KR20080066310A - 배향막 형성 방법 및 이를 이용한 액정 표시 패널의 제조방법 - Google Patents

배향막 형성 방법 및 이를 이용한 액정 표시 패널의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 배향막 프리 큐어(Pre-cure) 시 기판의 온도를 점차적으로 증가시켜서 건조 얼룩을 방지하기 위한 배향막 형성 방법 및 이를 이용한 액정 표시 패널의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명은 기판 상에 배향막을 도포하는 단계, 상기 배향막이 도포된 기판의 온도는 시간에 비례하여 증가하고, 상기 시간 증가에 따른 상기 온도 증가의 비율은 1 내지 2의 범위를 가지며, 각각의 비율로 온도를 증가시켜 프리 큐어(Pre-cure)하는 단계, 상기 배향막을 메인 큐어(Main-cure)하는 단계, 상기 배향막을 러빙(Rubbing)하는 단계를 포함하는 배향막 형성 방법 및 이를 이용한 액정 표시 패널의 제조 방법에 관한 것이다.
배향막, 프리 큐어(Pre-cure), 건조 얼룩

Description

배향막 형성 방법 및 이를 이용한 액정 표시 패널의 제조 방법{METHOD FOR FORMING ALIGNMENT FILM AND MANUFACTURING METHOD OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY USING THE SAME}
도 1은 종래의 배향막 프리 큐어(Pre-cure) 시 건조 얼룩이 발생한 것을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 배향막 형성 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 시간 증가에 따른 기판의 온도 증가를 나타낸 그래프이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 시간 증가에 따른 기판과 가열 플레이트 간의 이격거리 감소를 나타낸 그래프이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 패널을 도시한 사시도이다.
<도면 부호의 간단한 설명>
100 : 박막 트랜지스터 기판 105 : 제1 배향막
110 : 게이트 전극 111 : 게이트 라인
120 : 데이터 라인 130 : 소스 전극
131 : 드레인 전극 140 : 화소 전극
150 : 액정 160 : 컬러 필터 기판
165 : 제2 배향막 170 : 블랙 매트릭스
175 : 컬러 필터 185 : 공통 전극
200 : 가열 플레이트 210 : 리프트 핀
D : 이격거리
본 발명은 배향막 형성 방법 및 이를 이용한 액정 표시 패널의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 배향막 프리 큐어(Pre-cure) 시 기판의 온도를 점차적으로 증가시켜서 건조 얼룩을 방지하기 위한 배향막 형성 방법 및 이를 이용한 액정 표시 패널의 제조 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 하부 기판 및 컬러 필터가 형성된 상부 기판 사이에 주입되어 있는 이방성 유전율을 갖는 액정 물질에 전계를 인가하고, 이 전계의 세기를 조절하여 기판에 투과되는 광의 양을 조절함으로써 원하는 화상 신호를 얻는 표시 장치이다.
액정은 TN(Twisted Nematic)모드, STN(Super Twisted Nematic)모드, VA(Vertical Alignment)모드 등으로 배향된다. TN 모드, STN 모드는 전계가 가해지지 않은 상태에서 액정을 일정한 각도로 트위스트 시켜서 배향한다. 그러나 액정이 트위스트 된 경우, 빛의 편광 특성에 의해 광의 손실이 발생하여 투과율이 떨어진다.
수직 배향 모드는 전계가 가해지지 않은 상태에서 액정의 초기 배향을 수직 방향으로 하는 방식이다. 이러한 수직 배향 모드는 광시야각을 확보할 수 있다.
이와 같이, 액정을 배향하기 위해서는 배향막을 형성하고, 소정의 프리틸트각(Pretilt Angle)으로 러빙(Rubbing)한다. 배향막 형성 후 러빙하기 전, 프리 큐어(Pre-cure) 및 메인 큐어(Mail-cure) 과정을 거치는 데, 프리 큐어(Pre-cure)는 배향막의 균일도(Uniformity)를 증가시키기 위해서 실시한다.
그러나, 이러한 프리 큐어(Pre-cure) 과정에서 배향막 두께에 따른 불균일한 용매 휘발시간, 기판의 부위에 따른 불균일한 용매의 조성비, 건조 온도, 메인 큐어(Main-cure)까지의 정체 시간, 기판 내의 건조 속도 차이 등으로 건조 얼룩이 발생하게 된다. 이러한 현상들은 각각 배향막 프리틸트각(Pretilt Angle), 계면 에너지(Anchoring Energy), 셀갭(Cell Gap) 등의 변화를 유발하는 인자로 작용할 수 있다.
따라서, 도 1에서와 같은 건조 얼룩이 발생하게 된다. 도 1은 종래의 배향막 프리 큐어(Pre-cure) 시 건조 얼룩이 발생한 것을 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 프리 큐어(Pre-cure)시 배향막이 형성된 기판의 온도를 단시간에 급격히 증가시킨 경우, 각각의 셀(Cell) 별로 패턴이 도포된 내부와 외부의 온도 차이가 발생한다. 결과적으로 에지(Edge) 부분에 테두리 건조 얼룩이 발생하게 된다.
따라서, 본 발명이 이루고자하는 기술적 과제는 배향막 프리 큐어(Pre-cure) 시 기판의 온도를 점차적으로 증가시켜서 건조 얼룩을 방지하기 위한 배향막 형성 방법 및 이를 이용한 액정 표시 패널의 제조 방법을 제공하는데 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 배향막 형성 방법은 기판 상에 배향막을 도포하는 단계; 상기 배향막이 도포된 기판의 온도는 시간에 비례하여 증가하고, 상기 시간 증가에 따른 상기 온도 증가의 비율은 1 내지 2의 범위를 가지며, 각각의 비율로 온도를 증가시켜 프리 큐어(Pre-cure)하는 단계; 상기 배향막을 메인 큐어(Main-cure)하는 단계; 상기 배향막을 러빙(Rubbing)하는 단계를 포함한다.
상기 프리 큐어(Pre-cure)하는 단계는 프리 큐어(Pre-cure)하기 위한 가열 플레이트 상에 상기 가열 플레이트와 이격되도록 기판을 로딩하는 단계; 상기 기판이 상기 가열 플레이트와 이격된 거리는 시간에 비례하여 감소하고, 상기 시간 증가에 따른 상기 이격거리 감소의 비율은 0.7 내지 1.5의 범위를 가지며, 각각의 비율로 상기 이격거리를 감소시켜 상기 가열 플레이트에 접촉하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 프리 큐어(Pre-cure) 한 후, 상기 배향막을 검사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 액정 표시 패널의 제조 방법은 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 박막 트랜지스터 기판을 마련하는 단계; 컬러 필터 어레이가 형성된 컬러 필터 기판을 마련하는 단계; 상기 박막 트랜지스터 기판 및 상기 컬러 필터 기판 상에 제1 및 제2 배향막을 각각 형성하는 단계; 상기 제1 및 제2 배향막이 형성된 기판의 온도는 시간에 비례하여 증가하고, 상기 시간 증가에 따른 상기 온도 증가의 비율은 1 내지 2의 범위를 가지며, 각각의 비율로 온도를 증가시켜 프리 큐어(Pre-cure)하는 단계; 상기 프리 큐어된 제1 및 제2 배향막을 메인 큐어(Main-cure)하는 단계; 액정 배향을 위하여 상기 제1 및 제2 배향막을 프리틸트각으로 러빙(Rubbing)하는 단계; 상기 박막 트랜지스터 기판 및 상기 컬러 필터 기판 중 어느 하나의 기판 상에 씰패턴을 형성하는 단계; 상기 씰패턴이 형성된 기판 상에 액정을 적하하는 단계; 상기 박막 트랜지스터 기판 및 상기 컬러 필터 기판을 합착하는 단계를 포함한다.
상기 프리 큐어(Pre-cure)하는 단계는 가열 플레이트 상에 상기 가열 플레이트와 이격되도록 기판을 로딩하는 단계; 상기 기판이 상기 가열 플레이트와 이격된 거리는 시간에 비례하여 감소하고, 상기 시간 증가에 따른 상기 이격거리 감소의 비율은 0.7 내지 1.5의 범위를 가지며, 각각의 비율로 상기 이격거리를 감소시켜 상기 가열 플레이트에 접촉하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 프리 큐어(Pre-cure) 한 후, 상기 배향막을 검사하는 단계를 더 포함하 는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제 외에 본 발명의 다른 기술적 과제 및 이점들은 첨부 도면을 참조한 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 도 2 내지 도 5를 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 배향막 형성 방법을 설명하기 위한 단면도이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 시간 증가에 따른 기판의 온도 증가를 나타낸 그래프이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 시간 증가에 따른 기판과 가열 플레이트 간의 이격거리 감소를 나타낸 그래프이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 배향막(105,165) 형성 방법은 기판(100,160) 상에 배향막을(105,165) 도포한다. 여기서 배향막(105,165)은 폴리이미드(Polyimide)로 형성하는 것이 바람직하다. 그런 다음, 배향막(105,165)이 도포된 기판(100,160)의 온도는 시간에 비례하여 증가하고, 시간 증가에 따른 온도 증가의 비율은 1 내지 2의 범위를 가지며, 각각의 비율로 온도를 증가시켜 프리 큐어(Pre-cure)한다. 프리 큐어(Pre-cure)는 0 내지 70초의 시간 동안, 온도를 0℃에서 70℃까지 점차적으로 증가시켜 진행한다.
도 3을 참조하면, x축은 0 ~ 70초까지의 시간을 나타내고, y축은 0℃ ~ 70℃까지의 온도를 나타낸다. A는 종래의 프리 큐어(Pre-cure) 방식으로 기판(100,160)의 온도 증가가 급격한 형태를 나타내고, B는 본 발명의 실시예에 따른 프리 큐어(Pre-cure) 방식으로 기판(100,160)의 온도 증가가 완만한 형태를 나타낸다. 여기서는 시간 증가에 따른 온도 증가의 비율이 약 1인 경우의 그래프를 예로 들어 비교하였으나, 1 내지 2의 범위의 비율이면 무방하다. 시간 증가에 따른 온도 증가의 비율이 1보다 작은 경우, 그만큼 프리 큐어(Pre-cure) 시간이 길어지는 단점이 있고, 2보다 큰 경우에는 기판(100,160)의 온도 변화가 급격하게 되어 종래와 같이 건조 얼룩이 발생하게 된다.
프리 큐어(Pre-cure)를 진행하기 위해 먼저, 프리 큐어(Pre-cure)를 하기 위한 가열 플레이트(200) 상에 가열 플레이트(200)와 소정 간격 이격되도록 기판(100,160)을 로딩한다. 이때, 기판(100,160)은 가열 플레이트(200) 상에 배치된 리프트 핀(210)에 의해 지지된다. 여기서 리프트 핀(210)에 의해 지지된 기판(100,160)과 가열 플레이트(210)와의 이격거리(D)는 500mm이다. 이러한 이격거리(D)는 시간에 비례하여 감소하고, 시간 증가에 따른 이격거리(D) 감소의 비율은 0.7 내지 1.5의 범위를 가지며, 각각의 비율로 이격거리(D)를 감소시켜 가열 플레이트(200)에 접촉하게 된다. 다시 말해, 0 내지 70초의 시간 동안, 리프트 핀(210)의 높이를 500mm에서 기판(100,160)이 가열 플레이트(200)와 접촉될 때까지 점차적으로 감소시켜 가열 플레이트(200)에 접촉하게 된다. 프리 큐어(Pre-cure)는 기판(100,160)이 가열 플레이트(200)와 접촉될 때까지 70초 동안 진행된다.
도 4를 참조하면, x축은 0 ~70초까지의 시간을 나타내고, y축은 기판(100,160)과 가열 플레이트(200) 간의 이격거리(D)를 나타낸다. A는 종래의 프리 큐어(Pre-cure) 방식으로 기판(100,160)과 가열 플레이트(200) 간의 이격거 리(D) 감소가 급격한 형태를 나타내고, B는 본 발명의 실시예에 따른 프리 큐어(Pre-cure) 방식으로 이격거리(D) 감소가 완만한 형태를 나타낸다. 여기서는 시간 증가에 따른 이격거리(D) 감소의 비율이 약 0.7인 경우를 예를 들어 비교하였으나, 0.7 내지 1.5의 범위의 비율이면 무방하다. 시간 증가에 따른 이격거리(D) 감소의 비율이 0.7보다 작은 경우 그만큼 프리 큐어(Pre-cure) 시간이 길어지는 단점이 있고, 1.5보다 큰 경우에는 기판(100,160)의 온도 변화가 급격하게 되어 종래와 같이 건조 얼룩이 발생하게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 배향막(105,165) 형성 방법은 리프트 핀(210)의 높이를 서서히 낮추게 되면 가열 플레이트(200)에서 복사되는 열로 인하여 기판(100,160)의 온도는 점차적으로 증가하게 된다. 따라서, 기판(100,160)의 급격한 온도 변화로 인한 건조 얼룩과 기판(100,160)의 상하면 온도차이로 인한 기판(100,160)의 휘어짐을 개선할 수 있다.
그런 다음, 프리 큐어(Pre-cure) 한 배향막(105,165)을 검사한다. 여기서, 배향막(105,165)을 검사하여 불량이 발생되었을 경우 재작업(Re-work)이 가능하다.
다음으로, 배향막(105,165)을 메인 큐어(Main-cure) 한다. 메인 큐어(Main-cure)는 220℃의 온도로 15분 동안 베이크(bake)하여 진행된다.
그리고, 배향막(105,165)을 러빙(Rubbing)하여 소정의 프리틸트각(θ)을 갖는 배향막(105,165)을 형성한다. 여기서 러빙(Rubbing)은 주로 롤러(Roller)에 부착된 러빙포를 이용하여 배향막(105,165)의 표면을 일정한 방향으로 문지르는 것으로써, 후속 공정 시 적하되는 액정(150)에 프리틸트각(Pretilt Angle, θ)을 부여 하여, 액정(150)을 배열하기 위한 것이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 패널을 도시한 사시도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 패널은 박막 트랜지스터 기판(100) 및 컬러 필터 기판(160) 각각에 형성된 제1 및 제2 배향막(105,165)과 두 기판(100,160) 사이에 내재된 액정(150)을 포함한다.
본 발명의 액정 표시 패널의 제조 방법은 박막 트랜지스터(125) 어레이가 형성된 박막 트랜지스터 기판(100) 및 컬러 필터 어레이가 형성된 컬러 필터 기판(160)을 마련한다. 그런 다음 박막 트랜지스터 기판(100) 및 컬러 필터 기판(160) 상에 제1 및 제2 배향막(105,165)을 각각 형성한다. 다음으로, 제1 및 제2 배향막(105,165)이 형성된 기판(105,165)의 온도는 시간에 비례하여 증가하고, 시간 증가에 따른 온도 증가의 비율은 1 내지 2의 범위를 가지며, 각각의 비율로 온도를 증가시켜 프리 큐어(Pre-cure)한다. 그리고, 프리 큐어(Pre-cure)된 제1 및 제2 배향막(105,165)을 메인 큐어(Main-cure)한다.
그런 다음, 액정(150) 배향을 위하여 제1 및 제2 배향막(105,165)을 프리틸트각(θ)으로 러빙(Rubbing)한다. 다음으로, 박막 트랜지스터 기판(100) 및 컬러 필터 기판(160) 중 어느 하나의 기판(100,160) 상에 씰패턴을 형성하고, 씰패턴이 형성된 기판(100,160) 상에 액정(150)을 적하한다. 그리고, 박막 트랜지스터 기판(100) 및 컬러 필터 기판(160)을 합착한다.
이와 같이, 액정 표시 패널은 박막 트랜지스터 어레이 공정과 컬러 필터 어레이 공정을 통해 각각 제조된 박막 트랜지스터 기판(100)과 컬러 필터 기판(160) 은 셀 공정을 통해 두 기판(100,160)이 합착되고 각 셀별로 절단된다.
일반적인 액정 표시 패널에 사용되는 박막 트랜지스터 기판 및 컬러 필터 기판의 제조 방법을 개략적으로 설명하기로 한다.
먼저, 박막 트랜지스터 기판(100)은 유리나 플라스틱 등의 절연 기판(101) 상에 스퍼터링 등의 방법으로 Cr 또는 Cr합금, Al 또는 Al합금, Mo 또는 Mo합금, Ag 또는 Ag합금 등의 게이트 라인(111), 게이트 전극(110), 스토리지 라인 및 스토리지 전극을 포함하는 게이트 패턴을 단일층 또는 다중층으로 증착한 후, 게이트 마스크를 사용한 사진식각공정을 통해 게이트 금속층을 패터닝하여 패턴을 형성한다.
게이트 패턴을 형성한 후에 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 등의 방법을 사용하여 SiNx 또는 SiOx와 같은 게이트 절연막과 a-Si와 같은 활성층과 n도핑된 a-si와 같은 오믹 접촉층을 연속 증착한다. 그런 다음, 액티브 마스크를 사용한 사진식각공정을 통해 활성층 및 오믹 접촉층을 형성한다.
게이트 절연막 및 활성층, 오믹 접촉층을 형성한 후에 스퍼터링 등의 방법을 사용하여 게이트 절연막과 오믹 접촉층 상에 Cr 또는 Cr합금, Al 또는 Al합금, Mo 또는 Mo합금, Ag 또는 Ag합금, Ti 또는 Ti합금 등의 데이터 금속층을 단일층 또는 다중층으로 증착한다. 이어 데이터 마스크를 사용한 사진식각공정을 통해 데이터 금속층을 패터닝하여 단일층 또는 다중층의 데이터 패턴을 형성한다. 그런 다음, 소스 전극(130) 및 드레인 전극(131) 사이에 노출되어 있는 오믹 접촉층을 건식 식각하여 활성층을 노출시킨다.
데이터 패턴을 형성한 후에 PECVD 등의 방법을 사용하여 SiNx 또는 SiOx와 같은 보호막을 증착한다. 이어 보호막 마스크를 사용한 사진식각공정을 통해 콘택홀을 형성함으로써 드레인 전극(131)을 노출시킨다.
보호막을 형성한 후에 스퍼터링 등의 방법을 사용하여 ITO나 IZO와 같은 투명 도전 금속층을 형성하고 화소 전극 마스크를 사용한 사진식각공정을 통해 투명 도전 금속층을 패터닝하여 화소 전극(140)을 형성한다.
다음으로 컬러 필터 기판(160)은 유리나 플라스틱 등의 절연 기판(161) 상에 스퍼터링 등의 방법을 사용하여 Cr 또는 Cr합금 등의 블랙층을 단일층 또는 다중층으로 증착한다. 그런 다음, 블랙 매트릭스 마스크를 사용한 사진식각공정을 통해 블랙 매트릭스(170)를 형성한다.
블랙 매트릭스(170)를 형성한 후에 적색 컬러 필터(R)와 녹색 컬러 필터(G) 및 청색 컬러 필터(B)를 필터 마스크를 사용한 사진식각공정을 통해 차례로 형성한다.
컬러 필터(175)를 형성한 후에 유기 물질을 전면에 도포하여 오버코트를 형성한다. 이어 스퍼터링 등의 방법을 사용하여 ITO나 IZO와 같은 금속을 증착하여 공통 전극(185)을 형성한다. 그런 다음, 컬럼 스페이서(180)를 형성할 수 있다.
위와 같은 공정을 거쳐 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 박막 트랜지스터 기판(100)과 컬러 필터 어레이가 형성된 컬러 필터 기판(160)을 마련한다.
그런 다음 박막 트랜지스터 기판(100) 및 컬러 필터 기판(160) 상에 제1 및 제2 배향막(105,165)을 각각 형성한다. 다음으로, 제1 및 제2 배향막(105,165)이 형성된 기판(100,160)의 온도는 시간에 비례하여 증가하고, 시간 증가에 따른 온도 증가의 비율은 1 내지 2의 범위를 가지며, 각각의 비율로 온도를 증가시켜 프리 큐어(Pre-cure)한다. 이때, 프리 큐어(Pre-cure)를 진행하기 위해 먼저, 프리 큐어(Pre-cure)를 하기 위한 가열 플레이트(200) 상에 가열 플레이트(200)와 소정 간격 이격되도록 기판(100,160)을 로딩한다. 기판(100,160)과 가열 플레이트(200) 간의 이격거리(D)는 시간에 비례하여 감소하고, 시간 증가에 따른 이격거리(D) 감소의 비율은 0.7 내지 1.5의 범위를 가지며, 각각의 비율로 이격거리(D)를 감소시켜 가열 플레이트(200)에 접촉하게 된다. 따라서, 프리 큐어(Pre-cure)는 기판(100,160)이 가열 플레이트(200)으로 하강하는 동안 진행된다.
그리고, 프리 큐어(Pre-cure) 된 제1 및 제2 배향막(105,165)을 메인 큐어(Main-cure)한다.
여기서, 제1 및 제2 배향막(105,165)의 프리 큐어(Pre-cure) 및 메인 큐어(Main-cure)는 상술한 배향막(105,165) 형성 방법과 동일하므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.
그런 다음, 액정(150) 배향을 위하여 제1 및 제2 배향막(105,165)을 프리틸트각(θ)으로 러빙(Rubbing)한다. 다음으로, 박막 트랜지스터 기판(100) 및 컬러 필터 기판(160) 중 어느 하나의 기판(100,160) 상에 씰패턴을 형성하고, 씰패턴이 형성된 기판(100,160) 상에 액정(150)을 적하한다. 그리고, 박막 트랜지스터 기판(100) 및 컬러 필터 기판(160)을 합착하고 셀단위로 절단한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 배향막 형성 방법 및 이를 이용한 액정 표시 패널의 제조 방법은 배향막 프리 큐어(Pre-cure) 시 기판의 온도를 점차적으로 증가시켜서 건조 얼룩을 방지할 수 있다.
따라서, 기판의 급격한 온도 변화로 인한 건조 얼룩과 기판의 상하면 온도차이로 인한 기판의 휘어짐을 개선할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음이 자명하다.

Claims (6)

  1. 기판 상에 배향막을 도포하는 단계;
    상기 배향막이 도포된 기판의 온도는 시간에 비례하여 증가하고, 상기 시간 증가에 따른 상기 온도 증가의 비율은 1 내지 2의 범위를 가지며, 각각의 비율로 온도를 증가시켜 프리 큐어(Pre-cure)하는 단계;
    상기 배향막을 메인 큐어(Main-cure)하는 단계;
    상기 배향막을 러빙(Rubbing)하는 단계를 포함하는 배향막 형성 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 프리 큐어(Pre-cure)하는 단계는
    프리 큐어(Pre-cure)하기 위한 가열 플레이트 상에 상기 가열 플레이트와 이격되도록 기판을 로딩하는 단계;
    상기 기판이 상기 가열 플레이트와 이격된 거리는 시간에 비례하여 감소하고, 상기 시간 증가에 따른 상기 이격거리 감소의 비율은 0.7 내지 1.5의 범위를 가지며, 각각의 비율로 상기 이격거리를 감소시켜 상기 가열 플레이트에 접촉하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 형성 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 프리 큐어(Pre-cure) 한 후, 상기 배향막을 검사하는 단계를 더 포함하 는 것을 특징으로 하는 배향막 형성 방법.
  4. 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 박막 트랜지스터 기판을 마련하는 단계;
    컬러 필터 어레이가 형성된 컬러 필터 기판을 마련하는 단계;
    상기 박막 트랜지스터 기판 및 상기 컬러 필터 기판 상에 제1 및 제2 배향막을 각각 형성하는 단계;
    상기 제1 및 제2 배향막이 형성된 기판의 온도는 시간에 비례하여 증가하고, 상기 시간 증가에 따른 상기 온도 증가의 비율은 1 내지 2의 범위를 가지며, 각각의 비율로 온도를 증가시켜 프리 큐어(Pre-cure)하는 단계;
    상기 프리 큐어된 제1 및 제2 배향막을 메인 큐어(Main-cure)하는 단계;
    액정 배향을 위하여 상기 제1 및 제2 배향막을 프리틸트각으로 러빙(Rubbing)하는 단계;
    상기 박막 트랜지스터 기판 및 상기 컬러 필터 기판 중 어느 하나의 기판 상에 씰패턴을 형성하는 단계;
    상기 씰패턴이 형성된 기판 상에 액정을 적하하는 단계;
    상기 박막 트랜지스터 기판 및 상기 컬러 필터 기판을 합착하는 단계를 포함하는 액정 표시 패널의 제조 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 프리 큐어(Pre-cure)하는 단계는
    가열 플레이트 상에 상기 가열 플레이트와 이격되도록 기판을 로딩하는 단계;
    상기 기판이 상기 가열 플레이트와 이격된 거리는 시간에 비례하여 감소하고, 상기 시간 증가에 따른 상기 이격거리 감소의 비율은 0.7 내지 1.5의 범위를 가지며, 각각의 비율로 상기 이격거리를 감소시켜 상기 가열 플레이트에 접촉하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 프리 큐어(Pre-cure) 한 후, 상기 배향막을 검사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 방법.
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CN102863147A (zh) * 2012-09-26 2013-01-09 深圳市华星光电技术有限公司 对基板进行烤焙处理的装置及方法

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