KR20080044388A - Dual annular heat pipe for a high precision isothermal furnace - Google Patents

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KR20080044388A
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Abstract

A dual annular heat pipe for a high-precision isothermal furnace is provided to achieve high-precision isothermal by maintaining temperature deviation in an uniform area of a high-temperature furnace in a range of ±1 degree by using an annular space between dual pipes as an area acting as a heat pipe. A dual annular heat pipe(10) consists of an inner pipe(12) and an outer pipe(14) forming an annular space, and a wick(20) installed in the annular space. The wick includes an annular part(22) surrounding an outside of the inner pipe and the inside of the outer pipe, and connecting parts(26) vertically connecting inner and outer annual parts of each pipe at regular intervals for forming communicating spaces(24) between the annular parts. A heating medium of the annular space between the inner pipe and the outer pipe is heated by a heating source installed at the outside of the outer pipe for generating vapor at the inside of the outer pipe. The generated vapor moves in a radial direction through the communicating spaces of the wick and condenses at an outer wall of the inner pipe to transfer heat. The condensed vapor is returned to an external heating source through the connecting parts by capillary power of the wick to have high-precision isothermal.

Description

고정밀 등온 가열로용 이중관 환형 히트 파이프{DUAL ANNULAR HEAT PIPE FOR A HIGH PRECISION ISOTHERMAL FURNACE}DUAL ANNULAR HEAT PIPE FOR A HIGH PRECISION ISOTHERMAL FURNACE}

도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 이중관 환형 히트 파이프의 단면을 나타내는 단면도이고,1 is a cross-sectional view showing a cross section of a double tube annular heat pipe according to an embodiment of the present invention,

도 2는 도 1의 히트 파이프를 채용하여 제작한 고정밀 등온 가열로의 내부 구조를 나타내는 개략도이고,FIG. 2 is a schematic diagram showing an internal structure of a high precision isothermal heating furnace manufactured by employing the heat pipe of FIG. 1,

도 3은 본 발명의 히트 파이프를 적용한 경우와 적용하지 않은 경우의 열처리로 내부의 온도변화를 측정한 결과를 나타내는 그래프이다.Figure 3 is a graph showing the results of measuring the temperature change inside the heat treatment furnace when the heat pipe of the present invention is applied and not applied.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : 이중 환형 히트 파이프 12 : 내측 파이프10: double annular heat pipe 12: inner pipe

14 : 외측 파이프 20 : 모세관 구조물14 outer pipe 20 capillary structure

22 : 환형부 24 : 연통공간22: annular portion 24: communication space

26 : 연결부 30 : 단열부재26: connection portion 30: heat insulating member

본 발명은 기상응축 열교환 방법을 이용하는 히트 파이프에 관한 것으로, 보 다 상세하게는 이중관 환형구조로서 온도편차를 ±1도로 유지할 수 있는 고정도 등온성을 가지므로서, 500℃이상, 특히 600-850℃의 고온로의 유니폼 구역내의 온도편차를 현저하게 줄일수 있는 고정밀 등온 가열로용 히트 파이프에 관한 것이다.The present invention relates to a heat pipe using a vapor condensation heat exchange method, more specifically, a double tube annular structure having a high-precision isothermal temperature that can maintain a temperature deviation of ± 1 degree, more than 500 ℃, in particular 600-850 The present invention relates to a heat pipe for a high-precision isothermal furnace that can significantly reduce the temperature deviation in a uniform region of a high temperature furnace of ℃.

잘 알려진 바와 같이, 기상응축 열교환 방법을 이용하는 히트 파이프(heat pipe)는 밀폐 용기내부의 작동 유체가 연속적으로 기-액간의 상변화 과정을 통하여 용기의 양단사이에 열을 전달한다. 이러한 히트 파이프는 잠열을 이용하여 열을 이동시킴으로써 통상적인 열전달 기기에 비해 매우 큰 열전달 성능을 발휘한다. 즉 가열부와 냉각부의 작은 온도차로도 대량의 열을 전달하는 높은 열전달 능력 때문에 히트파이프는 산업용 배기열 회수용 열교환기, 반도체 냉각장치, 전자장비의 냉각 등 200℃미만의 저온 반도체 냉각과 열전달 장치용으로 이용되어 왔다.As is well known, a heat pipe using the vapor condensation heat exchange method transfers heat between the two ends of the vessel through the process of gas-liquid phase change of the working fluid in the sealed vessel. These heat pipes use latent heat to transfer heat, resulting in very large heat transfer performance compared to conventional heat transfer equipment. In other words, heat pipes are used for low temperature semiconductor cooling and heat transfer devices of less than 200 ° C, such as heat exchangers for industrial exhaust heat recovery, semiconductor cooling devices, and cooling of electronic equipment, due to the high heat transfer capacity that transfers a large amount of heat even with a small temperature difference between the heating part and the cooling part. Has been used.

한편, 히트 파이프는 밀폐 용기내부의 작동유체가 포화상태에서 상변화를 이루기 때문에 열원이 가해지는 증발부 또는 응축하면서 열을 내어놓는 응축부는 상변화 과정에서의 등온 열전달을 이루는 고유의 특성을 나타내는 바, 히트 파이프 제작업체에서는 이러한 등온성을 히트 파이프의 제작 성능에 대한 판단기준으로 사용하기도 한다.On the other hand, the heat pipe has a unique characteristic of achieving isothermal heat transfer during the phase change process because the working fluid inside the sealed container makes a phase change in saturation state, and thus the condensation part that gives out heat while condensing is applied. However, heat pipe manufacturers often use this isotherm as a criterion for their heat pipe fabrication performance.

또한, 이러한 상변화 과정에서의 등온성을 이용하면, 등온 벽면 또는 등온 가열을 이룰 수 있으므로, 이러한 원리를 이용하여 예를 들어 80-150℃의 웨이퍼 상에서 ±0.1℃ 미만의 고정밀 등온성을 이루는 CVD 고정용 베이크 플레이트로 개발되어 적용되고 있다.In addition, by using isothermality in such a phase change process, isothermal wall surface or isothermal heating can be achieved, and by using this principle, for example, CVD that achieves high precision isothermality of less than ± 0.1 ° C on a wafer of 80-150 ° C. It is developed and applied as a fixed baking plate.

하지만, 일반적으로 튜브형인 종래의 가열로에서는 온도편차를 최소화하고자 유니폼 구역을 위한 서브 구역을 별도의 부가장치로서 추가로 구성하여 온도구배를 줄이고 있지만, 상기 부가장치를 추가 구성한다 하더라도 온도편차의 감소에는 한계가 있으며, 등온성을 높일수록 부가장치의 크기도 더불어서 증가하여 대규모의 장비를 사용할 수 밖에 없어서 제품의 원가를 상승하게 되어 결국 가격경쟁력 및 품질과 생산성 저하의 원인이 되고 있다. 특히 직경이 50mm인 튜브형 전기로의 경우, 유니폼 구역을 위한 서브 구역을 추가 구성하더라도 대류현상으로 인하여 약 ±3℃ 이상의 온도 오차가 생기게 될 뿐만 아니라, 나노 및 반도체 산업에서의 나노 파이버와, LCD, PDP 등의 제조공정에서 요구되는 고정밀 열처리용으로서 사용시, 상기의 온도편차로 인하여 제품의 불균일이 발생되는 문제가 있었고, 열전대 검증용 로에서는 계측단계에서의 데이터 오류나 불량으로 인하여 생산량의 50-80%의 손실이 발생되는 문제도 있었다.However, in the conventional heating furnace, which is generally tubular, to further reduce the temperature gradient by additionally configuring a sub-zone for the uniform area as a separate additional device in order to minimize the temperature deviation, even if the additional device is additionally configured, the temperature deviation is reduced. There is a limit, and as the isothermality increases, the size of the additional device increases as well, so that a large amount of equipment can be used, thereby increasing the cost of the product, which in turn causes price competitiveness, quality and productivity. Especially in the case of 50mm diameter tubular electric furnace, even if additional subdivisions for uniform zones are added, convection causes temperature error of about ± 3 ℃ or more, as well as nanofibers, LCD, PDP in nano and semiconductor industry. When used as a high-precision heat treatment required in the manufacturing process, such as the non-uniformity of the product occurs due to the above temperature deviation, the thermocouple verification furnace has 50-80% of the production volume due to data errors or defects in the measurement step There was also a problem of loss.

따라서, 본 발명은 이에 따라 안출된 것으로, 그 목적은 이중관 환형구조를 이루므로서, 500℃이상, 특히 600-850℃의 고온로의 유니폼 구역내의 온도편차를 현저하게 줄일수 있는 고정밀 등온 가열로용 이중 환형 히트 파이프를 제공하는 것이다.Therefore, the present invention has been devised according to the present invention, and its object is to achieve a double tube annular structure, so that the high-precision isothermal heating furnace can significantly reduce the temperature deviation in the uniform region of the high temperature furnace of 500 ° C. or higher, especially 600-850 ° C. To provide a double annular heat pipe.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 이중 환형 히트 파이프는 환형의 밀폐용기로서 이중관 구조를 이루어 사이에 환상공간을 형성하는 내측 파이프 및 외측 파이프와, 상기 내측 파이프와 외측 파이프사이의 환상공간에 설치되는 모세관 구조물로 구성되며, 상기 모세관 구조물은 내측 파이프의 외면과 외측 파이프의 내 면을 둘러싸는 환형부와, 각 파이프의 외면과 내면의 환형부을 서로 등간격으로 수직으로 연결하여, 각 환형부사이에 복수개의 연통공간을 형성하는 연결부를 포함함으로서, 상기 내외측 파이프 사이의 환상공간내의 작동유체는 외측 파이프의 외측면에 설치된 가열원에 의해 가열되어 외측 파이프의 내면에서 증기를 발생하고, 발생한 증기는 모세관 구조물의 연통공간을 통해 반경방향으로 이동한 후, 내측 파이프의 외벽에서 응축하며 열을 전달하게 되고, 응축한 증기는 외측 파이프와 내측 파이프사이의 환상공간에 설치된 모세관 구조물의 모세관력에 의해 연결부를 통해 액체상태로 증발부인 외측 가열원으로 귀환되어 고정밀의 등온성을 가지는 것을 특징으로 한다.The double annular heat pipe of the present invention for achieving this object is an annular hermetically sealed container which is provided in an annular space between an inner pipe and an outer pipe forming a double pipe structure to form an annular space therebetween, and an annular space between the inner pipe and the outer pipe. Capillary structure, wherein the capillary structure is formed by connecting the annular portion surrounding the outer surface of the inner pipe and the inner surface of the outer pipe and the annular portions of the outer surface and inner surface of each pipe at equal intervals vertically, a plurality of between each annular portion By including a connecting portion forming the communication space, the working fluid in the annular space between the inner and outer pipe is heated by a heating source installed on the outer surface of the outer pipe to generate steam in the inner surface of the outer pipe, the generated steam is capillary tube After moving radially through the communication space of the structure, The condensed vapor transfers heat, and the condensed vapor is returned to the external heating source, which is an evaporation part, in a liquid state through the connection part by capillary force of the capillary structure installed in the annular space between the outer pipe and the inner pipe, so that it has high precision isothermal property. It is characterized by.

본 발명에 의하면, 이중관 사이의 환상 공간이 히트 파이프로서 작동하는 영역이 되므로, 즉 외부 파이프의 외측면에 가열원이 설치되고, 내부 파이프의 내면에서 응축이 발생함에 따라 등온벽면을 이루게되며, 피가열체의 등온 가열원이 됨에 따라 외부 파이프의 내면에서 발생한 증기는 반경방향으로 이동한 후, 내측 외벽에서 응축하며 열을 전달하므로, 고정도 등온성을 가지게 되며, 이러한 이중관 구조의 환형 히트 파이프를 채용함으로서, 가열로 유니폼 존내의 온도편차를 ±1℃로 유지하여 고정밀의 등온성을 달성하게 된다.According to the present invention, since the annular space between the double pipes becomes an area acting as a heat pipe, that is, a heating source is installed on the outer surface of the outer pipe, and condensation occurs on the inner surface of the inner pipe to form an isothermal wall surface. As the isothermal heating source of the heating element, steam generated in the inner surface of the outer pipe moves radially and then condenses on the inner outer wall to transfer heat, and thus has high precision isothermality. By employing, the temperature deviation in the uniform uniform zone of the furnace is maintained at ± 1 ° C to achieve high precision isothermality.

또한 본 발명은 온도편차를 줄이기 위한 부가장치가 필요없게 되므로, 부품 및 조립비 등 원가 절감 및 크기 감소에 의한 냉각손실과 가열과정에서의 부하의 경감에 의한 에너지를 절감하는 효과 등의 부가적 효과가 있으며, 더구나 탁월한 등온효과로 인하여 고품질의 제품 생산용 장비를 국산화함과 동시에, 열전대 검증 용 표준화 사업, 반도체등 첨단산업에도 적용이 가능하고, 특히 고온로 분야의 정밀도에 대한 산업적 수요와 이를 만족시킬 새로운 개념의 고정밀 등온 가열로로써 매우 큰 파급 효과를 가진다.In addition, since the present invention eliminates the need for an additional device for reducing the temperature deviation, additional effects such as energy loss due to cost reduction and size reduction, such as parts and assembly costs, and energy saving due to light load reduction during the heating process are required. Moreover, due to its outstanding isothermal effect, it is possible to localize the equipment for producing high quality products, and to apply it to the thermocouple verification standardization business and the high-tech industry such as semiconductor. It is a new concept of high precision isothermal furnace and has very large ripple effect.

이하, 첨부된 도면에 의거 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 따른 이중관 환형 히트 파이프의 구성 및 작동을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of a double tube annular heat pipe according to a preferred embodiment of the present invention according to the accompanying drawings will be described in detail.

먼저, 도 1에는 은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 이중관 환형 히트 파이프의 단면을 나타내는 것으로, 도시된 바와 같이, 본 발명의 히트 파이프(10)는 내측 파이프(12)과 외측 파이프(14)의 이중관 구조를 이루는 환형의 밀폐용기로서, 내측 파이프(12)과 외측 파이프(14)사이에 환상공간에 적절한 구조물의 모세관 구조물(wick)(20)로 구성된다.First, Figure 1 is a cross-sectional view of a double tube annular heat pipe according to a preferred embodiment of the present invention, as shown, the heat pipe 10 of the present invention is the inner pipe 12 and the outer pipe 14 An annular hermetically sealed container constituting a double tube structure, the capillary structure (wick) 20 of a structure suitable for an annular space between the inner pipe 12 and the outer pipe 14.

내외측 파이프(12)(14)는 스테인레스강을 사용하였으며, 작동유체는 임계온도이하의 작동온도를 유지할 수 있도록 하기 위하여 액체금속이 요구되며, 나트륨, 칼륨, 리튬등의 알칼리 금속이 바람직하다.The inner and outer pipes 12 and 14 are made of stainless steel, and the working fluid requires a liquid metal to maintain an operating temperature below a critical temperature. An alkali metal such as sodium, potassium, or lithium is preferable.

모세관 구조물(20)은 내측 파이프(12)의 외면과 외측 파이프(14)의 내면을 둘러싸는 환형부(22)와, 각 파이프(12,14)의 외면과 내면의 환형부(22)을 서로 등간격으로 수직으로 연결하여, 각 환형부(22)사이에 복수개의 연통공간(24)을 형성하는 연결부(26)로 구성된다.The capillary structure 20 has an annular portion 22 surrounding the outer surface of the inner pipe 12 and the inner surface of the outer pipe 14, and an annular portion 22 on the outer surface and inner surface of each pipe 12, 14. Vertically connected at equal intervals, the connecting portion 26 forms a plurality of communication spaces 24 between the annular portions 22.

이와 같이 구성된 본 발명의 이중관 환형 히트 파이프(10)는 외측 파이프(14)의 외측면에 가열원(도시하지 않음)을 설치함으로서, 외측 파이프(14)의 외 면을 통하여 열이 들어가서(Qin), 내측 파이프(12)의 내면으로 열이 나가게 됨에 따라(Qout), 내측 파이프(12)의 내면에서 응축이 발생하여 등온벽면을 이루게 되며 피가열체의 등온 가열원이 된다..The double pipe annular heat pipe 10 of the present invention configured as described above is provided with a heating source (not shown) on the outer surface of the outer pipe 14 so that heat enters through the outer surface of the outer pipe 14 (Qin). As the heat goes out to the inner surface of the inner pipe 12 (Qout), condensation occurs on the inner surface of the inner pipe 12 to form an isothermal wall surface and becomes an isothermal heating source of the heating element.

그 결과, 내외측 파이프(12,14)사이의 환상공간내의 작동유체가 가열되어 외측 파이프(14)의 내면에서 증기를 발생하고, 발생한 증기는 모세관 구조물(20)의 연통공간(24)을 통해 반경방향으로 이동한 후, 내측 파이프(14)의 외벽에서 응축하며 열을 전달하게 된다. 이때 응축한 증기는 외측 파이프(14)와 내측 파이프(12)사이의 환상공간에 설치된 모세관 구조물(20)의 모세관력에 의해 연결부(26)를 통해 액체상태로 증발부인 외측 가열원으로 귀환된다.As a result, the working fluid in the annular space between the inner and outer pipes 12 and 14 is heated to generate steam at the inner surface of the outer pipe 14, and the generated steam is passed through the communication space 24 of the capillary structure 20. After moving radially, it condenses on the outer wall of the inner pipe 14 and transfers heat. At this time, the condensed vapor is returned to the outer heating source, which is an evaporation part, in a liquid state through the connection part 26 by the capillary force of the capillary structure 20 installed in the annular space between the outer pipe 14 and the inner pipe 12.

한편, 도 2에는 이상과 같이 구성된 본 발명의 히트 파이프(10)를 적용하여 제작한 고정밀 등온 가열로의 내부 구조를 개략적으로 나타내고 있다. 도면 중, (32)는 콘트롤러용 열전쌍(thermo-couple)이고, (34)는 측정용 열전쌍을 나타내며, (36)은 단열부재로서, 히트 파이프(10) 양단 가장자리의 단열조건이 로 내부의 수평 등온조건에 큰 영향을 주는 바, 이를 고려하여 설치하였고, 히트 파이프(10)는 스테인레스강으로 작동유체는 나트륨을 사용하여 열처리로 내부의 온도 변화를 측정하였다.2, the internal structure of the high-precision isothermal heating furnace produced by applying the heat pipe 10 of this invention comprised as mentioned above is shown schematically. In the figure, reference numeral 32 denotes a thermo-couple for the controller, reference numeral 34 denotes a measurement thermocouple, reference numeral 36 denotes a heat insulating member, and heat insulating conditions at both ends of the heat pipe 10 are horizontal. Bar has a great effect on the isothermal condition, was installed in consideration of this, the heat pipe 10 was made of stainless steel and the working fluid was measured using sodium to heat the internal temperature of the furnace.

그 결과, 도 3에 도시된 바와 같이, 히트 파이프를 적용한 튜브로에서는 전구간에 걸쳐 약 ±3℃의 온도편차를 나타내었으나, 히트 파이프를 적용한 튜브로에서는 전구간에 걸쳐 ±1℃이내의 온도편차를 나타내었다.As a result, as shown in FIG. 3, the temperature fluctuation of the tube pipe to which the heat pipe was applied showed a temperature deviation of about ± 3 ° C. over the entire period, but the temperature deviation of ± 1 ° C. to the whole of the tube pipe was applied to the tube path to the heat pipe. Indicated.

지금까지 상술한 본 발명의 설명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였으 나, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않는 것으로, 예를 들면, 이상에서는 내외측 파이프사이의 환상공간에 모세관 구조물을 설치하는 히트 파이프 및 이 히트 파이프를 이용하는 고정밀 등온로에 관한 것이나, 신뢰성 확보를 위한 금속의 고온 부식과 같은 수명안정성 및 히트 파이프를 포함하는 가열방법의 선정과 설치구조, 가열원의 제어 및 계측등에 대해서는 추가적인 개발이 요구됨은 물론이다. 이에 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 청구범위에 기재된 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변경 실시가 가능할 것이다. 따라서 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고, 특허청구범위에 의해 정하여져야 한다.In the above description of the present invention, specific embodiments have been described, but the present invention is not limited to the above-described embodiments. For example, the capillary structure is installed in the annular space between the inner and outer pipes. The present invention relates to heat pipes and high precision isothermal furnaces using the heat pipes, and to selecting and installing heating methods including heat pipes and life stability, such as high temperature corrosion of metals, to ensure reliability. Of course, development is required. Accordingly, those skilled in the art to which the present invention pertains will be capable of various modifications without departing from the spirit of the invention as set forth in the claims below. Therefore, the scope of the invention should not be defined by the described embodiments, but should be defined by the claims.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 이중관 환형 히트 파이프는 이중관 사이의 환상 공간이 히트 파이프로서 작동하는 영역이 되므로, 가열로 유니폼 존내의 온도편차를 ±1℃로 유지하여 고정밀의 등온성을 달성하게 된다.As described above, the double-pipe annular heat pipe of the present invention becomes an area where the annular space between the double pipes acts as a heat pipe, so that the temperature deviation in the uniform zone of the furnace is maintained at ± 1 ° C to achieve high precision isothermality. do.

또한 본 발명은 이상과 같은 히트 파이프를 적용한 고정밀 등온 가열로 온도편차를 줄이기 위한 부가장치가 필요없으므로 부품 및 조립비 등 원가 절감 및 크기 감소에 의한 냉각손실과 가열과정에서의 부하의 경감에 의한 에너지를 절감하는 효과 등의 부가적 효과가 있으며, 더구나 탁월한 등온효과로 인하여 고품질의 제품 생산용 장비를 국산화함과 동시에, 열전대 검증용 표준화 사업, 반도체등 첨단산업에도 적용이 가능하고, 특히 고온로 분야의 정밀도에 대한 산업적 수요와 이를 만족시킬 새로운 개념의 고정밀 등온 가열로로써 매우 큰 파급 효과를 가진다.In addition, the present invention does not require an additional device for reducing the temperature deviation of the high-precision isothermal heating furnace employing the heat pipe as described above, thus reducing energy loss due to cooling loss due to cost reduction and size reduction, such as parts and assembly costs, and reducing the load in the heating process. There are additional effects such as saving effect. Moreover, due to the excellent isothermal effect, it is possible to localize the equipment for producing high quality products, and to apply it to the high-tech industry such as thermocouple verification standardization business and semiconductor. It is an industrial demand for precision and a new concept of high precision isothermal furnace that will satisfy it.

Claims (2)

고정밀 등온 가열로용 이중관 환형 히트 파이프에 있어서,In the double pipe annular heat pipe for high precision isothermal furnace, 환형의 밀폐용기로서 이중관 구조를 이루어 사이에 환상공간을 형성하는 내측 파이프 및 외측 파이프와,An inner pipe and an outer pipe which form an annular space between the annular hermetically sealed containers and form an annular space therebetween; 상기 내측 파이프와 외측 파이프사이의 환상공간에 설치되는 모세관 구조물로 구성되며,Consists of a capillary structure installed in the annular space between the inner pipe and the outer pipe, 상기 모세관 구조물은 내측 파이프의 외면과 외측 파이프의 내면을 둘러싸는 환형부와, 각 파이프의 외면과 내면의 환형부을 서로 등간격으로 수직으로 연결하여, 각 환형부사이에 복수개의 연통공간을 형성하는 연결부를 포함함으로서,The capillary structure includes an annular portion surrounding the outer surface of the inner pipe and the inner surface of the outer pipe and a vertical connection between the outer surface and the inner surface of each pipe at equal intervals to form a plurality of communication spaces between the annular portions. By including 상기 내외측 파이프 사이의 환상공간내의 작동유체는 외측 파이프의 외측면에 설치된 가열원에 의해 가열되어 외측 파이프의 내면에서 증기를 발생하고, 발생한 증기는 모세관 구조물의 연통공간을 통해 반경방향으로 이동한 후, 내측 파이프의 외벽에서 응축하며 열을 전달하게 되고, 응축한 증기는 외측 파이프와 내측 파이프사이의 환상공간에 설치된 모세관 구조물의 모세관력에 의해 연결부를 통해 액체상태로 증발부인 외측 가열원으로 귀환되어 고정밀의 등온성을 가지는 것을 특징으로 하는The working fluid in the annular space between the inner and outer pipes is heated by a heating source installed on the outer surface of the outer pipe to generate steam at the inner surface of the outer pipe, and the generated steam moves radially through the communication space of the capillary structure. Then, condensation is transferred from the outer wall of the inner pipe to transfer heat, and the condensed vapor is returned to the outer heating source, which is an evaporation part, in a liquid state through the capillary force of the capillary structure installed in the annular space between the outer pipe and the inner pipe. Characterized by high precision isothermal 고정밀 등온 가열로용 이중 환형 히트 파이프.Double annular heat pipes for high precision isothermal furnaces. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 작동유체는 임계온도이하의 작동온도를 유지할 수 있는 액체금속으로, 나트륨, 칼륨, 리튬등의 알칼리 금속이 바람직한 것을 특징으로 하는The working fluid is a liquid metal capable of maintaining an operating temperature below a critical temperature, and an alkali metal such as sodium, potassium, or lithium is preferable. 고정밀 등온 가열로용 이중관 환형 히트 파이프.Double tube annular heat pipes for high precision isothermal furnaces.
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