KR20070112984A - Sealing member, electron emission display device having the sealing member and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

A sealing member, an electron emission display device having the same and a manufacturing method thereof are provided to minimize mis-alignment between substrates by fixing any one of the substrates when the substrates are burned. A sealing member interposed between two substrates(10,20) includes a glass frame(320), a first frit(310) adhered to one side of the glass frame and any one of the substrates, and a second frit(300) adhered to the other side of the glass frame and the other substrate. The first frit and the second frit are made of amorphous material having different softening points, or have different crystallization state.

Description

밀봉 부재, 이 밀봉 부재를 구비한 전자 방출 표시 디바이스 및 그 제조 방법{SEALING MEMBER, ELECTRON EMISSION DISPLAY DEVICE HAVING THE SEALING MEMBER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}Sealing member, the electron emission display device provided with this sealing member, and its manufacturing method {SEALING MEMBER, ELECTRON EMISSION DISPLAY DEVICE HAVING THE SEALING MEMBER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 전자 방출 표시 디바이스를 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating an electron emission display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2a 및 도 2b는 각각 도 1의 제1 기판과 제2 기판에 형성되는 구조물의 일 예를 나타낸 단면도이다.2A and 2B are cross-sectional views illustrating examples of structures formed on the first and second substrates of FIG. 1, respectively.

도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 실시예에 따른 전자 방출 표시 디바이스의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.3A to 3C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an electron emission display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

본 발명은 전자 방출 표시 디바이스에 관한 것으로, 보다 상세하게는 밀봉 부재, 이를 구비한 전자 방출 표시 디바이스 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an electron emission display device, and more particularly, to a sealing member, an electron emission display device having the same and a method of manufacturing the same.

일반적으로, 전자 방출 소자(electron emission element)는 열음극(hot cathode)을 이용하는 방식과 냉음극(cold cathode)을 이용하는 방식으로 구분된다.In general, an electron emission element is classified into a method using a hot cathode and a method using a cold cathode.

여기서, 냉음극을 이용하는 방식의 전자 방출 소자로는 전계 방출 어레 이(Field Emitter Array; FEA, 이하 FEA라 칭함)형, 표면 전도 에미션(Surface Conduction Emission; SCE, 이하 SCE라 칭함)형, 금속-절연체-금속(Metal-Insulator-Metal; MIM, 이하 MIM이라 칭함)형 및 금속-절연체-반도체(Metal-Insulator-Semiconductor; MIS, 이하 MIS라 칭함)형 등이 알려져 있다.Herein, the electron emission device using the cold cathode may include a field emitter array (FEA) type, a surface conduction emission (SCE) type, and a metal. Metal-Insulator-Metal (MIM, hereinafter referred to as MIM) type and Metal-Insulator-Semiconductor (MIS, hereinafter referred to as MIS) type are known.

전자 방출 소자는 전자 방출부와 더불어 전자 방출부의 전자 방출을 제어하는 구동 전극들로 이루어져 구동 전극들에 인가되는 전압에 따라 전자 방출부에서 전자들을 방출하며, 이러한 전자 방출 소자들이 제1 기판에 어레이를 이루어 전자 방출 디바이스(electron emission device)를 구성한다. The electron emission element is composed of driving electrodes for controlling electron emission of the electron emission portion together with the electron emission portion to emit electrons at the electron emission portion in accordance with a voltage applied to the driving electrodes, and the electron emission elements are arrayed on the first substrate. To form an electron emission device.

그리고, 전자 방출 디바이스는 일면에 형광층과 애노드 전극으로 이루어진 발광 유닛이 구비된 제2 기판에 대향 배치되면서 밀봉 부재에 의해 서로 봉착되어 진공 용기를 형성함으로써 전자 방출 소자에서 방출되는 전자들로 형광층을 여기시켜 소정의 발광 또는 표시 작용을 하는 전자 방출 표시 디바이스(electron emission display device)를 구성한다. In addition, the electron emitting device is disposed on a second substrate having a light emitting unit comprising a fluorescent layer and an anode on one surface thereof, and is sealed with each other by a sealing member to form a vacuum container, thereby forming a vacuum layer with electrons emitted from the electron emitting device. Is excited to constitute an electron emission display device that performs a predetermined light emission or display action.

상술한 종래의 전자 방출 표시 디바이스에서 진공 용기의 형성 방법은 다음과 같은 과정으로 이루어질 수 있다. In the above-described conventional electron emission display device, the method of forming the vacuum container may be performed by the following process.

먼저, 제2 기판의 일 면에 제1 프릿(frit)을 도포하고 소성을 수행하여 제1 프릿을 제2 기판에 접착하고, 글래스 프레임의 일 측면에 제2 프릿을 도포하고 소성을 수행하여 제2 프릿을 글래스 프레임의 일 측면에 접착한다. 그 다음, 글래스 프레임의 반대 측면을 제2 기판의 제1 프릿에 정렬하고 소성을 수행하여 제1 프릿 을 매개로 글래스 프레임을 제2 기판에 접착하면서 제1 프릿, 글래스 프레임 및 제2 프릿으로 이루어지는 밀봉 부재를 구성한다. 그 후, 제2 기판에 제1 기판을 정렬하고 소성을 수행하여 밀봉 부재의 제2 프릿을 매개로 하여 제1 기판과 제2 기판을 봉착하고, 두 기판 중 어느 하나의 기판에 제공된 배기관을 통해 내부 공간을 배기시킨 후 배기관을 밀봉한다.First, the first frit is applied to one surface of the second substrate and fired to bond the first frit to the second substrate, and the second frit is applied to one side of the glass frame and fired. 2 Stick the frit to one side of the glass frame. Then, the opposite side of the glass frame is aligned with the first frit of the second substrate and the firing is performed to bond the glass frame to the second substrate via the first frit, which consists of the first frit, the glass frame and the second frit. It constitutes a sealing member. Thereafter, the first substrate is aligned with the second substrate and firing is carried out to seal the first substrate and the second substrate via the second frit of the sealing member, and through the exhaust pipe provided to one of the two substrates. After exhausting the internal space, the exhaust pipe is sealed.

여기서, 제1 프릿 및 제2 프릿은 통상적으로 소성을 수행할 때마다 재 연화되는 비결정형 프릿으로 이루어져 봉착을 위한 소성에 의해 재 연화되어 제1 기판과 제2 기판을 봉착한다.Here, the first frit and the second frit typically consist of an amorphous frit that is resoftened every time firing is performed to resoften by firing for sealing to seal the first substrate and the second substrate.

그런데, 제1 기판과 제2 기판의 봉착 시 소성에 의해 제1 프릿 및 제2 프릿이 연화되면 제1 기판과 제2 기판이 유동될 수 있어 두 기판 사이에 오정렬(misalignment)이 발생할 가능성이 높고, 이 경우 원치 않는 곳에서 발광이 일어나는 이른 바 이상 발광 현상이 발생되어 전자 방출 표시 디바이스의 표시 품질 저하를 유발하게 된다.However, if the first frit and the second frit are softened by firing during sealing of the first substrate and the second substrate, the first substrate and the second substrate may flow, so that there is a high possibility of misalignment between the two substrates. In this case, a so-called abnormal light emission phenomenon occurs in which light emission occurs at an undesired place, which causes display quality degradation of the electron emission display device.

따라서, 본 발명은 상술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 봉착 시 두 기판 사이의 오정렬을 방지할 수 있는 밀봉 부재를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention is to solve the conventional problems as described above, an object of the present invention is to provide a sealing member that can prevent misalignment between the two substrates during sealing.

또한, 본 발명의 다른 목적은 상기 밀봉 부재를 구비한 전자 방출 표시 디바이스 및 그 제조 방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide an electron emission display device having the sealing member and a method of manufacturing the same.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 두 개의 기판들 사이에 배치되어 두 개의 기판들을 서로 봉착하고, 글래스 프레임, 글래스 프레임의 일 측면과 기판들 중 하나의 기판에 각각 접착되는 제1 프릿, 및 글래스 프레임의 반대 측면과 기판들 중 다른 하나의 기판에 각각 접착되는 제2 프릿을 포함하고, 제1 프릿과 제2 프릿이 서로 다른 연화점을 가지는 비결정형으로 이루어지거나 서로 다른 결정 상태를 가지는 밀봉 부재를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention, the first frit is disposed between the two substrates to seal the two substrates to each other, the glass frame, the first frit each bonded to one of the substrate and one of the substrates, And a second frit adhered to the opposite side of the glass frame and the other of the substrates, wherein the first frit and the second frit are made of amorphous or have different crystal states with different softening points. Provide the member.

또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 진공 용기를 이루는 제1 기판 및 제2 기판, 제1 기판에 제공되는 전자 방출 유닛, 제2 기판에 제공되는 발광 유닛, 제1 기판과 제2 기판 사이에 배치되는 밀봉 부재를 포함하고, 밀봉 부재가 글래스 프레임, 글래스 프레임의 일 측면과 기판들 중 하나의 기판에 각각 접착되는 제1 프릿, 및 글래스 프레임의 반대 측면과 기판들 중 다른 하나의 기판에 각각 접착되는 제2 프릿을 포함하며, 제1 프릿과 제2 프릿이 서로 다른 연화점을 가지는 비결정형으로 이루어지거나 서로 다른 결정 상태를 가지는 전자 방출 표시 디바이스를 제공한다.Further, in order to achieve the above object, the present invention, the first substrate and the second substrate constituting the vacuum container, the electron emission unit provided on the first substrate, the light emitting unit provided on the second substrate, the first substrate and the second A sealing member disposed between the substrates, wherein the sealing member is bonded to the glass frame, one side of the glass frame and one of the substrates, respectively, and the other side of the substrate and the opposite side of the glass frame. According to an embodiment, there is provided an electron emission display device including a second frit adhered to a substrate, wherein the first frit and the second frit are formed in an amorphous form having different softening points or have different crystal states.

또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 전자 방출 유닛이 제공된 제1 기판, 발광 유닛이 제공된 제2 기판 및 글래스 프레임을 각각 준비하고, 기판들 중 하나의 기판에 도포 및 소성에 의해 제1 프릿을 접착하고, 글래스 프레임의 일 측면에 도포 및 소성에 의해 제2 프릿을 접착하고, 제1 프릿을 매개로 소성에 의해 글래스 프레임의 반대 측면과 제1 기판을 접착하고, 하나의 기판에 기판들 중 다른 하나의 기판을 정렬하고 소성에 의해 제2 프릿을 매개로 기판들을 서로 봉착하는 단계들을 포함하는 전자 방출 표시 디바이스의 제조 방법을 제공한다.Furthermore, in order to achieve the above object, the present invention provides a first substrate provided with an electron emission unit, a second substrate provided with a light emitting unit, and a glass frame, respectively, and is prepared by coating and firing on one of the substrates. One frit is adhered, the second frit is adhered to one side of the glass frame by applying and firing, and the opposite side of the glass frame and the first substrate are adhered by firing through the first frit, A method of manufacturing an electron emitting display device comprising the steps of aligning one of the substrates and sealing the substrates with each other via a second frit by firing.

상기 밀봉 부재의 제1 프릿과 제2 프릿이 각각 400 내지 500℃ 온도 범위의 연화점을 가질 수 있다.The first frit and the second frit of the sealing member may each have a softening point in the temperature range of 400 to 500 ° C.

바람직하게, 제1 프릿이 봉착 시의 소성 온도보다 20℃ 이상 높은 온도의 연화점을 가지고, 제2 프릿이 봉착 시의 소성 온도와 동일한 온도의 연화점을 가질 수 있다. 이때, 제1 프릿의 납산화물 함량이 60 wt% 내지 70wt% 정도이고, 제2 프릿의 납산화물 함량이 70wt% 내지 80wt % 정도일 수 있다.Preferably, the first frit may have a softening point of 20 ° C. or more higher than the firing temperature at the time of sealing, and the second frit may have a softening point at the same temperature as the firing temperature at the time of sealing. In this case, the lead oxide content of the first frit may be about 60 wt% to 70 wt%, and the lead oxide content of the second frit may be about 70 wt% to 80 wt%.

또한, 제1 프릿이 결정형으로 이루어지고 제2 프릿이 비결정형으로 이루어질 수 있다. In addition, the first frit may be in crystalline form and the second frit may be in amorphous form.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 방출 표시 디바이스의 단면도이고, 도 2a 및 도 2b는 도 1의 제1 기판 및 제2 기판에 형성되는 구조물을 각각 나타낸 단면도들이다.1 is a cross-sectional view of an electron emission display device according to an exemplary embodiment, and FIGS. 2A and 2B are cross-sectional views illustrating structures formed on the first and second substrates of FIG. 1, respectively.

도 1을 참조하면, 전자 방출 표시 디바이스는 소정의 간격을 두고 서로 평행하게 대향 배치되는 제1 기판(10)과 제2 기판(20)을 포함한다. 제1 기판(10)과 제2 기판(20)의 가장 자리에는 밀봉 부재(300)가 배치되어 두 기판을 봉착시키며 제1 기판(10), 제2 기판(20) 및 밀봉 부재(300)가 진공 용기를 구성한다.Referring to FIG. 1, an electron emission display device includes a first substrate 10 and a second substrate 20 that are disposed to be parallel to each other at predetermined intervals. The sealing member 300 is disposed at the edge of the first substrate 10 and the second substrate 20 to seal the two substrates, and the first substrate 10, the second substrate 20, and the sealing member 300 Configure the vacuum vessel.

제1 기판(10) 중 제2 기판(20)과의 대향 면에는 제2 기판(20)을 향해 전자들을 방출하는 전자 방출 유닛(100)이 제공되고, 제2 기판(20) 중 제1 기판(10)과의 대향 면에는 상기 전자들에 의해 가시광을 방출하여 임의의 발광 또는 표시를 행하 는 발광 유닛(200)이 제공된다.On an opposite surface of the first substrate 10 to the second substrate 20, an electron emission unit 100 for emitting electrons toward the second substrate 20 is provided, and the first substrate of the second substrate 20 is provided. On the opposite side to (10), there is provided a light emitting unit 200 which emits visible light by the electrons to perform any light emission or display.

밀봉 부재(300)는 글래스 프레임(320), 이 글래스 프레임(320)과 제2 기판(20) 사이에 배치되어 이들에 각각 접착되는 제1 프릿(310), 및 글래스 프레임(320)과 제1 기판(10) 사이에 배치되어 이들에 각각 접착되는 제2 프릿(300)으로 이루어진다.The sealing member 300 is provided with a glass frame 320, a first frit 310 disposed between the glass frame 320 and the second substrate 20 and adhered thereto, and the glass frame 320 and the first glass. The second frit 300 is disposed between the substrates 10 and adhered thereto.

여기서, 제1 프릿(310)과 제2 프릿(330)은 400 내지 500℃의 온도 범위에서 서로 다른 연화점을 가지는 비결정형으로 이루어질 수 있다.Here, the first frit 310 and the second frit 330 may be formed in an amorphous form having different softening points in the temperature range of 400 to 500 ° C.

이때, 비결정형 프릿은 주성분인 납산화물(PbO)의 함량이 높을수록 낮은 연화점을 가지므로 납산화물의 함량을 조절하면 제1 프릿(310)과 제2 프릿(330)이 서로 다른 연화점을 갖도록 할 수 있다. 일례로, 제1 프릿(310)은 제2 프릿(330) 보다 높은 연화점을 가질 수 있으며, 바람직하게 제1 프릿(310)은 봉착을 위한 소성 온도보다 20℃ 이상 높은 약 470℃ 정도의 연화점을 가질 수 있고 제2 프릿(330)은 봉착을 위한 소성 온도와 동일한 약 450℃ 정도의 연화점을 가질 수 있다. At this time, the amorphous frit has a lower softening point as the content of lead oxide (PbO) as a main component is higher, so that the first frit 310 and the second frit 330 have different softening points when the lead oxide content is controlled. Can be. For example, the first frit 310 may have a softening point higher than that of the second frit 330. Preferably, the first frit 310 has a softening point of about 470 ° C. higher than 20 ° C. higher than the firing temperature for sealing. The second frit 330 may have a softening point of about 450 ° C. equal to the firing temperature for sealing.

이 경우 제1 프릿(310)은 60 wt% 내지 70 wt% 정도의 납산화물 함량을 가질 수 있고, 제2 프릿(330)은 제1 프릿(310) 보다 낮은 70 내지 80wt% 정도의 납산화물 함량을 가질 수 있다. 이때, 제1 및 제2 프릿(310, 330)은 프릿 파우더(Frit Powder) 제조 업체별로 성분 및 성분비의 차이가 있을 수 있으며, 성분비는 PbO의 함량과 PbTiO3 함량의 차이가 있을 수 있다.In this case, the first frit 310 may have a lead oxide content of about 60 wt% to 70 wt%, and the second frit 330 may have a lead oxide content of about 70 to 80 wt% lower than that of the first frit 310. Can have In this case, the first and second frits 310 and 330 may have a difference between components and component ratios by frit powder manufacturers, and the component ratio may have a difference between a PbO content and a PbTiO 3 content.

이처럼 제2 기판(20)에 접착되는 제1 프릿(310)이 봉착을 위한 소성 온도보 다 높은 연화점을 가지면, 제1 기판(10)과 제2 기판(20)의 봉착 시 제1 프릿(310)에 의해 제2 기판(20)은 유동되지 않고 고정될 수 있어 제1 기판(10)과 제2 기판(20) 사이의 오정렬을 최소화할 수 있다.As such, when the first frit 310 adhered to the second substrate 20 has a softening point higher than the firing temperature for sealing, the first frit 310 when the first substrate 10 and the second substrate 20 are sealed. The second substrate 20 can be fixed without being flown, thereby minimizing misalignment between the first substrate 10 and the second substrate 20.

다른 한편으로, 제1 프릿(310)과 제2 프릿(330)은 서로 다른 결정 상태를 가지질 수 있다. 일례로, 제1 프릿(310)은 결정형, 바람직하게 ZnO-B2O3-SiO2 로 이루어질 수 있고 제2 프릿(330)은 비결정형, 바람직하게 PbO-B2O3로 이루어질 수 있다. 이 경우, 제1 기판(10)과 제2 기판(20)의 봉착을 위한 소성 시 제1 프릿(310)이 연화되지 않아 제2 기판(20)이 유동되지 않고 고정될 수 있어 제1 기판(10)과 제2 기판(20) 사이의 오정렬을 최소화할 수 있다.On the other hand, the first frit 310 and the second frit 330 may have different crystal states. In one example, the first frit 310 may be made of a crystalline form, preferably ZnO—B 2 O 3 —SiO 2 , and the second frit 330 may be made of an amorphous form, preferably PbO—B 2 O 3 . In this case, the first frit 310 is not softened during firing for sealing the first substrate 10 and the second substrate 20 so that the second substrate 20 may be fixed without flowing. Misalignment between 10) and the second substrate 20 can be minimized.

본 실시예에서는 제1 프릿(310)이 제2 기판(20)에 접착되고 제2 프릿(330)이 제1 기판(10)에 접착되는 경우를 나타내었지만, 이와 반대로 제1 프릿(310)이 제1 기판(10)에 접착되고 제2 프릿(330)이 제2 기판(20)에 접착될 수도 있으며, 이 경우에는 제1 프릿(310)에 의해 제1 기판(10)이 유동되지 않고 고정될 수 있다.In the present exemplary embodiment, the first frit 310 is bonded to the second substrate 20 and the second frit 330 is bonded to the first substrate 10. The first substrate 10 may be bonded to the first substrate 10 and the second frit 330 may be attached to the second substrate 20. In this case, the first substrate 10 may not be fixed by the first frit 310. Can be.

한편, 제1 기판(10)과 제2 기판(20)에 각각 제공되는 전자 방출 유닛(100)과 발광 유닛(200)은 일례로 도 2a 및 도 2b와 같은 구성을 가질 수 있다.Meanwhile, the electron emission unit 100 and the light emitting unit 200 provided on the first substrate 10 and the second substrate 20 may have a configuration as shown in FIGS. 2A and 2B, for example.

먼저, 도 2a를 참조하여 전자 방출 유닛(100)의 구성을 살펴보면, 제1 기판(10)의 일 방향을 따라 전자 방출을 제어하기 위한 제1 전극으로서 캐소드 전극들(110)이 스트라이프 패턴으로 형성되고, 캐소드 전극(110) 위로 제1 기판(10) 전체에 제1 절연층(120)이 형성되며, 제1 절연층(120) 위로 제2 전극으로서 게이트 전극들(130)이 캐소드 전극(110)과 직교하는 방향을 따라 스트라이프 패턴으로 형성된다. 그리고, 캐소드 전극(110)과 게이트 전극(130)이 교차하는 영역마다 캐소드 전극(110) 위로 적어도 하나 이상의 전자 방출부(140)가 형성되고, 제1 절연층(120)과 게이트 전극(130)에는 각 전자 방출부(140)에 대응하는 개구부(120a, 130a)가 각각 형성되어 제1 기판(10) 위로 전자 방출부(140)가 노출된다.First, referring to FIG. 2A, the structure of the electron emission unit 100 is described. The cathode electrodes 110 are formed in a stripe pattern as a first electrode for controlling electron emission along one direction of the first substrate 10. The first insulating layer 120 is formed on the entire first substrate 10 over the cathode electrode 110, and the gate electrodes 130 are formed on the first insulating layer 120 as the second electrode. It is formed in a stripe pattern along the direction orthogonal to). In addition, at least one electron emission unit 140 is formed on the cathode electrode 110 in each region where the cathode electrode 110 and the gate electrode 130 cross each other, and the first insulating layer 120 and the gate electrode 130 are formed. Openings 120a and 130a corresponding to the electron emission parts 140 may be formed in the hole to expose the electron emission parts 140 on the first substrate 10.

여기서, 전자 방출부(140)는 진공 중에서 전계가 가해지면 전자를 방출하는 물질들, 가령 탄소계 물질 또는 나노미터 사이즈 물질, 일례로 탄소 나노튜브, 흑연, 흑연 나노파이버, 다이아몬드, 다이아몬드상 탄소, C60(fullerene), 실리콘 나노와이어 중 선택되는 어느 하나 또는 이들의 조합 물질로 이루어질 수 있으며, 그 제조법으로는 스크린 인쇄, 직접 성장, 화학기상증착 또는 스퍼터링 등을 적용할 수 있다.Here, the electron emission unit 140 may be formed of materials that emit electrons when an electric field is applied in a vacuum, such as carbon-based materials or nanometer-sized materials, such as carbon nanotubes, graphite, graphite nanofibers, diamonds, diamond-like carbons, C 60 (fullerene), it may be made of any one selected from silicon nanowires or a combination thereof, the manufacturing method may be applied to screen printing, direct growth, chemical vapor deposition or sputtering.

또한, 하나의 캐소드 전극(110), 하나의 게이트 전극(130), 및 이들의 교차 영역에 위치하는 제1 절연층(120)과 전자 방출부(140)가 하나의 전자 방출 소자를 이루게 되며, 이러한 전자 방출 소자가 제1 기판(10)에 어레이(array)를 이루어 전자 방출 디바이스를 구성하게 된다.In addition, one cathode electrode 110, one gate electrode 130, and the first insulating layer 120 and the electron emission unit 140 positioned at the intersection thereof form one electron emission element. These electron emitting devices form an array on the first substrate 10 to constitute the electron emitting device.

본 실시예에서는 게이트 전극(130)이 제1 절연층(120)을 사이에 두고 캐소드 전극(110) 위로 위치하는 구조에 대해 설명하였지만, 캐소드 전극이 게이트 전극 위로 위치하는 구조도 가능하며, 이 경우 전자 방출부는 캐소드 전극의 일 측면과 접촉하면서 제1 절연층 위로 형성될 수 있다.In the present embodiment, the structure in which the gate electrode 130 is positioned above the cathode electrode 110 with the first insulating layer 120 interposed therebetween, but the structure in which the cathode electrode is positioned above the gate electrode is also possible. The electron emission part may be formed on the first insulating layer while in contact with one side of the cathode electrode.

또한, 제1 기판(10)에 게이트 전극(130) 위로 제2 절연층(150)과 집속 전극(160)이 순차적으로 더 형성될 수 있다. 이 경우 제2 절연층(150)과 집속 전극(160)에도 전자빔 통과를 위한 개구부(150a, 160a)가 마련되는데, 일례로 이 개구부(150a, 160a)는 전자 방출 소자 당 하나로 구비되어 집속 전극(160)이 하나의 전자 방출 소자에서 방출되는 전자들을 포괄적으로 집속하도록 한다.In addition, the second insulating layer 150 and the focusing electrode 160 may be sequentially formed on the gate electrode 130 on the first substrate 10. In this case, the second insulating layer 150 and the focusing electrode 160 are also provided with openings 150a and 160a for passing electron beams. For example, the openings 150a and 160a may be provided per electron emission element to focus the electrodes. 160 allows comprehensive collection of electrons emitted from one electron emitting device.

이때, 집속 전극(160)은 전자 방출부(140)와의 높이 차이가 클수록 우수한 집속 효과를 발휘하므로, 제2 절연층(150)의 두께를 제1 절연층(130)의 두께보다 크게 형성하는 것이 바람직하다.In this case, the focusing electrode 160 exhibits an excellent focusing effect as the height difference from the electron emission unit 140 increases, so that the thickness of the second insulating layer 150 is greater than the thickness of the first insulating layer 130. desirable.

또한, 집속 전극(160)은 제2 절연층(150) 위에 코팅된 도전막으로 이루어지거나 개구부(160a)를 구비한 금속 플레이트로 이루어질 수 있다.In addition, the focusing electrode 160 may be formed of a conductive film coated on the second insulating layer 150 or may be formed of a metal plate having an opening 160a.

다음으로, 도 2b를 참조하여 발광 유닛(200)의 구성을 살펴보면, 제2 기판(20)에 형광층(210)과 흑색층(220)이 형성되고, 형광층(210)과 흑색층(220) 위로 알루미늄과 같은 금속으로 이루어진 애노드 전극(230)이 형성된다. 애노드 전극(230)은 외부로부터 전자빔 가속에 필요한 고전압을 인가 받으며, 형광층(210)에서 방사된 가시광 중 제 1 기판(10)을 향해 방사된 가시광을 제2 기판(20) 측으로 반사시켜 화면의 휘도를 높이는 역할을 한다.Next, referring to FIG. 2B, the structure of the light emitting unit 200 will be described. A fluorescent layer 210 and a black layer 220 are formed on the second substrate 20, and the fluorescent layer 210 and the black layer 220 are formed. The anode electrode 230 made of a metal such as aluminum is formed above. The anode electrode 230 receives a high voltage necessary for accelerating the electron beam from the outside, and reflects the visible light emitted toward the first substrate 10 among the visible light emitted from the fluorescent layer 210 to the second substrate 20 side of the screen. It increases the brightness.

또한, 애노드 전극(230)은 제2 기판(20)을 향한 형광층(210)과 흑색층(220)의 일면에 형성될 수 있으며, 이 경우 형광층(210)에서 방사된 가시광을 투과시킬 수 있도록 애노드 전극이 ITO와 같은 투명 도전 물질로 이루어진다.In addition, the anode electrode 230 may be formed on one surface of the fluorescent layer 210 and the black layer 220 facing the second substrate 20. In this case, the anode electrode 230 may transmit visible light emitted from the fluorescent layer 210. So that the anode electrode is made of a transparent conductive material such as ITO.

다른 한편으로, 애노드 전극(230)은 금속 박막과 투명 도전 물질이 모두 형 성되는 구조로 이루어질 수 있다.On the other hand, the anode electrode 230 may have a structure in which both the metal thin film and the transparent conductive material are formed.

형광층(210)은 제1 기판(10) 상에 정의된 전자 방출 소자에 일대일로 대응하여 배치되거나 화면의 수직 방향을 따라 스트라이프 패턴으로 형성될 수 있고, 흑색층(220)은 크롬 또는 크롬 산화물과 같은 불투명 물질로 이루어질 수 있다.The fluorescent layer 210 may be disposed in a one-to-one correspondence to the electron emission device defined on the first substrate 10 or may be formed in a stripe pattern along the vertical direction of the screen, and the black layer 220 may be chromium or chromium oxide. It may be made of an opaque material such as.

상술한 전자 방출 표시 디바이스에서 제2 기판(20)의 형광층(210)은 제1 기판(10)의 전자 방출 소자에 대응하여 형성되며, 이때 서로 대응하는 하나의 형광층(210)과 하나의 전자 방출 소자가 실질적인 화소를 이루게 된다.In the above-described electron emission display device, the fluorescent layer 210 of the second substrate 20 is formed to correspond to the electron emission element of the first substrate 10, wherein one fluorescent layer 210 and one corresponding to each other are formed. The electron-emitting device forms a substantial pixel.

이와 같이 구성되는 전자 방출 표시 디바이스에서는, 일례로 애노드 전극(230)에 수백 내지 수천 볼트의 (+) 전압을 인가하고, 캐소드 전극(110)과 게이트 전극(130) 중 어느 하나의 전극에 주사 신호 전압을 인가함과 동시에 다른 하나의 전극에 데이터 신호 전압을 인가하며, 집속 전극(160)에는 수 내지 수십 볼트의 (-) 전압을 인가하여 구동한다.In the electron emission display device configured as described above, for example, a positive voltage of several hundred to several thousand volts is applied to the anode electrode 230, and a scan signal is applied to any one of the cathode electrode 110 and the gate electrode 130. At the same time, the data signal voltage is applied to the other electrode, and the focusing electrode 160 is driven by applying a negative voltage of several to several tens of volts.

그러면, 캐소드 전극(110)과 게이트 전극(130) 사이의 전압차가 임계치 이상인 전자 방출 소자들에서 전자 방출부(140) 주위에 전계가 형성되어 이로부터 전자가 방출되고, 방출된 전자들은 집속 전극(160)의 개구부(160a)를 통과하면서 전자빔 다발의 중심부로 집속되어 애노드 전극(230)에 인가된 고전압에 이끌려 해당 형광층(210)에 충돌하여 이를 발광시킨다.Then, in the electron emission devices in which the voltage difference between the cathode electrode 110 and the gate electrode 130 is greater than or equal to a threshold, an electric field is formed around the electron emission unit 140 to emit electrons therefrom, and the emitted electrons are focused electrodes ( While passing through the opening 160a of the 160, the light is focused at the center of the electron beam bundle, attracted by the high voltage applied to the anode electrode 230, and collides with the fluorescent layer 210 to emit light.

이 과정에서 본 실시예의 전자 방출 표시 디바이스는, 제1 기판(10)과 제2 기판(20)이 밀봉 부재(300)에 의해 정확하게 정렬 및 봉착되어 있어 이상 발광 등이 발생되지 않는다.In this process, in the electron emission display device of the present embodiment, the first substrate 10 and the second substrate 20 are correctly aligned and sealed by the sealing member 300, so that abnormal light emission does not occur.

상술한 전자 방출 표시 디바이스의 제조 방법을 도 3a 내지 도 3c를 참조하여 설명한다.The manufacturing method of the above-mentioned electron emission display device is demonstrated with reference to FIGS. 3A-3C.

도 3a를 참조하면, 전자 방출 유닛(100)이 제공된 제1 기판(10, 도 1 참조), 발광 유닛(200)이 제공된 제2 기판(20) 및 글래스 프레임(320, 도 1 참조)을 각각 준비한다.Referring to FIG. 3A, each of the first substrate 10 (see FIG. 1) provided with the electron emission unit 100, the second substrate 20 provided with the light emitting unit 200, and the glass frame 320 (see FIG. 1), respectively. Prepare.

그 다음, 제2 기판(10)의 가장 자리에 제1 프릿(310)을 도포하고 소성을 수행하여 제2 기판(10)에 제1 프릿(310)을 접착한다.Next, the first frit 310 is applied to the edge of the second substrate 10 and baked to bond the first frit 310 to the second substrate 10.

제1 프릿(310)은 400 내지 500℃ 온도 범위의 연화점을 가지는 비결정형으로 이루어질 수 있다. 바람직하게, 제1 프릿(310)은 이후 봉착을 위한 소성 온도보다 20℃ 이상 높은 약 470℃ 정도의 연화점을 가질 수 있고, 이때 제1 프릿(310)의 납산화물 함량은 60 wt% 내지 70wt% 정도일 수 있다.The first frit 310 may be formed in an amorphous form having a softening point in the temperature range of 400 to 500 ° C. Preferably, the first frit 310 may have a softening point of about 470 ° C. that is 20 ° C. or more higher than the firing temperature for sealing, and the lead oxide content of the first frit 310 is 60 wt% to 70 wt%. May be enough.

도 3b를 참조하면, 글래스 프레임(320)의 일 측면에 제2 프릿(330)을 도포한 후 소성을 수행하여 글래스 프레임(320)의 일 측면에 제2 프릿(330)을 접착한다.Referring to FIG. 3B, the second frit 330 is coated on one side of the glass frame 320 and then fired to bond the second frit 330 to one side of the glass frame 320.

제2 프릿(330)은 400 내지 500℃ 온도 범위에서 제1 프릿(310) 보다 낮은 연화점을 가지는 비결정형으로 이루어질 수 있다. 바람직하게, 제1 프릿(310)은 봉착을 위한 소성 온도와 동일한 약 450℃ 정도의 연화점을 가질 수 있고, 이때 제2 프릿(330)의 납산화물 함량은 70wt% 내지 80wt% 정도일 수 있다.The second frit 330 may be formed in an amorphous form having a softening point lower than that of the first frit 310 in the temperature range of 400 to 500 ° C. Preferably, the first frit 310 may have a softening point of about 450 ° C. equal to the firing temperature for sealing, and the lead oxide content of the second frit 330 may be about 70 wt% to about 80 wt%.

그 다음, 글래스 프레임(320)의 반대 측면을 제2 기판(20)에 접착된 제1 프릿(310)에 정렬하고 소성을 수행하여, 제1 프릿(310)을 매개로 글래스 프레임(320)을 제2 기판(200)에 접착하면서 제1 프릿(310), 글래스 프레임(320) 및 제2 프 릿(330)으로 이루어지는 밀봉 부재(300)를 구성한다.Next, the opposite side of the glass frame 320 is aligned with the first frit 310 adhered to the second substrate 20 and fired, so that the glass frame 320 is opened via the first frit 310. While bonding to the second substrate 200, the sealing member 300 including the first frit 310, the glass frame 320, and the second frit 330 is formed.

도 3c를 참조하면, 제2 기판(20)에 제1 기판(10)을 정렬하고 약 450℃ 정도의 온도에서 소성을 수행하여 밀봉 부재(300)의 제2 프릿(330)을 매개로 제1 기판(10)과 제2 기판(20)을 봉착한다. 이때, 제2 기판(20)에 접착된 제1 프릿(310)이 제4 소성 온도보다 높은 연화점을 가짐에 따라 제1 기판(10)과 제2 기판(20)의 봉착을 위한 소성 시 제1 프릿(310)에 의해 제2 기판(20)이 유동되지 않고 고정될 수 있어 제1 기판(10)과 제2 기판(20) 사이의 오정렬을 최소화할 수 있다.Referring to FIG. 3C, the first substrate 10 is aligned with the second substrate 20 and calcined at a temperature of about 450 ° C. to allow the first substrate 10 to pass through the second frit 330 of the sealing member 300. The substrate 10 and the second substrate 20 are sealed. In this case, as the first frit 310 adhered to the second substrate 20 has a softening point higher than the fourth firing temperature, the first frit 310 is fired to seal the first substrate 10 and the second substrate 20. The frit 310 may fix the second substrate 20 without flowing, thereby minimizing misalignment between the first substrate 10 and the second substrate 20.

그 후, 두 기판 중 어느 하나의 기판에 제공된 배기관(미도시)을 통해 내부 공간을 배기시킨 후 배기관을 밀봉하여 진공 용기를 구성한다.Thereafter, the internal space is exhausted through an exhaust pipe (not shown) provided on one of the two substrates, and the exhaust pipe is sealed to form a vacuum container.

본 실시예에서는 제1 프릿(310)과 제2 프릿(330)이 서로 다른 연화점을 가지는 경우의 전자 방출 표시 디바이스를 제조하는 방법에 대해서만 설명하였지만, 제1 프릿(310)과 제2 프릿(330)이 서로 다른 결정 상태를 가지는 경우에도 상술한 방법과 동일한 방법으로 전자 방출 표시 디바이스를 제조할 수 있다.In the present embodiment, only the method of manufacturing the electron emission display device when the first frit 310 and the second frit 330 have different softening points has been described. However, the first frit 310 and the second frit 330 are described. In the case where)) have different crystal states, the electron emission display device can be manufactured by the same method as described above.

또한, 본 실시예에서는 제1 프릿(310)을 제2 기판(20)에 접착하고 제2 프릿(330)을 제2 기판(20)에 접착하는 경우를 나타내었지만, 이와 반대로 제1 프릿(310)을 제1 기판(10)에 접착되고 제2 프릿(330)을 제2 기판(20)에 접착할 수도 있으며, 이 경우에는 제1 프릿(310)에 의해 제1 기판(10)이 유동되지 않고 고정될 수 있다.In addition, in the present exemplary embodiment, the first frit 310 is adhered to the second substrate 20 and the second frit 330 is adhered to the second substrate 20. ) May be bonded to the first substrate 10 and the second frit 330 may be attached to the second substrate 20, in which case the first substrate 10 is not flown by the first frit 310. Can be fixed without.

상기 실시예에서는 FEA형 전자 방출 소자를 구비하는 전자 방출 표시 디바이스에 대해 설명하였지만, 밀봉 부재에 의해 봉착되어 진공 용기를 이루는 다른 형 태의 전자 방출 표시 디바이스, 즉 SCE형, MIM형 및 MIS형 등의 전자 방출 소자를 구비하는 전자 방출 표시 디바이스에도 적용하여 실시할 수 있다.In the above embodiment, the electron emission display device having the FEA type electron emission element has been described, but other types of electron emission display devices sealed by the sealing member to form a vacuum container, such as SCE type, MIM type and MIS type, etc. The present invention can also be applied to an electron emission display device having an electron emission element.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. Naturally, it belongs to the range of.

이와 같이 본 발명에 따른 전자 방출 표시 디바이스는 연화점 또는 결정 상태 등의 특성이 다른 프릿으로 이루어지는 밀봉 부재를 매개로 제1 기판과 제2 기판을 봉착하여 진공 용기를 구성하므로, 제1 기판과 제2 기판의 봉착을 위한 소성 시 하나의 기판은 유동하지 않고 고정할 수 있어 기판들 사이의 오정렬을 최소화할 수 있다.As described above, the electron emission display device according to the present invention forms a vacuum container by sealing the first substrate and the second substrate through a sealing member made of a frit having different characteristics such as softening point or crystal state, and thus, the first substrate and the second substrate. When firing for sealing the substrate, one substrate may be fixed without flowing, thereby minimizing misalignment between the substrates.

또한, 본 발명에 따른 전자 방출 표시 디바이스의 경우, 다른 하나의 기판에 기판의 유동을 막기 위한 별도의 보조 치구 등을 설치하면 기판들 사이의 오정렬을 더욱 더 최소화할 수 있는 효과도 예상할 수 있다.In addition, in the case of the electron emission display device according to the present invention, it is also possible to further minimize the misalignment between the substrate by installing a separate auxiliary jig to prevent the flow of the substrate on the other substrate. .

따라서, 본 발명에 따른 전자 방출 표시 디바이스는 이상 발광 현상을 방지할 수 있어 표시 품질을 개선할 수 있다.Therefore, the electron emission display device according to the present invention can prevent the abnormal light emission phenomenon to improve the display quality.

Claims (18)

두 개의 기판들 사이에 배치되어 상기 두 개의 기판들을 서로 봉착하고, Disposed between two substrates to seal the two substrates with each other, 글래스 프레임;Glass frames; 상기 글래스 프레임의 일 측면과 상기 기판들 중 하나의 기판에 각각 접착되는 제1 프릿; 및 A first frit adhered to one side of the glass frame and one of the substrates, respectively; And 상기 글래스 프레임의 반대 측면과 상기 기판들 중 다른 하나의 기판에 각각 접착되는 제2 프릿A second frit bonded to an opposite side of the glass frame and the other one of the substrates, respectively 을 포함하고, Including, 상기 제1 프릿과 상기 제2 프릿이 서로 다른 연화점을 가지는 비결정형으로 이루어지거나 서로 다른 결정 상태를 가지는 밀봉 부재.The sealing member of the first frit and the second frit made of an amorphous form having different softening points or having different crystal states. 제1 항에 있어서, According to claim 1, 상기 제1 프릿과 상기 제2 프릿이 각각 400 내지 500℃ 온도 범위의 연화점을 가지는 밀봉 부재.And the first frit and the second frit each have a softening point in the temperature range of 400 to 500 ° C. 제2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 제1 프릿이 상기 봉착 시의 온도보다 20℃ 이상 높은 온도의 연화점을 가지고, 상기 제2 프릿이 상기 봉착 시의 온도와 동일한 온도의 연화점을 가지는 밀봉 부재.The sealing member of the said 1st frit has a softening point of the temperature 20 degreeC or more higher than the temperature at the said sealing, and the said 2nd frit has the softening point of the same temperature as the temperature at the said sealing. 제3 항에 있어서, The method of claim 3, wherein 상기 제1 프릿의 납산화물 함량이 60wt% 내지 70wt% 정도이고, 상기 제2 프릿의 납산화물 함량이 70wt% 내지 80wt% 정도인 밀봉 부재.The lead oxide content of the first frit is about 60wt% to 70wt%, the lead oxide content of the second frit is about 70wt% to 80wt%. 제2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 제1 프릿이 결정형으로 이루어지고 상기 제2 프릿이 비결정형으로 이루어지는 밀봉 부재.And the first frit is in crystalline form and the second frit is in amorphous form. 진공 용기를 이루는 제1 기판 및 제2 기판;A first substrate and a second substrate constituting the vacuum container; 상기 제1 기판에 제공되는 전자 방출 유닛;An electron emission unit provided on the first substrate; 상기 제2 기판에 제공되는 발광 유닛;A light emitting unit provided on the second substrate; 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 배치되는 밀봉 부재를 포함하고, A sealing member disposed between the first substrate and the second substrate, 상기 밀봉 부재가 The sealing member 글래스 프레임;Glass frames; 상기 글래스 프레임의 일 측면과 상기 기판들 중 하나의 기판에 각각 접착되는 제1 프릿; 및 A first frit adhered to one side of the glass frame and one of the substrates, respectively; And 상기 글래스 프레임의 반대 측면과 상기 기판들 중 다른 하나의 기판에 각각 접착되는 제2 프릿을 포함하며, A second frit adhered to an opposite side of the glass frame and one of the substrates, respectively; 상기 제1 프릿과 상기 제2 프릿이 서로 다른 연화점을 가지는 비결정형으로 이루어지거나 서로 다른 결정 상태를 가지는 전자 방출 표시 디바이스.And the first frit and the second frit are in an amorphous form having different softening points or have different crystal states. 제6 항에 있어서, The method of claim 6, 상기 밀봉 부재의 상기 제1 프릿과 상기 제2 프릿이 각각 400 내지 500℃ 온도 범위의 연화점을 가지는 전자 방출 표시 디바이스.And each of the first frit and the second frit of the sealing member have a softening point in a temperature range of 400 to 500 ° C. 제7 항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 제1 프릿이 상기 봉착 시의 온도보다 20℃ 이상 높은 온도의 연화점을 가지고, 상기 제2 프릿이 상기 봉착 시의 온도와 동일한 온도의 연화점을 가지는 전자 방출 표시 디바이스.And the first frit has a softening point at a temperature of 20 ° C. or more higher than the temperature at the time of sealing, and the second frit has a softening point at the same temperature as the temperature at the time of sealing. 제8 항에 있어서, The method of claim 8, 상기 제1 프릿의 납산화물 함량이 60wt% 내지 70wt% 정도이고, 상기 제2 프릿의 납산화물 함량이 70wt% 내지 80wt% 정도인 전자 방출 표시 디바이스.The lead oxide content of the first frit is about 60wt% to 70wt%, and the lead oxide content of the second frit is about 70wt% to 80wt%. 제7 항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 제1 프릿이 결정형으로 이루어지고 상기 제2 프릿이 비결정형으로 이루어지는 전자 방출 표시 디바이스.And the first frit is crystalline and the second frit is amorphous. 제6 항에 있어서, The method of claim 6, 상기 전자 방출 유닛이 전자 방출부 및 이 전자 방출부를 구동하는 전극들을 포함하는 전자 방출 표시 디바이스.And an electron emission unit and electrodes for driving the electron emission unit. 제11 항에 있어서, The method of claim 11, wherein 상기 전자 방출부가 탄소 나노튜브, 흑연, 흑연 나노파이버, 다이아몬드, 다이아몬드상 탄소, C60(fullerene), 실리콘 나노와이어 중 선택되는 어느 하나 또는 이들의 조합 물질로 이루어지는 전자 방출 표시 디바이스.The electron emission display device of claim 1, wherein the electron emission unit is one selected from carbon nanotubes, graphite, graphite nanofibers, diamonds, diamond-like carbons, C 60 (fullerenes), and silicon nanowires. 제6 항에 있어서, The method of claim 6, 상기 발광 유닛이 형광층과 애노드 전극을 포함하는 전자 방출 표시 디바이스.And the light emitting unit comprises a fluorescent layer and an anode electrode. 전자 방출 유닛이 제공된 제1 기판, 발광 유닛이 제공된 제2 기판 및 글래스 프레임을 각각 준비하는 단계;Preparing a first substrate provided with an electron emission unit, a second substrate provided with a light emitting unit, and a glass frame, respectively; 상기 기판들 중 하나의 기판에 도포 및 소성에 의해 제1 프릿을 접착하는 단계;Bonding the first frit to one of the substrates by application and firing; 상기 글래스 프레임의 일 측면에 도포 및 소성에 의해 제2 프릿을 접착하는 단계;Bonding a second frit to one side of the glass frame by applying and firing; 상기 제1 프릿을 매개로 소성에 의해 상기 글래스 프레임의 반대 측면과 상 기 제1 기판을 접착하는 단계; 및 Bonding the first substrate to the opposite side of the glass frame by firing through the first frit; And 상기 하나의 기판에 상기 기판들 중 다른 하나의 기판을 정렬하고 소성에 의해 상기 제2 프릿을 매개로 상기 기판들을 서로 봉착하는 단계Aligning one of the substrates with the one substrate and sealing the substrates with each other via the second frit by firing; 를 포함하는 전자 방출 표시 디바이스의 제조 방법.Method of manufacturing an electron emission display device comprising a. 제14 항에 있어서, The method of claim 14, 상기 제1 프릿과 상기 제2 프릿이 각각 400 내지 500℃ 온도 범위의 연화점을 가지는 전자 방출 표시 디바이스의 제조 방법.And the first frit and the second frit each have a softening point in a temperature range of 400 to 500 ° C. 제15 항에 있어서, The method of claim 15, 상기 제1 프릿이 상기 봉착 시의 소성 온도보다 20℃ 이상 높은 온도의 연화점을 가지고, 상기 제2 프릿이 상기 봉착 시의 소성 온도와 동일한 온도의 연화점을 가지는 전자 방출 표시 디바이스.And the first frit has a softening point of 20 ° C. or more higher than the firing temperature at the time of sealing and the second frit has a softening point at the same temperature as the firing temperature at the time of sealing. 제16 항에 있어서, The method of claim 16, 상기 제1 프릿의 납산화물 함량이 60wt% 내지 70wt% 정도이고, 상기 제2 프릿의 납산화물 함량이 70wt% 내지 80wt% 정도인 전자 방출 표시 디바이스의 제조 방법.The lead oxide content of the first frit is about 60wt% to 70wt%, and the lead oxide content of the second frit is about 70wt% to 80wt%. 제15 항에 있어서, The method of claim 15, 상기 제1 프릿이 결정형으로 이루어지고 상기 제2 프릿이 비결정형으로 이루어지는 전자 방출 표시 디바이스의 제조 방법.And the first frit is in crystalline form and the second frit is in amorphous form.
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