KR20090003161U - Atomic layer deposition chamber and components - Google Patents

Atomic layer deposition chamber and components Download PDF

Info

Publication number
KR20090003161U
KR20090003161U KR2020080013041U KR20080013041U KR20090003161U KR 20090003161 U KR20090003161 U KR 20090003161U KR 2020080013041 U KR2020080013041 U KR 2020080013041U KR 20080013041 U KR20080013041 U KR 20080013041U KR 20090003161 U KR20090003161 U KR 20090003161U
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gas
chamber
conical
diameter
shield
Prior art date
Application number
KR2020080013041U
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR200455917Y1 (en
Inventor
디엔-예 유
슈베르트 에스. 츄
폴 마
제프리 토빈
Original Assignee
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 filed Critical 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Priority to KR2020080013041U priority Critical patent/KR200455917Y1/en
Publication of KR20090003161U publication Critical patent/KR20090003161U/en
Application granted granted Critical
Publication of KR200455917Y1 publication Critical patent/KR200455917Y1/en

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
    • C23C16/45523—Pulsed gas flow or change of composition over time
    • C23C16/45525—Atomic layer deposition [ALD]
    • C23C16/45544—Atomic layer deposition [ALD] characterized by the apparatus
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
    • C23C16/45563—Gas nozzles

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

원자층 증착 챔버는 가스 입구 및 가스 출구 사이에 원뿔형(conical) 통로를 가지는 중앙 캡(central cap)을 포함하는 가스 분배기를 포함한다. 또한 가스 분배기는 접속되는 제 1 및 제 2 원뿔형 개구들을 포함하는 실링 플레이트(ceilling plate)를 포함한다. 제 1 원뿔형 개구는 중앙 캡의 가스 출구로부터 프로세스 가스를 수신한다. 제 2 원뿔형 개구는 제 1 원뿔형 개구로부터 방사상 바깥방향으로 연장된다. 또한, 가스 분배기는 챔버의 측벽 상에 위치되는 주변 리지(peripheral ledge)를 갖는다.The atomic layer deposition chamber includes a gas distributor comprising a central cap having a conical passage between the gas inlet and the gas outlet. The gas distributor also includes a sealing plate comprising first and second conical openings to which it is connected. The first conical opening receives the process gas from the gas outlet of the central cap. The second conical opening extends radially outward from the first conical opening. The gas distributor also has a peripheral ledge located on the sidewall of the chamber.

Description

원자층 증착 챔버 및 부품들{ATOMIC LAYER DEPOSITION CHAMBER AND COMPONENTS}Atomic Layer Deposition Chambers & Components {ATOMIC LAYER DEPOSITION CHAMBER AND COMPONENTS}

본 발명의 실시예들은 원자층 증착 챔버 및 원자층 증착 챔버의 부품들에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to atomic layer deposition chambers and components of an atomic layer deposition chamber.

집적회로들 및 디스플레이들의 제조시, 원자층증착(ALD) 챔버는 기판 상에 원자들 정도의 두께를 가지는 원자층을 증착하는데 이용된다. 통상적으로, ALD 챔버는 프로세스 가스가 주입되는 엔클로져(enclosure) 및 챔버에서 프로세스 가스의 압력을 배기 및 조절하는 출구를 포함한다. 한 형태의 원자층 증착 프로세스에서, 기판 표면 상에 흡착되는 가스 분자들의 얇은 층을 형성하기 위해 챔버에 제 1 프로세스 가스가 주입되며, 이후 기판 상에 원자층을 형성하기 위해 가스 분자들의 흡착된 층과 반응하도록 제 2 프로세스 가스가 주입된다. 프로세스 가스들로는 챔버 속으로 유기 또는 다른 분자들을 전송하기 위해 캐리어 가스들 또는 종래의 가압된(pressurized) 가스들을 포함된다. 통상적으로, 챔버는 각각의 프로세스 가스를 전달하는 사이에 정화된다. 정화는 캐리어 가스의 연속적 흐름이 챔버에 제공되는 연속형 또는 불연속 또는 펄스형 캐리어 가스의 흐름이 제공되는 펄스형일 수 있다.In the manufacture of integrated circuits and displays, an atomic layer deposition (ALD) chamber is used to deposit an atomic layer about the thickness of atoms on a substrate. Typically, the ALD chamber includes an enclosure into which the process gas is injected and an outlet to exhaust and regulate the pressure of the process gas in the chamber. In one type of atomic layer deposition process, a first process gas is injected into a chamber to form a thin layer of gas molecules adsorbed on a substrate surface, and then an adsorbed layer of gas molecules to form an atomic layer on the substrate. A second process gas is injected to react with. Process gases include carrier gases or conventional pressurized gases to transfer organic or other molecules into the chamber. Typically, the chamber is purged between delivering each process gas. Purification may be pulsed, where a continuous flow of carrier gas is provided to the chamber or a continuous or discontinuous or pulsed flow of carrier gas is provided.

CVD 또는 PVD 프로세스들에 이용되는 종래의 기판 프로세싱 챔버들은 기판 상에 원자층들을 증착하기 위해 ALD 프로세스들이 점진적으로 이용되기 때문에 ALD 챔버들로 전환된다. 그러나, 종래의 챔버들은 ALD 프로세스들에서 요구되는 충분히 높은 레벨의 가스 분포, 플라즈마, 또는 열적 균일성을 항상 제공하는 것은 아니다. 예를 들면, ALD 챔버들은 특정한 형태의 가스 분배기들, 차폐부들, 및 배출 부품들을 이용하며, 이들 모두는 기판 표면 양단으로부터 프로세스 가스 종들의 보다 균일한 전달, 및 제거를 제공하도록 협력한다. ALD 전환 챔버들은 상이한 형태의 ALD 프로세스들, 예를 들면, 열적 또는 플라즈마 강화 ALD(PEALD) 프로세스들을 위한 특정한 부품들을 요구할 수 있다. 열적 ALD에서, 기판 표면 상에 흡착된 2개 이상의 반응물들 간에 화학적 반응이 야기되도록 열이 제공된다. 열적 ALD에서, 추가의 챔버 부품들은 기판 또는 다른 챔버 표면들을 가열 또는 냉각시키기 위해 요구될 수 있다. PEALD 프로세스들은 프로세스 가스를 활성화시키기 위해(energize) 가스 에너자이저를 요구하며, 가스 에너자이저의 부품들은 활성화된 프로세스 가스에 의한 에칭을 견딜 수 있도록 설계된다. 따라서, 종래의 챔버들을 ALD 챔버들로 쉽게 변경할 수 있는 챔버 전환 키트들(kits)이 요구된다.Conventional substrate processing chambers used in CVD or PVD processes are converted to ALD chambers because ALD processes are progressively used to deposit atomic layers on a substrate. However, conventional chambers do not always provide a sufficiently high level of gas distribution, plasma, or thermal uniformity required in ALD processes. For example, ALD chambers use certain types of gas distributors, shields, and exhaust components, all of which cooperate to provide more uniform delivery and removal of process gas species from across the substrate surface. ALD conversion chambers may require specific components for different types of ALD processes, eg, thermal or plasma enhanced ALD (PEALD) processes. In thermal ALD, heat is provided to cause a chemical reaction between two or more reactants adsorbed on the substrate surface. In thermal ALD, additional chamber parts may be required to heat or cool the substrate or other chamber surfaces. PEALD processes require a gas energizer to energize the process gas, and the components of the gas energizer are designed to withstand etching by the activated process gas. Thus, there is a need for chamber conversion kits that can easily convert conventional chambers into ALD chambers.

또한, ALD 챔버 부품들은 다른 부작용을 유도하지 않으면서 기판에 대해 양호한 가스 분배 균일성을 제공하는 것이 요구된다. 예를 들어, 플라즈마 보조 ALD에서, 기판 표면 상에 직접 흐르는 프로세스 가스 스트림의 제공으로 기판 표면을 역으로 에칭할 가능성이 증가된다. 열적 ALD 프로세스들은 프로세스 가스 종들이 기판 대신에 내부 챔버 표면들과 반응할 때 감소된 가스 효율을 제공한다. 또한, 종래의 샤워헤드 가스 분배기들은 기판의 주변 영역 보다 높은 농도로 기판의 중심 영역에 프로세스 가스를 제공한다. 또한, 증착 동안 기판 표면 양단에 대해 프로세스 가스 종들의 균일한 압력을 얻기는 어렵다. 또한, 때로 순차적인 프로세스 가스 단계들 사이에 ALD 챔버가 효율적으로 정화되는 것이 바람직하다.In addition, ALD chamber components are required to provide good gas distribution uniformity to the substrate without inducing other side effects. For example, in plasma assisted ALD, the provision of a stream of process gas flowing directly on the substrate surface increases the likelihood of reverse etching the substrate surface. Thermal ALD processes provide reduced gas efficiency when process gas species react with internal chamber surfaces instead of a substrate. Conventional showerhead gas distributors also provide process gas to the central region of the substrate at a concentration higher than the peripheral region of the substrate. In addition, it is difficult to achieve uniform pressure of process gas species across the substrate surface during deposition. In addition, it is sometimes desirable for the ALD chamber to be efficiently purified between sequential process gas steps.

따라서, 종래의 챔버들을 변환시키는데 이용될 수 있는 ALD 프로세스 키트 및 챔버 부품들이 요구된다. 또한, 프로세스 가스의 신속한 정화를 허용하면서, 기판 양단에 대해 보다 나은 가스, 온도 및 압력 균일성 제공하는 ALD 챔버 부품들이 요구된다.Thus, there is a need for ALD process kits and chamber components that can be used to convert conventional chambers. There is also a need for ALD chamber components that provide better gas, temperature and pressure uniformity across the substrate, while allowing for rapid purification of the process gas.

원자층 증착 챔버는 가스 입구 및 가스 출구 사이에 원뿔형(conical) 통로를 가지는 중앙 캡(central cap)을 포함하는 가스 분배기를 포함한다. 또한 가스 분배기는 접속되는 제 1 및 제 2 원뿔형 개구들을 포함하는 실링 플레이트(ceilling plate)를 포함한다. 제 1 원뿔형 개구는 중앙 캡의 가스 출구로부터 프로세스 가스를 수신한다. 제 2 원뿔형 개구는 제 1 원뿔형 개구로부터 방사상 바깥방향으로 연장된다. 또한, 가스 분배기는 챔버의 측벽 상에 위치되는 주변 리지(peripheral ledge)를 갖는다.The atomic layer deposition chamber includes a gas distributor comprising a central cap having a conical passage between the gas inlet and the gas outlet. The gas distributor also includes a sealing plate comprising first and second conical openings to which it is connected. The first conical opening receives the process gas from the gas outlet of the central cap. The second conical opening extends radially outward from the first conical opening. The gas distributor also has a peripheral ledge located on the sidewall of the chamber.

하기 설명, 청구항들, 및 첨부되는 도면들은 이들 자체적으로, 또는 다른 특징들과 조합되어 상이한 특성들의 예시적인 실시예들을 나타내며, 도면에 도시된 예시적인 형태로 제한되어서는 안된다.The following description, claims, and appended drawings show exemplary embodiments of different features on their own or in combination with other features, and should not be limited to the example forms shown in the figures.

원자층 증착(ALD) 챔버(22)를 포함하는 기판 처리 장치(20)의 일 실시예가 도 1에 도시된다. 챔버(22)는 기판 지지체(26) 상에 안착된 기판(24)상에 원자층의 증착을 위한 열적 ALD 프로세스들에 적합하다. 열적 ALD 프로세스들에서, 기판(24)에 흡수된 프로세스 가스 분자들은 기판(24)상에 원자층을 형성하기에 충분히 높은 온도들로 가열된다. 적절한 열적 ALD 온도들은 예를 들어, 약 120℃ 내지 약 450℃일 수 있다. 챔버(22)는 반도체 웨이퍼들과 같은 기판들(24)을 처리하기 위해 적합하지만, 통상의 당업자에게 명백한 것처럼, 챔버(22)는 예를 들어, 평판 디스플레이들, 폴리머 패널들, 또는 다른 전기 회로 수용 구조물들과 같은 다른 기 판들(24)을 처리하도록 구성될 수 있다. 또한, 장치(20)는 챔버(22)를 위한 전기적, 도관(plumbing), 및 다른 지지 기능들을 제공하는 플랫폼(미도시)에 부착될 수 있고, 상기 플랫폼은 예를 들어, 캘리포니아, 산타클레라의 어플라이드 머티어리얼스 사로부터 이용가능한 DaVinci 또는 Endura Ⅱ 플랫폼과 같은 다중-챔버 플랫폼 시스템의 부분일 수도 있다.One embodiment of a substrate processing apparatus 20 that includes an atomic layer deposition (ALD) chamber 22 is shown in FIG. 1. The chamber 22 is suitable for thermal ALD processes for the deposition of an atomic layer on a substrate 24 seated on a substrate support 26. In thermal ALD processes, process gas molecules absorbed in the substrate 24 are heated to temperatures high enough to form an atomic layer on the substrate 24. Suitable thermal ALD temperatures can be, for example, about 120 ° C to about 450 ° C. Chamber 22 is suitable for processing substrates 24 such as semiconductor wafers, but as will be apparent to one of ordinary skill in the art, chamber 22 may be, for example, flat panel displays, polymer panels, or other electrical circuits. It can be configured to process other substrates 24 such as receiving structures. In addition, the device 20 may be attached to a platform (not shown) that provides electrical, plumbing, and other support functions for the chamber 22, which platform may be, for example, Santa Clara, California. It may be part of a multi-chamber platform system such as the DaVinci or Endura II platform available from Applied Materials, Inc.

일반적으로, 챔버(22)는 실링(ceiling)(28), 측벽(30), 및 바닥부 벽(32)에 의해 둘러싸여 있다. 기판 지지체(26)는 기판 수용 표면(33)상에 기판(24)을 지지하기 위해 바닥부 벽(32)을 통해 연장한다. 측벽(30)과 함께 기판 지지체(26)는 프로세스 가스가 기판(24)을 처리하기 위해 제공되는 프로세스 존(process zone)(34)을 규정한다. 동작시, 프로세스 가스 소스(38)와 가스 분배기(40)를 포함하는 가스 공급기(36)를 통해 프로세스 가스가 챔버(22)에 유입된다. 가스 분배기(40)는 내부에 가스 공급 밸브(44)를 구비한 가스를 제공하기 위한 하나 이상의 도관들(42), 및 챔버(22)의 프로세스 존(34)으로 프로세스 가스를 배출하기 위한 가스 출구(66, 46)를 포함할 수 있다. ALD 프로세스들에 대해, 프로세스 가스원(38)은 단일 가스 또는 가스들의 혼합물, 캐리어 가스 및 이송 분자, 또는 캐리어 가스일 수도 있는 정화 가스를 각각 함유할 수 있는 상이한 프로세스 가스들을 공급하는데 사용될 수 있다. 소모된 프로세스 가스와 프로세스 부산물들은 프로세스 존(34)으로부터 소모된 프로세스 가스를 수용하고 가스를 배기 도관(54)으로 전달하는 배기 포트(52), 챔버(22)내의 프로세스 가스의 압력을 제어하기 위한 스로틀 밸브 및 배기 펌프들(미도시)을 포함할 수 있는 배기 시스템(50)을 통하여 챔 버(22)로부터 배기된다. In general, the chamber 22 is surrounded by a sealing 28, a side wall 30, and a bottom wall 32. The substrate support 26 extends through the bottom wall 32 to support the substrate 24 on the substrate receiving surface 33. The substrate support 26 together with the sidewall 30 defines a process zone 34 in which process gas is provided to treat the substrate 24. In operation, process gas enters chamber 22 through gas supplier 36, which includes process gas source 38 and gas distributor 40. The gas distributor 40 has one or more conduits 42 for providing gas with a gas supply valve 44 therein, and a gas outlet for discharging the process gas into the process zone 34 of the chamber 22. (66, 46). For ALD processes, process gas source 38 may be used to supply different process gases that may each contain a single gas or a mixture of gases, a carrier gas and a transport molecule, or a purge gas, which may be a carrier gas. The spent process gas and process by-products are used to control the pressure of the process gas in the chamber 22, the exhaust port 52, which receives the spent process gas from the process zone 34 and delivers the gas to the exhaust conduit 54. Exhaust from chamber 22 through exhaust system 50, which may include a throttle valve and exhaust pumps (not shown).

가스 분배기(40)는 하나 이상의 가스 입구들(64a, 64b), 가스 출구(66), 및 가스 입구(64)와 가스 출구(66) 사이의 가스 통로(70)를 구비한 중앙 캡(central cap)(60)을 포함한다. 가스 입구들(64a, 64b)은 수평면에서 서로 오프셋되고 가스 통로(70)의 원주 둘레에 위치된다. 오프셋된 가스 입구들(64a, 64b)은 입구들(64a, 64b)로부터 출구(66)로 나선형 가스 유동을 달성하기 위해 가스 통로(70)에서 상호작용하는 개별적인 가스 스트림들을 제공한다. 일 실시예에서, 가스 입구들(64a, 64b)은 적어도 약 45도, 예를 들어 약 180도의 분리 각도에 위치됨으로써 오프셋될 수 있다. 캡(60)의 가스 통로(70)의 최상부(74)는 원통형이다. 가스 통로(70)의 바닥부(76)는 원뿔형 통로(78)를 포함하고, 원뿔형 통로(78)는 캡(60)의 출구(66) 근처에서 상부 영역(80)의 제 1 직경으로부터 하부 영역(82)의 더 큰 제 2 직경으로 증가하는 원뿔형 통로(78)의 내부 직경의 반경에 의해 하향 가스 유동 방향으로 외향하게 점진적으로 개방된다. 일 실시예에서, 제 1 직경은 약 2.6cm 이상이고, 제 2 직경은 적어도 약 3cm이다. 예를 들어, 제 1 직경은 약 0.2cm 내지 약 2.6cm일 수 있고, 제 2 직경은 약 3cm 내지 약 7.5cm일 수 있다. 또한, 원뿔형 통로(78)는 약 5°내지 약 30°또는 보다 전형적으로 약 11°의 각도에서 수직 축에 대해 경사진 표면을 가질 수 있다.The gas distributor 40 has a central cap with one or more gas inlets 64a, 64b, a gas outlet 66, and a gas passage 70 between the gas inlet 64 and the gas outlet 66. 60). The gas inlets 64a, 64b are offset from each other in the horizontal plane and located around the circumference of the gas passage 70. Offset gas inlets 64a, 64b provide individual gas streams that interact in gas passage 70 to achieve helical gas flow from inlets 64a, 64b to outlet 66. In one embodiment, the gas inlets 64a and 64b may be offset by being located at a separation angle of at least about 45 degrees, for example about 180 degrees. The top 74 of the gas passage 70 of the cap 60 is cylindrical. The bottom portion 76 of the gas passage 70 includes a conical passage 78, which is a lower region from the first diameter of the upper region 80 near the outlet 66 of the cap 60. The radius of the inner diameter of the conical passage 78 increasing to the larger second diameter of 82 opens outward gradually in the downward gas flow direction. In one embodiment, the first diameter is at least about 2.6 cm and the second diameter is at least about 3 cm. For example, the first diameter may be about 0.2 cm to about 2.6 cm, and the second diameter may be about 3 cm to about 7.5 cm. In addition, the conical passageway 78 may have a surface that is inclined with respect to the vertical axis at an angle of about 5 ° to about 30 ° or more typically about 11 °.

프로세스 가스가 오프셋된 가스 입구들(64a, 64b)을 통해 캡(60)으로 주입될 때, 동시적으로 주입된 가스 스트림들이 와류(vortex) 운동으로 원뿔형 통로(78)를 통해 수직 축(86) 근처에서 회전되어, 입구들(64a, 64b)로부터 출구(66)로 하향하 는 가스의 나선형 유동을 제공한다. 바람직하게는, 나선형 가스의 각 운동량은 가스가 원뿔형 통로(78)의 표면을 일소(sweep)하도록 한다. 또한, 제 1 직경으로부터 제 2 직경으로 원뿔형 통로(78)의 직경의 점진적 증가는 가스의 부피 증가를 형성하여, 가스 와류 폭의 대응하는 증가와 가스 압력과 온도의 점진적 감소를 유도하고, 이들 모두는 프리커서 가스의 응축을 방지하고 기판(24)으로의 가스의 수직 속도를 감소시키기 때문에 바람직하다. 또한, 원뿔형 통로(78)의 수직 축(86) 근처에서 프로세스 가스의 회전 에너지와 각 운동량은 프로세스 가스가 통로를 따라 하강함에 따라 감소된다. 원뿔형 통로(78)는 벨(bell) 형상으로 형성되어, 프로세스 가스 와류가 챔버(22)에 진입함에 따라 프로세스 가스 와류가 전개(fan out)되도록 하고, 이에 따라 기판(24) 바로 위에 프로세스 가스의 양호한 분배를 제공한다. When process gas is injected into the cap 60 through offset gas inlets 64a and 64b, the simultaneously injected gas streams are oriented in a vertical axis 86 through the conical passageway 78 in a vortex motion. It is rotated nearby to provide a helical flow of gas downward from inlets 64a and 64b to outlet 66. Preferably, the angular momentum of the helical gas causes the gas to sweep the surface of the conical passageway 78. Further, the gradual increase in the diameter of the conical passageway 78 from the first diameter to the second diameter forms an increase in the volume of the gas, leading to a corresponding increase in the gas vortex width and a gradual decrease in gas pressure and temperature, both of which are Is preferred because it prevents condensation of the precursor gas and reduces the vertical velocity of the gas to the substrate 24. Also, near the vertical axis 86 of the conical passageway 78, the rotational energy and angular momentum of the process gas are reduced as the process gas descends along the passageway. The conical passageway 78 is formed in a bell shape to allow the process gas vortex to fan out as the process gas vortex enters the chamber 22, thereby allowing the process gas to flow directly above the substrate 24. Provides good distribution.

중앙 캡(60)은 일 실시예에서 깔때기 형상으로 형상화된 실링 플레이트(90)상에 안착된다. 형상화된 실링 플레이트(90)는 챔버 리드로서 작용하고, 상호접속된 제 1 및 제 2 원뿔형 개구들(92, 94)을 갖는다. 제 1 원뿔형 개구(92)는 가스 출구(66)로부터 프로세스 가스를 수용하고 제 1 직경을 가지며, 제 2 원뿔형 개구(94)는 프로세스 가스를 배출하고 제 1 직경보다 더 큰 제 2 직경을 갖는다. 각각의 원뿔형 개구들(92, 94)은 연속적으로 증가하는 직경에 의해 외향하게 점진적으로 테이퍼진다(tapered). 일 실시예에서, 실링 플레이트 캡(90)은 예를 들어 알루미늄 합금과 같은 알루미늄으로 구성된다.The central cap 60 is seated on a sealing plate 90 shaped in a funnel shape in one embodiment. The shaped sealing plate 90 acts as a chamber lid and has interconnected first and second conical openings 92, 94. The first conical opening 92 receives the process gas from the gas outlet 66 and has a first diameter, and the second conical opening 94 discharges the process gas and has a second diameter that is larger than the first diameter. Each of the conical openings 92, 94 is gradually tapered outward by a continuously increasing diameter. In one embodiment, the sealing plate cap 90 is made of aluminum, for example aluminum alloy.

형상화된 실링 플레이트(90)의 제 1 원뿔형 개구(92)는 중앙 캡(60)의 출 구(66)에 접속되고, 실링 플레이트(90)와 중앙 캡(60) 사이의 계면에 보다 좁은 제 1 직경을 가지며, 보다 좁은 제 1 직경은 제 2 원뿔형 개구(94)에 결합되는 세그먼트 결합부(segment joint)(96)에서 보다 큰 직경으로 점진적으로 증가한다. 일 실시예에서, 제 1 원뿔형 개구(92)의 점진적으로 테이퍼지는 표면은 수직 축에 대해 약 50°내지 약 30°의 경사 각도를 가진 원뿔형 표면을 포함한다. 세그먼트 결합부(96)는 라운드형 엣지를 포함하고 제 1 및 제 2 원뿔형 개구(92, 94)의 기울기들 간에 점진적 변화를 제공한다. 제 2 원뿔형 개구(94)는 세그먼트 결합부(96)의 제 1 직경으로부터 기판 지지체(26)의 외부 경계(100) 넘어로 보다 큰 제 2 직경으로 증가하는 직경을 갖도록 방사형으로 외향하게 연장한다. 제 2 원뿔형 개구(94)의 표면은 수직 축에 대해 약 1°내지 약 15°의 경사 각도를 가진 원뿔형 표면을 갖는다.The first conical opening 92 of the shaped sealing plate 90 is connected to the outlet 66 of the central cap 60, and the first narrower at the interface between the sealing plate 90 and the central cap 60. With a diameter, the narrower first diameter gradually increases to a larger diameter at the segment joint 96 which is coupled to the second conical opening 94. In one embodiment, the progressively tapered surface of the first conical opening 92 comprises a conical surface having an inclination angle of about 50 ° to about 30 ° with respect to the vertical axis. Segment coupling portion 96 includes a rounded edge and provides a gradual change between the slopes of the first and second conical openings 92, 94. The second conical opening 94 extends radially outward so as to have a diameter that increases from the first diameter of the segment coupling portion 96 to the larger second diameter beyond the outer boundary 100 of the substrate support 26. The surface of the second conical opening 94 has a conical surface with an inclination angle of about 1 ° to about 15 ° with respect to the vertical axis.

또한, 형상화된 실링 플레이트(90)는 가스 분배기(40)로부터 외부로 및 기판 지지체(26)의 외부 경계(100) 넘어로 외향하게 방사형으로 연장하는 주변 리지(peripheral ledge)(104)를 갖는다. 주변 리지(104)의 하부 표면(106)은 주변 리지(104)가 챔버(20)의 측벽(30) 근처에 안착되어 프로세스 존(34) 위에 실링 플레이트(90)를 지지할 수 있도록 실질적으로 수평면이다. 주변 리지(104)는 제 2 원뿔형 개구(94)로부터 주변 리지(104)로 평활하게 만곡하는 중간 스텝(108)으로 단계적으로 하강(stepped down)하는 높이를 갖는다. The shaped sealing plate 90 also has a peripheral ledge 104 extending radially outwardly from the gas distributor 40 and beyond the outer boundary 100 of the substrate support 26. The lower surface 106 of the peripheral ridge 104 is substantially horizontal so that the peripheral ridge 104 can be seated near the side wall 30 of the chamber 20 to support the sealing plate 90 over the process zone 34. to be. The peripheral ridge 104 has a height that is stepped down from the second conical opening 94 to an intermediate step 108 that curves smoothly into the peripheral ridge 104.

또한, 중앙 캡(60)을 통과하는 형상화된 원뿔형 통로(78), 및 실링 플레이트(90)의 제 1 및 제 2 원뿔형 개구(92, 94)는 프로세스 가스 또는 정화 가스가 최 소 유동 저항으로 관통할 수 있도록 하고, 기판(24)의 표면에 걸쳐서 양호한 분배를 제공한다. 원뿔형 통로(78)는 가스가 챔버(22)로 하강함에 따라 직경이 증가한다. 마찬가지로, 나선형으로 하강하는 프로세스 가스 와류의 폭은 높은 속도 가스 유동을 제공하기 위해 증가한다. 원뿔형 통로(78)의 수직 축(86) 근처의 프로세스 가스의 회전 에너지 및 각 운동량은 프로세스 가스가 통로를 따라 하강함에 따라 감소한다. 실링 플레이트(90)내의 가스 통로의 부분은 실링 플레이트(90)의 최상부와 바닥부 사이에서 증가하는 직경을 갖는다. 따라서, 캡(60)과 실링 플레이트(90)를 통하는 전체 가스 통로는 프로세스 가스 와류가 챔버(22)에 진입함에 따라 프로세스 가스 와류가 전개할 수 있도록 벨 형상으로 형상화되어, 기판(24) 바로 위의 챔버(22)의 프로세스 존(34)으로 프로세스 가스를 균일하게 분배할 수 있다. In addition, the shaped conical passageway 78 through the central cap 60, and the first and second conical openings 92, 94 of the sealing plate 90, allow process gas or purge gas to pass through with minimal flow resistance. And good distribution over the surface of the substrate 24. Conical passageway 78 increases in diameter as gas descends into chamber 22. Likewise, the width of the spirally descending process gas vortex increases to provide high velocity gas flow. Rotational energy and angular momentum of the process gas near the vertical axis 86 of the conical passageway 78 decrease as the process gas descends along the passageway. The portion of the gas passage in the sealing plate 90 has an increasing diameter between the top and bottom of the sealing plate 90. Thus, the entire gas passage through the cap 60 and the sealing plate 90 is shaped into a bell shape so that the process gas vortex can develop as the process gas vortex enters the chamber 22, thereby directly over the substrate 24. The process gas can be uniformly distributed to the process zone 34 of the chamber 22.

또한, 가스 분배기(40)는 가열 또는 냉각 엘리먼트들과 온도 센서들을 포함하는 온도 조절 시스템(110)을 포함할 수 있다. 실링에 장착된 가스 분배기(40)는 프로세스 존의 영역에서 많은 표면적을 차지한다. 따라서, 기판(24)에 대한 프로세스 가스의 영향을 제어하기 위해 가스 분배기(40)의 온도를 제어하는 것이 바람직하다. 가스 분배기(40)가 예를 들어 너무 뜨거우면, 프로세스 가스는 기판(24) 위 대신에 이러한 표면들에 물질을 증착하도록 그 표면들에서 반응할 수 있다. 대안적으로, 가스 분배기(40)의 과도한 냉각은 프로세스 가스가 기판(24)에 도달할 때 프로세스 가스의 온도가 과도하게 냉각되도록 할 수 있다. 따라서, 기판(24)으로 프로세스 가스의 최적의 전달을 제공하는 온도들을 유지하기 위해 가스 분배 기(40)의 온도들을 제어하는 것이 바람직하다.In addition, the gas distributor 40 may include a temperature control system 110 that includes heating or cooling elements and temperature sensors. The gas distributor 40 mounted to the seal occupies a large surface area in the region of the process zone. Thus, it is desirable to control the temperature of the gas distributor 40 to control the influence of the process gas on the substrate 24. If the gas distributor 40 is too hot, for example, the process gas may react at those surfaces to deposit material on these surfaces instead of on the substrate 24. Alternatively, excessive cooling of the gas distributor 40 may cause the temperature of the process gas to be excessively cooled when the process gas reaches the substrate 24. Thus, it is desirable to control the temperatures of the gas distributor 40 to maintain temperatures that provide optimal delivery of process gas to the substrate 24.

일 실시예에서, 온도 조절 시스템(110)은 가스 분배기(40)에 접촉하는, 예를 들어 캡(60), 실링 플레이트(90) 또는 이 둘 다와 접촉하는, 열 전달 유체 도관들(112)을 포함한다. 온도 조절 시스템(110)은 열을 프로세스 가스에 부가 또는 제거하도록 열 전달 유체를 관통시키기 위한 유체 도관(116)을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 유체 도관(116)은 도 2a에 도시된 것처럼, 실링 플레이트(90)를 통과하게 기계가공된 채널을 포함한다. 이는 중앙 캡(60)과 실링 플레이트(90)를 통해 연장하는 가스 통로(70)를 통하여 프로세스 가스가 통과함에 따라, 유체 도관(116)이 프로세스 가스의 온도를 제어할 수 있도록 한다. 예를 들어, 원뿔형 통로(78)와 제 1 원뿔형 개구(92)의 상이한 부피들로 인해 발생하는 가스의 팽창 때문에 이러한 영역을 통과하는 프로세스 가스의 온도가 급속하게 변화되면, 목표된 온도 차이에서 유지되는 열 전달 유체를 유체 도관(116)을 통해 통과시킴으로써, 가스 온도의 변화가 조절될 수 있다. 열 전달 유체는 그 온도를 조절하기 위해 가스 분배기(40)를 통과하는 프로세스 가스와 열을 교환한다. 열 전달 유체의 온도는 챔버(22) 외부의 종래의 열 교환 시스템(미도시)을 이용하여 조절되며, 열 교환 시스템은 예를 들어, 탈이온수와 같은 열 전달 유체를 포함하는 유체 저장소를 유체 도관들(116)에 접속시키는 펌프를 포함하고, 유체 도관(116)의 유체를 가열 또는 냉각시키기 위한 가열 또는 냉각 시스템을 포함한다.In one embodiment, the temperature control system 110 is in contact with the gas distributor 40, for example heat transfer fluid conduits 112, in contact with the cap 60, the sealing plate 90, or both. It includes. The temperature control system 110 may include a fluid conduit 116 for penetrating the heat transfer fluid to add or remove heat to the process gas. In one embodiment, the fluid conduit 116 includes a channel machined through the sealing plate 90, as shown in FIG. 2A. This allows the fluid conduit 116 to control the temperature of the process gas as it passes through the gas passage 70 extending through the central cap 60 and the sealing plate 90. For example, if the temperature of the process gas passing through this region changes rapidly due to the expansion of the gas due to the different volumes of the conical passageway 78 and the first conical opening 92, it is maintained at the desired temperature difference. By passing the resulting heat transfer fluid through the fluid conduit 116, the change in gas temperature can be controlled. The heat transfer fluid exchanges heat with the process gas passing through the gas distributor 40 to regulate its temperature. The temperature of the heat transfer fluid is controlled using a conventional heat exchange system (not shown) outside of the chamber 22, the heat exchange system fluid conduit through a fluid reservoir containing a heat transfer fluid such as, for example, deionized water. A pump connecting to the fields 116, and a heating or cooling system for heating or cooling the fluid in the fluid conduit 116.

챔버(22)로 통과되는 프로세스 가스는 프로세스 존을 둘러싸도록 챔버(22)의 측벽(30)을 적어도 부분적으로 커버하는 챔버 라이너(120)에 의해 기판(24)의 처리 영역 근처에 포함된다. 챔버 라이너(120)는 프로세스 가스로부터 챔버(22)의 측벽들을 차폐시키고 기판(24) 위의 영역으로 프로세스 가스를 한정하도록 작용한다. 챔버 라이너(120)는 전형적으로 챔버 측벽(30)과 적어도 부분적으로 일치하도록 형상화된다. 또한, 챔버 라이너(120)는 프로세스 존(34)으로부터 배기 포트(52)로 프로세스 가스가 관통할 수 있도록 가스 개구들(124)을 갖는다. 챔버 라이너(120)는 알루미늄 또는 세라믹과 같은 금속으로 제조될 수 있다.Process gas passed into the chamber 22 is included near the processing region of the substrate 24 by a chamber liner 120 that at least partially covers the sidewall 30 of the chamber 22 to surround the process zone. The chamber liner 120 acts to shield the sidewalls of the chamber 22 from the process gas and confine the process gas to an area above the substrate 24. Chamber liner 120 is typically shaped to at least partially coincide with chamber sidewall 30. The chamber liner 120 also has gas openings 124 to allow process gas to penetrate from the process zone 34 to the exhaust port 52. The chamber liner 120 may be made of metal such as aluminum or ceramic.

챔버(22)에 적합한 챔버 라이너(120)는 도 2a에 도시된 것처럼, 제 1 직경을 갖는 제 1 환형 밴드(126) 및 제 2 직경을 갖는 제 2 환형 밴드(128)를 포함한다. 제 2 환형 밴드(128)는 제 1 환형 밴드(126)의 직경 보다 더 큰 크기를 갖는다. 예를 들어, 제 2 환형 밴드(128)의 제 2 직경은 제 1 환형 밴드(126)의 제 1 직경 보다 적어도 약 2cm 더 클 수 있다. 또한, 제 1 환형 밴드(126)는 제 1 높이를 포함하고, 제 2 환형 밴드(128)는 제 1 높이보다 더 높은 제 2 높이를 포함하며, 예를 들어, 제 2 환형 밴드(128)는 제 1 환형 밴드(126)의 제 1 높이보다 적어도 2cm 더 높은 제 2 높이를 가질 수 있다. 일 실시예에서, 제 1 환형 밴드(126)는 약 12인치 내지 약 15인치의 제 1 직경 및 약 1.5인치 내지 약 2.5인치의 제 1 높이를 갖고; 제 2 환형 밴드(128)는 약 15인치 내지 약 18인치의 제 2 직경 및 약 2.5인치 내지 약 4인치의 제 2 높이를 갖는다.Chamber liner 120 suitable for chamber 22 includes a first annular band 126 having a first diameter and a second annular band 128 having a second diameter, as shown in FIG. 2A. The second annular band 128 has a size larger than the diameter of the first annular band 126. For example, the second diameter of the second annular band 128 may be at least about 2 cm larger than the first diameter of the first annular band 126. In addition, the first annular band 126 includes a first height, and the second annular band 128 includes a second height that is higher than the first height, for example, the second annular band 128 It may have a second height that is at least 2 cm higher than the first height of the first annular band 126. In one embodiment, the first annular band 126 has a first diameter of about 12 inches to about 15 inches and a first height of about 1.5 inches to about 2.5 inches; The second annular band 128 has a second diameter of about 15 inches to about 18 inches and a second height of about 2.5 inches to about 4 inches.

챔버 라이너(120)의 제1 및 제2 환형 밴드들(126,128)은 형태가 원형인 방사상 플랜지(radial flange)(130)에 의해 그들의 바닥부 에지들에서 구조적으로 함께 결합된다. 방사상 플랜지(130)는 방사상 방향으로 이격된 갭에서 제1 및 제2 환형 밴드들(126, 128)을 고정시키도록 기능하다. 방사상 플랜지(130)는 적어도 약 38mm, 예를 들어, 약 25 내지 약 50mm의 방사상 갭을 제공하도록 크기가 정해질 수 있다. 방사상 리지(radial ledge)(136)는 챔버 라이너(120)의 제1 환형 밴드(126)의 최상부 에지(140)에 제2 환형 밴드(128)의 중간섹션(138)을 추가로 결합시킨다. 방사상 리지(136)는 챔버 라이너(120)에 부가적인 구조적 통합성을 제공한다. 방사상 리지(136)는 예를 들어, 내부 환경의 약 0 내지 약 180°를 커버하기 위하여 챔버 라이너(120)의 내부 환경의 일부분에 걸쳐 연장된다. 결과적으로, 챔버 라이너(120)를 통한 프로세스 가스의 용이한 흐름 및 통과를 제공하도록 내부 환경의 나머지 부분에 걸쳐 개방 갭 영역이 제공된다.The first and second annular bands 126, 128 of the chamber liner 120 are structurally joined together at their bottom edges by a radial flange 130 that is circular in shape. The radial flange 130 functions to secure the first and second annular bands 126, 128 in the radially spaced gaps. The radial flange 130 may be sized to provide a radial gap of at least about 38 mm, for example about 25 to about 50 mm. The radial ledge 136 further couples the middle section 138 of the second annular band 128 to the top edge 140 of the first annular band 126 of the chamber liner 120. Radial ridge 136 provides additional structural integrity to the chamber liner 120. Radial ridge 136 extends over a portion of the interior environment of chamber liner 120, for example to cover about 0 to about 180 ° of the interior environment. As a result, an open gap region is provided over the remainder of the interior environment to provide for easy flow and passage of process gas through the chamber liner 120.

챔버 라이너(120)는 또한 프로세스 가스가 제1 및 제2 환형 밴드들(126, 128)을 통해 프로세스 영역(34)으로부터 배출 포트(52)로 흐르도록 허용하는 인케이싱된(encased) 제1 구멍(139)을 갖는다. 제1 구멍(139)은 제1 환형 밴드(126)를 통해서 연장되는 제1 슬롯(140a) 및 제1 환형 밴드(126)의 제1 슬롯(140a)에 대해 정렬된 제2 환형 밴드(128)를 통과하는 제2 슬롯(140b)의 정렬에 의해 형성된다. 정렬된 슬롯들(140a, 140b)은 인케이싱된 제1 구멍(139)을 형성하기 위하여 편평한 최상부 벽(142) 및 바닥부 벽(144)에 의해 둘러싸인다. 한 버전에서, 제1 및 제2 슬롯들(140a, 140b)은 둥근 코너들을 갖는 직사각형들을 포함한다. 예를 들어, 직사각형들은 각각 약 0.75 내지 3 인치의 높이 및 약 12 내지 18 인치의 길이를 가질 수 있다. 정렬된 슬롯들(140a, 140b)은 슬롯들(140a, 140b)의 에지들 및 코너들의 침식이 감소되는 챔버 라이너(120)를 통한 프로세스 가스 종(species)의 통과 를 허용헌다. 챔버 라이너(120)는 또한 노출 포트(52)에 대해 개방되는 제1 환형 밴드(126)에서 부가적인 제1 구멍(149)을 가질 수 있다. 제1 및 제2 구멍들(139, 149)은 챔버 라이너(120)를 통한 가스의 통과를 용이하게 한다. 한 버전에서, 제1 구멍(139)은 예를 들어, 챔버(22)로의 그리고 챔버(22)로부터의 기판(24)의 로봇 이송에 의해 챔버 라이너(120)를 통한 기판(24)의 통과를 허용한다.The chamber liner 120 also includes an encased first hole that allows process gas to flow from the process region 34 to the discharge port 52 through the first and second annular bands 126, 128. Has 139. The first aperture 139 is aligned with respect to the first slot 140a extending through the first annular band 126 and the first annular band 128 of the first annular band 126. It is formed by the alignment of the second slot 140b passing through. Aligned slots 140a, 140b are surrounded by a flat top wall 142 and a bottom wall 144 to form an encased first hole 139. In one version, the first and second slots 140a, 140b comprise rectangles with rounded corners. For example, the rectangles can each have a height of about 0.75 to 3 inches and a length of about 12 to 18 inches. Aligned slots 140a and 140b allow passage of process gas species through chamber liner 120 where erosion of the edges and corners of slots 140a and 140b is reduced. Chamber liner 120 may also have an additional first hole 149 in first annular band 126 that is open to exposed port 52. The first and second holes 139, 149 facilitate the passage of gas through the chamber liner 120. In one version, the first hole 139 allows passage of the substrate 24 through the chamber liner 120 by, for example, robotic transfer of the substrate 24 to and from the chamber 22. Allow.

챔버(22)는 또한 프로세스 가스가 챔버(22)로부터 프로세스 가스를 배출시키기 위해 기판 표면 위를 지나간 이후에 프로세스 영역(34)으로부터 소비된 프로세스 가스를 수용하고 배출 도관(conduit)(54)으로 가스를 전달하는 배출 포트(52)를 갖는다. 배출 포트(52)가 챔버의 측벽(30)의 일부를 형성하는 중공 배기 블럭(152)에 제공된다. 중공 배기 블럭(152)은 도 4에 도시된 바와 같이, 내부 벽(155)상의 직사각형 입구 포트(154), 외부 벽(157)상의 원형 출구 포트(156), 및 그 사이의 직사각형 채널(158)을 포함한다. 중공 배기 블럭(152)은 내부 표면들상에 프로세스 잔여 물질의 증착을 초래하는 뜨거운 반응성 프로세스 가스 종 가스에 노출된다. 그러한 프로세스 잔여 증착물들의 축적은 시간에 걸쳐 내부 표면으로부터 사라진 이러한 증착물들이 기판 오염을 야기할 수 있으므로 바람직하지 않다. 배출 표면들위의 그러한 프로세스 가스 잔여물들의 축적은 배기 블럭(152)의 내부 표면들을 세정함으로써 고정될 수 있으나, 배기 블럭이 종종 챔버(22)의 통합 부분이므로 챔버(22)의 해체를 요구하여, 시간 소모적이며, 과도한 챔버 정지 시간을 초래한다. 챔버(22)에서 사용된 프로세스 가스의 조성이 변화될 때, 또는 배기 블럭(152)의 내부 표면들 위에 이미 축적된 증착물들이 바람직하지 않은 방식으로 새 로운 가스 종들과 반응될 수 있기 때문에 문제점들이 발생한다.The chamber 22 also receives spent process gas from the process region 34 after the process gas has passed over the substrate surface to evacuate the process gas from the chamber 22 and into the exhaust conduit 54. It has a discharge port 52 for passing it. A discharge port 52 is provided in the hollow exhaust block 152 that forms part of the side wall 30 of the chamber. The hollow exhaust block 152 has a rectangular inlet port 154 on the inner wall 155, a circular outlet port 156 on the outer wall 157, and a rectangular channel 158 therebetween, as shown in FIG. 4. It includes. The hollow exhaust block 152 is exposed to hot reactive process gas species gas which results in the deposition of process residual material on the inner surfaces. Accumulation of such process residual deposits is undesirable because such deposits that disappear from the interior surface over time can cause substrate contamination. Accumulation of such process gas residues on the discharge surfaces can be fixed by cleaning the inner surfaces of the exhaust block 152, but since the exhaust block is often an integral part of the chamber 22, it may require dismantling of the chamber 22. It is time consuming and results in excessive chamber downtime. Problems arise when the composition of the process gas used in the chamber 22 changes, or because deposits already accumulated on the inner surfaces of the exhaust block 152 may react with the new gas species in an undesirable manner. do.

따라서, 배출 포트(52) 주변에, 그리고 챔버(22)의 배기 블럭(152)에 용이하게 교체가능하고 제거가능한 표면들을 보호하고 제공하기 위하여 배기 차폐 어셈블리(160)가 제공된다. 예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같은 배기 차폐 어셈블리(160)의 예시적인 실시예는 컴포넌트 구조물들의 세정 또는 교체를 위해 배기 차폐 어셈블리(160)의 신속한 제거 또는 분해를 허용하는 동안 이러한 영역을 통해 프로세스 가스의 우수한 흐름을 제공하도록 함께 협동하는 컴포넌트 구조물들의 어셈블리를 포함한다. 배기 차폐 어셈블리(160)는 그들의 표면들상에 초과 증착물들이 형성될 때 용이하게 제거되거나 세정되거나 교체될 수 있다. 추가로, 설정된 횟수의 프로세스 사이클들에서 사용한 이후에, 또는 프로세스 가스 조성의 변화 이후에, 제거가능한 배기 차폐 어셈블리(160)는 소비할 수 있는 배출 라이닝(lining) 시스템을 제공하기 위하여 처분되거나 신선한 배기 차폐 어셈블리로 교체될 수 있다. 챔버(22)로부터 제거가능한 이후, 배기 차폐 어셈블리(160)는 용매로 헹궈짐으로써 세정될 수 있으며 재사용될 수 있다.Accordingly, an exhaust shield assembly 160 is provided to protect and provide easily replaceable and removable surfaces around the exhaust port 52 and to the exhaust block 152 of the chamber 22. For example, an exemplary embodiment of the exhaust shield assembly 160 as shown in FIG. 4 may be directed through this area while allowing for rapid removal or disassembly of the exhaust shield assembly 160 for cleaning or replacement of component structures. An assembly of component structures that cooperate together to provide a good flow of process gas. The exhaust shield assembly 160 can be easily removed, cleaned or replaced when excess deposits are formed on their surfaces. In addition, after use in a set number of process cycles, or after a change in process gas composition, the removable exhaust shield assembly 160 is disposed of or provided with fresh exhaust to provide a drainable exhaust lining system. Can be replaced with a shield assembly. After being removed from the chamber 22, the exhaust shield assembly 160 can be cleaned and reused by rinsing with solvent.

한 버전에서, 배기 차폐 어셈블리(160)는 내부 차폐부(162), 포켓 차폐부(164), 및 외부 차폐부(166) 및 커버 차폐부(210)를 포함한다. 내부 차폐부(162)는 실질적으로 서로 평행하며 아치형 단부 부분들(178a, 178b)에 의해 접속되는 상부 및 하부 평면 벽들(174, 176)에 의해 형성되는 경계선(170)을 갖는 내장된 직사각형 밴드(168)를 포함한다. 한 버전에서, 평면 벽들(174, 176)은 적어도 약 4cm 만큼 분리된다. 직사각형 밴드(168)의 횡단면 프로파일은 둥근 코너들을 갖는 직사각형과 같이 형상화된다. 그러나, 밴드(168)의 아치형 단부 부분들(178a, 178b)은 원통형일 수 있고, 다중-반경 곡선형일 수 있으며, 또는 심지어 실질적으로 편평할 수도 있다. 내부 차폐부(162)는 챔버(22)의 중공 배기 블럭(152)의 내부 벽(180)상에 위치되며, 내장된 직사각형 밴드(168)는 중공 배기 블럭(152)에서 직사각형 입구 포트(154) 위에 맞춰지도록 크기가 정해진다.In one version, the exhaust shield assembly 160 includes an inner shield 162, a pocket shield 164, and an outer shield 166 and a cover shield 210. The inner shield 162 is a built-in rectangular band having boundary lines 170 formed by upper and lower planar walls 174, 176 that are substantially parallel to each other and connected by arcuate end portions 178a, 178b. 168). In one version, the planar walls 174, 176 are separated by at least about 4 cm. The cross-sectional profile of rectangular band 168 is shaped like a rectangle with rounded corners. However, the arcuate end portions 178a, 178b of the band 168 may be cylindrical, multi-radius curved, or even substantially flat. The inner shield 162 is located on the inner wall 180 of the hollow exhaust block 152 of the chamber 22, and the built-in rectangular band 168 has a rectangular inlet port 154 in the hollow exhaust block 152. Sized to fit above.

내부 차폐부(162)는 또한 직사각형 밴드(168)의 경계선 너머로 수직하게 연장되는 평면형 프레임(172)을 포함한다. 평면형 프레임(172)은 내부 차폐부(162)의 외부 단부(190)에 위치된다. 평면형 프레임(172)은 포켓 차폐부(164)에 매칭되는 둥근 직사각형 홀과 같은 높이로(flush against) 배치된다. 한 버전에서, 평면형 프레임(172)은 약 3 내지 약 14cm만큼 밴드의 경계선 너머로 연장된다. 평면형 프레임(172)은 직사각형 밴드(168)의 경계선(170)으로 용접되거나 납땜될 수 있으며, 동일한 물질로, 즉, 알루미늄 시트로 만들어진다.The inner shield 162 also includes a planar frame 172 extending vertically beyond the boundary of the rectangular band 168. The planar frame 172 is located at the outer end 190 of the inner shield 162. The planar frame 172 is disposed flush with a rounded rectangular hole that matches the pocket shield 164. In one version, planar frame 172 extends beyond the border of the band by about 3 to about 14 cm. The planar frame 172 may be welded or soldered to the boundary line 170 of the rectangular band 168 and is made of the same material, ie, made of aluminum sheet.

포켓 차폐부(164)는 최상부 단부(196) 및 바닥부 단부(198)를 갖는 관형 인케이싱(194)을 포함한다. 관형 인케이싱(194)은 직사각형 중공 슬리브를 동봉하는 대향하는 제1 및 제2 표면들(200, 202)을 갖는다. 제1 평면 표면(200)은 프로세스 가스가 이러한 통로를 통해 흐를 수 있도록 내부 차폐부(162)의 직사각형 밴드(168)에 들어맞는 내부 직사각형 컷아웃(cutout)(206)을 갖는다. 제2 평면 표면(202)은 외부 차폐부(166) 위에 들어맞는 외부 원형 컷아웃(208)을 갖는다. 커버 플레이트(210)는 관형 인케이싱(194)의 최상부 단부(196)를 커버하여 폐쇄시킨다. 포켓 차폐부(164)의 바닥부 단부(198)는 배기 블럭(152)내에 들어맞도록 구성 되는 웰(well)을 갖는다. 한 버전에서, 웰(212)은 타원형이다. 포켓 차폐부(164)는 중공 배기 블럭(152)의 직사각형 채널(158) 내에 맞춰지도록 크기가 정해진다.Pocket shield 164 includes a tubular encasing 194 having a top end 196 and a bottom end 198. The tubular encasing 194 has opposing first and second surfaces 200, 202 enclosing a rectangular hollow sleeve. The first planar surface 200 has an inner rectangular cutout 206 that fits into the rectangular band 168 of the inner shield 162 so that process gas can flow through this passageway. The second planar surface 202 has an outer circular cutout 208 that fits over the outer shield 166. Cover plate 210 covers and closes top end 196 of tubular encasing 194. Bottom end 198 of pocket shield 164 has a well configured to fit within exhaust block 152. In one version, the well 212 is elliptical. The pocket shield 164 is sized to fit within the rectangular channel 158 of the hollow exhaust block 152.

외부 차폐부(166)는 서로 결합되는 제1 및 제2 실린더들(212, 214)을 포함한다. 도시된 버전에서, 제1 실린더(212)는 제1 실린더(214)보다 크도록 크기가 정해진다. 제1 및 제2 실린더들(212, 214)의 치수들은 외부 차폐부(166)가 중공 배기 블럭(152)의 외부 벽(157)에 대항하여 같은 높이가 되게 배치되도록 구성되기 때문에, 챔버 기하학적 구조에 의해 결정된다. 외부 차폐부(166)의 제2 실린더(214)는 중공 배기 블럭(152)의 원형 출구 포트(158)를 맞추도록 크기가 정해진다. 한 버전에서, 외부 차폐부(166)는 약 5.5 인치 내지 약 7 인치의 높이, 약 5.5 인치 내지 약 8 인치의 폭, 및 약 1.4 내지 약 4 인치의 깊이를 갖는다. 평면 부재(216)는 제2 실린더(214)에 부착되고, 제2 실린더 너머로 수직으로 연장된다. 한 버전에서, 평면 부재(216)는 약 0.5 내지 약 1.5 인치만큼 제2 실린더(214)의 에지 너머로 연장된다.The outer shield 166 includes first and second cylinders 212, 214 coupled to each other. In the illustrated version, the first cylinder 212 is sized to be larger than the first cylinder 214. The chamber geometry is such that the dimensions of the first and second cylinders 212, 214 are configured such that the outer shield 166 is arranged flush with the outer wall 157 of the hollow exhaust block 152. Determined by The second cylinder 214 of the outer shield 166 is sized to fit the circular outlet port 158 of the hollow exhaust block 152. In one version, the outer shield 166 has a height of about 5.5 inches to about 7 inches, a width of about 5.5 inches to about 8 inches, and a depth of about 1.4 to about 4 inches. The planar member 216 is attached to the second cylinder 214 and extends vertically beyond the second cylinder. In one version, planar member 216 extends beyond the edge of second cylinder 214 by about 0.5 to about 1.5 inches.

한 버전에서, 내부 차폐부(162), 포켓 차폐부(164), 외부 차폐부(166) 및 커버 플레이트(210)는 모두 금속, 예를 들어, 알루미늄, 스테인레스 스틸, 또는 티타늄 등으로 만들어진다. 한 버전에서, 배기 차폐 어셈블리(160)는 약 0.06 인치의 두께를 갖는 알루미늄 시트들로 스탬핑되고 가압된다. 또한, 차폐부 컴포넌트들의 표면들은 보다 나은 프로세스 잔여물들의 점착을 위해 비드-블라스팅된(bead-blasted) 표면들을 포함할 수 있다. 한 버전에서, 표면들은 약 40 내지 150 마이크로인치, 또는 심지어 약 54 마이크로인치의 표면 조도를 갖는다. 표면 조도는 또한 직경이 약 40 내지 약 125 미크론의 입자를 포함하는 슬러리로 습식 샌딩(wet sanding)함으로써, 또는 120 내지 400 그리트(grit)를 포함하는 사포로 건식 샌딩(dry sanding)함으로써 획득될 수 있다.In one version, the inner shield 162, pocket shield 164, outer shield 166 and cover plate 210 are all made of metal, such as aluminum, stainless steel, titanium, or the like. In one version, the exhaust shield assembly 160 is stamped and pressed into aluminum sheets having a thickness of about 0.06 inches. In addition, the surfaces of the shield components may include bead-blasted surfaces for better adhesion of process residues. In one version, the surfaces have a surface roughness of about 40 to 150 micro inches, or even about 54 micro inches. Surface roughness may also be obtained by wet sanding with a slurry comprising particles of about 40 to about 125 microns in diameter, or by dry sanding with sandpaper comprising 120 to 400 grits. have.

배기 차폐 어셈블리(160)가 중공 배기 블럭(152)에 설치될 때, 차폐 어셈블리(160)의 컴포넌트들은 서로에 대하여 타이트하게 맞춰지고 접촉된다. 내부 차폐부(162)는 포켓 차폐부(164)와 접촉하며, 내부 차폐부(162)의 평면형 프레임(172)은 포켓 차폐부(164)의 슬롯과 정렬된다. 외부 차폐부(166)의 표면은 포켓 차폐부(164)의 제1 평면 표면과 접촉하며, 커버 플레이트(210)는 포켓 차폐부(164)를 커버한다. 배출 차폐부의 차폐부 컴포넌트들이 반드시 서로 기밀한 가스 밀봉(gas tight seal)을 형성할 필요는 없으나, 컴포넌트들은 배기 블럭(152)으로부터 프로세스 가스의 누출을 감소시키기 위하여 서로 우수하게 접촉되어야만 한다.When the exhaust shield assembly 160 is installed in the hollow exhaust block 152, the components of the shield assembly 160 are tightly fitted and contacted with each other. The inner shield 162 contacts the pocket shield 164, and the planar frame 172 of the inner shield 162 is aligned with the slot of the pocket shield 164. The surface of the outer shield 166 is in contact with the first planar surface of the pocket shield 164, and the cover plate 210 covers the pocket shield 164. The shield components of the exhaust shield do not necessarily form a gas tight seal with each other, but the components must be in good contact with each other to reduce the leakage of process gas from the exhaust block 152.

플라즈마 ALD 챔버Plasma ALD chamber

기판 처리 장치(20)의 다른 실시예는 도 5에 도시된 바와 같이, 플라즈마 ALD 프로세스들에 적합한 ALD 챔버(22a)를 포함한다. 챔버(22a)는 플라즈마 ALD에 대하여 우수한 온도 특성들을 제공하도록 구성되는 리드(29)를 가지며, 예를 들어, 도 5에 도시된 바와 같이 수냉식 실링 플레이트(ceiling plate)(31)와 같은 챔버 리드(29a)의 냉각 또는 가열을 위한 열 교환 엘리먼트들을 가질 수 있다. 장치(20)는 또한 예를 들어, 원격 가스 에너자이저(매사추세츠, 윌밍턴, MKS Instruments, Inc.로부터 이용가능한 모델 # ASTRO), 또는 전기 커넥터, 전력 공급 부, 및 인-시튜 플라즈마 발생을 위해 챔버에 또는 챔버 근처에 장착된 전극들과 같은 원격 또는 인-시튜 에너자이저 엘리먼트들을 포함할 수 있다. 몇몇 챔버들에서, 챔버 리드(29)의 금속 엘리먼트는 프로세스 전극으로서 사용된다. 또한, 하나 이상의 절연 링들(35)이 챔버 컴포넌트들 사이에 열적 또는 전기적 절연을 제공하기 위하여 챔버 벽과 실링 사이에 제공될 수 있다. 프로세스 가스 공급부(38a) 또는 프로세스 가스 공급기(38a)의 컴포넌트들은 챔버 리드(29)상에 장착될 수 있으며, 공기 밸브(pneumatic valve)들, 프로세스 가스 소스(36a) 또는 다양한 튜브들, 및 프로세싱 동안에 프로세스 챔버(22a)로 제어된 레벨의 프로세스 가스 및 정화 가스의 전달을 위한 채널들을 포함할 수 있다.Another embodiment of the substrate processing apparatus 20 includes an ALD chamber 22a suitable for plasma ALD processes, as shown in FIG. The chamber 22a has a lid 29 configured to provide excellent temperature characteristics for the plasma ALD, for example a chamber lid such as a water-cooled sealing plate 31 as shown in FIG. Heat exchange elements for cooling or heating of 29a). The apparatus 20 may also be installed in a chamber for, for example, a remote gas energizer (Model # ASTRO available from Wilmington, Mass., MKS Instruments, Inc.), or electrical connectors, power supplies, and in-situ plasma generation. Or remote or in-situ energizer elements such as electrodes mounted near the chamber. In some chambers, the metal element of the chamber lid 29 is used as a process electrode. In addition, one or more insulating rings 35 may be provided between the chamber wall and the sealing to provide thermal or electrical insulation between the chamber components. The components of the process gas supply 38a or the process gas supply 38a may be mounted on the chamber lid 29 and may include pneumatic valves, process gas source 36a or various tubes, and during processing. The process chamber 22a may include channels for the delivery of controlled levels of process gas and purge gas.

도 5에 도시된 챔버들에서, 가스 분배기(40a)는 중앙 캡(60a), 실링 삽입기(37) 및 챔버 리드(29)의 바닥 표면에 맞춰지는 샤워헤드(220)를 포함한다. 중앙 캡(60a)은 하나 이상의 가스 입구들(65a, 65b), 가스 출구(66a), 및가스 입구(65)와 가스 출구(66a) 사이의 가스 통로(70a)를 갖는다. 가스 입구들(65a, 65b)은 수평 평면에서 서로로부터 오프셋되고, 가스 통로(70a)의 환경 주변에 위치된다. 오프셋 가스 입구들(65a, 65b)은 입구들(65a, 65b)로부터 출구(66a)로 소용돌이치는 가스 흐름을 달성하기 위하여 가스 통로(70a)에서 협력하는 개별적인 가스 스트림들을 제공한다. 한 버전에서, 가스 입구들(65a, 65b)은 적어도 약 60도, 예를 들어, 약 180도의 분리 각도에 위치됨으로써 오프셋될 수 있다. 캡(60a)의 가스 통로(70a)는 원통형이며, 그것의 구간을 통해 실질적으로 균일한 직경을 갖는다.In the chambers shown in FIG. 5, the gas distributor 40a includes a central cap 60a, a sealing insert 37 and a showerhead 220 that fits to the bottom surface of the chamber lid 29. The central cap 60a has one or more gas inlets 65a, 65b, a gas outlet 66a, and a gas passage 70a between the gas inlet 65 and the gas outlet 66a. The gas inlets 65a and 65b are offset from each other in the horizontal plane and are located around the environment of the gas passage 70a. Offset gas inlets 65a, 65b provide individual gas streams that cooperate in gas passage 70a to achieve a gas flow that swirls from inlets 65a, 65b to outlet 66a. In one version, the gas inlets 65a, 65b may be offset by being located at a separation angle of at least about 60 degrees, for example about 180 degrees. The gas passage 70a of the cap 60a is cylindrical and has a substantially uniform diameter through its section.

캡(60a)은 실링 삽입기(37)상에 놓이며, 프로세스 가스의 통로를 통과하여 원뿔형 통로를 갖는다. 실링 삽입기(37)는 세라믹 또는 석영을 포함하며, 챔버 리드(29)의 다른 컴포넌트들로부터 프로세스 가스들을 전기적 및 열적으로 절연시키도록 작용한다. 실링 삽입기(37)의 입구(39)는 중앙 캡(60a)의 출구(66a)로부터 프로세스 가스를 수신한다. 원뿔형 통로(43)는 통로(43)의 직경이 실링 삽입기(37)의 하부 1/4에 걸쳐 증가하도록 아래쪽을 향해 흐르는 방향으로 바깥쪽으로 개방되는 하부(45)를 갖는다. 통로(43)는 입구(39)의 직경의 약 2배인 직경을 갖는 출구(41)에서 종결된다. 통로(43)의 이러한 돌연한 구멍은 플라즈마 스크린(192)의 더 큰 수용 표면에 대한 적응을 허용한다.The cap 60a rests on the sealing insert 37 and has a conical passage through the passage of the process gas. The sealing insert 37 comprises ceramic or quartz and acts to electrically and thermally insulate the process gases from the other components of the chamber lid 29. Inlet 39 of sealing insert 37 receives process gas from outlet 66a of central cap 60a. The conical passage 43 has a lower portion 45 opening outward in a direction flowing downward so that the diameter of the passage 43 increases over the lower quarter of the sealing insert 37. The passage 43 terminates at an outlet 41 having a diameter that is about twice the diameter of the inlet 39. These abrupt holes in the passage 43 allow adaptation to the larger receiving surface of the plasma screen 192.

프로세스 가스가 오프셋 가스 입구(65a,b)를 통해 캡(60a)으로 주입될 때, 동시에 주입되는 가스 스트림들은 소용돌이 운동으로 통로(70a)를 통해 수직 축(86a) 주위를 회전하여 입구(65a,b)로부터 실링 삽입물(37)의 출구(41)로 하향하는 가스의 나선형 흐름을 생성한다. 유리하게는, 나선형 흐름은 가스를 혼합하여 출구(41)에서 가스의 보다 균일한 혼합물을 생성한다.When process gas is injected into the cap 60a through the offset gas inlets 65a, b, the simultaneously injected gas streams rotate about the vertical axis 86a through the passage 70a in a vortex motion to inlet 65a, Create a helical flow of gas downward from b) to the outlet 41 of the sealing insert 37. Advantageously, the helical flow mixes the gases to produce a more uniform mixture of gases at the outlet 41.

프로세스 가스의 소용돌이는 실링 삽입물(37)의 출구(41)로부터 플라즈마 스크린(192)으로 나선형을 그린다. 플라즈마 스크린(192)은 플라즈마 스크린(192)을 가로질러 이격되며 분포된 다수의 홀들(224)을 갖는 환형 플레이트(222)를 포함하며 직접 플라즈마 통로로부터 채널의 중앙을 차단(screening)한다. 일 버전에서, 플라즈마 스크린(192)의 중앙 영역(232)은 그를 관통하는 홀들을 갖지 않고, 이는 RF 전극들의 직접 관찰(direct view)를 방지한다. 플라즈마 스크린(192)에 있는 홀들(224)의 수는 약 50 내지 약 400개일 수 있고, 일 버전에서, 약 150 내지 약 170개일 수 있다. 일 버전에서, 홀들(224)은 약 0.1cm 내지 약 0.3cm의 직경을 갖는다. 플라즈마 스크린(192)은, 도 8에 도시된 것처럼, 스크린(220)의 구멍뚫린 영역 둘레에 승강된 원형 밴드(242)과 성형된 주변 립(lip)(238)을 포함할 수도 있다. 주변 립(238) 및 원형 밴드(242)는 실링 삽입물(37)와의 밀봉을 형성하도록 성형된다. 일 버전에서, 플라즈마 스크린(192)은 세라믹을 포함한다. 플라즈마 스크린(192)은 모양이 환형이고 약 0.15 인치 내지 약 1 인치의 두께를 갖는다.The vortex of the process gas spirals from the outlet 41 of the sealing insert 37 into the plasma screen 192. The plasma screen 192 includes an annular plate 222 having a plurality of holes 224 spaced apart across the plasma screen 192 and screening the center of the channel from the direct plasma passage. In one version, the central area 232 of the plasma screen 192 does not have holes penetrating it, which prevents direct view of the RF electrodes. The number of holes 224 in the plasma screen 192 may be about 50 to about 400, and in one version, may be about 150 to about 170. In one version, the holes 224 have a diameter of about 0.1 cm to about 0.3 cm. The plasma screen 192 may include a rounded band 242 and a molded peripheral lip 238 elevated around the perforated area of the screen 220, as shown in FIG. 8. Peripheral lip 238 and circular band 242 are shaped to form a seal with sealing insert 37. In one version, the plasma screen 192 includes a ceramic. The plasma screen 192 is annular in shape and has a thickness of about 0.15 inches to about 1 inch.

플라즈마 스크린(192)은 샤워헤드(220) 가스 분배기로 프로세스 가스를 전달한다. 샤워헤드(220)는 샤워헤드(220)를 가로질러 이격되고 분포된 다수의 홀들(228)을 가지는 플레이트를 포함하여, 기판 표면을 가로질러 프로세스 가스를 균일하게 분배한다. 샤워헤드(220) 내의 홀들(224)의 수는 약 100 내지 약 10,000개일 수 있고, 일 버전에서, 약 500 내지 약 2500개일 수 있다. 일 버전에서, 홀들(228)은 약 0.01 내지 약 0.1 인치의 직경을 가진다. 일 실시예에서, 홀들(228)은 플레이트(226)의 상부 표면과 하부 표면 사이의 직경을 감소시키는 모양을 가지며 크기를 가진다. 이는 플레이트(226)내에서 역 흐름의 감소를 제공한다. 일 버전에서, 샤워헤드(220)는 알루미늄, 스틸, 또는 스테인리스 스틸과 같은 금속을 포함한다. 샤워헤드(220)는 모양이 환형이며 약 0.3 내지 약 2.5 인치의 두께를 갖는다.The plasma screen 192 delivers process gas to the showerhead 220 gas distributor. The showerhead 220 includes a plate having a plurality of holes 228 spaced apart and distributed across the showerhead 220 to evenly distribute the process gas across the substrate surface. The number of holes 224 in the showerhead 220 may be about 100 to about 10,000, and in one version, may be about 500 to about 2500. In one version, the holes 228 have a diameter of about 0.01 to about 0.1 inches. In one embodiment, the holes 228 are shaped and sized to reduce the diameter between the top and bottom surfaces of the plate 226. This provides for a reduction in backflow within the plate 226. In one version, the showerhead 220 includes a metal such as aluminum, steel, or stainless steel. Showerhead 220 is annular in shape and has a thickness of about 0.3 to about 2.5 inches.

샤워헤드(220)는 가스 분배기 삽입물(240)를 수용하도록 샤워헤드(220)의 중심을 통해 구멍 뚫린 홀(236)을 갖는 중앙 영역(234) 및 챔버 측벽(30a) 상부의 절 연체(113) 위에 안착되는 주변 영역(230)을 포함한다. 가스 분배기 삽입물(240)는 샤워헤드(220)에 꽉 맞도록 충분히 큰 직경을 갖는 크기인 환형 플레이트를 포함한다. 환형 플레이트는 중앙 영역과 주변 영역을 가진다. 삽입물(240)의 중앙 영역은 평편한 환형 표면(248)으로부터 몸체 영역의 표면으로 외부 및 아래로 연장하는 측벽(250)과 평편한 환형 상부 표면(248)을 구비하는 돌출부(244)를 포함한다. 일 버전에서, 삽입물(240)의 평편한 황형 상부 표면(248)은 플라즈마 스크린(192)의 중앙 영역과 접촉한다. 일 버전에서, 가스 분배기 삽입물(240)의 환형 플레이트는 예를 들면 알루미늄과 같은 금속으로 구성된다. 가스 분배기 삽입물(240)는 단결정의(monolithic) 블록으로부터 머신 가공하여 제조될 수 있다.The showerhead 220 has a central region 234 having a hole 236 drilled through the center of the showerhead 220 to receive the gas distributor insert 240 and an insulator 113 over the chamber sidewall 30a. A peripheral region 230 seated thereon. Gas distributor insert 240 includes an annular plate sized to have a sufficiently large diameter to tightly fit showerhead 220. The annular plate has a central area and a peripheral area. The central region of the insert 240 includes a protrusion 244 having sidewalls 250 extending flatly from the flat annular surface 248 to the surface of the body region and a flat annular top surface 248. . In one version, the flat yellow top surface 248 of the insert 240 contacts the central area of the plasma screen 192. In one version, the annular plate of the gas distributor insert 240 consists of a metal, for example aluminum. Gas distributor insert 240 may be manufactured by machining from a monolithic block.

가스 분배기 삽입물(240)는 삽입물(240)를 통해 연장하는 다수의 방사상 슬롯들(252)을 구비하여 프로세스 가스의 이를 통한 통과를 가능하게 한다. 슬롯들(252)은 서로로부터 이격되고 방사상 구조로 배치된다. 예를 들어, 일 버전에서, 가스 분배기 삽입물(240)는 약 5 내지 약 50개의 슬롯들(252), 예를 들어 약 20개의 슬롯들(252)을 갖는다. 일 버전에서, 각각의 슬롯(252)은 약 0.4 내지 약 1.2 인치의 길이 및 약 0.01 내지 약 0.05 인치의 폭을 가진다. 각각의 슬롯(252)은 미리 정의된 방사형 또는 원주 각을 갖도록 삽입물(240)의 환형 플레이트로 배향된다. 슬롯들(252)은 플레이트를 통해 각을 이루고 균일한 핏치를 갖는다. 슬롯들(252)은 이런 방식으로 배치되어 가스 분배기 삽입물(240)를 통한 프로세스 가스의 소용돌이 흐름을 유지한다. 슬롯들(252)의 핏치는 슬롯들(252)을 통해 소용돌이 흐름을 최적화하도록 선택되며 약 20 내지 약 70˚이거나, 보다 전형적으로는 약 45˚이다. 방사상으로 각을 이루는 슬롯들(252)은 기판(24) 상부의 프로세스 가스를 분배하여 기판(24)의 프로세싱 표면에 흡수되는 가스 분자들의 균일한 두께를 제공한다. The gas distributor insert 240 has a plurality of radial slots 252 extending through the insert 240 to allow passage of process gas therethrough. Slots 252 are spaced apart from each other and arranged in a radial configuration. For example, in one version, the gas distributor insert 240 has about 5 to about 50 slots 252, for example about 20 slots 252. In one version, each slot 252 has a length of about 0.4 to about 1.2 inches and a width of about 0.01 to about 0.05 inches. Each slot 252 is oriented with an annular plate of insert 240 to have a predefined radial or circumferential angle. Slots 252 are angled through the plate and have a uniform pitch. Slots 252 are disposed in this manner to maintain a vortex flow of process gas through gas distributor insert 240. The pitch of the slots 252 is selected to optimize the vortex flow through the slots 252 and is about 20 to about 70 degrees, or more typically about 45 degrees. Radially angled slots 252 distribute the process gas over the substrate 24 to provide a uniform thickness of gas molecules absorbed on the processing surface of the substrate 24.

일 실시예에서, 가스 분배기 삽입물(240)는 이를 통해 프로세스 가스의 통과를 허용하도록 삽입물(240)의 중앙 주변에서 삽입물(240)를 통해 연장하는 다수의 원통형 채널들(246)을 가진다. 채널들(246)은 5 내지 20개의 채널들을 포함하며 일 버전에서 12 개의 채널들을 포함한다. 채널들(246)은 돌출부(244)의 베이스 주변에서 시작하여 삽입물(240)의 밑면에서 종결된다. 원통형 채널들(246)은 돌출부(244)의 베이스 주변에서 원형 대칭 구조로 배치되며 채널들이 돌출부(244) 아래에 위치된 위치에서 종결되도록 내부로 기울어진다. 일 실시예에서, 채널들(246)은 수직 축에 약 30 내지 60˚로 기울어진다. 경사진 채널들(246)은 프로세스 가스를 기판 표면의 중심 영역으로 전달하고 기판상에 균일한 증착을 제공한다. 원통형 채널들(246)의 직경은 약 0.01 내지 약 0.1 인치이며, 일 버전에서 채널들(246)의 상부 단부의 직경은 채널들(246)의 하부 말단의 직경보다 크다. 이는 채널들(246) 내부의 역 흐름의 감소를 제공한다.In one embodiment, the gas distributor insert 240 has a plurality of cylindrical channels 246 extending through the insert 240 around the center of the insert 240 to allow passage of process gas therethrough. Channels 246 include 5 to 20 channels and in one version 12 channels. Channels 246 begin around the base of protrusion 244 and terminate at the underside of insert 240. Cylindrical channels 246 are disposed in a circular symmetrical structure around the base of protrusion 244 and are inclined inwardly so that the channels terminate at a position located below protrusion 244. In one embodiment, the channels 246 are inclined at about 30-60 degrees to the vertical axis. Inclined channels 246 deliver process gas to the central region of the substrate surface and provide uniform deposition on the substrate. The diameter of the cylindrical channels 246 is between about 0.01 and about 0.1 inches, and in one version the diameter of the upper end of the channels 246 is greater than the diameter of the lower end of the channels 246. This provides for a reduction in back flow inside the channels 246.

일 실시예에서, 챔버(22)로 도입되는 프로세스 가스는 챔버(22a)의 프로세스 영역(34a)에서 프로세스 가스로 에너지를 결합시키는 가스 에너자이저(energizer)에 의해 에너지 제공(energizing)된다. 예를 들어, 가스 에너자이저는, 프로세스 가스에 에너지 제공하도록 전기적으로 바이어싱될 수 있는 프로세스 전극들; 챔버(22a)의 중심에 대하여 원형 대칭을 갖는 유도기 코일을 포함하는 안테나; 또는 챔버(22a)로부터의 원격 영역 업스트림에서 마이크로웨이브 에너지에 의해 프로세스 가스를 활성화하는 마이크로웨이브 소스 및 도파로를 포함할 수 있다.In one embodiment, the process gas introduced into the chamber 22 is energized by a gas energizer that couples energy into the process gas in the process region 34a of the chamber 22a. For example, a gas energizer may include process electrodes that can be electrically biased to provide energy to a process gas; An antenna comprising an inductor coil having circular symmetry with respect to the center of the chamber 22a; Or a microwave source and waveguide for activating the process gas by microwave energy upstream from the remote region from chamber 22a.

플라즈마 ALD 챔버(22a)에 사용하기에 적합한 챔버 라이너(120a)가 도 7a에 도시된다. 챔버 라이너(120a)의 이 버전은 또한 프로세스 영역(34a)를 에워싸고 프로세스 가스로부터 챔버(22a)의 측벽들을 밀봉(shield)하도록 챔버(22a)의 측벽(30a)을 커버한다. 챔버 라이너(120a)는 부분적으로 알루미늄 산화물(Al2O3)과 같은 세라믹 물질로 이루어지고, 부분적으로 알루미늄 또는 스테인레스 스틸과 같은 금속으로 이루어진다. 챔버 라이너(120a)는 도 7a에 도시된 것처럼 제1 직경을 갖는 제1 환형 밴드(126a)와 제1 환형 밴드(126a)의 직경보다 큰 제2 직경을 갖는 제2 환형 밴드(128a)를 포함한다. 예를 들어, 제2 환형 밴드(128a)의 제2 직경은 제1 환형 밴드(126a)의 제1 직경보다 적어도 약 1cm 클 수 있다. 제1 환형 밴드(126a)는 또한 제1 높이를 포함하고 제2 환형 밴드(128a)는 제1 환형 밴드(126a)의 제1 높이보다 적어도 0.5cm 큰 제2 높이를 포함한다. 챔버 라이너(120a)의 제1 및 제2 환형 밴드(126a, 128a)는 이들의 저면 에지들(145a,b)에서 형상이 원형인 방사상 플랜지(130a)에 의해 접합되며, 방사상 레지(ledge, 136a)는 제2 환형 밴드(128a)의 중심섹션(138a)를 챔버 라이너(120a)의 제1 환형 밴드(126a)의 상부 에지(140)에 추가로 접합한다.A chamber liner 120a suitable for use in the plasma ALD chamber 22a is shown in FIG. 7A. This version of the chamber liner 120a also covers the sidewall 30a of the chamber 22a to surround the process region 34a and to seal the sidewalls of the chamber 22a from the process gas. The chamber liner 120a is partially made of a ceramic material, such as aluminum oxide (Al 2 O 3 ), and partially made of a metal, such as aluminum or stainless steel. The chamber liner 120a includes a first annular band 126a having a first diameter and a second annular band 128a having a second diameter greater than the diameter of the first annular band 126a as shown in FIG. 7A. do. For example, the second diameter of the second annular band 128a may be at least about 1 cm greater than the first diameter of the first annular band 126a. The first annular band 126a also includes a first height and the second annular band 128a includes a second height that is at least 0.5 cm greater than the first height of the first annular band 126a. The first and second annular bands 126a, 128a of the chamber liner 120a are joined by radial flanges 130a that are circular in shape at their bottom edges 145a, b, and have radial ledges 136a. ) Further bonds the central section 138a of the second annular band 128a to the upper edge 140 of the first annular band 126a of the chamber liner 120a.

챔버 라이너(120a)는 또한 프로세스 가스가 프로세스 영역(34a)으로부터 배기 포트(52a)로 제1 및 제2 환형 밴드(126a, 128a)를 통해 흐르게 해주는 제1 매립 형 개구(encased opening, 139a)를 구비한다. 제1 개구(139a)는 제1 환형 밴드(126a)를 통해 연장하는 제1 슬롯(146a) 및 제1 환형 밴드(126a)의 제1 슬롯(146a)에 정렬된 제2 환형 밴드(128a)를 통과하는 제2 슬롯(146b)의 정렬에 의해 형성된다. 정렬된 슬롯들(146a,b)은 매립된 제1 개구(139a)를 형성하도록 평편한 상부벽(142a) 및 하부벽(144a)에 의해 에워싸인다. 일 버전에서, 제1 및 제2 슬롯(146a,b)은 원형 코너들을 갖는 직사각형들을 포함한다. 예를 들어, 직사각형들은 각각 약 12 내지 18 인치의 길이 및 약 0.75 내지 3인치의 높이를 가질 수 있다. 챔버 라이너(120a)는 또한 배기 포트(52a)로 개구된 제1 환형 밴드(126a)내의 제2 개구(149a)를 갖는다. 제2 개구(149a)는 원형코너들을 갖는 직사각형을 포함하며, 이 직사각형은 약 5 내지 9 인치의 길이 및 약 0.75 내지 3인치의 높이를 가진다. 제1 및 제2 개구들(139a, 149b)은 챔버 라이너(120a)를 통한 가스의 통과를 용이하게 한다.The chamber liner 120a also has a first encased opening 139a that allows process gas to flow through the first and second annular bands 126a and 128a from the process region 34a to the exhaust port 52a. Equipped. The first opening 139a defines a first slot 146a extending through the first annular band 126a and a second annular band 128a aligned with the first slot 146a of the first annular band 126a. Formed by the alignment of the second slot 146b passing through it. Aligned slots 146a, b are surrounded by flat top wall 142a and bottom wall 144a to form a buried first opening 139a. In one version, the first and second slots 146a, b include rectangles with circular corners. For example, the rectangles may each have a length of about 12-18 inches and a height of about 0.75-3 inches. Chamber liner 120a also has a second opening 149a in first annular band 126a that is open to exhaust port 52a. The second opening 149a includes a rectangle with round corners, which has a length of about 5 to 9 inches and a height of about 0.75 to 3 inches. The first and second openings 139a and 149b facilitate the passage of gas through the chamber liner 120a.

챔버 라이너(120a)는 프로파일(profiled) 내부 차폐 링(125) 및 상부 차폐 링(145)을 또한 포함한다. 도 7a 및 7b를참조하면, 내부 차폐 링(125)은 ALD 챔버(22a)내의 가스 분배기(40a)와 면하는 기판 지지부(26)를 에워싸는 크기의 직경을 갖는다. 내부 차폐 링(125)은 프로세스 영역(34a)에서 가스들에 대한 부분적인 물리적 장벽으로 기능한다. 내부 차폐 링(125)은 상부의, 외부로 연장하는 지지 립(127)을 갖는 밴드를 포함한다. 내부 차폐 링(125)의 지지 립(127)은 챔버 라이너(120a)의 제1 환형 밴드(126a)의 상부 에지(146a)상에 안착된다.Chamber liner 120a also includes a profiled inner shield ring 125 and an upper shield ring 145. 7A and 7B, the inner shield ring 125 has a diameter that surrounds the substrate support 26 facing the gas distributor 40a in the ALD chamber 22a. The inner shield ring 125 serves as a partial physical barrier to the gases in the process region 34a. The inner shield ring 125 includes a band having an upper, outwardly extending support lip 127. The support lip 127 of the inner shield ring 125 rests on the upper edge 146a of the first annular band 126a of the chamber liner 120a.

밴드의 상부 표면(129)은 주변 영역이 방사상의 내부 영역보다 크도록 윤곽 을 갖는다. 상부 표면(129)은 내부 경사부(inward angled portion, 131), 중앙 수평부(133), 및 외부 혹부(135)를 포함한다. 난기류를 최소화하기 위하여, 상부면(129)의 이러한 영역들은 매끈한 코너들에 의해 연결된다. 혹부(135)는 외부로 연장하는 립(127) 상부에 위치되며 기판 지지 어셈블리의 주변의 크기보다 약 0.01 내지 약 0.5 인치만큼 더 큰 높이를 갖는다. 혹부(135)는 프로세스 영역(38a)으로부터 활성화된 프로세스 가스들의 외부 방사상 흐름을 막는 장벽으로써 기능한다.The upper surface 129 of the band is contoured such that the peripheral region is larger than the radial inner region. Top surface 129 includes an inward angled portion 131, a central horizontal portion 133, and an outer hump 135. In order to minimize turbulence, these regions of the top surface 129 are connected by smooth corners. The bump 135 is located above the outwardly extending lip 127 and has a height that is about 0.01 to about 0.5 inches greater than the size of the periphery of the substrate support assembly. The bumps 135 function as a barrier to block external radial flow of activated process gases from the process region 38a.

내부 차폐 링(125)의 방사상 내부 영역은 제1 환형 밴드(126a)로부터 약 0.2 내지 약 0.7 인치만큼 내부로 연장하며 기판 지지부(26)와 챔버 라이너(120a) 사이의 갭(137)의 일 측부를 형성한다. 내부 차폐 링의 에지 및 기판 지지부 어셈블리의 에지는 챔버 정화 단계들 동안 프로세스 가스의 난기류를 감소시키기 위하여 갭(137) 주변에서 원형화된다. 난기류의 감소는 흐름 저항의 감소를 제공하며, 보다 효율적인 정화 단계를 가능하게 한다.The radially inner region of the inner shield ring 125 extends inwardly from the first annular band 126a by about 0.2 to about 0.7 inches and one side of the gap 137 between the substrate support 26 and the chamber liner 120a To form. The edge of the inner shield ring and the edge of the substrate support assembly are rounded around the gap 137 to reduce turbulence of the process gas during the chamber purge steps. Reduction of turbulence provides a reduction in flow resistance and allows for a more efficient purge step.

상부 차폐 링(145)은 제2 밴드(128a)의 상부 표면에 안착된다. 상부 차폐 링(145)은 챔버 측벽(30a)의 상부와 실링 어셈블리의 주변부를 프로세스 영역(34a)의 활성 가스들로부터 차폐하여, 프로세스 가스들의 증착과 챔버 몸체의 에칭을 감소시킨다. 상부 차폐 링(145)은 내부로 연장하는 레지(143)에 의해 캡핑된 외부 원통형 밴드(141)를 포함한다. 레지(143)는 약 0.25 내지 약 1 인치 만큼 밴드(141)로부터 반경방향 내부로 연장한다. 상부 차폐 링(145)은 세라믹을 포함하며 약 0.25 내지 약 1 인치의 두께를 갖는다.The upper shield ring 145 is seated on the upper surface of the second band 128a. The upper shield ring 145 shields the top of the chamber sidewall 30a and the periphery of the sealing assembly from the active gases in the process region 34a, reducing deposition of process gases and etching of the chamber body. The upper shield ring 145 includes an outer cylindrical band 141 capped by an ledge extending inwardly. The ledge 143 extends radially inward from the band 141 by about 0.25 to about 1 inch. Upper shield ring 145 comprises a ceramic and has a thickness of about 0.25 to about 1 inch.

본원에 기재된 ALD 챔버들(22, 22a) 및 이들의 부품들은 기판(24)위에 증착 된 원자층의 두께 및 조성 일치(conformity)를 현저하게 개선한다. 예를 들어, 가스 분배기(40) 구조는 기판(24) 표면에 대해 더욱 빠르게 통과하는 가스 분자들의 빠르게 유동하는 소용돌이를 제공하여 기판(24) 표면에 양호하고 더욱 균일한 가스 흡수를 제공한다. 또한 가스 소용돌이는 챔버(22)내에 가스 분자 정체 영역들의 형성을 방지한다. 또한, 기판(24)의 표면에서 반응 가스의 압력이 균일할 때 원자 층 증착은 보다 균일하다. 본원의 가스 분배기(40)는 기판(24) 표면을 가로지르는 훨씬 양호한 가스 압력을 제공하여 기판(24)을 가로지르는 증착된 ALD 층의 보다 균일한 두께를 제공한다.The ALD chambers 22, 22a and components thereof described herein significantly improve the thickness and compositional conformity of the atomic layer deposited on the substrate 24. For example, the gas distributor 40 structure provides a faster flowing vortex of gas molecules that pass faster to the substrate 24 surface, providing better and more uniform gas absorption to the substrate 24 surface. The gas vortex also prevents the formation of gas molecular stagnation regions in the chamber 22. In addition, atomic layer deposition is more uniform when the pressure of the reaction gas on the surface of the substrate 24 is uniform. The gas distributor 40 herein provides much better gas pressure across the substrate 24 surface to provide a more uniform thickness of the deposited ALD layer across the substrate 24.

챔버 라이너(120a) 및 배기 차폐 어셈블리(160) 부품들은 또한 챔버(22)로부터 가스 종들의 빠른 회수를 가능하게 함으로써 ALD 프로세스를 보조한다. 이는 새로운 가스 분자들이 기판(24) 표면에 달라붙는 것을 가능하게 한다. 가스 종들의 빠른 회수는 ALD 챔버(22)가 효과적이고 효율적으로 프로세스 가스 단계들 사이에서 정화될 수 있게 해준다. 또한, 프로세스 가스가 더 높은 감쇠율을 갖는 반응 가스들 또는 유기 분자들을 포함할 때, 프로세스 가스의 도입 사이의 시간, 따라서 챔버(22)의 유효한 정화에 대해 요구되는 시간이 중요한 프로세스 파라미터이다. 게다가, 챔버 라이너(120a) 및 배기 차폐부 부품들이 챔버(22)로부터 쉽게 분해되고 제거될 수 있기 때문에, 이는 이러한 부품들을 세정하고 대체하는 데 요구될 챔버(22) 중단 시간을 감소시킨다.Chamber liner 120a and exhaust shield assembly 160 components also assist the ALD process by enabling fast recovery of gas species from chamber 22. This allows new gas molecules to stick to the substrate 24 surface. The rapid recovery of gas species allows the ALD chamber 22 to be purified effectively and efficiently between process gas stages. In addition, when the process gas includes reactant gases or organic molecules having a higher attenuation rate, the time between the introduction of the process gas, and thus the time required for effective purification of the chamber 22, is an important process parameter. In addition, since the chamber liner 120a and the exhaust shield components can be easily dismantled and removed from the chamber 22, this reduces the chamber 22 downtime that will be required to clean and replace these components.

본원 발명은 특정의 바람직한 버전을 참조하여 기재되었으나; 다른 버전들이 가능하다. 예를 들어, 배기 라이너 또는 그 부품들 및 챔버 라이너들(120, 120a) 은 당업자에게 자명할 것처럼 다른 유형의 어플리케이션들, 가령 에칭, CVD 및 PVD 챔버에서 사용될 수 있다. 또한, 다양한 부품들의 플랜지들의 형상들은 상이한 챔버 플랜지들 및 지지 벽들과의 조화를 위하여 상이할 수 있다. 또한, 다양한 부품들의 구성물의 물질들은 플라즈마 여기 또는 혼성 에칭 프로세스들에서의 어플리케이션을 위한 혼합 세라믹 또는 심지어는 완전한 세라믹 물질들과 같이 상이한 어플리케이션에 대해 상이할 수 있다. 따라서, 첨부된 특허청구범위의 사상 및 범위는 본원에 포함된 바람직한 버전들의 기재에 제한되지 않아야 한다.The present invention has been described with reference to certain preferred versions; Other versions are possible. For example, the exhaust liner or parts thereof and chamber liners 120 and 120a may be used in other types of applications, such as etching, CVD and PVD chambers, as will be apparent to those skilled in the art. In addition, the shapes of the flanges of the various parts may be different for matching with different chamber flanges and support walls. In addition, the materials of the components of the various components may be different for different applications, such as mixed ceramic or even complete ceramic materials for application in plasma excitation or hybrid etching processes. Accordingly, the spirit and scope of the appended claims should not be limited to the description of the preferred versions contained herein.

도 1은 열적 ALD 챔버의 실시예의 개략적 측단면도이다.1 is a schematic side cross-sectional view of an embodiment of a thermal ALD chamber.

도 2A 및 도 2B는 도 1의 ALD 챔버의 챔버 리드(lid)의 실링 플레이트의 상부 단면도 및 상부 평면도이다.2A and 2B are top cross-sectional and top plan views of a sealing plate of the chamber lid of the ALD chamber of FIG. 1.

도 3은 도 1의 ALD 챔버에 이용될 수 있는 챔버 라이너의 투시도이다.3 is a perspective view of a chamber liner that may be used in the ALD chamber of FIG. 1.

도 4는 도 1의 ALD 챔버의 배기 차폐 어셈블리의 확대 투시도이다.4 is an enlarged perspective view of the exhaust shield assembly of the ALD chamber of FIG. 1.

도 5는 PEALD 챔버의 일 실시예의 개략적 측단면도이다.5 is a schematic side cross-sectional view of one embodiment of a PEALD chamber.

도 6A는 팬(fan)-형 삽입물을 갖춘 가스 분배기를 포함하는 도 5의 PEALD 챔버의 챔버 리드의 개략적 바닥도이다.6A is a schematic bottom view of the chamber lid of the PEALD chamber of FIG. 5 including a gas distributor with a fan-shaped insert.

도 6B는 도 6A의 팬-형 삽입물의 개략적 투시도이다.FIG. 6B is a schematic perspective view of the fan-shaped insert of FIG. 6A.

도 7A는 도 5의 PEALD 챔버의 챔버 라이너의 투시도이다.7A is a perspective view of the chamber liner of the PEALD chamber of FIG. 5.

도 7B는 도 7A의 챔버 라이너의 단면도이다.7B is a cross-sectional view of the chamber liner of FIG. 7A.

도 8은 도 5의 PEALD 챔버의 플라즈마 스크린의 투시도이다.8 is a perspective view of a plasma screen of the PEALD chamber of FIG. 5.

Claims (30)

원자층 증착 챔버용 가스 분배기로서,A gas distributor for an atomic layer deposition chamber, (a) 적어도 하나의 가스 입구, 가스 출구 및 상기 가스 입구와 상기 가스 출구 사이의 원뿔형 통로를 포함하는 중앙 캡; 및(a) a central cap comprising at least one gas inlet, a gas outlet and a conical passageway between the gas inlet and the gas outlet; And (b) 상기 중앙 캡의 가스 출구로부터 프로세스 가스를 수신하는 제 1 원뿔형 개구, 상기 제 1 원뿔형 개구로부터 방사상 바깥방향으로 연장되는 제 2 원뿔형 개구, 및 상기 챔버의 측벽 상에 위치되는 주변 리지를 포함하는 실링 플레이트(b) a first conical opening for receiving a process gas from a gas outlet of the central cap, a second conical opening extending radially outward from the first conical opening, and a peripheral ridge located on the sidewall of the chamber Sealing plate 를 포함하는, 가스 분배기.A gas distributor comprising a. 제 1 항에 있어서, 상기 중앙 캡의 원뿔형 통로는,The conical passage of claim 1, wherein the conical passage of the central cap is (i) 2.6cm 이하의 제 1 직경 및 적어도 3cm인 제 2 직경; 및(i) a first diameter of 2.6 cm or less and a second diameter of at least 3 cm; And (ii) 수직에서 20°내지 25°각도로 경사진 원뿔형 표면(ii) conical surface inclined at an angle of 20 ° to 25 ° from vertical 중 적어도 하나의 특징을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 분배기.A gas distributor comprising at least one of the features. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제 1 직경은 0.2 내지 2.6cm이고, 상기 제 2 직경은 3 내지 7.5cm인 것을 특징으로 하는 가스 분배기.Wherein said first diameter is between 0.2 and 2.6 cm and said second diameter is between 3 and 7.5 cm. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 중앙 캡은 다수의 가스 입구들을 포함하며, 상기 다수의 가스 입구들은,The central cap includes a plurality of gas inlets, the plurality of gas inlets, (i) 수평 평면을 따라 이격됨으로써; 그리고(i) spaced apart along a horizontal plane; And (ii) 적어도 45도의 분리 각도로 위치됨으로써(ii) being located at a separation angle of at least 45 degrees 서로 오프셋되는 것을 특징으로 하는 가스 분배기.Gas distributors, characterized in that offset from each other. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 실링 플레이트의 제 1 또는 제 2 원뿔형 개구들은,The first or second conical openings of the sealing plate, (i) 상기 개구들은 상이한 경사 각도들을 가지는 원뿔형 표면들을 포함하고;(i) the openings comprise conical surfaces having different inclination angles; (ii) 상기 제 1 원뿔형 개구는 20°내지 25°의 경사각을 갖는 원뿔형 표면을 포함하고; (ii) the first conical opening comprises a conical surface having an inclination angle of 20 ° to 25 °; (iii) 상기 제 2 원뿔형 개구는 3°내지 5°의 경사각을 갖는 원뿔형 표면을 포함하는(iii) the second conical opening comprises a conical surface having an inclination angle of 3 ° to 5 °. 특징들 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 분배기.A gas distributor comprising at least one of the features. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 중앙 캡과 실링 플레이트 부근에 유체 도관을 더 포함하며, 상기 유체 도관은 상기 유체 도관을 통해 열 전달 유체를 통과시키기 위해 제공되며, 상기 유체 도관은,And further comprising a fluid conduit near said central cap and sealing plate, said fluid conduit provided for passing a heat transfer fluid through said fluid conduit, wherein said fluid conduit, (i) 상기 실링 플레이트로 기계가공된(machined) 채널; 및(i) a channel machined into the sealing plate; And (ii) 직사각형 형상(ii) rectangular shape 의 특징들 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 분배기.At least one of the features of the gas distributor. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 적어도 하나의 캡 또는 실링 플레이트는 세라믹으로 구성되는 것을 특징으로 하는 가스 분배기.Wherein said at least one cap or sealing plate is comprised of a ceramic. 원자층 증착 챔버용 챔버 라이너로서,A chamber liner for an atomic layer deposition chamber, (a) 제 1 직경 및 제 1 슬롯을 갖는 제 1 환형 밴드 - 상기 제 1 슬롯은 상기 상기 제 1 환형 밴드를 통해 연장됨 - ;(a) a first annular band having a first diameter and a first slot, the first slot extending through the first annular band; (b) 상기 제 1 환형 밴드의 직경보다 큰 크기의 제 2 직경을 가지며 상기 제 1 환형 밴드의 제 1 슬롯과 정렬되는 제 2 슬롯을 가지는 제 2 환형 밴드 ; 및(b) a second annular band having a second diameter greater than the diameter of the first annular band and having a second slot aligned with the first slot of the first annular band; And (c) 상기 제 1 및 제 2 환형 밴드들과 결합되는 방사상 플랜지(c) a radial flange coupled with the first and second annular bands 를 포함하는, 챔버 라이너.Comprising a chamber liner. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 제 1 및 제 2 슬롯들은 직사각형들을 포함하며,The first and second slots comprise rectangles, (i) 둥근 모서리들;(i) rounded corners; (ii) 12 내지 18인치의 길이; 및(ii) 12 to 18 inches in length; And (iii) 0.75 내지 3인치의 높이(iii) 0.75 to 3 inches in height 의 특징들중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버 라이너. And at least one of the features of the chamber liner. 제 8 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 환형 밴드들은,The method of claim 8, wherein the first and second annular bands, (i) 상기 환형 밴드들은 바닥 에지들을 포함하며, 상기 방사상 플랜지는 상기 바닥 에지들과 결합되며,(i) the annular bands include bottom edges, the radial flange coupled with the bottom edges, (ii) 상기 환형 밴드들은 중간섹션들을 포함하며, 상기 챔버 라이너는 상기 중간섹션들과 결합되는 방사상 리지를 더 포함하며;(ii) the annular bands comprise intermediate sections, and the chamber liner further comprises a radial ridge coupled with the intermediate sections; (iii) 상기 제 1 환형 밴드는 제 1 높이를 포함하며 상기 제 2 환형 밴드는 상기 제 1 높이 보다 큰 제 2 높이를 포함하는(iii) the first annular band comprises a first height and the second annular band comprises a second height greater than the first height 특징들중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버 라이너.A chamber liner comprising at least one of the features. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 챔버 라이너는 알루미늄으로 구성되는 것을 특징으로 하는 챔버 라이너.And the chamber liner is comprised of aluminum. 원자층 증착 챔버용 배기 차폐 어셈블리로서,An exhaust shield assembly for an atomic layer deposition chamber, (a) 주변부를 갖는 밀폐된 직사각형 밴드, 및 상기 직사각형 밴드의 주변부 너머로 수직으로 연장되는 평면형 프레임을 포함하는, 내부 차폐부;(a) an inner shield comprising a sealed rectangular band having a perimeter and a planar frame extending vertically beyond the perimeter of the rectangular band; (b) (i) 상기 내부 차폐부의 직사각형 밴드가 장착되는 상단부, 내부 직사각형 컷오프를 갖는 튜브형 인케이싱(encasing), 및 (ii) 상기 튜브형 인케이싱의 상 단부를 커버하는 커버를 포함하는, 포켓 차폐부; 및(b) a pocket shield comprising (i) an upper end on which a rectangular band of the inner shield is mounted, a tubular encasing with an inner rectangular cutoff, and (ii) a cover covering the top end of the tubular encasing part; And (c) (i) 서로 결합되는 제 1 및 제 2 실린더들 - 상기 제 1 실린더는 상기 제 2 실린더 보다 큼 -, 및 (ii) 상기 제 2 실린더에 부착되며 상기 제 2 실린더 너머로 수직으로 연장되는 평면형 부재를 포함하는, 외부 차폐부(c) (i) first and second cylinders coupled to each other, the first cylinder being larger than the second cylinder, and (ii) attached to the second cylinder and extending vertically beyond the second cylinder. External shield, including planar member 를 포함하는, 배기 차폐 어셈블리.Including, exhaust shield assembly. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 기판 프로세싱 챔버는 내부벽 및 외부 벽을 갖는 중공의 배기 블록 및 둥근 출구 포트를 포함하며, 상기 어셈블리는,The substrate processing chamber includes a hollow exhaust block having an inner wall and an outer wall and a rounded outlet port, wherein the assembly comprises: (i) 상기 포켓 차폐부는 상기 중공의 배기 블록 내부에 맞는 크기로 설정되며;(i) the pocket shield is sized to fit inside the hollow exhaust block; (ii) 상기 내부 차폐부는 상기 중공의 배기 블록의 내부벽 상에 위치되도록 구성되며 상기 밀폐된 직사각형 밴드는 상기 중공의 배기 블록의 직사각형 입구 포트 상에 맞는 크기로 설정되며,(ii) the inner shield is configured to be located on an inner wall of the hollow exhaust block and the closed rectangular band is sized to fit on a rectangular inlet port of the hollow exhaust block, (iii) 상기 외부 차폐부는 상기 중공의 배기 블록의 외부벽 상에 위치되도록 구성되며 상기 외부 차폐부의 제 2 실린더는 상기 중공의 배기 블록의 둥근 출구 포트에 맞는 크기로 설정되는(iii) the outer shield is configured to be located on an outer wall of the hollow exhaust block and the second cylinder of the outer shield is sized to fit a rounded outlet port of the hollow exhaust block 특징들 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 배기 차폐 어셈블리.At least one of the features. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 내부 차폐부, 포켓 차폐부, 및 외부 차폐부는 알루미늄으로 구성되는 것을 특징으로 하는 배기 차폐 어셈블리.And the inner shield, the pocket shield, and the outer shield are made of aluminum. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 내부 차폐부, 포켓 차폐부, 및 외부 차폐부중 적어도 하나는 50 내지 62나노인치의 표면 조도(roughness)를 가지는 비드-블라스트형(bead-blasted) 표면을 포함하는 것을 특징으로 하는 배기 차폐 어셈블리.Wherein at least one of the inner shield, the pocket shield, and the outer shield comprises a bead-blasted surface having a surface roughness of between 50 and 62 nanoinches. 기판 프로세싱 챔버용 리드 어셈블리로서,A lid assembly for a substrate processing chamber, (a) 바닥 표면을 갖는 챔버 리드;(a) a chamber lid having a bottom surface; (b) 상기 챔버 리드의 상기 바닥 표면에 맞는 샤워헤드 - 상기 샤워헤드는 중심 홀을 포함함 - ; 및(b) a showerhead adapted to the bottom surface of the chamber lid, the showerhead comprising a center hole; And (c) 상기 샤워헤드의 상기 중심 홀에 맞는 가스 분배기 삽입물 - 상기 삽입물은 서로 이격된 다수의 방사상 슬롯들을 가짐 - (c) a gas distributor insert that fits the center hole of the showerhead, the insert having a plurality of radial slots spaced apart from each other; 을 포함하는, 리드 어셈블리.Containing, lead assembly. 제 16 항에 있어서,The method of claim 16, 상기 샤워헤드는 500 내지 2500개의 홀들을 갖는 것을 특징으로 하는 리드 어셈블리.And the showerhead has 500 to 2500 holes. 제 16 항에 있어서,The method of claim 16, 상기 삽입물은 알루미늄으로 구성되는 것을 특징으로 하는 리드 어셈블리.And the insert is comprised of aluminum. 제 16 항에 있어서, The method of claim 16, 상기 삽입물은 방사상 슬롯들을 포함하며, 상기 방사상 슬롯들은The insert includes radial slots, the radial slots (i) 5 내지 50개의 방사상 슬롯들;(i) 5 to 50 radial slots; (ii) 0.01 내지 0.05 인치의 폭;(ii) 0.01 to 0.05 inches wide; (iii) 0.4 내지 1.2 인치의 길이; 및(iii) 0.4 to 1.2 inches in length; And (iv) 각각의 방사상 슬롯이 적어도 30°로 각짐(iv) each radial slot is angled at least 30 ° 의 특징들중 적어도 하나를 갖는 방사상 슬롯들을 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 어셈블리.And a radial slot having at least one of the features of the lid assembly. 원자층 증착 챔버로서,An atomic layer deposition chamber, (a) 바닥벽을 둘러싸는 측벽;(a) sidewalls surrounding the bottom wall; (b) 상기 바닥벽을 통해 연장되는 기판 지지체;(b) a substrate support extending through the bottom wall; (c) (i) 적어도 하나의 가스 입구, 가스 출구, 및 상기 가스 입구와 상기 가스 출구 사이의 원뿔형 통로를 포함하는 중앙 캡; 및(c) (i) a central cap comprising at least one gas inlet, a gas outlet, and a conical passageway between the gas inlet and the gas outlet; And (ii) 상기 중앙 캡의 상기 가스 출구로부터 프로세스 가스를 수신하는 제 1 원뿔형 개구, 상기 제 1 원뿔형 개구로부터 방사상 바깥방향으로 연장되는 제 2 원뿔형 개구, 및 상기 챔버의 측벽에 위치되는 주변 리지를 포함하는, 실링 플레 이트(ii) a first conical opening for receiving a process gas from said gas outlet of said central cap, a second conical opening extending radially outwardly from said first conical opening, and a peripheral ridge located at a side wall of said chamber; To, sealing plate 를 포함하는 가스 분배기; 및A gas distributor comprising a; And (d) 프로세스 영역으로부터 상기 프로세스 가스를 배기시키는 배기 포트(d) an exhaust port for exhausting the process gas from the process region 를 포함하는, 원자층 증착 챔버.Including, atomic layer deposition chamber. 제 20 항에 있어서, 상기 가스 분배기의 상기 중앙 캡의 원뿔형 통로는,The conical passage of claim 20, wherein the conical passage of the central cap of the gas distributor is (i) 2.6cm 이하의 제 1 직경 및 적어도 3cm의 제 2 직경; 및(i) a first diameter of 2.6 cm or less and a second diameter of at least 3 cm; And (ii) 수직에서 20°내지 25°각도로 기울어진 원뿔형 표면(ii) conical surfaces inclined at an angle of 20 ° to 25 ° from the vertical; 의 특징들중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 챔버.At least one of the features of the atomic layer deposition chamber. 제 21 항에 있어서,The method of claim 21, 상기 제 1 직경은 0.2 내지 2.6cm이며, 상기 제 2 직경은 3 내지 7.5cm인 것을 특징으로 하는 원자층 증착 챔버.Wherein said first diameter is between 0.2 and 2.6 cm and said second diameter is between 3 and 7.5 cm. 제 21 항에 있어서, 상기 가스 분배기의 중앙 캡은, The method of claim 21, wherein the central cap of the gas distributor, (i) 상기 가스 출구들은 서로 오프셋되고;(i) the gas outlets are offset from each other; (ii) 상기 가스 입구들은 수평 평면을 따라 이격됨으로써 서로 오프셋되고;(ii) the gas inlets are offset from each other by being spaced along a horizontal plane; (iii) 상기 가스 입구들은 적어도 45도의 분리 각으로 위치됨으로써 서로 오프셋되는(iii) the gas inlets are offset from each other by being located at a separation angle of at least 45 degrees. 특징들중 적어도 하나를 가지는 다수의 가스 입구들을 포함하는 것을 특징으 로 하는 원자층 증착 챔버.And a plurality of gas inlets having at least one of the features. 제 21 항에 있어서, 상기 실링 플레이트의 상기 제 1 또는 제 2 원뿔형 개구들은,The method of claim 21, wherein the first or second conical openings of the sealing plate, (i) 상기 제 1 및 제 2 개구들은 상이한 경사 각도를 가지는 원뿔형 표면들을 포함하고;(i) the first and second openings comprise conical surfaces having different inclination angles; (ii) 상기 제 1 원뿔형 개구는 20°내지 25°경사 각도를 가지는 원뿔형 표면을 포함하고;(ii) the first conical opening comprises a conical surface having an angle of 20 ° to 25 °; (iii) 상기 제 2 원뿔형 개구는 3°내지 5°경사 각도를 가지는 원뿔형 표면을 포함하는(iii) the second conical opening comprises a conical surface having a 3 ° to 5 ° tilt angle. 특징들 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 챔버.And at least one of the features. 제 21 항에 있어서,The method of claim 21, 상기 중앙 캡 및 상기 실링 플레이트 부근에 유체 도관을 더 포함하며, 상기 유체 도관은 상기 유체 도관을 통해 열 전달 유체를 통과시키도록 제공되며, 상기 유체 도관은And further comprising a fluid conduit near the central cap and the sealing plate, the fluid conduit provided to pass heat transfer fluid through the fluid conduit, the fluid conduit (i) 상기 유체 도관은 상기 실링 플레이트에 기계가공되는 채널을 포함하고;(i) the fluid conduit comprises a channel machined to the sealing plate; (ii) 상기 유체 도관은 직사각형인(ii) the fluid conduit is rectangular 특징들중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 챔버.An atomic layer deposition chamber comprising at least one of the features. 제 21 항에 있어서,The method of claim 21, 상기 적어도 하나의 캡 또는 실링 플레이트는 세라믹으로 구성되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 챔버.Wherein said at least one cap or sealing plate is comprised of a ceramic. 원자층 증착 챔버로서,An atomic layer deposition chamber, (a) 프로세스 영역 부근의 측벽;(a) sidewalls near the process area; (b) 상기 프로세스 영역에서 기판을 수용할 수 있는 기판 지지체;(b) a substrate support capable of receiving a substrate in said process region; (c) (i) 제 1 직경 및 제 1 슬롯을 갖는 제 1 환형 밴드 - 상기 제 1 슬롯은 상기 상기 제 1 환형 밴드를 통해 연장됨 - ;(c) (i) a first annular band having a first diameter and a first slot, wherein the first slot extends through the first annular band; (ii) 상기 제 1 환형 밴드의 직경보다 큰 크기의 제 2 직경을 가지며 상기 제 1 환형 밴드의 제 1 슬롯과 정렬되는 제 2 슬롯을 가지는 제 2 환형 밴드 ; 및(ii) a second annular band having a second diameter greater than the diameter of the first annular band and having a second slot aligned with the first slot of the first annular band; And (iii) 상기 제 1 및 제 2 환형 밴드들과 결합되는 방사상 플랜지(iii) a radial flange coupled with the first and second annular bands 를 포함하며, 상기 프로세싱 영역을 에워싸는 챔버 라이너; A chamber liner comprising a chamber liner; (d) 상기 프로세스 영역으로 프로세스 가스를 주입하는 가스 분배기; 및(d) a gas distributor for injecting process gas into the process region; And (e) 상기 프로세스 가스를 배시키는 배기구(e) an exhaust port for exhausting the process gas; 를 포함하는, 원자층 증착 챔버.Including, atomic layer deposition chamber. 제 27 항에 있어서,The method of claim 27, 상기 제 1 슬롯 및 상기 챔버 라이너의 제 2 환형 밴드의 상기 제 2 슬롯은,The second slot of the first slot and the second annular band of the chamber liner, (i) 둥근 모서리들;(i) rounded corners; (ii) 12 내지 18인치의 길이; 및(ii) 12 to 18 inches in length; And (iii) 0.75 내지 3인치의 높이(iii) 0.75 to 3 inches in height 의 특징들중 적어도 하나를 갖는 직사각형을 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 챔버.And a rectangle having at least one of the features of the atomic layer deposition chamber. 제 27 항에 있어서, 상기 챔버 라이너의 상기 제 1 및 제 2 환형 밴드들은,28. The system of claim 27, wherein the first and second annular bands of the chamber liner are: (i) 상기 환형 밴드들은 바닥 에지들을 포함하며, 상기 방사상 플랜지는 상기 바닥 에지들과 결합되며;(i) the annular bands include bottom edges, and the radial flange is coupled with the bottom edges; (ii) 상기 환형 밴드들은 중간섹션들을 포함하며, 상기 챔버 라이너는 상기 중간섹션들과 결합되는 방사상 리지를 더 포함하고;(ii) the annular bands comprise intermediate sections, and the chamber liner further comprises a radial ridge coupled with the intermediate sections; (iii) 상기 제 1 환형 밴드는 제 1 높이를 포함하며 상기 제 2 환형 밴드는 상기 제 1 높이 보다 큰 제 2 높이를 포함하는(iii) the first annular band comprises a first height and the second annular band comprises a second height greater than the first height 특징들중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 챔버.An atomic layer deposition chamber comprising at least one of the features. 제 27 항에 있어서,The method of claim 27, 상기 챔버 라이너는 알루미늄으로 구성되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 챔버.And the chamber liner is comprised of aluminum.
KR2020080013041U 2007-09-28 2008-09-29 Atomic layer deposition chamber and components KR200455917Y1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020080013041U KR200455917Y1 (en) 2007-09-28 2008-09-29 Atomic layer deposition chamber and components

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/864,053 2007-09-28
KR2020080013041U KR200455917Y1 (en) 2007-09-28 2008-09-29 Atomic layer deposition chamber and components

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020100013539U Division KR200462383Y1 (en) 2007-09-28 2010-12-29 Atomic layer deposition chamber and components

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090003161U true KR20090003161U (en) 2009-04-01
KR200455917Y1 KR200455917Y1 (en) 2011-09-30

Family

ID=43658545

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020080013041U KR200455917Y1 (en) 2007-09-28 2008-09-29 Atomic layer deposition chamber and components

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200455917Y1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140007611A (en) * 2012-07-09 2014-01-20 세메스 주식회사 Apparatus for treating substrate

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6487747B2 (en) * 2015-03-26 2019-03-20 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス Substrate processing apparatus and processing gas supply nozzle

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100956189B1 (en) * 2001-10-26 2010-05-04 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 Gas delivery apparatus for atomic layer deposition

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140007611A (en) * 2012-07-09 2014-01-20 세메스 주식회사 Apparatus for treating substrate

Also Published As

Publication number Publication date
KR200455917Y1 (en) 2011-09-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR200469438Y1 (en) Atomic layer deposition chamber and components
TWI836110B (en) Temperature control assembly, and method of controlling temperature of temperature control assembly of gas-phase reactor
KR100854995B1 (en) High density plasma chemical vapor deposition apparatus
KR102538106B1 (en) Assemblies of liners and flanges for vertical furnaces and liners and vertical furnaces
US6827815B2 (en) Showerhead assembly for a processing chamber
US8444926B2 (en) Processing chamber with heated chamber liner
TWI503444B (en) Method of processing a semiconductor substrate
TWI383075B (en) Ring assembly for substrate processing chamber
KR101267466B1 (en) support ring assembly
TWI424084B (en) High temperature ald inlet manifold
WO1999020811A1 (en) Lid assembly for a process chamber employing asymmetric flow geometries
TWM275531U (en) Gas distributor having directed gas flow
JPH10147880A (en) Thin film forming apparatus
US20120135609A1 (en) Apparatus and Process for Atomic Layer Deposition
JP7004805B2 (en) Substrate processing chamber with heated shower head assembly
TW202132616A (en) Showerhead for ald precursor delivery
US20190048467A1 (en) Showerhead and process chamber incorporating same
KR20160076456A (en) Process kit for a high throughput processing chamber
CN106544639B (en) It prevents the gas extraction arrangement of blocking and the MOCVD device of the device is set
KR200455917Y1 (en) Atomic layer deposition chamber and components
CN210123720U (en) Panel for processing substrate and gas distribution device
CN109321894B (en) Deposition system and method for enhancing cleaning effect
KR200462383Y1 (en) Atomic layer deposition chamber and components
JP2017520120A (en) Gas injection device for epitaxial chamber
US20210130956A1 (en) High temperature dual chamber showerhead

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
U106 Divisional application of utility model
E701 Decision to grant or registration of patent right
REGI Registration of establishment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140627

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160629

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170629

Year of fee payment: 7

EXPY Expiration of term