KR20080030193A - Method for reparing liquid crystal display device and apparatus for the same - Google Patents

Method for reparing liquid crystal display device and apparatus for the same Download PDF

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KR20080030193A
KR20080030193A KR1020060095955A KR20060095955A KR20080030193A KR 20080030193 A KR20080030193 A KR 20080030193A KR 1020060095955 A KR1020060095955 A KR 1020060095955A KR 20060095955 A KR20060095955 A KR 20060095955A KR 20080030193 A KR20080030193 A KR 20080030193A
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Abstract

A repair method for LCDs(Liquid Crystal Displays) and a repair equipment for the same are provided to remove foreign substances effectively by judging the location of a foreign substance through a foreign substance detector, partially dissolving an alignment film stained with the foreign substance, and exfoliating the foreign substance from the alignment film. A repair equipment comprises a stage(550), a foreign substance detection part(610), an ink-jet device, a foreign substance removing part(300), and a control part(600). A substrate containing an alignment film is placed on the stage. The foreign substance detection part detects the location of a foreign substance generated on the substrate. The ink-jet device dispenses an organic solvent at the detected location. When the foreign substance is exposed as the alignment film is partially dissolved by the organic solvent, the foreign substance removing part removes it through an adhesive material. The control part receives the location information of the substrate mounted on the stage and the location information of the foreign substance, and delivers the location information of the foreign substance to the ink-jet device and the foreign substance removing part.

Description

액정 표시 장치의 리페어 방법 및 이를 위한 리페어 장비 {Method for Reparing Liquid Crystal Display Device and Apparatus for the Same} Repair method for liquid crystal display device and repair equipment therefor {Method for Reparing Liquid Crystal Display Device and Apparatus for the Same}

도 1은 이물이 발생된 액정 표시 장치를 관찰한 광학 사진1 is an optical picture of observing a liquid crystal display device in which foreign matter is generated

도 2는 도 1의 이물을 포함한 액정 표시 장치를 나타낸 단면도FIG. 2 is a cross-sectional view of a liquid crystal display including the foreign material of FIG. 1. FIG.

도 3은 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어 방법을 나타낸 공정 순서도3 is a process flowchart showing the repair method of the liquid crystal display of the present invention.

도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어 방법을 나타낸 공정 단면도4A to 4C are cross-sectional views illustrating a method for repairing a liquid crystal display of the present invention.

도 5는 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어 장비를 나타낸 공정 개략도5 is a process schematic diagram showing the repair equipment of the liquid crystal display of the present invention.

도 6a 및 도 6b는 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어 방법에 있어서, 이물 제거 수단의 다른 예를 나타낸 도면6A and 6B show another example of the foreign material removing means in the repair method of the liquid crystal display device of the present invention.

*도면의 주요 부분을 나타내는 부호의 설명** Description of Symbols Representing Major Parts of Drawings *

100 : 기판 110 : 어레이 기판100 substrate 110 array substrate

120 : 배향막 130 : 이물120: alignment film 130: foreign matter

200 : 어레이 형성 기판 300 : 이물 제거부200: array forming substrate 300: foreign material removing unit

301 : 지지부 302 : 접착물질301: support portion 302: adhesive material

305 : 미세 포크 311 : 지지부305: fine fork 311: support portion

316 : 지지 필름 320 : 접착층316: support film 320: adhesive layer

본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로 특히, 액정 패널의 기판 내측에 이물이 발생하였을 때 이를 접착 물질을 이용하여 리페어 하는 액정 표시 장치의 리페어 방법 및 이의 리페어 장비에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to a method for repairing a liquid crystal display device and a repair apparatus thereof, in which foreign substances are generated when an foreign material is generated inside a substrate of the liquid crystal panel using an adhesive material.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시 장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms, and in recent years, liquid crystal display devices (LCDs), plasma display panels (PDPs), electro luminescent displays (ELD), and vacuum fluorescent (VFD) Various flat panel display devices such as displays have been studied, and some of them are already used as display devices in various devices.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징 및 장점으로 인하여 이동형 화상 표시 장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송 신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비젼 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, LCD is the most widely used as the substitute for CRT (Cathode Ray Tube) for mobile image display device because of its excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption. In addition to the use of the present invention has been developed in various ways such as a television and a computer monitor for receiving and displaying broadcast signals.

이와 같은 액정 표시 장치가 일반적인 화면 표시 장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비 전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.In order to use such a liquid crystal display as a general screen display device in various parts, it is a matter of how high quality images such as high definition, high brightness and large area can be realized while maintaining the characteristics of light weight, thinness and low power consumption. Can be.

액정 표시 장치는, 일정 공간을 갖고 합착된 제 1 기판 및 제 2 기판과, 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성되어 있다.The liquid crystal display device is comprised from the 1st board | substrate and the 2nd board | substrate which were bonded by the fixed space, and the liquid crystal layer injected between the said 1st board | substrate and the 2nd board | substrate.

보다 구체적으로 설명하면, 상기 제 1 기판에는 화소 영역을 정의하기 위하여 일정한 간격을 갖고 일방향으로 복수개의 게이트 라인과, 상기 게이트 라인에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 복수개의 데이터 라인이 배열된다. 그리고, 상기 각 화소 영역에는 화소 전극이 형성되고, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차하는 부분에 박막 트랜지스터가 형성되어 상기 게이트 라인에 인가되는 신호에 따라 상기 데이터 라인의 데이터 신호를 상기 각 화소 전극에 인가한다.In more detail, the first substrate has a plurality of gate lines in one direction and a plurality of data lines at regular intervals in a direction perpendicular to the gate line to define a pixel area. A pixel electrode is formed in each of the pixel regions, and a thin film transistor is formed at a portion where the gate line and the data line cross each other, and the data signal of the data line is applied to each pixel electrode according to a signal applied to the gate line. To apply.

그리고, 상기 제 2 기판에는 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층이 형성되고, 상기 각 화소 영역에 대응되는 부분에는 색상을 표현하기 위한 R, G, B 컬러 필터층이 형성되고, 상기 컬러 필터층 위에는 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성되어 있다.In addition, a black matrix layer is formed on the second substrate to block light in portions other than the pixel region, and R, G, and B color filter layers are formed on portions corresponding to the pixel regions. The common electrode is formed on the color filter layer to implement an image.

상기와 같은 액정 표시 장치는 상기 화소 전극과 공통 전극 사이의 형성되는 전계에 의해 상기 제 1, 제 2 기판 사이에 형성된 액정층의 액정이 배향되고, 상기 액정층의 배향 정도에 따라 액정층을 투과하는 빛의 양을 조절하여 화상을 표현할 수 있다.In the liquid crystal display as described above, the liquid crystal of the liquid crystal layer formed between the first and second substrates is aligned by an electric field formed between the pixel electrode and the common electrode, and the liquid crystal layer is transmitted through the degree of alignment of the liquid crystal layer. You can express the image by adjusting the amount of light.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 액정 표시 장치를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a liquid crystal display according to the related art will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 이물이 발생된 액정 표시 장치를 관찰한 광학 사진이며, 도 2는 도 1의 이물을 포함한 액정 표시 장치를 나타낸 단면도이다.1 is an optical photograph of a liquid crystal display device in which a foreign material is generated, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the liquid crystal display device including the foreign material of FIG. 1.

도 1과 같이, 이물(20)이 발생된 액정 표시 장치를 광학 현미경을 통해 관찰시 이물(20)이 남은 부위가 빛샘 영역으로 관찰된다. 도 1에서는 이물(20) 화소 전극의 소정 부위에 남아있는 상태를 나타낸 것으로, 도시된 부위 외에도 이러한 이물은 관찰될 수 있다.As shown in FIG. 1, when the liquid crystal display device in which the foreign material 20 is generated is observed through an optical microscope, a portion where the foreign material 20 remains is observed as a light leakage region. In FIG. 1, the foreign material 20 remains in a predetermined portion of the pixel electrode. In addition to the illustrated portion, such foreign matter may be observed.

이러한 이물(20)은 배향막 인쇄 전후 공정에서 주로 발생하고, 현재 이물이 발생할 때, 이를 제거할 수 있는 방안이 없는 상황이다.The foreign material 20 mainly occurs in the process before and after printing the alignment film, and when foreign matter occurs at present, there is no way to remove it.

도 2는 배향막(15)의 형성 후, 이물(20)이 발생한 예를 나타낸 것으로, 액정 표시 장치의 일 기판(10) 상에 박막 트랜지스터 어레이 또는 컬러 필터 어레이의 어레이층(11)을 형성한 후, 배향막(15)을 형성한 후, 상기 배향막(15)의 소정 부위 상에 이물(20)이 남아있을 경우, 도 1과 같은 이물(20)로 관찰된다.2 illustrates an example in which the foreign material 20 is generated after the formation of the alignment layer 15. After forming the array layer 11 of the thin film transistor array or the color filter array on one substrate 10 of the liquid crystal display device, FIG. After the formation of the alignment film 15, when the foreign material 20 remains on a predetermined portion of the alignment film 15, the foreign material 20 is observed as shown in FIG. 1.

상기 이물(20)이 갖는 높이에 의해 이물(20) 발생 부위와 아닌 부위와의 셀 갭 차이가 발생하고, 이에 따라 영역별 셀 갭성 불량이 발생한다. 또한, 상기 이물(20)에 의해 이물(20) 부위의 배향막(15)의 러빙 처리가 원활치 않아, 이물(20) 발생 부위에서 휘점 및 약휘점 불량을 야기한다. 상기 이물(20)은 불규칙한 높이 및 체적을 갖기 때문에 이들 주위로 빛샘이 크게 발생하고, 시간이 지남에 따라 빛샘 영역이 확장되는 현상도 발생할 수 있다. 따라서, 이러한 이물(20)의 발생은 셀 수율을 저하시키는 원인이 된다.According to the height of the foreign material 20, the cell gap difference between the foreign material 20 generation site and the non-local site 20 is generated, thereby causing cell gap defects for each region. In addition, the rubbing treatment of the alignment layer 15 of the foreign material 20 site | part by the said foreign material 20 is not smooth, and causes a bright point and a weak point of a weak point in the foreign material 20 generation site | part. Since the foreign material 20 has an irregular height and volume, light leakage occurs largely around them, and a light leakage region may expand as time passes. Therefore, generation of such foreign matter 20 causes a decrease in cell yield.

일반적으로 높은 그레이(화이트 상태)를 구현하는 경우 빛샘에 의해 일 영역이 어둡게 보이는 것을 암점이라 하고, 낮은 그레이(블랙 상태)를 구현하는 경우 빛샘에 의해 일 영역이 밝게 보이는 것을 휘점이라 한다. 이 때, 사람의 눈은 밝은 상태에서의 암점보다는 상대적으로 어두운 상태에서의 휘점에 민감하게 됨으로써 액정 패널의 양불 판정시 암점보다는 휘점 불량에 더 엄격한 기준을 부여하게 된다. 이에 따라, 휘점 발생에 의한 패널의 불량률을 최소화하기 위한 방안이 요구되고 있다.In general, when a high gray (white state) is implemented, the dark point is that one region is dark due to light leakage, and when a low gray (black state) is implemented, the bright point is shown by the light leakage. In this case, the human eye is sensitive to bright spots in a relatively dark state rather than dark spots in a bright state, thereby imparting stricter criteria to bright spot defects than dark spots when determining whether the liquid crystal panel is poor. Accordingly, a method for minimizing the defective rate of the panel due to bright spots is required.

상기와 같은 종래의 액정 표시 장치는 다음과 같은 문제점이 있다.The conventional liquid crystal display as described above has the following problems.

액정 표시 장치를 형성하는 과정 중 셀 내에 이물이 발생했을 때, 이를 검출 및 제거하는 방법이 전무하였다. When foreign matter occurred in the cell during the process of forming the liquid crystal display, there was no method of detecting and removing it.

이물이 발생할 경우, 이물 발생 부위에 휘점 혹은 약휘점이 발생하여 표시상의 휘도 불균일을 초래하여 사용자의 시감을 저감시킨다. 따라서, 이를 해결하고자 하는 여러가지 노력이 제기되었다. When foreign matter occurs, bright spots or weak spots are generated at the foreign material generation site, causing uneven brightness on the display, thereby reducing the user's sense of vision. Therefore, various efforts have been made to solve this problem.

현재 진행하고 있는 리페어 방법으로 셀 외측(기판 외측)에 처리를 통해 리페어가 이루어지는 점이 있으나, 이 경우는 이물 자체의 제거는 어려워 이물 잔존으로 의해 휘점이 확장되거나 혹은 전도성 이물의 경우 쇼트를 유발하는 점에 대한 해결이 어려웠다. There is a point that repair is performed through the treatment on the outside of the cell (outside of the substrate) as a repair method currently in progress, but in this case, it is difficult to remove the foreign material itself, and the bright point expands due to the remaining foreign material or causes a short in the case of the conductive foreign material. The solution was difficult.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 액정 패널의 기판 내측에 이물이 발생하였을 때 이를 접착 물질을 이용하여 리페어 하는 액정 표시 장치의 리페어 방법 및 이의 리페어 장비를 제공하는 데, 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems and to provide a repair method and a repair equipment of the liquid crystal display device that repairs when foreign matter occurs inside the substrate of the liquid crystal panel using an adhesive material, the object thereof There is this.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어 방법 은 기판을 준비하는 단계와, 상기 기판의 이물이 발생된 부위를 검사하는 단계 및 상기 이물에 접착 물질을 대응시켜, 이물을 상기 기판으로부터 박리하는 단계를 포함하여 이루어지는 것에 그 특징이 있다.The repair method of the liquid crystal display device of the present invention for achieving the above object comprises the steps of preparing a substrate, inspecting a portion where the foreign material is generated of the substrate and by attaching an adhesive material to the foreign material, It is characterized by comprising the step of peeling from the substrate.

여기서, 상기 접착 물질은 지지부에 접착 물질이 도포되며, 접촉면이 상기 이물에 대응되도록 한다.Here, the adhesive material is an adhesive material is applied to the support portion, the contact surface to correspond to the foreign material.

또는, 상기 접착 물질은 상기 지지부에 표면이 평탄한 필름 형태로 부착되며, 그 접촉면이 상기 이물에 대응되도록 한다.Alternatively, the adhesive material is attached to the support in the form of a film having a flat surface, so that the contact surface corresponding to the foreign material.

또한, 상기 기판의 준비 후, 상기 기판 상에 어레이 형성 공정을 진행하는 단계; 및 상기 어레이를 포함한 상기 기판 상에 배향막을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이 때, 상기 기판의 이물의 발생 부위를 검사 후 상기 이물에 접착 물질 대응 전, 상기 이물 발생 부위의 배향막을 녹이는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 배향막을 녹이는 용액은 유기 용제이며, 예를 들어, 상기 유기 용제는 NMP(N-Methyl Pyrrolidone)인 것을 특징으로 한다.In addition, after preparing the substrate, performing an array forming process on the substrate; And forming an alignment layer on the substrate including the array. In this case, the method may further include dissolving the alignment layer of the foreign material generation site after inspecting a foreign material generation site of the substrate and before the adhesive material is applied to the foreign material. The solution for dissolving the alignment layer is an organic solvent. For example, the organic solvent is NMP (N-Methyl Pyrrolidone).

그리고, 이 경우 상기 어레이는 박막 트랜지스터 어레이이거나 컬러 필터 어레이일 수 있다.In this case, the array may be a thin film transistor array or a color filter array.

또한, 동일한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어 장비는 배향막을 포함한 기판이 놓여지는 스테이지와, 상기 기판의 이물이 발생하는 위치를 검출하는 이물 검출부와, 상기 검출된 이물의 위치에 따라 상기 이물 발생 부위에 배향막 유기 용제를 토출하는 잉크젯 장비와, 상기 유기 용제에 의해 이물 부위의 배향막이 녹아 노출된 이물을 접착 물질을 통해 제거하는 이물 제거부 및 상기 스테이지에 장착된 기판의 위치 정보 및 상기 이물 검출부로부터 이물의 위치 정보를 받아들여, 각각 상기 잉크젯 장비와 이물 제거부로 이물의 위치 정보를 전달하는 제어부를 포함하여 이루어짐에 또 다른 특징이 있다.In addition, the repair equipment of the liquid crystal display device of the present invention for achieving the same object includes a stage on which a substrate including an alignment layer is placed, a foreign material detection unit for detecting a position where a foreign material of the substrate occurs, and a position of the detected foreign material. Inkjet equipment for discharging an alignment film organic solvent to the foreign material generation site, a foreign material removal unit for removing the foreign material exposed by melting the alignment film of the foreign material site by the organic solvent, and position information of the substrate mounted on the stage And a controller for receiving the positional information of the foreign matter from the foreign matter detection unit, and transmitting the positional information of the foreign matter to the inkjet apparatus and the foreign material removing unit, respectively.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어 방법 및 이의 리페어 장비를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a repair method and a repair equipment thereof of the liquid crystal display of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어 방법을 나타낸 공정 순서도이며, 도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어 방법을 나타낸 공정 단면도이다.3 is a process flowchart showing the repair method of the liquid crystal display of the present invention, and FIGS. 4A to 4C are process cross-sectional views showing the repair method of the liquid crystal display of the present invention.

도 3 내지 도 4c와 같이, 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어 방법은, 다음의 순서로 이루어진다.3 to 4C, the repair method of the liquid crystal display device of the present invention is performed in the following order.

먼저, 도 4a와 같이, 기판(100) 상에 어레이(110)를 형성(S100)한다. 이 때, 상기 어레이(110)는 박막 트랜지스터, 금속 배선 및 화소 전극 등을 포함한 박막 트랜지스터 어레이일 수도 있고, 블랙 매트릭스층 및 컬러 필터를 포함한 컬러 필터 어레이일 수도 있다.First, as shown in FIG. 4A, an array 110 is formed on a substrate 100 (S100). In this case, the array 110 may be a thin film transistor array including a thin film transistor, a metal wire, a pixel electrode, or the like, or may be a color filter array including a black matrix layer and a color filter.

이어, 상기 어레이(110)를 포함한 기판(100) 상에 배향막(120)을 형성(S101)한다. 이러한 배향막(120) 형성 과정 중에 배향막(120)의 배향 방향을 정하여 주기 위해 러빙 포를 이용하여 상기 배향막(120) 표면을 러빙하는 공정을 진행하는데, 이 과정에서 러빙 포가 떨어지거나 혹은 러빙 공정 중의 기판(100)이 놓여진 대기 중의 파티클 등이 상기 배향막(120) 상에 뭍게 되는 일이 발생할 수 있다.Subsequently, an alignment layer 120 is formed on the substrate 100 including the array 110 (S101). In order to determine the alignment direction of the alignment layer 120 during the formation of the alignment layer 120, a process of rubbing the surface of the alignment layer 120 using a rubbing cloth is performed. In this process, the rubbing cloth falls or the substrate is in the rubbing process. Particles, etc., in the air on which the 100 is placed may float on the alignment layer 120.

이러한 이물(130)이 발생한 부위를, 이물 검출기를 통해 검출하고, 이물이 발생한 부위에 대하여 제거 공정을 수행하게 된다.The foreign matter 130 is detected, the foreign matter detector is detected, the removal process is performed on the foreign matter generated portion.

이 때, 상기 이물 검출(S102)하는 단계는, 상기 배향막이 형성된 상기 기판을 이물 검출기 내에 위치시킨 후, 상기 이물 검출기 내에 스캔이 가능한 장치를 이용하여 상기 기판의 영역들을 차례로 스캔하여, 이물이 발생된 부위를 판단하여 이루어진다. 이 경우, 상기 이물 검출 과정에서 이물(130)의 위치, 크기 및 광학 이미지 등을 검출할 수 있다.In this case, in the foreign material detection (S102), after placing the substrate on which the alignment layer is formed in the foreign material detector, by scanning the regions of the substrate using a device capable of scanning in the foreign material detector, foreign matters are generated. It is done by judging the part which was done In this case, in the foreign material detection process, the position, size and optical image of the foreign material 130 may be detected.

이어, 도 4b와 같이, 상기 이물 검출가 이루어진 해당 기판(100)에 이물이 잔존하는 경우는 이하와 같이, 이물(130) 부위에 접착 물질(또는 접착층)(302)을 대응(S103)시켜, 도 4c와 같이, 상기 배향막(120)으로부터 이물(130)을 박리하는 리페어 작업을 실시하고, 이물(130)이 없다고 판단하는 경우는 해당 기판(100)을 양품으로 보고, 다음 셀 공정 라인으로 이동시킨다.Subsequently, when foreign matter remains on the substrate 100 on which the foreign matter detection is performed, as shown in FIG. 4B, the adhesive material (or adhesive layer) 302 is corresponded (S103) to the foreign material 130 as follows. As in 4c, when a repair operation is performed to separate the foreign material 130 from the alignment layer 120, and it is determined that there is no foreign material 130, the substrate 100 is regarded as good and moved to the next cell process line. .

상기 배향막(120) 상에 이물(130)이 있는 경우, 상기 접착 물질(302)을 상기 이물(130)에 대응시켜 박리하는 공정 중 상기 배향막(120)의 소성 전 이물과의 접착이 이루어지게 되며, 상기 배향막(120)으로 이물이 박리되는 힘이 약할 수 있다. 이 경우에는 상기 배향막(120)의 이물(130) 발생 부위에 대하여, 상기 배향막(120)을 녹일 수 있는 유기 용제를 떨어뜨려 상기 이물(130) 주변에 배향막(120)을 녹인 후, 상기 접착 물질(302)을 상기 이물(130)에 대응시키도록 한다. 이러한 유기 용제는 예를 들어, NMP(N-Methyl Pyrrolidone) 등을 이용할 수 있다.When there is a foreign material 130 on the alignment layer 120, the adhesive material 302 is adhered to the foreign material before firing of the alignment layer 120 in a process of peeling in correspondence with the foreign material 130. In addition, the force of the foreign material peeling to the alignment layer 120 may be weak. In this case, the organic solvent capable of dissolving the alignment layer 120 is dropped on the portion of the foreign material 130 of the alignment layer 120 to dissolve the alignment layer 120 around the foreign material 130, and then the adhesive material. 302 to correspond to the foreign material 130. Such an organic solvent can be used, for example, NMP (N-Methyl Pyrrolidone).

여기서, 상기 접착 물질(302)을 외부로부터 상기 기판(100)측으로의 유입이 가능한 지지대(301)의 표면에 도포하여, 그 접착력을 갖는 부위가 상기 이물(130) 에 대응되도록 하게 한다.Here, the adhesive material 302 is applied to the surface of the support 301 that can be introduced from the outside to the substrate 100 side, so that the portion having the adhesive force corresponds to the foreign material 130.

여기서, 상기 접착 물질(302)은, 접착 성질을 갖는 하나의 물질로 이루어질 수도 있고, 혹은 상기 지지대(301)의 표면에 발려진 일정 면 형상의 필름형으로 형성될 수 있다. 그리고, 필름형일 경우, 상기 지지대(301) 표면측에 부착되는 지지 필름과, 상기 지지 필름 표면으로부터 박리 가능하며, 상기 이물 대응 표면이 접착력을 갖는 접착 필름의 이층형의 구조로 이루어질 수 있으며, 이 경우, 상기 지지 필름과 상기 접착 필름은 외부에서 원형의 테이프 형상으로 말려져 공급되기도 한다.Here, the adhesive material 302 may be made of one material having adhesive properties, or may be formed in a film having a predetermined surface shape applied to the surface of the support 301. And, in the case of a film type, the support film attached to the surface side of the support 301 and the peelable from the support film surface, the foreign material corresponding surface may be made of a two-layer structure of an adhesive film having an adhesive force, In this case, the support film and the adhesive film may be rolled and supplied in a circular tape shape from the outside.

여기서, 상기 지지대(301)는 상기 접착 물질(302)과 함께 이물 제거부로 기능하며, 상기 지지대(301)에 도포되는 접착 물질(302)의 크기는 상기 이물 검출기에서 이물(130)의 크기의 판단에 따라, 결정될 수 있으며, 상기 지지대(301)가 상기 이물(130)의 위치에 대응하여, 상기 기판(100) 상측으로 접촉하여 상기 접착물질(130)에 이물(130)을 접촉시켜 외부로 상기 이물(130)을 박리할 수 있다.Here, the support 301 functions as a foreign material removing unit together with the adhesive material 302, and the size of the adhesive material 302 applied to the support 301 is the size of the foreign material 130 in the foreign material detector. According to the determination, it may be determined, and the support 301 is in contact with the upper portion of the substrate 100 to correspond to the position of the foreign material 130 to contact the foreign material 130 to the adhesive material 130 to the outside The foreign material 130 may be peeled off.

본 발명의 액정 표시 장치의 리페어 방법에서는, 이와 같이, 배향막(120) 상의 이물(130)이 남아있는 부위는 러빙이 이루어지지 않기 때문에, 상기 이물(130)에 인접한 액정의 배향이 이루어지지 않는 문제가 발생하여, 이러한 이물(130) 발생 부위는 블랙 상태에서 휘점으로 관찰된다. 따라서, 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어 방법에서는 이러한 이물을 검출하는 과정과, 이러한 이물을 배향막 표면으로부터 접착 물질을 통해 제거하는 공정을 진행하게 되는 것이다.In the repairing method of the liquid crystal display of the present invention, since the rubbing is not performed on the portion where the foreign material 130 on the alignment layer 120 remains, the alignment of the liquid crystal adjacent to the foreign material 130 is not performed. Is generated, this foreign material 130 generation site is observed as a bright point in the black state. Therefore, in the repair method of the liquid crystal display of the present invention, a process of detecting such foreign matter and a process of removing such foreign matter from the surface of the alignment layer through an adhesive material are performed.

도 5는 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어 장비를 나타낸 공정 개략도이다.5 is a process schematic diagram showing the repair equipment of the liquid crystal display of the present invention.

도 5와 같이, 상술한 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어 방법을 수행하는 리페어 장비는, 크게 검사를 위한 어레이 및 배향막이 형성된 기판(200)이 놓여지는 스테이지(550)와, 상기 기판(200) 상의 이물이 발생하는 위치를 검출하는 이물 검출부(610)와, 검출된 이물의 위치에 따라 상기 이물 발생 부위의 배향막 유기 용제를 토출하는 잉크젯 장비(미도시, 선택적으로 이용 가능)와, 상기 이물 부위의 이물을 접착 물질에 의해 제거하는 이물 제거부(300) 및 상기 이물 제거부(300), 이물 검출부(610) 및 스테이지(550)에서 이물의 위치 정보를 전달하는 제어부(600)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 5, the repair apparatus for performing the repairing method of the liquid crystal display device according to the present invention includes a stage 550 on which a substrate 200 on which an array and an alignment layer are formed for inspection, and the substrate 200 are placed. Foreign material detection unit 610 for detecting the position of the foreign matter on the image, inkjet equipment (not shown, optionally available) for discharging the alignment film organic solvent of the foreign matter generation site according to the detected foreign matter position, and the foreign material site It comprises a foreign material removal unit 300 for removing the foreign matter of the foreign matter and the foreign material removal unit 300, the foreign material detection unit 610 and the control unit 600 for transmitting the position information of the foreign material in the stage 550. .

여기서, 상기 기판(200) 상에는 컬러 필터 어레이 또는 박막 트랜지스터 어레이와 같은 어레이가 형성되어 있으며, 그 상부에 배향막이 형성되어 있다. 상기 기판(200) 상에 어레이를 형성한 후, 세정 공정을 진행 후에도 공정 챔버 내의 파티클이나 이물질 또는 세정 찌꺼기 등이 상기 어레이 상측에 남아있게 되는 현상이 발생할 수 있는 이를 리페어하기 위해 본 발명의 리페어 장비가 이용된다. 여기서, 리페어는 상기 배향막의 형성 후 실시되며, 어레이 및 배향막이 형성된 상기 기판(200)이 상기 스테이지(550)에 장착되어 고정되면, 상기 제어부(600)는 상기 이물 검출부(610)를 가동하여 이물 검출을 진행한다. 이 때, 상기 이물 검출부(610)는 카메라와 같은 스캔 장비가 구비되어 있어, 기판(200)의 각 화소 영역별로 이동하며, 이물의 유무를 검사하게 된다.Here, an array such as a color filter array or a thin film transistor array is formed on the substrate 200, and an alignment layer is formed on the substrate 200. After the array is formed on the substrate 200, even after the cleaning process, the repair equipment of the present invention in order to repair a phenomenon that a phenomenon that particles, foreign matter or cleaning residues, etc. in the process chamber remain on the upper side of the array may occur. Is used. Here, the repair is performed after the formation of the alignment layer, and when the substrate 200 on which the array and the alignment layer are formed is mounted and fixed to the stage 550, the controller 600 operates the foreign object detection unit 610 to operate the foreign material. Proceed with detection. At this time, the foreign matter detection unit 610 is equipped with a scanning device such as a camera, and moves for each pixel region of the substrate 200, and examines the presence or absence of foreign matter.

그리고, 이물 검출부(610)를 통해 검출된 이물 발생 영역에 대한 위치 정보 는 상기 제어부(600)로 전달되어, 상기 제어부(600)로부터 상기 잉크젯 장비 및 상기 이물 제거부(300)는 상기 이물 발생 영역의 위치 정보를 받아, 배향막 유기 용제의 토출 및 노출된 이물의 분리 작업을 통해 이물을 제거한다.In addition, the position information on the foreign matter generation region detected by the foreign matter detection unit 610 is transmitted to the control unit 600, the inkjet equipment and the foreign material removal unit 300 from the control unit 600 is the foreign matter generation region. Receiving the positional information of, the foreign matter is removed by the discharge of the alignment film organic solvent and the separation of the exposed foreign matter.

이러한 리페어 장비를 통한 리페어 과정을 통해, 이물의 제거가 가능하며, 따라서, 이물에 의해 발생할 수 있는 휘점 불량을 방지할 수 있게 된다.Through the repair process through the repair equipment, it is possible to remove the foreign matter, it is possible to prevent the bright point defects that may be caused by the foreign matter.

이러한 본 발명의 리페어 방법은 도시된 배향막을 형성한 공정 후에 진행될 수도 있지만, 경우에 따라 박막 트랜지스터 어레이나 컬러 필터 어레이를 형성하는 공정 중에 각 막을 형성한 후, 검사하여 판단된 이물의 크기에 따라 선택적으로 더 진행될 수도 있다.The repair method of the present invention may be performed after the process of forming the illustrated alignment film, but in some cases, each film is formed during the process of forming the thin film transistor array or the color filter array, and then selected according to the size of the foreign material determined by inspection. It may also proceed further.

또한, 본 발명의 리페어 방법에 있어서, 접착 물질에 의해 이물을 분리해내는 과정에서 이물이 위치한 배향막 표면에서 약간의 흔적이 남을 수 있으나, 이는 이물이 남아있는 경우 휘점을 유발하는 경우에 비해 표시상의 영향력이 거의 없어, 이러한 흔적에 의하여 사용자의 시감을 떨어뜨리는 확률은 거의 적다고 보여진다.In addition, in the repair method of the present invention, a slight trace may remain on the surface of the alignment layer on which the foreign material is located in the process of separating the foreign material by the adhesive material, which is more inferior to the case of causing bright spots when the foreign material remains. Since there is little influence, it is seen that the probability of dropping the user's eyes by this trace is almost low.

도 6a 및 도 6b는 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어 방법에 있어서, 이물 제거 수단의 다른 예를 나타낸 도면이다.6A and 6B are views showing another example of the foreign material removing means in the repair method of the liquid crystal display device of the present invention.

도 6a와 같이, 상기 이물 제거 수단(300)은 접착 물질(302)을 미세 포크(305) 단부에 점착시킨 상태로 이루어질 수도 있고, 도 6b와 같이, 지지 필름(316)과 이로부터 박리될 수 있는 접착필름(320)을 테이프 형상으로 감아만 후 상기 접착필름(320)의 접착면이 상기 이물(130)에 대응되도록 하여 할 수 있다.As illustrated in FIG. 6A, the foreign material removing unit 300 may be formed by adhering the adhesive material 302 to the end of the fine fork 305, and as illustrated in FIG. 6B, the foreign matter removing unit 300 may be peeled from the support film 316. After only winding the adhesive film 320 in a tape shape, the adhesive surface of the adhesive film 320 may correspond to the foreign material 130.

이 때, 도 6a의 미세 포크(305)는 도 4b에 개시된 지지부(301)에 대응되는 기능을 가지며, 외부로부터 이물 검사 위치 판단에 따라 기판(100)의 해당 이물(130) 부위에 접촉할 수 있도록, 기판(100) 상에서 그 위치가 이동될 수 있도록 제어부로부터 제어된다. 또한, 도 6b의 테이프 형상의 접착 필름(320)은 상기 접착 필름(320)이 이물 검사시 검출된 이물(130)의 크기에 따라 분리되어 이용되며, 분리된 접착 필름(320)은 도 6a의 미세 포크(305)나 도 4b에 개시된 지지부(301)에 부착되어 상기 이물(130)에 대응될 수 있다.At this time, the fine fork 305 of FIG. 6A has a function corresponding to the support part 301 disclosed in FIG. 4B, and may contact the corresponding foreign material 130 portion of the substrate 100 according to the foreign material inspection position determination from the outside. So that its position on the substrate 100 can be moved from the controller. In addition, the tape-shaped adhesive film 320 of Figure 6b is used by separating the adhesive film 320 according to the size of the foreign material 130 detected during the foreign material inspection, the separated adhesive film 320 of Figure 6a It may be attached to the fine fork 305 or the support 301 disclosed in FIG. 4B to correspond to the foreign material 130.

한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. On the other hand, the present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, it is possible that various substitutions, modifications and changes within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those of ordinary skill in Esau.

상기와 같은 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어 방법 및 이의 리페어 장비는 다음과 같은 효과가 있다.As described above, the repair method and the repair equipment of the liquid crystal display of the present invention have the following effects.

첫째, 본 발명의 리페어 장비를 이용하여 액정 표시 장치의 리페어 방법을 이용하게 되면, 종래 액정 패널 형성 후 이물 판단에 따른 리페어가 이루어졌던 점에 반해, 셀 내 이물 발생을 직접적으로 제거할 수 있어, 보다 이물에 의해 악영향을 방지하는데 효과적이다.First, when the repair method of the liquid crystal display device is used by using the repair equipment of the present invention, in contrast to the fact that the repair is performed according to the foreign material determination after the formation of the liquid crystal panel, foreign substances in the cell can be directly removed. It is more effective in preventing adverse effects by foreign matters.

둘째, 이물 검출기를 통해 이물의 위치를 정확히 판단하여, 셀 내 이물을 묻어있는 배향막을 부분적으로 녹임으로써, 해당 배향막으로부터 이물을 박리시킬 수 있어, 이물 제거에 효과적이다. Second, by accurately determining the position of the foreign matter through the foreign material detector, by partially melting the alignment film buried the foreign matter in the cell, it is possible to peel off the foreign material from the alignment film, it is effective to remove the foreign material.

셋째, 작업자의 수작업을 요하지 않고, 기판을 좌표화하여 이물 검출기를 통해 해당 좌표의 이물을 기계적으로 검출할 수 있으며, 또한, 좌표로 인식된 이물 부위에 이물 제거가 접착 물질에 의해 물리적으로 이루어질 수 있어, 미세 이물의 검출 및 제거가 용이하다. 특히, 접착 물질과 같이 간단한 물질의 대응만으로 이물 리페어를 수행할 수 있다.Third, foreign matters of the corresponding coordinates can be mechanically detected through the foreign material detector by coordinates the substrate without requiring the manual labor of the operator, and foreign matters can be physically removed by the adhesive material on the foreign material region recognized as the coordinates. It is easy to detect and remove fine foreign matter. In particular, the foreign material repair can be performed only by the correspondence of simple materials such as adhesive materials.

넷째, 액정 표시 장치 제작 중 고질 불량 중의 하나는 환경성 요인에서 기인된 셀 이물 불량이다. 특히, 배향막 형성시 발생한 이물 불량은 현재 이물 검사기가 있어 발견은 가능하나 리페어가 쉽지 않은 이물에 대해 접착 물질을 대응시켜 이물을 접착 물질에 부착시켜 배향막 표면에서 박리해내는 것으로, 고질 불량 제거에 의한 수율 향상을 기대할 수 있다.Fourth, one of poor quality defects in manufacturing a liquid crystal display device is a cell foreign matter defect caused by environmental factors. In particular, foreign material defects generated during the formation of the alignment film are present because there is a foreign material inspection device, but it is possible to find a foreign material that is difficult to repair. Yield improvement can be expected.

Claims (10)

기판을 준비하는 단계;Preparing a substrate; 상기 기판의 이물이 발생된 부위를 검사하는 단계; 및Inspecting a site where a foreign material of the substrate is generated; And 상기 이물에 접착 물질을 대응시켜, 이물을 상기 기판으로부터 박리하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 리페어 방법.A method of repairing a liquid crystal display device, the method comprising: peeling a foreign material from the substrate by applying an adhesive material to the foreign material. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 접착 물질은 지지부에 접착 물질이 도포되며, 접촉면이 상기 이물에 대응되도록 한 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 리페어 방법.The adhesive material is a repair method of the liquid crystal display device, characterized in that the adhesive material is applied to the support portion, the contact surface corresponding to the foreign material. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 접착 물질은 상기 지지부에 표면이 평탄한 필름 형태로 부착되며, 그 접촉면이 상기 이물에 대응되도록 한 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 리페어 방법.The adhesive material is attached to the support in the form of a flat film, the contact surface of the liquid crystal display device, characterized in that the contact surface corresponding to the foreign matter. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판의 준비 후, After preparation of the substrate, 상기 기판 상에 어레이 형성 공정을 진행하는 단계; 및Performing an array forming process on the substrate; And 상기 어레이를 포함한 상기 기판 상에 배향막을 형성하는 단계를 더 포함하 는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 리페어 방법.The method of claim 1, further comprising forming an alignment layer on the substrate including the array. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 기판의 이물의 발생 부위를 검사 후 상기 이물에 접착 물질 대응 전, 상기 이물 발생 부위의 배향막을 녹이는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 리페어 방법.And dissolving the alignment layer of the foreign material generation site after inspecting the foreign material generation site of the substrate and before the adhesive material is applied to the foreign material. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 어레이는 박막 트랜지스터 어레이인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 리페어 방법.The array is a repair method of a liquid crystal display device, characterized in that the thin film transistor array. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 어레이는 컬러 필터 어레이인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 리페어 방법.The array is a repair method of a liquid crystal display device, characterized in that the color filter array. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 배향막을 녹이는 용액은 유기 용제인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 리페어 방법.The solution which melt | dissolves the said oriented film is an organic solvent, The repair method of the liquid crystal display device characterized by the above-mentioned. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 유기 용제는 NMP(N-Methyl Pyrrolidone)인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 리페어 방법.The organic solvent is NMP (N-Methyl Pyrrolidone) repair method of a liquid crystal display device, characterized in that. 배향막을 포함한 기판이 놓여지는 스테이지;A stage on which a substrate including an alignment film is placed; 상기 기판의 이물이 발생하는 위치를 검출하는 이물 검출부;A foreign matter detection unit detecting a position where foreign matter on the substrate occurs; 상기 검출된 이물의 위치에 따라 상기 이물 발생 부위에 배향막 유기 용제를 토출하는 잉크젯 장비;An inkjet device for discharging an alignment layer organic solvent to the foreign matter generation site according to the detected foreign matter position; 상기 유기 용제에 의해 이물 부위의 배향막이 녹아 노출된 이물을 접착 물질을 통해 제거하는 이물 제거부; 및A foreign material removing unit for removing an exposed foreign material by melting the alignment layer of the foreign material site by the organic solvent through an adhesive material; And 상기 스테이지에 장착된 기판의 위치 정보 및 상기 이물 검출부로부터 이물의 위치 정보를 받아들여, 각각 상기 잉크젯 장비와 이물 제거부로 이물의 위치 정보를 전달하는 제어부를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 리페어 장비.And a control unit which receives the positional information of the substrate mounted on the stage and the positional information of the foreign matter from the foreign matter detection unit, and transfers the positional information of the foreign matter to the inkjet apparatus and the foreign material removing unit, respectively.
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