KR20070087967A - Pellicle frame - Google Patents

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Abstract

A pellicle frame is provided to minimize an amount of wasted material and reduce its weight while effectively maintaining the moment of inertia by forming the frame in a tube-shaped bar. A pellicle frame mounted on an exposure mask for use in fabrication of a flat display includes at least four tube-shaped bars(200,300) with cavities(230,330) therein, and at least four welding portions for connecting the bars in a rectangular shape. The cavities formed in the tube-shaped bars are connected to each other, and a reinforcing bar is mounted in the cavities formed in the tube-shaped bars.

Description

펠리클 프레임{PELLICLE FRAME}Pellicle frame {PELLICLE FRAME}

도 1 및 도 2는 종래 기술에 따른 펠리클 프레임의 제작 방법 및 구조를 설명하기 위한 사시도들,1 and 2 are perspective views for explaining the manufacturing method and structure of the pellicle frame according to the prior art,

도 3은 본 발명의 실시예에 이용되는 튜브형태 막대의 일예를 나타내는 사시투시도, 3 is a perspective view showing an example of a tubular rod used in an embodiment of the present invention;

도 4 내지 도 8은 여러 튜브형태 막대의 단면도들,4 to 8 are cross-sectional views of several tubular rods,

도 9 내지 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 펠리클을 설명하기 위한 사시도들 및 평면투시도,9 to 11 are perspective views and a perspective view for explaining a pellicle according to an embodiment of the present invention,

도 12 및 도 13은 본 발명 일 실시예의 변형된 예를 나타내는 사시도 및 평면투시도,12 and 13 are a perspective view and a perspective view showing a modified example of an embodiment of the present invention,

도 14 및 도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 펠리클 프레임을 설명하기 위한 사시도들,14 and 15 are perspective views for explaining a pellicle frame according to another embodiment of the present invention,

도 16 내지 도 18은 본 발명의 다른 실시예에서 튜브형태 막대와 커넥터 연결의 다른 예를 설명하기 위한 투시도들,16 to 18 are perspective views for explaining another example of the tubular rod and connector connection in another embodiment of the present invention,

도 19 및 도 20은 본 발명 다른 실시예의 변형된 예를 나타내는 사시도들이다.19 and 20 are perspective views showing a modified example of another embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부호에 대한 간략한 설명><Brief description of the major symbols in the drawings>

100, 200, 300, 500: 튜브형태 막대 100, 200, 300, 500: tubular rod

130, 230, 330, 430: 공동130, 230, 330, 430: cavity

250: 용접부250: weld

400, 600: 커넥터400, 600: connector

900, 910, 920: 펠리클 프레임900, 910, 920: pellicle frame

본 발명은 LCD(Liquid Crystal Display)와 같은 평판디스플레이(flat panel display) 제조용 노광 마스크에 장착되는 펠리클(pellicle)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상기 펠리클을 구성하는 펠리클 프레임(pellicle frame)에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pellicle mounted on an exposure mask for manufacturing a flat panel display such as an LCD (Liquid Crystal Display), and more particularly, to a pellicle frame constituting the pellicle. .

최근 평판디스플레이 화면이 대형화됨에 따라 이들 제조에 이용되는 노광용 마스크 및 마스크에 장착되어 마스크를 이물질로부터 보호하는 펠리클의 대형화도 요구되고 있다. 펠리클을 제작 위해서는 먼저 펠리클 프레임을 가공하여야 하는데, 통상적인 펠리클 프레임 구조는 하나의 몸체로 되어있다. 이와 같이 하나의 몸체로 되어 있는 구조의 경우, 도 1에 도시된 바와 같이, 알루미늄 합금과 같은 금속합금으로 이루어진 판재(10)의 상부면(12)과 하부면(14)을 평탄하게 가공한 후 도 2에 도시된 바와 같이 바깥쪽면(22)과 안쪽면(24)을 따라 상기 판재(10) 대부분을 제거함으로써 펠리클 프레임(20)을 제작한다. 이와 같이 하나의 몸체로 이루어진 펠리 클 프레임은 대형화됨에 따라 가공의 어려움이 증가되고 또 가공 시 폐기되는 물질의 양이 많아진다.Recently, as the size of flat panel displays increases, there is a demand for an increase in the size of a pellicle mounted on an exposure mask and a mask used in these manufactures to protect the mask from foreign substances. In order to manufacture a pellicle, the pellicle frame must first be processed. A typical pellicle frame structure is a single body. As shown in FIG. 1, in the case of the structure having a single body as described above, the upper surface 12 and the lower surface 14 of the plate 10 made of a metal alloy such as an aluminum alloy are processed flatly. As shown in FIG. 2, the pellicle frame 20 is manufactured by removing most of the plate 10 along the outer surface 22 and the inner surface 24. As the pellicle frame composed of one body increases in size, the difficulty of processing increases and the amount of material discarded during processing increases.

또한, 펠리클이 대형화됨에 따라 펠리클 프레임의 크기 및 중량도 증가하게 되는데, 하나의 몸체로 이루어진 펠리클 프레임의 경우 효과적으로 관성모멘트(moment of inertia)를 유지하면서 중량을 줄이기가 어려운 단점이 있다.In addition, as the pellicle becomes larger, the size and weight of the pellicle frame also increases. In the case of a pellicle frame composed of one body, it is difficult to effectively reduce the weight while maintaining the moment of inertia.

본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 제작 시 폐기되는 물질을 최소화 하며 효과적으로 관성모멘트를 유지하면서 중량을 줄일 수 있는 펠리클 프레임을 제공하는데 있다. An object of the present invention is to solve the problems of the prior art as described above, to provide a pellicle frame that can reduce the weight while minimizing the material discarded during manufacturing and effectively maintain the moment of inertia.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 평판디스플레이 제조용 노광 마스크에 장착되는 펠리클 프레임은, 내부에 공동이 형성된 적어도 네 개의 튜브형태(tubular) 막대와, 상기 막대들을 대체로 직사각형 모양으로 결합하는 적어도 네 개의 용접부를 포함한다.In order to achieve the above object, a pellicle frame mounted on an exposure mask for manufacturing a flat panel display according to an embodiment of the present invention includes at least four tubular rods having a cavity formed therein, and combining the rods in a generally rectangular shape. At least four welds.

또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 평판디스플레이 제조용 노광 마스크에 장착되는 펠리클 프레임은, 내부에 공동이 형성된 적어도 네 개의 튜브형태 막대와, 상기 막대들을 대체로 직사각형 모양으로 결합하는 적어도 네 개의 커넥터를 포함한다.In addition, a pellicle frame mounted to an exposure mask for manufacturing a flat panel display according to another embodiment of the present invention for achieving the above object, at least four tubular rods having a cavity formed therein, and the rods are combined in a generally rectangular shape. At least four connectors.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명의 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이며, 도면상에서 동일한 부호로 표시된 요소는 동일한 요소를 의미한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of the present invention. However, embodiments of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shape and the like of the elements in the drawings are exaggerated to emphasize a more clear description, and the elements denoted by the same reference numerals in the drawings means the same elements.

도 3은 본 발명의 실시예에 이용되는 튜브형태 막대(100)의 일예를 나타내는 사시투시도이다. 튜브형태 막대(100)는 도시된 바와 같이 내부에 공동(130)을 가지며 철합금이나 알루미늄합금을 인발(drawing) 가공하여 제작될 수 있다. 3 is a perspective view showing an example of the tubular rod 100 used in the embodiment of the present invention. The tubular rod 100 has a cavity 130 therein as shown, and may be manufactured by drawing an iron alloy or an aluminum alloy.

도 4는 상기 도 3에서 AA'의 단면을 나타낸다. 도시된 바와 같이 튜브형태 막대(100)는 둘레가 사각형(직사각형 또는 정사각형)을 띄며 내부에 사각형의 공동(132)을 가진다.4 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 3. As shown, the tubular rod 100 has a rectangular (rectangular or square) circumference and has a rectangular cavity 132 therein.

도 5 내지 도 7은 튜브형태 막대(100) 내 공동의 다른 예를 나타내는 단면도들이다. 먼저 도 5를 참조하면, 튜브형태 막대(100)는 타원형의 공동(134)을 가질 수 있으며 도시하지는 않았지만 원형의 공동도 가질 수 있다. 또한, 도 6에 도시된 바와 같이 십자형의 공동(136)을 가질 수도 있으며 도 7에 도시된 바와 같이 두개 이상의 공동(138, 138')을 가질 수도 있다.5 to 7 are cross-sectional views showing another example of a cavity in the tubular rod 100. Referring first to FIG. 5, the tubular rod 100 may have an elliptical cavity 134 and may have a circular cavity although not shown. It may also have a cross cavity 136 as shown in FIG. 6 and may have two or more cavities 138, 138 'as shown in FIG.

도 8은 홈(104)이 형성된 둘레를 갖고 내부에 원형 공동(140)을 갖는 튜브형태 막대(106)의 단면도이다. 이와 같이 튜브형태 막대의 둘레와 내부 공동은 프레임의 중량, 관성모멘트 또는 접착성등을 고려하여 다양한 모양을 가질 수 있다. 그러나, 이후의 도면에서는 도면의 단순화를 위해 단면이 사각형인 둘레와 사각형인 공동만을 도시하기로 한다.8 is a cross-sectional view of a tubular rod 106 having a circumference formed with a groove 104 and having a circular cavity 140 therein. As such, the circumference and the inner cavity of the tubular rod may have various shapes in consideration of the weight, moment of inertia, or adhesiveness of the frame. However, in the following drawings, only the circumference of the cross section and the cavity of the rectangle will be shown for simplicity of the drawing.

도 9 내지 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 펠리클 프레임을 설명하기 위한 사시도들 및 평면투시도이다. 9 to 11 are perspective views and a perspective view for explaining a pellicle frame according to an embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 상대적으로 길이가 짧은 튜브형태 막대(200) 두개와 상대적으로 길이가 긴 튜브형태 막대(300) 두개를 구비한 후 대체로 직사각형의 모양이 되도록 배치한다. 상기 막대들(200, 300)은 내부에 각각 공동(230, 330)을 구비한다. 이어서, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 막대들(200, 300)을 서로 결합하기 위해 용접을 하면 상기 막대들(200, 300) 사이에는 용접부(250)가 형성되고 상기 막대들(200, 300)은 대체로 직사각형을 띈 펠리클 프레임(900)을 구성한다. 이후, 펠리클 막을 상기 펠리클 프레임(900)에 접착함으로써 펠리클을 제작한다.Referring to FIG. 9, two relatively short tubular rods 200 and two relatively long tubular rods 300 are provided and disposed to have a generally rectangular shape. The rods 200 and 300 have cavities 230 and 330 therein, respectively. Subsequently, as shown in FIG. 10, when the rods 200 and 300 are welded to each other, a weld 250 is formed between the rods 200 and 300 and the rods 200 and 300 are welded together. ) Constitutes a generally rectangular pellicle frame 900. Thereafter, a pellicle is manufactured by adhering the pellicle film to the pellicle frame 900.

도 11을 참조하면, 상기 일 실시예에 따른 펠리클 프레임에서 펠리클 막 부착 후 프레임 굽힘(bending)이 적게 일어나도록 상대적으로 길이가 긴 튜브형태 막대(300) 내 공동(330)에 보강막대(380)를 탑재할 수 있다. 도시하지는 않았지만, 보강막대를 상대적으로 길이가 짧은 튜브형태 막대(200) 내부에도 탑재할 수 있다. 이때, 보강막대(380)의 탄성계수는 튜브형태 막대들(200, 300)의 탄성계수보다 큰 것이 바람직하다.Referring to FIG. 11, a reinforcing rod 380 is provided in a cavity 330 in a relatively long tubular rod 300 so that bending of the pellicle film occurs in the pellicle frame according to the embodiment. Can be mounted. Although not shown, the reinforcing rod may be mounted inside the tubular rod 200 having a relatively short length. At this time, the elastic modulus of the reinforcing rod 380 is preferably larger than the elastic modulus of the tubular rods (200, 300).

도 12 및 도 13은 상기 일 실시예의 변형된 예를 나타내는 사시도 및 평면투시도이다.12 and 13 are a perspective view and a perspective view showing a modified example of the embodiment.

먼저, 도 12를 참조하면, 상기 튜브형태 막대들(200, 300)이 결합한 후 공동들(230, 330)이 서로 연결될 수 있도록 상기 상대적으로 긴 튜브형태 막대(300)의 측면에 공동연결구멍(332)을 형성한다. 그러면 상기 막대들(200, 300)을 용접하여 결합한 후, 도 13의 투시도에 도시된 바와 같이, 공동들(230, 330)이 공동연결구멍 (332)을 통해 상호 연결된다.First, referring to FIG. 12, after the tubular rods 200 and 300 are coupled to each other, the cavity connection holes are formed on the side of the relatively long tubular rod 300 so that the cavities 230 and 330 can be connected to each other. 332). Then, after welding the rods 200 and 300 to each other, as shown in the perspective view of FIG. 13, the cavities 230 and 330 are interconnected through the cavity connection hole 332.

도 14 및 도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 펠리클 프레임을 설명하기 위한 사시도들이다. 14 and 15 are perspective views illustrating a pellicle frame according to another embodiment of the present invention.

도 14를 참조하면, 상대적으로 길이가 짧은 튜브형태 막대(200) 두개와 상대적으로 길이가 긴 튜브형태 막대(300) 두개 그리고 상기 막대들(200, 300)을 결합하기 위해 네 개의 커넥터(400)를 구비하여 대체로 직사각형 모양이 되도록 배치한다. 상기 막대들(200, 300)은 내부에 각각 공동(230, 330)을 구비하며 커넥터(400)는 끝단에 상기 공동(230, 330)과 맞추어질 돌출구조(410)를 구비한다. 이어서, 상기 돌출구조(410)를 공동(200, 300)에 삽입하여 막대들(200, 300)과 커넥터들(400)을 연결하면 도 15에 도시된 바와 같이 상기 막대들(200, 300)과 커넥터들(400)은 대체로 직사각형을 띈 펠리클 프레임(910)을 구성한다. 이후, 펠리클 막을 상기 펠리클 프레임(910)에 접착함으로써 펠리클을 제작한다.Referring to FIG. 14, two relatively short tubular rods 200, two relatively long tubular rods 300, and four connectors 400 for joining the rods 200, 300 are provided. It is arranged to have a generally rectangular shape. The rods 200 and 300 have cavities 230 and 330 therein, respectively, and the connector 400 has a protrusion 410 to be fitted with the cavities 230 and 330 at its ends. Subsequently, when the protrusions 410 are inserted into the cavities 200 and 300 to connect the rods 200 and 300 and the connectors 400, the rods 200 and 300 and the rods 200 and 300 are connected as shown in FIG. 15. The connectors 400 constitute a generally rectangular pellicle frame 910. Thereafter, a pellicle is manufactured by adhering the pellicle film to the pellicle frame 910.

도 16 내지 도 18은 본 발명의 다른 실시예에서 튜브형태 막대와 커넥터 연결의 다른 예를 설명하기 위한 투시도들이다. 16 to 18 are perspective views for explaining another example of the tubular rod and connector connection in another embodiment of the present invention.

먼저 도 16을 참조하면, 튜브형태 막대(300)와 커넥터(402) 연결을 위해 상기 막대(300)의 공동(330)과 커넥터(402) 내부에 형성된 공동(430)에 도시된바와 같이 나사산(334, 434)을 형성하고, 상기 나사산(334, 434)과 대응하는 나사산(454)이 형성된 핀(450)을 구비한다. 이어서, 도 17에 도시된 바와 같이 상기 핀(450)의 양단을 튜브형태 막대(300)와 커넥터(402)의 공동(330, 430)에 넣음으로써 상기 막대(300)와 커넥터(402)가 연결된다. 도 18은, 내부에 공동(480)이 형성된 핀(460)을 이용하는 예를 나타내는데, 이와 같이 핀(460) 내부에 공동(480)이 형성되면 튜브형태 막대(300)의 공동(330)과 커넥터(402) 공동(430)이 프레임 제작 후 연결될 수 있다. First, referring to FIG. 16, a thread as shown in the cavity 330 of the rod 300 and the cavity 430 formed inside the connector 402 for connecting the tubular rod 300 and the connector 402. 334, 434, and a pin 450 with threads 454 corresponding to the threads 334, 434. Subsequently, as shown in FIG. 17, the rod 300 and the connector 402 are connected by inserting both ends of the pin 450 into the tubular rod 300 and the cavities 330 and 430 of the connector 402. do. 18 shows an example of using a pin 460 having a cavity 480 formed therein. When the cavity 480 is formed inside the pin 460, the cavity 330 and the connector of the tubular rod 300 are illustrated. Cavity 430 may be connected after frame fabrication.

또한, 도시하지는 않았지만, 본 발명의 다른 실시예에서도 펠리클 막 부착 후 프레임 굽힘이 적게 일어나도록 상기 공동(230, 330)에 보강막대를 탑재할 수 있다.In addition, although not shown, reinforcing rods may be mounted in the cavities 230 and 330 to reduce the bending of the frame after the pellicle film is attached in another embodiment of the present invention.

도 19 및 도 20은 상기 다른 실시예의 변형된 예를 나타내는 사시도들이다.19 and 20 are perspective views showing a modified example of the other embodiment.

도 19를 참조하면, 펠리클 프레임의 장변을 구성하기 위해 길이가 짧은 튜브형태 막대(500) 두개를 커넥터(600)에 연결할 수 있다. 프레임의 단변 구성은 도시된바와 같이 하나의 튜브형태 막대(200)로 이루어질 수 있다. 상기 막대들(200, 500)을 커넥터들(400, 600)을 이용하여 결합하여 도 20에 도시된 바와 같이 대체로 직사각형을 띈 펠리클 프레임(920)을 구성한다. 이후, 펠리클 막을 상기 펠리클 프레임(920)에 접착함으로써 펠리클을 제작한다.Referring to FIG. 19, two short tubular rods 500 may be connected to the connector 600 to form a long side of the pellicle frame. The short side configuration of the frame may be composed of one tubular rod 200 as shown. The rods 200 and 500 are combined using the connectors 400 and 600 to form a generally rectangular pellicle frame 920 as shown in FIG. 20. Thereafter, a pellicle is manufactured by adhering the pellicle film to the pellicle frame 920.

이상 상술한 바와 같이, 본 발명의 펠리클 프레임은 튜브형태 막대로 구성됨으로써 제작 시 폐기되는 물질을 최소화 하며 효과적으로 관성모멘트를 유지하면서 중량을 줄일 수 있다. As described above, the pellicle frame of the present invention can be reduced in weight while effectively maintaining the moment of inertia while minimizing the material discarded during manufacture by consisting of a tubular rod.

한편, 본 발명은 상술한 실시 예에 국한되는 것이 아니라 후술되는 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상과 범주 내에서 당업자에 의해 여러 가지 변형이 가능하다.On the other hand, the present invention is not limited to the above-described embodiment, various modifications are possible by those skilled in the art within the spirit and scope of the present invention described in the claims to be described later.

Claims (6)

평판디스플레이 제조용 노광 마스크에 장착되는 펠리클 프레임으로서,A pellicle frame mounted on an exposure mask for manufacturing a flat panel display, 내부에 공동이 형성된 적어도 네 개의 튜브형태 막대와;At least four tubular rods formed therein with cavities; 상기 막대들을 대체로 직사각형 모양으로 결합하는 적어도 네 개의 용접부를 포함하는 펠리클 프레임.A pellicle frame comprising at least four welds joining the rods into a generally rectangular shape. 평판디스플레이 제조용 노광 마스크에 장착되는 펠리클 프레임으로서,A pellicle frame mounted on an exposure mask for manufacturing a flat panel display, 내부에 공동이 형성된 적어도 네 개의 튜브형태 막대와;At least four tubular rods formed therein with cavities; 상기 막대들을 대체로 직사각형 모양으로 결합하는 적어도 네 개의 커넥터를 포함하는 펠리클 프레임.A pellicle frame comprising at least four connectors for coupling the rods into a generally rectangular shape. 제 1항 또는 제 2항 중 어느 한 항에서,The method of claim 1, wherein 상기 튜브형태 막대 내부에 형성된 공동들은 상호 연결된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.A pellicle frame, characterized in that the cavities formed inside the tubular rod are interconnected. 제 1항 또는 제 2항 중 어느 한 항에서,The method of claim 1, wherein 상기 튜브형태 막대 내부에 형성된 공동에 보강막대를 탑재한 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.A pellicle frame, characterized in that the reinforcing rod is mounted in the cavity formed inside the tubular rod. 제 2항에서,In claim 2, 상기 튜브형태 막대와 상기 커넥터의 연결은 상기 커넥터 끝단에 형성된 돌출구조를 상기 막대 내부에 형성된 공동에 삽입함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.The connection between the tubular rod and the connector is a pellicle frame, characterized in that by inserting a protrusion formed in the connector end into the cavity formed in the rod. 제 2항에서,In claim 2, 상기 튜브형태 막대와 상기 커넥터의 연결은 나사산이 형성된 핀에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.The connection between the tubular rod and the connector is a pellicle frame, characterized in that made by threaded pins.
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