KR20070113848A - Printing apparatus, patterning method and method of manufacturing liquid crystal display device using the same - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 종래 기술에 따른 포토리소그래피공정을 개략적으로 도시한 공정도이다.1 is a process diagram schematically showing a photolithography process according to the prior art.
도 2a 내지 도 2c는 종래기술에 따른 인쇄장비를 이용하여 기판 상에 패턴을 형성하는 공정을 도시한 공정도이다.2A to 2C are process diagrams illustrating a process of forming a pattern on a substrate using a printing apparatus according to the prior art.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 인쇄장비를 개략적으로 도시한 단면도이다.3 is a schematic cross-sectional view of a printing apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄노즐부를 개략적으로 도시한 사시도이다.4 is a perspective view schematically showing a printing nozzle unit according to an embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄노즐 세정부를 개략적으로 도시한 사시도이다.5 is a perspective view schematically showing a printing nozzle cleaning unit according to an embodiment of the present invention.
도 6a 내지 도 6i는 본 발명의 실시예에 따른 패턴형성방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.6A to 6I are process diagrams schematically showing a pattern forming method according to an embodiment of the present invention.
도 7은 브러쉬가 인쇄노즐을 세정하는 공정을 개략적으로 도시한 공정도로서, 도 6d를 위에서 본 평면도이다.7 is a process diagram schematically illustrating a process in which a brush cleans a printing nozzle, and is a plan view of FIG. 6D seen from above.
도 8a 내지 도 8d는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시소자의 제조방법을 개 략적으로 도시한 공정도이다.8A through 8D are process diagrams schematically illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
<도면의 주요부의 부호에 대한 설명><Description of Signs of Major Parts of Drawing>
100 : 기판 200 : 패턴물질100: substrate 200: pattern material
300 : 인쇄롤 500 : 인쇄판300: printing roll 500: printing plate
600 : 레일 700 : 인쇄노즐부600: rail 700: printing nozzle
710 : 인쇄노즐 720 : 제 1 구동부710: printing nozzle 720: first drive unit
800 : 인쇄노즐 세정부 810 : 브러쉬800: print nozzle cleaning unit 810: brush
820 : 제 2 구동부 830 : 브러쉬 보관부820: second drive unit 830: brush storage unit
900 : 인쇄노즐 보관부 910 : 제 1 영역900: print nozzle storage unit 910: first region
920 : 제 2 영역920: second region
본 발명은 액정표시소자에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 액정표시소자의 패턴을 형성하기 위한 장비 및 패턴형성방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly to a device and a pattern forming method for forming a pattern of the liquid crystal display device.
표시화면의 두께가 수 센치미터(cm)에 불과한 초박형의 평판표시소자(Flat Panel Display), 그 중에서도 액정표시소자는 동작 전압이 낮아 소비 전력이 적고 휴대용으로 쓰일 수 있는 등의 이점으로 노트북 컴퓨터, 모니터, 우주선, 항공기 등에 이르기까지 응용분야가 넓고 다양하다.Ultra-thin flat panel displays with a display screen thickness of only a few centimeters (cm). Among them, liquid crystal displays have low operating voltages, which consume less power and can be used as portable devices. Applications range from monitors to spacecraft to aircraft.
상기 액정표시소자는 하부기판, 상부기판, 및 상기 양 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 구성되며, 일반적으로 상기 하부기판 상에는 박막트랜지스터 및 화소전극이 형성되어 있고, 상기 상부 기판 상에는 차광층, 컬러필터층 및 공통전극이 형성되어 있다.The liquid crystal display device includes a lower substrate, an upper substrate, and a liquid crystal layer formed between the two substrates. In general, a thin film transistor and a pixel electrode are formed on the lower substrate, and a light blocking layer and a color are formed on the upper substrate. The filter layer and the common electrode are formed.
이와 같이 액정표시소자는 다양한 구성요소들을 포함하고 있으며 그 구성요소들을 형성하기 위해 수많은 공정들이 반복적으로 행해지게 된다. 특히, 다양한 구성요소들을 다양한 형태로 패터닝하기 위해서 포토리소그래피공정이 주로 사용되고 있다.As such, the liquid crystal display includes various components, and numerous processes are repeatedly performed to form the components. In particular, photolithography is mainly used to pattern various components in various forms.
이하에서, 도면을 참조로 종래의 포토리소그래피공정을 통한 패턴 형성 방법을 설명하기로 한다. Hereinafter, a pattern forming method through a conventional photolithography process will be described with reference to the drawings.
도 1은 종래 기술에 따른 포토리소그래피공정을 개략적으로 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing a photolithography process according to the prior art.
우선, 도 1a에서 알 수 있듯이, 투명기판(10)상에 패턴물질층(20)을 형성한다.First, as shown in FIG. 1A, the
그 후, 도 1b에서 알 수 있듯이, 상기 패턴물질층(20) 위에 소정 패턴의 마스크(25)를 위치시킨 후 광 조사장치를 통해 광을 조사한다. Thereafter, as shown in FIG. 1B, a
그 후, 도 1c에서도 알 수 있듯이, 현상공정을 통해 패턴(20a)을 완성한다.Thereafter, as shown in FIG. 1C, the
그러나 상기 포토리소그래피 공정은 소정 패턴의 마스크를 이용해야 하므로 그 만큼 제조비용이 상승되는 단점이 있으며, 또한 노광 공정 및 현상 공정 등을 거쳐야 하므로 공정이 복잡하고 공정시간이 오래 걸리는 단점이 있다.However, since the photolithography process requires the use of a mask having a predetermined pattern, the manufacturing cost increases accordingly. In addition, since the photolithography process requires an exposure process and a developing process, the process is complicated and the process takes a long time.
따라서 상기 포토리소그래피 공정의 단점을 해결하기 위한 새로운 패턴 형성 방법이 요구되었으며, 그와 같은 요구에 따라 인쇄롤 및 인쇄판을 이용하여 패턴을 형성하는 방법이 고안되었다.Therefore, a new pattern forming method has been required to solve the disadvantages of the photolithography process, and a method of forming a pattern using a printing roll and a printing plate has been devised in accordance with such a request.
도 2a 내지 도 2c는 종래기술에 따른 인쇄장비를 이용하여 기판 상에 패턴을 형성하는 공정을 도시한 단면도이다.2A to 2C are cross-sectional views illustrating a process of forming a pattern on a substrate using a printing apparatus according to the prior art.
우선, 도 2a에서 알 수 있듯이, 인쇄노즐(40)을 이용하여 패턴물질(20)을 그 표면에 블랭킷(32)이 부착된 인쇄롤(30)에 도포한다.First, as can be seen in Figure 2a, using the
그 후, 도 2b에서 알 수 있듯이, 소정 형상의 돌출부(55)가 형성된 인쇄판(50) 상에서 상기 인쇄롤(30)을 회전시켜, 상기 인쇄판(50)의 돌출부(55)에 일부 패턴물질(20b)을 전사하고 잔존하는 패턴물질(20a)에 의해 인쇄롤(30)에 소정 형상의 패턴을 형성한다.Thereafter, as shown in FIG. 2B, the
상기 인쇄롤(30) 표면에 부착된 블랭킷(32)은 어느 정도의 탄성을 가진 수지로 되어 있어, 상기 인쇄롤(30)에 도포된 패턴물질을 인쇄판(50)에 전사할 때, 상기 인쇄롤(30)과 인쇄판(50) 사이의 마찰을 줄여준다.The
그 후, 도 2c에서 알 수 있듯이, 기판(10) 상에서 상기 인쇄롤(30)을 회전시켜 상기 기판(10) 상에 패턴물질(20a)을 전사하여 기판(10) 상에 패턴을 형성한다.Then, as can be seen in Figure 2c, by rotating the
이와 같이 인쇄롤(30) 및 인쇄판(50)을 이용한 패턴형성방법은 소정 패턴의 마스크를 이용하지 않아도 되므로 제조비용이 절감되고, 노광 공정 및 현상 공정 등을 거칠 필요가 없으므로 공정시간이 단축된다.As described above, the pattern forming method using the
다만, 종래기술에 따른 인쇄장비를 이용하여 패턴을 형성하는 경우 다음과 같은 문제점이 있다.However, when forming a pattern using a printing apparatus according to the prior art has the following problems.
첫째, 인쇄롤(30)에 패턴물질(20)을 도포할 때, 패턴물질(20)이 인쇄노즐(40)에 엉겨 붙어 코팅 불량을 야기할 우려가 있다.First, when the
이는, 상기 인쇄롤(30)에 패턴물질(20)이 도포된 후, 상기 인쇄롤(30)이 인쇄판(50) 및 기판(10)을 경유하여 패턴을 전사하는 동안, 상기 인쇄노즐(40)의 패턴물질(20) 토출구에 있는 패턴물질(20)이 응고되고, 상기 응고된 패턴물질(20)이 인쇄노즐(40)에 엉겨 붙어서 발생한다.This is because, after the
둘째, 인쇄노즐(40)이 한 방향으로 고정되어 있기 때문에, 재료에 따라 인쇄노즐(40)의 각을 변경하는 것이 불가능하다.Second, since the
도 2a에서는 상기 인쇄노즐(40)이 인쇄롤(30)을 기준으로 상측에 위치하여 수직방향으로 패턴물질(20)을 도포하는 경우를 도시하였으나, 패턴물질의 종류에 따라서는 인쇄노즐(40)을 기울여서 도포하면 더 효율적인 경우가 있다. 다만, 종래기술에 따르면, 인쇄노즐(40)이 한 방향으로 고정되어 있어 재료에 따른 다양한 대응이 불가능하게 된다.In FIG. 2A, the
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로,The present invention has been made to solve the above problems,
본 발명의 목적은, 인쇄노즐 보관부 및 인쇄노즐 세정부를 구비하여 패턴물질이 인쇄노즐에 엉겨 붙어 코팅 불량을 야기하는 현상을 방지하고, 인쇄노즐이 회전할 수 있도록 하여 다양한 패턴물질에 따른 대응이 가능한 인쇄장비, 패턴형성방법 및 이를 이용한 액정표시장치 제조방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a print nozzle storage unit and a print nozzle cleaning unit to prevent a phenomenon in which a pattern material is entangled in the print nozzle and cause coating defects, and to allow the print nozzle to rotate to respond to various pattern materials. The present invention provides a printing apparatus, a pattern forming method, and a liquid crystal display device manufacturing method using the same.
본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 인쇄판 및 기판이 안착된 레일; 상기 레일에 안착된 상기 인쇄판 및 기판을 경유하여 패턴을 전사하는 인쇄롤; 상기 인쇄롤에 패턴물질을 도포하기 위한 인쇄노즐부; 상기 인쇄롤이 인쇄판 및 기판에 패턴을 전사하는 동안 상기 인쇄노즐을 보관하기 위한 인쇄노즐 보관부; 및 상기 인쇄노즐을 세정하기 위한 인쇄노즐 세정부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인쇄장비를 제공한다.The present invention, in order to achieve the above object, the mounting plate and the board is mounted rail; A printing roll for transferring a pattern via the printing plate and the substrate seated on the rail; A printing nozzle unit for applying a pattern material to the printing roll; A printing nozzle storage unit for storing the printing nozzle while the printing roll is transferring the pattern onto the printing plate and the substrate; And a printing nozzle cleaning unit for cleaning the printing nozzle.
이 때, 상기 인쇄판을 세정하기 위한 인쇄판 세정부가 추가로 포함될 수 있다.At this time, a printing plate cleaning unit for cleaning the printing plate may be further included.
상기 인쇄노즐부는 패턴물질을 토출하는 인쇄노즐; 및 상기 인쇄노즐을 구동하기위한 제 1 구동부를 포함하여 이루어지고, 상기 제 1 구동부는 상기 인쇄노즐을 회전시키기 위한 제 1 모터부; 및 상기 인쇄노즐을 직선운동 시키기 위한 제 2 모터부를 포함하여 이루어질 수 있다.The printing nozzle unit is a printing nozzle for discharging a pattern material; And a first driving part for driving the printing nozzle, wherein the first driving part comprises: a first motor part for rotating the printing nozzle; And a second motor unit for linearly moving the printing nozzle.
이 때, 상기 제 1 모터부 및 제 2 모터부 중 적어도 하나 이상은 서보(Servo)모터를 포함하여 이루어진다.In this case, at least one of the first motor unit and the second motor unit may include a servo motor.
상기 인쇄노즐 보관부는 패턴물질의 응고를 방지하기 위한 휘발성 용제가 유입되는 제 1 영역; 및 상기 휘발성용제 및 패턴물질이 보관 방출되는 제 2 영역을 포함하여 이루어질 수 있다.The print nozzle storage unit may include a first region into which a volatile solvent is introduced to prevent solidification of the pattern material; And a second region in which the volatile solvent and the pattern material are stored and released.
상기 인쇄노즐 세정부는 인쇄노즐을 세정하기 위한 브러쉬(Brush); 상기 브러쉬를 구동하기 위한 제 2 구동부; 및 상기 브러쉬를 보관 세정하기 위한 브러쉬 보관부를 포함하여 이루어지고, 상기 제 2 구동부는 상기 브러쉬를 수직, 수평운동 시키기 위한 제 3 모터부; 및 상기 브러쉬를 회전시키기 위한 제 4 모터부를 포함하여 이루어질 수 있다.The printing nozzle cleaning unit includes a brush for cleaning the printing nozzle; A second driver for driving the brush; And a brush storage unit for storing and cleaning the brush, wherein the second driving unit comprises: a third motor unit for vertically and horizontally moving the brush; And a fourth motor unit for rotating the brush.
상기 제 3 모터부 내지 제 4 모터부 중 적어도 하나 이상은 서보 모터를 포함하여 이루어진다.At least one of the third to fourth motor units includes a servo motor.
또한, 본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 인쇄노즐을 이용하여 패턴물질의 일부를 토출하는 단계; 상기 인쇄노즐을 회전 시킨 후 이를 세정하는 단계; 상기 인쇄노즐을 회전시킨 후 이를 이용하여 인쇄롤에 패턴물질을 도포하는 단계; 소정 형상의 돌출부가 형성된 인쇄판 상에서 상기 인쇄롤을 회전시켜 상기 인쇄판의 돌출부에 일부 패턴물질을 전사하는 단계; 및 기판 상에서 상기 인쇄롤을 회전시켜 잔존하는 패턴물질을 전사하는 공정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법을 제공한다.In addition, the present invention, in order to achieve the above object, the step of ejecting a portion of the pattern material using a printing nozzle; Rotating the print nozzle and cleaning the print nozzle; Applying a pattern material to a printing roll by rotating the printing nozzle and using the same; Transferring the pattern material to a protrusion of the printing plate by rotating the printing roll on a printing plate on which a protrusion having a predetermined shape is formed; And a step of transferring the remaining pattern material by rotating the printing roll on the substrate.
이 때, 상기 인쇄판을 세정하는 공정을 추가로 포함하여 이루어질 수 있다.In this case, the printing plate may further include a process of cleaning.
상기 인쇄노즐을 회전 시킨 후 이를 세정하는 단계는 인쇄노즐 세정부의 브러쉬를 상승시키는 단계; 및 상기 인쇄노즐 세정부의 브러쉬를 회전시키면서 수평으로 이동시키는 단계를 포함하여 이루어질 수 있다.The rotating of the printing nozzle and then cleaning the nozzle may include raising the brush of the printing nozzle cleaning unit; And horizontally moving the brush while rotating the brush of the printing nozzle cleaning unit.
또한, 본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 제 1 기판 상에 차광층을 형성하는 공정; 상기 차광층을 포함하는 제 1 기판 상에 컬러필터층을 형성하는 공정; 제 2 기판을 준비하는 공정; 및 상기 제 1 기판 및 제 2 기판 사이에 액정층을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지고, 상기 제 1 기판 상에 차광층을 형성하는 공정, 상기 컬러필터층을 형성하는 공정 중 적어도 하나의 공정은, 상기 제15 항 내지 제19항 중 어느 한 항에 의해 패턴을 형성하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법을 제공한다.In addition, the present invention, in order to achieve the above object, forming a light shielding layer on the first substrate; Forming a color filter layer on the first substrate including the light blocking layer; Preparing a second substrate; And forming a liquid crystal layer between the first substrate and the second substrate, wherein at least one of forming a light shielding layer on the first substrate and forming the color filter layer includes: Provided is a method of manufacturing a liquid crystal display device, comprising the step of forming a pattern according to any one of claims 15 to 19.
이 때, 상기 제 2 기판을 준비하는 공정은 상기 제15항 내지 제19항 중 어느 한 항에 의한 패턴형성방법을 이용하여 상기 제 2 기판 상에 서로 종횡으로 교차되어 화소영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차 영역에 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터를 포함하는 제 1 기판 상에 보호막과, 상기 보호막 상부에 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극에 접속되는 화소전극을 형성하는 공정을 포함하여 이루어질 수 있다.At this time, the step of preparing the second substrate is a gate wiring to cross the vertical and horizontal mutually on the second substrate using a pattern forming method according to any one of the claims 15 to 19 to define a pixel region And a passivation layer on the first substrate including the thin film transistor, the thin film transistor, and a pixel electrode connected to the drain electrode of the thin film transistor on the passivation layer at an intersection of the data line, the gate line and the data line. It can be made, including the process.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
1. 인쇄장비1. Printing Equipment
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 인쇄장비를 개략적으로 도시한 단면도이다.3 is a schematic cross-sectional view of a printing apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 3에서 알 수 있듯이, 본 발명의 실시예에 따른 인쇄장비는 인쇄판(500) 및 기판(100)이 안착된 레일(600), 인쇄롤(300), 인쇄노즐부(700), 인쇄노즐 세정부(800), 인쇄판 세정부(850) 및 인쇄노즐 보관부(900)를 포함하여 이루어진다.As can be seen in Figure 3, the printing equipment according to an embodiment of the present invention is a
상기 인쇄롤(300)은 상기 레일(600)에 안착된 상기 인쇄판(500) 및 기판(100)을 경유하여 패턴을 전사하기 위해 형성되며, 그 표면에는 탄성이 있는 Si계 수지층으로 이루어진 블랭킷(320)이 형성되어 있다.The
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄노즐부(700)를 개략적으로 도시한 사시도이다.4 is a perspective view schematically showing a
도 4에서 알 수 있듯이, 본 발명의 실시예에 따른 인쇄노즐부(700)는 상기 인쇄롤(300)에 패턴물질(200)을 도포하기 위해 형성되며, 패턴물질(200)을 토출하는 인쇄노즐(710) 및 상기 인쇄노즐(710)을 구동하기 위한 제 1 구동부(720)를 포함하여 이루어진다.As can be seen in Figure 4, the
상기 제 1 구동부(720)는 상기 인쇄노즐(710)을 회전시키기 위한 제 1 모터부(721) 및 상기 인쇄노즐(710)을 직선운동 시키기 위한 제 2 모터부(724)를 포함하여 이루어진다.The
상기 제 1 모터부(721)는 상기 인쇄노즐(710) 및 제 2 모터부(726)를 회전시키기 위해 형성되며, 도시하지는 않았으나, 감속기를 구비한 서보(Servo) 모터로 이루어진다.The
상기 제 2 모터부(726)는 모터(722), 변환부(723), 링크부(724) 및 지그(Jig, 725)를 포함하여 이루어진다.The
상기 모터(722)는, 도시하지는 않았으나, 감속기를 구비한 서보 모터로 이루어진다.Although not shown, the
상기 변환부(723)는 상기 모터(722)의 회전 운동에너지를 직선운동에너지로 변환시켜, 상기 인쇄노즐(710)을 직선운동 시키는 역할을 하며, 상기 제 1 모터부(721)와 연결되어 있다.The
상기 링크부(724)는 상기 모터(722)와 변환부(723)를 연결시키며, 그 구체적인 수단으로는 벨트 등이 이용된다.The
상기 지그(725)는 상기 인쇄노즐(710)을 지지 고정하고, 상기 변환부(723)에 연결되며, 상하로 직선 운동하여 인쇄노즐(710)을 움직인다.The
또한, 상기 제 1 구동부(720)는 상기 인쇄노즐(710)의 양측에 대칭적으로 형성되어 상기 인쇄노즐(710)을 회전 운동 및 직선 운동시킨다.In addition, the
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄노즐 세정부(800)를 개략적으로 도시한 사시도이다.5 is a perspective view schematically showing a printing
도 5에서 알 수 있듯이, 본 발명의 실시예에 따른 인쇄노즐 세정부(800)는 브러쉬(810), 상기 브러쉬(810)를 구동하기 위한 제 2 구동부(820) 및 브러쉬 보관부(830)를 포함하여 이루어진다.As can be seen in Figure 5, the printing
상기 브러쉬(810)는 탄성이 있는 고분자 물질로 이루어지며, 신너(Thinner)와 같은 휘발성 용제에 적셔진 상태에서 회전하여 인쇄노즐(710)을 세정한다.The
상기 제 2 구동부(820)는 상기 브러쉬(810)를 수직, 수평운동 시키기 위한 제 3 모터부(822), 상기 브러쉬(810)를 회전시키기 위한 제 4 모터부(824)를 포함하여 이루어진다.The
상기 브러쉬(824)는 제 4 모터부(824)와 연결되어 있으며, 제 4 모터부(824)는 상기 제 3 모터부(822)와 연결되어 있다.The
상기 제 3 모터부(822) 및 제 4 모터부(824)는, 도시하지는 않았으나, 감속기를 구비한 서보 모터로 이루어진다.Although not shown, the
상기 브러쉬 보관부(830)는 상기 브러쉬(810)를 보관 세정하기 위해 형성되며, 그 내부에는 신너 또는 아세톤(Acetone)이 채워져 있다.The
상기 인쇄판 세정부(850)는 상기 레일(600)을 통해 상기 인쇄판(500)으로 이 동하여 상기 인쇄판(500)을 세정하기 위해 형성되며, 도시하지는 않았으나, 세정액 분사장치 및 건조장치로 이루어진다.The printing
상기 인쇄노즐 보관부(900)는 상기 인쇄롤(300)이 인쇄판(500) 및 기판(100)에 패턴을 전사하는 동안 상기 인쇄노즐(700)을 보관하기 위해 형성되며, 패턴물질(200)의 응고를 방지하기 위한 휘발성용제가 유입되는 제 1 영역(910) 및 상기 휘발성 용제 및 패턴물질이 보관 방출되는 제 2 영역(920)을 포함하여 이루어진다.The printing
상기 제 1 영역(910)에는 휘발성 용제 투입구(911)가 형성되어 있으며, 상기 제 2 영역에는 휘발성 용제 배출구(921)가 형성되어 있다.A volatile
또한, 상기 제 1 영역(910)과 제 2 영역(920)의 경계에는 소정의 개구부가 형성된 격막이 형성되어 있다.In addition, a diaphragm having a predetermined opening is formed at a boundary between the first region 910 and the second region 920.
2. 패턴형성방법2. Pattern Formation Method
도 6a 내지 도 6i는 본 발명의 실시예에 따른 패턴형성방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.6A to 6I are process diagrams schematically showing a pattern forming method according to an embodiment of the present invention.
우선, 도 6a에서 알 수 있듯이, 인쇄노즐부(700)의 제 1 구동부(720)를 이용하여 인쇄노즐(710)을 인쇄노즐 보관부(900)에 위치시킨다.First, as shown in FIG. 6A, the
상기 인쇄노즐(710)이 인쇄노즐 보관부(900)로 이동하면, 인쇄노즐 보관부(900)의 제 1 영역(910)에 형성된 휘발성용제 투입구(911)로부터 휘발성용제가 유입된다.When the
상기 휘발성용제 투입구(911)로부터 유입된 휘발성용제는 인쇄노즐(710)의 패턴물질 토출구를 적셔 패턴물질(200)이 응고되는 것을 방지한다.The volatile solvent introduced from the volatile
상기 휘발성용제의 유입은 상기 인쇄노즐(710)이 인쇄노즐 보관부(900)에 위치하는 동안 계속되며, 상기 유입된 휘발성용제는 상기 인쇄노즐 보관부(900)의 제 2 영역(920)에 형성된 휘발성용제 투입구(921)로 빠져 나간다.The introduction of the volatile solvent continues while the
이 때, 상기 인쇄노즐(710)은 패턴물질(200)의 일부를 토출하게 되는데, 이는 상기 인쇄노즐(710)이 인쇄노즐 보관부(700)에 위치되기 전에 이미 응고된 패턴물질(200)을 제거하기 위해서이다.At this time, the
상기 인쇄노즐(710)로부터 토출된 패턴물질(200)의 일부도 상기 인쇄노즐 보관부(900)의 제 2 영역(920)에 형성된 휘발성용제 투입구(921)를 통해 빠져 나간다.A portion of the
이와 같이, 휘발성용제를 이용하여 패턴물질(200)의 응고를 방지하고, 일부 패턴물질(200)을 토출하여 응고된 패턴물질(200)을 제거함으로써, 코팅시 패턴물질(200)이 인쇄노즐(710)에 엉겨 붙어 불량을 야기하는 것을 막을 수 있다.As such, by preventing the solidification of the
그 후, 도 6b에서 알 수 있듯이, 상기 인쇄노즐부(700)의 제 2 모터부(726)를 이용하여 상기 인쇄노즐(710)을 수직 운동시킴으로써, 상기 인쇄노즐(710)을 상기 인쇄노즐 보관부(900)로부터 제거한다.Thereafter, as shown in FIG. 6B, the
그 후, 도 6c에서 알 수 있듯이, 상기 인쇄노즐부(700)의 제 1 모터부(726)를 이용하여 상기 인쇄노즐(710)을 90도 회전시킨다.Thereafter, as shown in FIG. 6C, the
이 때, 브러쉬 보관부(830)에 보관되어 있던 인쇄노즐 세정부(800)의 브러쉬(810)도, 상기 인쇄노즐 세정부(800)의 제 3 모터부(822)에 의해 수직으로 상승한다.At this time, the
그 후, 도 6d에서 알 수 있듯이, 상기 인쇄노즐부(700)의 제 2 모터부(726)를 이용하여 상기 인쇄노즐(710)을 상기 인쇄노즐 세정부(800)의 브러쉬(810)에 위치시켜, 상기 인쇄노즐(710)을 세정한다.Thereafter, as shown in FIG. 6D, the
도 7은 브러쉬가 인쇄노즐을 세정하는 공정을 개략적으로 도시한 공정도로서, 도 6d를 위에서 본 평면도이다.7 is a process diagram schematically illustrating a process in which a brush cleans a printing nozzle, and is a plan view of FIG. 6D seen from above.
도 7에서 알 수 있듯이, 브러쉬(810)가 인쇄노즐(710)을 세정하는 공정은, 상기 인쇄노즐(710)이 인쇄노즐 세정부(800)의 브러쉬(810)에 위치된 후, 상기 브러쉬(810)가 회전함과 동시에 인쇄노즐(710)의 길이 방향으로 수평 운동함으로써 이루어진다.As shown in FIG. 7, the
상기 브러쉬(810)의 회전은 상기 인쇄노즐 세정부(800)의 제 4 모터부(824)에 의하여 이루어지고, 상기 브러쉬(810)의 수평 운동은 상기 인쇄노즐 세정부(800)의 제 3 모터부(822)에 의하여 이루어진다.The
그 후, 도 6e에서 알 수 있듯이, 상기 인쇄노즐부(700)의 제 2 모터부(726)를 이용하여 상기 인쇄노즐(710)을 수평 운동시킴으로써, 상기 인쇄노즐(710)을 상기 브러쉬(810)로부터 제거한다.Thereafter, as shown in FIG. 6E, the
그 후, 도 6f에서 알 수 있듯이, 상기 인쇄노즐부(700)의 제 1 모터부(726)를 이용하여 상기 인쇄노즐(710)을 180도 회전시킨다.Thereafter, as shown in FIG. 6F, the
다만, 상기 인쇄노즐(710)은 인쇄롤(300)에 도포될 패턴물질(200)의 종류에 따라 그 회전각이 변할 수 있다.However, the rotation angle of the
이는, 패턴물질(200)의 종류에 따라, 인쇄롤(300)의 접선에 수직인 방향이 아니라, 인쇄노즐(710)을 약간 경사지게 하여 패턴물질(200)을 도포하는 것이 균일한 도포에 효과적인 경우가 있기 때문이다.This is because, depending on the type of the
이 때, 상기 브러쉬(810)는 신너, 아세톤 등 휘발성용제가 들어있는 브러쉬 보관부(830)로 이동하여 세정 보관된다.At this time, the
그 후, 도 6g에서 알 수 있듯이, 상기 인쇄노즐부(700)의 제 2 모터부(726)를 이용하여 상기 인쇄노즐(710)을 인쇄롤(300)에 위치시켜, 상기 인쇄롤(300)에 패턴물질(200)을 도포한다.Thereafter, as shown in FIG. 6G, the
그 후, 도 6h에서 알 수 있듯이, 인쇄판(500) 및 기판(100) 상에서 상기 패턴물질(200)이 도포된 인쇄롤(300)을 회전시켜, 상기 인쇄판(500) 및 기판(100) 상에 패턴물질(200)을 전사하여 기판(100) 상에 패턴을 형성한다.Thereafter, as shown in FIG. 6H, the
그 후, 도 6i에서 알 수 있듯이, 상기 인쇄판 세정부(850)를 인쇄판(500) 상으로 이동시켜 인쇄판(500)을 세정한다.Thereafter, as shown in FIG. 6I, the printing
이 때, 상기 인쇄노즐(710)은 상기 인쇄노즐부(700)의 제 1 구동부(720)에 의해 인쇄노즐 보관부(900)로 이동된다.At this time, the
3. 액정표시소자 제조방법3. Liquid crystal display device manufacturing method
도 8a 내지 도 8d는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시소자의 제조방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.8A to 8D are process diagrams schematically illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
우선, 도 8a에서 알 수 있듯이, 제 1 기판(130) 상에 차광층(230)을 형성한다.First, as shown in FIG. 8A, the
그 후, 도 8b에서 알 수 있듯이, 상기 차광층(230)을 포함하는 제 1 기 판(130) 상에 컬러필터층(260)을 형성한다.Thereafter, as shown in FIG. 8B, the
여기서, 상기 차광층(230)을 형성하는 공정(도 8a 참조), 상기 컬러필터층(260)을 형성하는 공정(도 8b 참조) 중 적어도 하나의 공정은, 전술한 인쇄장비를 이용하여 패턴을 형성하는 공정으로 이루어질 수 있다.Here, at least one of the process of forming the light blocking layer 230 (see FIG. 8A) and the process of forming the color filter layer 260 (see FIG. 8B) forms a pattern using the aforementioned printing equipment. It can be made to the process.
그 후, 도 8c에서 알 수 있듯이, 제 2 기판(160)을 준비한다.Thereafter, as shown in FIG. 8C, the
상기 제 2 기판(160)을 준비하는 공정은, 도시하지는 않았으나, 전술한 인쇄장비를 이용하여 상기 제 2 기판 상에 서로 종횡으로 교차되어 화소영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선 및 데이터 배선의 교차 영역에 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터와 연결되는 화소전극을 형성하는 공정을 포함하여 이루어진다.Although not illustrated, a process of preparing the
그 후, 도 8d에서 알 수 있듯이, 상기 제 1 기판(130) 및 제 2 기판(160) 사이에 액정층(290)을 형성한다.Thereafter, as shown in FIG. 8D, the liquid crystal layer 290 is formed between the
이 때, 상기 액정층(290)을 형성하는 공정은, 도시하지는 않았으나, 제 1 기판(130) 및 제 2 기판(160) 중 어느 하나의 기판에 주입구 없는 씨일재를 형성하고, 씨일재가 형성된 기판에 액정(290)을 적하한 후 양 기판(130, 160)을 합착하여 형성할 수 있다.At this time, the process of forming the liquid crystal layer 290, although not shown, the sealing material without the injection hole is formed on any one of the
또한, 상기 액정층(290)을 형성하는 공정은, 도시하지는 않았으나, 제 1 기판(130) 및 제 2 기판(160) 중 어느 하나의 기판에 주입구가 형성되도록 씨일재를 형성한 후, 양 기판(130, 160)을 합착하고, 그 후에 상기 주입구를 통해 모세관 현상과 압력차를 이용하여 액정(700)을 주입하여 형성할 수 있다.In addition, the process of forming the liquid crystal layer 290, although not shown, after forming the sealing material to form an injection hole in any one of the
상기 구성에 의한 본 발명에 따르면, 인쇄노즐의 간단한 회전을 통하여 인쇄노즐을 보관, 세정하거나, 인쇄롤에 패턴물질을 도포할 수 있어, 인쇄장비가 차지하는 영역을 줄일 수 있다. 인쇄장비가 차지하는 영역이 줄어듦에 따라 설비투자비를 감소시킬 수 있다.According to the present invention by the above configuration, it is possible to store and clean the printing nozzle or to apply the pattern material to the printing roll through a simple rotation of the printing nozzle, it is possible to reduce the area occupied by the printing equipment. As the area occupied by printing equipment is reduced, the capital investment can be reduced.
또한, 인쇄노즐 보관부에 휘발성용제를 투입함으로써 패턴물질의 응고를 방지할 수 있고, 인쇄노즐 보관부에서 패턴물질의 일부를 토출함으로써 일부 응고된 패턴물질을 제거할 수 있어, 패턴물질의 코팅(Coating) 품질이 향상된다.In addition, by injecting a volatile solvent into the printing nozzle storage unit to prevent the solidification of the pattern material, by discharging a part of the pattern material from the printing nozzle storage unit it is possible to remove the partially solidified pattern material, the coating of the pattern material ( Coating) quality is improved.
또한, 인쇄노즐의 회전각을 변경시켜, 인쇄롤의 접선에 수직하는 방향이 아닌 비스듬한 방향으로 인쇄노즐을 위치시킨 후, 인쇄롤에 패턴물질을 도포할 수 있어 패턴물질의 종류에 따른 인쇄장비의 대응 능력이 향상된다.In addition, by changing the rotation angle of the printing nozzle to position the printing nozzle in an oblique direction rather than in a direction perpendicular to the tangent of the printing roll, the pattern material can be applied to the printing roll. Responsiveness is improved.
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