KR20080001222A - Flash memory device - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 NAND형 플래쉬 메모리 소자의 일반적인 셀 스트링의 구성도.1 is a block diagram of a general cell string of a NAND type flash memory device.
도 2는 종래의 NAND형 플래쉬 메모리 소자의 플레인(plane)의 구성도.2 is a block diagram of a plane of a conventional NAND type flash memory device.
도 3은 종래의 NAND형 플래쉬 메모리 소자에 적용되는 페이지 버퍼의 구성도.3 is a configuration diagram of a page buffer applied to a conventional NAND flash memory device.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 NAND형 플래쉬 메모리 소자의 플레인의 구성도.4 is a block diagram of a plane of the NAND-type flash memory device according to an embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 NAND형 플래쉬 메모리 소자에 적용되는 페이지 버퍼의 구성도.5 is a configuration diagram of a page buffer applied to a NAND type flash memory device according to an embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 NAND형 플래쉬 메모리 소자에 적용되는 페이지 버퍼의 일 예에 따른 회로도.6 is a circuit diagram illustrating an example of a page buffer applied to a NAND type flash memory device according to an embodiment of the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
400 : 플레인 410 : 상부 메모리 셀 어레이400: plane 410: upper memory cell array
420 : 하부 메모리 셀 어레이 430 : 페이지 버퍼420: lower memory cell array 430: page buffer
51 : 상부 메모리 셀 어레이 52 : 상부 비트라인 선택부51: upper memory cell array 52: upper bit line selector
53 : 하부 메모리 셀 어레이 54 : 하부 비트라인 선택부53: lower memory cell array 54: lower bit line selector
55 : 프리차지부 56 : 래치55: precharge portion 56: latch
본 발명은 NAND형 플래쉬 메모리 소자에 관한 것으로, 특히 플레인(plane) 중간에 페이지 버퍼를 위치시킴으로써 비트라인에 연결되는 접합부의 개수를 줄여 누설 전류를 감소시켜 셀의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 NAND형 플래쉬 메모리 소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a NAND-type flash memory device. In particular, by placing a page buffer in the middle of a plane, a NAND-type flash can improve cell reliability by reducing leakage current by reducing the number of junctions connected to bit lines. It relates to a memory device.
전기적으로 프로그램(program)과 소거(erase)가 가능하며, 일정 주기로 데이터를 재작성하는 리프레쉬(refresh) 기능이 필요없으며, 많은 데이터(data)를 저장할 수 있는 대용량 메모리 소자의 개발을 위해서 복수개의 셀들이 직렬로 연결되어 한 개의 스트링(string)을 구성하는 NAND형 플래쉬 메모리(NAND type flash memory) 소자가 개발되었다. NAND형 플래쉬 메모리 소자는 또한 복수개의 셀 스트링이 병렬 구성되어 셀 블럭을 구성한다.It can be programmed and erased electrically, and does not need refresh function to rewrite data at regular intervals, and to develop a large capacity memory device that can store a lot of data. NAND type flash memory devices have been developed in which they are connected in series to form a string. The NAND type flash memory device also includes a plurality of cell strings configured in parallel to form a cell block.
도 1에 도시된 바와 같이 셀 블럭은 복수개의 셀 스트링(101 및 102) 뿐만 아니라 셀 스트링(101 및 102)과 드레인 및 셀 스트링(101 및 102)과 공통 소오스 사이에 각각 드레인 선택 트랜지스터(110) 및 소오스 선택 트랜지스터(120)를 포함 하여 구성된다. 또한, 셀 스트링(101 및 102)을 구성하는 셀들은 서로다른 워드라인(WL0 내지 WL31)과 연결되며, 인접한 셀 스트링의 동일 위치의 셀들과 워드라인(WL0 내지 WL31)을 공유한다. 또한, 드레인 선택 트랜지스터(110) 및 소오스 선택 트랜지스터(120)는 각각 드레인 선택 라인(DSL) 및 소오스 선택 라인(SSL)과 연결된다. 여기서, 셀 스트링(101 및 102)은 비트라인(BL)의 수만큼 구성되며, 이에 따라 드레인 선택 트랜지스터(110) 및 소오스 선택 트랜지스터(120)도 그만큼 구성된다. 예컨데, 셀 블럭은 32 스트링, 1G 비트의 경우 32개의 워드라인과 4k 바이트의 비트라인을 가지고 있다.As shown in FIG. 1, the cell block includes a plurality of
그리고, 도 2에 도시된 바와 같이 복수개의 셀 블럭(200 내지 20n), 예컨데 1023개의 셀 블럭은 하나의 플레인(plane)(210)을 구성한다. 또한, 하나의 셀 블럭은 인접한 셀 블럭과 공통 소오스 및 드레인을 공유한다. 즉, 1번 셀 블럭(201)을 예를들어 설명하면 1번 셀 블럭(201)은 0번 셀 블럭(200)과 공통 소오스 라인을 공유하며, 2번 셀 블럭(202)과 드레인을 공유한다.As shown in FIG. 2, a plurality of cell blocks 200 to 20n, for example, 1023 cell blocks, constitute one
플레인(210)의 상부 또는 하부에 하나의 페이지 버퍼(220)가 위치한다. 즉, 0번 셀 블럭(200) 상부 또는 n번 셀 블럭(20n)의 하부에 페이지 버퍼(220)가 위치한다. 또한, 페이지 버퍼(220)로부터 비트라인이 연장되어 한 플레인(210)의 끝까지 이어지기 때문에 모든 드레인과 드레인 콘택을 통해 연결된다. 따라서, 1G의 예를들면 2 블럭당 1개의 드레인 콘택을 가지고 있으며, 1 플레인당 1024개의 블럭을 가지고 있으므로 하나의 비트라인당 512개의 드레인 콘택을 가지게 된다. 2G 싱글 레벨 셀의 경우는 1 플레인으로 이루어져 있으며, 1 플레인이 2048개의 블럭으로 이루어져 있으므로 비트라인당 1024개의 드레인 콘택이 연결된다.One
도 3은 일반적인 NAND형 플래쉬 메모리 소자의 페이지 버퍼의 구성을 설명하기 위한 블럭도이다.3 is a block diagram illustrating a configuration of a page buffer of a general NAND type flash memory device.
도 3을 참조하면, 페이지 버퍼는 다수의 메모리 셀을 갖는 메모리 셀 어레이(31)의 비트라인(이븐 및 오드)과 감지 노드(SO) 사이에 연결된 비트라인 선택부(32)와, 감지 노드(SO)에 연결된 프리차지부(33)와, 감지 노드(SO)와 입출력 단자(YA) 사이에 연결된 래치(34)를 포함한다. 비트라인 선택부(32)는 프로그램, 독출, 검증 동작시 선택 신호에 따라 이븐 비트라인(BLe) 또는 오드 비트라인(BLo)을 선택하여 감지 노드(SO)에 연결한다. 프리차지부(33)는 감지 노드(SO)의 전위를 일정 전위 레벨로 프리차지한다. 래치(34)는 프로그램시 입출력 단자(YA)를 통해 입력된 데이터를 임시 저장한 후 감지 노드(SO)를 통해 선택된 비트라인으로 전송하거나, 독출 또는 검증 동작시 비트라인에 실린 셀 데이터를 임시 저장한 후 입출력 단자(YA)를 통해 출력한다.Referring to FIG. 3, a page buffer includes a
이러한 페이지 버퍼는 센싱 전류 레벨을 검출하여 비트라인에 센싱 전류 레벨 이상의 전류가 흘러가면 소거로 인식하고, 그 이하로 흘러가게 되면 프로그램으로 인식하게 된다. 센싱 전류 레벨을 결정하는데 있어서 가장 중요한 노이즈가 오프 셀 전류, 즉 비트라인 누설 전류이다. 비트라인 누설 전류는 대부분 드레인 콘택 누설과 드레인 선택 라인(DSL) 누설로 이루어진다. 결국 페이지 버퍼의 센싱 레벨은 비트라인 누설에 어느 정도 마진이 더해진 레벨에서 결정되게 된다.The page buffer detects the sensing current level and recognizes the erase when a current higher than the sensing current level flows into the bit line, and recognizes the program when the current flows below the sensing current level. The most important noise in determining the sense current level is the off-cell current, or bitline leakage current. The bit line leakage current mostly consists of drain contact leakage and drain select line (DSL) leakage. As a result, the sensing level of the page buffer is determined at a level in which bit margin is added to a margin.
그러나, 플래쉬 메모리 셀의 경우 리텐션(retention) 특성을 확보하기 위해 터널 산화막과 유전체막을 충분한 두께로 유지해야 하기 때문에 셀 사이즈가 축소됨에 따라 셀 전류는 점점 작아진다. 더욱이 NAND형 플래쉬 메모리 소자의 품질을 결정짓는 가장 중요한 요소인 사이클링 및 베이크 특성도 셀의 센싱 전류 레벨이 낮아지면 훨씬 개선된 특성을 보인다. 사이클링시 줄어들었던 GM 특성이 베이크시 원래대로 회복되기 때문에, 즉 기울기가 달라지기 때문에 센싱 레벨이 낮아지면 문턱 전압 이동이 줄어든다. 따라서, 충분한 셀 전류 확보와 사이클링 및 베이크 문턱 전압 이동 특성 개선을 위해서 페이지 버퍼의 센싱 레벨을 충분히 낮춰줘야 한다. 그러나, 이미 설명했듯이 드레인 콘택 누설과 드레인 선택 라인 누설로 인해 센싱 레벨을 낮추는데 한계가 있다.However, in the case of a flash memory cell, the tunnel oxide film and the dielectric film must be kept at a sufficient thickness to secure retention characteristics, and as the cell size is reduced, the cell current becomes smaller. In addition, cycling and baking, the most important determinant of NAND-type flash memory devices, are much improved when the cell's sensing current level is lowered. Since the GM characteristic, which was reduced during cycling, is restored to its original state at bake, i.e., the slope is changed, the lower the sensing level, the lower the threshold voltage shift. Therefore, the sensing level of the page buffer should be sufficiently lowered to secure sufficient cell current and to improve cycling and bake threshold voltage shift characteristics. However, as already explained, there is a limit to lowering the sensing level due to drain contact leakage and drain select line leakage.
본 발명의 목적은 낮은 전류 레벨을 가진 셀에서도 센싱 레벨을 충분히 낮출 수 있는 동시에 사이클링 및 베이크 특성을 개선시킬 수 있는 플래쉬 메모리 소자를 제공하는데 있다.It is an object of the present invention to provide a flash memory device capable of sufficiently lowering a sensing level even in a cell having a low current level and improving cycling and baking characteristics.
본 발명의 다른 목적은 플레인의 중간에 페이지 버퍼를 위치시키고, 페이지 버퍼를 중심으로 상부 메모리 셀 어레이와 하부 메모리 셀 어레이를 각각 따로 구동시킴으로써 비트라인 누설 전류를 줄여 페이지 버퍼의 센싱 레벨을 충분히 낮출 수 있는 플래쉬 메모리 소자를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to place the page buffer in the middle of the plane, and to drive the upper memory cell array and the lower memory cell array separately around the page buffer to reduce the bit line leakage current to sufficiently lower the sensing level of the page buffer. To provide a flash memory device.
본 발명의 일 실시 예에 따른 플래쉬 메모리 소자는 복수개의 셀이 직렬 연결되어 하나의 셀 스트링을 구성하고, 복수개의 상기 셀 스트링이 하나의 셀 블럭을 구성하며, 복수개의 상기 셀 블럭이 하나의 플레인을 구성하는 플래쉬 메모리 소자에 있어서, 상기 플레인은 원 사이드 페이지 버퍼를 기준으로하여 상부 및 하부 메모리 셀 어레이로 분할시킨다.In a flash memory device according to an embodiment of the present invention, a plurality of cells are connected in series to form one cell string, the plurality of cell strings constitute one cell block, and the plurality of cell blocks are one plane. In the flash memory device constituting the memory device, the plane is divided into upper and lower memory cell arrays based on the one side page buffer.
상기 페이지 버퍼는 상기 상부 메모리 셀 어레이를 선택하기 위한 상부 비트라인 선택부; 및 상기 하부 메모리 셀 어레이를 선택하기 위한 하부 비트라인 선택부를 포함한다.The page buffer may include an upper bit line selector for selecting the upper memory cell array; And a lower bit line selector for selecting the lower memory cell array.
상기 상부 비트라인 선택부는 이븐 비트라인과 오드 비트라인 사이에 직렬 연결되고 제1 및 제2 디스차지 신호에 각각 응답하여 상기 이븐 비트라인 및 상기 오드 비트라인에 검증 전압을 인가하는 제1 및 제2 트랜지스터, 및 상기 이븐 비트라인과 감지 노드 사이, 상기 오드 비트라인과 상기 감지 노드 사이에 각각 연결되며, 제1 및 제2 비트라인 선택 신호에 응답하여 상기 이븐 비트라인과 상기 오드 비트라인을 선택적으로 상기 감지 노드에 연결하는 제3 및 제4 트랜지스터를 포함한다.The upper bit line selector is connected in series between the even bit line and the odd bit line and applies first and second verify voltages to the even bit line and the odd bit line in response to first and second discharge signals, respectively. A transistor, coupled between the even bit line and the sense node, between the odd bit line and the sense node, respectively, selectively selecting the even bit line and the odd bit line in response to first and second bit line selection signals. Third and fourth transistors coupled to the sensing node.
본 발명의 일 실시 예에 따른 플래쉬 메모리 소자는 복수개의 셀이 직렬 연결되어 하나의 셀 스트링을 구성하고, 복수개의 상기 셀 스트링이 하나의 셀 블럭을 구성하며, 복수개의 상기 셀 블럭이 하나의 플레인을 구성하며, 상기 플레인은 원 사이드 페이지 버퍼를 기준으로하여 상부 및 하부 메모리 셀 어레이로 분할되는 플래쉬 메모리 소자의 동작 방법에 있어서, 상기 상부 비트라인 선택부가 인에이블되어 선택된 상기 상부 메모리 셀 어레이의 프로그램, 독출 동작, 또는 검증 동작을 실행하는 단계, 및 상기 하부 비트라인 선택부가 인에이블되어 선택된 상기 하부 메모리 셀 어레이의 프로그램, 독출 동작, 또는 검증 동작을 실행하는 단계를 포함하며, 상기 상부 비트라인 선택부가 인에이블되는 동안 상기 하부 비트라인 선택부는 디스에이블되고, 상기 하부 비트라인 선택부가 인에이블되는 동안 상기 상부 비트라인 선택부는 디스에이블된다.In a flash memory device according to an embodiment of the present invention, a plurality of cells are connected in series to form one cell string, the plurality of cell strings constitute one cell block, and the plurality of cell blocks are one plane. Wherein the plane is divided into upper and lower memory cell arrays based on a one side page buffer, wherein the upper bit line selector is enabled to select a program of the upper memory cell array. Performing a read operation, or a verify operation, and executing a program, read operation, or verify operation of the selected lower memory cell array by enabling the lower bit line selector to select the upper bit line. The lower bit line selector is disabled while add is enabled. The upper bit line selection unit is disabled while the lower bit line select part is enabled.
상기 상부 메모리 셀 어레이와 상기 하부 메모리 셀 어레이는 서로 다른 웰 상에 구현된다.The upper memory cell array and the lower memory cell array are implemented on different wells.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described an embodiment of the present invention;
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 NAND형 플래쉬 메모리 소자의 플레인의 구성도이다.4 is a configuration diagram of a plane of a NAND type flash memory device according to an embodiment of the present invention.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 NAND형 플래쉬 메모리 소자는 페이지 버퍼(430)가 하나의 플레인(400) 사이에 위치한다. 즉, 하나의 플레인(400)의 소정 지역, 바람직하게는 플레인(400)의 중간 지역에 페이지 버퍼(430)가 위치되어 플레인(400)이 상부 및 하부 메모리 셀 어레이(410 및 420)로 분할된다. 플레인(400)은 복수의 셀 블럭, 예컨데 1023개의 셀 블럭으로 구성되므로 페이지 버퍼(430)가 이들의 중간 지점, 즉 상부로부터 512번째 셀 블럭 다음에 위치되 는 것이 바람직하다.Referring to FIG. 4, in the NAND type flash memory device according to an embodiment of the present invention, a
페이지 버퍼(430)가 플레인(400)의 중간 지점에 위치하므로 페이지 버퍼(430)에 의해 구분된 상부 영역, 즉 상부 메모리 셀 어레이(410)에 구성된 복수의 셀 블럭은 페이지 버퍼(430)와 가까운 부분에 드레인이 형성되는 것이 바람직하다. 이와 마찬가지로 하부 메모리 셀 어레이(420)에 구성된 복수의 셀 블럭 또한 페이지 버퍼(430)와 가까운 부분에 드레인이 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 셀 블럭은 이미 설명된 바와 같이 인접한 셀 블럭과 드레인 및 공통 소오스를 공유한다.Since the
상기와 같이 페이지 버퍼(430)를 플레인(400)의 중간 지점에 위치시키면 비트라인의 길이가 종래에 비해 1/2로 짧아지고, 이에 따라 비트라인과 연결되는 드레인 및 드레인 콘택의 수도 기존보다 1/2로 줄어든다. 따라서, 누설 전류의 양을 줄일 수 있다. 또한, 메모리 셀 블럭이 원 사이드 페이저 버퍼에 의하여 상 하부로 나누어 동작되므로, 캐패시턴스 및 저항 성분도 1/2로 감소한다.As described above, when the
한편, 상기와 같이 플레인이 구성될 경우 페이지 버퍼(430)의 구성은 기존과 약간 상이하게 구성해야 한다. 이러한 페이지 버퍼의 구성을 도 5에 도시하였다.On the other hand, when the plane is configured as described above, the configuration of the
도 5를 참조하면, 본 발명에 적용되는 페이지 버퍼는 상부 메모리 셀 어레이(51)의 비트라인(이븐 및 오드)과 감지 노드(SO) 사이에 연결된 상부 비트라인 선택부(52), 하부 메모리 셀 어레이(53)의 비트라인(이븐 및 오드)과 감지 노드(SO) 사이에 연결된 하부 비트라인 선택부(54), 감지 노드(SO)에 연결된 프리차 지부(55), 감지 노드(SO)와 입출력 단자(YA) 사이에 연결된 래치(56)를 포함한다. 상부 비트라인 선택부(52)와 하부 비트라인 선택부(54)는 일반적인 선택 회로로 구현 가능하다.Referring to FIG. 5, the page buffer according to the present invention includes an upper
상부 비트라인 선택부(52)는 프로그램, 독출 및 검증 동작시 상부 선택 신호에 따라 상부 메모리 셀 어레이(51)의 이븐 비트라인(BLe) 또는 오드 비트라인(BLo)을 선택하여 감지 노드(SO)에 연결한다. 이와 마찬가지로 하부 비트라인 선택부(53)는 프로그램, 독출 및 검증 동작시 하부 선택 신호에 따라 하부 메모리 셀 어레이(53)의 이븐 비트라인(BLe) 또는 오드 비트라인(BLo)을 선택하여 감지 노드(SO)에 연결한다.The upper
프리차지부(55)는 감지 노드(SO)의 전위를 일정 전위 레벨로 프리차지한다. 또한, 래치(56)는 프로그램시 입출력 단자(YA)를 통해 입력된 데이터를 임시 저장한 후 감지 노드(SO)를 통해 선택된 비트라인으로 전송하거나, 독출 또는 검증 동작시 비트라인에 실린 셀 데이터를 임시 저장한 후 입출력 단자(YA)를 통해 출력한다.The
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 NAND형 플래쉬 메모리 소자의 플레인 구조에 적용되는 페이지 버퍼의 실시 예를 설명하기 위한 회로도이다.FIG. 6 is a circuit diagram illustrating an embodiment of a page buffer applied to a plane structure of a NAND type flash memory device according to an exemplary embodiment.
도 6을 참조하면, 상부 비트라인 선택부(62)는 복수의 트랜지스터를 포함하여 구성되는데, 제 1 및 제 2 NMOS 트랜지스터(N601 및 N602)는 제 1 이븐 및 제 1 오드 디스차지 신호(DISCH1e 및 DISCH1o)에 따라 각각 구동되어 검증 전압(VIRPWR) 을 이븐 비트라인(BLe) 또는 오드 비트라인(BLo)에 연결된 상부 메모리 셀 어레이(61)의 메모리 셀 스트링에 인가한다. 제 3 및 제 4 NMOS 트랜지스터(N63 및 N64)는 제 1 이븐 및 제 1 오드 비트라인 선택 신호(BSL1e 및 BSL1o)에 따라 각각 구동되어 상부 메모리 셀 어레이(61)의 비트라인과 감지 노드(SO)를 연결시킨다.Referring to FIG. 6, the upper
상부 비트라인 선택부(62)와 마찬가지로 하부 비트라인 선택부(64) 또한 복수의 트랜지스터를 포함하여 구성되는데, 제 5 및 제 6 NMOS 트랜지스터(N65 및 N66)는 제 2 이븐 및 제 2 오드 디스차지 신호(DISCH2e 및 DISCH2o)에 따라 각각 구동되어 검증 전압(VIRPWR)을 이븐 비트라인(BLe) 또는 오드 비트라인(BLo)에 연결된 하부 메모리 셀 어레이(63)의 메모리 셀 스트링에 인가한다. 제 7 및 제 8 NMOS 트랜지스터(N67 및 N68)는 제 2 이븐 및 제 2 오드 비트라인 선택 신호(BSL2e 및 BSL2o)에 따라 각각 구동되어 하부 메모리 셀 어레이(63)의 비트라인과 감지 노드(SO)를 연결시킨다.Like the upper
상기와 같이 구성되는 본 발명의 NAND형 플래쉬 메모리 소자의 플레인 구조에 적용되는 페이지 버퍼는 상부 메모리 셀 어레이(61) 또는 하부 메모리 셀 어레이(63)중 하나의 메모리 셀 어레이만을 연결시켜야 한다. 즉, 페이지 버퍼가 상부 메모리 셀 어레이(61)와 연결되는 동안 하부 메모리 셀 어레이(63)와는 연결되지 않도록 한다. 이러한 동작은 상부 메모리 셀 어레이(61)를 선택하기 위한 제 1 디스차지 신호(DISCH1e 및 DISCH1o) 또는 제 1 비트라인 선택 신호(BSL1e 및 BSL1o)가 인에이블되는 동안 하부 메모리 셀 어레이(63)을 선택하기 위한 제 2 디스차지 신호(DISCH2e 및 DISCH2o) 또는 제 2 비트라인 선택 신호(BSL2e 및 BSL2o)가 디스에이블되기 때문에 가능하다.The page buffer applied to the plane structure of the NAND type flash memory device of the present invention configured as described above should connect only one memory cell array of the upper memory cell array 61 or the lower
또한, 상기와 같이 상부 메모리 셀 어레이(61)와 하부 메모리 셀 어레이(63) 사이에 페이지 버퍼가 구현되기 위해서는 페이지 버퍼가 트리플 P웰 상에 구현되면 안된다. 따라서, 상부 메모리 셀 어레이(61)와 하부 메모리 셀 어레이(63)는 페이지 버퍼를 경계로 서로다른 트리플 P웰 상에 구현되어야 한다.In addition, in order to implement a page buffer between the upper memory cell array 61 and the lower
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 플레인의 중간 위치에 페이지 버퍼를 구현하고, 페이지 버퍼에 의해 구분된 상부 메모리 셀 어레이와 하부 메모리 셀 어레이를 따로 연결함으로써 비트라인의 길이가 종래에 비해 1/2로 짧아지고, 이에 따라 비트라인과 연결되는 드레인 및 드레인 콘택의 수도 기존보다 1/2로 줄어든다. 따라서, 누설 전류의 양을 줄일 수 있어 페이지 버퍼 센싱 전류 레벨을 줄일 수 있고, 이에 따라 NAND형 플래쉬 메모리 소자 제품의 품질을 결정하는 가장 중요한 요소의 하나인 사이클링 및 베이크 특성을 현저히 개선시킬 수 있다. 그리고, 셀 사이즈가 줄어들더라도 셀 전류 확보를 위한 터널 산화막 및 유전체막의 두께 조절의 필요성이 줄어든다. 그리고, 페이지 버퍼 감도가 좋아지므로 소거와 프로그램 셀에 대한 센싱 마진이 향상된다. 또한, 메모리 셀 블럭이 원 사이드 페이저 버퍼에 의하여 상 하부로 나누어 동작되므로, 캐패시턴스 및 저항 성분도 1/2로 감소한다.As described above, according to the present invention, a page buffer is implemented at an intermediate position of the plane, and the upper and lower memory cell arrays separated by the page buffers are connected to each other so that the length of the bit line is 1/2. As a result, the number of drain and drain contacts connected to the bit lines is reduced by one half. Therefore, the amount of leakage current can be reduced to reduce the page buffer sensing current level, thereby significantly improving the cycling and baking characteristics, which is one of the most important factors for determining the quality of NAND-type flash memory device products. In addition, even if the cell size is reduced, the necessity of controlling the thickness of the tunnel oxide film and the dielectric film for securing the cell current is reduced. In addition, since the page buffer sensitivity is improved, the erase margin and the sensing margin for the program cell are improved. In addition, since the memory cell block is operated by dividing the upper and lower parts by the one side pager buffer, the capacitance and the resistance component are also reduced to 1/2.
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