KR20080029598A - Optical fiber having diffraction grating, method of fabricating diffraction grating at cutting plane, and optical apparatus using the same fiber - Google Patents

Optical fiber having diffraction grating, method of fabricating diffraction grating at cutting plane, and optical apparatus using the same fiber Download PDF

Info

Publication number
KR20080029598A
KR20080029598A KR1020060096416A KR20060096416A KR20080029598A KR 20080029598 A KR20080029598 A KR 20080029598A KR 1020060096416 A KR1020060096416 A KR 1020060096416A KR 20060096416 A KR20060096416 A KR 20060096416A KR 20080029598 A KR20080029598 A KR 20080029598A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
diffraction grating
optical fiber
optical
cross
section
Prior art date
Application number
KR1020060096416A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
윤신영
이세형
강현서
Original Assignee
한국전자통신연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국전자통신연구원 filed Critical 한국전자통신연구원
Priority to KR1020060096416A priority Critical patent/KR20080029598A/en
Publication of KR20080029598A publication Critical patent/KR20080029598A/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/02Optical fibres with cladding with or without a coating
    • G02B6/02004Optical fibres with cladding with or without a coating characterised by the core effective area or mode field radius
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/02Optical fibres with cladding with or without a coating
    • G02B6/02057Optical fibres with cladding with or without a coating comprising gratings
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133504Diffusing, scattering, diffracting elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133526Lenses, e.g. microlenses or Fresnel lenses
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04BTRANSMISSION
    • H04B10/00Transmission systems employing electromagnetic waves other than radio-waves, e.g. infrared, visible or ultraviolet light, or employing corpuscular radiation, e.g. quantum communication
    • H04B10/40Transceivers
    • H04B10/43Transceivers using a single component as both light source and receiver, e.g. using a photoemitter as a photoreceiver

Abstract

An optical fiber having a diffraction grating, a method for fabricating a diffraction grating at a cutting plane, and an optical apparatus using the same fiber are provided to enhance reproducibility of the grating by using a photolithography, a femtosecond laser, and a UV ray. An optical fiber(100) includes a core(110) and a cladding(120). The core is formed to transfer an optical signal. The optical fiber is surrounded by the cladding. A diffraction grating(130) is formed on a sectional surface of the optical fiber in order to separate or select the optical signal according to a wavelength. The diffraction grating is a type of a Frensnel diffraction lens having a linear pattern or a circular pattern. The interval and the depth of the linear pattern or the circular pattern has a constant rate or is increased or decreased in a constant rate in order to be separated or selected according to the wavelength.

Description

단면에 회절격자가 형성된 광섬유, 그 광섬유에 회절격자 형성방법 및 그 광섬유를 이용한 광학 장치{Optical fiber having diffraction grating, method of fabricating diffraction grating at cutting plane, and optical apparatus using the same fiber}Optical fiber having diffraction grating, method of fabricating diffraction grating at cutting plane, and optical apparatus using the same fiber}

도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 단면에 회절 격자가 형성된 광섬유에 대한 사시도이다.1A is a perspective view of an optical fiber having a diffraction grating formed in a cross section according to an embodiment of the present invention.

도 1b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 단면에 프레넬 회절 렌즈가 형성된 광섬유에 대한 사시도이다.1B is a perspective view of an optical fiber having a Fresnel diffractive lens formed on a cross section according to another embodiment of the present invention.

도 2a ~ 2c는 광섬유 단면에 형성될 수 있는 회절 격자 패턴을 보여주는 평면도들이다.2A through 2C are plan views illustrating diffraction grating patterns that may be formed in an optical fiber cross section.

도 3a ~ 3c는 회절 격자가 형성되는 다른 형태의 코어 부분을 포함하는 각 광섬유를 개략적으로 보여주는 사시도들이다.3A to 3C are perspective views schematically showing each optical fiber including a core portion of another type in which a diffraction grating is formed.

<도면에 주요부분에 대한 설명><Description of main parts in the drawing>

100,100a,100b:광섬유 110,110a,110b:코어100,100a, 100b: optical fiber 110,110a, 110b: core

120:클래딩 130,130b:직선형 회절 격자120: cladding 130, 130b: linear diffraction grating

130a:프레넬 회절 렌즈130a: Fresnel diffraction lens

본 발명은 광통신 시스템에 사용되는 광학 장치에 관한 것으로, 특히 광신호를 전송하는 광섬유, 그 광섬유에 회절 격자를 형성하는 방법 및 그 광섬유를 이용한 광학 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical device used in an optical communication system, and more particularly, to an optical fiber for transmitting an optical signal, a method of forming a diffraction grating on the optical fiber, and an optical device using the optical fiber.

최근 광통신 시스템에 사용되는 광 부품의 경우, 사이즈를 최소로 하려는 추세와 더불어, 점차 광 부품의 구조를 단순화한 구조적 특징을 띠는 경향이 있다. 즉, 광 부품의 단순화, 저가화에 맞는 광모듈을 제공하기 위해 부품의 개수를 줄이려는 노력들이 수행되어왔고, 또한 지금까지 벌크 광학(bulk optics)의 많은 부분들이 광섬유 광학(fiber optics)으로 진화하면서 광섬유 자체에 많은 기능성 소자를 구현하려는 시도가 활발히 진행되고 있다.In the case of an optical component used in an optical communication system in recent years, in addition to the trend to minimize the size, there is a tendency to gradually have a structural feature of simplifying the structure of the optical component. In other words, efforts have been made to reduce the number of components in order to provide optical modules that are suitable for the simplification and low cost of optical components, and until now, many parts of bulk optics have evolved into fiber optics. Attempts have been made to implement many functional devices in the optical fiber itself.

일반적으로 광섬유로 도파하는, 즉 전송하는 광신호를 파장 별로 분리하고자 할 때, 박막(thin film) 형태나 AWG(arrayed waveguide grating) 소자를 사용하거나 또는 투과형 회절 격자를 사용하여 광신호의 전면에 배치하여 공간적으로 분리시키는 방법을 사용하였다.In general, when the optical signal waveguided, i.e., to separate the transmitted optical signal by wavelength, it is placed in the front of the optical signal using a thin film, an AWG (arrayed waveguide grating) device, or a transmission diffraction grating To spatially separate.

박막 형태나 AWG 소자를 사용하면 매우 높은 회절 분해능을 얻을 수 있는데, 박막 형태의 경우는 겹쳐진 박막의 층수에 비례하여 분해능이 높아지고, 투과형 회절격자는 단위면적당 새겨진 격자의 개수에 비례하여 분해능이 높아진다. 광섬유를 통과한 광신호를 파장 별로 회절을 일으키도록 하기 위해서는 이러한 형태의 회절격자 소자가 반드시 필요하다. When using a thin film form or AWG device, very high diffraction resolution can be obtained. In the case of a thin film form, the resolution is increased in proportion to the number of layers of the overlapping thin film, and the transmission diffraction grating increases in proportion to the number of engraved gratings per unit area. This type of diffraction grating element is necessary in order to diffract the optical signal passing through the optical fiber for each wavelength.

그러나 이러한 회절 격자 소자를 별도로 제작하여 광섬유와 패키징하는 경우, 광 부품의 사이즈가 커지고, 패키징 상의 기술적 문제와 패키징 후의 신뢰성 문제가 있었다. 또한, 제작상 고가의 비용이 들어 제품의 가격 경쟁 면에서도 불리하였다.However, when such a diffraction grating device is manufactured separately and packaged with an optical fiber, the size of an optical component increases, and there are technical problems in packaging and reliability problems after packaging. In addition, the high cost of manufacturing has been disadvantageous in terms of price competition of the product.

한편, 광섬유 자체에 회절 격자를 형성하는 방법이 있다. 예컨대, 광섬유 내부 길이방향으로 광섬유 코어에 광섬유 격자(fiber grating)를 형성하여, 파장 별 반사특성을 이용하여 특정 파장을 선택하거나 클래딩 모드로 변환시키는 기능을 수행하도록 하였다. 또한, 장주기 격자(long period grating)를 광섬유 코어에 형성하여 스펙트럼 상 일정 부분별 손실(loss) 특성을 이용하여 이득 평탄화(gain flattening)하는 기술 등이 있었다.On the other hand, there is a method of forming a diffraction grating on the optical fiber itself. For example, an optical fiber grating is formed in the optical fiber core in the longitudinal direction of the optical fiber, so that a specific wavelength can be selected or converted into a cladding mode by using reflection characteristics for each wavelength. In addition, there has been a technique of forming a long period grating on an optical fiber core to gain flattening using loss characteristics of certain portions of the spectrum.

그러나 이러한 광섬유 내부에 회절 격자를 형성하는 방법은 기술적으로 매우 정밀한 공정이 요구되기 때문에 제작상 어려움이 있으며, 그에 따라 광섬유의 대량 생산에는 부적합한 문제가 있었다.However, the method of forming the diffraction grating inside the optical fiber has a technical difficulty because it requires a very precise process, and accordingly, there is an unsuitable problem in mass production of the optical fiber.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 회절 격자를 광섬유 자체에 형성하되 비교적 간단한 공정을 통해 형성될 수 있는 단면으로 회절 격자가 형성된 광섬유, 그 회절 격자의 형성방법 및 그 광섬유를 이용하여 제작된 광학 장치를 제공하는 데에 있다.Therefore, the technical problem to be achieved by the present invention is to form a diffraction grating in the optical fiber itself, but the optical fiber having a diffraction grating formed into a cross section that can be formed through a relatively simple process, the method of forming the diffraction grating and the optical fiber manufactured using the optical fiber It is to provide a device.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 광신호가 진행하는 코 어(core); 상기 코어를 감싸는 클래딩;을 포함하고, 상기 광신호를 파장 별로 분리 또는 선택할 수 있도록 단면으로 회절 격자(diffraction grating)가 형성된 광섬유를 제공한다.In order to achieve the above technical problem, the present invention is a core (core) through which the optical signal; It includes a cladding surrounding the core, and provides an optical fiber in which a diffraction grating is formed in a cross section so that the optical signal can be separated or selected for each wavelength.

본 발명에 있어서, 상기 회절 격자는 상기 코어의 단면에 형성되고, 상기 회절 격자는 직선형의 패턴을 가지거나 원형 패턴의 프레넬 회절 렌즈(Frensnel diffraction lens) 형태를 가질 수 있다. 또한, 상기 직선형의 패턴 또는 원형의 패턴의 간격과 깊이는 일정하거나 상기 파장 별 분리 또는 선택을 위해 일정 비율로 증가 또는 감소할 수 있다.In the present invention, the diffraction grating is formed on the cross section of the core, the diffraction grating may have a straight pattern or a Fresnel diffraction lens of a circular pattern. In addition, the spacing and depth of the linear pattern or the circular pattern may be constant or increase or decrease at a constant rate for separation or selection for each wavelength.

상기 직선형의 회절 격자는 입사된 광신호들 중 특정 파장의 신호를 소정 각도로 굴절시키고, 상기 프레넬 회절 렌즈 형태의 회절 격자는 광신호들 중 특정 파장의 신호를 한 점으로 포커싱(focusing) 할 수 있다.The linear diffraction grating refracts a signal of a specific wavelength among the incident optical signals at a predetermined angle, and the diffraction grating of the Fresnel diffractive lens type focuses a signal of a specific wavelength among optical signals as a point. Can be.

상기 직선형의 회절 격자는 일 방향의 직선형 패턴과 다른 방향의 직선형 패턴들이 수직으로 겹쳐져 2차원 회절 격자 형태를 가지며, 상기 2차원 회절 격자를 이용하여 광신호를 파장에 따라 한 점으로 포커싱 하거나 또는 여러 점으로 나누어 포커싱 할 수 있다.The linear diffraction grating has a two-dimensional diffraction grating form by vertically overlapping a linear pattern in one direction and a linear pattern in another direction, and focusing an optical signal to a point according to a wavelength or several points using the two-dimensional diffraction grating. You can focus by dividing it into points.

상기 광섬유는 단일모드 광섬유, 멀티모드 광섬유 및 단면 쪽의 코어 부분을 확대한 TEC(thermal expanded core) 광섬유 중 어느 하나일 수 있고, 상기 광섬유는 광송수신 장치 또는 광학 디스플레이 장치에 이용될 수 있다.The optical fiber may be any one of a single mode optical fiber, a multimode optical fiber, and a thermal expanded core (TEC) fiber in which a core portion of the cross section is enlarged, and the optical fiber may be used in an optical transmission and reception device or an optical display device.

본 발명은 또한 상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 상기 광섬유의 단면에 회절 격자를 형성하는 회절격자 형성방법을 제공한다.The present invention also provides a method for forming a diffraction grating to form a diffraction grating on the cross section of the optical fiber in order to achieve the above technical problem.

본 발명에 있어서, 상기 회절 격자는 포토리소그라피 또는 펨토초 레이저로 상기 광섬유 단면에 직접 격자를 형성하는 방법이나, UV 광을 간섭 또는 위상 마스크를 통해 상기 광섬유 단면에 조사하여 굴절율을 변화시킴으로써 형성하는 방법으로 형성할 수 있다.In the present invention, the diffraction grating is a method of forming a grating directly on the cross section of the optical fiber with a photolithography or femtosecond laser, or by forming UV light by irradiating the cross section of the optical fiber through an interference or phase mask to change the refractive index. Can be formed.

더 나아가 본 발명은 상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 광섬유를 이용하여 제작된 광학 장치를 제공한다.Furthermore, the present invention provides an optical device manufactured using the optical fiber in order to achieve the above technical problem.

본 발명에 있어서, 상기 광학 장치는 광송수신 장치 및 광학 디스플레이 장치 등 다양한 광학 부품들을 포함할 수 있다.In the present invention, the optical device may include various optical components such as an optical transmission and reception device and an optical display device.

본 발명에 따른 광섬유는 광섬유 단면에 회절 격자를 형성함으로써, 회절 격자 소자를 패키징할 필요가 없고, 그에 따라 신뢰성 문제도 어느 정도 해결할 수 있다. 또한, 포토리소그라피 공정을 이용하여 회절 격자를 형성할 수 있으므로, 제작상 저가화를 이룰 수 있으며, 회절 격자 패턴의 간격이나 깊이 등을 자유롭게 조정할 수 있어 회절 격자 제작 재현성이 우수하다. 더 나아가 단면에 회절 격자가 형성되기 때문에 이질 재질 간의 스트레스로 인해 발생하는 시간의 따른 에이징(aging) 현상도 획기적으로 줄일 수 있다.The optical fiber according to the present invention does not need to package the diffraction grating element by forming the diffraction grating on the optical fiber cross section, and thus the reliability problem can be solved to some extent. In addition, since the diffraction grating can be formed using a photolithography process, the manufacturing cost can be reduced, and the spacing, depth, etc. of the diffraction grating pattern can be freely adjusted, and thus the diffraction grating production reproducibility is excellent. Furthermore, since the diffraction grating is formed on the cross section, the aging phenomenon due to the stress caused by the heterogeneous materials may be greatly reduced.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 이하의 설명에서 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 상부에 존재한다고 기술될 때, 이는 다른 구성 요소의 바로 위에 존재할 수도 있고, 그 사이에 제3의 구성 요소가 개재될 수도 있다. 또한, 도면에서 각 구성 요소의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되었고, 설명과 관계없는 부분은 생략되었다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 한편, 사용되는 용어들은 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of the present invention; In the following description, when a component is described as being on top of another component, it may be directly on top of another component, and a third component may be interposed therebetween. In addition, in the drawings, the thickness or size of each component is exaggerated for convenience and clarity of description, and parts irrelevant to the description are omitted. Like numbers refer to like elements in the figures. On the other hand, the terms used are used only for the purpose of illustrating the present invention and are not used to limit the scope of the invention described in the meaning or claims.

도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 단면에 회절 격자가 형성된 광섬유에 대한 사시도이다.1A is a perspective view of an optical fiber having a diffraction grating formed in a cross section according to an embodiment of the present invention.

도 1a를 참조하면, 본 발명의 광섬유(100)는 단면으로 직선형의 회절 격자(130)가 형성된다. 이러한 회절 격자(130)는 광섬유(100)를 구성하는 코어(110) 단면에 형성되는데, 경우에 따라 클래딩 모드로 도파되는 광신호를 위해서 클래딩(120)을 포함한 전체 광섬유 단면으로 회절 격자가 형성될 수도 있다.Referring to FIG. 1A, the optical fiber 100 of the present invention has a linear diffraction grating 130 formed in a cross section. The diffraction grating 130 is formed on the cross section of the core 110 constituting the optical fiber 100. In some cases, the diffraction grating is formed on the entire optical fiber cross section including the cladding 120 for the optical signal guided in the cladding mode. It may be.

회절 격자(130)는 포토리소그라피 공정을 이용하여 건식 식각 또는 습식 식각 방법을 통해 미세한 요철 모양의 마이크로 홈을 형성함으로써 형성할 수 있다. 이러한 미세홈들의 나열은 빛의 회절현상을 일으킴으로써 파장에 따라 다른 굴절 각도를 가지게 한다. The diffraction grating 130 may be formed by forming micro grooves having a fine concavo-convex shape through a dry etching method or a wet etching method using a photolithography process. The arrangement of these microgrooves causes diffraction of the light, which leads to different angles of refraction depending on the wavelength.

예컨대, 직선형 회절 격자(130)는 광섬유로 입사된 광신호들 중 특정 파장의 광신호를 분리 또는 선택하는 기능을 한다. 즉, 광섬유 밖으로 출력될 때 특정 파장의 광신호만을 특정 각도로 굴절시킴으로써, 그 특정 파장을 광신호만을 검출 또는 송신할 수 있도록 하는 기능을 할 수 있다. 따라서, 직선형의 회절 격자의 패턴 형태나 패턴의 간격 또는 깊이 등은 사용되는 광신호의 파장 및 분리 또는 선택하려는 파장의 특성을 고려하려 적절히 제작되어야 한다. 특히, 회절 격자(130) 형성시 세심한 주의를 기울여 광섬유 단면의 중앙과 가장자리 주변 등의 위치에 따라 굴절율 변화를 일으키는 깊이를 고르게 만들어 보다 회절 효율을 높이는 것이 바람직하다.For example, the linear diffraction grating 130 functions to separate or select an optical signal having a specific wavelength among optical signals incident on the optical fiber. That is, by outputting only the optical signal of a specific wavelength at a specific angle when outputted out of the optical fiber, it is possible to function to enable the detection or transmission of only the optical signal of the specific wavelength. Therefore, the pattern shape of the linear diffraction grating, the spacing or depth of the pattern, etc. should be appropriately manufactured in consideration of the wavelength of the optical signal used and the characteristics of the wavelength to be separated or selected. In particular, it is desirable to increase the diffraction efficiency by making the depth of the refractive index change evenly depending on the position of the center and the edge of the optical fiber cross-section by paying close attention when forming the diffraction grating 130.

본 발명의 광 섬유는 포토리소그라피 공정을 이용하여 단면에 회절 격자를 형성하기 때문에, 저가로 회절 격자를 형성할 수 있고, 또한 필요한 패턴의 모양을 용이하게 형성할 수 있는 장점을 가진다. 또한, 단면에 회절 격자가 형성되기 때문에 이질 재질 간의 스트레스로 인해 발생하는 시간의 따른 에이징(aging) 현상도 획기적으로 줄일 수 있다.Since the optical fiber of the present invention forms a diffraction grating in the cross section by using a photolithography process, it has the advantage of being able to form the diffraction grating at a low cost and easily forming the shape of the required pattern. In addition, since the diffraction grating is formed in the cross section, the aging phenomenon due to the time caused by the stress between the heterogeneous materials can be significantly reduced.

한편, 회절 격자(130)는 초점이 매우 작은 펨토초(femtosecond) 레이저로 광섬유(100) 단면을 직접 식각 할 수도 있다. 또한, 자외선(ultraviolet:UV) 광에 의해 유도된(UV-induced) 굴절율 변화를 통해 형성할 수도 있다. 즉, 광민감성 광섬유의 경우, UV 광을 위상 마스크를 이용하여 광섬유 단면에 조사하거나, 2개의 UV 광을 조사하여, 광섬유 단면에서 보강간섭과 소멸간섭을 번갈아 형성함으로써, 광섬유 자체의 굴절율을 번갈아 교대로 변화시키는 방법에 의해서 회절 격자를 형성할 수 있다.Meanwhile, the diffraction grating 130 may directly etch the cross section of the optical fiber 100 by using a femtosecond laser having a very small focus. It may also be formed through a change in refractive index induced by ultraviolet (UV) light. That is, in the case of a photosensitive optical fiber, UV light is irradiated to the end face of the optical fiber by using a phase mask, or two UV light are irradiated to alternately construct the reinforcement interference and the extinction interference at the optical fiber end face, thereby alternating the refractive index of the optical fiber itself. The diffraction grating can be formed by a method of changing to.

도 1b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 단면에 프레넬 회절 렌즈가 형성된 광섬유에 대한 사시도이다.1B is a perspective view of an optical fiber having a Fresnel diffractive lens formed on a cross section according to another embodiment of the present invention.

도 1b를 참조하면, 본 실시예의 광섬유에는 코어(110) 단면으로 원형 패턴의 프레넬 회절 렌즈(130a, Fresnel diffraction lens) 형태의 회절 격자가 형성됨을 확인할 수 있다. 이러한 프레넬 회절 렌즈(130a) 역시 포토리소그라피, 펨토초 레이저 또는 UV 광을 이용한 굴절율 변화를 통해 형성할 수 있음은 물론이다.Referring to FIG. 1B, a diffraction grating in the form of a Fresnel diffraction lens (130a) having a circular pattern is formed in the cross section of the core 110 in the optical fiber of the present embodiment. The Fresnel diffraction lens 130a may also be formed through a refractive index change using photolithography, femtosecond laser, or UV light.

한편, 직선형 회절 격자와 달리 프레넬 회절 렌즈(130a)는 원형 패턴의 중심축을 정확히 맞추기 위하여 격자 형성시 광 정렬이 수행되는 것이 바람직하다. 이러한 프레넬 회절 렌즈(130a)는 광섬유를 통과한 특정 파장의 빛을 한 점으로 포커싱 하는 기능을 함으로써, 특정 파장 광신호의 송신 또는 수신 효율을 높일 수 있는 기능을 할 수 있다.On the other hand, unlike the linear diffraction grating, Fresnel diffraction lens (130a) is preferably performed to align the light when forming the grating in order to accurately match the central axis of the circular pattern. The Fresnel diffraction lens 130a may function to focus the light of a specific wavelength passing through the optical fiber to a point, thereby increasing the transmission or reception efficiency of the specific wavelength optical signal.

도 2a ~ 2c는 광섬유 단면에 형성될 수 있는 회절 격자 패턴을 보여주는 평면도들이다.2A through 2C are plan views illustrating diffraction grating patterns that may be formed in an optical fiber cross section.

도 2a를 참조하면, 회절 격자(130)는 직선형의 패턴을 보여준다. 이러한 패턴의 간격이나 깊이는 전술한 대로 검출하고자 하는 파장의 특성에 따라 적절하게 형성되어야 한다. 일반적으로 이러한 패턴은 파장의 평균값을 따르지만, 보통 1550 ㎚의 파장에 해당하는 광신호를 가정한다면, 패턴의 간격은 1 ㎛ 정도 또는 그 이하의 크기로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 2A, the diffraction grating 130 shows a linear pattern. The spacing or depth of these patterns should be appropriately formed according to the characteristics of the wavelength to be detected as described above. In general, such a pattern follows an average value of wavelengths, but assuming that an optical signal usually corresponds to a wavelength of 1550 nm, the interval of the pattern may be formed to a size of about 1 μm or less.

도 2b를 참조하면, 회절 격자(130b)는 일 방향의 직선형 패턴들과 다른 방향의 직선형 패턴들이 수직으로 겹쳐서 2차원적인 형태로 형성될 수 있다. 이러한 2차원 형태의 회절 격자는 광신호를 파장에 따라 한 점으로 포커싱 하거나 또는 여러 점으로 나누어 포커싱 하도록 할 수 있다. Referring to FIG. 2B, the diffraction grating 130b may be formed in a two-dimensional shape by vertically overlapping linear patterns in one direction and linear patterns in another direction. The two-dimensional diffraction grating may focus the optical signal at one point according to the wavelength or divide the optical signal into several points.

이러한 2차원 형태의 회절 격자도 포토리소그라피, 펨토초 레이저 또는 UV 광을 이용한 굴절율 변화를 통해 형성할 수 있고, 송신 또는 수신하고자 하는 특정 파장의 광신호의 특성에 맞추어 적절히 형성될 수 있다.The two-dimensional diffraction grating may also be formed through a refractive index change using photolithography, femtosecond laser, or UV light, and may be appropriately formed in accordance with characteristics of an optical signal of a specific wavelength to be transmitted or received.

도 2c를 참조하면, 회절 격자가 원형 패턴의 프레넬 회절 렌즈(130a) 형태로 형성되어 있음을 보여준다. 이러한 프레넬 회절 렌즈(130a)는 회절 격자 너비에 맞는 특정 파장의 광신호를 포커싱하고 회절 격자 너비에 맞지 않는 그외의 파장의 광신호를 초점으로부터 멀어지게 함으로써, 파장에 따른 광 분리 또는 선택할 수 있는 기능을 한다. 이러한 프레넬 회절 렌즈의 패턴은 파장에 특정에 따라, 균일한 간격으로 형성되거나, 또는 불규칙한 간격과 크기를 가지고 형성될 수도 있다.Referring to FIG. 2C, the diffraction grating is formed in the form of a Fresnel diffractive lens 130a having a circular pattern. The Fresnel diffraction lens 130a focuses an optical signal having a specific wavelength that fits the diffraction grating width and moves an optical signal of other wavelengths that do not fit the diffraction grating width away from the focal point to separate or select light according to the wavelength. Function The pattern of such Fresnel diffractive lens may be formed at uniform intervals or at irregular intervals and sizes depending on the wavelength.

도 3a ~ 3c는 회절 격자가 형성되는 다른 형태의 코어 부분을 포함하는 각 광섬유를 개략적으로 보여주는 사시도들이다.3A to 3C are perspective views schematically showing each optical fiber including a core portion of another type in which a diffraction grating is formed.

도 3a는 통신용 단일모드 광섬유(100a)를 보여주고 있는데, 이러한 통신용 단일 모드 광섬유(100a)의 경우 코어(110a) 부분의 사이즈가 작으므로, 코어(110a) 단면으로 회절 격자를 형성하기 위해서는 좀더 정밀한 공정이 요구된다.FIG. 3A shows the communication single mode optical fiber 100a. In the case of the communication single mode optical fiber 100a, since the size of the core 110a portion is small, a more precise method for forming a diffraction grating in the cross section of the core 110a is achieved. Process is required.

도 3b는 통신용 멀티모드 광섬유(100)를 보여주는데, 멀티모드 광섬유(100)의 코어(110)는 단일 모드 광섬유(100a)에 비해 상당히 크게 형성되어 있으므로, 회절 격자를 형성하기가 비교적 용이하다. 따라서, 전술한 여러 가지 방법들에 의해, 회절 격자가 형성될 수 있고, 특히 포토 리소그라피 공정을 통해 요구되는 회절 격자의 형태를 용이하게 형성시킬 수 있다.3B shows a communication multimode optical fiber 100. Since the core 110 of the multimode optical fiber 100 is considerably larger than the single mode optical fiber 100a, it is relatively easy to form a diffraction grating. Thus, by the various methods described above, a diffraction grating can be formed, and in particular, it is possible to easily form the shape of the diffraction grating required through a photolithography process.

도 3c는 단면부분의 코어를 열을 가하여 늘린 코어 늘임(Thermal Expanded Core:TEC) 광섬유(100b)를 보여준다. 일반적으로 단일 모드의 광섬유의 경우 코어 부분의 지름이 작아 회절 격자를 형성하기가 힘드므로, 단면 부분의 코어 지름을 확대한 TEC 광섬유를 이용하여 코어(110b) 단면에 회절 격자를 형성할 수 있다.FIG. 3C shows a Thermal Expanded Core (TEC) optical fiber 100b which is heated by heating the core of the cross section. In general, since the diameter of the core portion is difficult to form a diffraction grating in the case of a single mode optical fiber, the diffraction grating may be formed on the cross section of the core 110b by using a TEC optical fiber having an enlarged core diameter of the cross section.

좀더 상세히 설명하면 회절격자의 높은 회절 효율을 얻기 위해서는, 광신호 가 진행하는 광섬유의 코어 혹은 클래딩 부분에 적절한 구조의 회절 격자를 형성하여야 한다. 그러나 단일모드 광섬유의 경우 코어지름이 비교적 작아 새길 수 있는 회절격자의 수가 제한받게 되고 격자의 개수가 적으면 회절현상의 기능성이 떨어질 수 있다. 이를 보완하기 위해서 TEC 광섬유와 같이 코어부분을 일부러 크게 형성함으로써, 코어 단면으로 새겨지는 회절격자 수를 최대한 늘리는 것이 바람직하다.In more detail, in order to obtain high diffraction efficiency of the diffraction grating, a diffraction grating having an appropriate structure must be formed in the core or cladding portion of the optical fiber through which the optical signal travels. However, in the case of single-mode optical fiber, the core diameter is relatively small, and the number of diffraction gratings that can be leaked is limited. If the number of gratings is small, the diffraction phenomenon may be degraded. In order to compensate for this, it is desirable to form the core part largely like the TEC optical fiber, thereby increasing the number of diffraction gratings engraved into the core cross section as much as possible.

본 발명에 따른 광섬유는 파장 의존 회절격자를 광섬유 단면에 직접 형성함으로써, 새로운 부품 추가 없이 광신호가 도파하는 하나의 광섬유 자체로 파장에 따른 분해가 가능하다. 그에 따라 파장 다중 혹은 역다중화가 가능한 장점이 있다. 또한, 추가의 회절격자나 초점렌즈 없이 광섬유 자체에 회절격자 기능을 부여함으로써, 그에 따른 광부품의 저가격화 및 광패키징 비용의 절감이 가능하다. 최근 광통신의 경우 시간분할다중(TDM) 방식을 기반으로 하면서 파장분할다중(WDM) 방식 대용량 통신이 필요해졌으며 보안 기능의 강화로 인하여 광모니터링 소자 혹은 기능성 부품의 요구가 커지고 있는데, 본 발명의 광섬유는 이러한 요구에 적절히 부응할 수 있다. 즉, 본 발명의 단면으로 회절 격자가 형성된 광섬유는 광송수신 장치, 광센서 등의 광통신 시스템의 광학 장치에 유용하게 이용될 수 있다.In the optical fiber according to the present invention, the wavelength dependent diffraction grating is directly formed on the optical fiber cross-section, so that the optical fiber itself can be resolved according to the wavelength without adding new components. Accordingly, there is an advantage that wavelength multiplexing or demultiplexing is possible. In addition, by providing a diffraction grating function to the optical fiber itself without an additional diffraction grating or focusing lens, it is possible to reduce the cost of optical components and optical packaging costs accordingly. Recently, optical communication has been required based on time division multiplexing (TDM) and large capacity communication based on wavelength division multiplexing (WDM). Due to enhanced security functions, there is an increasing demand for optical monitoring devices or functional components. It can meet these demands. That is, the optical fiber in which the diffraction grating is formed in the cross section of the present invention can be usefully used in optical devices of optical communication systems such as optical transmitting and receiving devices and optical sensors.

예컨대, 광섬유 단면에 형성된 회절격자 전방으로 어레이 포토다이오드(Arrayed photodiode)를 위치시킬 경우 파장에 따른 광신호의 세기를 차별성 있게 감지할 수 있게 된다. 이와 같이 본 발명의 광섬유는 WDM 통신소자, 특히 CWDM (coarse wavelength division multiplex) 통신소자로서 광수신기에 응용될 수 있다. 또한, 광신호를 검출하는 각종 광센서에도 이용될 수 있다.For example, when the arrayed photodiode is positioned in front of the diffraction grating formed in the optical fiber cross section, the intensity of the optical signal according to the wavelength can be differentially detected. As described above, the optical fiber of the present invention can be applied to an optical receiver as a WDM communication device, particularly a CWDM (coarse wavelength division multiplex) communication device. It can also be used in various optical sensors for detecting optical signals.

한편, 특별한 응용 예로서 회절 격자를 이용하여 입력파장을 다르게 하는 경우, 즉 입력 파장을 빠르게 변화시키는 경우에 회절 격자를 통해 광경로가 변화되는 현상을 이용하여 새로운 형태의 디스플레이(display) 소자에 이용할 수도 있다.On the other hand, as a special application, when the input wavelength is changed using the diffraction grating, that is, when the input wavelength is rapidly changed, the optical path is changed through the diffraction grating to be used for a new type of display device. It may be.

지금까지, 본 발명을 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.So far, the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, which are merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. will be. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 단면으로 회절 격자가 형성된 광섬유는 광섬유 자체에 격자가 형성됨으로써, 회절 소자를 패키징할 필요가 없고 그에 따라 패키징에 따른 신뢰성 문제를 해결할 수 있다.As described in detail above, the optical fiber in which the diffraction grating is formed in the cross section according to the present invention does not need to package the diffraction element because the grating is formed on the optical fiber itself, thereby solving the reliability problem according to the packaging.

또한, 포토 리소그라피, 펨토초 레이저 또는 UV 광을 이용함으로써, 회절 격자의 제작 재현성이 우수하고, 또한 저가로 용이하게 형성하여 패키징 제작 단가를 획기적으로 낮출 수 있다.In addition, by using photolithography, femtosecond laser, or UV light, the diffraction grating can be fabricated with excellent reproducibility and easily formed at low cost, thereby significantly lowering the packaging manufacturing cost.

한편, 이러한 광섬유를 광송수신 장치나 광센서 등의 광통신 시스템의 광학 장치에 이용함으로써, 광학 장치의 저가화, 소형화, 단순화 등의 추세에 적절히 부응할 수 있다.On the other hand, by using such an optical fiber in an optical device of an optical communication system such as an optical transmission / reception device or an optical sensor, it is possible to suitably meet the trends such as low cost, miniaturization, and simplification of the optical device.

Claims (15)

광신호가 진행하는 코어(core);A core through which the optical signal travels; 상기 코어를 감싸는 클래딩;을 포함하고,And cladding surrounding the core; 상기 광신호를 파장 별로 분리 또는 선택할 수 있도록 단면으로 회절 격자(diffraction grating)가 형성된 광섬유.An optical fiber having a diffraction grating formed in a cross section to separate or select the optical signal for each wavelength. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 회절 격자는 직선형의 패턴을 가지거나 원형 패턴의 프레넬 회절 렌즈(Frensnel diffraction lens) 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 광섬유.The diffraction grating has a straight pattern or a Fresnel diffraction lens in the form of a circular pattern. 제2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 직선형의 패턴 또는 원형의 패턴의 간격과 깊이는 일정하거나 상기 파장 별 분리 또는 선택을 위해 일정 비율로 증가 또는 감소하는 것을 특징으로 하는 광섬유.The spacing and depth of the linear pattern or the circular pattern is constant or is increased or decreased at a constant rate for separation or selection by the wavelength. 제2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 직선형의 회절 격자는 입사된 광신호들 중 특정 파장의 신호를 소정 각도로 굴절시키고,The linear diffraction grating refracts a signal having a specific wavelength among the incident optical signals at a predetermined angle, 상기 프레넬 회절 렌즈 형태의 회절 격자는 광신호들 중 특정 파장의 신호를 한 점으로 포커싱(focusing)하는 것을 특징으로 하는 광섬유.The diffraction grating in the form of Fresnel diffractive lens is characterized in that for focusing the signal of a specific wavelength of the optical signal to a point. 제2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 직선형의 회절 격자는 일 방향의 직선형 패턴과 다른 방향의 직선형 패턴들이 수직으로 겹쳐져 2차원 회절 격자 형태를 가지며,The linear diffraction grating has a two-dimensional diffraction grating form by vertically overlapping the linear patterns in one direction and the linear patterns in the other direction. 상기 2차원 회절 격자를 이용하여 광신호를 파장에 따라 한 점으로 포커싱 하거나 또는 여러 점으로 나누어 포커싱 하는 것을 특징으로 하는 광섬유.And focusing the optical signal to one point according to the wavelength or dividing into several points using the two-dimensional diffraction grating. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 회절 격자는 포토리소그라피 또는 펨토초(femtosecond) 레이저에 의해 상기 광섬유 단면에 형성되거나, 또는 자외선(ultraviolet:UV) 광을 간섭 또는 위상 마스크를 통해 상기 광섬유 단면에 조사하여 굴절율을 변화시켜서 형성된 것을 특징으로 하는 광섬유.The diffraction grating is formed on the optical fiber cross section by a photolithography or femtosecond laser, or is formed by changing the refractive index by irradiating ultraviolet (UV) light to the optical fiber cross section through an interference or phase mask. Optical fiber. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 회절 격자는 상기 코어 단면에 형성되거나, 또는 클래딩을 포함한 광섬유 단면 전체로 형성되는 것을 특징으로 하는 광섬유.The diffraction grating is formed in the core cross section, or the optical fiber, characterized in that formed over the entire optical fiber cross section including the cladding. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 광섬유는 단일모드 광섬유, 멀티모드 광섬유 및 단면 쪽의 코어 부분을 확대한 TEC(thermal expanded core) 광섬유 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 광섬유.The optical fiber is any one of a single-mode optical fiber, a multi-mode optical fiber and a thermal expanded core (TEC) optical fiber that extends the core portion of the cross section. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 광섬유는 광송수신 장치 또는 광학 디스플레이 장치에 이용되는 것을 특징으로 하는 광섬유.The optical fiber is used in an optical transmitting and receiving device or an optical display device. 제1 항의 광섬유의 단면에 회절 격자를 형성하는 회절격자 형성방법.A diffraction grating forming method for forming a diffraction grating on the cross section of the optical fiber of claim 1. 제10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 회절 격자는 포토리소그라피 또는 펨토초 레이저로 상기 광섬유 단면에 직접 격자를 형성하는 방법이나,The diffraction grating is a method of forming a grating directly on the cross section of the optical fiber with a photolithography or femtosecond laser, UV 광을 간섭 또는 위상 마스크를 통해 상기 광섬유 단면에 조사하여 굴절율을 변화시킴으로써 형성하는 방법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 회절격자 형성방법.A method of forming a diffraction grating, characterized in that formed by changing the refractive index by irradiating UV light to the cross section of the optical fiber through an interference or phase mask. 제10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 회절 격자는 직선형의 패턴 또는 원형 패턴의 프레넬 회절 렌즈(Frensnel diffraction lens) 형태로 형성하는 것을 특징으로 하는 회절격자 형성방법.The diffraction grating is formed in the form of a Fresnel diffraction lens of a linear pattern or a circular pattern (Drench diffraction grating) characterized in that the form. 제12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 직선형의 회절 격자는 일 방향의 직선형 패턴과 다른 방향의 직선형 패턴이 수직으로 겹쳐져 2차원 회절 격자 형태를 가지도록 형성하는 것을 특징으로 하는 회절격자 형성방법.The linear diffraction grating is a method of forming a diffraction grating, characterized in that the linear pattern in one direction and the linear pattern in the other direction is vertically overlapping to have a two-dimensional diffraction grating form. 제1 항의 광섬유를 이용하여 제작된 광학 장치.An optical device manufactured using the optical fiber of claim 1. 제14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 광학 장치는 광송수신 장치 및 광학 디스플레이 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치.The optical device comprises an optical transmission and reception device and an optical display device.
KR1020060096416A 2006-09-29 2006-09-29 Optical fiber having diffraction grating, method of fabricating diffraction grating at cutting plane, and optical apparatus using the same fiber KR20080029598A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060096416A KR20080029598A (en) 2006-09-29 2006-09-29 Optical fiber having diffraction grating, method of fabricating diffraction grating at cutting plane, and optical apparatus using the same fiber

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060096416A KR20080029598A (en) 2006-09-29 2006-09-29 Optical fiber having diffraction grating, method of fabricating diffraction grating at cutting plane, and optical apparatus using the same fiber

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20080029598A true KR20080029598A (en) 2008-04-03

Family

ID=39532139

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060096416A KR20080029598A (en) 2006-09-29 2006-09-29 Optical fiber having diffraction grating, method of fabricating diffraction grating at cutting plane, and optical apparatus using the same fiber

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20080029598A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110989085A (en) * 2019-12-27 2020-04-10 桂林电子科技大学 Binary diffraction lens based on optical fiber
CN111025466A (en) * 2019-12-27 2020-04-17 桂林电子科技大学 Multi-focus diffraction lens based on optical fiber
KR102173059B1 (en) * 2019-05-02 2020-11-02 광운대학교 산학협력단 Method of reshaping refractive index by ultrafast laser inscription, control method of propagation mode and fiber-optic refractive index sensor of external media using the same
WO2022044181A1 (en) * 2020-08-27 2022-03-03 日本電信電話株式会社 Optical fiber and optical transmission line
KR20220151788A (en) * 2021-05-07 2022-11-15 호남대학교 산학협력단 Fiber optic module with Fresnel zone plate

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102173059B1 (en) * 2019-05-02 2020-11-02 광운대학교 산학협력단 Method of reshaping refractive index by ultrafast laser inscription, control method of propagation mode and fiber-optic refractive index sensor of external media using the same
CN110989085A (en) * 2019-12-27 2020-04-10 桂林电子科技大学 Binary diffraction lens based on optical fiber
CN111025466A (en) * 2019-12-27 2020-04-17 桂林电子科技大学 Multi-focus diffraction lens based on optical fiber
WO2022044181A1 (en) * 2020-08-27 2022-03-03 日本電信電話株式会社 Optical fiber and optical transmission line
KR20220151788A (en) * 2021-05-07 2022-11-15 호남대학교 산학협력단 Fiber optic module with Fresnel zone plate

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4335933A (en) Fiber optic wavelength demultiplexer
US7412133B2 (en) Wavelength selective optical focusing device using optical fiber and optical module using the same
CN103999303B (en) Integrated sub-wave length grating system
JP2017044781A (en) Waveguide type optical diffraction grating and optical wavelength filter
EP3586177B1 (en) Apparatus for optical applications, spectrometer system and method for producing an apparatus for optical applications
KR20080029598A (en) Optical fiber having diffraction grating, method of fabricating diffraction grating at cutting plane, and optical apparatus using the same fiber
JP2004264446A (en) Diffraction grating, demultiplexer and wavelength multiplexed optical transmission module
US7397988B2 (en) Grating based multiplexer/demultiplexer component
JP4330560B2 (en) Optical demultiplexer and wavelength division multiplexing optical transmission module
JP2003066269A (en) Multi-wavelength demultiplexing optical device and wavelength multiplexed light transmission module
KR100798914B1 (en) Device for wavelength selective optical beam focusing using optical fiber and optical module unsing it
JP2008040029A (en) Monitoring optical element and manufacturing method thereof
JP4193518B2 (en) Demultiplexer and wavelength division multiplexing optical transmission module
KR102394442B1 (en) AWG device module and their fabrication method for optical transceiver
JP2011107705A (en) Triplexer for optical fiber, package including the same and associated method
JP7170356B2 (en) optical connector
JP4696521B2 (en) Demultiplexer, optical waveguide, and wavelength division multiplexing optical transmission module
JP4759973B2 (en) Demultiplexer and wavelength division multiplexing optical transmission module
JP2003232943A (en) Wavelength multiplex communication signal demultiplexer, and optical transmission and reception module using the same
JP2005115039A (en) Optical demultiplexer
JP2002243974A (en) Optical parts, and optical module using the same
JP2005091469A (en) Diffraction grating type demultiplexer
KR20170141319A (en) Wavelength multiplexing device
JP2008276202A (en) Optical device and optical transmitter-receiver using the same
KR20050027373A (en) The integrated optical signal monitoring device using optical waveguide

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
B601 Maintenance of original decision after re-examination before a trial
E801 Decision on dismissal of amendment
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20080609

Effective date: 20091214