KR20080063874A - Semiconductor memory device - Google Patents

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KR20080063874A
KR20080063874A KR1020070000388A KR20070000388A KR20080063874A KR 20080063874 A KR20080063874 A KR 20080063874A KR 1020070000388 A KR1020070000388 A KR 1020070000388A KR 20070000388 A KR20070000388 A KR 20070000388A KR 20080063874 A KR20080063874 A KR 20080063874A
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하성주
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주식회사 하이닉스반도체
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Abstract

A semiconductor memory device is provided to minimize area occupied by a fuse, as maintaining equal repair efficiency. A unit memory cell region includes a normal cell array and a number of redundancy columns. A number of fuse sets(300,400,500,600) correspond to each redundancy column, and program a column address of a repair target normal cell. An addressing unit selects the redundancy column corresponding to a fuse set by comparing an applied column address with a column address of the repair target normal cell programmed in the fuse sets. At least one fuse set shares a fuse corresponding to a most significant bit of the column address of the fuse sets.

Description

반도체 메모리 소자{SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE}Semiconductor memory device {SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE}

도 1은 일반적인 디램의 일부 구성을 설명하기 위한 블록도.1 is a block diagram illustrating some components of a general DRAM.

도 2는 도 1의 제1 퓨즈셋을 설명하기 위한 블록도.FIG. 2 is a block diagram illustrating a first fuse set of FIG. 1. FIG.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 제1 내지 제4 퓨즈셋을 설명하기 위한 블록도.3 is a block diagram illustrating a first to fourth fuse set according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3 실시예의 리페어 효율을 설명하기 위한 도면.4 is a view for explaining the repair efficiency of the embodiment of FIG.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

300 : 제1 퓨즈셋 400 : 제2 퓨즈셋300: first fuse set 400: second fuse set

500 : 제3 퓨즈셋 600 : 제4 퓨즈셋500: third fuse set 600: fourth fuse set

F_EN : 인에이블 퓨즈 F_ADD<2:9> : 리페어 퓨즈F_EN: Enable Fuse F_ADD <2: 9>: Repair Fuse

본 발명은 반도체 설계 기술에 관한 것으로, 특히 결함 셀(fail cell)을 리 페어하는 리던던시 회로에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to semiconductor design techniques, and more particularly to a redundancy circuit for repairing defective cells.

일반적으로, 디램(Dynamic Random Access Memory, DRAM)을 비롯한 반도체 메모리 소자에는 수많은 메모리 셀이 존재하는데, 이러한 메모리 셀들 중 1개라도 결함(fail)이 발생되면 해당 반도체 메모리 소자는 제 구실을 하지 못하게 되면서 불량품으로 처리된다. 하지만, 반도체 메모리 소자의 집적도가 점차 증가함에 따라 확률적으로, 소량의 셀에만 결함이 발생할 확률이 높은데도 이를 포함한 전체 소자를 불량품으로 처리하여 페기 처분하는 것은 제품의 수율(yield)을 낮추는 비효율적인 처리 방식이라 할 수 있다. 따라서, 미리 셀 영역 내에 별도로 구비해 둔 리던던시 셀을 이용하여 결함 셀을 대체시킴으로써 수율을 높이는 방법을 통상적으로 사용하고 있는데, 이때 사용되는 회로가 리던던시 회로이다.In general, a large number of memory cells exist in a semiconductor memory device including a DRAM (Dynamic Random Access Memory (DRAM)), and if any one of these memory cells fails, the semiconductor memory device may fail. It is treated as defective. However, as the degree of integration of semiconductor memory devices increases gradually, there is a high probability that defects may occur only in a small number of cells, but disposing of the entire device as a defective product and discarding it is an inefficient way of lowering the yield of the product. It can be called a processing method. Therefore, a method of increasing the yield by replacing a defective cell by using a redundancy cell provided in the cell region in advance is commonly used. The circuit used at this time is a redundancy circuit.

이러한 결함 셀을 리페어 할 수 있는 리페어 알고리즘은 로우 리페어(row repair)와 컬럼 리페어(column repair)로 나뉠 수 있다. 이 중 컬럼 리페어는 결함 셀이 있는 컬럼 라인을 리페어하는 것으로, 결함 셀의 컬럼 어드레스를 퓨즈에 프로그래밍한다. 그래서 읽기(read) 및 쓰기(write) 동작을 통해 결함 셀을 억세스하는 경우 프로그래밍 된 정보와 입력된 컬럼 어드레스를 비교하여, 결함 셀 대신에 리던던시 셀을 억세스 하도록 한다. 여기서, 프로그램 방식 중에서, 퓨즈를 레이저 컷팅(laser cutting)함으로써 어드레스를 프로그램하는 방식이 가장 널리 사용되고 있다.The repair algorithm capable of repairing such defective cells can be divided into row repair and column repair. Among these, the column repair repairs a column line having a defective cell, and programs the column address of the defective cell into the fuse. Thus, when a defective cell is accessed through read and write operations, the programmed information is compared with the input column address to access the redundant cell instead of the defective cell. Here, among programming methods, a method of programming an address by laser cutting a fuse is most widely used.

도 1은 일반적인 DDR2 SDRAM의 일부 구성을 설명하기 위한 블록도이다.1 is a block diagram for explaining a part of a configuration of a general DDR2 SDRAM.

도 1에는 하나의 메모리 뱅크(bank)의 ¼의 단위 메모리 셀 영역인 쿼터 뱅 크(quarter bank, 10)와, 컬럼디코더(20), 및 제1 내지 제4 퓨즈셋(30, 40, 50, 60)이 도시되어 있다.FIG. 1 shows a quarter bank 10, a quarter bank 10, a column decoder 20, and first to fourth fuse sets 30, 40, 50, 60 is shown.

쿼터 뱅크(10)는 노멀 셀 어레이(A, B, C, D)와 리던던시 컬럼(E, F, G, H)으로 구성되며, 로우 어드레스(row address)에 의해 구분되는 16개의 메모리 블록(BLOCK1, BLOCK2, ... BLOCK15, BLOCK16)으로 나뉠 수 있다.The quarter bank 10 is composed of normal cell arrays A, B, C, and D and redundancy columns E, F, G, and H, and is divided into 16 memory blocks BLOCK1 separated by row addresses. , BLOCK2, ... BLOCK15, BLOCK16).

컬럼디코더(20)는 컬럼 어드레스(ADD_COL<2:9>)를 디코딩하여 각 노멀 셀 어레이(A, B, C, D)를 억세스 할 수 있는 컬럼선택신호(YI)를 출력하고, 또한, 인가된 컬럼 어드레스(ADD_COL<2:9>)와 제1 내지 제4 퓨즈셋(30, 40, 50, 60)에 프로그램된 어드레스를 비교하여, 리페어 대상일 경우 각 리던던시 컬럼(E, F, G, H)을 억세스 할 수 있는 컬럼선택신호(YI)신호를 출력한다. 결국, 컬럼디코더(20)는 노멀 셀 어레이(A, B, C, D)을 억세스 하기 위한 28개의 컬럼선택신호(YI)신호와 리던던시 컬럼(E, F, G, H)을 억세스 하기 위한 4개의 컬럼선택신호(YI)신호를 출력한다.The column decoder 20 decodes the column address ADD_COL <2: 9> and outputs a column selection signal YI that can access each normal cell array A, B, C, D. The column addresses ADD_COL <2: 9> and the addresses programmed in the first to fourth fuse sets 30, 40, 50, and 60, and compare the respective redundancy columns E, F, G, A column select signal (YI) signal for accessing H) is output. As a result, the column decoder 20 may access 2 8 column select signal YI signals for accessing the normal cell arrays A, B, C, and D and redundancy columns E, F, G, and H for access. Outputs four column select signal (YI) signals.

제1 내지 제4 퓨즈셋(30, 40, 50, 60)은 각 메모리 블록(BLOCK1, BLOCK2, ... BLOCK15, BLOCK16)당 4개의 리페어 대상 어드레스를 프로그래밍하기 위한 것으로 도 2에는 제1 퓨즈셋(30)만 도시하였다.The first to fourth fusesets 30, 40, 50, and 60 are for programming four repair target addresses per memory block BLOCK1, BLOCK2, ... BLOCK15, BLOCK16. Only 30 are shown.

도 2를 참조하면, 제1 퓨즈셋(30)은 각 메모리 블록(BLOCK1, BLOCK2, ... BLOCK15, BLOCK16)에 대응하는 다수의 퓨즈 블록(F_BLOCK1, F_BLOCK2, ... F_BLOCK15, F_BLOCK16)으로 구성된다. 그리고, 각 퓨즈 블록(F_BLOCK1, F_BLOCK2, ... F_BLOCK15, F_BLOCK16)은 리페어 대상 컬럼 어드레스(ADD_COL<2:9>)의 각 비트에 대응하는 다수의 리페어 퓨즈(F_ADD<2:9>)와, 해당 메모리 블록에 대응하는 하나의 인에이블 퓨즈(F_EN)로 구성된다. Referring to FIG. 2, the first fuse set 30 includes a plurality of fuse blocks F_BLOCK1, F_BLOCK2, ... F_BLOCK15, F_BLOCK16 corresponding to each of the memory blocks BLOCK1, BLOCK2, ... BLOCK15, BLOCK16. do. Each of the fuse blocks F_BLOCK1, F_BLOCK2, ... F_BLOCK15, F_BLOCK16 includes a plurality of repair fuses F_ADD <2: 9> corresponding to the bits of the repair target column address ADD_COL <2: 9>. One enable fuse F_EN corresponding to the corresponding memory block is included.

여기서, 다수의 리페어 퓨즈(F_ADD<2:9>)는 리페어 대상 셀의 어드레스를 프로그램하기 위한 것이고, 인에이블 퓨즈(F_EN)는 해당 메모리 블록의 서로 독립적인 리페어가 가능하도록 리페어 여부를 나타내는 플래그(flag)신호를 생성하기 위한 것이다. 그래서, 제1 퓨즈셋(30)에는 컬럼 어드레스(ADD_COL<2:9>)에 대응하는 8개의 리페어 퓨즈(F_ADD<2:9>)와 1개의 인에이블 퓨즈(F_EN)가 16개 메모리 블록(BLOCK1, BLOCK2, ... BLOCK15, BLOCK16)에 대응되어 구성된다.Here, the plurality of repair fuses F_ADD <2: 9> are for programming an address of a repair target cell, and the enable fuse F_EN is a flag indicating whether to repair the memory blocks independently of each other. flag) to generate a signal. Therefore, the first fuse set 30 includes eight repair fuses F_ADD <2: 9> and one enable fuse F_EN corresponding to the column address ADD_COL <2: 9>. BLOCK1, BLOCK2, ... BLOCK15, BLOCK16).

즉, 제1 퓨즈셋(30)에는 9(퓨즈 블럭당 퓨즈 수)×16(퓨즈 블럭 수)인 144개의 퓨즈가 구비된다. 그리고, 제2 내지 제4 퓨즈셋(40, 50, 60)의 구성은 제1 퓨즈셋(30)의 구성과 동일하며, 제1 내지 제4 퓨즈셋(30, 40, 50, 60)에는 4(퓨즈셋 수)×144(퓨즈셋당 퓨즈 수)인 576개의 퓨즈가 구비된다. 그리고, 한 개의 뱅크는 4개의 쿼터 뱅크로 구성됨으로 뱅크 하나에는 4(쿼터 수)×576(쿼터당 퓨즈 수)인 2304개의 퓨즈가 구비된다. 여기서, 뱅크 수를 고려한 총 퓨즈 수는 N(여기서, 'N'은 자연수)뱅크 DDR2 SDRAM의 경우에는 총 2304×N 개의 퓨즈가 구비되어야 한다.That is, the first fuse set 30 is provided with 144 fuses of 9 (the number of fuses per fuse block) x 16 (the number of fuse blocks). The configuration of the second to fourth fuse sets 40, 50, and 60 is the same as that of the first fuse set 30, and the first to fourth fuse sets 30, 40, 50, and 60 are four. 576 fuses are provided (number of fuse sets) x 144 (number of fuses per fuse set). Since one bank is composed of four quarter banks, one bank is provided with 2304 fuses of 4 (number of quarters) x 576 (number of fuses per quarter). In this case, the total number of fuses considering the number of banks is N (where 'N' is a natural number). In the case of the bank DDR2 SDRAM, a total of 2304 × N fuses should be provided.

최근 각종 전자 제품은 소형화, 저전력 소모 및 저가격화에 대한 요구에 부응하여 발전하고 있다. 반도체 메모리 소자 역시 대용량화, 고속화, 저전력화 및 신기능 추가의 방향으로 발전하고 있다. 그래서, 반도체 메모리 소자의 대용량화, 고집적화를 달성하기 위해서 넷 다이(Net Die)를 증가시키기 위한 노력이 요구되고 있다. Recently, various electronic products have been developed in response to the demand for miniaturization, low power consumption, and low price. Semiconductor memory devices are also developing toward higher capacity, higher speed, lower power, and new functions. Therefore, in order to achieve high capacity and high integration of semiconductor memory devices, efforts to increase net die have been required.

이러한 상황에서, 쿼터 뱅크(10)의 한 블록당 4개 이하의 결함 셀에 대한 리페어가 가능하지만, 많은 퓨즈 개수를 필요로 하여 회로 배치 및 배선 연결이 제한된다. 그리고, 넷다이 증대를 위해 퓨즈 개수를 줄일 경우에는 리페어 효율이 감소하여 수율에 영향을 미칠 수 있는 문제점이 발생한다.In such a situation, repair for up to four defective cells per block of quarter bank 10 is possible, but requires a large number of fuses, which limits circuit layout and wiring connections. In addition, when the number of fuses is reduced to increase the net die, the repair efficiency decreases, which may affect the yield.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 리페어 효율은 동일하게 가져가면서, 퓨즈가 차지하는 면적을 최소화할 수 있는 반도체 메모리 소자를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been proposed to solve the above problems of the prior art, and has an object of providing a semiconductor memory device capable of minimizing the area occupied by a fuse while maintaining the same repair efficiency.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 노멀 셀 어레이와 다수의 리던던시 컬럼을 포함하는 단위 메모리 셀 영역; 각 리던던시 컬럼에 대응하며, 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스를 프로그래밍하기 위한 다수의 퓨즈셋; 인가된 컬럼 어드레스와 상기 다수의 퓨즈셋에 프로그램된 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스를 비교하여 해당 퓨즈셋에 대응하는 상기 리던던시 컬럼을 선택하기 위한 어드레싱 수단을 구비하며, 상기 다수의 퓨즈셋 중 적어도 하나의 퓨즈셋은 다른 퓨즈셋의 컬럼 어드레스의 일정 비트에 대응하는 퓨즈를 공유하는 반도체 메모리 소자가 제공된다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a unit memory cell region including a normal cell array and a plurality of redundancy columns; A plurality of fuse sets corresponding to each redundancy column, for programming column addresses of a repair target normal cell; And addressing means for selecting the redundancy column corresponding to the fuse set by comparing an applied column address with a column address of a repair target normal cell programmed in the plurality of fuse sets, wherein at least one of the plurality of fuse sets is provided. The fuse set is provided with a semiconductor memory device that shares a fuse corresponding to a predetermined bit of the column address of another fuse set.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 노멀 셀 어레이와 다수의 리던던시 로우을 포함하는 단위 메모리 셀 영역; 각 리던던시 로우에 대응하며, 리페어 대상 노멀 셀의 로우 어드레스를 프로그래밍하기 위한 다수의 퓨즈셋; 인가된 로우 어드레스와 상기 다수의 퓨즈셋에 프로그램된 리페어 대상 노멀 셀의 로우 어드레스를 비교하여 해당 퓨즈셋에 대응하는 상기 리던던시 로우을 선택하기 위한 어드레싱 수단을 구비하며, 상기 다수의 퓨즈셋 중 적어도 하나의 퓨즈셋은 다른 퓨즈셋의 로우 어드레스의 일정 비트에 대응하는 퓨즈를 공유하는 반도체 메모리 소자가 제공된다.According to another aspect of the present invention for achieving the above object, a unit memory cell region including a normal cell array and a plurality of redundancy rows; A plurality of fusesets corresponding to each redundancy row and configured to program a row address of a repair target normal cell; Addressing means for selecting the redundancy row corresponding to the fuse set by comparing an applied row address with a row address of a repair target normal cell programmed in the plurality of fuse sets, wherein at least one of the plurality of fuse sets is provided; The fuse set is provided with a semiconductor memory device that shares a fuse corresponding to a predetermined bit of a row address of another fuse set.

바람직하게, 단위 메모리 셀 영역의 어느 한 메모리 블록을 일정 비트(예컨대, 최상위비트)에 의해 2개의 영역으로 구분하고, 한쪽 영역에 한 메모리 블록에서 발생할 수 있는 전체 결함 수의 ½이상의 결함이 발생하면 우선적으로 최상위 비트가 프로그래밍 되는 퓨즈를 공유하고 있는 제1 및 제2 퓨즈셋을 이용하여 리페어하고, 남은 결함에 대해 나머지 퓨즈셋을 이용하여 리페어함으로써, 공유된 퓨즈에 대해 퓨즈 개수를 줄일 수 있다.Preferably, any one memory block in the unit memory cell area is divided into two areas by a predetermined bit (for example, the most significant bit), and when one or more defects occur in one area of the total number of defects that can occur in one memory block. The number of fuses for the shared fuse can be reduced by first repairing the first and second fuse sets that share the fuse in which the most significant bit is programmed, and repairing the remaining defects using the remaining fuse sets.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, the most preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily implement the technical idea of the present invention. .

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 제1 내지 제4 퓨즈셋(300, 400, 500, 600)을 설명하기 위한 블록도이다. 설명의 편의를 위해서, 종래와 동일한 리페어 효율 (한 블록당 4개 이하 리페어 가능)을 얻기 위하여, 본 발명에 따른 실시예에도 4개의 리던던시 컬럼에 대응하는 제1 내지 제4 퓨즈셋(300, 400, 500, 600)을 구비하였다. 또한, 각 제1 내지 제4 퓨즈셋(300, 400, 500, 600)은 16개의 메모리 블록 중 제1 내지 제5 메모리 블록(BLOCK1, BLKOK2, BLKOK3, BLKOK4, BLKOK5)에 대응하는 제1 내지 제5 퓨즈 블록(F_BLOCK1, F_BLOCK2, F_BLOCK3, F_BLOCK4, F_BLOCK5)만 도시하였다. 3 is a block diagram illustrating first to fourth fuse sets 300, 400, 500, and 600 according to an exemplary embodiment of the present invention. For convenience of description, in order to obtain the same repair efficiency as that of the prior art (up to 4 repairs per block), the first to fourth fusesets 300 and 400 corresponding to four redundancy columns may also be used in the embodiment of the present invention. , 500, 600). In addition, each of the first to fourth fuse sets 300, 400, 500, and 600 corresponds to the first to fifth memory blocks BLOCK1, BLKOK2, BLKOK3, BLKOK4, and BLKOK5 among the 16 memory blocks. Only five fuse blocks F_BLOCK1, F_BLOCK2, F_BLOCK3, F_BLOCK4 and F_BLOCK5 are shown.

여기서, 제1 퓨즈셋(300)은 각 메모리 블록(BLOCK1, BLKOK2, BLKOK3, BLKOK4, BLKOK5)에 대응하는 다수의 퓨즈 블록(F_BLOCK1, F_BLOCK2, F_BLOCK3, F_BLOCK4, F_BLOCK5)으로 구성된다. 그리고, 각 퓨즈 블록(F_BLOCK1, F_BLOCK2, F_BLOCK3, F_BLOCK4, F_BLOCK5)은 리페어 대상 컬럼 어드레스(ADD_COL<2:9>)의 각 비트에 대응하는 다수의 리페어 퓨즈(F_ADD<2:9>)와, 해당 메모리 블록에 대응하는 하나의 인에이블 퓨즈(F_EN)로 구성된다. 그리고, 제3 퓨즈셋(500)과 제4 퓨즈셋(600)은 제1 퓨즈셋(300)과 동일한 구성을 갖는다. The first fuse set 300 includes a plurality of fuse blocks F_BLOCK1, F_BLOCK2, F_BLOCK3, F_BLOCK4, and F_BLOCK5 corresponding to each of the memory blocks BLOCK1, BLKOK2, BLKOK3, BLKOK4, and BLKOK5. Each fuse block F_BLOCK1, F_BLOCK2, F_BLOCK3, F_BLOCK4, and F_BLOCK5 includes a plurality of repair fuses F_ADD <2: 9> corresponding to each bit of the repair target column address ADD_COL <2: 9>. It is composed of one enable fuse F_EN corresponding to the memory block. In addition, the third fuse set 500 and the fourth fuse set 600 have the same configuration as the first fuse set 300.

한편, 제2 퓨즈셋(400)은 각 메모리 블록(BLOCK1, BLKOK2, BLKOK3, BLKOK4, BLKOK5)에 대응하는 다수의 퓨즈 블록(F_BLOCK1, F_BLOCK2, F_BLOCK3, F_BLOCK4, F_BLOCK5)으로 구성된다. 그리고, 각각의 퓨즈 블록(F_BLOCK1, F_BLOCK2, F_BLOCK3, F_BLOCK4, F_BLOCK5)은 리페어 대상 컬럼 어드레스(ADD_COL<2:9>)중 'ADD_COL<2:8>' 어드레스의 각 비트에 대응하는 다수의 리페어 퓨즈(F_ADD<2:8>)와, 해당 메모리 블록에 대응하는 인에이블 퓨즈(F_EN)로 구성된다. 그리고, 제2 퓨즈셋(400)은 제1 퓨즈셋(300)에 'ADD_COL<9>' 어드레스가 프로그래밍 되는 'F_ADD<9>' 퓨즈를 공유한다. 여기서, 'ADD_COL<9>' 어드레스는 최상위 비트(Most Significant Bit : 이하, "MSB")로 하나의 쿼터 뱅크를 좌우로 구분 지어줄 수 있는 어드레스 비트이다. 도면에서 알 수 있듯이, 제2 퓨즈셋(400)의 퓨즈의 개수가 종래보다 'N' 만큼 줄어든다. 이하, 리페어 효율에 대해 설명하기로 한다.The second fuse set 400 includes a plurality of fuse blocks F_BLOCK1, F_BLOCK2, F_BLOCK3, F_BLOCK4, and F_BLOCK5 corresponding to each of the memory blocks BLOCK1, BLKOK2, BLKOK3, BLKOK4, and BLKOK5. Each of the fuse blocks F_BLOCK1, F_BLOCK2, F_BLOCK3, F_BLOCK4, and F_BLOCK5 has a plurality of repair fuses corresponding to each bit of the 'ADD_COL <2: 8>' address among the repair target column addresses ADD_COL <2: 9>. (F_ADD <2: 8>) and an enable fuse F_EN corresponding to the memory block. The second fuse set 400 shares a 'F_ADD <9>' fuse in which an 'ADD_COL <9>' address is programmed in the first fuse set 300. Here, the 'ADD_COL <9>' address is an address bit that can divide one quarter bank from left to right using a most significant bit (hereinafter, referred to as "MSB"). As can be seen in the figure, the number of fuses of the second fuse set 400 is reduced by 'N' than conventional. Hereinafter, the repair efficiency will be described.

도 4는 도 3 실시예의 리페어 효율을 설명하기 위하여, 리페어 대상 노멀셀이 발생할 수 있는 경우의 수를 가정한 도면이다. 설명의 편의를 위해 하나의 쿼터 뱅크의 16개 메모리 블록(BLOCK1, BLOCK2, BLOCK3, ... , BLOCK16) 중 5개의 메모리 블록(BLOCK1, BLOCK2, BLOCK3, BLOCK4, BLOCK5)만 도시 하였다.FIG. 4 is a diagram illustrating the number of cases where a repair target normal cell may occur in order to explain the repair efficiency of the embodiment of FIG. 3. For convenience of description, only five memory blocks BLOCK1, BLOCK2, BLOCK3, BLOCK4, and BLOCK5 of 16 memory blocks (BLOCK1, BLOCK2, BLOCK3, ..., BLOCK16) of one quarter bank are shown.

도 3과 도 4를 참조하면, 하나의 쿼터 뱅크는 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'로우'(low)인 영역과 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'하이'(high)인 영역으로 나눌 수 있다. 이것은 'ADD_COL<9>' 어드레스에 의한 하나의 쿼터 뱅크의 영역 구분을 의미하며, 'ADD_COL<9>' 어드레스가 아닌 다른 어드레스 비트를 이용하여 영역을 구분하는 것도 가능하다. 예컨대, 최하위 비트(Least Significant Bit : 이하, "LSB")를 이용하는 것도 가능하다.3 and 4, one quarter bank is an area in which the address 'ADD_COL <9>' is logical 'low' and an area in which the address 'ADD_COL <9>' is logical 'high'. Can be divided. This means division of one quarter bank by 'ADD_COL <9>' address, and it is also possible to distinguish areas by using address bits other than the 'ADD_COL <9>' address. For example, it is also possible to use the least significant bit (hereinafter, "LSB").

한편, 한 메모리 블록당 최대 4개의 리페어 대상 컬럼이 발생한다고 가정하하여 설명하기로 한다.On the other hand, it will be described on the assumption that up to four repair target columns per memory block occurs.

그 경우의 수를 살펴보면, 도 4의 제1 메모리 블록(BLOCK1)에서 볼 수 있듯이 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'로우'인 영역에서 4개의 리페어 대상 컬럼이 발생(Fail)하는 경우(a)와, 제2 메모리 블록(BLOCK2)에서 볼 수 있듯이 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'로우'인 영역에서 3개의 리페어 대상 컬럼이 발생하고 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'하인'인 영역에서 1개의 리페어 대상 컬럼이 발생하는 경우(b)와, 제3 메모리 블록(BLOCK3)에서 볼 수 있듯이 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'로우'인 영역에서 2개의 리페어 대상 컬럼이 발생하고 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'하인'인 영역에서 2개의 리페어 대상 컬럼이 발생하는 경우(c)와, 제4 메모리 블록(BLOCK4)에서 볼 수 있듯이 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'로우'인 영역에서 1개의 리페어 대상 컬럼이 발생하고 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'하인'인 영역에서 3개의 리페어 대상 컬럼이 발생하는 경우(d)와, 제5 메모리 블록(BLOCK5)에서 볼 수 있듯이 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'하이'인 영역에서 4개의 리페어 대상 컬럼이 발생하는 경우(e)가 있다.Referring to the number of cases, as shown in the first memory block BLOCK1 of FIG. 4, when four repair target columns fail in a region where the address 'ADD_COL <9>' is logical 'low' (a ), And as shown in the second memory block BLOCK2, three repair target columns are generated in the region where the address' ADD_COL <9> 'is logical' low, and the address' ADD_COL <9> 'is logical' low '. One repair target column occurs in the region (b), and as shown in the third memory block BLOCK3, two repair target columns occur in the region where the address' ADD_COL <9> 'is logical' low. When two repair target columns occur in an area where the address' ADD_COL <9> 'is logical' low '(c), and as shown in the fourth memory block BLOCK4, the' ADD_COL <9> 'address is logical' One repair target column occurs in the 'low' area and the 'ADD_COL <9>' address is logical 'low' When three repair target columns occur in the in-region (d), and as shown in the fifth memory block (BLOCK5), four repair target columns occur in the region where the address' ADD_COL <9> 'is logical' high. (E)

우선, (a), (b), (c), (d), 및 (e)경우 모두 4개의 결함 셀이 존재함으로, 제1 내지 제4 퓨즈셋(300, 400, 500, 600)의 제1 내지 제5 퓨즈 블록(F_BLOCK1, F_BLOCK2, F_BLOCK3, F_BLOCK4, F_BLOCK5)의 각 인에이블 퓨즈(F_EN)를 컷팅(cutting)하여, 해당 퓨즈에 프로그래밍된 컬럼 어드레스가 리페어 된 것임을 알려준다. 여기서, 컷팅은 하이 컷팅 방식으로, 논리'하이'인 비트에 해당하는 퓨즈를 컷팅하는 것을 가정한다.First, since all four defective cells exist in (a), (b), (c), (d), and (e), the first to fourth fusesets 300, 400, 500, and 600 may be formed. The enable fuses F_EN of the first through fifth fuse blocks F_BLOCK1, F_BLOCK2, F_BLOCK3, F_BLOCK4, and F_BLOCK5 are cut to indicate that a column address programmed in the fuse is repaired. Here, the cutting is a high cutting method, and it is assumed that the fuse corresponding to the bit that is the logic 'high' is cut.

(a)경우에 있어서, 도 3의 제1 퓨즈 블록(F_BLOCK1)에 4개의 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스가 프로그래밍된다. 즉, 제1 퓨즈셋(300)과, 제3 퓨즈셋(500), 및 제4 퓨즈셋(600)의 각각 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스가 각 비트에 대응하는 다수의 리페어 퓨즈(F_ADD<2:9>)에 프로그래밍 된다. 이때, 제1 퓨즈셋(300)의 'F_ADD<9>' 리페어 퓨즈는 컷팅 되지 않으며, 제2 퓨즈셋(400)은 제 1 퓨즈셋(300)의 'F_ADD<9>' 리페어 퓨즈를 공유하기 있기 때문에, 'F_ADD<2:8>' 리페어 퓨즈만 프로그래밍하여도 원하는 리페어 대상 컬럼 어드레스와 비교가 가능하다.In the case of (a), the column addresses of four repair target normal cells are programmed in the first fuse block F_BLOCK1 of FIG. 3. That is, the plurality of repair fuses F_ADD <2 in which the column addresses of the repair target normal cells of the first fuse set 300, the third fuse set 500, and the fourth fuse set 600 correspond to each bit, respectively. : 9>). In this case, the 'F_ADD <9>' repair fuse of the first fuse set 300 is not cut, and the second fuse set 400 shares the 'F_ADD <9>' repair fuse of the first fuse set 300. As a result, only the 'F_ADD <2: 8>' repair fuse can be programmed to compare with the desired repair target column address.

(b)경우에 있어서, 도 3의 제2 퓨즈 블록(F_BLOCK2)에 4개의 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스가 프로그래밍 된다. 즉, 제3 퓨즈셋(500) 또는 제4 퓨즈셋(600)중 어느 하나 - 도 3에는 제3 퓨즈셋(500)의 'F_ADD<9>' 리페어 퓨즈를 컷팅 함 - 를 이용하여 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'하이'인 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스를 프로그래밍하고, 나머지 퓨즈셋을 이용하여 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'로우'인 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스를 프로그래밍한다. 역시, 제1 퓨즈셋(300)의 'F_ADD<9>' 리페어 퓨즈는 컷팅되지 않으며, 제2 퓨즈셋(400)은 제1 퓨즈셋(300)과 'F_ADD<9>' 리페어 퓨즈를 공유하기 있기 때문에, 'F_ADD<2:8>' 리페어 퓨즈만 프로그래밍하여도 원하는 리페어 대상 컬럼 어드레스와 비교가 가능하다.In the case (b), the column addresses of four repair target normal cells are programmed in the second fuse block F_BLOCK2 of FIG. 3. That is, either one of the third fuse set 500 or the fourth fuse set 600-in FIG. 3, the 'F_ADD <9>' repair fuse of the third fuse set 500 is cut. 9> Program the column address of the repair target normal cell whose address is logical 'high' and program the column address of the repair target normal cell whose address is 'logic' low using the remaining fuse set. . Also, the 'F_ADD <9>' repair fuse of the first fuse set 300 is not cut, and the second fuse set 400 shares the 'F_ADD <9>' repair fuse with the first fuse set 300. As a result, only the 'F_ADD <2: 8>' repair fuse can be programmed to compare with the desired repair target column address.

(c)경우에 있어서, 도 3의 제3 퓨즈 블록(F_BLOCK3)에 4개의 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스가 프로그래밍 된다. 즉, 제1 퓨즈셋(300)의 'F_ADD<9>' 리페어 퓨즈를 컷팅하여, 제1 퓨즈셋(300)과 제2 퓨즈셋(400)에 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'하이'인 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스를 프로그래밍하고, 나머지 제3 퓨즈셋(500)과 제4 퓨즈셋(600)을 이용하여 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'로우'인 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스를 프로그래밍할 수 있으며, 다른 방법으로, 제3 퓨즈셋(500)과 제4 퓨즈셋(600)에 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'하 이'인 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스를 프로그래밍하고, 나머지 제1 퓨즈셋(300)과 제2 퓨즈셋(400)을 이용하여 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'로우'인 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스를 프로그래밍할 수 있다. 도 3에는 제1 퓨즈셋(300)의 'F_ADD<9>' 리페어 퓨즈를 컷팅하였다.In the case (c), the column addresses of four repair target normal cells are programmed in the third fuse block F_BLOCK3 of FIG. 3. That is, the 'F_ADD <9>' repair fuse of the first fuse set 300 is cut, and the 'ADD_COL <9>' address is logic 'high' in the first fuse set 300 and the second fuse set 400. The column address of the repair target normal cell is programmed, and the column of the repair target normal cell whose 'ADD_COL <9>' address is logical 'low' using the remaining third fuseset 500 and the fourth fuseset 600. The address may be programmed. Alternatively, the column address of the repair target normal cell having the 'ADD_COL <9>' address is logic 'high' may be programmed in the third and fourth fusesets 500 and 600. The column address of the repair target normal cell whose 'ADD_COL <9>' address is logic 'low' may be programmed using the remaining first fuse set 300 and the second fuse set 400. In FIG. 3, the repair fuse 'F_ADD <9>' of the first fuse set 300 is cut.

(d)의 경우에 있어서, 도 3의 제4 퓨즈 블록(F_BLOCK4)에 4개의 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스가 프로그래밍 된다. 즉, 제1 퓨즈셋(300)의 'F_ADD<9>' 리페어 퓨즈를 컷팅하여, 제1 퓨즈셋(300)과 제2 퓨즈셋(400)에 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'하이'인 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스를 프로그래밍할 수 있고, 나머지 제3 퓨즈셋(500)과 제4 퓨즈셋(600) 중 하나는 논리'하이'인 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스를 프로그래밍하고, 다른 하나의 퓨즈셋을 이용하여 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'로우'인 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스를 프로그래밍할 수 있다. 도 3에는 제3 퓨즈셋(500)에 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'하이'인 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스를 프로그래밍하기 위해 'F_ADD<9>' 리페어 퓨즈를 컷팅 하였다.In the case of (d), the column addresses of four repair target normal cells are programmed in the fourth fuse block F_BLOCK4 of FIG. 3. That is, the 'F_ADD <9>' repair fuse of the first fuse set 300 is cut, and the 'ADD_COL <9>' address is logic 'high' in the first fuse set 300 and the second fuse set 400. The column address of the repair target normal cell may be programmed, and one of the remaining third fuseset 500 and the fourth fuseset 600 may program the column address of the repair target normal cell having a logic 'high', and the other One fuse set may be used to program the column address of a repair target normal cell whose address is 'logic' low. In FIG. 3, a repair fuse 'F_ADD <9>' is cut in the third fuse set 500 to program a column address of a repair target normal cell having an 'ADD_COL <9>' address as logic 'high'.

(e)의 경우에 있어서, 도 3의 제5 퓨즈 블록(F_BLOCK5)에 4개의 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스가 프로그래밍 된다. 즉, 제1 퓨즈셋(300)의 'F_ADD<9>' 리페어 퓨즈를 컷팅하여, 제1 퓨즈셋(300)과 제2 퓨즈셋(400)에 'ADD_COL<9>' 어드레스가 논리'하이'인 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스를 프로그래밍할 수 있고, 나머지 제3 퓨즈셋(500)과 제4 퓨즈셋(600)을 이용하여 나머지 두개의 논리'하이'인 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스를 프로그래밍할 수 있다.In the case of (e), the column addresses of four repair target normal cells are programmed in the fifth fuse block F_BLOCK5 of FIG. 3. That is, the 'F_ADD <9>' repair fuse of the first fuse set 300 is cut, and the 'ADD_COL <9>' address is logic 'high' in the first fuse set 300 and the second fuse set 400. The column address of the repair target normal cell may be programmed, and the remaining two logic 'high' column addresses of the repair target normal cell are programmed by using the remaining third fuse set 500 and the fourth fuse set 600. can do.

바람직하게, 하나의 쿼터 뱅크(100)의 어느 한 메모리 블록을 최상위 비트에 의해 2개의 영역으로 구분하고, 한쪽 영역에 한 메모리 블록에서 발생할 수 있는 전체 결함 수의 ½이상의 결함이 발생하면 우선적으로 최상위 비트가 프로그래밍 되는 'F_ADD<9>' 리페어 퓨즈를 공유하고 있는 제1 및 제2 퓨즈셋(300, 400)을 이용하여 리페어할 수 있다. 그리고, 남은 결함에 대해 나머지 퓨즈셋(500, 600)을 이용하여 리페어가 가능하다. Preferably, any one memory block of one quarter bank 100 is divided into two regions by the most significant bit, and if one or more defects of the total number of defects that can occur in one memory block occur in one region, the highest priority is first. Repair may be performed using the first and second fuse sets 300 and 400 that share a 'F_ADD <9>' repair fuse in which a bit is programmed. The remaining defects may be repaired using the remaining fuse sets 500 and 600.

상술한 바와 같이, 제2 퓨즈셋(400)이 제1 퓨즈셋(300)의 16개 메모리 블록(BLOCK1, BLOCK2, ... , BLOCK16)에 대응하는 'F_ADD<9>' 리페어 퓨즈를 공유하기 때문에, 제2 퓨즈셋(400)에는 'F_ADD<9>' 리페어 퓨즈 없이도 종래와 동일한 리페어 효율을 얻을 수 있다. 또한, 제2 퓨즈셋(400)에서 없엘 수 있는 퓨즈의 면적(N)으로 인해 넷 다이를 증가시킬 수 있다. 즉, 제2 퓨즈셋(400)에는 16개의 메모리 블록(BLOCK1, BLOCK2, ... , BLOCK16)에 대응하는 'F_ADD<9>' 리페어 퓨즈를 줄일 수 있다. 그래서, 4개의 쿼터 뱅크에는 16(한 쿼터에서 줄어드는 퓨즈수)×4(쿼터 뱅크 수)인 64개의 퓨즈를 줄일 수 있으며, 예컨대, 8 뱅크의 DDR2 SDRAM의 경우 8(뱅크 수)×64인 512개의 퓨즈를 줄일 수 있다. 그리고, 본 실시예에서는 하나의 쿼터 뱅크를 16개메모리 블록(BLOCK1, BLOCK2, ... , BLOCK16)나눴지만, 그 이상 나누는 경우, 줄어 드는 퓨즈의 개수는 더 많아 질 수 있다. As described above, the second fuse set 400 shares the 'F_ADD <9>' repair fuse corresponding to the 16 memory blocks BLOCK1, BLOCK2,..., BLOCK16 of the first fuseset 300. Therefore, the same repair efficiency can be obtained in the second fuse set 400 without the 'F_ADD <9>' repair fuse. In addition, the net die may be increased due to the area N of the fuse that may be removed from the second fuse set 400. That is, the second fuse set 400 may reduce the 'F_ADD <9>' repair fuses corresponding to the 16 memory blocks BLOCK1, BLOCK2,..., And BLOCK16. Thus, four quarter banks can reduce 64 fuses, 16 (the number of fuses reduced in one quarter) x 4 (the number of quarter banks), for example, 512 with 8 (number of banks) x 64 for 8 banks of DDR2 SDRAM. Fuses can be reduced. In the present embodiment, one quarter bank is divided into sixteen memory blocks (BLOCK1, BLOCK2, ..., BLOCK16). However, when dividing more than that, the number of fuses can be increased.

또한, 본 발명의 실시예에서는 최대 4개의 리페어를 보장해 주면서 'Net Die'를 줄여주는 구성을 보였으나, 최대 3개의 리페어를 보장해 주기 위한 구성 - 그 경우 3개의 퓨즈셋과 그 중 하나의 퓨즈셋은 다른 퓨즈셋의 컬럼 어드레스의 일 정 비트에 대응하는 퓨즈를 공유해야 함 - 도 실시예와 실질적으로 동일한 퓨즈 개수를 줄이는 것이 가능하며, 이것은 본 발명에 속하는 기술분야에서 종사하는 자에게 적용이 가능하므로, 구체적인 설명은 생략하기로 한다.In addition, in the embodiment of the present invention has been shown to reduce the 'Net Die' while ensuring a maximum of four repairs, configuration for ensuring a maximum of three repairs-in that case three fusesets and one of the fuseset Should share a fuse corresponding to a certain bit of the column address of the other fuse set-it is possible to reduce the number of fuses substantially the same as the embodiment, which is applicable to those skilled in the art Therefore, detailed description will be omitted.

또한, 5개 이상의 리페어를 보장하기 위한 구성 - 그 경우 5개 이상의 퓨즈셋을 구비함 - 에서는 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스에 따라 영역을 구분하고, 다수의 퓨즈셋 중 적어도 하나 이상의 퓨즈셋이 다른 퓨즈셋의 컬럼 어드레스의 적어도 하나 이상의 비트에 대응하는 퓨즈를 공유함으로써, 종래와 동일한 리페어 효율을 보장하면서 퓨즈 개수를 줄일 수 있다.In addition, in the configuration for guaranteeing five or more repairs, in which case there are five or more fuse sets, the regions are divided according to the column address of the normal cell to be repaired, and at least one fuse set among the plurality of fuse sets is different. By sharing fuses corresponding to at least one or more bits of the column address of the fuse set, the number of fuses can be reduced while ensuring the same repair efficiency as in the prior art.

본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.Although the technical idea of the present invention has been described in detail according to the above preferred embodiment, it should be noted that the above-described embodiment is for the purpose of description and not of limitation. In addition, those skilled in the art will understand that various embodiments are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

예를 들면, 전술한 실시예에서는 컬럼 리페어의 경우를 일예로 들어 설명하였으나, 본 발명은 로우 리페어의 경우에도 적용할 수 있다.For example, in the above-described embodiment, the case of the column repair has been described as an example, but the present invention can be applied to the case of the low repair.

상술한 본 발명은 리페어 효율의 저하 없이 퓨즈 면적을 최소화함으로써 'Net Die'를 증가시킬 수 있고, 또한, 퓨즈 배치에 따른 회로 배치 및 배선의 제약을 줄일 수 있는 효과를 얻을 수 있다.The present invention described above can increase the 'Net Die' by minimizing the fuse area without deteriorating the repair efficiency, it is also possible to obtain the effect of reducing the circuit layout and wiring constraints according to the fuse arrangement.

Claims (12)

노멀 셀 어레이와 다수의 리던던시 컬럼을 포함하는 단위 메모리 셀 영역;A unit memory cell area including a normal cell array and a plurality of redundancy columns; 각 리던던시 컬럼에 대응하며, 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스를 프로그래밍하기 위한 다수의 퓨즈셋;A plurality of fuse sets corresponding to each redundancy column, for programming column addresses of a repair target normal cell; 인가된 컬럼 어드레스와 상기 다수의 퓨즈셋에 프로그램된 리페어 대상 노멀 셀의 컬럼 어드레스를 비교하여 해당 퓨즈셋에 대응하는 상기 리던던시 컬럼을 선택하기 위한 어드레싱 수단을 구비하며,And addressing means for selecting the redundancy column corresponding to the fuse set by comparing an applied column address with a column address of a repair target normal cell programmed in the plurality of fuse sets. 상기 다수의 퓨즈셋 중 적어도 하나의 퓨즈셋은 다른 퓨즈셋의 컬럼 어드레스의 일정 비트에 대응하는 퓨즈를 공유하는 반도체 메모리 소자.At least one fuse set among the plurality of fuse sets shares a fuse corresponding to a predetermined bit of a column address of another fuse set. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 다수의 퓨즈셋은,The plurality of fuse sets, 상기 컬럼 어드레스의 각 비트에 대응하는 다수의 퓨즈를 구비하는 제1 및 제2 퓨즈셋과,First and second fuse sets having a plurality of fuses corresponding to each bit of the column address; 상기 제1 퓨즈셋과 상기 일정 비트에 대응하는 퓨즈를 공유하는 제3 퓨즈셋A third fuse set sharing the fuse corresponding to the predetermined bit with the first fuse set 을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자.A semiconductor memory device comprising: a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 일정 비트는 최상위비트(most significant bit)인 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자.And said predetermined bit is a most significant bit. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 단위 메모리 셀 영역은 1/4 뱅크 영역이며, 상기 1/4 뱅크 영역은 로우 어드레스에 의해 구분되는 다수의 메모리 블록을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자.And the unit memory cell region is a quarter bank region, and the quarter bank region includes a plurality of memory blocks separated by row addresses. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 각 퓨즈셋은 상기 다수의 메모리 블록 각각에 대응하는 다수의 퓨즈 블록을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자.Each fuse set includes a plurality of fuse blocks corresponding to each of the plurality of memory blocks. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 다수의 퓨즈 블록 각각은,Each of the plurality of fuse blocks, 상기 컬럼 어드레스의 각 비트에 대응하는 상기 다수의 리페어 퓨즈와,The plurality of repair fuses corresponding to each bit of the column address; 상기 다수의 메모리 블록 각각에 대응하는 인에이블 퓨즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자.And an enable fuse corresponding to each of the plurality of memory blocks. 노멀 셀 어레이와 다수의 리던던시 로우을 포함하는 단위 메모리 셀 영역;A unit memory cell area including a normal cell array and a plurality of redundancy rows; 각 리던던시 로우에 대응하며, 리페어 대상 노멀 셀의 로우 어드레스를 프로그래밍하기 위한 다수의 퓨즈셋;A plurality of fusesets corresponding to each redundancy row and configured to program a row address of a repair target normal cell; 인가된 로우 어드레스와 상기 다수의 퓨즈셋에 프로그램된 리페어 대상 노멀 셀의 로우 어드레스를 비교하여 해당 퓨즈셋에 대응하는 상기 리던던시 로우를 선택하기 위한 어드레싱 수단을 구비하며,And addressing means for selecting the redundancy row corresponding to the fuse set by comparing an applied row address with a row address of a repair target normal cell programmed in the plurality of fuse sets. 상기 다수의 퓨즈셋 중 적어도 하나의 퓨즈셋은 다른 퓨즈셋의 로우 어드레스의 일정 비트에 대응하는 퓨즈를 공유하는 반도체 메모리 소자.And at least one of the plurality of fusesets shares a fuse corresponding to a predetermined bit of a row address of another fuseset. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 다수의 퓨즈셋은,The plurality of fuse sets, 상기 로우 어드레스의 각 비트에 대응하는 다수의 퓨즈를 구비하는 제1 및 제2 퓨즈셋과,First and second fuse sets having a plurality of fuses corresponding to each bit of the row address; 상기 제1 퓨즈셋과 상기 일정 비트에 대응하는 퓨즈를 공유하는 제3 퓨즈셋A third fuse set sharing the fuse corresponding to the predetermined bit with the first fuse set 을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자.A semiconductor memory device comprising: a. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 일정 비트는 최상위비트(most significant bit)인 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자.And said predetermined bit is a most significant bit. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 단위 메모리 셀 영역은 1/4 뱅크 영역이며, 상기 1/4 뱅크 영역은 컬럼 어드레스에 의해 구분되는 다수의 메모리 블록을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자.Wherein the unit memory cell region is a quarter bank region, and the quarter bank region includes a plurality of memory blocks separated by column addresses. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 각 퓨즈셋은 상기 다수의 메모리 블록 각각에 대응하는 다수의 퓨즈 블록을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자.Each fuse set includes a plurality of fuse blocks corresponding to each of the plurality of memory blocks. 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 다수의 퓨즈 블록 각각은,Each of the plurality of fuse blocks, 상기 로우 어드레스의 각 비트에 대응하는 상기 다수의 리페어 퓨즈와,The plurality of repair fuses corresponding to each bit of the row address; 상기 다수의 메모리 블록 각각에 대응하는 인에이블 퓨즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자.And an enable fuse corresponding to each of the plurality of memory blocks.
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CN102682836A (en) * 2011-03-11 2012-09-19 台湾积体电路制造股份有限公司 Providing row redundancy to solve vertical twin bit failures
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