KR20090007317U - Construction structure of gage for gas pipe of semiconductor device - Google Patents

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이두수
채수평
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주식회사 지앤씨
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Abstract

본 고안은 반도체장치용 가스배관에 설치되는 레귤레이터와 게이지를 직렬로 연결하여 다수의 가스배관이 위치되는 구조물 내에서 게이지의 식별이 용이하고, 게이지가 레귤레이터에 탈착가능하게 설치됨에 따라 게이지의 파손시 게이지만 별도로 교체 가능하여 유지비용을 절감할 수 있으며, 반도체 장비 설치 전 설치가 가능하여 반도체 장비의 조기가동이 가능함에 따라 경제적 상승효과가 있으며, 현장 조립에 의한 안전사고를 방지할 수 있도록 한 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조에 관한 것이다.The present invention connects the regulator and the gauge installed in the gas pipe for semiconductor devices in series, so that the gauge can be easily identified in the structure in which a plurality of gas pipes are located, and the gauge is detachably installed in the regulator. Only the gauge can be replaced separately to reduce the maintenance cost, and it can be installed before the installation of semiconductor equipment, which enables the early operation of the semiconductor equipment, which has an economic synergistic effect, and is a semiconductor that prevents safety accidents caused by on-site assembly. The installation structure of the gas piping gauge of the apparatus.

본 고안에 따른 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조는 반도체장치용 가스배관과, 상기 반도체장치용 가스배관 상에 설치되며, 상기 반도체장치용 가스배관 내에서 유동되는 가스의 압력을 조절하는 레귤레이터와, 상기 반도체장치용 가스배관 상에 설치되는 상기 레귤레이터에 직렬로 연결되며, 상기 반도체장치용 가스배관 내의 압력을 표시하는 게이지를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.The installation structure of the gas pipe gauge of the semiconductor device according to the present invention is installed on the gas pipe for the semiconductor device, the gas pipe for the semiconductor device, the regulator for adjusting the pressure of the gas flowing in the gas pipe for the semiconductor device And a gauge connected in series with the regulator installed on the gas pipe for the semiconductor device and displaying a pressure in the gas pipe for the semiconductor device.

반도체, 가스배관, 레귤레이터, 게이지 Semiconductor, Gas Piping, Regulator, Gauge

Description

반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조{CONSTRUCTION STRUCTURE OF GAGE FOR GAS PIPE OF SEMICONDUCTOR DEVICE}Installation structure of gauge for gas piping of semiconductor device {CONSTRUCTION STRUCTURE OF GAGE FOR GAS PIPE OF SEMICONDUCTOR DEVICE}

본 고안은 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체장치용 가스배관에 설치되는 레귤레이터와 게이지를 직렬로 연결하여 다수의 가스배관이 위치되는 구조물 내에서 게이지의 식별이 용이하고, 게이지가 레귤레이터에 탈착가능하게 설치됨에 따라 게이지의 파손시 게이지만 별도로 교체 가능하여 유지비용을 절감할 수 있으며, 반도체 장비 설치 전 설치가 가능하여 반도체 장비의 조기가동이 가능함에 따라 경제적 상승효과가 있으며, 현장 조립에 의한 안전사고를 방지할 수 있도록 한 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조에 관한 것이다.The present invention relates to an installation structure of a gas pipe gauge of a semiconductor device, and more particularly, to identify a gauge in a structure in which a plurality of gas pipes are located by connecting a regulator and a gauge installed in series in a semiconductor device gas pipe. It is easy to install, and the gauge is detachably installed in the regulator, so when the gauge is damaged, only the gauge can be replaced separately, thus reducing the maintenance cost, and it can be installed before the semiconductor equipment is installed. There is a synergistic effect, and relates to the installation structure of the gas pipe gauge of the semiconductor device to prevent the safety accident by the on-site assembly.

일반적으로 반도체장치 중, 식각장치, 증착장치, 이온주입장치 등 공정가스를 필요로 하는 다수개의 반도체장치가 설치된 반도체 제조공장에서는 공장의 일측에 설치된 가스 캐비넷 또는 가스중앙공급장치로부터 전술한 각각의 반도체장치로 분기되도록 가스배관을 연결하여 가스를 공급받게 된다.In general, in a semiconductor manufacturing plant in which a plurality of semiconductor devices requiring process gases, such as an etching apparatus, a deposition apparatus, and an ion implantation apparatus, are installed, each of the semiconductors described above is provided from a gas cabinet or a gas central supply apparatus installed at one side of the factory. The gas pipe is connected to receive the gas to branch to the device.

즉, 가스 캐비넷 또는 가스 중앙공급장치로부터 가스배관을 통해 소정량의 가스를 공급하는데, 가스배관으로 공급된 가스는 분기되어 각각의 반도체장치로 공급되며, 분기되는 곳에는 각각 분기밸브가 구비된다.That is, a predetermined amount of gas is supplied from the gas cabinet or the gas central supply device through the gas pipe. The gas supplied to the gas pipe is branched and supplied to each semiconductor device, and branched valves are provided in the branched areas.

분기밸브를 지나 장치측으로 연결된 가스배관에는 가스의 공급 압력을 조절하는 레귤레이터가 설치되어 있으며, 이 레귤레이터를 통과한 가스는 게이지에 의해 공급되는 가스의 압력을 식별할 수 있게 되고, 이 게이지를 통과한 가스는 반도체 장치로 공급될 때 가스의 불순물을 포집하기 위한 필터를 통과하게 된다.The gas piping connected to the device side through the branch valve is provided with a regulator to control the supply pressure of the gas, the gas passing through the regulator can identify the pressure of the gas supplied by the gauge, The gas passes through a filter for collecting impurities in the gas when supplied to the semiconductor device.

그런데, 전술한 종래기술에 따른 게이지는 레귤레이터와 수직을 이루도록 설치됨에 따라 다수의 배관과 레귤레이터 및 게이지가 위치되는 구조물 내에서 관리자가 각각의 게이지를 정확하게 식별하기 어려울 뿐만 아니라, 설치공간의 확보가 어려워 신속한 설치가 어려운 문제점이 있었다.However, as the gauge according to the related art is installed to be perpendicular to the regulator, it is difficult for the manager to accurately identify each gauge in the structure in which a plurality of pipes, the regulator and the gauge are located, and also difficult to secure an installation space. Rapid installation had a difficult problem.

또한, 게이지가 파손될 경우, 게이지뿐만 아니라 레귤레이터 전체를 교체해야 함에 따라 유지보수 비용이 증가하게 되는 문제점이 있었다.In addition, when the gauge is broken, there is a problem that the maintenance cost increases as the entire regulator as well as the gauge must be replaced.

뿐만 아니라 레귤레이터 및 게이지를 반도체 장비의 설치가 완료된 후 현장에서 조립해야 함에 따라 반도체 설비의 가동시간이 지연되고, 현장 조립에 따른 부실시공으로 인해 경제적 손실이 야기될 수 있는 문제점이 있었다.In addition, as the regulator and gauge must be assembled in the field after the installation of the semiconductor equipment is completed, there is a problem that the operation time of the semiconductor equipment is delayed and economic loss may be caused by the poor construction due to the on-site assembly.

본 고안은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출 된 것으로, 본 고안의 일 실시예는 반도체장치용 가스배관에 설치되는 레귤레이터와 게이지를 직렬로 연결하여 다수의 가스배관이 위치되는 구조물 내에서 게이지의 식별이 용이하고, 게이지가 레귤레이터에 탈착가능하게 설치됨에 따라 게이지의 파손시 게이지만 별도로 교체 가능하여 유지비용을 절감할 수 있도록 한 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조와 관련된다.The present invention has been made to solve the problems described above, one embodiment of the present invention is connected to the regulator and the gauge installed in the gas pipe for semiconductor devices in series gauge in the structure where a plurality of gas pipe is located It is related to the installation structure of the gas pipe gauge of the semiconductor device, which makes it easy to identify and the gauge is detachably installed in the regulator so that only the gauge can be replaced separately when the gauge breaks, thereby reducing the maintenance cost.

본 고안의 바람직한 일 실시예는, 반도체장치용 가스배관과, 상기 반도체장치용 가스배관 상에 설치되며, 상기 반도체장치용 가스배관 내에서 유동되는 가스의 압력을 조절하는 레귤레이터와, 상기 반도체장치용 가스배관 상에 설치되는 상기 레귤레이터에 직렬로 연결되며, 상기 반도체장치용 가스배관 내의 압력을 표시하는 게이지를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조를 제공한다.According to a preferred embodiment of the present invention, a regulator is provided on a gas pipe for a semiconductor device, a gas pipe for the semiconductor device, and regulates a pressure of a gas flowing in the gas pipe for the semiconductor device, and for the semiconductor device. It is connected in series with the regulator installed on the gas pipe, and provides an installation structure of the gas pipe gauge of the semiconductor device comprising a gauge for indicating the pressure in the gas pipe for the semiconductor device.

또한, 본 고안의 바람직한 일 실시예는, 전술한 게이지는 양단에는 나사결합부(32)가 형성되어 상기 레귤레이터 및 반도체장치용 가스배관과 탈착 가능하게 나사결합되는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조를 제공한다.In addition, a preferred embodiment of the present invention, the above-described gauge is a gas coupling of the semiconductor device, characterized in that the screw coupling portion 32 is formed at both ends is detachably screwed with the regulator and the gas pipe for the semiconductor device. Provide the installation structure of the gauge.

상술한 바와 같은 본 고안의 일 실시예에 따르면 첫째, 반도체장치용 가스배관에 설치되는 레귤레이터와 게이지를 직렬로 연결하여 다수의 가스배관이 위치되는 구조물 내에서 게이지의 식별이 용이한 탁월한 효과가 있다.According to one embodiment of the present invention as described above, first, by connecting the regulator and the gauge installed in the gas pipe for the semiconductor device in series there is an excellent effect that can easily identify the gauge in the structure where a plurality of gas pipe is located. .

둘째, 게이지가 레귤레이터에 탈착가능하게 설치됨에 따라 게이지의 파손시 게이지만 별도로 교체 가능하여 유지비용을 절감할 수 있는 장점이 있다.Second, as the gauge is detachably installed in the regulator, there is an advantage in that the gauge can be replaced only when the gauge is broken, thereby reducing the maintenance cost.

셋째, 반도체 장비 설치 전 설치가 가능하여 반도체 장비의 조기가동이 가능함에 따라 경제적 상승효과가 있으며, 현장 조립에 의한 안전사고를 방지할 수 있는 장점이 있다.Third, there is an economic synergistic effect as it can be installed before the semiconductor equipment is installed, and the early operation of the semiconductor equipment is possible, and there is an advantage of preventing safety accidents due to on-site assembly.

도 1에는 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조의 사시도가 도시되고, 도 2에는 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조의 분해사시도가 도시되며, 도 3에는 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조의 사용상태도가 도시되고, 도 4에는 본 고안의 다른 실시예에 따른 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조의 분해사시도가 도시되며, 도 5에는 본 고안의 또 다른 실시예에 따른 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조의 분해사시도가 도시된다.1 is a perspective view of the installation structure of the gas pipe gauge of the semiconductor device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is an exploded view of the installation structure of the gas pipe gauge of the semiconductor device according to an embodiment of the present invention 3 is a perspective view showing a state of use of the installation structure of the gas pipe gauge of the semiconductor device according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a gas pipe for the semiconductor device according to another embodiment of the present invention An exploded perspective view of the installation structure of the gauge is shown, Figure 5 shows an exploded perspective view of the installation structure of the gauge for gas piping of the semiconductor device according to another embodiment of the present invention.

본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조는 반도체장치용 가스배관(10)과, 반도체장치용 가스배관(10) 상에 설치되며, 반도체장치용 가스배관(10) 내에서 유동되는 가스의 압력을 조절하는 레귤레이터(20)와, 반도체장치용 가스배관(10) 상에 설치되는 레귤레이터(20)에 직렬로 연결되며, 반도체장치용 가스배관(10) 내의 압력을 표시하는 게이지(30)를 포함한다.The installation structure of the gas pipe gauge of the semiconductor device according to an embodiment of the present invention is installed on the gas pipe 10 for semiconductor devices, the gas pipe 10 for semiconductor devices, the gas pipe 10 for semiconductor devices Is connected in series to the regulator 20 for adjusting the pressure of the gas flowing in the) and the regulator 20 installed on the gas pipe 10 for the semiconductor device, the pressure in the gas pipe 10 for the semiconductor device It includes a gauge 30 to display.

여기서 반도체장치용 가스배관(10)은 식각장치, 증착장치, 이온주입장치 등 공정가스를 필요로 하는 다수개의 반도체장치에 가스를 공급하는 역할을 하는 것으로, 전술한 반도체장치용 가스배관(10)은 통상적으로 사용되는 가스배관과 동일한 것으로 하여 더 이상의 상세한 설명은 명세서의 간략화를 위해서 생략하기로 한다.Here, the semiconductor gas pipe 10 serves to supply gas to a plurality of semiconductor devices that require a process gas such as an etching device, a deposition device, an ion implantation device, and the like. Since the same as the conventional gas pipe used, further detailed description will be omitted for the sake of simplicity of the specification.

한편, 반도체장치용 가스배관(10) 상에는 레귤레이터(20)가 설치되는데, 이 레귤레이터(20)는 반도체장치용 가스배관(10) 내에서 유동되는 가스의 압력을 제어하는 역할을 하는 것이다.On the other hand, the regulator 20 is installed on the gas pipe 10 for the semiconductor device, the regulator 20 serves to control the pressure of the gas flowing in the gas pipe 10 for the semiconductor device.

전술한 레귤레이터(20)의 일측에는 가스의 유입량을 조절하는 밸브(21)가 추가로 구비될 수 있는데, 이러한 레귤레이터(20)의 전체적인 구성 및 작동관계는 전술한 반도체장치용 가스배관(10)과 마찬가지로 통상적으로 사용되는 레귤레어터와 동일한 것으로 하여 더 이상의 상세한 설명은 명세서의 간략화를 위해서 생략하기로 한다.One side of the above-described regulator 20 may be further provided with a valve 21 for adjusting the inflow amount of gas, the overall configuration and operation of the regulator 20 and the gas pipe 10 for the semiconductor device described above Likewise, the same detailed description as that of a conventionally used regulator will be omitted for the sake of brevity of the specification.

전술한 반도체장치용 가스배관(10) 상에 설치되는 레귤레이터(20)에는 게이지(30)가 직렬로 연결되는데, 이 게이지(30)는 전술한 반도체장치용 가스배관(10) 내의 압력을 표시하는 게이지(30)가 설치된다.A gauge 30 is connected in series to the regulator 20 installed on the gas pipe 10 for the semiconductor device described above, and the gauge 30 displays the pressure in the gas pipe 10 for the semiconductor device described above. Gauge 30 is installed.

이때, 게이지(30)가 종래기술과 같이 레귤레이터(20)와 수직 연결되는 것이 아닌 직렬 연결됨에 따라 관리자가 게이지(30)를 용이하게 식별할 수 있게 된다.At this time, as the gauge 30 is connected in series rather than being vertically connected to the regulator 20 as in the related art, the manager can easily identify the gauge 30.

이러한 게이지(30)는, 티자형 연결관(31)에 의해 레귤레이터(20)와 직렬 연결되는데, 전술한 게이지(30)는 티자형 연결관(31)의 상부에 용접 설치되는 것이 바람직하며, 티자형 연결관(31)의 양단에는 나사결합부(32)가 형성되어 레귤레이터(20) 및 반도체장치용 가스배관(10)과 결합나사(33)에 의해 결합되는데, 결합나사(33)의 내측 또는 나사결합부(32) 상에는 가스의 누출을 방지하는 메탈 가스킷(metal gasket, 도시되지 않음)이 더 구비되는 것이 바람직하다.This gauge 30 is connected in series with the regulator 20 by a tee connector 31, the above-described gauge 30 is preferably welded to the upper portion of the tee connector 31, Screw coupling portions 32 are formed at both ends of the female connector 31 so as to be coupled to the regulator 20 and the gas pipe 10 for the semiconductor device by the coupling screw 33. It is preferable that a metal gasket (not shown) is further provided on the screwing portion 32 to prevent the leakage of gas.

이때, 티자형 연결관(31)과 레귤레이터(20)는 추후 게이지(30)의 교체를 위해서 전술한 바와 같이 착탈가능하도록 나사결합될 수도 있으나 게이지(30)와 마찬가지로 용접 결합되어 사용될 수도 있음은 물론이다.At this time, the T-shaped connector 31 and the regulator 20 may be screwed detachably as described above for the replacement of the gauge 30 later, but may be used by welding as well as the gauge 30, of course. to be.

한편, 도 4에 도시되는 바와 같이, 게이지(30) 및 반도체장치용 가스배관(10)이 연결될 티자형 연결관(31)의 상부 및 일단에 각각 나사결합부(32)가 형성되어 게이지(30) 및 반도체장치용 가스배관(10)과 결합나사(33)에 의해 착탈 가능하게 나사결합되고 레귤레이터(20)는 용접 설치될 수도 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 4, screw coupling portions 32 are formed at upper and one ends of the T-shaped connecting pipe 31 to which the gauge 30 and the gas pipe 10 for the semiconductor device 10 are connected. And the gas pipe 10 for the semiconductor device and the coupling screw 33 are detachably screwed together, and the regulator 20 may be welded.

또한, 도 5에 도시되는 바와 같이, 반도체장치용 가스배관(10)이 연결될 티자형 연결관(31)의 일단에만 나사결합부(32)가 형성되어 반도체장치용 가스배관(10)과 결합나사(33)에 의해 착탈 가능하게 타사결합되고 게이지(30) 및 레귤레이터(20)는 용접 설치될 수도 있다.In addition, as shown in FIG. 5, the screw coupling portion 32 is formed only at one end of the T-shaped connecting pipe 31 to which the gas pipe 10 for semiconductor device is to be connected to the gas pipe 10 for the semiconductor device. Removably coupled to the third party by 33, the gauge 30 and the regulator 20 may be welded.

이하에는, 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조의 전체적인 구조에 대해 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the overall structure of the installation structure of the gas pipe gauge of the semiconductor device according to an embodiment of the present invention will be described.

먼저 다양한 반도체장치와 연결되는 반도체장치용 가스배관(10) 상에 레귤레이터(20)를 설치한 한다.First, the regulator 20 is installed on the gas pipe 10 for semiconductor devices connected to various semiconductor devices.

그런 다음, 티자형 연결관(31)의 상부에 게이지(30)를 용접하여 고정설치하고, 티자형 연결관(31)의 양단에 형성되는 나사결합부(32)의 일단에는 반도체장치용 가스배관(10)에 설치된 레귤레이터(20)가 결합나사(33)에 의해 직렬 연결되고, 타단에는 반도체장치용 가스배관(10)이 결합나사(33)에 의해 연결된다.Then, the gauge 30 is welded and installed on the upper part of the T-shaped connector 31, and the gas pipe for semiconductor device is connected to one end of the screw coupling part 32 formed at both ends of the T-shaped connector 31. The regulator 20 provided in (10) is connected in series by the coupling screw 33, and the gas pipe 10 for semiconductor devices is connected by the coupling screw 33 to the other end.

이때, 티자형 연결관(31)에 각각 연결되는 반도체장치용 가스배관(10), 레귤레이터(20) 및 게이지(30)는 실시예에 따라서 티자형 연결관(31)에 형성되는 나사결합부(32) 및 결합나사(33)에 의해 착탈 가능하게 나사결합될 수도 있고, 용접 연결될 수도 있다.At this time, the gas pipe 10 for the semiconductor device, the regulator 20 and the gauge 30 are respectively connected to the T-shaped connector 31 is a screw coupling portion formed in the T-shaped connector (31) according to the embodiment ( 32) and may be detachably screwed by the coupling screw 33, it may be connected by welding.

본 고안은 실용신안등록청구범위에서 청구하는 청구의 요지를 벗어나지 않고도 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양하게 변경 실시될 수 있으므로, 본 고안의 기술보호범위는 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 않는다.The present invention can be variously modified by those skilled in the art without departing from the scope of the claims claimed in the utility model registration claims, the technical protection scope of the present invention is the specific preferred embodiment described above It is not limited to the example.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조의 사시도.1 is a perspective view of an installation structure of a gas pipe gauge of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조의 분해사시도.Figure 2 is an exploded perspective view of the installation structure of the gas pipe gauge of the semiconductor device according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조의 사용상태도.Figure 3 is a state of use of the installation structure of the gas pipe gauge of the semiconductor device according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 고안의 다른 실시예에 따른 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조의 분해사시도.Figure 4 is an exploded perspective view of the installation structure of the gas pipe gauge of the semiconductor device according to another embodiment of the present invention.

도 5는 본 고안의 또 다른 실시예에 따른 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조의 분해사시도.Figure 5 is an exploded perspective view of the installation structure of the gas pipe gauge of the semiconductor device according to another embodiment of the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10 : 반도체장치용 가스배관10: Gas piping for semiconductor device

20 : 레귤레이터20: regulator

21 : 밸브21: valve

30 : 게이지30: gauge

31 : 티자형 연결관31: Tee connector

32 : 나사결합부32: screw connection

33 : 결합나사33: Coupling Screw

Claims (2)

반도체장치용 가스배관;Gas piping for semiconductor devices; 상기 반도체장치용 가스배관 상에 설치되며, 상기 반도체장치용 가스배관 내에서 유동되는 가스의 압력을 조절하는 레귤레이터; 및A regulator installed on the gas pipe for the semiconductor device and adjusting a pressure of a gas flowing in the gas pipe for the semiconductor device; And 상기 반도체장치용 가스배관 상에 설치되는 상기 레귤레이터에 직렬로 연결되며, 상기 반도체장치용 가스배관 내의 압력을 표시하는 게이지;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조.And a gauge connected in series with the regulator installed on the gas pipe for the semiconductor device and displaying a pressure in the gas pipe for the semiconductor device. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 게이지는 양단에는 나사결합부가 형성되어 상기 레귤레이터 및 반도체장치용 가스배관과 탈착 가능하게 나사결합되는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 가스배관용 게이지의 설치구조.The gauge has a screw coupling portion is formed on both ends of the gauge and the gas pipe for mounting the semiconductor device, characterized in that the screw is detachably coupled to the gas pipe for semiconductor devices.
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KR2020080000650U KR20090007317U (en) 2008-01-16 2008-01-16 Construction structure of gage for gas pipe of semiconductor device

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