KR20080099032A - Apparatus for automatic sampling of bacteria - Google Patents

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KR20080099032A
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bacterial
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장현천
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김동연
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Abstract

An automatic bacteria sampling apparatus can minimize the analysis error by sterilizing and washing the pipeline in a standby mode. An automatic bacteria sampling apparatus(100) comprises a case(102) having a receiving portion(104), an introduction pipe(106), a discharge line(108), and a heater(110). The introduction pipe is arranged in the case and connected to one side of the receiving portion. The discharge line is arranged in the case and is connected to the other side of the receiving portion. The heater is installed adjacent to the introduction pipe.

Description

박테리아 자동샘플링 장치{Apparatus for automatic sampling of bacteria}Apparatus for automatic sampling of bacteria

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박테리아 자동샘플링 장치를 나타내는 구성도이다.1 is a block diagram showing a bacteria automatic sampling device according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 반도체기판의 세정에 사용되는 초순수의 분석에 사용되는 장치로써, 특히 초순수 내에 포함되어 있는 박테리아의 샘플링에 사용되는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus used for the analysis of ultrapure water used for cleaning semiconductor substrates, and more particularly, to an apparatus used for sampling bacteria contained in ultrapure water.

반도체 산업에서의 오염원은 마이크로 칩의 전기적 성능이나 생산 수율에 좋지 않은 영향을 미친다. 즉, 오염원은 결함이 있는 소자를 생산하게 만들고, 생산 수율을 낮추게 만든다. 따라서 웨이퍼 위의 오염물질을 제어하는 가장 중요한 방법은 웨이퍼가 오염되지 않게 하는 것이며, 일단 웨이퍼 표면이 오염되면 웨이퍼를 세정함으로써 오염물질은 제거되어야 한다.Pollutants in the semiconductor industry adversely affect the electrical performance or production yield of microchips. In other words, the pollutant causes defective devices to be produced, resulting in lower production yields. Thus, the most important way to control contaminants on the wafer is to keep the wafers free of contamination, and once the wafer surface is contaminated, the contaminants must be removed by cleaning the wafer.

상기 웨이퍼의 세정 방법 중 가장 널리 쓰이는 방법이 습식 세정(Wet Cleaning) 방법이다. 상기 습식 세정 방법은 여러 가지 화학물질들의 혼합물을 이용해 웨이퍼 표면의 오염원을 제거하는 방법으로 오염물질의 종류에 따라 다양한 혼합물을 사용하게 된다. 상기 습식 세정 방법은 또한 여러 개의 공정단계를 거치게 되는데 상기 공정단계의 사이에 헹굼 단계를 포함한다. 상기 헹굼 단계는 일반적으로 초순수(Ultra Pure Water; UPW 또는 Deionized water; DI water라고도 함)를 가지고 수행하게 된다. 따라서 반도체산업에서 초순수는 소자의 원하는 전기적 특성을 얻고, 나아가 수율을 향상시키는데 필수적이다.The most widely used method of cleaning the wafer is a wet cleaning method. The wet cleaning method removes contaminants on the wafer surface using a mixture of various chemicals, and uses various mixtures according to the types of contaminants. The wet cleaning method also undergoes several process steps, including a rinsing step between the process steps. The rinsing step is generally performed with ultra pure water (Ultra Pure Water; UPW or Deionized water; also referred to as DI water). Therefore, ultrapure water in the semiconductor industry is essential for obtaining the desired electrical properties of the device and further improving the yield.

상기 초순수도 이온, 미립자, 유기물, 박테리아 등으로 오염될 수 있다. 따라서 초순수의 수질도 항시 관리 되어야 한다. 상기 초순수의 오염원 중 이온, 미립자, 유기물 등의 오염원들은 항상 관리를 하고 있으며 상기 초순수 내에 오염 발생시 즉시 오염원을 제거하는 조치가 가능하다. 하지만 박테리아의 경우, 일정 수준까지는 살균을 통해 제거가 가능하나, 완전한 살균은 어렵다. 또한 완전한 살균이 이루어져도 주변 환경으로부터 재오염의 가능성이 존재한다. 즉, 박테리아의 완전한 제거가 거의 불가능하다. 나아가 박테리아는 스스로 증식도 가능하기 때문에 더욱 문제가 될 수 있다. 특히 박테리아는 그 자체뿐만이 아니라, 박테리아의 증식에 후속하는 생물막(Bio Film)의 형성 및 그에 따른 미생물 침전(Bio fouling)이 더 문제가 된다.The ultrapure water may be contaminated with ions, fine particles, organic matter, bacteria, and the like. Therefore, ultrapure water quality should be managed at all times. Contaminants such as ions, particulates, and organic matters are always managed among the pollutants of the ultrapure water, and when the contamination occurs in the ultrapure water, it is possible to immediately remove the pollutant. However, bacteria can be removed by sterilization to a certain level, but complete sterilization is difficult. There is also the possibility of re-contamination from the environment even with complete sterilization. In other words, complete removal of bacteria is nearly impossible. Furthermore, bacteria can be more problematic because they can grow on their own. Bacteria in particular are more problematic not only by themselves, but also by the formation of biofilms and consequent bio fouling following the growth of the bacteria.

따라서 초순수 내의 박테리아에 의한 오염정도의 분석은 일정량의 초순수를 채취하여 상기 초순수 내에 얼마만큼의 박테리아가 존재하는지 수시로 분석하는 방법을 사용하게 된다. 만일 상기 초순수에서 일정 수준 이상의 박테리아가 검출되면 그 초순수는 폐기하는 식으로 관리가 이루어지고 있다. 박테리아에 의한 오염도의 일반적인 분석방법은 다음과 같다. 상기 초순수가 흐르는 배관 또는 상기 초순수가 저장되어 있는 저장부로부터 초순수를 일정량 채취한다. 상기 채취한 초순수를 박테리아 샘플링 키트에 압력을 이용해 흘려주어 상기 초순수 내의 박테리아를 샘플링한다. 상기 샘플링이 끝난 후 박테리아 샘플링 키트에 배양액을 넣는다. 상기 배양액을 넣은 박테리아 샘플링 키트를 인큐베이터 안에 넣는다. 상기 인큐베이터 안에서 박테리아를 배양시킨다. 상기 박테리아 샘플링 키트 내에서 배양된 박테리아군을 육안으로 확인한다.Therefore, the analysis of the degree of contamination by bacteria in ultrapure water uses a method of collecting a certain amount of ultrapure water and analyzing how much bacteria are present in the ultrapure water. If more than a certain level of bacteria is detected in the ultrapure water, the ultrapure water is disposed of by management. The general method of analyzing contamination by bacteria is as follows. A certain amount of ultrapure water is collected from a pipe through which the ultrapure water flows or from a storage unit in which the ultrapure water is stored. The collected ultrapure water is flowed to the bacterial sampling kit using pressure to sample the bacteria in the ultrapure water. After the sampling is completed, the culture solution is placed in a bacterial sampling kit. The bacterial sampling kit containing the culture solution is placed in an incubator. Incubate the bacteria in the incubator. The bacterial group cultured in the bacterial sampling kit is visually identified.

그런데 상기와 같은 수동식 박테리아 샘플링 방법은 계량화 과정에서 오차가 발생할 수 있다. 예를 들면, 상기 채취한 초순수의 분량을 정확히 측정하는데 어려움이 있다. 또한, 상기 박테리아 샘플링 키트에 상기 채취된 초순수를 흘려주는 작업은 상당한 힘을 필요로 한다. 이에 따라, 상기 수동식 박테리아 샘플링 방법은 소량의 초순수만을 상기 박테리아 샘플링 키트에 여과하여 분석하는 기술을 이용한다. 그 결과, 상기 수동식 박테리아 샘플링 방법은 커다란 분석 오차를 보일 수 있다. 즉, 상기 초순수 내에 포함되어 있는 박테리아의 샘플링 방법을 자동화 할 필요가 있다.However, the manual bacteria sampling method as described above may cause an error in the quantification process. For example, it is difficult to accurately measure the amount of ultrapure water collected. In addition, flowing the collected ultrapure water into the bacterial sampling kit requires considerable force. Accordingly, the manual bacterial sampling method utilizes a technique in which only a small amount of ultrapure water is filtered through the bacterial sampling kit for analysis. As a result, the manual bacterial sampling method can show a large analysis error. That is, it is necessary to automate the sampling method of bacteria contained in the ultrapure water.

한편, 상기 박테리아를 샘플링하는 장치가 대한민국 공개특허 10-2004-0039000호에 "초 순수의 박테리아 샘플링 장치 및 초 순수의 박테리아측정 방법"이라는 제목으로 임숙희 등에 의해 개시된 바 있다. 임숙희 등에 의하면, 초순수의 박테리아 샘플링 장치가 제공된다. 상기 박테리아 샘플링 장치는 초순수 저장부로부터 초순수를 제공받고, 상기 초순수에 포함되어 있는 박테리아를 여과시키기 위해 상기 초순수를 임시적으로 수용하는 키트를 구비한다. 상기 저장부에 수용된 초 순수가 상기 키트 내부로 유입되도록 상기 저장부에 압력을 제공하고, 상기 키트에 수용된 초순수가 보다 용이하게 배출되도록 상기 키트와 연결된 배출 라인에 압력을 제공하는 압력 제공 수단을 구비한다. 또한 상기 키트에서 배출되는 초순수를 수용하고, 상기 수용된 초순수의 양을 측정하기 위한 수용부를 구비한다.On the other hand, the device for sampling the bacteria has been disclosed by Lim Sook-Hee and the like in the Republic of Korea Patent Publication No. 10-2004-0039000 entitled "Bacterial Sampling Device of Ultra Pure Water and Method for Measuring Bacteria of Ultra Pure Water". According to Sook-Hee Lim et al., An ultrapure bacteria sampling device is provided. The bacteria sampling device is provided with ultrapure water from an ultrapure water storage unit, and includes a kit for temporarily receiving the ultrapure water to filter bacteria contained in the ultrapure water. A pressure providing means for providing a pressure to the reservoir so that the ultrapure water contained in the reservoir is introduced into the kit, and providing a pressure to a discharge line connected to the kit so that the ultrapure water contained in the kit is more easily discharged. do. It is also provided with an accommodating unit for accommodating ultrapure water discharged from the kit and for measuring the amount of ultrapure water accommodated.

그러나 상기 박테리아 샘플링 장치는 장시간 사용에 의하여 오염될 가능성이 있다. 예를 들면, 상기 키트의 탈착 과정에서 상기 박테리아 샘플링 장치의 내부배관 및 연결부위가 박테리아에 의해 오염될 수 있다. 상기 내부배관 및 상기 연결부위의 오염은 상기 초순수의 분석오차를 증가시킨다.However, the bacterial sampling device may be contaminated by prolonged use. For example, the internal piping and connecting portion of the bacterial sampling device may be contaminated by bacteria during the desorption of the kit. Contamination of the internal piping and the connecting portion increases the analysis error of the ultrapure water.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 종래기술의 문제점을 개선하기 위한 것으로서, 셀프 크리닝(self cleaning) 및 살균 기능을 갖는 박테리아 자동샘플링 장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in an effort to improve the above-described problems of the related art, and to provide an automatic sampling device for bacteria having a self cleaning and sterilizing function.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은 가열장치를 구비하는 박테리아 자동샘플링 장치를 제공한다. 상기 박테리아 자동샘플링 장치는 케이스를 구비한다. 상기 케이스의 외측에 수납부가 만들어진다. 상기 케이스에 도입관 및 배출관이 설치된다. 상기 도입관의 일단 및 배출관의 일단은 각각 상기 수납부의 일면에 연결된다. 상기 도입관에 인접하게 가열장치가 배치된다.In order to achieve the above technical problem, the present invention provides a bacteria automatic sampling device having a heating device. The bacterial automatic sampling device has a case. An accommodating part is made on the outside of the case. An introduction tube and an discharge tube are installed in the case. One end of the introduction tube and one end of the discharge tube are respectively connected to one surface of the receiving portion. A heating device is arranged adjacent to the introduction tube.

상기 수납부에 박테리아 샘플링 키트가 장착될 수 있다. 상기 박테리아 샘플링 키트는 상기 수납부에 연결된 상기 도입관의 일단 및 상기 배출관의 일단과 연 결될 수 있다. 또한 상기 박테리아 샘플링 키트는 액체 내에 포함되어 있는 박테리아를 여과할 수 있는 필터를 구비할 수 있다.The sampling unit may be equipped with a bacteria sampling kit. The bacterial sampling kit may be connected to one end of the introduction tube and one end of the discharge tube connected to the receiving unit. In addition, the bacterial sampling kit may be provided with a filter capable of filtering bacteria contained in the liquid.

상기 케이스에 차광덮개가 부착될 수 있다. 상기 차광덮개는 상기 수납부로 빛이 들어가지 못하도록 상기 수납부를 덮을 수 있다. 또한 상기 수납부에 자외선 살균장치가 장착될 수 있다. A light shielding cover may be attached to the case. The light blocking cover may cover the accommodating part to prevent light from entering the accommodating part. In addition, the ultraviolet sterilizer may be mounted to the housing.

상기 배출관에 유량계가 부착될 수 있다. 또한 상기 배출관에 펌프가 장착될 수 있다. 상기 펌프는 상기 배출관에 초순수를 유입시키거나 배출시키기 위한 압력을 제공할 수 있다.A flowmeter may be attached to the discharge pipe. In addition, the discharge pipe may be equipped with a pump. The pump may provide a pressure for introducing or discharging ultrapure water into the discharge pipe.

상기 가열장치는 상기 가열장치의 온도를 제어하기 위한 온도 제어부를 구비할 수 있다.The heating device may include a temperature control unit for controlling the temperature of the heating device.

상기 도입관에 밸브가 부착될 수 있다. 또한 상기 밸브에 보조관의 일단이 연결될 수 있다. 상기 보조관의 다른 일단은 상기 배출관과 연결될 수 있다.A valve may be attached to the introduction tube. In addition, one end of the auxiliary pipe may be connected to the valve. The other end of the auxiliary pipe may be connected to the discharge pipe.

상기 박테리아 자동샘플링 장치는 상기 펌프, 상기 자외선 살균장치, 상기 온도 제어부, 상기 밸브 및 상기 유량계와 연결되어 있는 통합 제어부를 구비할 수 있다.The bacteria automatic sampling device may include an integrated control unit connected to the pump, the ultraviolet sterilizer, the temperature control unit, the valve, and the flow meter.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전 달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 의미한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided to ensure that the disclosed subject matter is thorough and complete, and that the spirit of the invention will be fully conveyed to those skilled in the art. Portions denoted by like reference numerals denote like elements throughout the specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박테리아 자동샘플링 장치의 구성도이다.1 is a block diagram of a bacteria automatic sampling device according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 박테리아 자동샘플링 장치(100)는 케이스(102)를 구비한다. 상기 케이스(102)는 상부면, 하부면 및 측면을 가지며 직육면체 또는 원통형의 모양일 수 있다. 상기 케이스(102)의 외부면에 수납부(104)를 형성할 수 있다. 상기 수납부(104)는 상기 케이스(102)의 상부면과 상기 케이스(102)의 측면이 만나는 모서리 부분을 'ㄴ'자 모양으로 함몰시켜 형성할 수 있다. 또는 상기 수납부(104)는 상기 케이스(102)의 측면 중간 부분을 'ㄷ'자 모양으로 함몰시켜 형성할 수 있다.Referring to FIG. 1, the bacterial automatic sampling device 100 includes a case 102. The case 102 has an upper surface, a lower surface and a side surface and may have a rectangular parallelepiped or cylindrical shape. An accommodating part 104 may be formed on an outer surface of the case 102. The accommodating part 104 may be formed by recessing a corner portion where an upper surface of the case 102 and a side surface of the case 102 meet in a 'b' shape. Alternatively, the accommodating part 104 may be formed by recessing a middle portion of the side surface of the case 102 in a 'c' shape.

상기 케이스(102)에 도입관(106)이 배치된다. 상기 도입관(106)은 상기 케이스(102)의 일면을 관통하며 상기 케이스(102)의 내부에서 상기 도입관(106)의 일단부가 상기 수납부(104)의 일면과 연결된다. 또한 상기 케이스(102)에 배출관(108)이 배치된다. 상기 배출관(108)은 상기 케이스(102)의 일면을 관통하며 상기 케이스(102)의 내부에서 상기 배출관(108)의 일단부가 상기 수납부(104)의 일면과 연결된다.An introduction tube 106 is disposed in the case 102. The introduction tube 106 penetrates one surface of the case 102, and one end of the introduction tube 106 is connected to one surface of the accommodating part 104 in the case 102. In addition, the discharge pipe 108 is disposed in the case 102. The discharge pipe 108 penetrates one surface of the case 102, and one end of the discharge pipe 108 is connected to one surface of the accommodating part 104 in the case 102.

상기 도입관(106)의 다른 일단부는 채취부(200)와 연결될 수 있다. 상기 채취부(200)는 샘플링 하고자 하는 초순수의 표본이 있는 곳으로 초순수가 흐르고 있 는 배관 또는 초순수의 저장탱크일 수 있다. 상기 도입관(106)은 상기 초순수가 상기 채취부(200)로부터 상기 박테리아 자동샘플링 장치(100)로 유입되는 경로를 제공한다. 또한 상기 배출관(108)은 상기 박테리아 자동샘플링 장치(100)로 유입된 상기 초순수가 외부로 배출되는 경로를 제공한다.The other end of the introduction tube 106 may be connected to the collecting unit 200. The sampling unit 200 may be a pipe or a storage tank of ultrapure water in which ultrapure water flows to a sample of ultrapure water to be sampled. The introduction tube 106 provides a path through which the ultrapure water flows into the bacterial automatic sampling device 100 from the collection unit 200. In addition, the discharge pipe 108 provides a path through which the ultrapure water introduced into the bacterial automatic sampling device 100 is discharged to the outside.

상기 도입관(106) 및 상기 배출관(108)은 상기 케이스(102)의 같은 일면을 관통할 수 있으며 서로 다른 일면을 관통할 수 있다. 다만 상기 초순수의 원활한 흐름을 위하여 상기 도입관(106)은 상기 케이스(102)의 윗부분에 위치시키고 상기 배출관(108)은 상기 케이스(102)의 아랫부분에 위치시키는 것이 바람직하다.The introduction pipe 106 and the discharge pipe 108 may penetrate the same surface of the case 102 and may penetrate different surfaces. However, in order to smoothly flow the ultrapure water, the inlet pipe 106 is preferably positioned at the upper part of the case 102 and the discharge pipe 108 is preferably located at the lower part of the case 102.

가열장치(110)는 상기 도입관(106)에 인접하게 배치되며 상기 케이스(102)에 의해 지지된다. 상기 가열장치(110)는 전기 발열장치를 포함할 수 있다. 상기 전기 발열장치는 열선(Heating coil)을 이용한 장치일 수 있다. 상기 가열장치(110)는 상기 도입관(106)을 통해 유입되는 상기 초순수를 가열하는 역할을 한다. 상기 가열된 초순수는 상기 도입관(106) 및 상기 배출관(108) 등을 통해 흐르면서 상기 도입관(106) 및 상기 배출관(108) 등 상기 초순수가 흘러가는 부분을 살균할 수 있다. 결과적으로 상기 가열장치(110)는 외부로부터 오염된 배관을 샘플링 전에 살균하는 역할을 할 수 있다.The heating device 110 is disposed adjacent to the introduction tube 106 and supported by the case 102. The heating device 110 may include an electric heating device. The electric heating device may be a device using a heating coil. The heating device 110 serves to heat the ultrapure water introduced through the inlet pipe 106. The heated ultrapure water may sterilize a portion through which the ultrapure water flows, such as the introduction pipe 106 and the discharge pipe 108, while flowing through the introduction pipe 106 and the discharge pipe 108. As a result, the heating device 110 may serve to sterilize the contaminated pipe from outside before sampling.

온도 제어부(122)는 상기 케이스(102)의 내부에 부착될 수 있으며 상기 가열장치(110)와 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 온도 제어부(122)는 온도측정장치(122a)를 구비할 수 있다. 상기 온도측정장치(122a)는 상기 도입관(106)에 부착될 수 있다. 특히 상기 가열장치(110)에 의해 가열된 상기 초순수의 온도를 측정할 수 있도록 상기 온도측정장치(122a)는 상기 도입관(106)의 내부에 부착될 수 있다. 상기 온도 제어부(122)는 상기 초순수가 80℃∼99℃ 정도의 온도로 가열될 수 있도록 상기 가열장치(110)의 동작을 제어하는 역할을 한다.The temperature controller 122 may be attached to the inside of the case 102 and may be electrically connected to the heating device 110. The temperature controller 122 may include a temperature measuring device 122a. The temperature measuring device 122a may be attached to the introduction tube 106. In particular, the temperature measuring device 122a may be attached to the inside of the introduction tube 106 so that the temperature of the ultrapure water heated by the heating device 110 may be measured. The temperature control unit 122 controls the operation of the heating device 110 so that the ultrapure water can be heated to a temperature of about 80 ° C to 99 ° C.

상기 수납부(104)에 박테리아 샘플링 키트(112)가 장착될 수 있다. 상기 박테리아 샘플링 키트(112)는 상기 수납부(104)에 탈착이 가능할 수 있다. 상기 박테리아 샘플링 키트(112)의 일면은 상기 수납부(104)에 연결된 상기 도입관(106)의 일단부와 연결될 수 있다. 또한 상기 박테리아 샘플링 키트(112)의 다른 일면은 상기 수납부(104)에 연결된 상기 배출관(108)의 일단부와 연결 될 수 있다. 나아가 상기 박테리아 샘플링 키트(112)는 내부에 필터(112a)를 구비할 수 있다. 상기 필터(112a)는 액체에 포함되어 있는 박테리아를 여과할 수 있는 멤브레인 필터일 수 있다.The bacteria sampling kit 112 may be mounted in the accommodation unit 104. The bacterial sampling kit 112 may be detachable to the accommodation unit 104. One surface of the bacterial sampling kit 112 may be connected to one end of the introduction tube 106 connected to the accommodation unit 104. In addition, the other surface of the bacteria sampling kit 112 may be connected to one end of the discharge pipe 108 connected to the receiving portion 104. Furthermore, the bacterial sampling kit 112 may have a filter 112a therein. The filter 112a may be a membrane filter capable of filtering bacteria contained in the liquid.

상기 도입관(106)에 밸브(124)가 장착될 수 있다. 상기 밸브(124)가 장착되는 부분은 상기 도입관(106)에 있어서 상기 가열장치(110)와 인접해 있는 부분과 상기 수납부(104)와 연결되는 부분의 사이에 위치할 수 있다. 상기 밸브(124)에 보조관(126)의 일단부가 연결될 수 있다. 상기 보조관(126)의 다른 일단부는 상기 배출관(108)에 연결될 수 있다.The valve 124 may be mounted to the introduction pipe 106. The portion in which the valve 124 is mounted may be located between the portion adjacent to the heating device 110 and the portion connected to the accommodating portion 104 in the introduction pipe 106. One end of the auxiliary pipe 126 may be connected to the valve 124. The other end of the auxiliary pipe 126 may be connected to the discharge pipe 108.

상기 배출관(108)에 펌프(118)가 장착될 수 있다. 상기 펌프(118)는 상기 도입관(106), 상기 배출관(108) 및 상기 보조관(126) 등에 압력을 제공하여 상기 초순수가 유입되거나 배출될 수 있도록 압력을 제공하는 역할을 할 수 있다. 상기 보조관(126)이 상기 배출관(108)과 연결되는 부분은 상기 배출관(108)에 있어서 상기 배출관(108)이 상기 수납부(104)와 연결되는 부분과 상기 펌프(118)가 장착되는 부분의 사이에 위치할 수 있다.The pump 118 may be mounted to the discharge pipe 108. The pump 118 may serve to provide pressure so that the ultrapure water may be introduced or discharged by providing pressure to the introduction pipe 106, the discharge pipe 108, and the auxiliary pipe 126. The part where the auxiliary pipe 126 is connected to the discharge pipe 108 is a part in which the discharge pipe 108 is connected to the accommodating part 104 and the pump 118 is mounted in the discharge pipe 108. It can be located between.

상기 배출관(108)에 유량계(116)가 설치될 수 있다. 상기 유량계(116)가 설치되는 위치는 상기 배출관에 있어서 상기 배출관(108)이 상기 수납부(104)와 연결되는 부분과 상기 펌프(118)가 장착되는 부분의 사이일 수 있다. 상기 보조관(126)과 상기 배출관(108)이 연결되는 부분은 상기 유량계(116)가 설치되는 부분과 상기 펌프(118)가 장착되는 부분의 사이에 위치할 수 있다. 상기 유량계(116)는 적산 유량계(integral flow meter)일 수 있다.The flow meter 116 may be installed in the discharge pipe 108. The position at which the flow meter 116 is installed may be between a portion of the discharge pipe connected to the discharge part 108 and a portion to which the pump 118 is mounted. The portion where the auxiliary pipe 126 and the discharge pipe 108 are connected may be located between a portion where the flow meter 116 is installed and a portion where the pump 118 is mounted. The flow meter 116 may be an integrated flow meter.

상기 수납부(104)는 탈착부(도면 미도시)를 구비할 수 있다. 상기 탈착부는 상기 박테리아 샘플링 키트(112)가 상기 수납부(104)에 탈착될 수 있도록 하는 역할을 할 수 있다. 또한 상기 탈착부는 상기 박테리아 샘플링 키트(112)가 상기 수납부(104)에 부착된 경우 상기 박테리아 샘플링 키트(112)를 지지해주는 역할을 할 수 있다.The storage unit 104 may include a detachable unit (not shown). The detachable part may serve to allow the bacterial sampling kit 112 to be detached from the accommodating part 104. In addition, the detachable part may serve to support the bacterial sampling kit 112 when the bacterial sampling kit 112 is attached to the housing 104.

상기 케이스(102)의 외측에 차광덮개(114)가 부착될 수 있다. 또는 상기 수납부(104)에 상기 차광덮개(114)가 부착될 수 있다. 상기 차광덮개(114)는 상기 수납부(104)의 일면과 상기 케이스(102)의 일면이 만나는 모서리 부분에 부착할 수 있다. 상기 차광덮개(114)는 개폐가 가능할 수 있다. 상기 차광덮개(114)는 상기 수납부(104) 및 상기 수납부(104)에 장착된 상기 박테리아 샘플링 키트(112)가 자외선에 노출되지 않도록 하는 역할을 할 수 있다. 박테리아는 자외선에 노출되면 죽을 수 있다. 즉, 샘플링 하는 동안에 상기 박테리아 샘플링 키트(112)가 자외선 에 노출되면 상기 초순수에 포함되어 있던 박테리아가 죽을 수 있어 상기 초순수에 포함되어 있는 박테리아양에 관한 정확한 분석결과에 오차가 생길 수 있다. 따라서 상기 차광덮개(114)를 장착함으로써 상기 문제점을 해결할 수 있다.The light blocking cover 114 may be attached to the outside of the case 102. Alternatively, the light blocking cover 114 may be attached to the accommodating part 104. The light blocking cover 114 may be attached to an edge portion where one surface of the accommodating part 104 and one surface of the case 102 meet. The light blocking cover 114 may be opened and closed. The light blocking cover 114 may serve to prevent the bacterial sampling kit 112 mounted on the accommodating part 104 and the accommodating part 104 from being exposed to ultraviolet rays. Bacteria can die when exposed to ultraviolet light. That is, when the bacterial sampling kit 112 is exposed to ultraviolet rays during sampling, the bacteria contained in the ultrapure water may die, and an error may occur in an accurate analysis result regarding the amount of bacteria included in the ultrapure water. Therefore, the problem can be solved by mounting the light shield cover 114.

상기 수납부(104)에 자외선 살균장치(120)가 장착될 수 있다. 상기 자외선 살균장치(120)는 상기 수납부(104), 상기 박테리아 샘플링 키트(110) 및 상기 차광덮개(114)를 살균하는 역할을 할 수 있다. 상기 수납부(104)는 외부에 노출되어 있어 오염이 될 수 있다. 따라서 상기 자외선 살균장치(120)는 샘플링 전에 상기 수납부(104)를 살균하여 분석오차를 줄이는 역할을 할 수 있다.The ultraviolet sterilizer 120 may be mounted on the accommodating part 104. The ultraviolet sterilizer 120 may sterilize the accommodating part 104, the bacteria sampling kit 110, and the light shielding cover 114. The accommodating part 104 may be exposed to the outside and become contaminated. Therefore, the ultraviolet sterilizer 120 may serve to reduce the analysis error by sterilizing the accommodating part 104 before sampling.

상기 유량계(116), 상기 펌프(118), 상기 자외선 살균장치(120), 상기 온도 제어부(122) 및 상기 밸브(124)에 통합 제어부(128)가 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 통합 제어부(128)는 상기 케이스(102)에 의해 지지될 수 있다.An integrated control unit 128 may be electrically connected to the flow meter 116, the pump 118, the ultraviolet sterilizer 120, the temperature control unit 122, and the valve 124. The integrated control unit 128 may be supported by the case 102.

이하에서는 도 1을 다시 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 박테리아 자동샘플링 장치(100)의 동작에 대해서 설명한다.Hereinafter, referring to FIG. 1 again, the operation of the automatic bacterial sampling apparatus 100 according to an embodiment of the present invention will be described.

먼저 샘플링 전에 살균하는 동작에 대해 설명하기로 한다. 상기 수납부(104)에 상기 박테리아 샘플링 키트(112)를 장착하고 상기 차광덮개(114)를 덮는다. 상기 도입관(106)의 일단부를 상기 채취부(200)에 연결한다. 상기 펌프(118)가 가동되고 상기 도입관(106)을 통해서 상기 채취부(200)로부터 상기 박테리아 자동샘플링 장치(100)로 초순수가 유입된다. 상기 유입되는 초순수는 상기 가열장치(110)에 의해서 가열된다. 상기 통합 제어부(128)는 상기 밸브(124)를 조절하여 상기 가열 된 초순수가 상기 보조관(126)을 통해 흐르도록 할 수 있다. 즉, 상기 가열된 초순수가 상기 박테리아 샘플링 키트(112)로 흐르지 않도록 할 수 있다. 상기 가열된 초순수는 외부환경에 의해 오염된 상기 도입관(106) 및 상기 배출관(108) 등을 살균하는 역할을 할 수 있다. 이 때 상기 온도 제어부(122)는 상기 가열된 초순수가 80℃∼99℃ 정도의 온도를 유지하도록 상기 가열장치(110)를 제어할 수 있다.First, the sterilization operation before sampling will be described. The bacterial sampling kit 112 is mounted on the housing 104 and covers the light shielding cover 114. One end of the introduction tube 106 is connected to the collecting unit 200. The pump 118 is operated and ultrapure water is introduced into the automatic bacterial sampling device 100 from the collecting part 200 through the introduction pipe 106. The incoming ultrapure water is heated by the heating device (110). The integrated control unit 128 may control the valve 124 to allow the heated ultrapure water to flow through the auxiliary pipe 126. That is, the heated ultrapure water may be prevented from flowing into the bacterial sampling kit 112. The heated ultrapure water may serve to sterilize the introduction pipe 106 and the discharge pipe 108 contaminated by an external environment. In this case, the temperature controller 122 may control the heating apparatus 110 to maintain the heated ultrapure water at a temperature of about 80 ° C to 99 ° C.

소정의 시간이 지난 후 상기 통합 제어부(128)는 상기 가열장치(110)가 작동하지 않도록 제어하고 상기 밸브(124)를 제어하여 상기 초순수가 더 이상 유입되지 않도록 할 수 있다. 이어서 상기 가열된 초순수에 의해 가열된 상기 도입관(106) 및 상기 배출관(108) 등을 상온으로 식힌다. 이와 동시에 상기 통합 제어부(128)는 상기 자외선 살균장치(120)를 작동시킬 수 있다. 상기 자외선 살균장치(120)는 외부환경으로부터 오염될 수 있는 상기 수납부(104) 및 상기 박테리아 샘플링 키트(112) 등을 소정의 시간동안 살균한다.After a predetermined time, the integrated control unit 128 may control the heating device 110 not to operate and control the valve 124 to prevent the ultrapure water from flowing any more. Subsequently, the inlet tube 106, the outlet tube 108, and the like heated by the heated ultrapure water are cooled to room temperature. At the same time, the integrated control unit 128 may operate the ultraviolet sterilizer 120. The ultraviolet sterilizer 120 sterilizes the accommodating part 104 and the bacterial sampling kit 112 which may be contaminated from an external environment for a predetermined time.

위에서 상술한 동작에 의해 샘플링 전에 상기 박테리아 자동샘플링 장치(100)를 살균할 수 있다. 이로 인해 외부환경에 의해 분석오차가 생기는 것을 방지할 수 있다.By the above-described operation, the automatic bacterial sampling device 100 may be sterilized before sampling. As a result, it is possible to prevent an analysis error caused by the external environment.

이어서 상기 박테리아 자동샘플링 장치(100)가 상기 초순수에 포함되어 있는 박테리아를 샘플링 하는 동작에 대해 설명하기로 한다. 상기 통합 제어부(128)는 상기 자외선 살균장치(120)의 작동을 멈추고 상기 밸브(124)를 제어하여 상기 초순수가 상기 박테리아 샘플링 키트(112)로 유입되도록 할 수 있다. 상기 펌프(118)는 초순수가 상기 박테리아 샘플링 키트(112)로 유입되거나 상기 박테리아 샘플링 키 트(112)로부터 배출될 수 있도록 압력을 제공해준다. 상기 박테리아 샘플링 키트(112)내의 상기 필터(112a)는 상기 유입되는 초순수 내에 포함되어 있는 박테리아를 걸러준다. 상기 유입된 초순수는 다시 상기 배출관(108)을 통해 배출된다. 상기 유량계(116)는 상기 배출된 초순수의 양을 측정한다. 소정량의 초순수가 배출되면 상기 통합 제어부(128)는 상기 밸브(124)를 제어하여 더 이상 초순수가 상기 박테리아 샘플링 키트(112)로 유입되지 않도록 할 수 있다. 이 때 정확한 분석을 위하여 상기 박테리아 샘플링 키트(112)에 초순수가 남아 있으면 안 된다. 따라서 상기 박테리아 샘플링 키트(112)에 상기 펌프(118)의 압력을 계속 제공해 주어 남아 있는 상기 초순수를 상기 박테리아 샘플링 키트(112)로부터 배출시킬 수 있다.Next, an operation of sampling the bacteria included in the ultrapure water by the bacteria automatic sampling device 100 will be described. The integrated control unit 128 may stop the operation of the ultraviolet sterilizer 120 and control the valve 124 to allow the ultrapure water to flow into the bacterial sampling kit 112. The pump 118 provides pressure to allow ultrapure water to enter or exit the bacterial sampling kit 112. The filter 112a in the bacterial sampling kit 112 filters out bacteria contained in the incoming ultrapure water. The introduced ultrapure water is again discharged through the discharge pipe (108). The flow meter 116 measures the amount of ultrapure water discharged. When a predetermined amount of ultrapure water is discharged, the integrated control unit 128 may control the valve 124 so that ultrapure water is no longer introduced into the bacterial sampling kit 112. At this time, ultrapure water should not remain in the bacterial sampling kit 112 for accurate analysis. Therefore, the bacteria sampling kit 112 may be continuously provided with the pressure of the pump 118 to discharge the ultrapure water remaining from the bacteria sampling kit 112.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면 가열장치를 갖는 박테리아 자동샘플링 장치가 제공된다. 상기 샘플링 장치가 준비상태일 때 상기 가열장치는 유입된 초순수를 가열함으로써 상기 박테리아 자동샘플링 장치의 배관을 살균 및 세정하는 역할을 한다. 또한 상기 박테리아 자동샘플링 장치는 자외선 살균장치를 구비할 수 있다. 상기 자외선 살균장치는 샘플링 전에 상기 수납부 및 상기 박테리아 샘플링 키트 등을 살균하는 역할을 할 수 있다. 그 결과 상기 초순수를 샘플링 하는 과정에서 상기 박테리아 자동샘플링 장치에 의한 오염 가능성을 줄인다. 결과적으로, 본 발병에 따르면 상기 박테리아 자동샘플링 장치의 분석 오차를 최소화할 수 있다.As described above, according to the present invention, there is provided a bacterial automatic sampling device having a heating device. When the sampling device is in the ready state, the heating device sterilizes and cleans the pipe of the automatic bacterial sampling device by heating the introduced ultrapure water. In addition, the automatic bacterial sampling device may be provided with an ultraviolet sterilizer. The ultraviolet sterilizer may serve to sterilize the storage unit and the bacterial sampling kit before sampling. As a result, the possibility of contamination by the bacterial automatic sampling device is reduced during sampling of the ultrapure water. As a result, according to the present disease, it is possible to minimize the analysis error of the bacterial automatic sampling device.

Claims (10)

수납부를 갖는 케이스;A case having a housing; 상기 케이스에 배치되고 상기 수납부의 일면에 연결되는 도입관;An introduction tube disposed in the case and connected to one surface of the housing; 상기 케이스에 배치되고 상기 수납부의 다른 일면에 연결되는 배출관; 및A discharge pipe disposed in the case and connected to the other surface of the accommodation part; And 상기 도입관에 인접하게 설치된 가열장치를 포함하는 박테리아 자동샘플링 장치.Bacterial automatic sampling device comprising a heating device installed adjacent to the introduction tube. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 수납부에 탈착이 가능하고 상기 도입관 및 상기 배출관과 연결되는 박테리아 샘플링 키트를 더 포함하는 박테리아 자동샘플링 장치.And a bacteria sampling kit detachably attached to the housing and connected to the introduction tube and the discharge tube. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 박테리아 샘플링 키트는 액체 속에 포함되어 있는 박테리아를 여과시키는 필터를 구비하는 박테리아 자동샘플링 장치.The bacteria sampling kit is bacteria automatic sampling device having a filter for filtering the bacteria contained in the liquid. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 케이스에 부착되는 차광덮개를 더 포함하는 박테리아 자동샘플링 장치.Bacterial automatic sampling device further comprises a light shield cover attached to the case. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 배출관에 설치된 유량계를 더 포함하는 박테리아 자동샘플링 장치.Bacterial automatic sampling device further comprising a flow meter installed in the discharge pipe. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 배출관에 장착되어 있는 펌프를 더 포함하는 박테리아 자동샘플링 장치.The bacteria automatic sampling device further comprises a pump mounted to the discharge pipe. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 수납부에 설치된 자외선 살균장치를 더 포함하는 박테리아 자동샘플링 장치.Bacterial automatic sampling device further comprises a ultraviolet sterilizer installed in the housing. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가열장치와 연결되어 있는 온도 제어부를 더 포함하는 박테리아 자동샘플링 장치.The bacteria automatic sampling device further comprises a temperature control unit connected to the heating device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 도입관에 장착된 밸브; 및A valve mounted to the introduction pipe; And 상기 밸브 및 상기 배출관에 연결된 보조관을 더 포함하는 박테리아 자동샘플링 장치.The bacteria automatic sampling device further comprises an auxiliary pipe connected to the valve and the discharge pipe. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 수납부에 탈착이 가능하고 상기 도입관 및 상기 배출관과 연결되는 박테리아 샘플링 키트;A bacteria sampling kit detachable from the receiving unit and connected to the introduction tube and the discharge tube; 상기 케이스에 부착되는 차광덮개;A light shielding cover attached to the case; 상기 배출관에 설치된 유량계;A flow meter installed in the discharge pipe; 상기 배출관에 장착되어 있는 펌프;A pump mounted to the discharge pipe; 상기 수납부에 설치된 자외선 살균장치;An ultraviolet sterilizer installed in the housing; 상기 가열장치와 연결되어 있는 온도 제어부;A temperature control unit connected to the heating apparatus; 상기 도입관에 장착된 밸브;A valve mounted to the introduction pipe; 상기 밸브 및 상기 배출관에 연결된 보조관; 및An auxiliary pipe connected to the valve and the discharge pipe; And 상기 유량계, 상기 펌프, 상기 자외선 살균장치, 상기 온도 제어부 및 상기 밸브와 연결되어 있는 통합 제어부를 더 포함하는 박테리아 자동샘플링 장치.And an integrated control unit connected to the flow meter, the pump, the ultraviolet sterilizer, the temperature control unit and the valve.
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