KR20090023301A - 삼차원 형상 측정용 엘티피 시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
Diameter | 40mm |
Effective Focal Length | 500mm |
Back Focal Length | 492.5609mm |
MTF | Diffraction Limited |
Distortion | <0.000001 |
Claims (7)
- 피측정체에 레이저빔을 조사하고, 상기 피측정체로부터 반사된 레이저빔의 위치를 이용하여 상기 피측정체의 형상을 측정하는 엘티피시스템에 있어서,레이저빔을 출력하는 광원부;상기 광원부에서 출력된 레이저빔이 지나는 경로상에 위치하며, 전기적인 제어에 의해 입사된 레이저빔을 평행하게 경로를 변경시켜 출력하는 제2축스캐너부;피측정체의 측정면 위에서 제1축 방향으로 이동하는 이송부;적어도 일부가 상기 이송부에 구비되어 상기 이송부와 함께 이동하며, 상기 제2축스캐너부로부터 출력된 레이저빔이 피측정체에 조사되도록 상기 제2축스캐너부로부터 출력된 레이저빔의 경로를 조절하고, 상기 피측정체로부터 반사된 레이저빔의 경로를 조절하여 출력하는 빔경로조절부;상기 빔경로조절부로부터 출력된 레이저빔의 경로상에 위치하며, 상기 레이저빔이 입사된 위치를 이용하여 상기 피측정체의 표면 중 상기 레이저빔이 조사된 위치의 각도를 연산하여 상기 피측정체의 표면의 형상을 연산하는 형상연산부; 및상기 이송부가 정지된 상태에서상기 광원부에서 출력된 레이저빔이 평면 상에서 상기 제1축과 직각방향인 제2축방향으로 이동되어 상기 피측정체의 표면의 제2축 방향이 스캔되도록 상기 제2축스캔부를 제어하고, 상기 제2축방향의 스캔이 완료되면 기본단위만큼 상기 이송부가 상기 제1축 방향으로 이동하도록 상기 이송부를 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상측정용 엘티피 시 스템.
- 제1항에 있어서, 상기 빔경로조절부는상기 제2축 스캐너부로부터 출력된 레이저빔이 지나가는 경로 상에 위치하며, 상기 레이저빔의 제1편광은 투과시키고, 제2편광은 반사시키는 반사면을 구비한 편광빔분할프리즘;상기 이송부상에 고정되어 상기 이송부의 이동에 따라 이동하며, 상기 편광빔분할프리즘으로부터 반사된 레이저빔을 반사시켜 상기 피측정체로 조사되도록 하고, 상기 피측정체로부터 반사된 레이저빔을 반사시켜 상기 형상연산부 방향으로 출력하는 펜타프리즘;을 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상측정용 엘티피 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 엘티피시스템은빔분할부, 제1반사부, 제2반사부, 제3반사부, 제4반사부, 제5반사부, 제6반사부, 제7반사부, 제8반사부, 제9반사부, 제10반사부, 제11반사부 및 롤떨림오차연산부를 더 구비하며,상기 빔분할부, 상기 제1반사부, 상기 제2반사부, 상기 제10반사부는 상기 광원부와 상기 이송부 사이에 위치하고, 상기 제1축을 중심으로 제1방향에 위치한 제1영역에 위치하고,상기 제3반사부, 상기 제7반사부는 상기 이송부 상에 위치하고, 상기 제1축 을 중심으로 상기 제1방향에 위치한 제2영역에 위치하고,상기 제6반사부는 상기 이송부를 중심으로 상기 광원부 반대편에 위치하며, 상기 제1축을 중심으로 상기 제1방향에 위치한 제3영역에 위치하고,상기 제11반사부, 상기 제9반사부는 상기 광원부와 상기 이송부 사이에 위치하고, 상기 제1축을 중심으로 제2방향에 위치한 제4영역에 위치하고,상기 제4반사부, 상기 제8반사부는 상기 이송부 상에 위치하고, 상기 제1축을 중심으로 상기 제2방향에 위치한 제5영역에 위치하고,상기 제5반사부는 상기 이송부를 중심으로 상기 광원부 반대편에 위치하며, 상기 제1축을 중심으로 상기 제2방향에 위치한 제6영역에 위치하며,상기 빔분할부는 상기 레이저빔의 일부는 투과시키고, 일부는 상기 제11반사부로 반사시키며,상기 제1반사부는 상기 빔분할부로부터 투과된 레이저빔의 경로상에 위치하여 상기 투과된 레이저빔이 상기 제2반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있고,상기 제2반사부는 상기 제1반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제3반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제3반사부는 상기 제2반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제4반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제4반사부는 상기 제3반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제5반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제5반사부는 상기 제4반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제6반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제6반사부는 상기 제5반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제7반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제7반사부는 상기 제6반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제8반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제8반사부는 상기 제7반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제9반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제9반사부는 상기 제8반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제10반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제10반사부는 상기 제9반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제11반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제11반사부는 상기 제10반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 빔분할부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 롤떨림오차연산부는 상기 제11반사부로부터 반사되어 상기 빔분할부를 투과한 레이저빔이 입사된 위치를 이용하여 상기 이송부가 축방향으로 회전함으로써 발생하는 롤떨림오차를 연산하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상측정용 엘티피 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 엘티피시스템은빔분할부, 제1반사부, 제2반사부, 제3반사부, 제4반사부, 제5반사부, 제6반사부, 제7반사부, 제8반사부, 제9반사부 및 롤떨림오차연산부를 더 구비하며,상기 빔분할부, 상기 제1반사부, 상기 제2반사부, 상기 제3반사부, 상기 제7반사부는 상기 광원부와 상기 이송부 사이에 위치하고, 상기 제1축을 중심으로 제1방향에 위치한 제1영역에 위치하고,상기 제6반사부는 상기 이송부 상에 위치하고, 상기 제1축을 중심으로 상기 제1방향에 위치한 제2영역에 위치하고,상기 제9반사부, 상기 제8반사부, 상기 제4반사부는 상기 광원부와 상기 이송부 사이에 위치하고, 상기 제1축을 중심으로 제2방향에 위치한 제3영역에 위치하고,상기 제5반사부는 상기 이송부 상에 위치하고, 상기 제1축을 중심으로 상기 제2방향에 위치한 제4영역에 위치하며,상기 빔분할부는 상기 레이저빔의 일부는 투과시키고, 일부는 상기 제9반사부로 반사시키며,상기 제1반사부는 상기 빔분할부로부터 투과된 레이저빔의 경로상에 위치하여 상기 투과된 레이저빔이 상기 제2반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있고,상기 제2반사부는 상기 제1반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제3반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제3반사부는 상기 제2반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제4반사부 로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제4반사부는 상기 제3반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제5반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제5반사부는 상기 제4반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제6반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제6반사부는 상기 제5반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제7반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제7반사부는 상기 제6반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제8반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제8반사부는 상기 제7반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제9반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제9반사부는 상기 제8반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 빔분할부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 롤떨림오차연산부는 상기 제9반사부로부터 반사되어 상기 빔분할부를 투과한 레이저빔이 입사된 위치를 이용하여 상기 이송부가 축방향으로 회전함으로써 발생하는 롤떨림오차를 연산하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상측정용 엘티피 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 엘티피시스템은빔분할부, 제1반사부, 제2반사부, 제3빔분할부, 제4빔분할부, 제5반사부, 제 6반사부, 제7빔분할부, 제8빔분할부, 제9반사부 및 롤떨림오차연산부를 더 구비하며,상기 빔분할부, 상기 제1반사부, 상기 제2반사부, 상기 제3빔분할부, 상기 제4반사부는 상기 광원부와 상기 이송부 사이에 위치하고, 상기 제1축을 중심으로 제1방향에 위치한 제1영역에 위치하고,상기 제5반사부 상기 이송부 상에 위치하고, 상기 제1축을 중심으로 상기 제1방향에 위치한 제2영역에 위치하고,상기 제9반사부, 상기 제8빔분할부, 상기 제7빔분할부는 상기 광원부와 상기 이송부 사이에 위치하고, 상기 제1축을 중심으로 제2방향에 위치한 제3영역에 위치하고,상기 제6반사부 상기 이송부 상에 위치하고, 상기 제1축을 중심으로 상기 제2방향에 위치한 제4영역에 위치하며,상기 빔분할부는 상기 레이저빔의 일부는 투과시키고, 일부는 상기 제9반사부로 반사시키며,상기 제1반사부는 상기 빔분할부로부터 투과된 레이저빔의 경로상에 위치하상기 제3빔분할부는 상기 제4빔분할부로부터 입사된 레이저빔의 일부는 상기 제4빔분할부로 투과되고, 일부는 상기 제8빔분할부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제4빔분할부는 상기 제3빔분할부로부터 반사된 레이저빔의 일부는 상기 제5반사부로 투과되고, 일부는 상기 제7빔분할부로 반사되도록 반사면의 방향이 고 정되어 있으며,상기 제5반사부는 상기 제4빔분할부로부터 투과된 레이저빔이 상기 제6반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제6반사부는 상기 제5반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제7빔분할부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제7빔분할부는 상기 제6반사부로부터 반사된 레이저빔의 일부는 상기 제8빔분할부로 투과되고, 일부는 상기 제4빔분할부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제8빔분할부는 상기 제9반사부로부터 반사된 레이저빔의 일부는 상기 제7빔분할부로 투과되고, 일부는 상기 제3빔분할부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제9반사부는 상기 제8빔분할부로부터 반사된 레이저빔이 상기 빔분할부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 롤떨림오차연산부는 상기 제9반사부로부터 반사되어 상기 빔분할부를 투과한 레이저빔이 입사된 위치를 이용하여 상기 이송부가 축방향으로 회전함으로써 발생하는 롤떨림오차를 연산하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상측정용 엘티피 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 엘티피시스템은빔분할부, 제1반사부, 제2반사부, 제3반사부, 제4반사부, 제5반사부 및 롤떨 림오차연산부를 더 구비하며,상기 빔분할부, 상기 제1반사부, 상기 제2반사부는 상기 광원부와 상기 이송부 사이에 위치하고, 상기 제1축을 중심으로 제1방향에 위치한 제1영역에 위치하고,상기 제3반사부는 상기 이송부 상에 위치하고, 상기 제1축을 중심으로 상기 제1방향에 위치한 제2영역에 위치하고,상기 제5반사부는 상기 광원부와 상기 이송부 사이에 위치하고, 상기 제1축을 중심으로 제2방향에 위치한 제3영역에 위치하고,상기 제4반사부는 상기 이송부 상에 위치하고, 상기 제1축을 중심으로 상기 제2방향에 위치한 제4영역에 위치하며,상기 빔분할부는 상기 레이저빔의 일부는 투과시키고, 일부는 상기 제5반사부로 반사시키며,상기 제1반사부는 상기 빔분할부로부터 투과된 레이저빔의 경로상에 위치하여 상기 투과된 레이저빔이 상기 제2반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있고,상기 제2반사부는 상기 제1반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제3반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제3반사부는 상기 제2반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제4반사부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제4반사부는 상기 제3반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 제5반사부 로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 제5반사부는 상기 제4반사부로부터 반사된 레이저빔이 상기 빔분할부로 반사되도록 반사면의 방향이 고정되어 있으며,상기 롤떨림오차연산부는 상기 제5반사부로부터 반사되어 상기 빔분할부를 투과한 레이저빔이 입사된 위치를 이용하여 상기 이송부가 축방향으로 회전함으로써 발생하는 롤떨림오차를 연산하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상측정용 엘티피 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 엘티피시스템은상기 이송부에 구비되며, 제1반사면과 제2반사면을 구비하며, 상기 제1반사면 및 상기 제2반사면이 삼각형의 홈의 형상을 띠는 루프반사부; 및상기 루프반사부의 상기 제1반사면에 입사된 레이저빔이 상기 제1반사면 및 상기 제2반사면의 순으로 반사되어 출력되는 위치에 구비되며, 상기 레이저빔이 입사된 위치를 이용하여 상기 이송부가 수평을 유지한 상태에서 좌우로 회전함으로써 발생하는 요떨림 오차를 연산하는 요떨림오차연산부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상측정용 엘티피 시스템.
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