. 이송 장치는 이송 로봇이 웨이퍼 또는 카세트를 집은 상태와 집지 않은 상태에 대응하여 가변적으로 이송 속도를 제어한다. 예를 들어, 이송 로봇이 웨이퍼 또는 카세트를 집은 상태이면, 이송 로봇이 웨이퍼 또는 카세트를 집지 않은 상태보다 이송 속도의 가속 구간과 감속 구간을 각각 50 퍼센트 줄이도록 제어한다. 따라서 본 발명에 의하면, 반도체 제조 설비의 공정 처리시, 웨이퍼의 손상없이 가변적으로 이송 속도를 조절함으로써, 웨이퍼 또는 카세트의 반송 시간을 줄일 수 있으며, 그 결과 생산성 향상 및 공정 정밀 제어가 가능하다.
반도체 제조 설비, 이송 장치, 웨이퍼, 카세트, 이송 속도, 가속, 감속

Description

반도체 제조 설비의 이송 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING WAFER OR CASSETTE OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT}
본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 웨이퍼 또는 카세트의 유무에 따라 가변적으로 이송 속도를 조절하는 반도체 제조 설비의 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정들 예를 들어, 확산(diffusion), 증착, 세정 및 식각 공정 등을 처리하는 반도체 제조 설비는 하나의 웨이퍼를 처리하는 매엽식, 또는 복수 매의 웨이퍼들을 처리하는 복엽식 등이 있다. 예를 들어, 복엽식의 반도체 제조 설비는 카세트 단위로 공정을 처리한다.
이러한 반도체 제조 설비는 적어도 하나의 이송 로봇을 구비하고, 각 처리 유닛들 예를 들어, 이송 로봇과 처리조 또는 이송 로봇들 사이에서 웨이퍼 또는 카세트를 이송한다. 이 때, 이송 로봇은 이송 속도를 일정하게 유지하며 웨이퍼 또는 카세트를 이송하는데, 이는 이송 로봇의 이송 속도를 일정 속도 이상으로 증가시키는 경우, 이송 중 웨이퍼에 충격을 주어서 웨이퍼가 파손되는 현상이 발생되므로 이를 방지하기 위함이다.
따라서 일반적인 반도체 제조 설비의 이송 로봇은 이송 중에 웨이퍼로 가해지는 충격을 완화시키기 위하여 이송 속도를 낮추어 동일한 속도로 웨이퍼를 이송한다. 또 이러한 이송 로봇은 웨이퍼의 유무에 관계없이 가속 구간 및 감속 구간에서 동일한 속도로 이송된다. 예를 들어, 풉(FOUP) 등의 카세트로부터 웨이퍼를 잡은 상태(wafer grip) 또는 복수 매의 웨이퍼들이 탑재된 카세트를 잡은 상태(FOUP grip)에서도 동일한 속도로 이송된다.
그러므로 종래의 이송 로봇은 웨이퍼 또는 카세트가 없는 상태에서도 일정 속도로 이동함으로써, 설비의 반송 시간 및 생산성(throughput) 향상에 저해된다.
본 발명의 목적은 웨이퍼 및 카세트의 유무에 따라 이송 속도를 달리하는 웨이퍼 이송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 생산성을 향상시키기 위한 웨이퍼 이송 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 이송 장치는 웨이퍼 및 카세트의 유무에 따라 가변적으로 이송 속도를 조절하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같이 이송 장치는 생산성을 향상시킨다.
본 발명의 이송 장치는, 웨이퍼 또는 카세트를 이송하는 이송 로봇과; 상기 이송 로봇이 웨이퍼 또는 카세트를 집었는지를 감지하는 센서와; 상기 이송 로봇을 구동하는 구동부 및; 상기 센서로부터 상기 이송 로봇이 웨이퍼 또는 카세트를 집은 상태가 감지되면, 상기 구동부를 제어하여 상기 이송 로봇의 이송 속도를 가변적으로 조절하는 제어부를 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 제어부는; 상기 이송 로봇이 웨이퍼 또는 카세트를 집은 상태이면, 상기 이송 로봇이 웨이퍼 또는 카세트를 집지 않은 상태보다 상기 이송 속도의 가속 구간과 감속 구간을 각각 50 퍼센트 줄이도록 상기 구동부를 제어한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 이송 장치는 웨이퍼 및 카세트의 유무에 따라 가변적으로 이송 속도를 조절함으로써, 생산성 향상 및 공정 정밀 제어가 가능하다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 이송 장치의 구성을 도시한 블럭도이다.
도 1을 참조하면, 먼저 반도체 제조 설비는 도면에는 도시되지 않았지만, 예컨대 복수 매의 웨이퍼들이 탑재된 복수 개의 카세트(또는 FOUP)들이 로딩되는 로드 포트와, 본 발명의 이송 장치(100)가 설치되는 인덱스 및 적어도 하나의 공정을 처리하는 처리 유닛들을 포함한다. 따라서 이송 장치(100)는 카세트로부터 하나의 웨이퍼 또는 하나의 카세트를 집어서 처리 유닛들로 이송한다.
즉, 본 발명의 이송 장치(100)는 웨이퍼 또는 복수 매의 웨이퍼들이 탑재된 카세트(또는 FOUP)를 집어서 다른 처리 유닛(예를 들어, 처리조 또는 다른 이송 장 치 등)들로 이송하는 이송 로봇(110)과, 이송 로봇(110) 일측에 구비되어 이송 로봇(110)이 웨이퍼 또는 카세트를 집었는지를 감지하는 센서(106)와, 이송 로봇(110)을 구동하는 구동부(104) 및, 센서(106)로부터 이송 로봇(110)이 웨이퍼 또는 카세트를 집은 상태가 감지되면, 이송 로봇(110)의 이송 속도를 가변적으로 조절되게 구동부(104)를 제어하는 제어부(102)를 포함한다.
제어부(102)는 예를 들어, 반도체 제조 설비(미도시됨) 및 이송 장치(100)의 제반 동작을 제어하는 컨트롤러, 프로그램어블 로직 컨트롤러(PLC) 및 컴퓨터 등으로 구비되어, 센서(102)로부터 감지된 결과, 이송 로봇(110)이 웨이퍼 또는 카세트를 집은 상태이면, 이송 로봇(110)이 웨이퍼 또는 카세트를 집지 않은 상태보다 이송 속도의 가속 구간과 감속 구간을 각각 50 퍼센트 줄이도록 구동부(104)를 제어한다.
즉, 제어부(102)는 이송 로봇(110)이 풉(FOUP) 등의 카세트로부터 웨이퍼를 잡은 상태(wafer grip) 또는 복수 매의 웨이퍼들이 탑재된 카세트를 잡은 상태(FOUP grip)에서는 웨이퍼의 손상을 방지하도록 가속 구간 및 감속 구간의 이송 속도를 늘리고, 그렇지 않은 경우는 가속 구간 및 감속 구간의 이송 속도를 줄여서 신속하게 이동한다.
그러므로 본 발명의 이송 장치(100)는 반도체 제조 설비의 공정 처리시, 웨이퍼의 손상없이 가변적으로 이송 속도를 조절하여 웨이퍼 또는 카세트의 반송 시간을 줄일 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 장치의 동작 수순을 도시한 흐름도이다. 이 수순 은 제어부(102)가 처리하는 프로그램으로, 이 프로그램은 제어부(102)의 메모리(미도시됨)에 저장된다. 또 도 3은 도 2의 실시예에서 웨이퍼 또는 카세트를 집지 않은 상태에서 이송 속도의 가속 구간 및 감속 구간을 동일하게 제어한 것을 나타내고, 도 4는 도 2의 실시예에서 웨이퍼 또는 카세트를 집은 상태에서 이송 속도의 가속 구간 및 감속 구간을 가변적으로 제어한 것을 나타내는 도면이다.
도 2를 참조하면, 단계 S150에서 이송 로봇(110)이 웨이퍼 또는 카세트를 집었는지를 판별한다. 즉, 센서(106)로부터 이송 로봇(110)이 웨이퍼 또는 카세트를 집었는지를 감지하여 제어부(102)로 전송하여 그 상태를 판별한다.
판별 결과, 이송 로봇(110)이 웨이퍼 또는 카세트를 집었으면, 이 수순은 단계 S152으로 진행하여 이송 로봇(110)의 가속 구간에서 약 2000 mm/sec, 감속 구간에서 약 4000 mm/sec의 이송 속도로 이송하도록 구동부(104)를 제어한다.
그리고 판별 결과, 이송 로봇(110)이 웨이퍼 또는 카세트를 집지 않았으면, 이 수순은 단계 S154으로 진행하여 이송 로봇(110)의 가속 구간에서 약 1000 mm/sec, 감속 구간에서 약 2000 mm/sec의 이송 속도로 이동하도록 구동부(104)를 제어한다.
그러므로 이송 장치(100)는 이송 로봇(110)이 웨이퍼 또는 카세트를 집은 상태이면, 이송 로봇(110)이 웨이퍼 또는 카세트를 집지 않은 상태보다 가속 구간과 감속 구간의 이송 속도를 각각 50 퍼센트 줄인다. 그 결과, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 이송 장치(100)는 종래기술의 것보다 이송 시간이 기존 대비 약 30 ~ 50 % 정도 단축 가능하다.
따라서 본 발명의 이송 장치(100)는 이송 로봇(110)이 웨이퍼 또는 카세트를 집었으면, 웨이퍼의 손상을 방지하도록 이송 속도를 줄이고, 이송 로봇((110)이 웨이퍼 또는 카세트를 집지 않았으면, 이송 속도를 늘여서 신속하게 이동할 수 있다.
이상에서, 본 발명에 따른 이송 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 구성을 도시한 블럭도;
도 2는 도 1에 도시된 웨이퍼 이송 장치의 동작 수순을 도시한 흐름도; 그리고
도 3 및 도 4는 종래기술과 본 발명에 따른 가속 구간 및 감속 구간을 비교한 도면들이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 웨이퍼 이송 장치
102 : 제어부
104 : 구동부
106 : 센서
110 : 이송 로봇

Claims (2)

  1. 반도체 제조 설비의 이송 장치에 있어서:
    웨이퍼 또는 카세트를 이송하는 이송 로봇과;
    상기 이송 로봇이 웨이퍼 또는 카세트를 집었는지를 감지하는 센서와;
    상기 이송 로봇을 구동하는 구동부 및;
    상기 센서로부터 상기 이송 로봇이 웨이퍼 또는 카세트를 집은 상태가 감지되면, 상기 구동부를 제어하여 상기 이송 로봇의 이송 속도를 가변적으로 조절하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는;
    상기 이송 로봇이 웨이퍼 또는 카세트를 집은 상태이면, 상기 이송 로봇이 웨이퍼 또는 카세트를 집지 않은 상태보다 상기 이송 속도의 가속 구간과 감속 구간을 각각 50 퍼센트 줄이도록 상기 구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 이송 장치.
KR1020070100183A 2007-10-05 2007-10-05 반도체 제조 설비의 이송 장치 KR20090035106A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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