KR20080058975A - Unmanned guided vehicle and manufacturing equipment hainvg discharging system of substrate for flat panel display - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 종래의 평판 표시장치의 제조 라인을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.1 is a diagram schematically illustrating a manufacturing line of a conventional flat panel display.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 표시장치용 기판의 제전 시스템을 개략적으로 나타낸 블록도이다.2 is a block diagram schematically illustrating an antistatic system of a substrate for a flat panel display according to a first embodiment of the present invention.
도 3은 도 2에 도시된 평판 표시장치용 기판의 제전 시스템을 구비하는 자동 반송 대차를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.FIG. 3 is a diagram for schematically describing an automatic transport cart including an antistatic system of the substrate for a flat panel display shown in FIG. 2.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판 표시장치용 기판의 제전 시스템을 개략적으로 나타낸 블록도이다.4 is a block diagram schematically illustrating an antistatic system of a substrate for a flat panel display according to a second embodiment of the present invention.
도 5는 도 4에 도시된 평판 표시장치용 기판의 제전 시스템을 구비하는 자동 반송 대차를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.FIG. 5 is a diagram for schematically describing an automatic transport cart including an antistatic system of the substrate for a flat panel display shown in FIG. 4.
도 6은 도 4에 도시된 평판 표시장치용 기판의 제전 시스템을 구비하는 평판 표시장치용 제조 장비를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.FIG. 6 is a diagram for schematically describing a manufacturing apparatus for a flat panel display device including an antistatic system of the substrate for a flat panel display device illustrated in FIG. 4.
{도면의 주요부분에 대한 부호의 설명}{Description of symbols for main parts of the drawing}
100, 200: 자동 반송 대차 110, 210, 310: 스테이지100, 200:
120, 220: 제전 시스템 130: 제1 제어부120, 220 antistatic system 130: first control unit
140: 제1 제전 수단 150: 제1 전원 공급부140: first static elimination means 150: first power supply
230: 제2 제어부 240: 정전기 측정 유닛230: second control unit 240: static electricity measuring unit
250: 제3 제어부 260: 제2 제전 수단250: third control unit 260: second antistatic means
270: 제2 전원 공급부270: second power supply
본 발명은 평판 표시장치의 제조에 관한 것으로, 구체적으로 평판 표시장치의 제조 라인에서 기판이 적재된 카세트를 반송하는 무인 반송 대차 및 무인 반송 대차로부터 반입되는 카세트에 적재된 기판을 사용하여 제조 공정을 수행하는 평판 표시장치용 제조 장비에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
정보화 사회의 발전에 부응하여 액정 표시장치(Liquid Crystal Display: LCD) 및 유기전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED) 등과 같은 평판 표시장치(Flat Panel Display: FPD)의 사용이 증가하고 있다. 이러한 평판 표시장치 중 이하에서는 액정 표시장치를 예로 들어 설명한다.In response to the development of the information society, the use of flat panel displays (FPDs) such as liquid crystal displays (LCDs) and organic light emitting diodes (OLEDs) is increasing. Among such flat panel display devices, a liquid crystal display device will be described below as an example.
액정 표시장치는 액정층을 이루는 액정 분자들의 전기 광학 특성을 이용하여 화상을 표시할 수 있다.The liquid crystal display may display an image by using the electro-optical characteristics of the liquid crystal molecules forming the liquid crystal layer.
이를 위해, 액정 표시장치는 액정 패널, 백라이트 유닛 및 구동회로 유닛을 포함할 수 있다.To this end, the liquid crystal display may include a liquid crystal panel, a backlight unit, and a driving circuit unit.
액정 패널은 화상을 표시하며, 액정층을 사이에 두고 합착된 컬러 필터 기판 및 박막 트랜지스터 기판을 포함할 수 있다.The liquid crystal panel displays an image and may include a color filter substrate and a thin film transistor substrate bonded to each other with a liquid crystal layer interposed therebetween.
컬러 필터 기판은 색을 표현하며, 유리나 플라스틱 등과 같은 투명한 재질의 기판 상에 박막으로 형성된 적/녹/청색 컬러 필터를 포함할 수 있다.The color filter substrate expresses a color and may include a red / green / blue color filter formed as a thin film on a transparent substrate such as glass or plastic.
박막 트랜지스터 기판은 액정층에 전압을 인가하며, 유리나 플라스틱 등과 같은 재질의 투명한 다른 기판 상에 박막으로 형성된 박막 트랜지스터, 화소 전극 및 공통 전극을 포함할 수 있다.The thin film transistor substrate applies a voltage to the liquid crystal layer and may include a thin film transistor, a pixel electrode, and a common electrode formed of a thin film on another transparent substrate made of a material such as glass or plastic.
백라이트 유닛은 액정 패널의 배면에 위치하여 액정 패널에 광을 제공할 수 있다.The backlight unit may be disposed on the rear surface of the liquid crystal panel to provide light to the liquid crystal panel.
구동회로 유닛은 액정 패널을 구동하기 위한 구동 전압들을 생성하며, 생성된 구동 전압들을 자신과 접속된 액정 패널에 공급할 수 있다.The driving circuit unit generates driving voltages for driving the liquid crystal panel, and supplies the generated driving voltages to the liquid crystal panel connected thereto.
상기의 구성을 가지는 종래의 액정 표시장치는 크게 기판 제조 공정, 셀 제조 공정 및 모듈 제조 공정을 통해 제조될 수 있다. 여기서, 기판 제조 공정이란 세정된 기판을 이용한 컬러 필터 기판을 제조하는 공정, 및 세정된 다른 기판을 이용한 박막 트랜지스터 기판을 제조하는 공정을 말한다. 또한, 셀 제조 공정이란 컬러 필터 기판 및 박막 트랜지스터 기판 사이에 액정층을 형성한 후, 상기 두 기판을 합착시켜 액정 패널을 제조하는 공정을 말한다. 그리고, 모듈 제조 공정이란 액정 패널의 패드부에 구동회로 유닛을 부착한 후, 구동회로 유닛이 부착된 액정 패널을 백라이트 유닛과 조립하는 공정을 말한다.The conventional liquid crystal display having the above structure can be largely manufactured through a substrate manufacturing process, a cell manufacturing process, and a module manufacturing process. Here, a substrate manufacturing process means the process of manufacturing the color filter board | substrate using the wash | cleaned board | substrate, and the process of manufacturing the thin film transistor board | substrate using the other wash | cleaned board | substrate. The cell manufacturing process refers to a process of forming a liquid crystal panel by forming a liquid crystal layer between a color filter substrate and a thin film transistor substrate and then joining the two substrates together. The module manufacturing step refers to a step of assembling the liquid crystal panel having the driving circuit unit with the backlight unit after attaching the driving circuit unit to the pad portion of the liquid crystal panel.
그런데, 예를 들어, 상기 기판 제조 공정을 위해 기판은 각 제조 장비로 낱 장 또는 그룹 형태로 이송되어야 한다. 이 때문에, 다수의 기판을 낱장으로 적재할 수 있으며, 낱장의 기판을 그룹 형태로 이송할 수 있는 카세트(cassette)가 기판 반송을 위해 사용될 수 있다. 즉, 종래 기술에 따르면, 기판은 카세트에 적재된 상태로 제조 장비로 반송될 수 있다.By the way, for example, for the substrate manufacturing process, the substrates must be transferred in sheet or group form to each manufacturing equipment. For this reason, a plurality of substrates can be stacked in sheets, and a cassette capable of transferring the sheets in groups can be used for substrate transfer. That is, according to the prior art, the substrate can be conveyed to the manufacturing equipment in the state loaded on the cassette.
한편, 예를 들어, 기판 제조 공정을 수행하는 제조 장비들은 각각 기판 처리 능력 및 처리 시간이 다를 수 있다. 따라서, 어느 하나의 제조 장비에서 다른 하나의 제조 장비로 기판이 적재된 카세트를 반송하게 되면 버퍼링(buffering)이 발생할 수 있다. 이러한 버퍼링 문제를 효과적으로 해소하기 위해 카세트를 임시로 보관하는 스토커(stocker)가 사용될 수 있다.On the other hand, for example, manufacturing equipment for performing a substrate manufacturing process may have different substrate processing capacities and processing times. Therefore, buffering may occur when the cassette loaded with the substrate is transferred from one manufacturing equipment to the other manufacturing equipment. In order to effectively solve this buffering problem, a stocker for temporarily storing a cassette may be used.
스토커에 임시로 보관된 카세트는 무인 반송 대차를 통해 각 제조 장비로 반송될 수 있다. 여기서, 무인 반송 대차는 자신의 동력원으로 충전되는 배터리를 사용하여 무인화 공장 또는 자동화 생산 라인에서 호스트 컴퓨터의 지령에 의해 물류의 이송을 담당하는 차량을 말한다. 이러한 무인 반송 대차로는 자동 반송 대차(Automatic Guided Vehicle: AGV) 및 레이저 반송 대차(Laser Guided Vehicle: LGV) 등 다양한 종류가 있다.The cassette temporarily stored in the stocker may be returned to each manufacturing equipment through an unmanned conveyance trolley. Here, the unmanned conveyance trolley refers to a vehicle that is responsible for the transfer of logistics by the command of the host computer in an unmanned factory or an automated production line using a battery charged with its own power source. There are a variety of such unmanned conveyance trolleys, such as automatic guided vehicles (AGV) and laser guided vehicles (LGA).
도 1은 종래의 평판 표시장치의 제조 라인을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다. 도 1에서는 무인 반송 대차로서 자동 반송 대차를 도시하였다.1 is a diagram schematically illustrating a manufacturing line of a conventional flat panel display. In FIG. 1, the automatic conveyance trolley was shown as an unmanned conveyance trolley.
도 1을 참조하면, 종래의 평판 표시장치의 제조 라인(1)에는, 상술한 바와 같이, 기판이 적재된 카세트(4)를 임시로 보관하기 위한 스토커(10), 자동 반송 대차(30) 및 제조 장비(40, 50)가 설치되어 있다.Referring to FIG. 1, as described above, in the
스토커(10)는 입력 포트(12) 및 출력 포트(14), 선반(shelf: 16), 및 랙 마스터(rack master: 18)를 포함할 수 있다.The
상기 입력 포트(12) 는 임의의 제조 장비(40, 50)의 출력 포트(44, 54)로부터 자동 반송 대차(30)를 통해 반송되는 카세트(4)를 선반(16)에 입고시키기 위해 상기 카세트(4)를 입력할 수 있다.The
상기 출력 포트(14) 는 랙 마스터(18)에 의해 선반(16)으로부터 반출되는 카세트(4)를 임의의 제조 장비(40, 50)로 반송시키기 위해 상기 카세트(4)를 출력할 수 있다.The
선반(16)은 기판이 적재된 카세트(4)를 임시로 보관하는 설비이다. 선반(16)은 복수개의 셀(cell)로 구획될 수 있으며, 각 셀은 1개의 카세트(4)를 보관할 수 있다.The
랙 마스터(18)는 스토커(10) 내부의 지정된 이동 경로(20)를 따라 주행하며, 카세트(4)를 선반(16)으로부터 출력 포트(14)로 반출함과 아울러 카세트(4)를 입력 포트(12)로부터 선반(16)으로 반입할 수 있다.The
자동 반송 대차(30)는 스토커(10) 외부의 지정된 이동 경로(32)를 따라 스토커(10)의 입력 포트(12) 및 출력 포트(14), 및 제조 장비(40, 50)의 입력 포트(42, 52) 및 출력 포트(44, 54) 간을 주행하며, 상기 카세트(4) 반송을 담당할 수 있다.The
그런데, 상기 자동 반송 대차(30)에 의해 카세트(4)가 임의의 제조 장비(40, 50)의 입력 포트(42, 52)로 반송될 시, 카세트(4)에 적재된 기판이 공기 중에 노출되면서 기판에 대전 현상이 발생할 수 있다. 이러한 대전 현상은 자동 반송 대 차(30)의 주행 시 발생하는 자동 반송 대차(30)의 진동에 의해 더욱 심화될 수 있다.By the way, when the
이로 인해, 대전된 기판은 주위의 미세 이물을 포집할 수 있다. 대전된 기판 상에 존재하는 이물은 카세트(4)가 자동 반송 대차(30)를 통해 제조 장비(40, 50)의 입력 포트(42, 52)로 입력된 후까지 남아 있을 수 있다.For this reason, the charged board | substrate can collect the surrounding fine foreign material. Foreign matter present on the charged substrate may remain until the
이 때문에, 상기 대전된 기판 상에 포집된 미세 이물에 기인한 이물성 불량이 발생할 수 있다. 이는 평판 표시장치의 생산성을 악화시키는 요인으로 작용할 수 있다.For this reason, foreign material defects due to fine foreign matter collected on the charged substrate may occur. This may act as a factor deteriorating the productivity of the flat panel display.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 기판을 제전할 수 있는 제전 시스템을 구비하는 무인 반송 대차 및 평판 표시장치용 제조 장비를 제공하고자 하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a manufacturing apparatus for an unmanned transport trolley and flat panel display device having an antistatic system capable of static eliminating a substrate.
또한, 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 기판을 제전할 수 있는 제전 시스템을 구비함으로써 이물성 불량을 방지할 수 있는 무인 반송 대차 및 평판 표시장치용 제조 장비를 제공하고자 하는 것이다.In addition, another technical problem to be achieved by the present invention is to provide a manufacturing apparatus for an unmanned transport trolley and flat panel display device that can prevent a foreign material defect by having a static elimination system capable of static eliminating the substrate.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Further technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the above-mentioned technical problems, and other technical problems not mentioned above are clearly understood by those skilled in the art from the following description. It can be understood.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판 표시장치용 기판의 제전 시스템을 구비하는 무인 반송 대차는 기판이 적재된 카세트를 안착시키는 스테이지; 상기 스테이지 상에 상기 카세트가 안착되어 있는지를 판별하여 구동 신호를 생성하는 제어부; 및 상기 제어부로부터 제공되는 상기 구동 신호에 응답하여 상기 기판을 제전하는 제전 수단을 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an unmanned transport cart including an antistatic system for a substrate for a flat panel display, comprising: a stage for seating a cassette on which a substrate is loaded; A controller which determines whether the cassette is seated on the stage and generates a driving signal; And static elimination means for discharging the substrate in response to the driving signal provided from the controller.
여기서, 상기 무인 반송 대차는 일측이 상기 제어부와 접속되고, 타측이 상기 제전 수단과 접속되며, 상기 제어부가 생성하는 상기 구동 신호를 상기 제전 수단에 전송하는 신호 전송용 케이블; 및 상기 제어부 및 상기 제전 수단 각각에 전원을 공급하는 전원 공급부를 더 포함할 수 있다.The unmanned transport trolley may include a signal transmission cable having one side connected to the control unit and the other side connected to the antistatic unit, and transmitting the driving signal generated by the control unit to the antistatic unit; And a power supply unit supplying power to each of the control unit and the static elimination means.
여기서, 상기 제전 수단은, 이오나이저(ionizer)일 수 있다.Here, the antistatic means may be an ionizer.
한편, 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판 표시장치용 기판의 제전 시스템을 구비하는 무인 반송 대차는 기판이 적재된 카세트를 안착시키는 스테이지; 상기 스테이지 상에 상기 카세트가 안착되어 있는지를 판별하여 제1 구동 신호를 생성하는 제1 제어부; 상기 제1 제어부로부터 제공되는 상기 제1 구동 신호에 응답하여 상기 기판의 정전기량을 측정하는 정전기 측정 유닛; 상기 정전기 측정 유닛으로부터 제공되는 상기 기판의 정전기량을 사용하여 제2 구동 신호를 생성하는 제2 제어부; 및 상기 제2 제어부로부터 제공되는 제2 구동 신호에 응답하여 상기 기판을 제전하는 제전 수단을 포함한다.On the other hand, the unmanned conveyance trolley provided with the antistatic system of the board | substrate for flat panel displays which concerns on this invention for achieving the said technical subject is a stage which seats the cassette which board | substrate is loaded; A first controller which determines whether the cassette is seated on the stage and generates a first driving signal; A static electricity measuring unit measuring an amount of static electricity of the substrate in response to the first driving signal provided from the first controller; A second controller configured to generate a second driving signal by using the amount of static electricity of the substrate provided from the static electricity measuring unit; And a static eliminator for discharging the substrate in response to a second driving signal provided from the second controller.
여기서, 상기 무인 반송 대차는, 일측이 상기 제1 제어부와 접속되고, 타측이 상기 정전기 측정 유닛과 접속되며, 상기 제1 제어부가 생성하는 상기 제1 구동 신호를 상기 정전기 측정 유닛에 전송하는 제1 신호 전송용 케이블; 일측이 상기 정전기 측정 유닛과 접속되고, 타측이 상기 제2 제어부와 접속되며, 상기 정전기 측정 유닛에 의해 측정된 상기 기판의 정전기량을 상기 제2 제어부에 전송하는 제2 신호 전송용 케이블; 일측이 상기 제2 제어부와 접속되고, 타측이 상기 제전 수단과 접속되며, 상기 제2 제어부가 생성하는 상기 제2 구동 신호를 상기 제전 수단에 전송하는 제3 신호 전송용 케이블; 및 상기 제1 및 제2 제어부, 상기 정전기 측정 유닛 및 상기 제전 수단 각각에 전원을 공급하는 전원 공급부를 더 포함할 수 있다.Here, in the unmanned conveyance trolley, a first side of which one side is connected to the first control unit, the other side is connected to the electrostatic measuring unit, and transmits the first drive signal generated by the first control unit to the static electricity measuring unit. Cable for signal transmission; A second signal transmission cable having one side connected to the electrostatic measuring unit and the other side connected to the second control unit and transmitting the amount of static electricity of the substrate measured by the electrostatic measuring unit to the second control unit; A third signal transmission cable having one side connected to the second control unit, the other side connected to the antistatic means, and transmitting the second driving signal generated by the second control unit to the antistatic unit; And a power supply unit configured to supply power to each of the first and second control units, the static electricity measuring unit, and the antistatic means.
여기서, 상기 정전기 측정 유닛은, 상기 기판과 접촉하여 상기 기판의 정전기량을 측정하는 프로브; 및 상기 제1 제어부로부터 제공되는 상기 제1 구동 신호에 응답하여 상기 프로브를 상기 기판에 접촉시키는 프로브 구동 유닛을 포함할 수 있다.Here, the static electricity measuring unit, the probe in contact with the substrate to measure the amount of static electricity of the substrate; And a probe driving unit contacting the probe to the substrate in response to the first driving signal provided from the first controller.
여기서, 상기 제전 수단은, 이오나이저(ionizer)일 수 있다.Here, the antistatic means may be an ionizer.
한편, 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판 표시장치용 기판의 제전 시스템을 구비하는 평판 표시장치용 제조 장비는 무인 반송 대차로부터 기판이 적재된 카세트가 반입되는 입력 포트에 구비되며, 상기 카세트를 안착시키는 스테이지; 상기 스테이지 상에 상기 카세트가 안착되어 있는지를 판별하여 제1 구동 신호를 생성하는 제1 제어부; 상기 제1 제어부로부터 제공되는 상기 제1 구동 신호에 응답하여 상기 기판의 정전기량을 측정하는 정전기 측정 유닛; 상기 정전기 측정 유닛으로부터 제공되는 상기 기판의 정전기량을 사용하여 제2 구동 신호 를 생성하는 제2 제어부; 및 상기 제2 제어부로부터 제공되는 제2 구동 신호에 응답하여 상기 기판을 제전하는 제전 수단을 포함한다.On the other hand, the flat panel display manufacturing apparatus including the antistatic system of the flat panel display substrate according to the present invention for achieving the above technical problem is provided in the input port to which the cassette loaded with the substrate from the unmanned transfer truck, A stage for seating the cassette; A first controller which determines whether the cassette is seated on the stage and generates a first driving signal; A static electricity measuring unit measuring an amount of static electricity of the substrate in response to the first driving signal provided from the first controller; A second controller configured to generate a second driving signal by using the amount of static electricity of the substrate provided from the static electricity measuring unit; And a static eliminator for discharging the substrate in response to a second driving signal provided from the second controller.
여기서, 상기 평판 표시장치용 제조 장비는, 일측이 상기 제1 제어부와 접속되고, 타측이 상기 정전기 측정 유닛과 접속되며, 상기 제1 제어부가 생성하는 상기 제1 구동 신호를 상기 정전기 측정 유닛에 전송하는 제1 신호 전송용 케이블; 일측이 상기 정전기 측정 유닛과 접속되고, 타측이 상기 제2 제어부와 접속되며, 상기 정전기 측정 유닛에 의해 측정된 상기 기판의 정전기량을 상기 제2 제어부에 전송하는 제2 신호 전송용 케이블; 일측이 상기 제2 제어부와 접속되고, 타측이 상기 제전 수단과 접속되며, 상기 제2 제어부가 생성하는 상기 제2 구동 신호를 상기 제전 수단에 전송하는 제3 신호 전송용 케이블; 및 상기 제1 및 제2 제어부, 상기 정전기 측정 유닛 및 상기 제전 수단 각각에 전원을 공급하는 전원 공급부를 더 포함할 수 있다.Here, in the manufacturing apparatus for flat panel display device, one side is connected to the first control unit, the other side is connected to the electrostatic measuring unit, and the first driving signal generated by the first control unit is transmitted to the electrostatic measuring unit. A first signal transmission cable; A second signal transmission cable having one side connected to the electrostatic measuring unit and the other side connected to the second control unit and transmitting the amount of static electricity of the substrate measured by the electrostatic measuring unit to the second control unit; A third signal transmission cable having one side connected to the second control unit, the other side connected to the antistatic means, and transmitting the second driving signal generated by the second control unit to the antistatic unit; And a power supply unit configured to supply power to each of the first and second control units, the static electricity measuring unit, and the antistatic means.
여기서, 상기 정전기 측정 유닛은, 상기 기판과 접촉하여 상기 기판의 정전기량을 측정하는 프로브; 및 상기 제1 제어부로부터 제공되는 상기 제1 구동 신호에 응답하여 상기 프로브를 상기 기판에 접촉시키는 프로브 구동 유닛을 포함할 수 있다.Here, the static electricity measuring unit, the probe in contact with the substrate to measure the amount of static electricity of the substrate; And a probe driving unit contacting the probe to the substrate in response to the first driving signal provided from the first controller.
여기서, 상기 제전 수단은, 이오나이저(ionizer)일 수 있다.Here, the antistatic means may be an ionizer.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings. Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 평판 표시장치용 기판의 제전 시스템을 구비하는 무인 반송 대차 및 평판 표시장치용 제조 장비에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail with respect to the unmanned transport trolley and the manufacturing equipment for a flat panel display device having a static elimination system of a substrate for a flat panel display device according to an embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 표시장치용 기판의 제전 시스템을 개략적으로 나타낸 블록도이다. 도 3은 도 2에 도시된 평판 표시장치용 기판의 제전 시스템을 구비하는 자동 반송 대차를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다. 도 2에 도시된 제전 시스템은 도 3에 도시된 자동 반송 대차에 구비될 수 있으므로, 도 2를 별도로 설명하지 않으며, 도 2 및 도 3을 참조하여 무인 반송 대차를 설명하며, 동일한 구성 요소에 대해서는 동일 번호를 사용하여 설명한다. 한편, 도 3에서는 무인 반송 대차로서 자동 반송 대차를 도시하였다. 그러나, 이는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 표시장치용 기판의 제전 시스템을 구비하는 무인 반송 대차를 설명하기 위한 것이므로, 이에 국한되지 않는다. 따라서, 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 표시장치용 기판의 제전 시스템은 레이저 반송 대차 등과 같이 다른 종류의 무인 반송 대차에도 구비될 수 있다.2 is a block diagram schematically illustrating an antistatic system of a substrate for a flat panel display according to a first embodiment of the present invention. FIG. 3 is a diagram for schematically describing an automatic transport cart including an antistatic system of the substrate for a flat panel display shown in FIG. 2. Since the static elimination system shown in FIG. 2 may be included in the automatic conveyance balance shown in FIG. 3, the description of FIG. 2 is not provided separately, and the unmanned conveyance balance will be described with reference to FIGS. 2 and 3. Explanation will be given using the same numbers. In addition, in FIG. 3, the automatic conveyance trolley was shown as an unmanned conveyance trolley. However, this is not intended to be limiting, because it is intended to describe an unmanned transport cart including the antistatic system of the substrate for a flat panel display according to the first embodiment of the present invention. Accordingly, the antistatic system of the substrate for a flat panel display according to the first embodiment of the present invention may be provided in other types of unmanned conveyance trucks, such as a laser conveyance truck.
도 2 및 도 3을 참조하면, 자동 반송 대차(100)는 기판(102)이 적재된 카세트(104)를 스토커로부터 임의의 제조 장비의 입력 포트로 반송할 시 대전될 수 있는 기판(102)을 제전할 수 있다.Referring to FIGS. 2 and 3, the
이를 위해, 자동 반송 대차(100)는 스테이지(110) 및 제전 시스템(120)을 포함할 수 있다.To this end, the
스테이지(110)는 기판(102)이 적재된 카세트(104)를 안착시킬 수 있다. 여기서, 로봇암(112)의 상하/신축/회전 동작에 의해 스테이지(110) 상에 카세트(104)가 안착될 수 있으며, 로봇암(112)의 상기 동작에 의해 스테이지(110) 상에 안착된 카세트(104)가 스토커 및 제조 장비 각각의 입력 포트로 입력될 수 있다.The
제전 시스템(120)은 카세트(104)에 적재된 기판(102)을 제전할 수 있다.The
이를 위해, 제전 시스템(120)은 제1 제어부(130) 및 제1 제전 수단(140)을 포함할 수 있다. 또한, 제전 시스템(120)은 제1 전원 공급부(150)를 더 포함할 수 있다.To this end, the
제1 제어부(130)는 제1 전원 공급부(150)로부터 제공되는 전원을 사용하여 구동되며, 스테이지(110) 상에 카세트(104)가 안착되어 있는지를 판별하여 제1 구동 신호를 생성할 수 있다.The
제1 제어부(130)가 생성하는 상기 제1 구동 신호는 제1 제전 수단(140)을 온/오프시킬 수 있는 신호일 수 있다. 즉, 제1 제어부(130)는 스테이지(110) 상에 카세트(104)가 안착되어 있을 시에는 제1 제전 수단(140)을 온시킬 수 있는 신호를 생성할 수 있다. 또한, 제1 제어부(130)는 스테이지(110) 상에 카세트(104)가 안착되어 있지 않을 시에는 제1 제전 수단(140)을 오프시킬 수 있는 신호를 생성할 수 있다. 이를 통해, 제1 제전 수단(140)의 수명 및 전력 소모를 줄일 수 있다.The first driving signal generated by the
제1 제어부(130)가 생성하는 상기 제1 구동 신호는 제1 신호 전송용 케이블(132)을 통해 제1 제어부(130)로부터 제1 제전 수단(140)으로 전송될 수 있다. 여기서, 제1 신호 전송용 케이블(132)은 자신의 일측이 제1 제어부(130)와 접속되 고, 자신의 타측이 제1 제전 수단(140)과 접속되도록 설치될 수 있다.The first driving signal generated by the
제1 제전 수단(140)은 제1 전원 공급부(150)로부터 제공되는 전원을 사용하여 구동되며, 제1 제어부(130)로부터 제공되는 제1 구동 신호에 응답하여 기판(102)을 제전할 수 있다. 여기서, 제1 제전 수단(140)은, 예를 들어, 이오나이저(ionizer)일 수 있으나, 이에 국한되지 않는다.The first
제1 제전 수단(140)은 카세트(104)에 적재된 모든 기판(102)을 제전할 수 있어야 하므로, 카세트(104)에 적재된 기판(102) 중 최상부에 위치한 기판(102)보다 높은 위치, 예를 들어, 자동 반송 대차(100)의 외곽 몸체의 상부에 설치될 수 있다.Since the first static elimination means 140 must be able to decharge all the
제1 제전 수단(140)은 방전 전극을 구비할 수 있으며, 상기 방전 전극은 제1 전원 공급부(150)로부터 제공되는 교류 전압을 통해 양이온 및 음이온을 교번하여 발생시킬 수 있다. 이때, 발생된 양이온 및 음이온은 총 합이 0이 될 수 있다. 따라서, 카세트(104)에 적재된 기판(102)은 제1 제전 수단(140)으로부터 방출된 상기 이온들과 접촉할 수 있다. 이를 통해, 기판(102)에 존재하는 정전기는 반대 극성의 이온에 의해 중화 및 제거될 수 있다.The first static elimination means 140 may include a discharge electrode, and the discharge electrode may alternately generate positive and negative ions through an alternating voltage provided from the
제1 전원 공급부(150)는 제1 및 제2 전원 케이블(152, 154) 각각을 통해 제1 제어부(130) 및 제1 제전 수단(140) 각각에 전원을 공급할 수 있다. 여기서, 제1 전원 공급부(150)는 자동 반송 대차(100)를 주행시킬 수 있는 동력원인 배터리일 수 있다. 이때, 배터리는 직류 전압을 제공할 수 있으므로, 제1 제전 수단(140)에 교류 전압을 제공하기 위한 직류-교류 변환부가 제1 전원 공급부(150) 및 제1 제전 수단(140) 사이에 추가로 설치될 수 있다.The first
상기의 구성을 갖는 제전 시스템(120)으로 인해, 카세트(104) 반송 중 미세 이물은 기판(102)에 포집되지 않을 수 있다. 이를 통해, 상기 미세 이물에 기인한 이물성 불량을 방지할 수 있다.Due to the
한편, 도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판 표시장치용 기판의 제전 시스템을 개략적으로 나타낸 블록도이다. 도 5는 도 4에 도시된 평판 표시장치용 기판의 제전 시스템을 구비하는 자동 반송 대차를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다. 도 4에 도시된 제전 시스템은 도 5에 도시된 자동 반송 대차에 구비될 수 있으므로, 도 4를 별도로 설명하지 않으며, 도 4 및 도 5를 참조하여 무인 반송 대차를 설명하며, 동일한 구성 요소에 대해서는 동일 번호를 사용하여 설명한다. 한편, 도 4에서는 무인 반송 대차로서 자동 반송 대차를 도시하였다. 그러나, 이는 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판 표시장치용 기판의 제전 시스템을 구비하는 무인 반송 대차를 설명하기 위한 것이므로, 이에 국한되지 않는다. 따라서, 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판 표시장치용 기판의 제전 시스템은 레이저 반송 대차 등과 같이 다른 종류의 무인 반송 대차에도 적용 가능하다.4 is a block diagram schematically illustrating an antistatic system of a substrate for a flat panel display according to a second embodiment of the present invention. FIG. 5 is a diagram for schematically describing an automatic transport cart including an antistatic system of the substrate for a flat panel display shown in FIG. 4. Since the static elimination system illustrated in FIG. 4 may be provided in the automatic conveyance balance shown in FIG. 5, the description of FIG. 4 is omitted, and the unmanned conveyance balance will be described with reference to FIGS. 4 and 5. Explanation will be given using the same numbers. In addition, in FIG. 4, the automatic conveyance trolley was shown as an unmanned conveyance trolley. However, this is not intended to be limiting, because it is intended to describe an unmanned transport cart including an antistatic system of a substrate for a flat panel display according to a second embodiment of the present invention. Accordingly, the antistatic system of the substrate for flat panel display according to the second embodiment of the present invention can be applied to other types of unmanned conveyance trolleys such as laser conveyance trolley.
도 4 및 도 5를 참조하면, 자동 반송 대차(200)는 기판(202)이 적재된 카세트(204)를 스토커로부터 임의의 제조 장비의 입력 포트로 반송할 시 대전될 수 있는 기판(202)을 제전할 수 있다.4 and 5, the
이를 위해, 자동 반송 대차(200)는 스테이지(210) 및 제전 시스템(220)을 포함할 수 있다.To this end, the
스테이지(210)는 기판(202)이 적재된 카세트(204)를 안착시킬 수 있다. 여기서, 도 5에 도시된 스테이지(210)는, 도 3에 도시된 스테이지(110)와 동일하므로, 그 상세한 설명은 생략한다.The
제전 시스템(220)은 카세트(204)에 적재된 기판(202)을 제전할 수 있다.The
이를 위해, 제전 시스템(220)은 제2 제어부(230), 정전기 측정 유닛(240), 제3 제어부(250) 및 제2 제전 수단(260)을 포함할 수 있다. 또한, 제전 시스템(220)은 제2 전원 공급부(270)를 더 포함할 수 있다.To this end, the
제2 제어부(230)는 제2 전원 공급부(270)로부터 제공되는 전원을 사용하여 구동되며, 스테이지(210) 상에 카세트(204)가 안착되어 있는지를 판별하여 제2 구동 신호를 생성할 수 있다.The
제2 제어부(230)가 생성하는 상기 제2 구동 신호는 정전기 측정 유닛(240)을 온/오프시킬 수 있는 신호일 수 있다. 즉, 제2 제어부(230)는 스테이지(210) 상에 카세트(204)가 안착되어 있을 시에는 정전기 측정 유닛(240)을 온시킬 수 있는 신호를 생성할 수 있다. 또한, 제2 제어부(230)는 스테이지(210) 상에 카세트(204)가 안착되어 있지 않을 시에는 정전기 측정 유닛(240)을 오프시킬 수 있는 신호를 생성할 수 있다.The second driving signal generated by the
제2 제어부(230)가 생성하는 상기 제2 구동 신호는 제2 신호 전송용 케이블(232)을 통해 제2 제어부(230)로부터 정전기 측정 유닛(240)으로 전송될 수 있다. 여기서, 제2 신호 전송용 케이블(232)은 자신의 일측이 제2 제어부(230)와 접속되고, 자신의 타측이 정전기 측정 유닛(240)과 접속되도록 설치될 수 있다.The second driving signal generated by the
정전기 측정 유닛(240)은 제2 전원 공급부(270)로부터 제공되는 전원을 사용하여 구동되며, 제2 제어부(230)로부터 제공되는 제2 구동 신호에 응답하여 기판(202)의 정전기량을 측정할 수 있다.The static
이를 위해, 정전기 측정 유닛(240)은 프로브(probe: 242), 및 프로브 구동 유닛(244)을 포함할 수 있다.To this end, the static
프로브(242)는 기판(202)과 접촉하여 상기 기판(202)의 정전기량을 측정할 수 있다.The
프로브 구동 유닛(244)은 제2 제어부(230)로부터 제공되는 상기 제2 구동 신호에 응답하여 상기 프로브(242)를 상/하/좌/우 이동시킴으로써 상기 프로브(242)가 상기 기판(202)에 접촉할 수 있도록 한다.The
상기 정전기 측정 유닛(240)을 통해 측정된 기판(202)의 정전기량은 디지털 또는 아날로그 신호로 변환될 수 있으며, 변환된 상기 디지털 또는 아날로그 신호는 제3 신호 전송용 케이블(246)을 통해 제3 제어부(250)로 전송될 수 있다. 여기서, 제3 신호 전송용 케이블(246)은 자신의 일측이 정전기 측정 유닛(240)과 접속되고, 자신의 타측이 정전기 측정 유닛(240)에 접속되도록 설치될 수 있다.The amount of static electricity of the
제3 제어부(250)는 제2 전원 공급부(270)로부터 제공되는 전원을 사용하여 구동되며, 정전기 측정 유닛(240)으로부터 제공되는 상기 기판(202)의 정전기량을 사용하여 제3 구동 신호를 생성할 수 있다.The
제3 제어부(250)가 생성하는 상기 제3 구동 신호는 제2 제전 수단(260)을 온/오프시킬 수 있는 신호일 수 있다. 즉, 제3 제어부(250)는 상기 기판(202)의 정전 기량이 많다라고 판단되면, 제2 제전 수단(260)을 온시킬 수 있는 신호를 생성할 수 있다. 또한, 제3 제어부(250)는 상기 기판(202)의 정전기량이 적다라고 판단되면, 제2 제전 수단(260)을 오프시킬 수 있는 신호를 생성할 수 있다. 이를 통해, 제2 제전 수단(260)의 수명 및 전력 소모를 줄일 수 있다.The third driving signal generated by the
제3 제어부(250)가 생성하는 상기 제3 구동 신호는 제4 신호 전송용 케이블(252)을 통해 제3 제어부(250)로부터 제2 제전 수단(260)으로 전송될 수 있다. 여기서, 제4 신호 전송용 케이블(252)은 자신의 일측이 제3 제어부(250)와 접속되고, 자신의 타측이 제2 제전 수단(260)과 접속되도록 설치될 수 있다.The third driving signal generated by the
제2 제전 수단(260)은 제2 전원 공급부(270)로부터 제공되는 전원을 사용하여 구동되며, 제3 제어부(250)로부터 제공되는 제3 구동 신호에 응답하여 기판(202)을 제전할 수 있다. 여기서, 제2 제전 수단(260)은, 예를 들어, 이오나이저일 수 있으나, 이에 국한되지 않는다. 여기서, 제2 제전 수단(260)은, 도 2 및 도 3에 도시된 제1 제전 수단(140)과 동일할 수 있으므로, 그 상세한 설명은 생략한다.The second
제2 전원 공급부(270)는 제3 내지 제6 전원 케이블(272, 274, 276, 278) 각각을 통해 제2 제어부(230), 정전기 측정 유닛(240), 제3 제어부(250) 및 제2 제전 수단(260) 각각에 전원을 공급할 수 있다. 여기서, 제2 전원 공급부(270)는 자동 반송 대차(200)를 주행시킬 수 있는 동력원인 배터리일 수 있다. 이때, 배터리는 직류 전압을 제공할 수 있으므로, 제2 제전 수단(260)에 교류 전압을 제공하기 위한 직류-교류 변환부가 제2 전원 공급부(270) 및 제2 제전 수단(260) 사이에 추가 로 설치될 수 있다.The second
상기의 구성을 갖는 제전 시스템(220)으로 인해, 카세트(204) 반송 중 미세 이물은 기판(202)에 포집되지 않을 수 있다. 이를 통해, 상기 미세 이물에 기인한 이물성 불량을 방지할 수 있다.Due to the
한편, 도 6은 도 4에 도시된 평판 표시장치용 기판의 제전 시스템을 구비하는 평판 표시장치용 제조 장비를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다. 도 6에 도시된 본 발명의 제2 실시예에 따른 제전 시스템은 상술한 바와 동일하므로, 동일 번호를 사용하며, 중복되는 설명은 생략하고, 그 특징에 대해서만 설명한다. 또한, 본 발명의 제2 실시예에 따른 제전 시스템은 평판 표시장치용 제조 장비 중 입력 포트에 설치될 수 있으므로, 도 6에서는 평판 표시장치용 제조 장비 중 입력 포트만 도시하였다.6 is a diagram for schematically describing a manufacturing apparatus for a flat panel display device including an antistatic system of the substrate for a flat panel display device illustrated in FIG. 4. Since the static elimination system according to the second embodiment of the present invention shown in FIG. 6 is the same as described above, the same reference numerals are used, and redundant descriptions are omitted, and only the features thereof will be described. In addition, since the antistatic system according to the second exemplary embodiment of the present invention may be installed in an input port of the manufacturing equipment for a flat panel display, only an input port of the manufacturing equipment for a flat panel display is illustrated in FIG. 6.
도 6을 참조하면, 평판 표시장치용 제조 장비는 무인 반송 대차를 통해 자신으로 입력되는 카세트(304)에 적재된 기판(302)을 사용하여 소정 제조 공정을 수행할 수 있다. 여기서, 상기 제조 장비는, 예를 들어, 세정, 증착, 포토, 식각, 배향, 러빙, 합착, 절단, 검사 장비 중 어느 하나일 수 있으나, 이는 평판 표시장치의 제조 라인 구성 및 특성에 따라 달라질 수 있으므로, 상기한 바에 국한되지 않는다.Referring to FIG. 6, a manufacturing apparatus for a flat panel display may perform a predetermined manufacturing process using a
상기 평판 표시장치용 제조 장비는 무인 반송 대차로부터 카세트(304)를 반입하기 위해 입력 포트(300)를 구비할 수 있다.The manufacturing equipment for a flat panel display may include an
상기 입력 포트(300)에는 카세트(304)를 안착시킬 수 있는 스테이지(310)가 구비될 수 있다. 이때, 제전 시스템(220)은 상기 스테이지(310) 상에 설치될 수 있다. 여기서, 상기 평판 표시장치용 제조 장비는 도 2에 도시된 제전 시스템(120)을 구비할 수 있으나, 이 경우 카세트(304)가 상기 입력 포트(300)로 반입될 때마다 상기 기판(302)을 제전해야 하는 문제점이 발생할 수 있다. 이 때문에, 평판 표시장치용 제조 장비의 기판 처리 시간을 증가시킬 수 있다. 이는 평판 표시장치의 생산성을 악화시키는 요인으로 작용할 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 평판 표시장치용 제조 장비는 도 4에 도시된 제전 시스템(220)을 구비할 수 있다.The
상기 제전 시스템(220)은 제조 장비가 소정 제조 공정을 수행하기 전에 카세트(304)에 적재된 기판(302)을 제전할 수 있다.The
이를 위해, 제전 시스템(220)은 제2 제어부(230), 정전기 측정 유닛(240), 제3 제어부(250) 및 제2 제전 수단(260)을 포함할 수 있다. 또한, 제전 시스템(220)은 제2 전원 공급부(270)를 더 포함할 수 있다. 여기서, 제2 전원 공급부(270)는 평판 표시장치용 제조 장비를 가동하기 위한 전원 공급부일 수 있다.To this end, the
상기의 구성을 갖는 제전 시스템을 통하여 평판 표시장치용 제조 장비가 소정 제조 공정을 수행하기 전에 카세트에 적재된 기판을 제전할 수 있다. 이 때문에, 상기 기판에 미세 이물이 포집되지 않을 수 있다. 이를 통해, 상기 미세 이물에 기인한 이물성 불량을 방지할 수 있다.Through the antistatic system having the above structure, the flat panel display manufacturing equipment can discharge the substrate loaded in the cassette before the predetermined manufacturing process is performed. For this reason, fine foreign matters may not be collected on the substrate. Through this, it is possible to prevent a defect in the foreign material due to the fine foreign matter.
이상 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이 해할 수 있을 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains can realize that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features. You will be able to understand that.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Therefore, since the embodiments described above are provided to completely inform the scope of the invention to those skilled in the art, it should be understood that they are exemplary in all respects and not limited. The invention is only defined by the scope of the claims.
본 발명에 따르면, 평판 표시장치용 기판의 반송 중 및/또는 평판 표시장치용 제조 장비가 제조 공정을 수행하기 전에 기판을 제전할 수 있다. 이 때문에, 기판의 대전 현상을 감소시킬 수 있으며, 대전 현상에 의한 이물성 불량을 방지할 수 있다. 이를 통해, 평판 표시장치의 생산성을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, the substrate may be charged during conveyance of the substrate for flat panel display and / or before the manufacturing equipment for flat panel display performs the manufacturing process. For this reason, the charging phenomenon of a board | substrate can be reduced and the physical property defect by a charging phenomenon can be prevented. As a result, productivity of the flat panel display may be improved.
Claims (11)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060133255A KR20080058975A (en) | 2006-12-23 | 2006-12-23 | Unmanned guided vehicle and manufacturing equipment hainvg discharging system of substrate for flat panel display |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060133255A KR20080058975A (en) | 2006-12-23 | 2006-12-23 | Unmanned guided vehicle and manufacturing equipment hainvg discharging system of substrate for flat panel display |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20080058975A true KR20080058975A (en) | 2008-06-26 |
Family
ID=39804256
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060133255A KR20080058975A (en) | 2006-12-23 | 2006-12-23 | Unmanned guided vehicle and manufacturing equipment hainvg discharging system of substrate for flat panel display |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20080058975A (en) |
-
2006
- 2006-12-23 KR KR1020060133255A patent/KR20080058975A/en not_active Application Discontinuation
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