KR20080000155A - Method of manufacturing a planar source and method of manufactruing a organic light emitting device using the same method - Google Patents

Method of manufacturing a planar source and method of manufactruing a organic light emitting device using the same method Download PDF

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KR20080000155A
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Abstract

A method for manufacturing a planar source and a method for manufacturing an organic light emitting device using the same method are provided to improve the display quality of images by enhancing the quality of an organic light emitting layer of organic material. A method for manufacturing a planar source includes the steps of: manufacturing liquid organic material by dissolving organic material in a solvent(S10); applying voltage and pressure to a spraying device having the liquid organic material and generating an organic droplet with polarity by spraying the liquid organic material through a nozzle of the spraying device(S20); and forming an organic layer capable of being sublimated by electrifying an evaporation plate with the opposite polarity to that of the organic droplet and adhering the organic droplet to the evaporation plate(S30).

Description

면 소스 제조 방법 및 이를 이용한 유기 광 발생 장치의 제조 방법{METHOD OF MANUFACTURING A PLANAR SOURCE AND METHOD OF MANUFACTRUING A ORGANIC LIGHT EMITTING DEVICE USING THE SAME METHOD}METHOD OF MANUFACTURING A PLANAR SOURCE AND METHOD OF MANUFACTRUING A ORGANIC LIGHT EMITTING DEVICE USING THE SAME METHOD}

도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 면 소스(planar source)의 제조 방법을 도시한 순서도이다.1 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a planar source according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 면 소스의 제조 방법을 구현하기 위한 면 소스 제조 장치의 개념도이다.FIG. 2 is a conceptual diagram of a surface source manufacturing apparatus for implementing the method of manufacturing the surface source of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 유기 광 발생 장치의 제조 방법을 도시한 순서도이다.3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an organic light generating apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 면 소스 제조 방법 및 이를 이용한 유기 광 발생 장치의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a cotton source and a method of manufacturing an organic light generating device using the same.

최근 들어, 방대한 데이터를 단시간 내 처리하는 것이 가능한 정보처리장치의 기술 개발이 급속히 이루어지고 있고, 정보처리장치의 기술 개발과 함께 정보처리장치에서 처리된 데이터를 영상으로 표시하기 위한 표시장치의 기술 개발도 함께 이루어지고 있다.Recently, technology development of an information processing apparatus capable of processing a large amount of data in a short time is being made rapidly, and technology development of a display apparatus for displaying data processed by the information processing apparatus as an image together with technology development of the information processing apparatus. Is being done together.

표시장치는 크게 아날로그 방식 표시장치 및 디지털 방식 표시장치로 구분된다. 아날로그 방식 표시장치로서는, 예를 들어, 음극선관 표시장치를 들 수 있고, 디지털 방식 표시장치로서는, 예를 들어, 액정표시장치, 유기광발생장치 및 플라즈마 표시패널을 들 수 있다.The display device is largely divided into an analog display device and a digital display device. As an analog display device, a cathode ray tube display device is mentioned, for example, As a digital display device, a liquid crystal display device, an organic light generating device, and a plasma display panel are mentioned, for example.

이들 중, 액정표시장치는 한 쌍의 전극 사이에서 형성된 전계에 의하여 배열되어 광의 투과율을 변경시키는 액정을 이용하여 영상을 표시하고, 유기광발생장치는 한 쌍의 전극 사이에 유기 발광층을 형성하고 유기 발광층에 순방향 전류를 인가하여 유기 발광층에서 홀과 전자의 결합 및 에너지 레벨 변화를 이용하여 광을 표시하고, 플라즈마 표시 패널은 플라즈마를 이용하여 영상을 표시한다.Among them, the liquid crystal display device displays an image using a liquid crystal arranged by an electric field formed between the pair of electrodes to change the transmittance of light, and the organic light emitting device forms an organic light emitting layer between the pair of electrodes and A forward current is applied to the light emitting layer to display light using a combination of holes and electrons and energy level change in the organic light emitting layer, and the plasma display panel displays an image using plasma.

이들 중 유기광발생장치를 제조하기 위해서는 먼저 세정된 기판에 제1 전극을 형성한다. 제1 전극은 기판상에 복수개가 매트릭스 형태로 배치된다.In order to manufacture the organic light emitting device among these, first electrodes are formed on the cleaned substrate. A plurality of first electrodes are arranged in a matrix form on the substrate.

제1 전극이 형성된 후, 기판은 진공 증착 챔버 내부에 배치된 후 제1 전극의 상면에는 유기물이 증착되어 유기 발광층이 형성된다. 유기 발광층은 진공 증착 챔버 내부에 배치된 포트(pot)에 담긴 유기물의 기화에 의하여 형성된다. 이때, 제1 전극 이외의 부분에 유기 발광층이 형성되는 것을 방지하기 위해 제1 전극 이외의 부분은 쉐도우 마스크에 의하여 가려진다.After the first electrode is formed, the substrate is disposed in the vacuum deposition chamber, and then an organic material is deposited on the upper surface of the first electrode to form an organic emission layer. The organic light emitting layer is formed by vaporization of an organic material contained in a pot disposed inside the vacuum deposition chamber. In this case, in order to prevent the organic light emitting layer from being formed on portions other than the first electrode, portions other than the first electrode are covered by the shadow mask.

그러나, 포트의 면적이 기판의 면적보다 작을 경우, 기판 중 포트로부터 멀리 떨어진 곳에서는 포트로부터 기화된 유기물의 증착 방향 및 기판이 이루는 각도가 예각을 이루게 된다. 이로 인해, 기화된 유기물의 일부가 쉐도우 마스크에 가려 져 제1 전극의 일부에는 유기 발광층이 증착되지 못하는 문제점을 갖는다.However, when the area of the port is smaller than the area of the substrate, the deposition direction of the vaporized organic matter from the port and the angle formed by the substrate become an acute angle at a position far from the port of the substrate. As a result, a part of the vaporized organic material is covered by the shadow mask, and thus a part of the first electrode may not be deposited.

본 발명의 하나의 목적은 전극의 일부에 유기 발광층이 증착되지 못하는 문제점을 해결하기 위하여 승화 가능한 유기물이 면 형태로 형성된 면 소스의 제조 방법을 제공한다.One object of the present invention is to provide a method for producing a cotton source in which a sublimable organic material is formed in the form of a plane in order to solve the problem that the organic light emitting layer is not deposited on a part of the electrode.

본 발명의 다른 목적은 상기 면 소스 제조 방법을 이용한 유기광발생장치의 제조 방법을 제공한다.Another object of the present invention to provide a method of manufacturing an organic light emitting device using the surface source manufacturing method.

이와 같은 본 발명의 하나의 목적을 구현하기 위한 면 소스의 제조 방법은 솔벤트에 유기물을 녹여 액체 유기물을 제조하는 단계, 액체 유기물이 넣어진 분사체에 전압 및 압력을 가하여 분사체의 노즐을 통해 스프레이 하여 극성을 갖는 유기물 액적을 생성하는 단계 및 극성을 갖는 유기물 액적과 반대 극성으로 증착 기판을 대전하여 유기물 액적을 증착 기판에 부착시켜 승화 가능한 유기물층을 형성하는 단계를 포함한다.The method of manufacturing a cotton source for realizing one object of the present invention comprises the steps of preparing a liquid organic material by dissolving the organic material in a solvent, applying a voltage and pressure to the injecting liquid liquid is sprayed through the nozzle of the injector Generating an organic droplet having a polarity and charging the deposition substrate with a polarity opposite to the organic droplet having a polarity to attach the organic droplet to the deposition substrate to form a sublimable organic layer.

본 발명의 다른 목적을 구현하기 위한 유기광발생장치의 제조 방법은 표시 기판에 제1 전극을 형성하는 단계, 솔벤트에 유기물을 녹여 형성된 액체 유기물이 넣어진 분사체에 전압 및 압력을 가하여 분사체의 노즐을 통해 스프레이 하여 극성을 갖는 유기물 액적을 생성하고 극성을 갖는 유기물 액적과 반대 극성을 갖는 증착 기판을 대전하여 유기물 액적을 증착 기판에 부착시켜 승화 가능한 유기물층을 갖는 면 소스(plarnar source)로부터 유기물층을 기화시켜 제1 전극 상에 유기 발 광층을 형성하는 단계 및 유기 발광층 상에 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 단계를 포함한다.In another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting device, the method comprising: forming a first electrode on a display substrate, applying a voltage and pressure to an injector into which a liquid organic material formed by dissolving an organic material in a solvent is applied Spray through the nozzle to produce organic droplets with polarity, charge the deposition substrate with the opposite polarity to the organic droplets with polarity, and attach the organic droplets to the deposition substrate to remove the organic layer from a plane source having a sublimable organic layer. Vaporizing to form an organic light emitting layer on the first electrode and forming a second electrode on the organic light emitting layer.

면 소스의 제조 방법Method of making cotton sauce

도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 면 소스(planar source)의 제조 방법을 도시한 순서도이다. 도 2는 도 1의 면 소스의 제조 방법을 구현하기 위한 면 소스 제조 장치의 개념도이다.1 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a planar source according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a conceptual diagram of a surface source manufacturing apparatus for implementing the method of manufacturing the surface source of FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 단계 S10에서, 면 소스를 제조하기 위해서, 먼저 액체 유기물을 제조한다.1 and 2, in step S10, in order to prepare a cotton source, a liquid organic material is first prepared.

액체 유기물을 제조하기 위해서는 먼저 솔벤트 공급 유닛(10)으로부터 제공된 솔벤트 및 유기물 공급 유닛(20)으로부터 제공된 유기물을 액체 유기물 탱크(30)로 제공한다. 본 실시예에서, 유기물은 저분자 유기물 또는 고분자 유기물을 포함할 수 있고, 솔벤트는 유기물을 용해시키는 어떠한 물질을 사용하여도 무방하다 .In order to prepare the liquid organics, the solvent provided from the solvent supply unit 10 and the organic material provided from the organic supply unit 20 are first provided to the liquid organic tank 30. In this embodiment, the organic material may include a low molecular weight organic material or a high molecular weight organic material, and the solvent may be any material that dissolves the organic material.

액체 유기물 탱크(30) 내로 주입된 솔벤트 및 유기물은 액체 유기물 탱크(30) 내에서 혼합되어 유동성 액체 유기물이 제조된다.Solvents and organics injected into the liquid organic tank 30 are mixed in the liquid organic tank 30 to produce a flowable liquid organic.

이어서, 단계 S20에서, 면 소스를 제조하기 위해서 유기물 액적을 생성한다.Next, in step S20, organic droplets are generated to prepare a cotton source.

유기물 액적을 생성하기 위해서, 액체 유기물 탱크(30)에 수납된 액체 유기물은 펌프(40)에 의하여 배관(50)을 따라 분사체(60)로 제공된다.In order to generate the organic droplets, the liquid organic matter contained in the liquid organic matter tank 30 is provided to the injector 60 along the pipe 50 by the pump 40.

본 실시예에서, 분사체(60)는 실린더 형상을 갖고, 분사체(60)의 단부에는 노즐(65)이 형성되고, 노즐(65)과 마주보는 분사체(60)의 내부에는 전극(67)이 배치된다. 전극(67)에는 직류 전압 또는 교류 전압이 인가될 수 있고, 전극(67)에 인가되는 전압의 크기는 수 kV 또는 수십 kV일 수 있다. In the present embodiment, the injector 60 has a cylindrical shape, a nozzle 65 is formed at the end of the injector 60, and an electrode 67 is formed inside the injector 60 facing the nozzle 65. ) Is placed. A DC voltage or an AC voltage may be applied to the electrode 67, and the magnitude of the voltage applied to the electrode 67 may be several kV or several tens of kV.

분사체(60)로 제공된 액체 유기물은 펌프(40)의 압력에 의하여 분사체(60)의 노즐(65)을 향해 제공되고, 액체 유기물은 노즐(65)을 통해서 분사된다. 이때, 노즐(65)에서 분사되는 액체 유기물의 유량은 수㎕/min 에서 수 ㎖/min 정도일 수 있다.The liquid organic matter provided to the injector 60 is provided toward the nozzle 65 of the injector 60 by the pressure of the pump 40, and the liquid organic matter is injected through the nozzle 65. In this case, the flow rate of the liquid organic material injected from the nozzle 65 may be several μl / min to several ml / min.

분사체(60)의 내부에 전극(67)에 고전압이 인가된 상태에서 액체 유기물이 노즐을 통해 스프레이 되고 이 결과 미세한 직경을 갖는 유기물 액적(69)이 형성된다.In the state where a high voltage is applied to the electrode 67 inside the injector 60, the liquid organic material is sprayed through the nozzle, and as a result, an organic material droplet 69 having a fine diameter is formed.

이어서, 분사체(60)의 노즐(65)로부터 분사되어 형성된 유기물 액적(69)들은 모두 동일한 극성으로 대전 되고 이로 인해 각 유기물 액적(69)들은 반발력에 의하여 상호 뭉치지 않고 균일하게 퍼지게 되고, 균일하게 퍼진 유기물 액적(69)은 증착 기판(1)을 향한다. 이때, 분사체(60)의 노즐(65) 및 증착 기판(1)의 간격은 약 2cm 내지 약 20cm 인 것이 바람직하다.Subsequently, the organic droplets 69 sprayed from the nozzle 65 of the injector 60 are all charged with the same polarity, so that the respective organic droplets 69 are uniformly spread without being agglomerated by the repulsive force and uniformly. Spread organic droplet 69 is directed towards the deposition substrate 1. At this time, the interval between the nozzle 65 and the deposition substrate 1 of the injector 60 is preferably about 2cm to about 20cm.

이어서, 유기물 액적(69)을 증착 기판(1)에 균일하게 형성하기 위해서, 단계 S30에서, 증착 기판(1)은 유기물 액적(69)과 반대 극성으로 대전 되고, 이로 인해 미세한 직경을 갖는 유기물 액적(69)은 증착 기판(1)에 부착되어 증착 기판(1)에는 승화 가능한 유기물로 이루어진 면 소스가 증착 기판(1) 상에 제작된다.Subsequently, in order to uniformly form the organic droplet 69 on the deposition substrate 1, in step S30, the deposition substrate 1 is charged with the opposite polarity to the organic droplet 69, thereby resulting in an organic droplet having a fine diameter. A 69 is attached to the deposition substrate 1, and a surface source made of a sublimable organic substance is formed on the deposition substrate 1 on the deposition substrate 1.

유기 광 발생 장치의 제조 방법Manufacturing method of organic light generating device

도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 유기 광 발생 장치의 제조 방법을 도시한 순서도이다.3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an organic light generating apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 단계 S100에서, 표시기판의 상면에는 전면적에 걸쳐 투명 도전막이 형성되고, 투명 도전막은 패터닝 되어 표시기판에는 제1 전극이 형성된다. 본 실시예에서, 제1 전극은, 예를 들어, 투명 도전막을 패터닝 하여 형성하지만, 이와 다르게, 제1 전극은 금속 박막을 패터닝 하여 형성하여도 무방하다.1 to 3, in step S100, a transparent conductive film is formed over the entire surface of the display substrate, the transparent conductive film is patterned, and a first electrode is formed on the display substrate. In the present embodiment, the first electrode is formed by, for example, patterning a transparent conductive film. Alternatively, the first electrode may be formed by patterning a metal thin film.

표시기판에 제1 전극이 형성된 후, 단계 S20에 의하여 제1 전극 상에 유기 발광층을 형성한다.After the first electrode is formed on the display substrate, an organic light emitting layer is formed on the first electrode by step S20.

본 실시예에서, 유기 발광층은 도 1 및 도 2에 도시된 면 소스 제조 방법에 의하여 제조된 면 소스를 이용하여 형성된다.In the present embodiment, the organic light emitting layer is formed using the cotton source manufactured by the cotton source manufacturing method shown in Figs.

구체적으로, 단계 S200의 서브 단계 S10에서, 면 소스를 제조하기 위해서, 먼저 액체 유기물이 제조된다. 본 실시예에서, 액체 유기물은 솔벤트에 유기물을 녹여 제조될 수 있다. 본 실시예에서 유기물은 저분자 유기물 또는 고분자 유기물일 수 있다.Specifically, in substep S10 of step S200, in order to prepare a cotton source, a liquid organic material is first prepared. In the present embodiment, the liquid organic material may be prepared by dissolving the organic material in a solvent. In this embodiment, the organic material may be a low molecular weight organic material or a high molecular weight organic material.

이어서, 단계 S200의 서브단계 S20에서, 면 소스를 제조하기 위해서 유기물 액적을 생성한다.Subsequently, in substep S20 of step S200, organic droplets are generated to prepare a cotton source.

유기물 액적을 생성하기 위해서, 액체 유기물에 압력을 가하여 액체 유기물이 노즐을 통과하면서 작은 직경을 갖는 유기물 액적을 형성한다. 이때, 액체 유기 물이 노즐을 통과할 때 액체 유기물에는 수 kV 또는 수십 kV의 고전압이 인가됨과 동시에 액체 유기물은 노즐을 통해서 분사되어 유기물 액적이 제조된다. 이때, 노즐에서 분사되는 액체 유기물의 유량은 수㎕/min에서 수 ㎖/min 정도 일 수 있다.To create organic droplets, pressure is applied to the liquid organics to form organic droplets having a small diameter as they pass through the nozzle. At this time, when the liquid organic material passes through the nozzle, a high voltage of several kV or several tens of kV is applied to the liquid organic material, and the liquid organic material is sprayed through the nozzle to prepare organic droplets. In this case, the flow rate of the liquid organic material sprayed from the nozzle may be from several μl / min to several ml / min.

이어서, 단계 200의 서브단계 S30에서 노즐로부터 분사되어 형성된 유기물 액적들은 모두 동일한 극성으로 대전 되고 이로 인해 각 유기물 액적들은 반발력에 의하여 상호 뭉치지 않고 균일하게 퍼지게 되고, 균일하게 퍼진 유기물 액적은 증착 기판을 향한다. 본 실시예에서, 노즐(65) 및 증착 기판(1)의 간격은 약 2cm 내지 약 20cm 인 것이 바람직하다.Subsequently, the organic droplets sprayed from the nozzle in the sub-step S30 of step 200 are all charged with the same polarity, so that the respective organic droplets are uniformly spread without being agglomerated by the repulsive force, and the uniformly spread organic droplets are directed toward the deposition substrate. . In this embodiment, the distance between the nozzle 65 and the deposition substrate 1 is preferably about 2 cm to about 20 cm.

증착 기판에는 승화 가능한 유기물로 이루어진 면 소스가 형성된다. 이때, 증착 기판에 형성된 면 소스의 평면적은 표시 기판의 평면적과 실질적으로 동일하다.A surface source made of a sublimable organic material is formed on the deposition substrate. In this case, the planar area of the surface source formed on the deposition substrate is substantially the same as the planar area of the display substrate.

이어서, 단계 S200의 서브단계 S40에서 증착 기판상에 형성된 면 소스의 유기물은 기화되고, 기화된 유기물은 표시기판에 형성된 제1 전극 상에 부착된다. 이때, 표시기판에는 제1 전극만을 노출시키는 개구를 갖는 쉐도우 마스크가 배치된다. 이때, 본 실시예에서 면 소스는 표시기판과 실질적으로 동일한 면적을 갖기 때문에 면 소스에서 기화된 유기물의 기화 방향은 실질적으로 제1 전극과 실질적으로 수직하기 때문에 쉐도우 마스크에 의하여 제1 전극 중 유기 발광층이 부분적으로 형성되지 않는 것을 방지할 수 있다.Subsequently, in step S200, the organic material of the surface source formed on the deposition substrate is vaporized, and the vaporized organic material is deposited on the first electrode formed on the display substrate. In this case, a shadow mask having an opening exposing only the first electrode is disposed on the display substrate. In this embodiment, since the surface source has substantially the same area as the display substrate, the vaporization direction of the organic material vaporized in the surface source is substantially perpendicular to the first electrode, and thus the organic light emitting layer of the first electrode is formed by the shadow mask. This can be prevented from being partially formed.

제1 전극 상에 면 소스를 이용하여 유기 발광층을 형성한 후, 단계 S300에 의하여, 유기 발광층 상에는 제2 전극이 형성된다. 본 실시예에서, 제2 전극은 알 루미늄 또는 알루미늄 합금과 같이 일함수가 낮은 금속을 사용할 수 있다. 본 실시예에서, 제2 전극은 금속 대신 투명하면서 도전성을 갖는 투명 도전막을 사용하여도 무방하다.After forming the organic light emitting layer using the surface source on the first electrode, by the step S300, a second electrode is formed on the organic light emitting layer. In the present embodiment, the second electrode may use a metal having a low work function, such as aluminum or an aluminum alloy. In the present embodiment, the second electrode may use a transparent conductive film that is transparent and conductive instead of metal.

이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 표시 기판의 평면적과 대등한 면적을 갖는 면 소스를 증착 기판상에 형성하고 면 소스를 기화시켜 표시 기판에 유기물을 형성할 뿐만 아니라 면 소스를 매우 균일하게 형성함으로써 유기물로 이루어진 유기 발광층의 품질을 향상시켜 영상의 표시 품질을 향상시킬 수 있다.As described in detail above, the organic material is formed by forming a surface source having an area equivalent to the area of the display substrate on the deposition substrate and vaporizing the surface source to form organic material on the display substrate, and forming the surface source very uniformly. The display quality of the image may be improved by improving the quality of the organic light emitting layer.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the detailed description of the present invention has been described with reference to the embodiments of the present invention, those skilled in the art or those skilled in the art will have the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. It will be appreciated that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the scope of the art.

Claims (7)

솔벤트에 유기물을 녹여 액체 유기물을 제조하는 단계;Preparing a liquid organic material by dissolving the organic material in a solvent; 상기 액체 유기물이 넣어진 분사체에 전압 및 압력을 가하여 상기 분사체의 노즐을 통해 스프레이 하여 극성을 갖는 유기물 액적을 생성하는 단계; 및Applying voltage and pressure to the injector into which the liquid organic material is put and spraying through the nozzle of the injector to generate organic droplets having polarity; And 극성을 갖는 상기 유기물 액적과 반대 극성으로 증착 기판을 대전하여 상기 유기물 액적을 상기 증착 기판에 부착시켜 승화 가능한 유기물층을 형성하는 것을 특징으로 하는 면 소스 제조 방법.And charging the deposition substrate with a polarity opposite to the organic droplet having a polarity to attach the organic droplet to the deposition substrate to form a sublimable organic layer. 제1항에 있어서, 상기 유기물은 저분자 유기물인 것을 특징으로 하는 면 소스 제조 방법.The method of claim 1, wherein the organic material is a low molecular weight organic material. 제1항에 있어서, 상기 액체 유기물에 가해지는 전압은 직류 또는 교류인 것을 특징으로 하는 면 소스 제조 방법.The method of claim 1, wherein the voltage applied to the liquid organic material is direct current or alternating current. 제1항에 있어서, 상기 노즐 및 상기 증착 기판의 간격은 2cm 내지 20cm인 것을 특징으로 하는 면 소스 제조 방법.The method of claim 1, wherein the nozzle and the deposition substrate have a spacing of 2 cm to 20 cm. 표시 기판에 제1 전극을 형성하는 단계;Forming a first electrode on the display substrate; 솔벤트에 유기물을 녹여 형성된 액체 유기물이 넣어진 분사체에 전압 및 압 력을 가하여 상기 분사체의 노즐을 통해 스프레이 하여 극성을 갖는 유기물 액적을 생성하고 극성을 갖는 상기 유기물 액적과 반대 극성을 갖는 증착 기판을 대전하여 상기 유기물 액적을 상기 증착 기판에 부착시켜 승화 가능한 유기물층을 갖는 면 소스(plarnar source)로부터 상기 유기물층을 기화시켜 상기 제1 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계; 및A deposition substrate having a polarity opposite to that of the organic droplet having polarity by applying a voltage and pressure to the spraying body into which the liquid organic substance is formed by dissolving the organic substance in a solvent and spraying it through the nozzle of the spraying body to produce a polarized organic droplet. Charging the organic material droplets to the deposition substrate to vaporize the organic material layer from a plane source having a sublimable organic material layer to form an organic emission layer on the first electrode; And 상기 유기 발광층 상에 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 광 발생 장치의 제조 방법.And forming a second electrode on the organic light emitting layer. 제1항에 있어서, 상기 제1 전극은 투명 전극이고, 상기 제2 전극은 금속 전극인 것을 특징으로 하는 유기 광 발생 장치의 제조 방법.The method of claim 1, wherein the first electrode is a transparent electrode, and the second electrode is a metal electrode. 제1항에 있어서, 상기 유기물층의 평면적은 상기 표시 기판의 평면적과 실질적으로 동일한 것을 특징으로 하는 유기 광 발생 장치의 제조 방법.The method of claim 1, wherein the planar area of the organic material layer is substantially the same as the planar area of the display substrate.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2009131257A1 (en) * 2008-04-21 2009-10-29 Korea Institute Of Machinery & Materials Conductive polymer transparent electrode and fabricating method thereof
KR101408784B1 (en) * 2012-03-30 2014-06-18 세메스 주식회사 Substrate treating apparatus and substrate treating method

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