KR20080062098A - Operation state display equipment of isolation gate valve in semiconductor manufacturing device - Google Patents

Operation state display equipment of isolation gate valve in semiconductor manufacturing device Download PDF

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KR20080062098A
KR20080062098A KR1020060137439A KR20060137439A KR20080062098A KR 20080062098 A KR20080062098 A KR 20080062098A KR 1020060137439 A KR1020060137439 A KR 1020060137439A KR 20060137439 A KR20060137439 A KR 20060137439A KR 20080062098 A KR20080062098 A KR 20080062098A
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문병훈
이성재
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삼성전자주식회사
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Abstract

An operation state display device of an isolation gate valve in a semiconductor manufacturing device is provided to prevent pollution caused by deposition byproducts by recognizing an open/close status of a valve accurately. An isolation gate valve(203) is installed on a vacuum pipe(202), and opens or closes a vacuum line. A driving controller(206) outputs the driving control signals to open and close the isolation gate valve, judges the status of the isolation gate valve accurately, and displays the duration time for open/close. A display unit(207) displays the duration time for open/close by the control signals of driving controller.

Description

반도체 제조설비의 아이솔레이션 게이트밸브 동작상태 표시장치{OPERATION STATE DISPLAY EQUIPMENT OF ISOLATION GATE VALVE IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE}Isolation gate valve operation status display device of semiconductor manufacturing equipment {OPERATION STATE DISPLAY EQUIPMENT OF ISOLATION GATE VALVE IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE}

도 1은 일반적인 반도체 제조설비의 구조도1 is a structural diagram of a general semiconductor manufacturing equipment

도 2는 도 1의종래의 아이솔레이션 게이트밸브(103)의 상세구성도2 is a detailed configuration diagram of the conventional isolation gate valve 103 of FIG.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조설비의 구조도3 is a structural diagram of a semiconductor manufacturing facility according to an embodiment of the present invention

도 4는 도 2의 아이솔레이션 게이트밸브(203)와 아이솔레이션 게이트밸구 구동제어부(206)의 상세구성도4 is a detailed configuration diagram of the isolation gate valve 203 and the isolation gate valve driving control unit 206 of FIG. 2.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *              Explanation of symbols on the main parts of the drawings

201: 공정챔버 202: 진공배관201: process chamber 202: vacuum piping

203: 아이솔레이션 게이트밸브 204: 드라이펌프203: isolation gate valve 204: dry pump

205: 배기배관 206: 아이솔레이션 게이트밸브 구동제어부 205: exhaust pipe 206: isolation gate valve drive control unit

207: 표시부207: display unit

본 발명은 반도체 제조설비의 아이솔레이션 게이트밸브 구동상태 표시장치에 관한 것으로, 특히 반도체 제조설비 등에서 아이솔레이션 밸브의 오토셧(Auto Shut)기능 수행 시 클로즈신호발생 시점부터 차단완료시점 까지의 동작시간을 표시하여 구동상태를 확인하는 아이솔레이션 게이트밸브 구동상태 표시장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device for displaying an isolation gate valve driving state of a semiconductor manufacturing facility, and in particular, to display an operation time from a closing signal generation time to a closing completion point when performing an auto shuttling function of an isolation valve in a semiconductor manufacturing facility. The present invention relates to an isolation gate valve driving state display device for checking driving states.

일반적으로 반도체 제조설비의 엔드스테이션 모듈(Endstation Module)에는 도어의 열림 또는 닫힘상태, 피봇(PIVOT)의 업/다운상태, 아이솔레이션 밸브 업다운 상태를 센싱하기 위해 광센서(Optic Sensor)가 설치되어 있다. 엔드스테이션 모듈의 광센서가 설치되는 부위는 피봇모터(PIVOT MOTOR), 리프트모터, 도어모터, 페러데이(FARADAY), 에어베어링(AIR BEARING) 등이 된다. 이러한 반도체 제조설비의 로드락챔버에는 피봇모터(PIVOT MOTOR), 리프트모터, 도어모터, 페러데이(FARADAY) 등이 설치되어 있고, 공정챔버에는 에어베어링이 설치되어 있다. 로드락챔버에는 피봇 업/다운상태, 리프트 업/다운 상태, 도어오픈/클로즈 상태, 패러데이 홈 포지션 상태를 센싱하기 위해 각각 노말 오픈 타입(NORMAL OPEN TYPE) 광센서가 사용된다. 그리고 공정챔버의 에어베어링에는 임플런트 스톱위치(IMPLANT STOP POSITION)를 센싱하기 위해 오픈 클로즈 타입 광세선서가 사용되며, 베어링 로드 위치와 임플런트 오버스캔 위치를 센싱하기 위해 노말 클로즈 타입(NORMAL CLOSE TYPE) 광센서가 각각 사용된다. In general, an end sensor module of a semiconductor manufacturing facility is provided with an optical sensor for sensing an open or closed state of a door, an up / down state of a pivot, and an isolation valve up-down state. The site where the optical sensor of the end station module is installed is a pivot motor, a lift motor, a door motor, a Faraday, and an air bearing. A PIVOT MOTOR, a lift motor, a door motor, a FARADAY, etc. are installed in the load lock chamber of the semiconductor manufacturing equipment, and an air bearing is installed in the process chamber. In the load lock chamber, a normal open type optical sensor is used to sense a pivot up / down state, a lift up / down state, a door open / close state, and a Faraday home position state. The air chamber of the process chamber uses an open-closed optical fiber line to sense the IMPLANT STOP POSITION, and the NORMAL CLOSE TYPE to sense the bearing rod position and the implant overscan position. Light sensors are used respectively.

그리고 반도체 웨이퍼 또는 액정기판 등의 처리장치에 있어서는, 웨이퍼 또 는 기판을 각종 처리실에 통로를 통하여 출입시키는 것이 실행되고 있으며, 상기 통로에는 각각 게이트 밸브가 설치되어 있다. 상기의 처리실에는 가능한 한 불순물이 혼입되지 않도록 할 필요가 있다.In a processing apparatus such as a semiconductor wafer or a liquid crystal substrate, passing a wafer or a substrate into and out of various processing chambers through passages is provided, and gate passages are provided in the passages, respectively. It is necessary to prevent impurities from mixing in the process chamber as much as possible.

또한, 상기 게이트 밸브로서는, 예를 들어, 일본국 공개특허공고 소 58-156781호 공보에 나타낸 것이 있다. 이와 같은 예에 있어서는, 밸브 데스크를 밸브 시트에 대하여 이간(離間)시킨 상태에서 상,하운동하고, 밸브 시트에 대향된 위치에서 밸브 데스크를 그의 측방으로부터 누름으로써 밸브 시트에 접하도록 하고 있다.Moreover, as said gate valve, what was shown by Unexamined-Japanese-Patent No. 58-156781 is mentioned, for example. In such an example, the valve desk is moved up and down in a state where the valve desk is separated from the valve seat, and the valve desk is brought into contact with the valve seat by pressing the valve desk from its side at a position opposite to the valve seat.

도 1은 일반적인 반도체 제조설비의 구조도이다.1 is a structural diagram of a general semiconductor manufacturing equipment.

공정을 진행하는 공정챔버(101)와, 상기 공정챔버(101)에 연결된 진공배관(102)과, 상기 진공배관(102) 상에 설치되어 진공라인을 개방하거나 차단하는 아이솔레이션 게이트밸브(103)와, 상기 진공배관(102)에 연결되어 진공상태로 형성하기 위해 펌핑하는 드라이펌프(104)와, 상기 드라이펌프(104)에 연결된 배기배관(105)으로 구성되어 있다.A process chamber 101 for performing a process, a vacuum pipe 102 connected to the process chamber 101, an isolation gate valve 103 installed on the vacuum pipe 102 to open or shut off a vacuum line; It is composed of a dry pump 104 connected to the vacuum pipe 102 and pumped to form a vacuum state, and an exhaust pipe 105 connected to the dry pump 104.

도 2는 도 1의종래의 아이솔레이션 게이트밸브(103)의 상세구성도이다.FIG. 2 is a detailed configuration diagram of the conventional isolation gate valve 103 of FIG. 1.

밸브본체(10)와, 상기 밸브본체(10)상에 형성된 개구부(12)와, 상기 개구부(12)를 개방시키거나 밀폐시키는 실링플레이트(Seal Plate)(14)와, 내부공간을 갖는 실린더(20)와, 상기 실린더(20) 내부에서 왕복운동을 하는 피스톤(18)과, 상기 실링플레이트(14)와 상기 피스톤(16) 사이에 연결되어 상기 피스톤(18)의 왕복운동에 따라 실링플레이트(14)를 유동시킬 수 있도록 연결된 피스톤로더(16)와, 상 기 피스톤(18)의 왕복운동에 따라 밸브의 닫힘상태를 감지하기 위한 제1 감지센서(22)와, 상기 피스톤(18)의 왕복운동에 따라 밸브의 열림상태를 감지하기 위한 제2 감지센서(24)와, 밸브구동 제어신호를 출력하고 상기 제1 및 제2 감지센서(22, 24)로부터 감지신호를 받아 밸브의 열림상태 혹은 닫힘상태를 판단하는 게이트밸브 제어부(26)로 구성되어 있다. A valve body 10, an opening 12 formed on the valve body 10, a sealing plate 14 for opening or closing the opening 12, and a cylinder having an inner space ( 20 and the piston 18 reciprocating in the cylinder 20 and the sealing plate 14 and the piston 16 is connected between the sealing plate ( 14 is connected to the piston loader 16 to flow, the first sensor 22 for detecting the closed state of the valve in accordance with the reciprocating movement of the piston 18, and the reciprocating of the piston 18 The second detection sensor 24 for detecting the open state of the valve according to the movement and the valve drive control signal is output and receives the detection signals from the first and second detection sensors 22 and 24, The gate valve control part 26 which judges the closed state is comprised.

공정챔버(101)에서는 공정을 진행한다. 이때 아이솔레이션 게이트밸브(103)는 개방되어 있다. 그리고 드라이펌프(104)는 상기 진공배관(102)에 연결되어 상기 공정챔버(101)가 진공상태로 형성하도록 펌핑한다. 그런데 드라이펌프(104)의 이상으로 인한 트립(Rrip) 발생 시 펌핑정지로 인한 진공배관(102)와 배기배관(105)의 압력역전으로 인한 백스트림으로 진공배관(102)과 공정챔버(101)가 오염이 발생된다. 이로인한 직접접인 웨이퍼 오염과 공정챔버(101)의 오염으로 인한 2차적 생산지연의 예방목적으로 드라이펌프(104)의 전단에 아이솔레이션 게이트밸브(103)를 동작시켜 진공배관(102)을 차단시킴으로서 드라이펌프(104)의 트립으로 인한 오염을 방지할 수 있다. In the process chamber 101, a process is performed. At this time, the isolation gate valve 103 is open. The dry pump 104 is connected to the vacuum pipe 102 to pump the process chamber 101 to form a vacuum state. However, when a trip occurs due to an abnormality of the dry pump 104, the vacuum pipe 102 and the process chamber 101 in the back stream due to the pressure reversal of the vacuum pipe 102 and the exhaust pipe 105 due to the pumping stop. Pollution occurs. By operating the isolation gate valve 103 in front of the dry pump 104 for the purpose of preventing secondary production delay due to the wafer contact and the contamination of the process chamber 101, the vacuum pipe 102 is cut off. Contamination due to tripping of the dry pump 104 can be prevented.

상기 아이솔레이션 게이트밸브(103)의 동작을 2를 참조하여 설명하면, 공정이 진행되면 게이트밸브 제어부(26)는 밸브오픈 구동제어신호를 출력하여 실린더(20)로 인가한다. 그러면 실린더(20)내의 피스톤(18)이 서서히 움직이면서 개구부(12)를 오픈시키고 피스톤(18)이 최대거리로 이동이 완료되면 제2감지센서(24)가 피스톤(18)이 최대로 이동되었음을 감지한다. 제2 감지센서(24)에서 피스톤(18)의 이동상태를 감지하면 게이트밸브 제어부(26)는 아이솔레이션 게이트밸브가 완전히 오픈된 것으로 인식한다. 이렇게 아이솔레이션 게이트밸브(103)가 완전히 오픈되고 공정을 진행하기 위해 드라이펌프(104)가 구동되어 공정챔버(10)를 진공상태가 유지되도록 한다. Referring to the operation of the isolation gate valve 103 with reference to 2, when the process proceeds, the gate valve control unit 26 outputs a valve open drive control signal and applies it to the cylinder 20. Then, when the piston 18 in the cylinder 20 moves slowly, the opening 12 is opened, and when the piston 18 moves to the maximum distance, the second sensor 24 detects that the piston 18 has moved to the maximum. do. When the second detection sensor 24 detects the movement of the piston 18, the gate valve controller 26 recognizes that the isolation gate valve is completely open. In this way, the isolation gate valve 103 is completely opened and the dry pump 104 is driven to proceed with the process so that the process chamber 10 is maintained in a vacuum state.

이와 같이 동작에 의해 공정을 진행하는 도중에 드라이펌프(104)가 고장이 발생되면 게이트밸브 제어부(26)는 외부로부터 오토셧업을 위한 조건신호를 받는다. 이때 게이트밸브 제어부(26)는 밸브클로즈 구동제어신호를 출력하여 실린더(20)로 인가한다. 그러면 실린더(20)내의 피스톤(18)이 서서히 움직이면서 개구부(12)를 클로즈시키고 피스톤(18)이 최소거리로 이동이 완료되면 제1감지센서(22)가 피스톤(18)이 최소로 이동되었음을 감지한다. 제1 감지센서(22)에서 피스톤(18)의 이동상태를 감지하면 게이트밸브 제어부(26)는 아이솔레이션 게이트밸브가 완전히 클로즈된 것으로 인식한다. As a result of the failure of the dry pump 104 during the process by the operation as described above, the gate valve controller 26 receives a condition signal for auto shutdown from the outside. At this time, the gate valve control unit 26 outputs a valve close driving control signal to the cylinder 20. Then, when the piston 18 in the cylinder 20 moves slowly to close the opening 12 and the piston 18 moves to the minimum distance, the first detection sensor 22 detects that the piston 18 has been moved to the minimum. do. When the first detection sensor 22 detects the movement state of the piston 18, the gate valve controller 26 recognizes that the isolation gate valve is completely closed.

상기와 같은 종래의 아이솔레이션 게이트밸브(103)의 구조는 오픈상태와 클로즈상태를 인식하는 제1 및 제2 감지센서(22, 24)가 아이솔레이션을 위한 실링 플레이트(14)의 위치를 인식하는 것이 아니라 동력을 전달하는 실린더(20)의 피스톤(18)의 위치를 감지하므로 동력을 전달하는 피스톤로더(16)의 오차범위나 제1 및 제2 감지센서(22, 24)의 오차범위내에서 실링플레이트(14)의 동작경로가 공정 간에 발생한 파우더나 증착 부산물로 인해 오염발생으로 인하여 피스톤(18)이 완전히 클로즈/오픈되지 않았음에도 불구하고 정상적으로 오픈/클로즈 상태로 인식하는 문제가 있었다. In the structure of the conventional isolation gate valve 103 as described above, the first and second detection sensors 22 and 24 that recognize the open state and the closed state do not recognize the position of the sealing plate 14 for isolation. Since the position of the piston 18 of the cylinder 20 for transmitting power is sensed, the sealing plate is within the error range of the piston loader 16 for transmitting power or the error range of the first and second detection sensors 22 and 24. The operation path of (14) was normally recognized as an open / closed state even though the piston 18 was not completely closed / opened due to contamination due to powder or deposition by-products generated between processes.

또한 피스톤로더(16)의 파손으로 실링플레이트(14)와 피스톤(18)이 서로 분 리될 경우 실세 실링플레이트(14)의 오픈/클로즈 상태와 피스톤(18)의 위치가 서로 상이하여 오픈/클로즈 상태의 오인식으로 인한 공정사고 이어질 수 있는 문제가 있었다.In addition, when the sealing plate 14 and the piston 18 are separated from each other due to damage of the piston loader 16, the open / closed state of the actual sealing plate 14 and the position of the piston 18 are different from each other. There was a problem that could lead to a fair accident due to misunderstanding.

따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 피스톤로더의 파손으로 실링플레이트와 피스톤이 서로 분리될 경우 실링플레이트의 오픈/클로즈 상태를 정확하게 인식하여 오동작으로 인한 공정사고를 예방할 수 있는 아이솔레이션 게이트밸브 구동상태 표시장치를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to isolate the sealing plate and the piston from each other due to breakage of the piston loader in order to solve the above problems, by accurately recognizing the open / closed state of the sealing plate to prevent a process accident due to malfunction. Provided is a valve driving state display device.

본 발명의 다른 목적은 실링플레이트의 동작경로가 공정 간에 파우더나 증착 부산물로 인해 오염발생으로 인하여 로더의 오차범위나 피스톤의 위치를 감지하는 센서의 오차범위 내에서 실제 피스톤이 정상적으로 오픈/클로즈되지 않았음에도 정상적으로 오픈/클로즈되는 오동작을 방지할 수 있는 아이솔레이션 게이트밸브 구동상태 표시장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is that the actual path of the sealing plate does not normally open / closed within the error range of the sensor to detect the error range of the loader or the position of the piston due to the contamination caused by powder or deposition byproducts between the sealing plate The present invention provides an isolation gate valve driving state display device that can prevent malfunctions that normally open / close normally.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 양태에 따른 반도체 제조설비의 아이솔레이션 게이트밸브 구동상태 표시장치는, 진공배관 상에 설치되어 진공라인을 개방하거나 차단하는 아이솔레이션 게이트밸브와, 밸브 오픈/ 클로즈 구동 제어신호를 출력하고 상기 아이솔레이션 게이트밸브의 오픈/클로즈 상태를 정확하게 판단하고 오픈/클로즈되는 소요시간을 표시하도록 제어하는 아이솔레이션 게이트밸브 구동제어부와, 상기 아이솔레이션 게이트 밸브 구동제어부의 제어신호에 의해 오픈/클로즈되는 소요시간을 표시하는 표시부를 포함함을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, an isolation gate valve driving state display apparatus of a semiconductor manufacturing facility according to an embodiment of the present invention includes an isolation gate valve installed on a vacuum pipe to open or close a vacuum line, and a valve open / close drive. An isolation gate valve driving control unit for outputting a control signal and accurately determining the open / close state of the isolation gate valve and displaying the required time for opening / closing, and the open / closed control signal of the isolation gate valve driving control unit. Characterized in that it comprises a display unit for displaying the time required.

상기 아이솔레이션 게이트밸브는, 밸브본체와, 상기 밸브본체상에 형성된 개구부와, 상기 개구부를 개방시키거나 밀폐시키는 실링플레이트와, 내부공간을 갖는 실린더와, 상기 실린더 내부에서 왕복운동을 하는 피스톤과, 상기 실링플레이트와 상기 피스톤 사이에 연결되어 상기 피스톤의 왕복운동에 따라 실링플레이트를 유동시킬 수 있도록 연결된 피스톤로더와, 상기 피스톤의 왕복운동에 따라 밸브의 닫힘상태를 감지하기 위한 제1 감지센서와, 상기 피스톤의 왕복운동에 따라 밸브의 열림상태를 감지하기 위한 제2 감지센서와, 밸브의 오픈/클로즈 상태를 정확하게 감지할 수 있도록 상기 실링플레이트의 위치를 감지하는 제3 내지 제5감지센서를 포함함을 특징으로 한다.The isolation gate valve may include a valve body, an opening formed on the valve body, a sealing plate for opening or closing the opening, a cylinder having an inner space, a piston reciprocating in the cylinder, and A piston loader connected between a sealing plate and the piston so as to flow the sealing plate according to the reciprocating motion of the piston, a first detection sensor for detecting a closed state of the valve according to the reciprocating motion of the piston, A second detection sensor for detecting the open state of the valve in accordance with the reciprocating motion of the piston, and the third to fifth sensing sensors for detecting the position of the sealing plate to accurately detect the open / closed state of the valve It is characterized by.

상기 아이솔레이션 게이트밸브 구동제어부는, 상기 아이솔레이션 게이트밸브의 오픈/클로즈 구동제어신호를 발생한 후 상기 오픈/클로즈가 소요시간을 표시하도록 제어하는 메인제어부와, 외부로부터 밸브클로즈신호나 오토셧업을 위한 조건신호밸브 오픈/ 클로즈 구동 제어신호를 받아 상기 메인제어부로 인가하는 외부입력제어부와, 상기 제1 내지 제5 감지센서의 감지신호를 받아 상기 메인제어부로 전달하는 포지션센서 제어부와, 상기 메인제어부의 오픈/클로즈 구동제어신호를 받아 상기 실린더를 구동하도록 제어하는 실린더 구동제어부를 포함함을 특징으로 한다.The isolation gate valve driving control unit may include a main control unit which controls the open / close operation to display a required time after generating the open / close drive control signal of the isolation gate valve, and a condition signal for a valve close signal or auto shutdown from the outside. An external input controller for receiving a valve open / close drive control signal and applying the signal to the main controller, a position sensor controller for receiving detection signals of the first to fifth sensing sensors and transmitting the detected signals to the main controller, and opening / opening of the main controller. And a cylinder drive control unit configured to receive the close drive control signal to drive the cylinder.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시 양태에 따른 반도체 제조설 비의 아이솔레이션 게이트밸브 구동상태 표시장치는, 밸브본체와, 상기 밸브본체상에 형성된 개구부와, 상기 개구부를 개방시키거나 밀폐시키는 실링플레이트와, 내부공간을 갖는 실린더와, 상기 실린더 내부에서 왕복운동을 하는 피스톤과, 상기 실링플레이트와 상기 피스톤 사이에 연결되어 상기 피스톤의 왕복운동에 따라 실링플레이트를 유동시킬 수 있도록 연결된 피스톤로더와, 상기 피스톤의 왕복운동에 따라 밸브의 닫힘상태를 감지하기 위한 제1 감지센서와, 상기 피스톤의 왕복운동에 따라 밸브의 열림상태를 감지하기 위한 제2 감지센서와, 밸브의 오픈/클로즈 상태를 정확하게 감지할 수 있도록 상기 실링플레이트의 위치를 감지하는 제3 내지 제5감지센서와, 밸브 오픈/ 클로즈 구동 제어신호를 출력하고 상기 아이솔레이션 게이트밸브의 오픈/클로즈 상태를 정확하게 판단하고 오픈/클로즈되는 소요시간을 표시하도록 제어하고, 상기 제3 내지 제5 감지센서의 감지신호에 의해 밸브의 오픈/클로즈상태를 정확하게 인식하는 아이솔레이션 게이트밸브 구동제어부와, 상기 아이솔레이션 게이트 밸브 구동제어부의 제어신호에 의해 오픈/클로즈되는 소요시간을 표시하는 표시부를 포함함을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided an isolation gate valve driving state display apparatus according to another embodiment of the present invention, which includes a valve body, an opening formed on the valve body, and a seal for opening or closing the opening. A piston having a plate, a cylinder having an inner space, a piston reciprocating in the cylinder, and a piston loader connected between the sealing plate and the piston to flow the sealing plate according to the reciprocating motion of the piston; The first detection sensor for detecting the closed state of the valve in accordance with the reciprocating motion of the piston, the second detection sensor for detecting the open state of the valve in accordance with the reciprocating motion of the piston, and the open / closed state of the valve accurately Third and fifth detection sensors for detecting the position of the sealing plate to detect, and the val Output the open / close drive control signal, control to accurately determine the open / closed state of the isolation gate valve, and display the required time to open / close, and open the valve by the detection signal of the third to fifth sensing sensors. And a display unit for displaying the required time of opening / closing by the control signal of the isolation gate valve driving control unit for accurately recognizing the closing state.

상기 아이솔레이션 게이트밸브 구동제어부는, 상기 아이솔레이션 게이트밸브의 오픈/클로즈 구동제어신호를 발생한 후 상기 오픈/클로즈가 소요시간을 표시하도록 제어하는 메인제어부와, 외부로부터 밸브클로즈신호나 오토셧업을 위한 조건신호밸브 오픈/ 클로즈 구동 제어신호를 받아 상기 메인제어부로 인가하는 외부입력제어부와, 상기 제1 내지 제5 감지센서의 감지신호를 받아 상기 메인제어부로 전달하는 포지션센서 제어부와, 상기 메인제어부의 오픈/클로즈 구동제어신호를 받아 상기 실린더를 구동하도록 제어하는 실린더 구동제어부를 포함함을 특징으로 한다. The isolation gate valve driving control unit may include a main control unit which controls the open / close operation to display a required time after generating the open / close drive control signal of the isolation gate valve, and a condition signal for a valve close signal or auto shutdown from the outside. An external input controller for receiving a valve open / close drive control signal and applying the signal to the main controller, a position sensor controller for receiving detection signals of the first to fifth sensing sensors and transmitting the detected signals to the main controller, and opening / opening of the main controller. And a cylinder drive control unit configured to receive the close drive control signal to drive the cylinder.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조설비의 구조도이다.3 is a structural diagram of a semiconductor manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

공정을 진행하는 공정챔버(201)와, 상기 공정챔버(201)에 연결된 진공배관(202)과, 상기 진공배관(202) 상에 설치되어 진공라인을 개방하거나 차단하는 아이솔레이션 게이트밸브(203)와, 상기 진공배관(202)에 연결되어 진공상태로 형성하기 위해 펌핑하는 드라이펌프(204)와, 상기 드라이펌프(204)에 연결된 배기배관(205)과, 밸브 오픈/ 클로즈 구동 제어신호를 출력하고 상기 아이솔레이션 게이트밸브(203)의 오픈/클로즈 상태를 정확하게 판단하고 오픈/클로즈되는 소요시간을 표시하도록 제어하는 아이솔레이션 게이트밸브 구동제어부(206)와, 상기 아이솔레이션 게이트 밸브 구동제어부(206)의 제어신호에 의해 오픈/클로즈되는 소요시간을 표시하는 표시부(207)로 구성되어 있다.A process chamber 201 for performing a process, a vacuum pipe 202 connected to the process chamber 201, an isolation gate valve 203 installed on the vacuum pipe 202 to open or shut off a vacuum line; A dry pump 204 connected to the vacuum pipe 202 and pumped to form a vacuum state, an exhaust pipe 205 connected to the dry pump 204, and a valve open / close drive control signal; Isolation gate valve driving control unit 206 and the control signal of the isolation gate valve driving control unit 206 to control to accurately determine the open / closed state of the isolation gate valve 203 and to display the time required to open / closed. And a display unit 207 for displaying the time required for opening / closing.

도 4는 도 2의 아이솔레이션 게이트밸브(203)와 아이솔레이션 게이트밸구 구동제어부(206)의 상세구성도이다.4 is a detailed configuration diagram of the isolation gate valve 203 and the isolation gate valve driving control unit 206 of FIG. 2.

밸브본체(301)와, 상기 밸브본체(301)상에 형성된 개구부(302)와, 상기 개구부(302)를 개방시키거나 밀폐시키는 실링플레이트(Seal Plate)(303)와, 내부공간을 갖는 실린더(304)와, 상기 실린더(304) 내부에서 왕복운동을 하는 피스톤(306)과, 상기 실링플레이트(303)와 상기 피스톤(306) 사이에 연결되어 상기 피스톤(306)의 왕복운동에 따라 실링플레이트(303)를 유동시킬 수 있도록 연결된 피스톤로더(305)와, 상기 피스톤(306)의 왕복운동에 따라 밸브의 닫힘상태를 감지하기 위한 제1 감지센서(308)와, 상기 피스톤(306)의 왕복운동에 따라 밸브의 열림상태를 감지하기 위한 제2 감지센서(310)와, 밸브의 오픈/클로즈 상태를 정확하게 감지할 수 있도록 상기 실링플레이트(303)의 위치를 감지하는 제3 내지 제5감지센서(312, 314, 316)와, 밸브 오픈/ 클로즈 구동 제어신호를 출력하고 상기 아이솔레이션 게이트밸브(203)의 오픈/클로즈 상태를 정확하게 판단하고 오픈/클로즈되는 소요시간을 표시하도록 제어하고, 상기 제3 내지 제5 감지센서(312, 314, 316)의 감지신호에 의해 밸브의 오픈/클로즈상태를 정확하게 인식하는 아이솔레이션 게이트밸브 구동제어부(206)와, 상기 아이솔레이션 게이트 밸브 구동제어부(206)의 제어신호에 의해 오픈/클로즈되는 소요시간을 표시하는 표시부(207)로 구성되어 있다.A valve body 301, an opening 302 formed on the valve body 301, a sealing plate 303 for opening or closing the opening 302, and a cylinder having an inner space ( 304, a piston 306 reciprocating inside the cylinder 304, and a sealing plate 303 connected between the sealing plate 303 and the piston 306 to seal the plate according to the reciprocating motion of the piston 306. Piston loader 305 connected to flow 303, the first sensor 308 for detecting the closed state of the valve in accordance with the reciprocating motion of the piston 306, and the reciprocating motion of the piston 306 According to the second detection sensor 310 for detecting the open state of the valve, and the third to fifth detection sensors for detecting the position of the sealing plate 303 to accurately detect the open / closed state of the valve ( 312, 314, 316 and valve open / close drive control signals Accurately determine the open / closed state of the isolation gate valve 203 and display the required time to be opened / closed, and by detecting signals of the third to fifth sensing sensors 312, 314, and 316. An isolation gate valve drive control unit 206 for accurately recognizing the open / closed state and a display unit 207 for displaying the required time of opening / closing by the control signal of the isolation gate valve drive control unit 206.

아이솔레이션 게이트밸브 구동제어부(206)는 상기 아이솔레이션 게이트밸브(203)의 오픈/클로즈 구동제어신호를 발생한 후 상기 오픈/클로즈가 소요시간을 표시하도록 제어하는 메인제어부(210)와, 외부로부터 밸브클로즈신호(218)나 오토셧업을 위한 조건신호(220)밸브 오픈/ 클로즈 구동 제어신호를 받아 상기 메인제어부(210)로 인가하는 외부입력제어부(214)와, 상기 제1 내지 제5 감지센서(308, 310, 312, 314, 316)의 감지신호를 받아 상기 메인제어부(210)로 전달하는 포지션센서 제어부(212)와, 상기 메인제어부(210)의 오픈/클로즈 구동제어신호를 받아 상기 실린더(304)를 구동하도록 제어하는 실린더 구동제어부(216)로 구성되어 있다. The isolation gate valve driving control unit 206 is a main control unit 210 for controlling the open / close to display the required time after generating the open / close drive control signal of the isolation gate valve 203, and a valve close signal from the outside. 218 or an external input control unit 214 for receiving the condition signal 220 for the automatic shutdown and applying the valve open / close drive control signal to the main control unit 210, and the first to fifth detection sensors 308, Position sensor control unit 212 receives the detection signals of the 310, 312, 314, 316 and transmits to the main control unit 210, and receives the open / close drive control signal of the main control unit 210 and the cylinder 304 It consists of a cylinder drive control unit 216 for controlling to drive.

상술한 도 3 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시 예의 동작을 상세히 설명한다.3 to 4 will be described in detail the operation of the preferred embodiment of the present invention.

공정챔버(201)에서는 공정을 진행한다. 이때 아이솔레이션 게이트밸브(203)는 개방되어 있다. 그리고 드라이펌프(204)는 상기 진공배관(202)에 연결되어 상기 공정챔버(201)가 진공상태로 형성하도록 펌핑한다. 그런데 드라이펌프(204)의 이상으로 인한 트립(Rrip) 발생 시 펌핑정지로 인한 진공배관(202)와 배기배관(205)의 압력역전으로 인한 백스트림으로 진공배관(202)과 공정챔버(201)가 오염이 발생된다. 이로인한 직접접인 웨이퍼 오염과 공정챔버(201)의 오염으로 인한 2차적 생산지연의 예방목적으로 드라이펌프(204)의 전단에 아이솔레이션 게이트밸브(203)를 동작시켜 진공배관(202)을 차단시킴으로서 드라이펌프(204)의 트립으로 인한 오염을 방지할 수 있다. 아이솔레이션 게이트밸브 구동제어부(206)는 밸브 오픈/클로즈 구동 제어신호를 출력하고 상기 아이솔레이션 게이트밸브(203)의 오픈/클로즈 상태를 정확하게 판단하고 오픈/클로즈되는 소요시간을 표시하도록 제어한다. 표시부(207)는 아이솔레이션 게이트밸브 구동제어부(206)의 제어에 의해 오픈/클로즈되는 시간을 표시한다.The process chamber 201 proceeds with the process. At this time, the isolation gate valve 203 is open. And the dry pump 204 is connected to the vacuum pipe 202 to pump the process chamber 201 to form a vacuum. However, when a trip occurs due to an abnormality of the dry pump 204, the vacuum pipe 202 and the process chamber 201 are backstream due to the pressure reversal of the vacuum pipe 202 and the exhaust pipe 205 due to the pumping stop. Pollution occurs. By operating the isolation gate valve 203 at the front end of the dry pump 204 for the purpose of preventing secondary production delay due to direct contact wafer contamination and contamination of the process chamber 201, the vacuum pipe 202 is cut off. Contamination due to tripping of the dry pump 204 can be prevented. The isolation gate valve driving control unit 206 outputs a valve open / close driving control signal, and accurately controls the open / close state of the isolation gate valve 203 and controls the open / closed time to be displayed. The display unit 207 displays the time of opening / closing under the control of the isolation gate valve driving control unit 206.

상기 아이솔레이션 게이트밸브(203)의 동작을 4를 참조하여 설명하면, 공정이 진행되면 아이솔레이션 게이트밸브 제어부(206)는 밸브오픈 구동제어신호를 출력하고, 그 신호는 실린더 구동제어부(216)로 인가된다. 상기 실린더 구동제어부(216)는 실린더(304)를 구동시켜 실링플레이트(303)가 개구부(302)를 오픈시키도 록 제어한다. 그러면 실린더(304)내의 피스톤(306)이 서서히 움직이면서 개구부(302)를 오픈시키고 피스톤(306)이 최대거리로 이동이 완료되면 제2감지센서(310)가 피스톤(306)이 최대로 이동되었음을 감지한다. 제2 감지센서(310)에서 피스톤(306)의 이동상태를 감지하면 포지션센서 제어부(212)는 피스톤(306)의 이동이 완료되었음을 메인제어부(210)로 전달한다. 그런 후 포지션센서 제어부(212)는 제3 내지 제5 감지센서(312, 314, 316)에 의해 실링플레이트(303)가 개구부(302)로부터 분리되었는지를 판단하여 메인제어부(210)로 전달한다. 피스톤(306)이 메인제어부(210)는 제2 감지센서(216)로부터 피스톤(306)의 이동완료신호가 감지된 후 제3 내지 제5 감지센서(312, 314, 316)로부터 실링플레이트(303)와 개구부(302)의 분리감지신호가 인가되면 밸브가 완전히 오픈된 것으로 인식한다. 이렇게 아이솔레이션 게이트밸브(203)가 완전히 오픈되고 공정을 진행하기 위해 드라이펌프(204)가 구동되어 공정챔버(201)를 진공상태가 유지되도록 한다. Referring to the operation of the isolation gate valve 203 with reference to 4, the isolation gate valve control unit 206 outputs a valve open drive control signal when the process proceeds, the signal is applied to the cylinder drive control unit 216. . The cylinder drive control unit 216 drives the cylinder 304 to control the sealing plate 303 to open the opening 302. Then, when the piston 306 in the cylinder 304 moves slowly to open the opening 302 and the piston 306 is moved to the maximum distance, the second detection sensor 310 detects that the piston 306 is moved to the maximum. do. When the second detection sensor 310 detects the movement of the piston 306, the position sensor controller 212 transmits the movement of the piston 306 to the main controller 210. Thereafter, the position sensor controller 212 determines whether the sealing plate 303 is separated from the opening 302 by the third to fifth sensing sensors 312, 314, and 316, and transmits the sealing plate 303 to the main controller 210. The piston 306 of the main control unit 210 is a sealing plate 303 from the third to fifth sensing sensors 312, 314, 316 after the movement completion signal of the piston 306 is detected from the second sensing sensor 216. ) And the separation detection signal of the opening 302 is recognized that the valve is completely open. In this way, the isolation gate valve 203 is completely opened and the dry pump 204 is driven to proceed with the process so that the process chamber 201 is maintained in a vacuum state.

한편 메인제어부(210)는 밸브오픈 구동제어신호를 출력 시점부터 포지션센서 제어부(212)를 통해 입력되는 밸브오픈완료신호 접수시점까지 시간의 카운팅하여 실시간으로 표시부(207)에 밸브오픈시간을 표시한다.Meanwhile, the main controller 210 counts the time from the time of outputting the valve open driving control signal to the time of receiving the valve open completion signal input through the position sensor controller 212 and displays the valve open time on the display unit 207 in real time. .

이와 같이 동작에 의해 공정을 진행하는 도중에 드라이펌프(204)가 고장이 발생되면 메인 제어부(210)는 외부로부터 외부입력 제어부(214)를 통해 오토셧업을 위한 조건신호를 입력받는다. 이때 메인제어부(210)는 밸브클로즈 구동제어신호를 실린더 구동제어부(216)로 출력하면 실린더 구동제어부(216)는 실린더(304)를 구동시킨다. 그러면 실린더(304)내의 피스톤(306)이 서서히 움직이면서 개구부(302)를 클로즈시키고 피스톤(306)이 최소거리로 이동이 완료되면 제1감지센서(308)가 피스톤(306)이 최소로 이동되었음을 감지한다. 제1 감지센서(304)에서 피스톤(306)의 이동상태를 감지하면 포지션센서 제어부(212)는 이 감지신호를 메인제어부(210)로 인가한다. 또한 실린더(304)의 피스톤(306)이 이동하면서 실링플레이트(303)가 개구부(302)를 클로즈시키면서 제3 내지 제5 감지센서(312, 314, 316)에 의해 클로즈상태가 감지될 시 포지션센서 제어부(212)는 실링플레이트(303)의 클로즈감지신호를 메인제어부(210)로 전달한다. 그러면 메인제어부(210)는 실링플레이트(303)가 개구부(302)를 완전히 밀폐시킨 것으로 판단한다. When a failure occurs in the dry pump 204 during the process by the operation as described above, the main controller 210 receives a condition signal for auto shutdown through the external input controller 214 from the outside. In this case, when the main controller 210 outputs the valve close drive control signal to the cylinder drive controller 216, the cylinder drive controller 216 drives the cylinder 304. Then, when the piston 306 in the cylinder 304 moves slowly to close the opening 302 and the piston 306 is moved to the minimum distance, the first detection sensor 308 detects that the piston 306 has been moved to the minimum. do. When the first detection sensor 304 detects the movement state of the piston 306, the position sensor control unit 212 applies the detection signal to the main control unit 210. In addition, the position sensor when the closing state is detected by the third to fifth detection sensors 312, 314, and 316 while the sealing plate 303 closes the opening 302 while the piston 306 of the cylinder 304 moves. The controller 212 transmits the close detection signal of the sealing plate 303 to the main controller 210. Then, the main controller 210 determines that the sealing plate 303 completely seals the opening 302.

또한 메인제어부(210)는 밸브클로즈 구동제어신호를 출력 시점부터 포지션센서 제어부(212)를 통해 입력되는 밸브클로즈완료신호 접수시점까지 시간의 카운팅하여 실시간으로 표시부(207)에 밸브클로즈시간을 표시한다.In addition, the main controller 210 counts the time from the time of outputting the valve close driving control signal to the time of receiving the valve close signal received through the position sensor controller 212 and displays the valve closing time on the display unit 207 in real time. .

그러나 메인제어부(210)는 상기 제1 감지센서(308)에 의해 피스톤(306)이 밸브클로즈 상태로 감지하는 위치로 이동이 완료되었음에도 상기 제3 내지 제5 감지센서(312, 314, 316)에 의해 실링플레이트(303)의 클로즈상태가 검출되지 않으면 오동작이 발생된 것으로 판단하여 경보를 발생한다. However, the main controller 210 is connected to the third to fifth sensing sensors 312, 314, and 316 even though movement to the position where the piston 306 detects the valve closed state is completed by the first sensing sensor 308. If the closing state of the sealing plate 303 is not detected by this, it is determined that a malfunction has occurred and an alarm is generated.

여기서 피스톤(306)의 최대 이동거리는 제2 감지센서(310)가 위치한 밸브오픈완료 위치를 나타내고, 피스톤(306)의 최소 이동거리는 제1 감지센서(308)가 위치한 밸브클로즈완료 위치를 나타낸다. Here, the maximum movement distance of the piston 306 indicates the valve open completion position where the second detection sensor 310 is located, and the minimum movement distance of the piston 306 indicates the valve closing completion position where the first detection sensor 308 is located.

상술한 바와 같이 본 발명은 실링플레이트의 오픈/클로즈 상태를 감지하기 위한 센서를 구비하여 피스톤로더의 파손으로 인해 실링플레이트와 피스톤이 서로 분리되더라도 밸브의 오픈/클로즈 상태를 정확하게 인식할 수 있도록 하여 오동작으로 파우더나 증착부산물로 인한 오염발생의 공정사고를 예방할 수 있고, 밸브 오픈/클로즈 구동제어신호의 발생시점부터 밸브의 오픈/클로즈 종료시점까지의 소요시간을 실시간으로 표시하여 아이솔레이션 게이트밸브의 오동작상태를 인지하여 진공배관이나 공정챔버의 오염을 방지할 수 있는 이점이 있다. As described above, the present invention includes a sensor for detecting an open / closed state of the sealing plate so that the open / closed state of the valve may be correctly recognized even if the sealing plate and the piston are separated from each other due to damage of the piston loader. This prevents process accidents caused by powder or deposition by-products, and displays the time required from the time of valve open / close drive control signal to the time of valve open / close in real time, resulting in malfunction of the isolation gate valve. Recognizing that there is an advantage to prevent contamination of the vacuum pipe or the process chamber.

또한 실링플레이트의 동작경로가 공정 간에 파우더나 증착 부산물의 오염발생으로 인하여 로더의 오차범위나 피스톤의 위치를 감지하는 센서의 오차범위 내에서 실제 피스톤이 정상적으로 오픈/클로즈되지 않았음에도 정상적으로 오픈/클로즈되는 오동작을 방지할 수 있다.In addition, the operating path of the sealing plate is normally opened / closed even though the actual piston is not normally opened / closed within the error range of the sensor detecting the position of the loader or the piston due to contamination of powder or deposition by-products between processes. Malfunction can be prevented.

Claims (5)

반도체 제조설비의 아이솔레이션 게이트밸브 구동상태 표시장치에 있어서,An isolation gate valve driving state display apparatus of a semiconductor manufacturing facility, 진공배관 상에 설치되어 진공라인을 개방하거나 차단하는 아이솔레이션 게이트밸브와, An isolation gate valve installed on the vacuum pipe to open or shut off the vacuum line; 밸브 오픈/ 클로즈 구동 제어신호를 출력하고 상기 아이솔레이션 게이트밸브의 오픈/클로즈 상태를 정확하게 판단하고 오픈/클로즈되는 소요시간을 표시하도록 제어하는 아이솔레이션 게이트밸브 구동제어부와,An isolation gate valve drive control unit for outputting a valve open / close drive control signal to accurately determine the open / closed state of the isolation gate valve and to display the required time to be opened / closed; 상기 아이솔레이션 게이트 밸브 구동제어부의 제어신호에 의해 오픈/클로즈되는 소요시간을 표시하는 표시부를 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 아이솔레이션 게이트밸브 구동상태 표시장치.And a display unit for displaying the required time of opening / closing by the control signal of the isolation gate valve driving control unit. 제1항에 있어서, 상기 아이솔레이션 게이트밸브는,The method of claim 1, wherein the isolation gate valve, 밸브본체와, The valve body, 상기 밸브본체상에 형성된 개구부와, An opening formed on the valve body; 상기 개구부를 개방시키거나 밀폐시키는 실링플레이트와, A sealing plate for opening or closing the opening; 내부공간을 갖는 실린더와, A cylinder having an inner space, 상기 실린더 내부에서 왕복운동을 하는 피스톤과, A piston reciprocating in the cylinder, 상기 실링플레이트와 상기 피스톤 사이에 연결되어 상기 피스톤의 왕복운동 에 따라 실링플레이트를 유동시킬 수 있도록 연결된 피스톤로더와, A piston loader connected between the sealing plate and the piston so as to flow the sealing plate according to the reciprocating motion of the piston; 상기 피스톤의 왕복운동에 따라 밸브의 닫힘상태를 감지하기 위한 제1 감지센서와, A first detection sensor for detecting a closed state of the valve according to the reciprocating motion of the piston, 상기 피스톤의 왕복운동에 따라 밸브의 열림상태를 감지하기 위한 제2 감지센서와, A second detection sensor for detecting an open state of the valve according to the reciprocating motion of the piston; 밸브의 오픈/클로즈 상태를 정확하게 감지할 수 있도록 상기 실링플레이트의 위치를 감지하는 제3 내지 제5감지센서를 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 아이솔레이션 게이트밸브 구동상태 표시장치.And a third to fifth sensing sensors for sensing the position of the sealing plate so as to accurately detect the open / closed state of the valve. 제2항에 있어서, 상기 아이솔레이션 게이트밸브 구동제어부는, According to claim 2, wherein the isolation gate valve drive control unit, 상기 아이솔레이션 게이트밸브의 오픈/클로즈 구동제어신호를 발생한 후 상기 오픈/클로즈가 소요시간을 표시하도록 제어하는 메인제어부와, A main controller for controlling the open / close to display the required time after generating the open / close drive control signal of the isolation gate valve; 외부로부터 밸브클로즈신호나 오토셧업을 위한 조건신호밸브 오픈/ 클로즈 구동 제어신호를 받아 상기 메인제어부로 인가하는 외부입력제어부와, An external input control unit which receives a valve close signal or a condition signal valve open / close drive control signal for an auto shutdown from the outside and applies it to the main control unit; 상기 제1 내지 제5 감지센서의 감지신호를 받아 상기 메인제어부로 전달하는 포지션센서 제어부와, A position sensor control unit which receives the detection signals of the first to fifth detection sensors and transmits them to the main control unit; 상기 메인제어부의 오픈/클로즈 구동제어신호를 받아 상기 실린더를 구동하도록 제어하는 실린더 구동제어부를 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 아이솔레이션 게이트밸브 구동상태 표시장치. And a cylinder drive control unit for driving the cylinders in response to the open / close drive control signal of the main control unit. 반도체 제조설비의 아이솔레이션 게이트밸브 구동상태 표시장치에 있어서, An isolation gate valve driving state display apparatus of a semiconductor manufacturing facility, 밸브본체와, The valve body, 상기 밸브본체상에 형성된 개구부와, An opening formed on the valve body; 상기 개구부를 개방시키거나 밀폐시키는 실링플레이트와, A sealing plate for opening or closing the opening; 내부공간을 갖는 실린더와, A cylinder having an inner space, 상기 실린더 내부에서 왕복운동을 하는 피스톤과, A piston reciprocating in the cylinder, 상기 실링플레이트와 상기 피스톤 사이에 연결되어 상기 피스톤의 왕복운동에 따라 실링플레이트를 유동시킬 수 있도록 연결된 피스톤로더와, A piston loader connected between the sealing plate and the piston so as to flow the sealing plate according to the reciprocating motion of the piston; 상기 피스톤의 왕복운동에 따라 밸브의 닫힘상태를 감지하기 위한 제1 감지센서와, A first detection sensor for detecting a closed state of the valve according to the reciprocating motion of the piston, 상기 피스톤의 왕복운동에 따라 밸브의 열림상태를 감지하기 위한 제2 감지센서와, A second detection sensor for detecting an open state of the valve according to the reciprocating motion of the piston; 밸브의 오픈/클로즈 상태를 정확하게 감지할 수 있도록 상기 실링플레이트의 위치를 감지하는 제3 내지 제5감지센서와, Third to fifth detection sensors for detecting the position of the sealing plate to accurately detect the open / closed state of the valve, 밸브 오픈/ 클로즈 구동 제어신호를 출력하고 상기 아이솔레이션 게이트밸브의 오픈/클로즈 상태를 정확하게 판단하고 오픈/클로즈되는 소요시간을 표시하도록 제어하고, 상기 제3 내지 제5 감지센서의 감지신호에 의해 밸브의 오픈/클로즈상태를 정확하게 인식하는 아이솔레이션 게이트밸브 구동제어부와,Outputs the valve open / close drive control signal, controls to accurately determine the open / closed state of the isolation gate valve, and displays the required time to be opened / closed, and detects the valve by the detection signal of the third to fifth sensing sensors. An isolation gate valve driving control unit for accurately recognizing the open / closed state; 상기 아이솔레이션 게이트 밸브 구동제어부의 제어신호에 의해 오픈/클로즈 되는 소요시간을 표시하는 표시부를 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 아이솔레이션 게이트밸브 구동상태 표시장치.And a display unit for displaying the required time of opening / closing by the control signal of the isolation gate valve driving control unit. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 제1항에 있어서, 상기 아이솔레이션 게이트밸브 구동제어부는, According to claim 1, wherein the isolation gate valve drive control unit, 상기 아이솔레이션 게이트밸브의 오픈/클로즈 구동제어신호를 발생한 후 상기 오픈/클로즈가 소요시간을 표시하도록 제어하는 메인제어부와, A main controller for controlling the open / close to display the required time after generating the open / close drive control signal of the isolation gate valve; 외부로부터 밸브클로즈신호나 오토셧업을 위한 조건신호밸브 오픈/ 클로즈 구동 제어신호를 받아 상기 메인제어부로 인가하는 외부입력제어부와, An external input control unit which receives a valve close signal or a condition signal valve open / close drive control signal for an auto shutdown from the outside and applies it to the main control unit; 상기 제1 내지 제5 감지센서의 감지신호를 받아 상기 메인제어부로 전달하는 포지션센서 제어부와, A position sensor control unit which receives the detection signals of the first to fifth detection sensors and transmits them to the main control unit; 상기 메인제어부의 오픈/클로즈 구동제어신호를 받아 상기 실린더를 구동하도록 제어하는 실린더 구동제어부를 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 아이솔레이션 게이트밸브 구동상태 표시장치. And a cylinder drive control unit for driving the cylinders in response to the open / close drive control signal of the main control unit.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101014651B1 (en) * 2010-08-06 2011-02-16 이철규 Apparatus for generating interlock signal for gate valve connected a master controller in semiconductor process device and the method thereof
KR102239582B1 (en) * 2020-09-29 2021-04-13 (주)신일이엔지 Blocking apparatus

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