KR20080060984A - Apparatus for manufacturing flat panel display - Google Patents

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Abstract

An apparatus for manufacturing a flat panel display is provided to prevent damage to a bearing and to extend lifespan of equipment by preventing loosing of a nut. An apparatus for manufacturing a flat panel display includes a shaft(130), bearings(141,142), a nut(144), and a spacer(145). The shaft rotates a brush. One end part of the shaft is inserted in the bearing. The bearings rotate the shaft. The nut fixes the bearing in case of rotation of the shaft. The spacer is arranged between the bearing and the nut and absorbs vibration from the bearings in case of the rotation of the shaft. The spacer fixes an inner periphery of the bearing and is formed in an elastic member of resin material.

Description

평판 디스플레이 제조용 장비{Apparatus for manufacturing flat panel display}Equipment for manufacturing flat panel display {Apparatus for manufacturing flat panel display}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비의 개념도이다.1 is a conceptual diagram of equipment for manufacturing a flat panel display according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 따른 베어링 모듈의 사시도이다.2 is a perspective view of a bearing module according to FIG. 1.

도 3은 도 2에 따른 베어링 모듈의 분해 사시도이다.3 is an exploded perspective view of the bearing module according to FIG. 2.

*도면의 주요 부분에 대한 설명** Description of the main parts of the drawings *

100: 공정 챔버 120: 브러시100: process chamber 120: brush

130: 샤프트 140: 베어링 모듈130: shaft 140: bearing module

141: 제 1 베어링 142: 제 2 베어링141: first bearing 142: second bearing

143: 고정 보조재 144: 너트143: fixing aid 144: nut

145: 스페이서 150: 구동부145: spacer 150: drive unit

본 발명은 평판 디스플레이 제조용 장비에 관한 것으로 더욱 상세하게는, 세정 공정시 브러시의 회전으로 인하여 베어링을 지지하는 너트의 풀림을 효과적으로 방지하는 평판 디스플레이 제조용 장비에 관한 것이다. The present invention relates to a flat panel display manufacturing equipment, and more particularly, to a flat panel display manufacturing equipment that effectively prevents the loosening of the nut supporting the bearing due to the rotation of the brush during the cleaning process.

최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 디스플레이 장치로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 주로 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 작고 저전압 구동형인 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display)가 널리 사용되고 있다.Recently, information processing devices have been rapidly developed to have various types of functions and faster information processing speeds. Such an information processing apparatus has a display device for displaying information. Until now, a cathode ray tube monitor has been mainly used as a display device, but in recent years, with the rapid development of semiconductor technology, the use of a flat display device that is light and occupies a small space is rapidly increasing. There are various types of flat panel displays. Among them, liquid crystal displays, which are small in power consumption and small in volume, and low voltage driven, are widely used.

이러한 액정 디스플레이를 제조하기 위해 다양한 공정들이 수행되며, 이들 중 세정공정은 기판 상에 붙어 있는 먼지나 유기물 등을 제거하기 위해 수행된다. 이러한 세정 공정은 탈이온수를 사용하여 기판을 수세(rinse)하는 수세 공정과, 공기를 분사하여 기판에 부착된 탈이온수를 제거하는 건조 공정을 포함한다.Various processes are performed to manufacture such a liquid crystal display, and among them, a cleaning process is performed to remove dust, organic matter, and the like stuck on the substrate. Such cleaning processes include a washing process of washing the substrate using deionized water, and a drying process of spraying air to remove the deionized water attached to the substrate.

이러한 탈이온수를 제거하고 세정하는 공정 챔버 내부에 브러시가 구비된다. 브러시는 샤프트에 의해 지지될 수 있으며, 샤프트는 챔버의 외부로 연장되어 모터와 같은 액튜에이터에 연결된다. 한편, 샤프트는 베어링에 의해 하중을 지지함과 동시에 회전시킬 수 있다. 그리고, 이러한 베어링이 풀리는 것을 방지하기 위해 너트가 구비된다.A brush is provided inside the process chamber for removing and cleaning such deionized water. The brush may be supported by the shaft, which extends out of the chamber and is connected to an actuator such as a motor. On the other hand, the shaft can rotate while supporting the load by the bearing. And a nut is provided to prevent such a bearing from loosening.

이때 샤프트의 회전 운동시 회전력에 의한 진동이 베어링을 통해 너트에 전달됨으로써, 너트가 풀릴 수 있다. 이로 인하여 너트와 베어링 사이가 이격됨으로 써 베어링의 갈림이 발생될 수 있다. 또한, 이로써 베어링의 수명이 단축되며, 이로 인해 베어링의 교체주기가 단축되어 비용의 증가 및 유지보수가 곤란할 수 있다.At this time, the vibration by the rotational force during the rotational movement of the shaft is transmitted to the nut through the bearing, the nut can be released. As a result, the gap between the nut and the bearing may cause separation of the bearing. In addition, this can shorten the life of the bearing, which can shorten the replacement cycle of the bearing can be difficult to increase the cost and maintenance.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 세정 공정시 브러시의 회전으로 인하여 베어링을 지지하는 너트의 풀림을 효과적으로 방지하는 평판 디스플레이 제조용 장비를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a flat panel display manufacturing equipment that effectively prevents the loosening of the nut supporting the bearing due to the rotation of the brush during the cleaning process.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. The technical problem to be achieved by the present invention is not limited to the above-mentioned problem, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비는 브러시를 회전시키는 회전축인 샤프트, 샤프트의 일단부가 삽입되어 샤프트를 회전시키는 베어링, 샤프트 회전시 베어링을 고정하는 너트 및 베어링과 너트 사이에 개재되어, 샤프트 회전시 베어링으로부터의 진동을 흡수하는 스페이서를 포함하는 베어링 모듈을 포함한다.In order to achieve the above technical problem, an apparatus for manufacturing a flat panel display according to an embodiment of the present invention includes a shaft which is a rotating shaft for rotating a brush, a bearing having one end of the shaft inserted therein to rotate the shaft, a nut and a bearing which fixes the bearing when the shaft is rotated. And a bearing module interposed between the nut and the nut, the bearing module including a spacer that absorbs vibration from the bearing when the shaft rotates.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태 로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings. Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, only the embodiments are to make the disclosure of the present invention complete, the general knowledge in the art to which the present invention belongs It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비의 개념도이다. 1 is a conceptual diagram of equipment for manufacturing a flat panel display according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 평판 디스플레이 제조용 장비는 공정 챔버(100), 브러시(120), 샤프트(130) 및 베어링 모듈(140)을 포함한다. Referring to FIG. 1, an apparatus for manufacturing a flat panel display includes a process chamber 100, a brush 120, a shaft 130, and a bearing module 140.

우선, 공정 챔버(100)는 기판(G)을 세정하는 공정이 진행되며, 공정 챔버(100)의 내부에는 브러시(120)가 형성되어 기판(G)의 이물질을 세정할 수 있다. 여기서 도시하지 않았으나, 기판(G)에 세정액을 분사하여 기판(G)의 표면에 있는 이물질을 제거하는 노즐부가 형성된다.First, a process of cleaning the substrate G is performed in the process chamber 100, and a brush 120 is formed in the process chamber 100 to clean foreign substances on the substrate G. Although not shown here, a nozzle unit is formed to spray a cleaning liquid onto the substrate G to remove foreign substances on the surface of the substrate G.

브러시(120)가 공정 챔버(100)의 내부에 형성된다. The brush 120 is formed inside the process chamber 100.

기판(G)을 세정하기 위한 브러시(120)는 나일론과 같은 합성수지로 형성된 다수의 모(毛)로 이루어져 있으며, 동축(coaxial)형태로 배치되어 형성된다. 각 브러시(120)는 상하 대칭의 2단 구조로 형성되어 기판(G)을 상하의 브러시(120)사이로 이송시키며 브러시(120)의 모(毛)가 기판(G)과 직접 접촉하면서 이물질 또는 유기물을 제거할 수 있다.The brush 120 for cleaning the substrate G is composed of a plurality of hairs formed of synthetic resin such as nylon, and is disposed in a coaxial form. Each brush 120 is formed in a two-stage structure of vertical symmetry to transfer the substrate G between the upper and lower brushes 120, and the hair of the brush 120 directly contacts the substrate G to remove foreign substances or organic matter. Can be removed.

각 브러시(120)에 대응하는 샤프트(130)가 형성된다.The shaft 130 corresponding to each brush 120 is formed.

샤프트(130)도 브러시(120)와 마찬가지로 역시 상호 대응하게 형성되며, 브러시(120)를 관통하여 지지한다. 샤프트(130)의 일측은 공정 챔버(100)의 내벽의 베어링 모듈(140)에 의해 고정될 수 있다. 그리고 샤프트(130)의 타측은 공정 챔버(100)의 타측벽을 관통하여 공정 챔버(100) 외부로 연장된다. 공정 챔버(100)의 외부로 연장된 샤프트(130)는 구동부(150)에 연결된다. 구동부(150)는 액튜에이터와 같은 모터로서, 샤프트(130)에 동력을 전달하여 회전시킬 수 있다.Like the brush 120, the shaft 130 is also formed to correspond to each other and is supported through the brush 120. One side of the shaft 130 may be fixed by the bearing module 140 of the inner wall of the process chamber 100. The other side of the shaft 130 passes through the other side wall of the process chamber 100 and extends outside the process chamber 100. The shaft 130 extending out of the process chamber 100 is connected to the driver 150. The driving unit 150 is a motor such as an actuator, and may rotate by transmitting power to the shaft 130.

특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 베어링 모듈(140)은 샤프트(130)의 회전 운동에 의해 발생되는 진동이 너트에 전달되지 않음으로써, 베어링의 손상을 방지할 수 있다. 이에 대하여 다음의 도면을 참조하여 후술하기로 한다. In particular, in the bearing module 140 according to an embodiment of the present invention, the vibration generated by the rotational movement of the shaft 130 is not transmitted to the nut, thereby preventing damage to the bearing. This will be described later with reference to the following drawings.

한편, 본 발명에서는 설명의 편의상 2단 구조의 브러시(120) 및 샤프트(130)를 예로 들었으나 이에 제한되는 것은 물론 아니다. 장치의 구성에 따라 다수의 브러시(120) 및 샤프트(130)가 형성될 수 있음은 물론이다.In the present invention, for convenience of description, the brush 120 and the shaft 130 having a two-stage structure are taken as examples, but the present invention is not limited thereto. Of course, a plurality of brushes 120 and shaft 130 may be formed according to the configuration of the device.

도시하지 않았으나 샤프트(130)의 양단에는 롤러가 형성될 수 있다. 롤러는 기판(G)과 접촉하여 기판(G)을 이동시키며, 샤프트(130)를 삽입할 수 있도록 천공되어 형성된다. 따라서, 전술한 구동부(150)에 의해 동력을 전달받으면 샤프트(130)와 함께 롤러가 회전하면서 기판(G)을 이송시킬 수 있다.Although not shown, rollers may be formed at both ends of the shaft 130. The roller moves in contact with the substrate G to move the substrate G, and is formed to be punched to insert the shaft 130. Therefore, when the power is transmitted by the above-mentioned driving unit 150, the roller can be rotated together with the shaft 130 to transfer the substrate (G).

베어링 모듈(140)에 대해서는 도 2 및 도 3을 참조하여 설명하기로 한다.The bearing module 140 will be described with reference to FIGS. 2 and 3.

도 2는 도 1에 따른 베어링 모듈(140)을 나타낸 사시도이다. 도 3은 도 2에 따른 분해 사시도이다.2 is a perspective view of the bearing module 140 according to FIG. 1. 3 is an exploded perspective view according to FIG. 2.

우선, 도 2 및 도 3을 참조하면 베어링 모듈(140)은 제 1 및 제 2 베어링(141, 142), 너트(144) 및 스페이서(145)를 포함한다.First, referring to FIGS. 2 and 3, the bearing module 140 includes first and second bearings 141 and 142, a nut 144, and a spacer 145.

제 1 및 제 2 베어링(141, 142)은 회전하는 샤프트(130)를 일정한 위치에 고정시키고 샤프트(130)의 자중(自重)과 샤프트(130)에 걸리는 하중을 지지하면서 샤프트(130)를 회전시키는 역할을 한다.The first and second bearings 141 and 142 rotate the shaft 130 while fixing the rotating shaft 130 at a predetermined position and supporting the weight of the shaft 130 and the load applied to the shaft 130. It plays a role.

샤프트(130)는 제 1 외륜(131), 제 2 외륜(132) 및 제 3 외륜(133)을 포함하며, 여기서는 제 1 및 제 2 베어링(141, 142)의 내륜은 샤프트(130)의 제 2 외륜(132)에 적합하도록 구비될 수 있다. 그러나, 이에 제한되지 않는 것은 물론이며, 장비의 구성에 따라 다른 외륜에 적합하도록 구비할 수 있다. 제 1 베어링(142)의 내륜은 샤프트(130)의 제 3 외륜(133)보다 작아서 샤프트(130)의 제 3 외륜(133)에 고정되며 위치함으로써, 샤프트(130)를 안정적으로 지지하며 회전시킬 수 있다.The shaft 130 includes a first outer ring 131, a second outer ring 132, and a third outer ring 133, where the inner rings of the first and second bearings 141, 142 are formed of the shaft 130. 2 may be provided to suit the outer ring 132. However, the present invention is not limited thereto, and may be provided to be suitable for another outer ring according to the configuration of the equipment. The inner ring of the first bearing 142 is smaller than the third outer ring 133 of the shaft 130 and is fixed to the third outer ring 133 of the shaft 130, thereby stably supporting and rotating the shaft 130. Can be.

제 1 및 제 2 베어링(141, 142) 사이에는 컬러(collar)와 같은 고정 보조재(143)가 개재된다. A fixing aid 143, such as a collar, is interposed between the first and second bearings 141, 142.

고정 보조재(143)는 제 1 및 제 2 베어링(141, 142)과 조립되는 샤프트(130)가 좌우로 흔들리지 않도록 고정시킨다. 고정 보조재(143)는 부식성 환경이면 SUS 재질로 구비되고, 비부식성 환경이면 SS400, SM45C와 같은 재질로 구비될 수 있다. 여기서는, 고정 보조재(143)는 SUS 재질인 것으로 예시한다.The fixing aid 143 fixes the shaft 130 assembled with the first and second bearings 141 and 142 so that the shaft 130 does not move from side to side. The fixing aid 143 may be made of a SUS material in a corrosive environment, and may be made of a material such as SS400 or SM45C in a non-corrosive environment. Here, the fixing aid 143 is illustrated as being made of SUS material.

샤프트(130) 회전시 제 2 베어링(142)을 고정하기 위해 너트(144)가 구비된다. A nut 144 is provided to fix the second bearing 142 when the shaft 130 rotates.

특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 탄성 부재로 구비되는 스페이서(145)가 너트(144)와 제 2 베어링(142)사이에 개재됨으로써 샤프트(130) 회전시 발생되는 진동을 흡수할 수 있다.In particular, the spacer 145 provided as the elastic member according to the exemplary embodiment may be interposed between the nut 144 and the second bearing 142 to absorb vibrations generated when the shaft 130 rotates.

구체적으로 설명하면, 제 1 및 제 2 베어링(141, 142), 고정 보조재(143) 및 너트(144)가 모두 경질의 재질, 예를 들어 SUS 재질로 구비됨으로써 샤프트(130) 회전시 진동이 연속적으로 전달 될 수 있다. 하지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 수지 재질의 스페이서(145)가 구비됨으로써, 샤프트(130) 회전시 회전력에 의해 발생된 진동이 제 1 및 제 2 베어링(141, 142)에 전달되어도 스페이서(145)에 의해 흡수될 수 있다.Specifically, since the first and second bearings 141 and 142, the fixing aid 143, and the nut 144 are all made of a hard material, for example, SUS material, vibration is continuously generated when the shaft 130 is rotated. Can be passed by. However, since the spacer 145 of the resin material according to the exemplary embodiment of the present invention is provided, even if the vibration generated by the rotational force when the shaft 130 rotates is transmitted to the first and second bearings 141 and 142, the spacer ( 145).

즉, 스페이서(145)가 수지 재질의 탄성 부재로 형성됨으로써 진동을 흡수할 수 있다. 이로써, 너트(145)에 진동 및 진동에 의한 충격을 완화시킬 수 있는 완충부 역할을 한다. 스페이서(145)는 PVC 같은 폴리 스틸렌 수지 계열일 수 있으나 이에 제한되지 않으며 세정액과 반응하지 않는 수지 계열이면 적합하다.That is, the spacer 145 is formed of an elastic member made of a resin material to absorb vibration. As a result, the nut 145 serves as a shock absorber that can alleviate the vibration and the shock caused by the vibration. The spacer 145 may be a polystyrene resin-based resin such as PVC, but is not limited thereto and may be a resin-based resin that does not react with the cleaning solution.

그리고, 스페이서(145)의 폭은 응력 또는 진동을 흡수할 수 있는 적합한 범위내에서 결정할 수 있다. 그리고, 스페이서(145)의 내륜은 제 2 베어링(142)의 내륜을 고정시킬 수 있는 범위 내일 수 있으며, 샤프트(130)의 제 2 외륜(132)을 외삽할 수 있는 범위이다.In addition, the width of the spacer 145 may be determined within a suitable range capable of absorbing stress or vibration. In addition, the inner ring of the spacer 145 may be in a range in which the inner ring of the second bearing 142 may be fixed, and a range in which the second outer ring 132 of the shaft 130 may be extrapolated.

도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비의 동작에 대하여 설명하기로 한다.Referring to Figures 1 to 3, the operation of the flat panel display manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention will be described.

세정 공정을 위해 이송된 기판(G)이 브러시(120)의 모(毛)에 접촉하고, 브러 시(120)가 회전됨으로써 세정될 수 있다. 이때, 동력을 제공하는 구동부(150)가 샤프트(130)를 약 300 내지 600RPM으로 회전시킴으로써 세정 공정을 진행한다. 이러한 회전시 회전력에 의해 진동이 발생될 수 있다.The substrate G transferred for the cleaning process may be in contact with the hair of the brush 120, and the brush 120 may be rotated to be cleaned. At this time, the driving unit 150 for providing power rotates the shaft 130 to about 300 to 600 RPM to proceed with the cleaning process. Vibration may be generated by the rotation force during such rotation.

하지만, 본 발명의 베어링 모듈(140)은 수지 재질의 스페이서(145)가 구비됨으로써, 이러한 진동을 흡수할 수 있다. 따라서, 진동이 샤프트(130) 일단의 너트(144)까지 전달되지 않음으로써 너트(144)의 풀림을 방지하며, 제 1 및 제 2 베어링(141, 142)의 손상을 방지할 수 있다.However, the bearing module 140 of the present invention may absorb the vibration by being provided with a spacer 145 made of a resin material. Therefore, the vibration is not transmitted to the nut 144 at one end of the shaft 130 to prevent loosening of the nut 144 and to prevent damage to the first and second bearings 141 and 142.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains have various permutations, modifications, and modifications without departing from the spirit or essential features of the present invention. It is to be understood that modifications may be made and other embodiments may be embodied. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive.

상기한 바와 같이 본 발명의 평판 디스플레이 제조용 장비에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다.As described above, the flat panel display manufacturing equipment of the present invention has one or more of the following effects.

첫째, 샤프트의 회전시 발생되는 진동을 스페이서가 흡수할 수 있다. First, the spacer can absorb the vibration generated when the shaft rotates.

둘째, 스페이서가 진동을 흡수함으로써 너트에 진동이 전달되는 것을 방지할 수 있다.Second, vibration can be prevented from being transmitted to the nut by the spacer absorbing the vibration.

셋째, 너트에 진동이 전달되는 것이 방지됨으로써 너트의 풀림을 방지할 수 있다.Third, the vibration is prevented from being transmitted to the nut, thereby preventing the nut from loosening.

넷째, 너트의 풀림이 방지됨으로써 베어링의 손상을 방지할 수 있으며, 장비의 수명을 향상시킬 수 있다.Fourth, it is possible to prevent the bearing from being loosened, thereby improving the life of the equipment.

Claims (4)

브러시를 회전시키는 회전축인 샤프트;A shaft which is a rotation axis for rotating the brush; 상기 샤프트의 일단부가 삽입되어 상기 샤프트를 회전시키는 베어링;A bearing inserted at one end of the shaft to rotate the shaft; 상기 샤프트 회전시 상기 베어링을 고정하는 너트; 및A nut fixing the bearing when the shaft rotates; And 상기 베어링과 너트 사이에 개재되어, 상기 샤프트 회전시 상기 베어링으로부터의 진동을 흡수하는 스페이서를 포함하는 베어링 모듈을 포함하는 평판 디스플레이 제조용 장비. And a bearing module interposed between the bearing and the nut, the bearing module including a spacer that absorbs vibrations from the bearing when the shaft rotates. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스페이서는 상기 베어링의 내륜을 고정시키는 평판 디스플레이 제조용 장비.The spacer is a flat panel display manufacturing equipment for fixing the inner ring of the bearing. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스페이서는 탄성 부재로 형성하는 것을 포함하는 평판 디스플레이 제조용 장비.And said spacer is formed from an elastic member. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 스페이서는 수지 재질로 형성하는 것을 포함하는 평판 디스플레이 제조용 장비.And the spacer is formed of a resin material.
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