KR20080020713A - Thin film transistor substrate and display panel having the same - Google Patents

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Abstract

A TFT(Thin Film Transistor) substrate and a display panel having the TFT substrate are provided to form test switching elements at the edge of a TFT substrate to perform reliable test without increasing the size of a display panel and omit a process of cutting the edge of the TFT substrate. A TFT substrate includes a base substrate(10) and a plurality of signal lines and a plurality of test switching elements. The plural signal lines are arranged on the base substrate in an intersecting manner to define a display region. The plural test switching elements are formed in a peripheral region located at one side of the display region. Each of the test switching elements includes a first control electrode(21), a source electrode(23) to which a test signal is applied, a drain electrode(25) electrically connected to the signal line, and a second control electrode(27) formed on an active layer(50) disposed between the source electrode and the drain electrode.

Description

박막트랜지스터 기판 및 이를 갖는 표시패널{THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE AND DISPLAY PANEL HAVING THE SAME}Thin film transistor substrate and display panel having the same {THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE AND DISPLAY PANEL HAVING THE SAME}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막트랜지스터 기판의 평면도이다.1 is a plan view of a thin film transistor substrate according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 박막트랜지스터 기판의 제1 주변영역의 확대도이다.FIG. 2 is an enlarged view of a first peripheral region of the thin film transistor substrate illustrated in FIG. 1.

도 3은 도 2에 도시된 박막트랜지스터 기판을 I-I' 선을 따라 절단한 단면도이다.3 is a cross-sectional view of the thin film transistor substrate illustrated in FIG. 2 taken along the line II ′.

도 4는 듀얼 게이트 박막트랜지스터와 싱글 게이트 박막트랜지스터의 턴온-전류 특성을 도시한 그래프이다.4 is a graph illustrating turn-on current characteristics of a dual gate thin film transistor and a single gate thin film transistor.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막트랜지스터 기판의 평면도이다.5 is a plan view of a thin film transistor substrate according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널의 평면도이다.6 is a plan view of a display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 박막트랜지스터 기판 11 : 검사용 게이트선10: thin film transistor substrate 11: inspection gate line

15 : 쇼팅바 17 : 데이터 패드부15: shorting bar 17: data pad portion

19 : 게이트 패드부 20 : 검사용 박막트랜지스터19: gate pad portion 20: inspection thin film transistor

21 : 제1 제어 전극 23 : 입력 전극21: first control electrode 23: input electrode

25 : 출력 전극 27 : 제2 제어 전극25 output electrode 27 second control electrode

30 : 게이트 절연막 50 : 활성층30 gate insulating film 50 active layer

60 : 보호막 DA : 표시영역60: protective film DA: display area

NDA : 비표시영역 DSL : 표시 신호선NDA: Non-display area DSL: Display signal line

DL : 데이터선 GL : 게이트선DL: Data line GL: Gate line

TFT : 박막트랜지스터 PE : 화소 전극TFT: thin film transistor PE: pixel electrode

본 발명은 박막트랜지스터 기판, 이를 갖는 표시패널 및 그 검사방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 검사용 스위칭소자를 갖는 박막트랜지스터 기판, 이를 갖는 표시패널 및 그 검사방법에 관한 것이다.The present invention relates to a thin film transistor substrate, a display panel having the same, and an inspection method thereof. More particularly, the present invention relates to a thin film transistor substrate having an inspection switching element, a display panel having the same, and an inspection method thereof.

일반적으로 액정표시장치는 액정표시패널, 게이트 구동회로 및 데이터 구동회로를 포함한다. 게이트 구동회로 및 데이터 구동회로는 액정표시패널의 가장자리에 칩의 형태로 실장되거나 집적될 수 있다. 게이트 구동회로 및 데이터 구동회로에는 패널구동회로부로부터 각각 제어신호가 인가된다.In general, the liquid crystal display includes a liquid crystal display panel, a gate driving circuit, and a data driving circuit. The gate driving circuit and the data driving circuit may be mounted or integrated in the form of a chip on the edge of the liquid crystal display panel. Control signals are applied to the gate driving circuit and the data driving circuit from the panel driving circuit section, respectively.

이러한 액정표시패널의 불량여부를 검출하기 위하여, 제조공정의 특정 단계에서 액정표시패널에 대한 오픈/쇼트 테스트, 어레이 테스트, 비쥬얼 인스펙션 등 다양한 검사를 행한다. 이러한 검사는 박막트랜지스터 기판 상에 형성된 검사용 배선패턴을 통하여 데이터선 및/또는 게이트선에 검사신호를 인가하고, 검사용 패드부에서 신호 반응 여부를 검출하거나, 각 화소들이 정상적으로 작동하는지 여부를 시각적으로 확인하는 방법으로 이루어질 수 있다.In order to detect whether the liquid crystal display panel is defective, various tests such as an open / short test, an array test, and a visual inspection of the liquid crystal display panel are performed at a specific stage of the manufacturing process. This inspection applies inspection signals to data lines and / or gate lines through inspection wiring patterns formed on the thin film transistor substrate, and detects whether or not signals respond to the inspection pad unit, or visually checks whether each pixel operates normally. It can be done in a way to check.

한편, 종래에는 박막트랜지스터 기판 중 검사용 배선패턴이 형성된 부분을 레이저로 잘라내는 레이저 트리밍(Laser Trimming) 공정이 수행되어 왔지만, 최근에는 중소형 패널의 원가 절감을 위한 공정 단순화를 목적으로, 검사용 스위칭소자를 기판 상에 형성하여 레이져 트리밍 공정을 생략하는 공정이 개발된바 있다.Meanwhile, a laser trimming process of cutting a portion of a thin film transistor substrate on which an inspection wiring pattern is formed with a laser has been performed, but recently, inspection switching is performed for the purpose of simplifying a process for reducing the cost of small and medium-sized panels. A process of omitting the laser trimming process by forming an element on a substrate has been developed.

검사용 스위칭소자의 소스 전극은 쇼팅바에 전기적으로 연결되며, 드레인 전극은 데이터선 또는 게이트선에 전기적으로 연결된다. 그러나, 검사용 스위칭소자를 통해 데이터선 또는 게이트선에 최종적인 액정표시패널의 구동신호와 동일한 검사신호를 인가하기 위해서는 검사용 스위칭소자의 채널영역의 사이즈를 더욱 크게 해야 한다. 그러나, 이는 표시패널의 외곽 마진 및 드라이브 칩의 사이즈 등을 줄여 표시패널의 면적을 줄이려는 추세에 역행하는 문제점이 있다.The source electrode of the inspection switching element is electrically connected to the shorting bar, and the drain electrode is electrically connected to the data line or the gate line. However, in order to apply the same inspection signal as the driving signal of the final liquid crystal display panel to the data line or the gate line through the inspection switching element, the channel area of the inspection switching element must be made larger. However, this has a problem in countering the trend to reduce the area of the display panel by reducing the outer margin of the display panel and the size of the drive chip.

이에 본 발명의 기술적 과제는 이러한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 턴-온 전류가 증가된 검사용 스위칭소자를 갖는 박막트랜지스터 기판을 제공하는 것이다.Accordingly, the technical problem of the present invention is to solve such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide a thin film transistor substrate having an inspection switching element with an increased turn-on current.

본 발명의 다른 목적은 상기 박막트랜지스터 기판을 포함하는 표시패널을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a display panel including the thin film transistor substrate.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위하여 일 실시예에 따른 박막트랜지스터 기판은 베이스 기판, 복수 개의 표시 신호선 및 복수 개의 검사용 스위칭소자를 포함한다. 복수 개의 표시 신호선은 베이스 기판 상에서 서로 교차하여 표시영역을 정의한다. 복수 개의 검사용 스위칭소자는 표시영역의 일측 변을 따른 주변영역에 형성된다. 검사용 스위칭소자는 제1 제어 전극, 검사 신호가 인가되는 소스 전극, 소스 전극과 대향하며 표시 신호선과 전기적으로 연결된 드레인 전극 및 소스 전극과 드레인 전극 사이의 활성층 상부에 형성된 제2 제어 전극을 포함한다.In order to achieve the above object of the present invention, a thin film transistor substrate includes a base substrate, a plurality of display signal lines, and a plurality of inspection switching elements. The plurality of display signal lines cross each other on the base substrate to define a display area. A plurality of inspection switching elements are formed in the peripheral area along one side of the display area. The inspection switching element includes a first control electrode, a source electrode to which an inspection signal is applied, a drain electrode facing the source electrode and electrically connected to the display signal line, and a second control electrode formed on the active layer between the source electrode and the drain electrode. .

상기한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위하여, 일 실시예에 따른 표시패널은 박막트랜지스터 기판, 박막트랜지스터와 대향하는 대향기판 및 양 기판들 사이에 개재된 액정층을 포함한다. 박막트랜지스터 기판은 베이스 기판 및 복수 개의 제1 검사용 스위칭소자를 포함한다. 베이스 기판에는 서로 교차하여 표시영역을 정의하는 복수 개의 게이트선 및 데이터선이 형성된다. 제1 검사용 스위칭소자는 표시영역의 일측을 따른 제1 주변영역에 형성된다. 제1 검사용 스위칭소자는 제1 제어 전극, 제1 제어 전극의 상부에 형성된 소스 전극, 소스 전극과 대향하며 데이터선과 전기적으로 연결된 드레인 전극 및 소스 전극과 드레인 전극 사이의 활성층 상부에 형성된 제2 제어 전극을 포함한다.In order to realize the above object of the present invention, the display panel according to the exemplary embodiment includes a thin film transistor substrate, an opposing substrate facing the thin film transistor, and a liquid crystal layer interposed between both substrates. The thin film transistor substrate includes a base substrate and a plurality of first inspection switching elements. A plurality of gate lines and data lines are formed on the base substrate to cross each other to define a display area. The first inspection switching element is formed in the first peripheral area along one side of the display area. The first inspection switching element includes a first control electrode, a source electrode formed on the first control electrode, a drain electrode facing the source electrode and electrically connected to the data line, and a second control formed on the active layer between the source electrode and the drain electrode. An electrode.

이러한 박막트랜지스터 기판 및 이를 갖는 표시패널에 의하면, 박막트랜지스터 기판 및 표시패널의 제조공정수 및 사이즈를 감소시킬 수 있다.According to the thin film transistor substrate and the display panel having the same, the number and size of manufacturing processes of the thin film transistor substrate and the display panel can be reduced.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

박막트랜지스터Thin film transistor 기판 Board

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막트랜지스터 기판의 평면도이다.1 is a plan view of a thin film transistor substrate according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 박막트랜지스터 기판(100)은 베이스 기판(10), 복수 개의 표시 신호선(DSL) 및 복수 개의 검사용 스위칭소자(20)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the thin film transistor substrate 100 includes a base substrate 10, a plurality of display signal lines DSL, and a plurality of inspection switching elements 20.

베이스 기판(10)은 광학적으로 등방성을 갖는 유리 기판일 수 있다. 표시 신호선(DSL)은 베이스 기판(10) 상에 표시영역(DA)을 정의한다. 표시 신호선(DSL)은 게이트 신호("주사 신호"라고도 함)를 전달하는 복수의 게이트선(GL)과 데이터 신호를 전달하는 복수의 데이터선(DL)을 포함한다.The base substrate 10 may be a glass substrate having optically isotropy. The display signal line DSL defines the display area DA on the base substrate 10. The display signal line DSL includes a plurality of gate lines GL for transmitting a gate signal (also referred to as a "scan signal") and a plurality of data lines DL for transmitting a data signal.

게이트선(GL)은 대략 행방향으로 서로 거의 평행하게 배치되어 있다. 데이터선(DL)은 대략 열방향으로 서로 거의 평행하게 배치되어 있다. 표시영역(DA)은 게이트선(GL) 및 데이터선(DL)이 서로 교차하는 영역으로 정의된다. 표시영역(DA)을 둘러싸는 주변부를 비표시영역으로 정의한다. 비표시영역 중 표시영역(DA)의 일측 변을 따라 배치되며 데이터선(DL)의 말단과 접하는 영역을 제1 비표시영역(NDA1)으로 정의하고, 표시영역(DA)의 타측 변을 따라 배치되며 게이트선(GL)의 말단과 접하는 영역을 제2 비표시영역(NDA2)으로 정의한다.The gate lines GL are disposed substantially parallel to each other in the substantially row direction. The data lines DL are arranged substantially parallel to each other in the column direction. The display area DA is defined as an area where the gate line GL and the data line DL cross each other. A peripheral portion surrounding the display area DA is defined as a non-display area. The non-display area is disposed along one side of the display area DA and is in contact with the end of the data line DL as the first non-display area NDA1, and is disposed along the other side of the display area DA. The area in contact with the end of the gate line GL is defined as the second non-display area NDA2.

본 실시예에서, 검사용 스위칭소자(20)는 제1 비표시영역(NDA1)에 복수 개가 배치된다. 검사용 스위칭소자(20)는 데이터선(DL)에 검사신호를 인가한다.In the present embodiment, a plurality of inspection switching elements 20 are disposed in the first non-display area NDA1. The inspection switching element 20 applies an inspection signal to the data line DL.

도 2는 도 1에 도시된 박막트랜지스터 기판의 제1 주변영역의 확대도이다. 도 3은 도 2에 도시된 박막트랜지스터 기판을 I-I' 선을 따라 절단한 단면도이다.FIG. 2 is an enlarged view of a first peripheral region of the thin film transistor substrate illustrated in FIG. 1. 3 is a cross-sectional view of the thin film transistor substrate illustrated in FIG. 2 taken along the line II ′.

도 2 및 도 3을 참조하면, 게이트선(GL) 및 데이터선(DL)은 서로 교차하여 표시영역(DA)에 복수 개의 단위 화소영역들을 형성한다. 제1 비표시영역(NDA1)에는 게이트선(GL)과 나란한 검사용 게이트선(11)이 형성되어 있다.2 and 3, the gate line GL and the data line DL cross each other to form a plurality of unit pixel areas in the display area DA. An inspection gate line 11 parallel to the gate line GL is formed in the first non-display area NDA1.

각 단위 화소영역마다 게이트선(GL)으로부터 대략 열방향으로 게이트 전 극(GE)이 돌출되고, 검사용 게이트선(11)으로부터 대략 열방향으로 복수 개의 제1 제어 전극(21)이 돌출되어 있다. 게이트선(GL), 게이트 전극(GE), 검사용 게이트선(11) 및 제1 제어 전극(21)은 비저항(resistivity)이 낮은 은(Ag) 또는 은 합금(Ag alloy) 또는 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금(Al alloy)으로 이루어진 단일막으로 이루어질 수도 있고, 이러한 단일막에 더하여 물리적, 전기적 접촉 특정이 좋은 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta) 따위의 물질로 이루어진 다른 막을 포함하는 다층막으로 이루어질 수도 있다.In each unit pixel region, the gate electrode GE protrudes from the gate line GL in a substantially column direction, and a plurality of first control electrodes 21 protrude from the inspection gate line 11 in a substantially column direction. . The gate line GL, the gate electrode GE, the inspection gate line 11, and the first control electrode 21 may be formed of silver (Ag), silver alloy, or aluminum (Al) having low resistivity. Alternatively, it may be made of a single film made of aluminum alloy, and in addition to the single film, other films made of materials such as chromium (Cr), titanium (Ti), and tantalum (Ta) having good physical and electrical contact characteristics may be included. It may be made of a multilayer film.

박막트랜지스터 기판(100)은 게이트 절연막(30) 및 활성층(50)을 더 포함한다. 게이트 절연막(30)은 질화규소 따위로 이루어지며, 게이트선(GL), 게이트 전극(GE), 검사용 게이트선(11) 및 제1 제어 전극(21)을 커버한다.The thin film transistor substrate 100 further includes a gate insulating layer 30 and an active layer 50. The gate insulating layer 30 is made of silicon nitride, and covers the gate line GL, the gate electrode GE, the inspection gate line 11, and the first control electrode 21.

활성층(50)은 제1 제어 전극(21) 및 게이트 전극(GE)에 대응하는 게이트 절연막(30) 위에 형성되어 있다. 활성층(50)은 반도체층(51) 및 저항성 접촉층(55)을 포함한다. 반도체층(51)은 박막트랜지스터(TFT)의 채널부를 이루며, 비정질 규소 또는 다결정 규소로 이루어져 있다. 저항성 접촉층(55)은 반도체층(51)의 양쪽으로 분리되어 있으며, 실리사이드(silicide) 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위로 이루어져 있다.The active layer 50 is formed on the gate insulating film 30 corresponding to the first control electrode 21 and the gate electrode GE. The active layer 50 includes a semiconductor layer 51 and an ohmic contact layer 55. The semiconductor layer 51 forms a channel portion of the thin film transistor TFT and is made of amorphous silicon or polycrystalline silicon. The ohmic contact layer 55 is separated from both sides of the semiconductor layer 51 and is made of n + hydrogenated amorphous silicon in which silicide or n-type impurities are heavily doped.

데이터선(DL)은 게이트 절연막(30) 위에 형성되어 있다. 데이터선(DL)으로부터 대략 행방향으로 소스 전극(SE)이 돌출되며, 소스 전극(SE)과 이격된 드레인 전극(DE)이 형성되어 있다.The data line DL is formed on the gate insulating film 30. The source electrode SE protrudes from the data line DL in a substantially row direction, and a drain electrode DE spaced apart from the source electrode SE is formed.

데이터선(DL)과 동일한 층으로 검사용 스위칭소자(20)의 입력 전극(23) 및 출력 전극(25)이 형성되어 있다. 입력 전극(23)은 제1 비표시영역(NDA1)에서 대략 열방향으로 연장된다. 출력 전극(25)은 대략 열 방향으로 연장되어 데이터선(DL)과 전기적으로 연결된다.The input electrode 23 and the output electrode 25 of the inspection switching element 20 are formed in the same layer as the data line DL. The input electrode 23 extends substantially in the column direction in the first non-display area NDA1. The output electrode 25 extends substantially in the column direction and is electrically connected to the data line DL.

데이터선(DL), 소스 전극(SE), 드레인 전극(DE), 입력 전극(23) 및 출력 전극(25)은 비저항이 낮은 알루미늄 또는 은 따위로 이루어질 수 있으며, 게이트선(GL)과 같이 다른 물질과 접촉 특성이 우수한 도전물질을 포함할 수 있다.The data line DL, the source electrode SE, the drain electrode DE, the input electrode 23 and the output electrode 25 may be made of aluminum or silver having a low specific resistance, and may be different from the gate line GL. It may include a conductive material having excellent contact properties with the material.

한 쌍의 소스 전극(SE)과 드레인 전극(DE) 및 입력 전극(23)과 출력 전극(25)은 각각 해당 활성층(50)의 상부에 적어도 일부분 위치하고, 게이트 전극(GE) 및 제1 제어 전극(21)에 대하여 서로 반대쪽에 위치한다. The pair of source electrode SE, the drain electrode DE, the input electrode 23 and the output electrode 25 are at least partially positioned on the top of the corresponding active layer 50, respectively, and the gate electrode GE and the first control electrode. It is located opposite to each other with respect to (21).

제1 비표시영역(NDA1)에는 검사용 스위칭소자(20)들에 검사신호를 인가하는 쇼팅바(15)가 더 형성되어 있다. 쇼팅바(15)는 게이트선(GL)과 나란하게 형성되어 있으며, 데이터선(DL)과 동일한 층 또는 게이트선(GL)과 동일한 층 또는 다른 층에 형성될 수 있다. 각 검사용 스위칭소자(20)들의 입력 전극(23)은 쇼팅바(15)에 전기적으로 병렬 연결되어 있다.In the first non-display area NDA1, a shorting bar 15 for applying a test signal to the test switching devices 20 is further formed. The shorting bar 15 may be formed in parallel with the gate line GL, and may be formed on the same layer as the data line DL, the same layer as the gate line GL, or another layer. The input electrodes 23 of the inspection switching elements 20 are electrically connected in parallel to the shorting bar 15.

박막트랜지스터 기판(100)은 산화규소 또는 질화규소 따위로 이루어진 보호막(60)을 더 포함한다. 보호막(60)은 데이터선(DL), 소스 전극(SE), 드레인 전극(DE), 입력 전극(23) 및 출력 전극(25)을 커버한다. 보호막(60) 및 게이트 절연막(30)에는 제1 제어 전극(21)의 일부를 노출시키는 제1 콘택홀(CT1)이 형성되어 있고, 보호막(60)에는 드레인 전극(DE)의 일부를 노출시키는 제2 콘택홀(CT2)이 형성되어 있다.The thin film transistor substrate 100 further includes a protective film 60 made of silicon oxide or silicon nitride. The passivation layer 60 covers the data line DL, the source electrode SE, the drain electrode DE, the input electrode 23, and the output electrode 25. The first contact hole CT1 exposing a part of the first control electrode 21 is formed in the passivation layer 60 and the gate insulating layer 30, and the part of the drain electrode DE is exposed in the passivation layer 60. The second contact hole CT2 is formed.

보호막(60) 위의 단위 화소영역에는 화소 전극(PE)이 더 형성되어 있다. 화소 전극(PE)은 투명한 전도성 물질, 예를 들어, 산화주석인듐(Indium Tin Oxide, ITO), 산화아연인듐(Indium Zinc Oxide, IZO), 아몰퍼스 산화주석인듐(amorphous Indium Tin Oxide, a-ITO) 등으로 이루어질 수 있다. 화소 전극(PE)은 제2 콘택홀(CT2)로 연장되어 드레인 전극(DE)과 전기적으로 연결된다.The pixel electrode PE is further formed in the unit pixel area on the passivation layer 60. The pixel electrode PE may be a transparent conductive material, for example, indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), or amorphous indium tin oxide (a-ITO). Or the like. The pixel electrode PE extends into the second contact hole CT2 and is electrically connected to the drain electrode DE.

화소 전극(PE)과 동일한 층으로 검사용 스위칭소자(20)의 제2 제어 전극(27)이 더 형성되어 있다. 제2 제어 전극(27)은 입력 전극(23)과 출력 전극(25)의 사이의 채널영역 위의 보호막(60) 상에 형성되어 있다. 제2 제어 전극(27)은 입력 전극(23) 및 출력 전극(25)과 각각 일부 오버랩된다. 제2 제어 전극(27)은 화소 전극(PE)과 동일하게 투명한 전도성 물질로 화소 전극(PE)과 함께 형성되는 것이 바람직하다.The second control electrode 27 of the inspection switching element 20 is further formed on the same layer as the pixel electrode PE. The second control electrode 27 is formed on the passivation film 60 on the channel region between the input electrode 23 and the output electrode 25. The second control electrode 27 partially overlaps the input electrode 23 and the output electrode 25, respectively. The second control electrode 27 is formed of the same transparent material as the pixel electrode PE and is formed together with the pixel electrode PE.

제2 제어 전극(27)은 제1 콘택홀(CT1)로 연장되어 제1 제어 전극(21)과 전기적으로 연결된다. 따라서, 제1 제어 전극(21)과 제2 제어 전극(27)에는 동시에 동일한 제어신호가 인가된다. 이와 다른 실시예에서, 제1 제어 전극(21)과 제2 제어 전극(27)은 절연되게 형성될 수 있고, 각각 서로 다른 제어신호가 인가될 수 있다.The second control electrode 27 extends into the first contact hole CT1 and is electrically connected to the first control electrode 21. Therefore, the same control signal is simultaneously applied to the first control electrode 21 and the second control electrode 27. In another embodiment, the first control electrode 21 and the second control electrode 27 may be insulated, and different control signals may be applied to each other.

한편, 검사용 스위칭소자(20)와 표시영역(DA)의 사이에 대응하는 제1 비표시영역(NDA1)에는 데이터 패드부(17)가 더 형성되어 있다. 데이터 패드부(17)는 데이터 구동칩이 전기적으로 연결되는 단자를 제공한다. 보호막(60)에는 접촉을 위한 개구가 형성되며, 데이터 패드부(17)는 개구로 연장되어 데이터선(DL)에 전기적으로 연결되어 있다. 데이터 패드부(17)는 투명한 전도성 물질 또는 메탈로 이루어질 수 있다.On the other hand, a data pad portion 17 is further formed in the first non-display area NDA1 corresponding to the inspection switching element 20 and the display area DA. The data pad unit 17 provides a terminal to which the data driving chip is electrically connected. An opening for contact is formed in the passivation layer 60, and the data pad part 17 extends to the opening and is electrically connected to the data line DL. The data pad unit 17 may be made of a transparent conductive material or metal.

또한, 제2 비표시영역(NDA2)에는 게이트 패드부(19)가 더 형성되어 있다. 게이트 패드부(19)는 게이트 구동칩이 전기적으로 연결되는 단자를 제공한다.In addition, a gate pad portion 19 is further formed in the second non-display area NDA2. The gate pad portion 19 provides a terminal to which the gate driving chip is electrically connected.

검사용 스위칭소자(20)는 전술된 제1 제어 전극(21), 활성층(50), 입력 전극(23), 출력 전극(25) 및 제2 제어 전극(27)을 포함한다. 표시용 박막트랜지스터(TFT)는 게이트 전극(GE), 활성층(50), 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)을 포함한다.The inspection switching element 20 includes the first control electrode 21, the active layer 50, the input electrode 23, the output electrode 25, and the second control electrode 27 described above. The display thin film transistor TFT includes a gate electrode GE, an active layer 50, a source electrode SE, and a drain electrode DE.

검사용 스위칭소자(20)에 검사신호를 인가하여 게이트선(GL), 데이터선(DL) 및 표시용 박막트랜지스터(TFT)와 같은 배선 및 소자의 정상적 형성여부를 검사할 수 있다.An inspection signal may be applied to the inspection switching device 20 to inspect whether wirings and devices such as the gate line GL, the data line DL, and the display thin film transistor TFT are normally formed.

예를 들어, 외부로부터, 도 1에 도시된 바와 같은, 검사 유닛(105)을 쇼팅바(15) 및 검사용 게이트선(11)에 각각 연결한다. 검사 유닛(305)은 검사용 게이트선(11)에 턴-온 전압을 인가하고, 쇼팅바(15)에 데이터 전압을 각각 인가한다. 이에 따라, 각 데이터선(DL)에 데이터 전압이 인가된다. 또한, 게이트 패드부(19)의 단자들에 제2 검사 유닛을 전기적으로 연결하여, 게이트 턴-온 신호를 인가할 수 있다. 그 결과, 각 화소 전극(PE)에는 데이터 전압이 인가된다. 박막트랜지스터 기판(100)이 표시패널의 하부 기판으로 결합된 경우, 상기한 방법으로 각 화소의 정상적 작동여부에 대한 비쥬얼 검사를 할 수 있다.For example, from the outside, the inspection unit 105, as shown in FIG. 1, is connected to the shorting bar 15 and the inspection gate line 11, respectively. The inspection unit 305 applies a turn-on voltage to the inspection gate line 11, and applies a data voltage to the shorting bar 15, respectively. Accordingly, a data voltage is applied to each data line DL. In addition, the second test unit may be electrically connected to the terminals of the gate pad unit 19 to apply a gate turn-on signal. As a result, a data voltage is applied to each pixel electrode PE. When the thin film transistor substrate 100 is coupled to the lower substrate of the display panel, a visual inspection of normal operation of each pixel may be performed by the above method.

검사용 스위칭소자(20)는 2 개의 제어 전극 즉, 제1 제어 전극(21) 및 제2 제어 전극(27)을 포함하는 듀얼 게이트 방식의 박막트랜지스터이다. 반면, 화소 전 극(PE)에 연결된 박막트랜지스터(TFT)는 하나의 게이트 전극(GE)만을 갖는 싱글 게이트 방식의 박막트랜지스터이다.The inspection switching element 20 is a dual gate thin film transistor including two control electrodes, that is, the first control electrode 21 and the second control electrode 27. On the other hand, the thin film transistor TFT connected to the pixel electrode PE is a single gate thin film transistor having only one gate electrode GE.

도 4는 듀얼 게이트 박막트랜지스터와 싱글 게이트 박막트랜지스터의 턴온-전류 특성을 도시한 그래프이다.4 is a graph illustrating turn-on current characteristics of a dual gate thin film transistor and a single gate thin film transistor.

도 4에서, 수평축은 박막트랜지스터에서 제어 전극에 인가되는 턴-온 전압(Vgs)을 나타내고, 수직축은 활성층(50)을 통해 흐르는 턴-온 전류(Ids)를 나타낸다.In FIG. 4, the horizontal axis represents the turn-on voltage Vgs applied to the control electrode in the thin film transistor, and the vertical axis represents the turn-on current Ids flowing through the active layer 50.

도 4를 참조하면, 턴-온 전압(Vgs)이 증가할수록 턴-온 전류(Ids)도 증가하며, 턴-온 전압(Vgs)이 일정한 값 이상으로 증가하면, 턴-온 전류(Ids)는 턴-온 전압(Vgs)에 대해 선형적으로 증가하는 것을 알 수 있다. 또한, 듀얼 게이트 방식의 박막트랜지스터가 싱글 게이트 방식의 박막트랜지스터보다 턴-온 전류(Ids)가 큰 것을 알 수 있다.Referring to FIG. 4, as the turn-on voltage Vgs increases, the turn-on current Ids also increases. When the turn-on voltage Vgs increases above a certain value, the turn-on current Ids is increased. It can be seen that the linear increase with respect to the turn-on voltage (Vgs). In addition, it can be seen that the dual gate thin film transistor has a larger turn-on current (Ids) than the single gate thin film transistor.

한편, 박막트랜지스터 기판(100) 또는 이를 포함하는 표시패널의 검사에서, 최종적인 표시패널에 인가되는 데이터 전압과 동일한 전압을 인가하기 위해서는 검사용 스위칭소자(20)의 채널영역의 폭 및 길이가 충분히 크게 형성되어야 한다. 그러나, 검사용 스위칭소자(20)의 채널영역의 사이즈가 증가하는 경우, 박막트랜지스터 기판(100)에서 비표시영역의 면적이 증가하여 표시패널의 사이즈를 감소시키려는 추세에 역행하는 문제점이 있다.Meanwhile, in the inspection of the thin film transistor substrate 100 or the display panel including the same, in order to apply the same voltage as the data voltage applied to the final display panel, the width and length of the channel region of the inspection switching element 20 are sufficiently sufficient. It should be large. However, when the size of the channel region of the inspection switching element 20 increases, the area of the non-display region of the thin film transistor substrate 100 increases, which is a problem against the trend of reducing the size of the display panel.

따라서, 검사용 스위칭소자(20)의 채널영역의 사이즈, 즉 검사용 스위칭소자(20)의 사이즈를 증가시키지 않고, 또는 감소시키면서도 각 화소 전극(PE)에 실 재 구동에서와 동일한 전압을 인가할 수 있는 검사용 스위칭소자(20)를 형성할 필요가 있다.Therefore, the same voltage as in the actual driving may be applied to each pixel electrode PE without increasing or decreasing the size of the channel region of the inspection switching element 20, that is, the size of the inspection switching element 20. It is necessary to form an inspection switching element 20 that can be inspected.

본 실시예에서, 검사용 스위칭소자(20)는 듀얼 게이트 방식의 박막트랜지스터로서 동일한 턴-온 전압(Vgs)에 대해 싱글 게이트 방식의 박막트랜지스터보다 턴-온 전류(Ids)가 크기 때문에, 채널 영역의 사이즈를 증가시키지 않고도 충분한 전압을 각 화소 전극(PE)들에 인가할 수 있다. 따라서, 박막트랜지스터 기판(100) 및 표시패널의 사이즈를 감소시킬 수 있다.In the present exemplary embodiment, the inspection switching element 20 is a dual gate thin film transistor, and the turn-on current Ids is larger than that of the single gate thin film transistor for the same turn-on voltage Vgs. Sufficient voltage may be applied to each of the pixel electrodes PE without increasing the size of. Therefore, the size of the thin film transistor substrate 100 and the display panel can be reduced.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막트랜지스터 기판의 평면도이다.5 is a plan view of a thin film transistor substrate according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 박막트랜지스터 기판(300)은 베이스 기판(310), 복수 개의 표시 신호선(DSL), 제1 검사용 스위칭소자(320) 및 제2 검사용 스위칭소자(420)를 포함한다. 박막트랜지스터 기판(300)은 제2 검사용 스위칭소자(420)가 더 형성된 것을 제외하고는 도 1 내지 도 3에 도시된 박막트랜지스터 기판(100)과 실질적으로 동일하다.Referring to FIG. 5, the thin film transistor substrate 300 includes a base substrate 310, a plurality of display signal lines DSL, a first inspection switching element 320, and a second inspection switching element 420. The thin film transistor substrate 300 is substantially the same as the thin film transistor substrate 100 shown in FIGS. 1 to 3 except that the second inspection switching device 420 is further formed.

제1 검사용 스위칭소자(320)는 도 1 내지 도 3에 도시된 검사용 스위칭소자(20)와 동일하다. 제2 검사용 스위칭소자(420)는 제2 비표시영역(NDA2)에 형성된다. 제2 검사용 스위칭소자(420)는 제1 검사용 스위칭소자(320)와 마찬가지로 듀얼 게이트 방식의 소자이다.The first inspection switching element 320 is the same as the inspection switching element 20 illustrated in FIGS. 1 to 3. The second inspection switching element 420 is formed in the second non-display area NDA2. The second inspection switching element 420 is a dual gate type device similar to the first inspection switching element 320.

제2 검사용 스위칭소자(420)는 제3 제어 전극, 활성층, 입력 전극, 출력 전극 및 제4 제어 전극을 포함할 수 있다. 층상 구조로 볼 때, 제3 제어 전극은 제1 검사용 스위칭소자(320)의 제1 제어 전극에 대응하며, 제4 제어 전극은 제2 제어 전극에 대응한다. 제2 검사용 스위칭소자(420)의 출력 전극은 게이트 패드부(419)를 통해 게이트선(GL)과 전기적으로 연결될 수 있다.The second inspection switching element 420 may include a third control electrode, an active layer, an input electrode, an output electrode, and a fourth control electrode. In the layered structure, the third control electrode corresponds to the first control electrode of the first inspection switching element 320, and the fourth control electrode corresponds to the second control electrode. The output electrode of the second inspection switching element 420 may be electrically connected to the gate line GL through the gate pad part 419.

박막트랜지스터 기판(300)에는 제2 검사용 게이트선(411) 및 제2 쇼팅바(415)가 더 형성되어 있다. 제3 제어 전극은 제2 검사용 게이트선(411)으로부터 돌출되며, 제2 검사용 스위칭소자(420)의 입력 전극은 제2 쇼팅바(415)에 전기적으로 연결되어 있다. 제2 검사용 게이트선(411) 및 제2 쇼팅바(415)는 제2 검사 유닛(405)에 전기적으로 연결되어 있다.A second inspection gate line 411 and a second shorting bar 415 are further formed on the thin film transistor substrate 300. The third control electrode protrudes from the second inspection gate line 411, and the input electrode of the second inspection switching element 420 is electrically connected to the second shorting bar 415. The second inspection gate line 411 and the second shorting bar 415 are electrically connected to the second inspection unit 405.

박막트랜지스터 기판(300)의 검사를 위하여, 제1 검사 유닛(305)으로 제1 검사용 게이트선(311)에 턴-온 신호를 인가하고, 제1 검사용 스위칭소자(320)의 입력 전극에 데이터 전압을 인가할 수 있다. 또한 제2 검사 유닛(405)으로 제2 검사용 게이트선(411)에 턴-온 신호를 인가하고, 제2 검사용 스위칭소자(420)의 입력 전극에 게이트 신호를 인가할 수 있다.In order to inspect the thin film transistor substrate 300, a turn-on signal is applied to the first inspection gate line 311 by the first inspection unit 305, and to the input electrode of the first inspection switching element 320. A data voltage can be applied. In addition, the turn-on signal may be applied to the second inspection gate line 411 by the second inspection unit 405, and the gate signal may be applied to the input electrode of the second inspection switching element 420.

표시패널Display panel

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널의 평면도이다.6 is a plan view of a display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 표시패널(700)은 박막트랜지스터 기판(710), 대향 기판(800) 및 액정층을 포함한다.Referring to FIG. 6, the display panel 700 includes a thin film transistor substrate 710, an opposing substrate 800, and a liquid crystal layer.

박막트랜지스터 기판(710)은 도 5에 도시된 박막트랜지스터 기판(300)과 실질적으로 동일하다. 따라서, 박막트랜지스터 기판(710)은 베이스 기판(710), 게이트선(GL), 데이터선(DL) 및 듀얼 게이트 방식의 제1 검사용 스위칭소자(720) 및 제2 검사용 스위칭소자(820)를 포함한다.The thin film transistor substrate 710 is substantially the same as the thin film transistor substrate 300 illustrated in FIG. 5. Accordingly, the thin film transistor substrate 710 may include a base substrate 710, a gate line GL, a data line DL, and a dual gate type first inspection switching element 720 and a second inspection switching element 820. It includes.

대향 기판(800)은 박막트랜지스터 기판(710)과 대향하며, 대향 기판(800)에는 박막트랜지스터 기판(710)의 화소 전극에 대향하는 공통전극이 형성될 수 있다. 대향 기판(800)에는 각 단위 화소영역에 대응하여 칼라필터가 더 형성될 수 있다.The opposing substrate 800 may face the thin film transistor substrate 710, and a common electrode may be formed on the opposing substrate 800 to face the pixel electrode of the thin film transistor substrate 710. The opposing substrate 800 may further include a color filter corresponding to each unit pixel area.

액정층은 박막트랜지스터 기판(710)과 대향 기판(800)의 사이에 개재된다. 공통전극과 화소 전극 사이에 형성된 전기장에 의해 액정층의 배열이 변경되어 표시패널(700)은 원하는 계조의 영상을 표시한다.The liquid crystal layer is interposed between the thin film transistor substrate 710 and the opposing substrate 800. The arrangement of the liquid crystal layer is changed by an electric field formed between the common electrode and the pixel electrode, so that the display panel 700 displays an image of a desired gray scale.

표시패널(700)은 데이터 구동칩(708) 및 게이트 구동칩(808)을 더 포함할 수 있다. 데이터 구동칩(708) 및 게이트 구동칩(808)은 각각 데이터 패드부 및 게이트 패드부에 전기적으로 연결된다. The display panel 700 may further include a data driver chip 708 and a gate driver chip 808. The data driver chip 708 and the gate driver chip 808 are electrically connected to the data pad part and the gate pad part, respectively.

표시패널(700)의 검사를 위하여, 제1 검사 유닛으로 제1 검사용 게이트선(711)에 턴-온 신호를 인가하고, 제1 검사용 스위칭소자(720)의 입력 전극에 데이터 전압을 인가할 수 있다. 또한 제2 검사 유닛으로 제2 검사용 게이트선(811)에 턴-온 신호를 인가하고, 제2 검사용 스위칭소자(820)의 입력 전극에 게이트 신호를 인가할 수 있다.In order to inspect the display panel 700, a turn-on signal is applied to the first inspection gate line 711 by the first inspection unit, and a data voltage is applied to an input electrode of the first inspection switching element 720. can do. In addition, the turn-on signal may be applied to the second inspection gate line 811 by the second inspection unit, and the gate signal may be applied to the input electrode of the second inspection switching element 820.

또한, 제1 검사용 게이트선(711) 및 제2 검사용 게이트선(811)을 각각 턴-오프 상태로 두면, 제1 검사용 스위칭소자(720) 및 제2 검사용 스위칭소자(820)는 각각 데이터 구동칩(708) 및 게이트 구동칩(808)의 동작에 아무런 영향을 주지 않는다. 따라서, 제1 검사용 스위칭소자(720) 및 제2 검사용 스위칭소자(820)가 형성된 박막트랜지스터 기판(710)의 가장자리를 절단하는 공정을 생략할 수 있다.In addition, when the first inspection gate line 711 and the second inspection gate line 811 are turned off, the first inspection switching element 720 and the second inspection switching element 820 are turned off. The operation of the data driver chip 708 and the gate driver chip 808 has no effect, respectively. Therefore, the process of cutting the edges of the thin film transistor substrate 710 on which the first inspection switching element 720 and the second inspection switching element 820 are formed may be omitted.

이 경우, 제1 검사용 스위칭소자(720) 및 제2 검사용 스위칭소자(820)는 모 두 듀얼 게이트 방식의 박막트랜지스터로서, 싱글 게이트 방식의 박막트랜지스터보다 턴-온 전류가 크다. 따라서, 제1 검사용 스위칭소자(720) 및 제2 검사용 스위칭소자(820)가 형성된 박막트랜지스터 기판(710)의 가장자리를 절단하지 않아도 박막트랜지스터 기판(710)의 사이즈를 증가시키지 않는다.In this case, both the first inspection switching device 720 and the second inspection switching device 820 are dual gate thin film transistors and have a larger turn-on current than single gate thin film transistors. Therefore, the size of the thin film transistor substrate 710 is not increased without cutting the edges of the thin film transistor substrate 710 on which the first inspection switching element 720 and the second inspection switching element 820 are formed.

이상에서 상세하게 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 박막트랜지스터 기판의 가장자리에 듀얼 게이트 방식의 검사용 스위칭소자를 형성하면, 표시패널의 사이즈가 증가됨이 없이, 박막트랜지스터 기판 또는 이를 갖는 표시패널의 실재 구동과 동일한 신호를 인가하여 신뢰성 있는 검사를 할 수 있고, 검사용 스위칭소자가 형성된 박막트랜지스터 기판의 가장자리를 절단하는 공정을 생략할 수 있다.As described in detail above, according to the present invention, when the dual gate type inspection switching element is formed at the edge of the thin film transistor substrate, the size of the display panel is not increased, and the actual driving of the thin film transistor substrate or the display panel having the same is performed. By applying the same signal as can be performed a reliable inspection, it is possible to omit the step of cutting the edge of the thin film transistor substrate on which the inspection switching element is formed.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.In the detailed description of the present invention described above with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art or those skilled in the art having ordinary skill in the art will be described in the claims to be described later It will be understood that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the scope of the present invention.

Claims (13)

베이스 기판;A base substrate; 상기 베이스 기판 상에서 서로 교차하여 표시영역을 정의하는 복수 개의 표시 신호선; 및A plurality of display signal lines intersecting each other on the base substrate to define a display area; And 상기 표시영역의 일측 변을 따른 주변영역에 형성되며, 제1 제어 전극, 검사 신호가 인가되는 소스 전극, 상기 소스 전극과 대향하며 상기 표시 신호선과 전기적으로 연결된 드레인 전극 및 상기 소스 전극과 드레인 전극 사이의 활성층 상부에 형성된 제2 제어 전극을 포함하는 복수 개의 검사용 스위칭소자를 포함하는 박막트랜지스터 기판.A first control electrode, a source electrode to which a test signal is applied, a drain electrode facing the source electrode and electrically connected to the display signal line, and between the source electrode and the drain electrode; A thin film transistor substrate comprising a plurality of inspection switching elements including a second control electrode formed on the active layer of the. 제1항에 있어서, 상기 표시 신호선은 게이트선 및 상기 게이트선과 교차하는 데이터선을 포함하고,The display device of claim 1, wherein the display signal line includes a gate line and a data line crossing the gate line. 상기 제1 제어 전극 및 게이트선을 커버하는 게이트 절연막; 및A gate insulating layer covering the first control electrode and the gate line; And 상기 게이트 절연막 상에 형성된 상기 소스 전극, 활성층, 드레인 전극 및 데이터선을 커버하는 보호막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 기판.And a passivation layer covering the source electrode, the active layer, the drain electrode, and the data line formed on the gate insulating layer. 제2항에 있어서, 상기 보호막 상에 형성된 상기 제2 제어 전극은 상기 보호막에 형성된 콘택홀로 연장되어 상기 제1 제어 전극에 전기적으로 연결된 것을 특 징으로 하는 박막트랜지스터 기판.The thin film transistor substrate of claim 2, wherein the second control electrode formed on the passivation layer extends into a contact hole formed in the passivation layer and is electrically connected to the first control electrode. 제3항에 있어서, 상기 게이트선 및 데이터선에 전기적으로 연결된 화소 전극을 더 포함하고,The display device of claim 3, further comprising a pixel electrode electrically connected to the gate line and the data line. 상기 제2 제어 전극은 상기 화소 전극과 동일한 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 기판.The second control electrode is a thin film transistor substrate, characterized in that made of the same material as the pixel electrode. 제2항에 있어서, 상기 드레인 전극은 상기 데이터선과 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 기판.The thin film transistor substrate of claim 2, wherein the drain electrode is electrically connected to the data line. 제5항에 있어서, 상기 주변영역에 형성되어 상기 드레인 전극과 데이터선을 전기적으로 연결하는 데이터 패드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 기판.The thin film transistor substrate of claim 5, further comprising a data pad part formed in the peripheral area to electrically connect the drain electrode and the data line. 제2항에 있어서, 상기 드레인 전극은 상기 게이트선과 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 기판.The thin film transistor substrate of claim 2, wherein the drain electrode is electrically connected to the gate line. 제7항에 있어서, 상기 주변영역에 형성되어 상기 드레인 전극과 게이트선을 전기적으로 연결하는 게이트 패드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 기판.The thin film transistor substrate of claim 7, further comprising a gate pad part formed in the peripheral area to electrically connect the drain electrode and the gate line. 제1항에 있어서, 상기 복수 개의 검사용 스위칭소자의 상기 소스 전극에 병렬 연결되어 상기 검사 신호를 인가하는 쇼팅바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 기판.The thin film transistor substrate of claim 1, further comprising a shorting bar connected in parallel to the source electrodes of the plurality of inspection switching elements to apply the inspection signal. 서로 교차하여 표시영역을 정의하는 복수 개의 게이트선 및 데이터선이 형성된 베이스 기판과, 상기 표시영역의 일측을 따른 제1 주변영역에 형성된 제1 제어 전극, 상기 제1 제어 전극의 상부에 형성된 소스 전극, 상기 소스 전극과 대향하며 상기 데이터선과 전기적으로 연결된 드레인 전극 및 상기 소스 전극과 드레인 전극 사이의 활성층 상부에 형성된 제2 제어 전극을 포함하는 복수 개의 제1 검사용 스위칭소자를 포함하는 박막트랜지스터 기판;A base substrate having a plurality of gate lines and data lines crossing each other to define a display area, a first control electrode formed on a first peripheral area along one side of the display area, and a source electrode formed on the first control electrode A thin film transistor substrate including a plurality of first inspection switching elements facing the source electrode and including a drain electrode electrically connected to the data line and a second control electrode formed on an active layer between the source electrode and the drain electrode; 상기 박막트랜지스터 기판과 대향하는 대향기판; 및An opposing substrate facing the thin film transistor substrate; And 상기 박막트랜지스터 기판과 대향기판의 사이에 개재된 액정층을 포함하는 표시패널.And a liquid crystal layer interposed between the thin film transistor substrate and the opposing substrate. 제10항에 있어서, 상기 박막트랜지스터 기판은The method of claim 10, wherein the thin film transistor substrate 상기 제1 주변영역에 형성되어 상기 드레인 전극과 데이터선을 전기적으로 연결하는 데이터 패드부; 및A data pad part formed in the first peripheral area to electrically connect the drain electrode and the data line; And 상기 데이터 패드부와 전기적으로 연결된 데이터 구동칩을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시패널.And a data driving chip electrically connected to the data pad part. 제11항에 있어서, 상기 박막트랜지스터 기판은The method of claim 11, wherein the thin film transistor substrate 상기 표시영역의 타측을 따른 제2 주변영역에 형성된 제3 게이트 전극;A third gate electrode formed on a second peripheral area along the other side of the display area; 상기 제3 게이트 전극의 상부에 형성된 소스 전극;A source electrode formed on the third gate electrode; 상기 소스 전극과 대향하며 상기 게이트선과 전기적으로 연결된 드레인 전극; 및A drain electrode facing the source electrode and electrically connected to the gate line; And 상기 소스 전극과 드레인 전극 사이의 활성층 상부에 형성된 제4 게이트 전극을 포함하는 복수 개의 제2 검사용 스위칭소자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시패널.And a plurality of second inspection switching elements including a fourth gate electrode formed on the active layer between the source electrode and the drain electrode. 제12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 제2 주변영역에 형성되어 상기 제2 검사용 스위칭소자의 드레인 전극과 게이트선을 전기적으로 연결하는 게이트 패드부; 및A gate pad portion formed in the second peripheral region to electrically connect a drain electrode and a gate line of the second inspection switching element; And 상기 게이트 패드부와 전기적으로 연결된 게이트 구동칩을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시패널.And a gate driving chip electrically connected to the gate pad part.
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