KR20080056795A - Memory device and method for testing of memory device - Google Patents

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KR20080056795A
KR20080056795A KR1020060129779A KR20060129779A KR20080056795A KR 20080056795 A KR20080056795 A KR 20080056795A KR 1020060129779 A KR1020060129779 A KR 1020060129779A KR 20060129779 A KR20060129779 A KR 20060129779A KR 20080056795 A KR20080056795 A KR 20080056795A
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김영승
박철성
유병욱
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삼성전자주식회사
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Abstract

A memory device and a method for testing the memory device are provided to perform static burn-in mode, dynamic burn-in mode and scan mode in a wafer burn-in step. A memory device comprises a memory block(400) and a number of input pins(100) to receive a number of mode selection signals. A test mode selection block(200) enables one of a number of mode signals on the basis of the mode selection signals and then outputs the enabled mode signal. A pattern generation block(300) generates a burn-in clock signal, an address and a test pattern in response to a received mode signal. A test pattern comparison block(500) compares the test pattern outputted from the memory block with a test pattern read out from the memory block, and then outputs comparison result. An output pin(600) outputs the comparison result to a host.

Description

메모리 장치 및 메모리 장치의 테스트 방법{Memory device and method for testing of memory device}Memory device and method for testing of memory device

본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS In order to better understand the drawings cited in the detailed description of the invention, a brief description of each drawing is provided.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치의 블락도를 나타낸다.1 illustrates a block diagram of a memory device according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 어드레스 카운터 블락의 상세 블락도를 나타낸다.FIG. 2 shows a detailed block diagram of the address counter block shown in FIG. 1.

도 3은 도 1에 도시된 패턴 발생 블락의 상세 블락도를 나타낸다.FIG. 3 shows a detailed block diagram of the pattern generation block shown in FIG. 1.

도 4a는 동적 번-인 모드 시 테스트 패턴의 예를 나타내는 도면이다.4A is a diagram illustrating an example of a test pattern in the dynamic burn-in mode.

도 4b는 스캔 모드 시 테스트 패턴의 예를 나타내는 도면이다.4B is a diagram illustrating an example of a test pattern in scan mode.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 실시예를 이용하여 구성할 수 있는 번-인 테스트 방법을 나타내는 도면이다.5A and 5B illustrate a burn-in test method that can be constructed using an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치의 테스트 방법을 나타내는 순서도이다.6 is a flowchart illustrating a test method of a memory device according to an exemplary embodiment of the present invention.

본 발명은 메모리 장치 및 메모리 장치의 테스트 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼 번-인(Wafer burn-in) 테스트 시 정적 번-인(static burn-in) 모드, 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드, 또는 스캔(scan) 모드를 수행할 수 있는 메모리 장치 및 메모리 장치의 테스트 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a memory device and a test method of the memory device, and more particularly, to a static burn-in mode and a dynamic burn-in during wafer burn-in testing. The present invention relates to a memory device capable of performing a scan mode and a scan mode, and a test method of the memory device.

반도체 장치에서의 번-인 테스트는 제품의 출시 전에 불량품을 효과적으로 제거하여 반도체 제품의 신뢰성을 향상시키기 위하여 행하는 테스트이다.The burn-in test in a semiconductor device is a test performed to effectively remove a defective product and to improve the reliability of a semiconductor product before the product is released.

일반적인 번-인(Burn-in) 테스트는 웨이퍼 상태에서 행하는 웨이퍼 번-인(Wafer burn-in) 테스트와 패키지 상태에서 테스트하는 패키지 번-인(Package burn-in) 테스트로 구분된다.Typical burn-in tests are divided into wafer burn-in tests performed in a wafer state and package burn-in tests conducted in a package state.

상기 번-인 테스트는 메모리 셀 어레이에 인가하는 스트레스의 종류와 방법에 따라서 정적 번-인(Static burn-in) 모드, 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드, 및 스캔 모드로 나뉜다. The burn-in test is divided into a static burn-in mode, a dynamic burn-in mode, and a scan mode according to the type and method of stress applied to the memory cell array.

상기 정적 번-인 모드는 상기 메모리 장치의 메모리 셀 어레이에 직접 스트레스를 인가하여 테스트하는 방법이다. 상기 동적 번-인 모드는 각각의 어드레스 라인들을 어드레싱하여 스트레스를 인가하는 방법이다. 상기 스캔 모드는 상기 메모리 장치를 테스트 하고 그 테스트 결과를 바로 모니터링할 수 있는 모드이다. The static burn-in mode is a method of directly stressing and testing a memory cell array of the memory device. The dynamic burn-in mode is a method of applying stress by addressing respective address lines. The scan mode is a mode for testing the memory device and immediately monitoring the test result.

그런데, 종래의 웨이퍼 번-인 테스트에서는 다수의 어드레스 라인들이 동시에 인에이블되어 테스트가 진행되기 때문에 정적 번-인 모드 테스트 방법만 사용되었고, 각각의 어드레스를 어드레싱하여 테스트를 하는 동적 번-인 모드를 사용할 수 없었다.However, in the conventional wafer burn-in test, only the static burn-in mode test method is used because a plurality of address lines are simultaneously enabled and the test is performed, and the dynamic burn-in mode that tests each address by addressing is used. Could not be used.

또한, 상기 정적 번-인 모드만 사용하는 종래의 웨이퍼 번-인 테스트는 상기 정적 번-인 스트레스를 메모리 셀 어레이로 직접 스트레스를 인가하기 때문에 메모리 셀 어레이 이외의 주변회로들(예컨데, 로우 어드레스 패스, 칼럼 어드레스 패스, 및 데이타 인/아웃 패스 등)에는 번-인 스트레스를 인가하여 테스트하는데 어려움이 있었다.In addition, conventional wafer burn-in tests using only the static burn-in mode apply the static burn-in stress directly to the memory cell array, so that peripheral circuits other than the memory cell array (eg, a low address pass) , Column address paths, and data in / out paths, etc.) have been difficult to test by applying burn-in stress.

상기 웨이퍼 번-인 모드에서는 상기 메모리 장치의 테스트 결과를 확인할 수 있는 스캔 모드를 사용할 수 없으므로 상기 메모리 장치의 테스트 결과를 바로 확인할 수 있는 방법이 없었다.In the wafer burn-in mode, since the scan mode for checking the test result of the memory device cannot be used, there is no method of immediately checking the test result of the memory device.

따라서, 상기 웨이퍼 번-인 테스트에서 상기 패키지 번-인 테스트와 동일한 테스트를 수행할 수 있고, 상기 번-인 테스트 결과를 바로 알 수 있는 번-인 테스트 방법이 요구된다.Therefore, a burn-in test method capable of performing the same test as the package burn-in test in the wafer burn-in test and immediately knowing the burn-in test result is required.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 웨이퍼 번-인 단계에서 정적 번-인 모드, 동적 번-인 모드, 및 스캔 모드 테스트 모드들을 수행할 수 있는 메모리 장치 및 메모리 장치의 테스트 방법을 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a memory device and a test method of the memory device capable of performing the static burn-in mode, the dynamic burn-in mode, and the scan mode test modes in the wafer burn-in step. .

본 발명에 따른 메모리 장치는 메모리 블락; 다수의 모드 선택신호들을 수신하기 위한 다수의 입력핀들; 상기 다수의 모드 선택신호들에 기초하여 다수의 모드 신호들 중에서 어느 하나를 인에이블시켜 출력하기 위한 테스트 모드 선택블락; 수신되는 모드 신호에 응답하여 번-인 클락신호, 어드레스, 및 테스트 패턴을 생성하는 패턴 발생블락; 상기 메모리 블락으로 출력되는 상기 테스트 패턴과 상기 메모 리 블락으로부터 독출된 테스트 패턴을 수신하여 서로 비교하고, 비교 결과를 출력하는 테스트 패턴 비교 블락; 및 상기 비교 결과를 호스트로 출력하기 위한 출력핀을 구비한다.A memory device according to the present invention includes a memory block; A plurality of input pins for receiving a plurality of mode selection signals; A test mode selection block for enabling and outputting any one of a plurality of mode signals based on the plurality of mode selection signals; A pattern generation block for generating a burn-in clock signal, an address, and a test pattern in response to the received mode signal; A test pattern comparison block configured to receive the test pattern output to the memory block and the test pattern read from the memory block, compare each other, and output a comparison result; And an output pin for outputting the comparison result to the host.

상기 패턴 발생블락은 상기 수신되는 모드신호에 응답하여 상기 번-인 클락 신호를 출력하기 위한 클럭 발생 블락; 상기 번-인 클락 신호와 제1선택신호에 기초하여 어드레스를 카운트하여 출력하고, 어드레스 카운트시 발생되는 MSB 캐리 비트를 출력하기 위한 어드레스 카운터 블락; 및 상기 수신되는 모드 신호에 기초하여 상기 제1선택신호 또는 제2선택신호중 어느 하나를 출력하고, 상기 MSB 캐리비트에 응답하여 상기 테스트 패턴을 생성하는 테스트 패턴 발생 블락을 구비한다.The pattern generation block may include a clock generation block for outputting the burn-in clock signal in response to the received mode signal; An address counter block for counting and outputting an address based on the burn-in clock signal and a first selection signal, and outputting an MSB carry bit generated when the address is counted; And a test pattern generation block configured to output one of the first selection signal and the second selection signal based on the received mode signal, and generate the test pattern in response to the MSB carry bit.

상기 다수의 모드 신호들 각각은 정적 번-인(Static burn-in) 모드, 동적 번-인(dynamic burn-in) 번-인 모드, 또는 스캔(scan) 모드를 각각 선택하기 위한 신호이고, 상기 패턴발생기로 수신되는 모드 신호는 동적 번-인 모드 신호 또는 스캔 모드 신호 중 어느 하나이다. 상기 정적 번-인 모드, 동적 번-인 모드, 및 스캔 모드는 상기 메모리 장치의 웨이퍼 상태에서 수행될 수 있는 테스트 모드이다.Each of the plurality of mode signals is a signal for selecting a static burn-in mode, a dynamic burn-in burn-in mode, or a scan mode, respectively, The mode signal received by the pattern generator is either a dynamic burn-in mode signal or a scan mode signal. The static burn-in mode, dynamic burn-in mode, and scan mode are test modes that can be performed in the wafer state of the memory device.

상기 제1선택신호는 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드 시 로우 어드레스(Row address) 및 칼럼 어드레스(Column address) 중에서 어느 것을 먼저 어드레싱 할 것인가를 선택하기 위한 신호이고, 상기 제2선택신호는 스캔(Scan) 모드 시 상기 테스트 패턴을 기록(Write)할 것인가 또는 재생(Read)할 것인가를 선택하는 신호이다.The first selection signal is a signal for selecting which of a row address and a column address to be addressed first in the dynamic burn-in mode, and the second selection signal. Is a signal for selecting whether to write or read the test pattern in the scan mode.

상기 MSB 캐리비트는 제1MSB 또는 제2MSB 중 어느 하나이고, 상기 어드레스 카운터 블락은 상기 번-인 클럭 신호 및 상기 제1MSB를 수신하고, 상기 제1선택신호에 응답하여 상기 번-인 클럭 신호 또는 상기 제1MSB 중 어느 하나를 출력하는 제1선택회로; 다수의 어드레스 카운터들을 구비하고, 상기 제1선택회로의 출력신호에 응답하여 제1어드레스를 카운트하여 출력하고, 상기 제1어드레스 카운트시 발생되는 상기 제2MSB를 출력하는 제1어드레스 카운터 블락; 상기 번-인 클럭 신호 및 상기 제2MSB를 수신하고, 상기 제1선택신호에 응답하여 상기 번-인 클럭 신호 또는 상기 제2MSB 중 어느 하나를 출력하는 제2선택회로; 및 다수의 어드레스 카운터들을 구비하고, 상기 제2선택회로의 출력신호에 응답하여 제2어드레스를 카운트하여 출력하고, 상기 제2어드레스 카운트시 발생되는 상기 제1MSB를 출력하는 제2어드레스 카운터 블락을 구비한다.The MSB carry bit is either the first MSB or the second MSB, and the address counter block receives the burn-in clock signal and the first MSB, and responds to the first select signal to the burn-in clock signal or the MSB. A first selection circuit outputting any one of the first MSBs; A first address counter block having a plurality of address counters, counting and outputting a first address in response to an output signal of the first selection circuit, and outputting the second MSB generated when the first address is counted; A second selection circuit which receives the burn-in clock signal and the second MSB and outputs either the burn-in clock signal or the second MSB in response to the first selection signal; And a second address counter block having a plurality of address counters, counting and outputting a second address in response to an output signal of the second selection circuit, and outputting the first MSB generated when the second address is counted. do.

상기 테스트 패턴 발생 블락은 상기 테스트 패턴을 생성하여 출력하기 위한 다수의 카운터들을 구비한다.The test pattern generation block includes a plurality of counters for generating and outputting the test pattern.

본 발명에 따른 메모리 장치의 테스트 방법은 다수의 모드 선택신호들을 수신하는 단계; 상기 다수의 모드 선택신호들에 기초하여 다수의 모드 신호들 중에서 어느 하나를 인에이블시켜 출력하는 단계; 상기 수신된 모드 신호에 응답하여 패턴 신호들을 생성하여 출력하는 단계; 및 메모리 블락으로 출력되는 데이타 패턴과 상기 메모리 블락으로부터 독출된 데이타 패턴을 수신하여 서로 비교하고, 비교 결과를 출력하는 단계를 구비한다.A test method of a memory device according to the present invention includes: receiving a plurality of mode selection signals; Enabling and outputting any one of a plurality of mode signals based on the plurality of mode selection signals; Generating and outputting pattern signals in response to the received mode signal; And receiving a data pattern output from the memory block and a data pattern read from the memory block, comparing the data pattern with each other, and outputting a comparison result.

상기 패턴 신호를 생성하는 단계는 수신된 모드 신호에 응답하여 번-인 클락 신호를 출력하는 단계; 상기 번-인 클락 신호와 제1선택신호에 기초하여 어드레스 를 카운트하여 출력하고, 어드레스 카운트시 발생되는 MSB 캐리 비트를 출력하는 단계; 및 상기 수신된 모드 신호에 기초하여 상기 제1선택신호 또는 제2선택신호를 출력하고, 상기 MSB 캐리비트에 응답하여 상기 테스트 패턴을 생성하는 단계를 구비한다.The generating of the pattern signal may include outputting a burn-in clock signal in response to the received mode signal; Counting and outputting an address based on the burn-in clock signal and a first selection signal, and outputting an MSB carry bit generated when the address is counted; And outputting the first selection signal or the second selection signal based on the received mode signal, and generating the test pattern in response to the MSB carry bit.

상기 제1선택신호는 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드 시 로우 어드레스(Row address) 및 칼럼 어드레스(Column address) 중에서 어느 것을 먼저 어드레싱 할 것인가를 선택하기 위한 신호이고, 상기 제2선택신호는 스캔(Scan) 모드 시 상기 테스트 패턴을 기록(Write)할 것인가 또는 재생(Read)할 것인가를 선택하는 신호이다.The first selection signal is a signal for selecting which of a row address and a column address to be addressed first in the dynamic burn-in mode, and the second selection signal. Is a signal for selecting whether to write or read the test pattern in the scan mode.

상기 메모리 장치의 테스트 방법은 상기 메모리 장치의 웨이퍼(Wafer) 상태에서 수행된다.The test method of the memory device is performed in a wafer state of the memory device.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재번호를 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like reference numerals.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치의 블락도를 나타낸다. 도 1을 참조하면, 상기 메모리 장치(1)는 다수의 입력핀들(100), 모드 선택블락(200), 패턴 발생블락(300), 메모리 블락(400), 패턴 비교 블락(500), 및 출력핀(600)을 구 비한다.1 illustrates a block diagram of a memory device according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, the memory device 1 includes a plurality of input pins 100, a mode selection block 200, a pattern generation block 300, a memory block 400, a pattern comparison block 500, and an output. A pin 600 is provided.

상기 다수의 입력핀들(100)은 모드 선택신호들(S1 및 S2)을 수신하여 상기 모드 선택블락(200)으로 출력한다.The plurality of input pins 100 receives mode selection signals S1 and S2 and outputs them to the mode selection block 200.

상기 모드 선택블락(200)은 상기 모드 선택신호들(S1 및 S2)을 수신하고, 수신된 상기 모드 선택신호들(S1 및 S2)의 조합에 기초하여 모드 신호들(예컨데, 정적 번-인 모드 신호(Static burn-in), 동적 번-인 모드 신호(Dynamic burn-in), 및 스캔 모드 신호(SCAN) 중에서 어느 하나를 선택하게 된다.The mode selection block 200 receives the mode selection signals S1 and S2 and based on the combination of the received mode selection signals S1 and S2, the mode signals (eg, the static burn-in mode). One of a signal (static burn-in), a dynamic burn-in mode signal (dynamic burn-in), and a scan mode signal (SCAN) is selected.

예컨데, 상기 모드 선택신호들(S1 및 S2) 각각이 'Low, Low'(또는 '0, 0')일 경우에는 상기 정적 번-인 모드 신호(Static burn-in)가 인에이블 되고, 'Low, High'(또는 '0, 1')일 경우에는 동적 번-인 모드 신호(Dynamic burn-in), 'Low, Low'(또는 '1,1')일 경우에는 스캔 모드 신호(SCAN)가 인에이블된다. For example, when each of the mode selection signals S1 and S2 is 'Low, Low' (or '0, 0'), the static burn-in mode signal Static burn-in is enabled and 'Low' , High '(or' 0, 1 '), dynamic burn-in mode signal (Dynamic burn-in),' Low, Low '(or' 1, 1 ') scan mode signal (SCAN) Is enabled.

상기 패턴 발생 블락(300)은 상기 동적 번-인 모드 신호(Dynamic burn-in) 또는 상기 스캔 모드 신호(SCAN) 중에서 어느 하나를 수신한다.The pattern generation block 300 receives one of the dynamic burn-in mode signal and the scan mode signal SCAN.

상기 패턴 발생 블락(300)은 번-인 클락 발생부(310), 어드레스 발생부(320), 및 테스트 패턴 발생부(330)를 구비한다.The pattern generation block 300 includes a burn-in clock generator 310, an address generator 320, and a test pattern generator 330.

상기 번-인 클락 발생부(310)는 입력되는 모드 신호(예컨데, 동적 번-인 모드신호 또는 스캔 모드 신호 중 어느 하나)를 수신하고, 수신된 상기 모드 신호에 응답하여 번-인 클락 신호(CLK)를 출력한다.The burn-in clock generator 310 receives an input mode signal (for example, one of a dynamic burn-in mode signal and a scan mode signal), and in response to the received mode signal, burn-in clock signal ( CLK).

상기 번-인 클락 신호(CLK)의 클락 사이클(Cycle)은 빠른 클락 사이클(예컨데, 15ns ~ 100ns)을 가지며 여러 단계의 사이클 옵션(Cycle option)이 가능하도록 구현될 수 있다. 따라서, 상기 번-인 클락 발생부(310)는 상기 메모리 블락(400)의 동작 속도에 상응하여 상기 번-인 클락 사이클을 선택적으로 출력할 수 있다.The clock cycle of the burn-in clock signal CLK has a fast clock cycle (for example, 15 ns to 100 ns) and may be implemented to enable various cycle options. Accordingly, the burn-in clock generator 310 may selectively output the burn-in clock cycle corresponding to the operating speed of the memory block 400.

상기 어드레스 카운터(320)는 상기 번-인 클락 신호(CLK)에 응답하여 어드레스를 순차적으로 카운터하여 상기 발생된 어드레스를 상기 메모리 블락(400)으로 출력한다.The address counter 320 sequentially counters the addresses in response to the burn-in clock signal CLK and outputs the generated addresses to the memory block 400.

도 2는 도1에 도시된 어드레스 카운터의 블락도를 나타낸다. 도 2를 참조하면, 상기 어드레스 카운터(320)는 제1선택 블락(321), 제1어드레스 카운터 블락(322), 제2선택 블락(323), 및 제2어드레스 카운터 블락(324)을 구비한다.FIG. 2 shows a block diagram of the address counter shown in FIG. Referring to FIG. 2, the address counter 320 includes a first selection block 321, a first address counter block 322, a second selection block 323, and a second address counter block 324. .

상기 제1선택 블락(321)은 상기 번-인 클락신호(CLK) 및 제1MSB(Most Significant Bit)를 수신하고, 상기 테스트 패턴 발생블락(330)으로부터 출력되는 제1선택신호(X-Fast/Y-Fast) 또는 어드레스 모드 선택신호(SEL)에 응답하여 상기 번-인 클락신호(CLK) 또는 상기 제1MSB 중 어느 하나를 출력한다.The first selection block 321 receives the burn-in clock signal CLK and a first Most Significant Bit (MSB), and outputs the first selection signal X-Fast / from the test pattern generation block 330. The burn-in clock signal CLK or the first MSB is output in response to the Y-Fast or the address mode selection signal SEL.

상기 제1선택신호(X-Fast/Y-Fast)는 동적 번-인 모드시 로우 어드레스 및 칼럼 어드레스 중에서 어느 것을 먼저 어드레싱 할 것인가를 선택하기 위한 신호이고, 상기 어드레스 모드 선택신호(SEL)는 스캔 모드시 로우 어드레스 및 칼럼 어드레스 중에서 어느 것을 먼저 어드레싱 할 것인가를 선택하기 위한 신호이다.The first selection signal X-Fast / Y-Fast is a signal for selecting which of a row address and a column address to be addressed first in the dynamic burn-in mode, and the address mode selection signal SEL is a scan. In mode, it is a signal for selecting which of the row address and the column address to be addressed first.

상기 제1어드레스 블락(322)은 다수의 어드레스 카운터들(322-1, 322-2, ..., 322-n)을 구비하고, 상기 제1선택 블락(321)의 출력신호에 응답하여 제1어드레스(예컨데, 로우(Row) 어드레스)를 카운트하여 출력하고, 상기 제1어드레스 카운트시 발생되는 MSB 캐리비트를 제2MSB로써 출력한다. 여기서, MSB 캐리비트는 마지 막 어드레스 카운터(322-n)에서 발생되는 캐리비트이다.The first address block 322 is provided with a plurality of address counters 322-1, 322-2,..., 322-n, and in response to an output signal of the first selection block 321. One address (e.g., a row address) is counted and output, and the MSB carry bit generated at the first address count is output as the second MSB. Here, the MSB carry bit is a carry bit generated at the last address counter 322-n.

상기 제2선택 블락(323)은 상기 번-인 클락신호(CLK) 및 상기 제2MSB를 수신하고, 상기 테스트 패턴 발생블락(330)으로부터 출력되는 상기 제1선택신호(X-Fast/Y-Fast) 또는 상기 어드레스 모드 선택신호(SEL)에 응답하여 상기 번-인 클락신호(CLK) 또는 제2MSB를 중 어느 하나를 출력한다.The second selection block 323 receives the burn-in clock signal CLK and the second MSB and outputs the first selection signal X-Fast / Y-Fast output from the test pattern generation block 330. Or one of the burn-in clock signal CLK or the second MSB in response to the address mode selection signal SEL.

상기 제2어드레스 블락(324)은 다수의 어드레스 카운터들(324-1, 324-2, ..., 324-n)을 구비하고, 상기 제2선택블락(323)의 출력신호에 응답하여 제2어드레스(예컨데, 칼럼(Column) 어드레스)를 카운트하여 출력하고, 상기 제2어드레스 카운트시 발생되는 MSB 캐리비트를 상기 제1MSB로써 출력한다. 여기서, MSB 캐리 비트는 마지막 어드레스 카운터(324-n)에서 발생되는 캐리비트이다.The second address block 324 includes a plurality of address counters 324-1, 324-2,..., 324-n, and in response to an output signal of the second selection block 323. Two addresses (e.g., column addresses) are counted and output, and the MSB carry bit generated at the second address count is output as the first MSB. Here, the MSB carry bit is a carry bit generated at the last address counter 324-n.

즉, 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드시 상기 제1선택 블락(321)은 제1선택신호(X-fast/Y-fast)의 제1레벨(예컨데, 레벨 'High')에 응답하여 상기 번-인 클락신호(CLK)를 출력하고, 제2레벨(예컨데, 레벨 'Low')에 응답하여 제1MSB를 출력한다. 상기 제2선택 블락(323)은 상기 제1선택신호(X-fast/Y-fast)의 제1레벨(예컨데, 레벨 'High')에 응답하여 제2MSB를 출력하고, 상기 제2레벨(예컨데, 레벨 'Low')에 응답하여 상기 번-인 클락신호(CLK)를 출력한다.That is, in the dynamic burn-in mode, the first selection block 321 responds to the first level of the first selection signal X-fast / Y-fast (eg, level 'High'). To output the burn-in clock signal CLK and output the first MSB in response to a second level (eg, level 'Low'). The second selection block 323 outputs a second MSB in response to a first level of the first selection signal X-fast / Y-fast (for example, the level 'High'), and outputs the second MSB. , In response to the level 'Low', outputs the burn-in clock signal CLK.

따라서, 상기 어드레스 카운터 블락(320)은 상기 제1선택신호(X-fast/Y-fast)의 제1레벨(예컨데, 레벨 'High') 주기 동안 제1어드레스(예컨데, 로우(Row) 어드레스)부터 제2어드레스(예컨데, 칼럼(Column) 어드레스)의 순으로 어드레스를 카운트하여 출력하고, 상기 제1MSB를 상기 테스트 패턴 발생블락(330)으로 출력되 는 MSB 캐리 비트로써 출력한다. Accordingly, the address counter block 320 may include a first address (eg, a low address) during a first level (eg, level 'high') period of the first selection signal X-fast / Y-fast. Address is counted and output in order of a second address (eg, column address), and the first MSB is output as an MSB carry bit outputted to the test pattern generation block 330.

반면에, 상기 제1선택신호(X-fast/Y-fast)의 제2레벨(예컨데, 레벨 'Low') 주기 동안은 제2어드레스(예컨데, 칼럼(Column) 어드레스)부터 제1어드레스(예컨데, 로우(Row) 어드레스)의 순으로 어드레스를 카운트하여 출력하고, 상기 제2MSB를 상기 테스트 패턴 발생블락(330)으로 출력되는 MSB 캐리비트로써 출력한다.On the other hand, during the second level (eg, level 'Low') period of the first selection signal X-fast / Y-fast, the first address (eg, column address) to the first address (eg Address is counted and output in order of a row address, and the second MSB is output as an MSB carry bit outputted to the test pattern generation block 330.

상기 스캔 모드 시에는 상기 스캔 모드 신호(SCAN)에 기초하여 어드레스 모드 선택신호(SEL)를 발생하기 위하여 어드레스 선택블락(미도시)이 더 구비될 수 있다. 상기 어드레스 모드 선택 신호(SEL)는 상기 어드레스 카운터 블락(320)을 하나의 어드레스 카운터 패스로만 동작시키기 위하여 하나의 신호 레벨로 고정될 수 있다.In the scan mode, an address selection block (not shown) may be further provided to generate an address mode selection signal SEL based on the scan mode signal SCAN. The address mode selection signal SEL may be fixed at one signal level to operate the address counter block 320 only with one address counter path.

예를 들어, 상기 어드레스 모드 선택신호(SEL)가 제1레벨(예컨데, 'High')만을 가질 경우 상기 어드레스 카운터 블락(320)은 상기 제1어드레스(예컨데, 로우(Row) 어드레스)에서 제2어드레스(예컨데, 칼럼(Column) 어드레스)의 순으로 어드레스를 카운트하여 동작하고, 상기 어드레스 모드 선택신호(SEL)가 제2레벨(예컨데, 'Low'만을 가질 경우 상기 어드레스 카운터 블락은 상기 제2어드레스(예컨데, 칼럼(Column) 어드레스)에서 제1어드레스(예컨데, 로우(Row) 어드레스)의 순으로 어드레스를 카운트하여 동작한다. For example, when the address mode selection signal SEL has only a first level (eg, 'High'), the address counter block 320 may have a second address at the first address (eg, a low address). When the address is counted in order of address (for example, column address), and the address mode selection signal SEL has only a second level (for example, 'Low'), the address counter block is the second address. It operates by counting addresses in order of first address (for example, row address) from (for example, column address).

상기 테스트 패턴 발생 블락(330)은 상기 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드 신호 또는 스캔(Scan) 모드 신호 중 어느 하나 및 상기 어드레스 카운터블락(320)으로부터 출력되는 MSB 캐리비트를 수신하여 테스트 패턴을 발생한다.The test pattern generation block 330 receives one of the dynamic burn-in mode signal or the scan mode signal and the MSB carry bit output from the address counter block 320 to test the test pattern generation block 330. Generates a pattern.

도 3은 도 1에 도시된 테스트 패턴 발생 블락의 내부 블락도를 나타다. 도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 테스트 패턴 발생 블락(330)은 다수의 테스트 패턴을 생성하기 위한 번-인 스테이트 카운터들(Burn-in state counter; 331, 332, 및 333))을 구비한다.FIG. 3 shows an internal block diagram of the test pattern generation block shown in FIG. 1. 1 to 3, the test pattern generation block 330 includes burn-in state counters 331, 332, and 333 for generating a plurality of test patterns. .

예컨데, 제1 번-인 스테이트 카운터(331)는 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드에서는 제1선택신호(X-fast/Y-fast)의 레벨을 결정하고, 상기 스캔(Scan) 모드에서는 제2선택신호(Write/Read)의 레벨을 결정한다. 상기 제2선택신호(Write/Read)는 스캔 모드시 상기 테스트 패턴을 기록할 것인가 또는 재생할 것인가를 선택하는 신호이다.For example, the first burn-in state counter 331 determines the level of the first selection signal (X-fast / Y-fast) in the dynamic burn-in mode and the scan mode. Determines the level of the second selection signal (Write / Read). The second selection signal Write / Read is a signal for selecting whether to record or reproduce the test pattern in the scan mode.

제2 번-인 스테이트 카운터(332)는 데이터 패턴을 이븐(Even) 데이터와 오드(Odd) 데이터를 동일한 레벨로 출력할 것인가 또는 이븐(Even) 데이터와 오드(Odd) 데이터를 서로 반전시켜서 출력할 것인가를 결정한다. The second burn-in state counter 332 outputs the data pattern even data and odd data at the same level or inverts the even data and odd data. Decide if

제3 번-인 스테이트 카운터(333)는 데이터 패턴을 로우(Low)로 할 것인가 하이(High)로 할 것인가를 결정한다.The third burn-in state counter 333 determines whether to make the data pattern low or high.

상기 제2번-인 스테이트 카운터(332)와 상기 제3 번-인 스테이트 카운터(333)의 출력에 기초하여 상기 테스트 패턴 발생 블락(330)은 데이터 패턴(예컨데, 00/FF/AA/55)을 출력한다.Based on the output of the second in-state counter 332 and the third burn-in state counter 333, the test pattern generation block 330 may generate a data pattern (eg, 00 / FF / AA / 55). Outputs

다시 말하면, 상기 테스트 패턴 발생 블락(330)은 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드 또는 스캔(Scan) 모드에 따라 각각 8개의 테스트 패턴을 생성하여 상기 메모리 블락(400)으로 출력한다.In other words, the test pattern generation block 330 generates eight test patterns according to a dynamic burn-in mode or a scan mode, and outputs eight test patterns to the memory block 400.

도 4a는 동적 번-인 모드시 테스트 패턴의 예를 나타내고, 도 4b는 스캔 모드시 테스트 패턴의 예를 나타낸다. 도 3내지 도 4b를 참조하면, 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드시 상기 테스트 패턴 발생 블락(330)은 제1선택신호(X-Fast 또는 Y-Fast)와 데이타 패턴(예컨데, 00/FF/AA/55)에 따라 8개의 테스트 패턴(도 4a)을 생성할 수 있다.4A shows an example of a test pattern in the dynamic burn-in mode, and FIG. 4B shows an example of a test pattern in the scan mode. 3 to 4B, in the dynamic burn-in mode, the test pattern generation block 330 may include a first selection signal (X-Fast or Y-Fast) and a data pattern (eg, 00 Eight test patterns (FIG. 4A) can be generated according to / FF / AA / 55).

스캔(Scan) 모드 시에는 상기 테스트 패턴 발생 블락(330)은 제2선택신호(Write/Read)와 상기 데이타 패턴(예컨데, 00/FF/AA/55)에 따라 8개의 테스트 패턴(도 4b)을 생성할 수 있다. In the scan mode, the test pattern generation block 330 includes eight test patterns according to a second selection signal (Write / Read) and the data pattern (for example, 00 / FF / AA / 55) (FIG. 4B). Can be generated.

결국, 상기 패턴 발생 블락(330)은 상기 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드 또는 상기 스캔(Scan) 모드에 따라서 상기 테스트 패턴들(도 4a 또는 도 4b)을 상기 메모리 블락(400)으로 출력한다.As a result, the pattern generation block 330 transfers the test patterns (FIG. 4A or FIG. 4B) to the memory block 400 according to the dynamic burn-in mode or the scan mode. Output

상기 메모리 블락(400)은 로우(Row) 어드레스 패스(410), 칼럼(Column) 어드레스 패스(420) 및 테이타 인(Data in) 패스(430), 데이타 아웃(out) 패스(440), 및 메모리 셀 어레이(450)를 구비한다.The memory block 400 includes a row address path 410, a column address path 420 and a data in pass 430, a data out pass 440, and a memory. The cell array 450 is provided.

상기 로우(Row) 어드레스 패스(410), 및 칼럼(Column) 어드레스 패스(420)는 상기 모드 선택블락(200)으로부터 출력되는 동적 번-인 모드 신호와 어드레스 카운터 블락(320)으로부터 출력되는 어드레스 신호를 수신하여 상기 메모리 셀 어레이(450)의 워드라인과 데이타 라인을 활성화한다.The row address path 410 and the column address path 420 may be a dynamic burn-in mode signal output from the mode selection block 200 and an address signal output from the address counter block 320. And activates the word line and the data line of the memory cell array 450.

상기 메모리 블락(400)은 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드 또는 스캔(Scan) 모드에 따라서 어드레스(Address) 및 테스트 패턴들(예컨데, 도 4a 또는 도 4b)을 상기 로우/칼럼 어드레스 패스(410, 420), 및 데이타 인 패스(430)를 통하여 상기 테스트 패턴을 수신하여 상기 메모리 셀 어레이(450)로 출력한다.The memory block 400 transfers address and test patterns (eg, FIG. 4A or FIG. 4B) to the row / column address path according to a dynamic burn-in mode or a scan mode. The test patterns are received through the data in passes 410 and 420, and output to the memory cell array 450.

또한, 스캔(Scan) 모드 시 상기 메모리 블락(400)은 수신되는 테스트 패턴의 상태(state)에 응답하여 상기 메모리 셀 어레이(450)에 데이타 패턴(예컨데, 00/FF/AA/55)을 기록하거나, 상기 메모리 셀 어레이(450)에 기록된 데이타 패턴(예컨데, 00/FF/AA/55)을 상기 데이타 아웃 패스(440)를 통하여 출력한다.In addition, in the scan mode, the memory block 400 writes a data pattern (eg, 00 / FF / AA / 55) to the memory cell array 450 in response to a state of a received test pattern. Alternatively, the data pattern (eg, 00 / FF / AA / 55) recorded in the memory cell array 450 is output through the data out pass 440.

상기 테스트 패턴 비교 블락(500)은 스캔(Scan) 모드시 테스트 패턴에 의하여 상기 메모리 셀 어레이(450)에 기록된 데이타 패턴(예컨데, 00/FF/AA/55)과, 상기 테스트 패턴의 상태에 응답하여 상기 메모리 셀 어레이(450)로부터 재생되는 데이타 패턴(예컨데, 00/FF/AA/55)을 수신하여 서로 비교하고, 비교 결과를 출력하게 된다.The test pattern comparison block 500 includes a data pattern (eg, 00 / FF / AA / 55) recorded in the memory cell array 450 by a test pattern in a scan mode, and a state of the test pattern. In response, data patterns (for example, 00 / FF / AA / 55) reproduced from the memory cell array 450 are received and compared with each other, and a comparison result is output.

설명의 용이함을 위하여 본 발명의 실시예에 따른 8스테이트로 구성된 테스트 패턴을 예로 들어 설명하면, 도 4b를 다시 참조하면, 상기 제1스테이트에서는 '00' 패턴을 상기 메모리 블락으로 출력하여 기록하고, 제2스테이트에서 상기 '00'패턴을 재생한다.For convenience of explanation, a test pattern composed of eight states according to an embodiment of the present invention will be described as an example. Referring back to FIG. 4B, the first state outputs and writes a '00' pattern to the memory block. The '00' pattern is reproduced in the second state.

상기 재생된 '00'패턴은 상기 데이타 아웃 패스(440)를 통하여 상기 비교 블락(500)으로 출력되고, 동시에 상기 테스트 패턴 발생 블락(330)은 '00'패턴을 상기 비교블락(500)으로 출력하게 된다.The reproduced '00' pattern is output to the comparison block 500 through the data out pass 440, and at the same time, the test pattern generation block 330 outputs a '00' pattern to the comparison block 500. Done.

즉, 4개의 데이타 패턴(예컨데, 00/FF/AA/55)을 기록/재생(Write/Read)을 각각 수행함으로 8개의 테스트 스테이트를 반복적으로 수행한다.That is, eight test states are repeatedly performed by writing / reading each of four data patterns (eg, 00 / FF / AA / 55).

결국, 상기 패턴 비교 블락(500)은 테스트 패턴 발생블락(330)으로부터 출력된 '00' 데이타 패턴과 상기 메모리 블락(400)으로부터 출력되는 '00'데이타 패턴의 재생(Read) 결과를 수신하여 서로 비교하고, 비교 결과를 패스/패일(Pass/Fail) 신호로써 상기 출력핀(600)을 통하여 출력한다.As a result, the pattern comparison block 500 receives a read result of a '00' data pattern output from the test pattern generation block 330 and a '00' data pattern output from the memory block 400 to each other. The comparison result is output through the output pin 600 as a pass / fail signal.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 실시 예를 응용하여 구성할 수 있는 테스트 방법들을 나타낸다. 도 5a를 참조하면, 본 발명에 따른 메모리 장치(1)는 상기 웨이퍼 번-인 테스트 수행시 정적 번-인(Static burn-in) 모드 테스트를 수행한 후(S11) 스캔(Scan) 모드를 수행하여 그 결과를 출력하고(S12, S13), 그 결과에 기초하여 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드를 수행한 후(S14), 다시 상기 스캔(Scan) 모드를 수행하여(S15) 상기 메모리 장치(1)의 불량을 판단하도록 구현할 수 있다(S16).5A and 5B illustrate test methods that can be configured by applying an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 5A, the memory device 1 performs a scan mode after performing a static burn-in mode test (S11) when performing the wafer burn-in test. Output the result (S12, S13), perform a dynamic burn-in mode based on the result (S14), and then perform the scan mode again (S15) It may be implemented to determine the failure of the memory device 1 (S16).

도 5 b를 참조하면, 상기 웨이퍼 번-인 테스트 수행시 정적 번-인(Static burn-in) 모드 및 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드를 연속하여 수행한 후(S21, S22) 스캔(Scan) 모드를 수행하여(S23) 최종적으로 상기 메모리 장치(1)의 불량을 판단하도록 구현할 수 있다(S24). 본 발명의 실시예에서는 2가지의 실시 예를 들어 설명하였으나, 더 다양한 방법으로 웨이퍼 번-인(Wafer burn-in) 테스트 방법을 구현할 수 있다.Referring to FIG. 5B, the wafer burn-in test is performed after performing a static burn-in mode and a dynamic burn-in mode in succession (S21 and S22). The scan mode may be performed (S23) to finally determine the failure of the memory device 1 (S24). In the embodiment of the present invention, two embodiments have been described, but a wafer burn-in test method may be implemented by more various methods.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치의 테스트 방법을 나타내는 순선도이다. 도 1 및 도 6을 참조하면,상기 메모리 장치(1)의 웨이퍼 번-인(Wafer burn-in) 모드가 시작되면 상기 메모리 장치(1)는 다수의 입력핀들(100)을 통하여 테스트 선택신호(S1 및 S2)를 수신하고(S710), 수신된 테스트 선택신호(S1 및 S2)에 기초하여 다수의 모드 신호들 중에서 어느 하나를 인에이블 시킨다(S720).6 is a flowchart illustrating a test method of a memory device according to an exemplary embodiment of the present invention. 1 and 6, when a wafer burn-in mode of the memory device 1 is started, the memory device 1 receives a test selection signal through a plurality of input pins 100. S1 and S2 are received (S710), and one of the plurality of mode signals is enabled based on the received test selection signals S1 and S2 (S720).

상기 다수의 모드 신호들 각각은 정적 번-인(Static burn-in) 모드, 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드, 또는 스캔(Scan) 모드 중 어느 하나를 선택하기 위한 신호이다.Each of the plurality of mode signals is a signal for selecting any one of a static burn-in mode, a dynamic burn-in mode, and a scan mode.

상기 다수의 모드 신호들 중에서 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드, 또는 스캔(Scan) 모드 신호 중 어느 하나가 인에이블되면 모드 선택블락(200)은 패턴 발생블락(300)으로 상기 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드 신호, 또는 스캔(Scan) 모드 신호를 출력한다(S720).If any one of the dynamic burn-in mode or the scan mode signal is enabled among the plurality of mode signals, the mode selection block 200 is the pattern generation block 300. A dynamic burn-in mode signal or a scan mode signal is output (S720).

수신되는 상기 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드 신호, 또는 스캔(Scan) 모드 신호 중 어느 하나에 응답하여 상기 메모리 장치(1)는 번-인 클락신호(CLK)를 출력하고, 상기 번-인 클락신호(CLK)에 응답하여 어드레스(Address)를 순차적으로 카운터하여 출력하고, 어드레스 카운터 시 발생되는 MSB(Most Significant Bit) 캐리 비트를 출력한다. 그리고, 상기 메모리 장치(1)는 상기 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드 신호, 또는 스캔(Scan) 모드 신호 중 어느 하나와 상기 MSB 캐리비트에 응답하여 테스트 패턴들을 발생한다(S730).The memory device 1 outputs a burn-in clock signal CLK in response to the received dynamic burn-in mode signal or scan mode signal. In response to the -in clock signal CLK, the address is sequentially counted and output, and the MSB (Most Significant Bit) carry bit generated at the address counter is output. The memory device 1 generates test patterns in response to any one of the dynamic burn-in mode signal or the scan mode signal and the MSB carry bit (S730).

상기 스캔(Scan) 모드 신호가 인에이블 될 경우 상기 메모리 장치(1)는 상기 메모리 블락(400)으로 출력되는 데이타 패턴과 상기 메모리 블락으로부터 출력되는 데이타 패턴을 서로 비교하고, 비교 결과에 기초하여 상기 메모리 블락(400)의 테스트 결과를 출력한다(S740, S750).When the scan mode signal is enabled, the memory device 1 compares the data pattern output to the memory block 400 with the data pattern output from the memory block and compares the data pattern with the data pattern. The test result of the memory block 400 is output (S740 and S750).

본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 메모리 장치 및 메모리 장치의 테스트 방법은 웨이퍼 번-인 모드시 정적 번-인 모드, 동적 번-인 모드 , 스캔 모드 테스트를 수행할 있으므로 상기 웨이퍼 번-인 테스트의 신뢰성을 높일 수 있고, 또한 패키지 번-인 테스트를 대체할 수 있는 효과가 있다.As described above, the memory device and the test method of the memory device according to the present invention perform the static burn-in mode, the dynamic burn-in mode, and the scan mode test in the wafer burn-in mode. It is possible to increase the performance of the package and to replace the package burn-in test.

Claims (11)

메모리 블락;       Memory block; 다수의 모드 선택신호들을 수신하기 위한 다수의 입력핀들; A plurality of input pins for receiving a plurality of mode selection signals; 상기 다수의 모드 선택신호들에 기초하여 다수의 모드 신호들 중에서 어느 하나를 인에이블시켜 출력하기 위한 테스트 모드 선택블락;A test mode selection block for enabling and outputting any one of a plurality of mode signals based on the plurality of mode selection signals; 수신되는 모드 신호에 응답하여 번-인 클락신호, 어드레스, 및 테스트 패턴을 생성하는 패턴 발생블락;A pattern generation block for generating a burn-in clock signal, an address, and a test pattern in response to the received mode signal; 상기 메모리 블락으로 출력되는 상기 테스트 패턴과 상기 메모리 블락으로부터 독출된 테스트 패턴을 수신하여 서로 비교하고, 비교 결과를 출력하는 테스트 패턴 비교 블락; 및A test pattern comparison block configured to receive the test pattern output to the memory block and the test pattern read from the memory block, compare each other, and output a comparison result; And 상기 비교 결과를 호스트로 출력하기 위한 출력핀을 구비하는 메모리 장치.And an output pin for outputting the comparison result to a host. 제1항에 있어서, 상기 패턴 발생블락은,The method of claim 1, wherein the pattern generation block, 상기 수신되는 모드신호에 응답하여 상기 번-인 클락 신호를 출력하기 위한 클럭 발생 블락;A clock generation block for outputting the burn-in clock signal in response to the received mode signal; 상기 번-인 클락 신호와 제1선택신호에 기초하여 어드레스를 카운트하여 출력하고, 어드레스 카운트시 발생되는 MSB 캐리 비트를 출력하기 위한 어드레스 카운터 블락; 및An address counter block for counting and outputting an address based on the burn-in clock signal and a first selection signal, and outputting an MSB carry bit generated when the address is counted; And 상기 수신되는 모드 신호에 기초하여 상기 제1선택신호 또는 제2선택신호중 어느 하나를 출력하고, 상기 MSB 캐리비트에 응답하여 상기 테스트 패턴을 생성하는 테스트 패턴 발생 블락을 구비하는 메모리 장치.And a test pattern generation block configured to output one of the first selection signal and the second selection signal based on the received mode signal, and generate the test pattern in response to the MSB carry bit. 제1항 및 제2항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 and 2, 상기 다수의 모드 신호들 각각은,Each of the plurality of mode signals, 정적 번-인(Static burn-in) 모드, 동적 번-인(dynamic burn-in) 번-인 모드, 또는 스캔(scan) 모드를 각각 선택하기 위한 신호이고,A signal for selecting a static burn-in mode, a dynamic burn-in burn-in mode, or a scan mode, respectively, 상기 패턴발생기로 수신되는 모드 신호는,The mode signal received by the pattern generator, 동적 번-인 모드 신호 또는 스캔 모드 신호 중 어느 하나인 메모리 장치.A memory device which is either a dynamic burn-in mode signal or a scan mode signal. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 정적 번-인 모드, 동적 번-인 모드, 및 스캔 모드는 상기 메모리 장치의 웨이퍼 상태에서 수행될 수 있는 테스트 모드인 메모리 장치.The static burn-in mode, dynamic burn-in mode, and scan mode are test modes that may be performed in a wafer state of the memory device. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제1선택신호는, The first selection signal, 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드 시 로우 어드레스(Row address) 및 칼럼 어드레스(Column address) 중에서 어느 것을 먼저 어드레싱 할 것인가를 선택하기 위한 신호이고,In the dynamic burn-in mode, the signal selects which of the row address and column address should be addressed first. 상기 제2선택신호는, The second selection signal is, 스캔(Scan) 모드 시 상기 테스트 패턴을 기록(Write)할 것인가 또는 재생(Read)할 것인가를 선택하는 신호인 메모리 장치.The memory device is a signal for selecting whether to write or read the test pattern in the scan mode. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 MSB 캐리비트는 제1MSB 또는 제2MSB 중 어느 하나이고,The MSB carry bit is either one of the first MSB or the second MSB, 상기 어드레스 카운터 블락은,The address counter block, 상기 번-인 클럭 신호 및 상기 제1MSB를 수신하고, 상기 제1선택신호에 응답하여 상기 번-인 클럭 신호 또는 상기 제1MSB 중 어느 하나를 출력하는 제1선택회로;A first selection circuit receiving the burn-in clock signal and the first MSB and outputting either the burn-in clock signal or the first MSB in response to the first selection signal; 다수의 어드레스 카운터들을 구비하고, 상기 제1선택회로의 출력신호에 응답하여 제1어드레스를 카운트하여 출력하고, 상기 제1어드레스 카운트시 발생되는 상기 제2MSB를 출력하는 제1어드레스 카운터 블락;A first address counter block having a plurality of address counters, counting and outputting a first address in response to an output signal of the first selection circuit, and outputting the second MSB generated when the first address is counted; 상기 번-인 클럭 신호 및 상기 제2MSB를 수신하고, 상기 제1선택신호에 응답하여 상기 번-인 클럭 신호 또는 상기 제2MSB 중 어느 하나를 출력하는 제2선택회로; 및A second selection circuit which receives the burn-in clock signal and the second MSB and outputs either the burn-in clock signal or the second MSB in response to the first selection signal; And 다수의 어드레스 카운터들을 구비하고, 상기 제2선택회로의 출력신호에 응답하여 제2어드레스를 카운트하여 출력하고, 상기 제2어드레스 카운트시 발생되는 상기 제1MSB를 출력하는 제2어드레스 카운터 블락을 구비하는 메모리 장치.A second address counter block having a plurality of address counters, counting and outputting a second address in response to an output signal of the second selection circuit, and outputting the first MSB generated at the time of counting the second address; Memory device. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 테스트 패턴 발생 블락은,The test pattern generation block, 상기 테스트 패턴을 생성하여 출력하기 위한 다수의 카운터들을 구비하는 메모리 장치.And a plurality of counters for generating and outputting the test pattern. 다수의 모드 선택신호들을 수신하는 단계;Receiving a plurality of mode selection signals; 상기 다수의 모드 선택신호들에 기초하여 다수의 모드 신호들 중에서 어느 하나를 인에이블시켜 출력하는 단계;Enabling and outputting any one of a plurality of mode signals based on the plurality of mode selection signals; 상기 수신된 모드 신호에 응답하여 패턴 신호들을 생성하여 출력하는 단계; 및Generating and outputting pattern signals in response to the received mode signal; And 메모리 블락으로 출력되는 데이타 패턴과 상기 메모리 블락으로부터 독출된 데이타 패턴을 수신하여 서로 비교하고, 비교 결과를 출력하는 단계를 구비하는 메모리 장치의 테스트 방법.Receiving a data pattern output from the memory block and a data pattern read from the memory block, comparing the data pattern with each other, and outputting a comparison result. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 패턴 신호를 생성하는 단계는,Generating the pattern signal, 수신된 모드 신호에 응답하여 번-인 클락 신호를 출력하는 단계;Outputting a burn-in clock signal in response to the received mode signal; 상기 번-인 클락 신호와 제1선택신호에 기초하여 어드레스를 카운트하여 출력하고, 어드레스 카운트시 발생되는 MSB 캐리 비트를 출력하는 단계; 및Counting and outputting an address based on the burn-in clock signal and a first selection signal, and outputting an MSB carry bit generated when the address is counted; And 상기 수신된 모드 신호에 기초하여 상기 제1선택신호 또는 제2선택신호를 출력하고, 상기 MSB 캐리비트에 응답하여 상기 테스트 패턴을 생성하는 단계를 구비 하는 메모리 장치의 테스트 방법.Outputting the first selection signal or the second selection signal based on the received mode signal, and generating the test pattern in response to the MSB carry bit. 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 제1선택신호는,The first selection signal, 동적 번-인(Dynamic burn-in) 모드 시 로우 어드레스(Row address) 및 칼럼 어드레스(Column address) 중에서 어느 것을 먼저 어드레싱 할 것인가를 선택하기 위한 신호이고,In the dynamic burn-in mode, the signal selects which of the row address and column address should be addressed first. 상기 제2선택신호는, The second selection signal is, 스캔(Scan) 모드 시 상기 테스트 패턴을 기록(Write)할 것인가 또는 재생(Read)할 것인가를 선택하는 신호인 메모리 장치의 테스트 방법.The test method of a memory device, which is a signal for selecting whether to write or read the test pattern in a scan mode. 제8항에 있어서,       The method of claim 8, 상기 메모리 장치의 테스트 방법은,The test method of the memory device, 상기 메모리 장치의 웨이퍼(Wafer) 상태에서 수행되는 메모리 장치의 테스트 방법.A test method of a memory device performed in a wafer state of the memory device.
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CN116125182A (en) * 2023-04-17 2023-05-16 深圳市鼎泰佳创科技有限公司 Method for improving aging monitoring efficiency of MCU aging cabinet

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