KR20080080767A - Plasma display panel and method for manufacturing thereof - Google Patents

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KR20080080767A
KR20080080767A KR1020070020907A KR20070020907A KR20080080767A KR 20080080767 A KR20080080767 A KR 20080080767A KR 1020070020907 A KR1020070020907 A KR 1020070020907A KR 20070020907 A KR20070020907 A KR 20070020907A KR 20080080767 A KR20080080767 A KR 20080080767A
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plasma display
display panel
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박덕해
박민수
김영성
김보현
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엘지전자 주식회사
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01J9/02Manufacture of electrodes or electrode systems

Abstract

A plasma display panel and a manufacturing method thereof are provided to reduce power consumption of the PDP(Plasma Display Panel) by lowering a discharge voltage of the PDP. A plasma display panel includes first and second panels and first and second protective films. The first and second panels are opposed to each other with a barrier rib between them. The first protective film(100a) is formed on the first panel and contains MgO(101) doped with Si(102). The second protective film is formed on the first protective film and contains a single crystal MgO(103). The second protective film contains a dopant(104), which is selected from the group consisting of Al, Cr, H2, Si, Sc, and Gd. The dopant is contained in the second protective film at a concentration between 300 and 1000 ppm.

Description

플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법{Plasma display panel and method for manufacturing thereof}Plasma display panel and method for manufacturing thereof

도 1은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 보호막 구조의 일실시예를 나타낸 사시도이고,1 is a perspective view showing an embodiment of a protective film structure of a plasma display panel according to the present invention;

도 2는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 일실시예의 방전 셀 구조의 사시도이고,2 is a perspective view of a discharge cell structure of an embodiment of a plasma display panel according to the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법의 일실시예의 흐름도이다.3 is a flowchart of an embodiment of a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 하부 기판 20 : 어드레스 전극10 lower substrate 20 address electrode

30 : 하판 유전체 40 : 격벽30: lower plate dielectric 40: partition wall

50a, 50b, 50c : 형광체 60 : 방전 가스50a, 50b, 50c: phosphor 60: discharge gas

70 : 상부 기판 80a, 80b : 투명 전극70: upper substrate 80a, 80b: transparent electrode

80a', 80b' : 버스 전극 90 : 상판 유전체80a ', 80b': Bus electrode 90: Top dielectric

100a : 제 1 보호막 100b : 제 2 보호막100a: first protective film 100b: second protective film

101 : MgO 102 : Si101: MgO 102: Si

103 : MgO 단결정 104 : 도펀트103: MgO single crystal 104: dopant

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma display panel)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플라즈마 디스플레이 패널의 보호막에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly, to a protective film of a plasma display panel.

멀티 미디어 시대의 도래와 함께 더 세밀하고, 더 크고, 더욱 자연색에 가까운 색을 표현해줄 수 있는 디스플레이 장치의 등장이 요구되고 있다. 그런데, 40인치 이상의 큰 화면을 구성하기에는 현재의 CRT(Cathode Ray Tube)는 한계가 있어서, LCD(Liquid Crystal Display)나 PDP(Plasma Display Panel) 및 프로젝션 TV(Television) 등이 고화질 영상의 분야로 용도확대를 위해 급속도로 발전하고 있다.With the advent of the multimedia era, display devices that can express more detailed, larger, and more natural colors are required. However, the current CRT (Cathode Ray Tube) has a limit to compose a large screen of 40 inches or more, and the LCD (Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel), and projection TV (Television) are used for high definition video. It is rapidly developing for expansion.

플라즈마 디스플레이 패널은 어드레스 전극을 구비한 하부 패널과, 서스테인 전극쌍을 구비한 상부 패널 및 격벽으로 정의되는 방전셀을 가지며, 방전셀 내에는 형광체가 도포된다. 여기서, 각각의 방전 셀 내에는 네온, 헬륨 또는 네온과 헬륨의 혼합기체 등과 같은 주 방전 기체와 소량의 크세논을 함유하는 불활성 가스가 충전되어 있다. 그리고, 상부 패널과 하부 패널 사이의 방전 공간 내에서 방전이 일어나면 이 때 발생된 진공 자외선(vacuum ultraviolet rays)이 형광체에 입사되어 가시광선이 발생하고, 상술한 가시광선에 의하여 화면이 표시된다. The plasma display panel has a lower panel provided with an address electrode, an upper panel provided with a pair of sustain electrodes, and discharge cells defined as partition walls, and phosphors are coated in the discharge cells. Here, each discharge cell is filled with an inert gas containing a small amount of xenon and a main discharge gas such as neon, helium or a mixed gas of neon and helium. When discharge occurs in the discharge space between the upper panel and the lower panel, the vacuum ultraviolet rays generated at this time are incident on the phosphor to generate visible light, and the screen is displayed by the visible light.

그리고, 플라즈마 디스플레이 패널은 리셋 기간, 어드레스 기간 및 서스테인 기간으로 나뉘어 구동된다. 리셋 기간에는 스캔 전극들에 상승 램프 파형(Ramp-up) 이 동시에 인가된다. 그리고, 어드레스 기간에는 부극성 스캔 펄스(scan)가 스캔 전극들에 순차적으로 인가되며, 동시에 스캔 펄스와 동기되어 어드레스 전극들에 정극성의 데이터펄스가 인가된다. 또한, 서스테인 기간에는 스캔 전극들과 서스테인 전극들에 교번적으로 서스테인 펄스(sus)가 인가된다.The plasma display panel is driven by being divided into a reset period, an address period, and a sustain period. In the reset period, the rising ramp waveform Ramp-up is simultaneously applied to the scan electrodes. In the address period, the negative scan pulse scan is sequentially applied to the scan electrodes, and at the same time, the positive data pulse is applied to the address electrodes in synchronization with the scan pulse. In the sustain period, a sustain pulse sus is alternately applied to the scan electrodes and the sustain electrodes.

상술한 플라즈마 디스플레이 패널은 얇고 가벼운 구성이 가능하므로 차셰대 표시장치로서 각광받고 있다.The above-described plasma display panel has a spotlight as a display device because of its thin and light structure.

여기서, 플라즈마 디스플레이 패널의 상부 패널과 하부 패널에는 각각 서스테인 전극쌍 및 어드레스 전극을 보호하기 위하여 유전체층이 형성된다. 그런데, 플라즈마 디스플레이 패널의 방전시에 (+) 이온의 충격 때문에 상부 패널에 구비된 상판 유전체가 닳아 없어지고, 이 때 나트륨(Na) 등의 금속 물질이 전극을 단락(short)시키기도 한다.Here, a dielectric layer is formed on the upper panel and the lower panel of the plasma display panel to protect the sustain electrode pair and the address electrode, respectively. However, due to the impact of (+) ions during the discharge of the plasma display panel, the top dielectric provided in the upper panel is worn out, and at this time, a metallic material such as sodium (Na) may short the electrode.

따라서, 상부 패널에 구비된 상판 유전체 상에 보호막을 형성하는데, 보호막으로 (+) 이온의 충격에 잘 견디고 2차 전자 방출 계수가 높은 산화 마그네슘(MgO)을 코팅하여 형성하기도 한다. 상술한 보호막을 형성함으로써 구동 전압의 저전압화가 이루어지고 있으며, 이러한 저전압화는 플라즈마 디스플레이 패널의 전력 소모를 줄일 뿐만 아니라 휘도와 방전효율 등의 향상을 도모할 수 있다.Therefore, a protective film is formed on the upper plate dielectric provided in the upper panel. The protective film may be formed by coating magnesium oxide (MgO), which withstands the impact of positive ions and has a high secondary electron emission coefficient. By forming the above-mentioned protective film, the driving voltage is lowered, and this lowering voltage can not only reduce power consumption of the plasma display panel but also improve luminance and discharge efficiency.

그러나, 상술한 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 보호막은 다음과 같은 문제점이 있다.However, the above-described protective film of the conventional plasma display panel has the following problems.

첫째, 현재 보호막의 재료로 사용 중인 산화 마그네슘은 방전 전압을 효과적으로 낮추지 못하고 있는데, 이는 산화 마그네슘의 물질 특성에 기인한다. 즉, 산 화 마그네슘은 강한 공유 결합 구조를 가지고 있어서, 수분 및 일산화탄소 등의 분순물과 쉽게 결합할 수 있다. 따라서, 보호막은 플라즈마 입자의 충격에 의하여 표면에 미세한 크랙(crack)이 발생되어 수명이 저하되고, 대향 방전시에 보호막에서 방출되는 2차 전자의 개수가 작아지는 문제점이 있다.First, magnesium oxide, which is currently used as a protective film material, does not effectively lower the discharge voltage, which is due to the material properties of magnesium oxide. That is, magnesium oxide has a strong covalent bond structure, and thus can be easily combined with water and impurities such as carbon monoxide. Accordingly, the protective film has a problem in that a small crack is generated on the surface due to the impact of the plasma particles, the service life is reduced, and the number of secondary electrons emitted from the protective film during the counter discharge becomes small.

둘째, 산화 마그네슘으로 보호막을 형성하면 지터(jitter) 특성이 저하되는 문제점 있다. 즉, 플라즈마 디스플레이 패널의 구동에서 한 프레임 내에서 서스테인 기간에 할당될 수 있는 시간이 부족하게 되는 것이다.Second, when the protective film is formed of magnesium oxide, there is a problem in that the jitter property is lowered. In other words, the time that can be allocated to the sustain period within one frame is insufficient in driving the plasma display panel.

예를 들어, 480개의 스캔라인이 존재하고 각 라인당 3 마이크로 초(㎲)의 스캔 시간이 필요하며, 첫 스캔라인부터 마지막 스캔라인까지 한 번에 순차적으로 스캔하는 싱글스캔 방식을 채택하면, 한 프레임이 8개의 서브필드로 나뉘어 구동되는 경우에 한 프레임 내에서 필요한 어드레스 기간은 480×3마이크로 초×8=13밀리 초(㎳) 이상이 소요된다.For example, if there are 480 scan lines, a scan time of 3 microseconds per line, and a single scan method that scans sequentially from the first scan line to the last scan line at a time, When a frame is driven by dividing into eight subfields, an address period required in one frame takes 480 x 3 micro seconds x 8 = 13 milliseconds or more.

따라서, 한 프레임 내에서 서스테인 기간에 할당될 수 있는 시간이 그 만큼 줄어들게 되므로, 부족한 서스테인 기간을 더 많이 할당하기 위하여 스캔 기간을 줄여야 한다. 그러나, 어드레스 방전시 발생하는 지터를 고려하면 스캔 펄스의 폭을 길게 하여야 하기 때문에, 스캔 기간을 줄이기가 어렵다. 지터는 어드레스 방전시 발생하는 방전지연시간으로써 매 서브필드마다 다소의 차이는 있으나, 구동시 일정한 범위를 가지게 된다. 스캔 펄스에는 이러한 지터 값이 포함되므로 그 펄스폭이 길어지게 된다. 따라서, 지터 값이 클수록 어드레스 기간이 길어지게 되므로, 화질의 저하가 발생할 수 있다.Therefore, since the time that can be allocated to the sustain period in one frame is reduced by that much, it is necessary to reduce the scan period in order to allocate more insufficient sustain period. However, considering the jitter generated during the address discharge, it is difficult to shorten the scan period because the width of the scan pulse must be increased. Jitter is a discharge delay time that occurs during address discharge, but there is a slight difference in every subfield, but it has a certain range during driving. Scan pulses contain these jitter values, which results in longer pulse widths. Therefore, the larger the jitter value, the longer the address period, so that deterioration of image quality may occur.

여기서, 어드레스 기간의 지터 값에 가장 큰 영향을 미치는 인자로써 보호막의 2차 전자 방출 특성이 있다. 즉, 보호막의 2차전자 방출특성이 높으면 높을 수록 지터 값이 감소되고, 감소된 지터 값만큼 스캔 펄스의 펄스 폭이 줄어들게 되므로 어드레스 기간이 단축될 수 있다.Here, the factor which has the greatest influence on the jitter value of the address period is the secondary electron emission characteristic of the protective film. That is, the higher the secondary electron emission characteristic of the passivation layer, the smaller the jitter value, and the pulse width of the scan pulse is reduced by the reduced jitter value, thereby shortening the address period.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 지터 특성이 향상된 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a plasma display panel having improved jitter characteristics and a method of manufacturing the same.

본 발명의 다른 목적은 방전 특성이 향상되어 소비 전력이 절감된 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a plasma display panel and a method of manufacturing the same having improved discharge characteristics and reduced power consumption.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 격벽을 사이에 두고 서로 마주보는 제 1 패널과 제 2 패널을 포함하여 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 상기 제 1 패널 상에 구비되고, Si이 도핑된 MgO를 포함하는 제 1 보호막; 및 상기 제 1 보호막 상에 구비되고, 단결정의 MgO를 포함하는 제 2 보호막을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is a plasma display panel comprising a first panel and a second panel facing each other with a partition wall therebetween, MgO provided on the first panel, doped with Si A first protective film comprising; And a second protective film provided on the first protective film and including MgO of single crystal.

여기서 제 2 보호막은 Al, Cr, H2, Si, Sc 및 Gd으로 구성되는 군으로부터 선택되는 도펀트를 더 포함할 수 있다.The second passivation layer may further include a dopant selected from the group consisting of Al, Cr, H 2 , Si, Sc, and Gd.

본 발명의 다른 실시 형태에 따르면, 제 1 패널 내의 유전체 상에, Si이 도핑된 MgO를 포함하는 제 1 보호막을 형성하는 단계; 및 상기 제 1 보호막 상에, 단 결정의 MgO를 포함하는 제 2 보호막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 제공한다.According to another embodiment of the present invention, there is provided a method, comprising: forming a first protective film including MgO doped with Si on a dielectric in a first panel; And forming a second passivation film including MgO of single crystal on the first passivation film.

여기서 제 1 보호막을 형성하는 단계는, Si이 도핑된 MgO를 포함하는 제 1 소스 물질을 준비하고 전자빔법으로 제 1 소스 물질을 유전체 상에 증착하는 것을 특징으로 한다.The forming of the first passivation layer may include preparing a first source material including Si-doped MgO and depositing the first source material on the dielectric by an electron beam method.

그리고, 제 2 보호막을 형성하는 단계는, MgO를 포함하는 제 2 소스 물질을 준비하고 화학 기상 증착법으로 제 2 소스 물질을 제 1 보호막 상에 증착하는 것을 특징으로 한다.The forming of the second passivation layer may include preparing a second source material including MgO and depositing the second source material on the first passivation layer by chemical vapor deposition.

이하 상기의 목적을 구체적으로 실현할 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention that can specifically realize the above object will be described.

종래와 동일한 구성 요소는 설명의 편의상 동일 명칭 및 동일 부호를 부여하며 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.The same components as in the prior art are given the same names and the same reference numerals for convenience of description, and detailed description thereof will be omitted.

본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 보호막이 2층 구조로 형성된 것을 특징으로 한다. 이하 상부 패널의 유전체와 면접하여 형성된 보호막을 제 1 보호막이라 칭하고, 제 1 보호막 상에 형성되어 방전 공간과 직접 접하는 보호막을 제 2 보호막이라 칭한다.The plasma display panel according to the present invention is characterized in that the protective film is formed in a two-layer structure. Hereinafter, a protective film formed by contacting the dielectric of the upper panel is called a first protective film, and a protective film formed on the first protective film and directly in contact with the discharge space is called a second protective film.

도 1은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 보호막 구조의 일실시예를 나타낸 사시도이다. 도 1을 참조하여 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 보호막의 일실시예를 설명하면 다음과 같다.1 is a perspective view showing an embodiment of a protective film structure of a plasma display panel according to the present invention. An embodiment of a protective film of a plasma display panel according to the present invention will be described with reference to FIG. 1.

제 1 보호막(100a)은 유전체(도면에는 도시되지 않음) 상에 형성된다. 여기 서, 제 1 보호막은 산화 마그네슘(101)을 포함하여 이루어지며, 여기에 실리콘(Si, 102)이 도펀트(dopant)로 포함되어 있다. 또한, 제 1 보호막은 화학적 기상 증착(CVD)법, 전자빔(E-beam)법, 이온 도금(Ion-plating)법, 졸겔법 및 스퍼터링법 등으로 형성될 수 있다. 이 때, 제 1 보호막 내에 실리콘이 도핑되면 어드레스 기간의 지터 값이 줄어들게 되나, 실리콘의 함유량이 일정 값 이상으로 커지면 지터 값이 증가될 수 있다. 따라서, 실리콘은 지터 값이 최소화되는 범위로 도핑되는 것이 바람직하며, 최적 함량으로 보호막 내에 20~500 ppm(parts per million)의 비율로 포함되는 것이 바람직하다. 그리고, 지터 값을 줄이기 위하여 실리콘 대신 다른 물질을 도펀트로 사용할 수도 있을 것이다. 여기서, 제 1 보호막은 300~700 나노미터(nm)의 두께로 형성되는 것이 바람직하다. 만일 제 1 보호막의 두께가 300 나노미터 이하이면 오방전의 가능성이 있으며, 700 나노미터 이상이면 제조 공정과 비용상의 문제점이 발생할 수 있다.The first protective film 100a is formed on a dielectric (not shown in the figure). In this case, the first passivation layer includes magnesium oxide 101, and silicon (Si) 102 is included as a dopant. In addition, the first passivation layer may be formed by chemical vapor deposition (CVD), electron beam (E-beam), ion-plating, sol-gel, sputtering, or the like. At this time, when silicon is doped in the first passivation layer, the jitter value of the address period is reduced. However, when the silicon content is larger than a predetermined value, the jitter value may be increased. Therefore, the silicon is preferably doped in a range where the jitter value is minimized, and it is preferable that the silicon is included in the protective film at an optimum content of 20 to 500 parts per million (ppm). And other materials may be used as dopants instead of silicon to reduce jitter. Here, the first protective film is preferably formed to a thickness of 300 ~ 700 nanometers (nm). If the thickness of the first passivation layer is less than 300 nanometers, there is a possibility of false discharge, and if it is more than 700 nanometers, problems in manufacturing process and cost may occur.

그리고, 제 1 보호막 상에는 도시된 바와 같이 제 2 보호막이 형성된다. 여기서, 제 2 보호막은 산화 마그네슘 결정(103)에 도펀트(104)가 도핑되는 것이 바람직하다. 제 2 보호막은 화학적 기상 증착법, 전자빔법, 졸겔법, 이온 도금법 및 스퍼터링법 등으로 형성될 수 있다. 그리고, 제 2 보호막 내에서 산화 마그네슘 결정의 크기는 500~1000 마이크로 미터의 크기로 형성될 수 있으며, 화학적 기상 증착법에 의하여 형성될 경우 단결정으로 형성될 수 있다. 여기서, 산화 마그네슘 결정의 '크기'는, 결정이 구의 형상이면 지름을 의미하고, 육면체의 형상이면 한 변의 길이를 의미한다. 단결정은 결정 전체가 일정한 결정축을 따라 규칙적으로 생성 된 고체를 의미하며, 배향이 서로 다른 조그만 단결정들의 집합인 다결정과 구분된다.Then, a second protective film is formed on the first protective film as shown. The dopant 104 may be doped with the magnesium oxide crystal 103 in the second passivation layer. The second protective film may be formed by chemical vapor deposition, electron beam, sol-gel, ion plating, sputtering, or the like. The size of the magnesium oxide crystals in the second passivation layer may be formed to a size of 500 to 1000 micrometers, and may be formed as a single crystal when formed by chemical vapor deposition. Here, the "size" of a magnesium oxide crystal means the diameter if a crystal is a spherical shape, and the length of one side if it is a hexahedron shape. Single crystal refers to a solid that is regularly produced along a constant crystal axis, and is distinguished from polycrystal, which is a collection of small single crystals with different orientations.

여기서, 제 2 보호막 내에 포함되는 도펀트는 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 수소(H2), 실리콘(Si), Sc(스칸듐) 및 Gd(가돌리늄)으로 구성되는 물질로부터 선택되는 것이 바람직하다. 그리고, 도펀트는 300~1000 ppm의 비율로 포함되는 것이 바람직하다. 도펀트의 비율을 제한한 것은, 상술한 제 1 보호막 내에서 실리콘의 비율을 제한한 이유와 동일하다.Here, the dopant included in the second protective film is preferably selected from materials consisting of aluminum (Al), chromium (Cr), hydrogen (H 2 ), silicon (Si), Sc (scandium), and Gd (gadolinium). . In addition, the dopant is preferably contained at a rate of 300 to 1000 ppm. Limiting the proportion of the dopant is the same as the reason for limiting the proportion of silicon in the above first protective film.

그리고, 제 2 보호막은 100~300 나노미터의 두께로 형성되는 것이 바람직하다. 만일, 보호막의 두께가 100 나노미터 이하이면 산화 마그네슘 등의 입자가 결정성을 갖기 힘들고, 300 나노미터 이상이면 제조공정과 비용상의 문제점이 발생할 수 있다.The second protective film is preferably formed to a thickness of 100 to 300 nanometers. If the thickness of the protective film is less than 100 nanometers, particles such as magnesium oxide hardly have crystallinity, and if the thickness of the protective film is more than 300 nanometers, problems in manufacturing process and cost may occur.

상술한 제 1 보호막 및 제 2 보호막의 제조방법 및 이에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 특성은 후술하기로 한다.The manufacturing method of the first protective film and the second protective film and the characteristics of the plasma display panel according to the above will be described later.

도 2는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 일실시예의 방전 셀 구조의 사시도이다. 도 2를 참조하여 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 일실시예를 설명하면 다음과 같다.2 is a perspective view of a discharge cell structure of an embodiment of a plasma display panel according to the present invention. An embodiment of a plasma display panel according to the present invention will be described with reference to FIG. 2.

본 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 상부 패널과 하부 패널이 격벽을 사이에 두고 서로 마주보며 이루어져 있다. 상부 패널에는 화상이 디스플레이되는 표시면인 상부 기판(70) 상에, 한 쌍의 투명 전극(80a, 80b)과 버스 전 극(80a', 80b')이 쌍을 이루어 형성된 서스테인 전극쌍이 배열된다. 그리고, 하부 패널은 하부 기판(10) 상에 상술한 서스테인 전극쌍과 교차되도록 어드레스 전극(20)이 배열되며, 상술한 하부 패널과 상부 패널은 일정한 거리를 두고 평행하게 결합된다.In the plasma display panel according to the present exemplary embodiment, the upper panel and the lower panel face each other with partition walls therebetween. On the upper panel, a pair of sustain electrodes formed by pairing a pair of transparent electrodes 80a and 80b and bus electrodes 80a 'and 80b' are arranged on the upper substrate 70 which is a display surface on which an image is displayed. In addition, the lower panel has an address electrode 20 arranged on the lower substrate 10 so as to intersect with the above-described sustain electrode pair, and the lower panel and the upper panel are coupled in parallel at a predetermined distance.

하부 패널 상에는 복수 개의 방전 공간 즉, 방전셀 을 형성시키기 위하여, 스트라이프 타입(또는 웰 타입 등)의 격벽(40)이 평행을 유지하며 배열된다. 그리고, 어드레스 방전을 수행하여 진공자외선을 발생시키는 다수의 어드레스 전극은 격벽에 대해 평행하게 배열된다. 하부 패널의 상측면에는 어드레스 방전시에 화상표시를 위한 가시광선을 방출하는 적색(R)과 녹색(G) 및 청색(B) 형광체(50a, 50b, 50c)가 도포된다. 그리고, 어드레스 전극과 형광체 사이에는 어드레스 전극을 보호하기 위한 하판 유전체층(30)이 형성된다.On the lower panel, barrier ribs 40 of stripe type (or well type, etc.) are arranged in parallel to form a plurality of discharge spaces, that is, discharge cells. And, a plurality of address electrodes for generating vacuum ultraviolet rays by performing address discharge are arranged in parallel with the partition wall. On the upper side of the lower panel, red (R), green (G), and blue (B) phosphors 50a, 50b, and 50c, which emit visible light for image display during address discharge, are coated. A lower dielectric layer 30 is formed between the address electrode and the phosphor to protect the address electrode.

그리고, 서스테인 전극쌍 상에 형성된 상판 유전체(90) 상에는 제 1 보호막(100a)과 제 2 보호막(100b)이 차례로 형성되는데, 구체적인 제 1 보호막과 제 2 보호막의 특성은 상술한 바와 같다.The first passivation layer 100a and the second passivation layer 100b are sequentially formed on the upper plate dielectric 90 formed on the pair of sustain electrodes. Specific characteristics of the first passivation layer and the second passivation layer are as described above.

여기서, 방전 공간 내에서 방전이 일어나면 (+) 이온이 발생하나, 실리콘이 도핑된 산화 마그네슘이 제 1 보호막으로 형성되어 상판 유전체를 보호한다. 그리고, 소정의 도펀트가 포함된 산화 마그네슘이 제 2 보호막을 이루어, 방전 지연 시간을 급격히 단축하여 지터 특성을 향상될 수 있다. 본 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 방전 지연 시간을 1 마이크로 초(㎲) 이하로 단축되는 것이 발견되었다. 또한, 제 1 보호막 내에 실리콘이 포함되어, 보호막의 이차전자방출특성이 전체적으로 향상된 것을 알 수 있었다.Herein, when discharge occurs in the discharge space, positive ions are generated, but magnesium oxide doped with silicon is formed as the first passivation layer to protect the top dielectric. In addition, the magnesium oxide containing the predetermined dopant may form the second protective film, thereby rapidly reducing the discharge delay time, thereby improving the jitter characteristic. It has been found that the plasma display panel according to the present embodiment shortens the discharge delay time to 1 microsecond or less. In addition, it was found that silicon was included in the first passivation film, thereby improving the secondary electron emission characteristics of the passivation film as a whole.

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법의 일실시예의 흐름도이다. 도 3을 참조하여 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법의 일실시예를 설명하면 다음과 같다.3 is a flowchart of an embodiment of a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention. An embodiment of a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention will be described with reference to FIG. 3.

먼저, 제 1 보호막 재료인 제 1 소스 물질(source material)을 준비한다(S310). 여기서, 제 1 소스 물질은 산화 마그네슘에 실리콘이 미량 포함된 것을 특징으로 한다. 그리고, 제 1 소스 물질은 실리콘이 산화 마그네슘에 도핑되어 단일의 소스 물질로 마련될 수도 있으나, 각각 별개로 준비될 수도 있다.First, a first source material that is a first passivation layer material is prepared (S310). Here, the first source material is characterized in that the magnesium oxide contains a small amount of silicon. The first source material may be prepared as a single source material by doping silicon oxide with magnesium, or may be separately prepared.

이어서, 전자빔법으로 제 1 보호막을 형성한다(S320). 즉, 상술한 제 1 소스 물질을 고온으로 가열하여 물리적인 에너지를 이용하여 제 1 보호막을 유전체 상에 증착한다. 제 1 보호막은 전자빔법 외에 화학적 기상 증착법, 이온 도금법, 졸겔법 및 스퍼터링법 등의 방법으로 형성될 수 있다. 그러나, 보호막의 양산성과 특성 등을 고려하면 전자빔법으로 형성하는 것이 바람직하다. 여기서, 산화 마그네슘 만으로 제 1 보호막을 형성하면 에이징(aging) 시간이 약 9시간 가까이 소비되었으나, 실리콘을 도펀트로 사용하여 제 1 보호막을 형성하면 에이징 시간을 대폭 단축할 수 있다.Next, a first protective film is formed by an electron beam method (S320). That is, the first source material described above is heated to a high temperature to deposit a first passivation layer on the dielectric using physical energy. The first protective film may be formed by a method such as chemical vapor deposition, ion plating, sol-gel, sputtering, etc. in addition to the electron beam method. However, in consideration of the mass productivity and characteristics of the protective film, it is preferable to form the electron beam method. In this case, when the first passivation layer is formed only of magnesium oxide, an aging time is consumed about 9 hours. However, when the first passivation layer is formed using silicon as a dopant, the aging time can be significantly shortened.

그리고, 제 2 보호막 재료인 제 2 소스 물질을 준비한다(S330). 여기서, 제 2 소스 물질은 산화 마그네슘에 Al, Cr, H2, Si, Sc 및 Gd 중 하나 이상의 물질을 도핑하여 이루어진다.In operation S330, a second source material that is a second protective film material is prepared. Here, the second source material is made by doping magnesium oxide with at least one of Al, Cr, H 2 , Si, Sc and Gd.

이어서, 화학 기상 증착법으로 제 2 보호막을 형성한다(S340). 즉, 상술한 제 2 소스 물질을 가열하여 발생되는 증기에 의하여 제 1 보호막 상에, 제 2 보호막을 형성한다. 이 때, 산화 마그네슘은 단결정의 형태로 증착되며, 도펀트들로 함께 증착된다. 여기서, 화학 기상 증착법은 제 2 보호막 내의 산화 마그네슘 및 도펀트들을 막과 결정의 중간 정도의 물성으로 형성하여, 스프레이법 등으로 형성하는 경우보다 제 2 보호막의 증착 강도를 강화시킬 수 있다.Next, a second passivation film is formed by chemical vapor deposition (S340). That is, the second protective film is formed on the first protective film by the steam generated by heating the above-described second source material. At this time, magnesium oxide is deposited in the form of a single crystal and is deposited together with dopants. Here, the chemical vapor deposition method may form the magnesium oxide and the dopants in the second protective film in the physical properties between the film and the crystal, so as to strengthen the deposition strength of the second protective film than when formed by the spray method or the like.

본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않으며, 첨부된 청구범위에서 알 수 있는 바와 같이 본 발명이 속한 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 변형이 가능해도 이러한 변형은 본 발명의 범위에 속한다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and such modifications are included in the scope of the present invention even if modifications are possible by those skilled in the art to which the present invention pertains.

상기에서 설명한 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법의 효과를 설명하면 다음과 같다.The effects of the plasma display panel and the manufacturing method according to the present invention described above are as follows.

첫째, 플라즈마 디스플레이 패널의 지터 특성을 향상시킬 수 있다.First, the jitter characteristic of the plasma display panel may be improved.

둘째, 플라즈마 디스플레이 패널의 방전 전압을 낮추어, 소비 전력을 절감시킬 수 있다.Second, power consumption may be reduced by lowering the discharge voltage of the plasma display panel.

Claims (10)

격벽을 사이에 두고 서로 마주보는 제 1 패널과 제 2 패널을 포함하여 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서,In the plasma display panel comprising a first panel and a second panel facing each other with a partition wall therebetween, 상기 제 1 패널 상에 구비되고, Si이 도핑된 MgO를 포함하는 제 1 보호막; 및A first passivation layer provided on the first panel and including MgO doped with Si; And 상기 제 1 보호막 상에 구비되고, 단결정의 MgO를 포함하는 제 2 보호막을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.And a second protective film provided on the first protective film and including MgO of single crystal. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 보호막은,The method of claim 1, wherein the second protective film, Al, Cr, H2, Si, Sc 및 Gd으로 구성되는 군으로부터 선택되는 도펀트를 더 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널.A plasma display panel further comprising a dopant selected from the group consisting of Al, Cr, H 2 , Si, Sc, and Gd. 제 2 항에 있어서, 상기 도펀트는,The method of claim 2, wherein the dopant is 300~1000 ppm의 비율로 상기 제 2 보호막 내에 포함되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.And a plasma display panel included in the second passivation layer at a rate of 300 to 1000 ppm. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 보호막 내의 MgO는,The method of claim 1, wherein the MgO in the second protective film, 크기가 500~1000 나노미터인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.Plasma display panel, characterized in that the size of 500 ~ 1000 nanometers. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 보호막은,The method of claim 1, wherein the first protective film, 전자빔법으로 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.A plasma display panel formed by an electron beam method. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 보호막은,The method of claim 1, wherein the second protective film, 화학 기상 증착법으로 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.A plasma display panel formed by chemical vapor deposition. 제 1 패널 내의 유전체 상에, Si이 도핑된 MgO를 포함하는 제 1 보호막을 형성하는 단계; 및Forming a first protective film on the dielectric in the first panel, the first protective film comprising MgO doped with Si; And 상기 제 1 보호막 상에, 단결정의 MgO를 포함하는 제 2 보호막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.And forming a second protective film containing MgO of single crystal on the first protective film. 제 7 항에 있어서, 상기 제 1 보호막을 형성하는 단계는,The method of claim 7, wherein the forming of the first protective film, Si이 도핑된 MgO를 포함하는 제 1 소스 물질을 준비하고, 전자빔법으로 상기 제 1 소스 물질을 상기 유전체 상에 증착하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.A method of manufacturing a plasma display panel comprising preparing a first source material including Si-doped MgO and depositing the first source material on the dielectric by an electron beam method. 제 7 항에 있어서, 상기 제 2 보호막을 형성하는 단계는,The method of claim 7, wherein the forming of the second protective film, MgO를 포함하는 제 2 소스 물질을 준비하고, 화학 기상 증착법으로 상기 제 2 소스 물질을 상기 제 1 보호막 상에 증착하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.And preparing a second source material including MgO, and depositing the second source material on the first passivation layer by chemical vapor deposition. 제 9 항에 있어서, 상기 제 2 소스 물질은,10. The method of claim 9, wherein the second source material is Al, Cr, H2, Si, Sc 및 Gd으로 구성되는 군으로부터 선택되는 도펀트를 더 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.A method of manufacturing a plasma display panel further comprising a dopant selected from the group consisting of Al, Cr, H 2 , Si, Sc, and Gd.
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