KR20070060815A - 이온빔을 이용한 광시야각 액정 표시 장치의 제조 방법 및광시야각 액정 표시 장치 - Google Patents

이온빔을 이용한 광시야각 액정 표시 장치의 제조 방법 및광시야각 액정 표시 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 이온빔을 이용한 광시야각 액정 표시 장치의 제조 방법 및 광시야각 액정 표시 장치에 관한 것으로, 다수의 도메인 영역이 정의 되고 하부 패턴이 형성된 기판 상에 상기 도메인 영역들의 경계면 영역의 일부가 절개된 투명 전극을 형성하는 단계와, 상기 투명 전극을 포함한 전체 구조 상에 배향막을 형성하는 단계와, 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기를 갖는 방향으로 상기 배향막에 이온빔을 조사하는 단계를 포함하는 광 시야각 액정 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
이온빔, 조사, 멀티 도메인, 광시야각, 배향막, 절개 패턴, 투명 전극

Description

이온빔을 이용한 광시야각 액정 표시 장치의 제조 방법 및 광시야각 액정 표시 장치{METHOD FOR MANUFACTURING LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE HAVING WIDE VIEWING ANGLE USING ION BEAM AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY DIEVICE HAVING WIDE VIEWING}
도 1 내지 도 3은 종래의 이온빔을 이용한 멀티 도메인을 갖는 액정 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면 개념도.
도 4는 종래의 두 개의 도메인을 갖는 액정 표시 장치의 현미경 사진.
도 5는 종래의 이온빔을 이용한 멀티 도메인의 문제를 설명하기 위한 개념도.
도 6은 종래의 문제를 설명하기 위한 액정 표시 장치의 현미경 사진.
도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 광 시야각 액정 표시 장치의 사시도.
도 8 내지 도 11은 광시야각 액정 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위해 도 7의 B-B선에 대해 자른 단면도.
도 12은 TN 모드 액정 표시 장치에 적용할 경우의 액정 배향을 설명하기 위한 개념도.
도 13 내지 도 16은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 광 시야각 액정 표시 장 치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도.
도 17은 본 실시예에 따른 변형예를 설명하기 위한 광 시야각 액정 표시 장치의 단면도.
도 18 및 도 19는 본 발명에 따른 절개 패턴의 변형예를 설명하기 위한 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1, 110, 210 : 기판 2, 150 : 화소 전극
3, 160, 260 : 배향막 4, 171, 172, 271, 272 : 마스크
5, 300 : 액정 250 : 공통 전극
본 발명은 이온빔을 이용한 광시야각 액정 표시 장치의 제조 방법 및 광시야각 액정 표시 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 이온빔을 이용한 다중 도메인 형성시 다중 도메인이 깨져 단일 도메인화 되는 현상을 방지할 수 있는 이온빔을 이용한 광시야각 액정 표시 장치의 제조 방법 및 광시야각 액정 표시 장치에 관한 것이다.
액정 표시 장치(Liquid Crystal Display Device; LCD)는 종래의 표시 장치인 CRT(Cathode Ray Tube)와 비교하여 소형, 경량화 및 대화면화의 장점을 갖고 있어, 이의 개발이 활발히 이루어지고 있다. 특히, 액정 표시 소자는 평판 표시 장치로서의 역할을 충분히 수행할 수 있을 정도로 개발되어 핸드 폰, 피디에이(PDA), 디지털 카메라, 캠코더의 액정으로 사용될 뿐 아니라, 데스크 탑형 컴퓨터의 모니터와 대형 표시장치에도 사용되고 있어 그의 사용범위가 급속도로 확대되고 있다.
이러한 액정 표시 장치는 각기 전극이 형성된 두 기판을 두 전극이 서로 마주보도록 배치하고, 두 기판 사이에 액정 물질을 주입한 다음 두 전극 사이에 전기장을 인가하여 전기장에 의해 액정 분자들을 움직이게 함으로써 빛의 투과율을 달리하여 화상을 표시하는 장치이다. 이는 액정의 광학적 이방성과 분극성을 이용한 것으로, 액정은 구조가 가늘고 길기 때문에 분자 배열에 방향성과 분극성을 갖고 있는 액정 분자들에 인위적으로 전기장을 인가하게 되면 분자 배열 방향을 조절할 수 있다. 이에 배향 방향을 임으로 조절하면 액정의 광학적 이방성에 의해 액정 분자의 배열 방향에 따라 빛을 투과 또는 차단할 수 있게 되어 색상 및 화상을 표현 할 수 있게 된다.
이러한 액정 표시 장치는 그 시야각이 좁은 것이 큰 단점으로 작용한다. 즉, 액정 표시 장치의 액정이 모두 한 방향으로 배향하기 때문에 생기는 그레이 인버젼(gray inversion)과 같은 문제가 발생하였다. 이에 근래에는 액정 표시 장치의 시야각을 넓히기 위한 다양한 연구가 진행되었다.
이에 따라, 시야각을 향상시키기 위해, 최근에는 IPS 모드(In-Plan switching mode)를 갖는 액정 표시 장치가 개발된 바 있다. IPS 모드를 갖는 액정표시장치는 화소 전극(pixel electrode)과 공통 전극(common electrode)이 하나의 기판에 수평배열된다. 화소 전극 및 공통 전극에는 주변 전계(fringe electric field)가 형성되고, 주변 전계에 의하여 액정의 배열이 변경되어 시야각을 대폭 향상시킬 수 있다.
그러나, 이와 같은 IPS 모드로 작동하는 액정 표시 장치는 시야각이 넓어지는 대신 개구율이 현저하게 감소하여 휘도가 감소되고, 잔상이 발생하기 쉬우며, 잔상을 제거하기 위해 별도의 잔상 제거 필름을 사용해야 하는 문제점을 갖는다.
최근에는 수직 배향 모드(Vertical alignment mode)를 갖는 액정 표시 장치가 개발된 바 있다. 수직 배향 모드를 갖는 액정 표시 장치는 화소 전극과 공통 전극이 마주보며, 화소 전극 및 공통 전극의 사이에는 수직 배향 모드 액정이 배치된다. 시야각을 향상시키기 위해, 화소 전극 또는 공통 전극은 패터닝되거나 돌기가 형성된다. 전극이 패터닝된 수직 배향 모드 액정표시장치는 PVA 방식 액정표시장치(Patterned Vertical Alignment type LCD)라 불리며, 전극에 돌기가 형성된 방식은 MVA 방식 액정표시장치(Massive Vertical Alignment type LCD)라 불린다.
그러나, 상술한 종래의 수직 배향 모드는 모두 VA액정을 사용하여야 한다는 단점이 있다. 즉, 현재 VA 액정은 아직 저 전압 특성이 확보 되지 못하여 액정 패널의 전력 소모를 줄일 수 없는 문제가 있고, 또한, VA 액정을 생산하는 회사가 한정되어 있어 액정 자체의 단가가 비싸 소자의 제조 단가가 상승하는 원인이 된다.
따라서, 현재 이온 빔(ion beam)을 이용한 2 도메인을 제작하는 기술에 관한 연구가 활발히 수행되고 있다. 특히, 도메인 분리가 어려운 TN 모드 액정 표시 장치(Twist Nematic LCD)에 이러한 이온 빔 공정을 도입하여 이를 멀티 도메인으로 분리하는 많은 연구가 수행 중이다.
도 1 내지 도 3은 종래의 이온빔을 이용한 멀티 도메인을 갖는 액정 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면 개념도이다. 도 4는 종래의 두 개의 도메인을 갖는 액정 표시 장치의 현미경 사진이다. 도 5는 종래의 이온빔을 이용한 멀티 도메인의 문제를 설명하기 위한 개념도이다. 도 6은 종래의 문제를 설명하기 위한 액정 표시 장치의 현미경 사진이다.
도 1에 도시된 바와 같이 하부 패턴이 형성된 기판(1) 상에 화소 전극(2)을 형성하고, 그 상부에 배향막(3)을 형성한다. 이후, 도면에서와 같이 Y축을 기준으로 반시계 방향으로 1 내지 89도의 틸트를 준 상태의 제 1 이온빔을 배향막(3)에 조사하여 제 1 도메인 영역을 형성한다.
이후, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 배향막(3) 상에 금속 마스크(4)를 형성하여 화소 전극(2) 상측이 일부를 차폐한 다음 Y축을 기준으로 시계 방향으로 1 내지 89도의 틸트를 준 제 2 이온빔을 배향막(3)에 조사하여 제 2 도메인 영역을 형성한다.
다음으로 도 3에 도시된 바와 같이 액정(5)을 주입하여 배향시키면, 제 1 이온빔이 조사된 제 1 도메인 영역에서는 Y축을 기준으로 시계 방향으로 이온빔의 틸트 각도 만큼 기울어지게 액정(5)이 배향되고, 제 2 이온빔이 조사된 제 2 도메인 영역은 Y축을 기준으로 반시계 방향으로 이온빔의 틸트 각도 만큼 기울어지게 액정 (5)이 배향된다. 이는 이온 빔 조사를 통해 배향막(3) 표면의 본딩 결합이 깨지게 되고 이로 인해 액정은 이온 빔 조사 방향과 반대 방향으로 기울어진 형상으로 배향되어 다중 도메인을 형성할 수 있게 된다. 이때, 두 도메인의 중심 영역에는 도 4의 사진에서와 같이 도메인을 분할 하는 중심선(A)과 같은 라인이 형성된다. 즉, 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이 제 1 도메인 영역의 시계 방향으로 기울어진 액정(5)과 제 2 도메인 영역의 반시계 방향으로 기울어진 액정(5)이 픽셀 영역의 중심에서 서로 기댄 산모양과 같은 형상을 이루는 중심 영역이 마련된다. 하지만, 이 경우 제 1 도메인 영역의 시계 방향으로 기울어진 액정의 힘과 반 시계 방향으로 기울어진 액정의 힘이 동일한 경우에는 도 5의 (a)와 같이 픽셀 영역 내에 두개의 도메인이 존재하게 되지만 어느 한쪽의 기울어진 액정의 힘이 클 경우에는 다른 쪽 도메인 영역의 액정은 이 힘에 의해 일 방향으로 기울어 지게 되어 단일 도메인 특성을 나타나게 되는 문제가 발생한다. 상기 도메인을 분할하는 중심선(A)이 시간이 지남에 따라 불규칙하게 이동하거나 사라지게 된다. 즉, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이 제 2 도메인 영역의 반시계 방향으로 기울어진 액정의 힘이 클 경우에는 일 픽셀 영역 전체의 액정이 반시계 방향으로 기울어져 두 도메인이 하나로 합쳐지게 된다. 또한, 도 5의 (c)에 도시된 바와 같이 제 1 도메인 영역의 시계 방향으로 기울어진 액정의 힘이 클 경우도 일 픽셀 영역 전체의 액정이 시계 방향으로 기울어지게 되어 두 도메인이 하나로 합쳐지게 된다.
도 6의 (a)에서와 같이 초기에는 각 픽셀 별로 제 1 및 제 2 도메인을 갖는 형상이 뚜렷이 나타나게 되지만 시간이 지날수록 제 1 및 제 2 도메인에 배향된 액 정의 기울어진 방향의 힘에 따라 도 6의 (b)에서와 같이 제 1 및 제 2 도메인 형상이 뚜렷이 나타나지 않고, 두 도메인이 하나로 합쳐지게 된다. 그리고, 이러한 변화는 각 픽셀 마다 다르게 나타나게 되고, 이는 표시 장치에서 얼룩으로 관찰된다.
이와 같이 이온 빔을 이용한 멀티 도메인 형성 방법의 경우 도메인의 중심 영역에서 액정이 서로 지지하는 힘에 의해 그 중심이 불규칙하게 변화하게 되어 시야각이 불규칙하게 변화되거나, 분리된 도메인이 하나로 합쳐지게 되어 시야각이 줄어들 뿐 아니라 얼룩과 같은 픽셀의 결함으로 나타나는 문제가 발생한다.
따라서, 본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 도출된 것으로서, 멀티 도메인의 중심에 해당하는 화소 전극 또는 공통 전극에 소정의 절개 패턴을 마련하여 도메인 중심선의 움직임 또는 중심선이 사라져 단일 도메인이 되는 형상을 방지할 수 있는 이온빔을 이용한 광시야각 액정 표시 장치의 제조 방법 및 광시야각 액정 표시 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
본 발명에 따른 다수의 도메인 영역이 정의 되고 하부 패턴이 형성된 기판 상에 상기 도메인 영역들의 경계면 영역의 일부가 절개된 투명 전극을 형성하는 단계와, 상기 투명 전극을 포함한 전체 구조 상에 배향막을 형성하는 단계와, 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 상기 배향막에 이온빔을 조사하는 단 계를 포함하는 광 시야각 액정 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
여기서, 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 상기 배향막에 이온빔을 조사하는 단계는, 제 1 도메인 영역을 개방하는 마스크를 이용하여 제 1 기울기 방향으로 상기 이온빔을 조사하는 단계와, 제 2 도메인 영역을 개방하는 마스크를 이용하여 제 2 기울기 방향으로 상기 이온빔을 조사하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다. 이때, 상기 제 1 기울기 방향은 상기 배향막 표면을 기준으로 시계 방향으로 1 내지 89도의 기울기를 갖는 방향이고, 상기 제 2 기울기 방향은 상기 배향막 표면을 기준으로 반시계 방향으로 1 내지 89도의 기울기를 갖는 방향인 것이 효과적이다.
물론 상기 배향막 상에 액정을 배향하는 단계를 더 포함할 수도 있다.
또한, 본 발명에 따른 다수의 도메인 영역이 정의되고 박막 트랜지스터를 포함하는 하부 제 1 패턴이 형성된 하부 기판과, 컬러 필터를 포함하는 하부 제 2 패턴이 형성된 상부 기판을 마련하는 단계와, 상기 하부 기판의 상기 하부 제 1 패턴 상에 상기 도메인 영역들의 경계면 영역의 일부가 절개된 화소 전극을 형성하고, 상기 상부 기판의 상기 하부 제 2 패턴 상에 공통 전극을 형성하는 단계와, 상기 하부 기판 및 상부 기판의 전체 구조 상에 각기 하부 배향막 및 상부 배향막을 형성하는 단계와, 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 상기 하부 기판의 상기 하부 배향막 상에 이온빔을 조사하고, 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 상기 상부 기판의 상기 상부 배향막 상에 이온빔을 조사하는 단계와, 상기 하부 배향막과 상기 상부 배향막이 서로 대응되도록 상기 하부 기판과 상 기 상부 기판을 결합 밀봉하는 단계와, 상기 하부 배향막과 상기 상부 배향막 사이에 액정을 배향하는 단계를 포함하는 광 시야각 액정 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
또한, 본 발명에 따른 다수의 도메인 영역이 정의되고 박막 트랜지스터를 포함하는 하부 제 1 패턴이 형성된 하부 기판과, 컬러 필터를 포함하는 하부 제 2 패턴이 형성된 상부 기판을 마련하는 단계와, 상기 하부 기판의 상기 하부 제 1 패턴 상에 화소 전극을 형성하고, 상기 상부 기판의 상기 하부 제 2 패턴 상에 상기 도메인 영역들의 경계면 영역의 일부가 절개된 공통 전극을 형성하는 단계와, 상기 하부 기판 및 상부 기판의 전체 구조 상에 각기 하부 배향막 및 상부 배향막을 형성하는 단계와, 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 상기 하부 기판의 상기 하부 배향막 상에 이온빔을 조사하고, 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 상기 상부 기판의 상기 상부 배향막 상에 이온빔을 조사하는 단계와, 상기 하부 배향막과 상기 상부 배향막이 서로 대응되도록 상기 하부 기판과 상기 상부 기판을 결합 밀봉하는 단계와, 상기 하부 배향막과 상기 상부 배향막 사이에 액정을 배향하는 단계를 포함하는 광 시야각 액정 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
또한, 본 발명에 따른 다수의 도메인 영역이 정의되고 박막 트랜지스터를 포함하는 하부 제 1 패턴이 형성된 하부 기판과, 컬러 필터를 포함하는 하부 제 2 패턴이 형성된 상부 기판을 마련하는 단계와, 상기 하부 기판의 상기 하부 제 1 패턴 상에 화소 전극을 형성하고, 상기 상부 기판의 상기 하부 제 2 패턴 상에 공통 전 극을 형성하는 단계와, 상기 도메인 영역들의 경계면 영역에 해당하는 상기 공통 전극 상에 돌기 패턴을 형성하는 단계와, 상기 하부 기판 및 상부 기판의 전체 구조 상에 각기 하부 배향막 및 상부 배향막을 형성하는 단계와, 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 상기 하부 기판의 상기 하부 배향막 상에 이온빔을 조사하고, 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 상기 상부 기판의 상기 상부 배향막 상에 이온빔을 조사하는 단계와, 상기 하부 배향막과 상기 상부 배향막이 서로 대응되도록 상기 하부 기판과 상기 상부 기판을 결합 밀봉하는 단계와, 상기 하부 배향막과 상기 상부 배향막 사이에 액정을 배향하는 단계를 포함하는 광 시야각 액정 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
상술한 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기를 갖는 방향으로 상기 상부 및 하부 배향막에 이온빔을 조사하는 단계는, 제 1 도메인 영역을 개방하는 마스크를 이용하여 제 1 기울기 방향으로 상기 하부 배향막 상에 상기 이온빔을 조사하는 단계와, 제 2 도메인 영역을 개방하는 마스크를 이용하여 제 2 기울기 방향으로 상기 하부 배향막 상에 상기 이온빔을 조사하는 단계와, 상기 제 1 도메인 영역을 개방하는 마스크를 이용하여 제 3 기울기 방향으로 상기 상부 배향막 상에 상기 이온빔을 조사하는 단계와, 상기 제 2 도메인 영역을 개방하는 마스크를 이용하여 제 4 기울기 방향으로 상기 상부 배향막 상에 상기 이온빔을 조사하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 제 1 기울기 방향은 상기 배향막 표면을 기준으로 시계 방향으로 1 내지 89도의 기울기를 갖는 방향이고, 상기 제 2 기울기 방향은 상기 배향막 표면을 기준으로 반시계 방향으로 1 내지 89도의 기울기를 갖는 방향이고, 제 3 및 제 4 기울기 방향은 상기 제 1 및 제 2 기울기 방향에 대해 90도 꺽인 방향인 것이 바람직하다.
물론 상기 상부 기판의 상기 공통 전극은 상기 도메인 영역들의 경계면 영역의 일부가 절개되거나 경계면 영역에 해당하는 상기 공통 전극 상에 돌출 패턴이 형성될 수도 있다.
그리고, 상기 하부 기판의 상기 화소 전극은 상기 도메인 영역들의 경계면 영역의 일부가 절개되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 다수의 도메인 영역이 정의되고, 박막 트랜지스터를 포함하는 하부 패턴 상에 도메인 영역의 경계면에 절개패턴을 갖는 화소 전극과, 상기 화소 전극 상에 형성된 하부 배향막을 포함하는 하부 기판과, 상기 다수의 도메인 영역으로 정의 되고, 컬러 필터를 포함하는 하부 패턴 상에 형성된 공통 전극과, 상기 공통 전극 상에 형성된 상부 배향막을 포함하는 상부 기판과, 상기 상부 및 하부 배향막 사이에 마련되고, 이온빔 조사를 통해 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 기울어져 배향된 액정을 포함하는 광 시야각 액정 표시 장치를 제공한다.
또한, 본 발명에 따른 다수의 도메인 영역이 정의되고, 박막 트랜지스터를 포함하는 하부 패턴 상에 형성된 화소 전극과, 상기 화소 전극 상에 형성된 하부 배향막을 포함하는 하부 기판과, 상기 다수의 도메인 영역으로 정의 되고, 컬러 필터를 포함하는 하부 패턴 상에 도메인 영역의 경계면에 절개패턴을 갖는 형성된 공 통 전극과, 상기 공통 전극 상에 형성된 상부 배향막을 포함하는 상부 기판과, 상기 상부 및 하부 배향막 사이에 마련되고, 이온빔 조사를 통해 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 기울어져 배향된 액정을 포함하는 광 시야각 액정 표시 장치를 제공한다.
또한, 본 발명에 따른 다수의 도메인 영역이 정의되고, 박막 트랜지스터를 포함하는 하부 패턴 상에 형성된 화소 전극과, 상기 화소 전극 상에 형성된 하부 배향막을 포함하는 하부 기판과, 상기 다수의 도메인 영역으로 정의 되고, 컬러 필터를 포함하는 하부 패턴 상에 형성된 공통 전극과, 도메인 영역의 경계면에 해당하는 상기 공통 전극 상에 형성된 돌기 패턴과, 상기 돌기 패턴을 포함하는 상기 공통 전극 상에 형성된 상부 배향막을 포함하는 상부 기판과, 상기 상부 및 하부 배향막 사이에 마련되고, 이온빔 조사를 통해 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 기울어져 배향된 액정을 포함하는 광 시야각 액정 표시 장치를 제공한다.
여기서, 상기 절개패턴은 화소 영역의 중심에 직선 형태 또는 양측면에서 내측 방향으로 연장된 직선 형태 또는 다수의 고립 패턴들이 일정 간격 이격된 형태로 제작되는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하 며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
도면에서 여러 층 및 각 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 표현하였으며 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭하도록 하였다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 상부에 또는 위에 있다고 표현되는 경우는 각 부분이 다른 부분의 바로 상부 또는 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라 각 부분과 다른 부분의 사이에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 광 시야각 액정 표시 장치의 사시도이고, 도 8 내지 도 11은 광시야각 액정 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위해 도 7의 B-B선에 대해 자른 단면도이다.
도 7 내지 도 11을 참조하면, 본 실시예에 따른 광 시야각 액정 표시 장치는 게이트 라인(120) 및 소스 라인(130), 박막 트랜지스터(121, 122, 123, 131, 132), 도메인 영역의 경계면에 절개패턴(155)을 갖는 화소 전극(150)과, 상기 화소 전극(150) 상에 이온빔으로 인해 도메인 영역에 따라 서로 다른 기울기로 액정을 배향하는 하부 배향막(160)을 갖는 하부 기판(1000)과, 블랙 메트릭스(220), 컬러 필터(230) 및 공통 전극(250)과, 이온빔으로 인해 도메인 영역에 따라 서로 다른 기울기로 액정을 배향하는 상부 배향막(260)을 갖는 상부 기판(2000)을 포함하고, 상기 하부 기판(1000)과 상부 기판(2000) 사이에 마련된 액정(300)을 포함하되, 상기 액정(300)은 도메인 영역에 따라 서로 다른 방향으로 기울어져 있는 것이 바람직하 다.
이때, 도면에 도시된 바와 같이 Y축을 기준으로 시계 방향으로 기울어진 액정(300)이 배향된 제 1 도메인과, Y축을 기준으로 반시계 방향으로 기울어진 액정(300)이 배향된 제 2 도메인이 정의되고, 상기 제 1 및 제 2 도메인의 경계 영역 하부의 화소 전극(150)에 절개 패턴(155)이 형성된다. 이때, 제 1 또는 제 2 도메인 영역에는 각기 다른 방향으로의 이온빔 조사를 통해 배향막(160, 260)의 표면을 기준으로 액정(300)이 시계 방향 또는 반시계 방향으로 기울어져 마련된다. 두 도메인의 중심영역의 하부에는 화소 전극(150)의 일부가 절개된 절개 패턴(155)이 마련되고, 이러한 절개 패턴(155)으로 인한 전장 왜곡 현상을 통해 액정이 움직이지 않고 고정된 배리어가 형성된다. 이를 통해 시계방향 또는 반시계 방향으로 기울어져 있는 액정(300)이 제 1 및 제 2 도메인 경계면에서 서로 기대어 만나지 않고, 중심영역 하부의 전장 왜곡으로 인해 고정된 액정 즉, 배리어에 기대어져 있게 된다. 이로인해 일측의 기울어진 힘이 타측으로 전달되지 않고, 도메인 중심선의 움직임을 방지할 수 있게 된다.
이로인해 장시간이 지나더라도 이온빔 조사로 인한 액정(300)의 기울어진 힘의 불균형으로 인해 그 중심이 일측으로 치우치거나 복수의 도메인이 하나의 도메인으로 합쳐지는 문제를 해결할 수 있어 계속적으로 복수 도메인 상태를 유지할 수 있게 된다.
이와 같이 이온빔 조사와, 절개 패턴(155)을 통해 제 1 및 제 2 도메인 영역을 갖는 광시야각 액정 표시 장치의 제조 방법을 좀더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 8을 참조하면, 하부 기판(1000) 상에 제 1 도전성막을 형성한 다음 감광막 마스크를 이용한 패터닝 공정을 통해 게이트 전극(121) 및 게이트 라인(120)을 형성한다.
먼저 투명 절연기판(110) 상에 CVD법, PVD법 및 스퍼터링법 등을 이용한 증착 방법을 통해 제 1 도전성막을 형성한다. 제 1 도전성 막으로는 Cr, MoW, Cr/Al, Cu, Al(Nd), Mo/Al, Mo/Al(Nd), Cr/Al(Nd) 및 Mo/Al/Mo 중 적어도 어느 하나를 사용하는 것이 바람직하다. 물론 이에 한정되지 않고 앞서 설명한 바와 같이 제 1 도전성막으로 Al, Nd, Ag, Cr, Ti, Ta 및 Mo 중 적어도 어느 하나의 금속 또는 이들을 포함하는 합금으로 형성하되, 단일층 및 다중층으로 형성할 수 있다.
이어서, 전체 구조 상에 게이트 절연막(121), 활성층(122) 및 오믹 접촉층(123)을 순차적으로 형성한 다음, 감광막 마스크 패턴(미도시)을 이용한 식각공정을 실시하여 박막 트랜지스터의 활성영역을 형성한다.
다음으로, 전체 구조상에 제 2 도전성막을 형성한 다음, 이를 감광막 마스크 패턴(미도시)을 이용한 식각공정을 실시하여 소스 및 드레인 전극(131, 132)을 포함하는 박막 트랜지스터와 소스 라인(130)을 형성한다. 이때, 제 2 도전성막으로는 Mo, Al, Cr, Ti 중 적어도 하나의 금속 단일층 또는 다중층을 사용하는 것이 바람직하다. 물론 제 2 도전성막은 제 1 도전성막과 동일한 물질을 사용할 수도 있다.
이와 같이 박막 트랜지스터를 포함하는 하부 패턴이 형성된 기판(110) 상에 투명한 절연성의 보호막(140)을 형성한다. 상기 보호막(140) 상에 화소 전극용 투명 전극을 도포한 다음 이를 패터닝 하여 절개 패턴(155)을 갖는 화소 전극(150)을 형성한다. 즉, 제 1 및 제 2 도메인의 경계영역에 해당하는 화소 전극(150)의 일부를 제거하여 절개 패턴(155)을 형성한다. 여기서, 투명전극으로는 인듐 틴 옥사이드(indium tin oxide: ITO) 또는 인듐 징크 옥사이드(indium zinc oxide: IZO)를 사용하는 것이 바람직하다. 상기의 절개 패턴(155)은 화소 전극(150)의 중심 영역에 하나의 라인 형태로 형성하였지만, 본 실시예에서는 이에 한정되지 않고, 도메인 영역의 정의에 따라 다양한 형상으로 다양한 영역에 형성될 수 있다.
이후, 상기 화소 전극(150) 상에 다양한 물질로 배향막(160)을 형성한다. 예를 들어 배향막(160)으로 다이아몬드 라이크 카본(Diamond-Like-Carbon, DLC), 산화 실리콘, 질화 실리콘, 다결정 실리콘(poly crystalline silicon), 비정질 실리콘(amophous silicon), 산화 티타늄 및 폴리이미드 합성 수지(polyimide) 등을 사용할 수 있다.
도 9를 참조하면, 상기 절연 기판(110) 상에 제 1 도메인 영역을 개방하는 마스크 패턴(171)을 형성한다. Y축 방향을 기준으로 반시계 방향으로 1 내지 89도의 틸트를 주어 이온빔 조사를 실시한다. 이때, 상기 마스크 패턴(171)은 금속성의 박막을 사용할 수 있다. 즉, 금속성의 마스크 패턴은 알루미늄(Al2O3)을 증착하여 형성할 수도 있고, 알루미늄 대신 다양한 금속 박막을 사용할 수도 있다.
이를 통해 노출된 제 1 도메인 영역에 Y축 방향을 기준으로 반시계 방향의 기울기를 갖는 이온 빔이 조사되고 조사된 기울기에 해당하는 하부 배향막(160)의 본딩 결합을 끊어진다. 이와 같이 반시계 방향으로 조사된 이온 빔에 의해 배향막(160)의 본딩 결합이 끊어짐으로 인해 후속 공정을 통해 그 상부에 액정을 배향할 경우 끊어진 영역과 반대의 결과인 시계 방향으로 액정(300)이 기울어져 배향된다. 이후, 상기 제 1 도메인 영역을 개방하는 마스크 패턴(171)을 제거한다.
도 10을 참조하면, 상기 기판(110) 상에 제 2 도메인 영역을 개방하는 금속 마스크 패턴(172)을 형성한다. Y축 방향을 기준으로 시계 방향으로 1 내지 89도의 틸트를 주어 이온 빔을 조사한다. 이를 통해 Y축 방향을 기준으로 시계 방향의 기울기를 갖는 이온 빔이 조사되고, 조사된 기울기에 해당하는 배향막(160)의 본딩 결합이 끊어진다. 제 2 도메인 영역도 제 1 도메인 영역과 같이 후속 공정을 통해 액정(300)을 배향시킬 경우 배향막(160)의 본딩 결합이 끊어진 시계 방향과 반대 방향으로 액정(300)이 기울어져 배향된다.
이를 통해 두 도메인 영역의 경계면 하부의 화소 전극(150)의 일부가 절개된 패턴(155)을 갖는 하부 기판(1000)이 제작된다.
도 11을 참조하면, 투광성 절연 기판(210) 상에 블랙 매트릭스(220), 컬러 필터(230), 오버 코트막(240), 공통 전극(250) 그리고, 상부 배향막(260)이 형성된 상부 기판(2000)을 제작한 다음 상기의 하부 기판(1000)과 상부 기판(2000)을 합착 밀봉한다. 이때, 상부 배향막(260) 또한 도 9 및 도 10에서의 설명과 동일하게 제 1 및 제 2 도메인 방향에 따라 각기 다른 기울기를 갖도록 이온 빔 조사를 실시하는 것이 바람직하다.
상기와 같이 하부 기판(1000)과 상부 기판(2000)이 합착 밀봉된 두 기판 사이에 액정(300)을 주입하여 액정배향을 실시한다. 이때, 앞서 설명한 바와 같이 이온빔 조사를 통해 제 1 도메인 영역의 액정(300)은 Y축을 기준으로 시계 방향으로 기울어지고, 제 2 도메인 영역의 액정(300)은 Y축을 기준으로 반시계 방향으로 기울어진다. 그리고, 제 1 및 제 2 도메인의 경계영역에는 화소 전극(150)의 절개 패턴(155)으로 인한 전장 왜곡으로 인한 배리어 영역이 마련된다. 상기에서 액정(300)은 수직 배향 모드 액정 또는 트위스트 네마틱 액정을 사용할 수 있다.
도 12은 TN 모드 액정 표시 장치에 적용할 경우의 액정 배향을 설명하기 위한 개념도이다.
TN 모드의 경우, 액정 표시 장치의 액정은 하판에서 상판 방향으로 90도 꺽인 형상으로 제작된다. 따라서, 도 12의 (a)에 도시된 바와 같이 하부 기판(1000)은 길이 방향으로 두 도메인 상에 배향된 액정(300)이 서로 마주보도록 배향 되고, 상부 기판(2000)은 길이 방향으로부터 90도꺽인 방향으로 두 도메인 상에 배향된 액정(300)이 엇갈린 방향으로 배향되도록 한다. 이를 통해 상부 기판(2000)과 하부 기판(1000)을 합착 밀봉하고, 그 사이에 액정(300)을 주입하고, 배향하면 도 12c에 도시된 바와 같이 하부에서 상부 방향으로 액정이 90도 꺽인 형상으로 배향된다.
도면에서와 같이 제 1 및 제 2 도메인 영역에서는 하부 기판(1000)의 액정 배향을 기준으로 시계 방향으로 90도 꺽인 방향으로 상부 기판(2000)상에 액정이 배향된다.
상술한 설명에서는 이온 빔을 조사하여 액정의 기울기가 서로 다른 도메인을 형성하되, 도메인의 경계면 영역 하부의 하소 전극의 일부를 절개한 절개 패턴을 형성하여 서로 대향하는 방향의 기울기로 기울어진 액정의 미는 힘을 지지해 줄 수 있는 배리어 필드를 마련할 수 있게 되어 도메인 경계면의 불규칙한 움직임과, 복수의 도메인이 하나로 합쳐지는 현상을 방지할 수 있게 된다.
물론 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고, 상부 기판의 공통 전극에 절개 패턴 또는 돌출 패턴을 형성하여 이러한 도메인의 경계 영역 사이에 배리어 필드를 형성할 수 있다. 하기에서는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 상부 기판의 공통 전극에 절개 패턴 또는 돌기 패턴이 형성되고, 이온 빔을 이용한 다중 도메인을 갖는 광시야각 액정 표시 장치에 관해 설명한다. 하기 설명에서는 앞서 설명한 실시예와 중복된 설명은 생략한다.
도 13 내지 도 16은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 광 시야각 액정 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이다. 도 17은 본 실시예에 따른 변형예를 설명하기 위한 광 시야각 액정 표시 장치의 단면도이다.
도 13을 참조하면, 투광성 절연 기판(210) 상에 블랙 매트릭스(220)를 패터닝 한다. 블랙 매트릭스(220) 이외의 화소 영역에 컬러 필터(230)를 형성한다. 이때, 픽셀 단위 별로 각기 R, G, B 세가지 색의 컬러 필터(230)를 패터닝 하는 것이 바람직하다. 이후, 상기 컬러 필터(230) 상에 투광성 유기막 수지인 오버 코트막(240)을 형성한다. 이후, 상기 오버 코트막(240) 상에 절개 패턴(255)을 갖는 공통 전극(250)을 형성한다. 이를 위해 상기 공통 전극(250)을 형성한 다음 마스크를 이용한 패터닝 공정을 실시하여 공통 전극(250)의 일부 즉, 제 1 및 제 2 도메인 영 역의 경계영역에 해당하는 공통 전극(250)의 일부를 제거하여 절개 패턴(255)을 형성한다. 다음으로, 절개 패턴(255)이 형성된 공통 전극(250) 상에 상부 배향막(260)을 형성한다.
도 14를 참조하면, 제 1 도메인 영역이 개방된 금속 마스크(271)를 상부 배약막(260)이 형성된 기판(210) 상에 배치시킨 다음 제 1 이온빔 조사를 실시하여 제 1 도메인 영역에 해당하는 상부 배향막(260) 표면의 본딩결합을 끊는다.
도 15를 참조하면, 제 2 도메인 영역이 개방된 금속 마스크(272)를 상기 기판(210) 상에 배치시킨 다음 제 2 이온빔 조사를 실시한다.
이때, 이온빔 조사는 제 1 및 제 2 도메인 영역에 각기 서로 다른 기울기로 조사하는 것이 바람직하다. 이때, 후속 공정을 통해 배향된 액정(300)이 두 도메인의 경계 영역으로 기울어지도록 이온빔을 조사하는 것이 효과적이다.
이를 통해 두 도메인 영역의 경계면의 공통 전극(250)의 일부가 절개된 패턴을 갖는 상부 기판(2000)을 제작한다.
도 16을 참조하면, 박막 트랜지스터와, 게이트 라인(120), 소스 라인(130), 화소 전극(150) 및 하부 배향막(160)이 형성된 하부 기판(1000)을 제작한다. 이후, 상기 상부 기판(2000)과 하부 기판(1000)을 합착 밀봉한 다음 액정(300)을 주입하여 배향한다.
이를 통해 도면에서와 같이 제 1 및 제 2 도메인 상의 액정(300)은 두 도메인의 경계면을 중심으로 뒤집힌 V자 형상으로 배향된다. 이때, 두 도메인의 경계면의 공통 전극(250)의 일부가 절개되어 있고, 이로인해 절개 패턴에서는 전장이 왜 곡되어 액정(300)이 움직이지 않게 되는 배리어 필드가 형성된다. 이러한 배리어 필드로 인해 서로 대향된 기울기를 갖도록 배향된 액정(300)의 기울어진 힘이 배리어 필드에 의해 지지되어 이 힘이 타 도메인으로 전달되지 않음으로써, 두 도메인의 경계면이 시간에 따라 흔들리거나 두 도메인이 결합되어 하나의 도메인이 되는 현상을 방지할 수 있다.
또한, 도 17에 도시된 바와 같이 상기 공통 전극(250) 상에 돌기 패턴(280)을 형성하고 그 상부에 상부 배향막(260)을 형성한 다음 제 1 도메인 영역과 제 2 도메인 영역에 각기 대향하는 기울기로 이온빔을 조사한 후, 액정(300)을 배향하게 되면 돌기 패턴(280)으로 인한 배리어 필드에 의해 도메인의 경계면이 흔들이거나 두 도메인이 하나로 결합되는 현상을 방지할 수 있게 된다.
상술한 설명에서의 절개 패턴은 도 7에 도시된 바와 같이 화소 전극(150) 또는 공통 전극(250)의 내측에 하나의 직선 형태로 제작할 수 있고, 이에 한정되지 않고, 도 18에 도시된 바와 같이 화소 전극(150)의 양측 면에서 내측 방향으로 연장된 두개의 직선형태로 제작할 수도 있고, 도 19에 도시된 바와 같이 다수의 고립 패턴들이 일정간격 이격된 형상으로 제작할 수도 있다. 상술한 실시예들에 관한 설명에서 마스크 중 첫번째 마스크는 생략 가능하고, 상술한 마스크에 한정되지 않고 다양한 형태와 종류의 마스크가 사용될 수 있다. 그리고, 본 발명에 따른 액정 표시 장치는 하나의 모체 기판 상에 다수개가 동시에 형성될 수도 있고, 하나의 기판에 하나의 액정 표시 장치가 제작될 수도 있다. 그리고, 상술한 설명에서는 TN 모드의 액정 표시 장치를 중심으로 하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않 고, VA모드, OCB 모드, IPS모드 등에도 적용 가능하다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 이온 빔 조사를 통해 멀티 도메인을 제작할 수 있고, 도메인 경계면과 인접한 화소 전극 및/또는 공통 전극의 일부에 절개 패턴 또는 돌기 패턴을 형성하여 이온빔 조사를 통해 형성된 도메인의 경계면이 시간에 따라 변화하는 현상과 도메인이 합쳐져 하나의 도메인이 되는 현상을 방지할 수 있다.
또한, 이온 빔 조사를 통함 멀티 도메인의 제작을 통해 광 시야각이면서 충분한 개구율을 확보할 수 있다.
본 발명을 첨부 도면과 전술된 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 그에 한정되지 않으며, 후술되는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라서, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술되는 특허청구범위의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변형 및 수정할 수 있다.

Claims (15)

  1. 다수의 도메인 영역이 정의 되고 하부 패턴이 형성된 기판 상에 상기 도메인 영역들의 경계면 영역의 일부가 절개된 투명 전극을 형성하는 단계;
    상기 투명 전극을 포함한 전체 구조 상에 배향막을 형성하는 단계;
    상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 상기 배향막에 이온빔을 조사하는 단계를 포함하는 광 시야각 액정 표시 장치의 제조 방법.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기를 갖는 방향으로 상기 배향막에 이온빔을 조사하는 단계는,
    제 1 도메인 영역을 개방하는 마스크를 이용하여 제 1 기울기 방향으로 상기 이온빔을 조사하는 단계;
    제 2 도메인 영역을 개방하는 마스크를 이용하여 제 2 기울기 방향으로 상기 이온빔을 조사하는 단계를 포함하는 광 시야각 액정 표시 장치의 제조 방법.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제 1 기울기 방향은 상기 배향막 표면을 기준으로 시계 방향으로 1 내지 89도의 기울기를 갖는 방향이고, 상기 제 2 기울기 방향은 상기 배향막 표면을 기준으로 반시계 방향으로 1 내지 89도의 기울기를 갖는 방향인 광 시야각 액정 표시 장치의 제조 방법.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 배향막 상에 액정을 배향하는 단계를 더 포함하는 광 시야각 액정 표시 장치의 제조 방법.
  5. 다수의 도메인 영역이 정의되고 박막 트랜지스터를 포함하는 하부 제 1 패턴이 형성된 하부 기판과, 컬러 필터를 포함하는 하부 제 2 패턴이 형성된 상부 기판을 마련하는 단계;
    상기 하부 기판의 상기 하부 제 1 패턴 상에 상기 도메인 영역들의 경계면 영역의 일부가 절개된 화소 전극을 형성하고, 상기 상부 기판의 상기 하부 제 2 패턴 상에 공통 전극을 형성하는 단계;
    상기 하부 기판 및 상부 기판의 전체 구조 상에 각기 하부 배향막 및 상부 배향막을 형성하는 단계;
    상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 상기 하부 기판의 상기 하부 배향막 상에 이온빔을 조사하고, 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 상기 상부 기판의 상기 상부 배향막 상에 이온빔을 조사하는 단계;
    상기 하부 배향막과 상기 상부 배향막이 서로 대응되도록 상기 하부 기판과 상기 상부 기판을 결합 밀봉하는 단계;
    상기 하부 배향막과 상기 상부 배향막 사이에 액정을 배향하는 단계를 포함하는 광 시야각 액정 표시 장치의 제조 방법.
  6. 다수의 도메인 영역이 정의되고 박막 트랜지스터를 포함하는 하부 제 1 패턴이 형성된 하부 기판과, 컬러 필터를 포함하는 하부 제 2 패턴이 형성된 상부 기판을 마련하는 단계;
    상기 하부 기판의 상기 하부 제 1 패턴 상에 화소 전극을 형성하고, 상기 상부 기판의 상기 하부 제 2 패턴 상에 상기 도메인 영역들의 경계면 영역의 일부가 절개된 공통 전극을 형성하는 단계;
    상기 하부 기판 및 상부 기판의 전체 구조 상에 각기 하부 배향막 및 상부 배향막을 형성하는 단계;
    상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 상기 하부 기판의 상기 하부 배향막 상에 이온빔을 조사하고, 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 상기 상부 기판의 상기 상부 배향막 상에 이온빔을 조사하는 단계;
    상기 하부 배향막과 상기 상부 배향막이 서로 대응되도록 상기 하부 기판과 상기 상부 기판을 결합 밀봉하는 단계;
    상기 하부 배향막과 상기 상부 배향막 사이에 액정을 배향하는 단계를 포함 하는 광 시야각 액정 표시 장치의 제조 방법.
  7. 다수의 도메인 영역이 정의되고 박막 트랜지스터를 포함하는 하부 제 1 패턴이 형성된 하부 기판과, 컬러 필터를 포함하는 하부 제 2 패턴이 형성된 상부 기판을 마련하는 단계;
    상기 하부 기판의 상기 하부 제 1 패턴 상에 화소 전극을 형성하고, 상기 상부 기판의 상기 하부 제 2 패턴 상에 공통 전극을 형성하는 단계;
    상기 도메인 영역들의 경계면 영역에 해당하는 상기 공통 전극 상에 돌기 패턴을 형성하는 단계;
    상기 하부 기판 및 상부 기판의 전체 구조 상에 각기 하부 배향막 및 상부 배향막을 형성하는 단계;
    상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 상기 하부 기판의 상기 하부 배향막 상에 이온빔을 조사하고, 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 상기 상부 기판의 상기 상부 배향막 상에 이온빔을 조사하는 단계;
    상기 하부 배향막과 상기 상부 배향막이 서로 대응되도록 상기 하부 기판과 상기 상부 기판을 결합 밀봉하는 단계;
    상기 하부 배향막과 상기 상부 배향막 사이에 액정을 배향하는 단계를 포함하는 광 시야각 액정 표시 장치의 제조 방법.
  8. 청구항 5 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서, 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기를 갖는 방향으로 상기 상부 및 하부 배향막에 이온빔을 조사하는 단계는,
    제 1 도메인 영역을 개방하는 마스크를 이용하여 제 1 기울기 방향으로 상기 하부 배향막 상에 상기 이온빔을 조사하는 단계;
    제 2 도메인 영역을 개방하는 마스크를 이용하여 제 2 기울기 방향으로 상기 하부 배향막 상에 상기 이온빔을 조사하는 단계;
    상기 제 1 도메인 영역을 개방하는 마스크를 이용하여 제 3 기울기 방향으로 상기 상부 배향막 상에 상기 이온빔을 조사하는 단계;
    상기 제 2 도메인 영역을 개방하는 마스크를 이용하여 제 4 기울기 방향으로 상기 상부 배향막 상에 상기 이온빔을 조사하는 단계를 포함하는 광 시야각 액정 표시 장치의 제조 방법.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 제 1 기울기 방향은 상기 배향막 표면을 기준으로 시계 방향으로 1 내지 89도의 기울기를 갖는 방향이고, 상기 제 2 기울기 방향은 상기 배향막 표면을 기준으로 반시계 방향으로 1 내지 89도의 기울기를 갖는 방향이고, 제 3 및 제 4 기울기 방향은 상기 제 1 및 제 2 기울기 방향에 대해 90도 꺽인 방향인 광 시야각 액정 표시 장치의 제조 방법.
  10. 청구항 5에 있어서,
    상기 상부 기판의 상기 공통 전극은 상기 도메인 영역들의 경계면 영역의 일부가 절개되거나 경계면 영역에 해당하는 상기 공통 전극 상에 돌출 패턴이 형성된 광 시야각 액정 표시 장치의 제조 방법.
  11. 청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,
    상기 하부 기판의 상기 화소 전극은 상기 도메인 영역들의 경계면 영역의 일부가 절개된 광 시야각 액정 표시 장치의 제조 방법.
  12. 다수의 도메인 영역이 정의되고, 박막 트랜지스터를 포함하는 하부 패턴 상에 도메인 영역의 경계면에 절개패턴을 갖는 화소 전극과, 상기 화소 전극 상에 형성된 하부 배향막을 포함하는 하부 기판;
    상기 다수의 도메인 영역으로 정의 되고, 컬러 필터를 포함하는 하부 패턴 상에 형성된 공통 전극과, 상기 공통 전극 상에 형성된 상부 배향막을 포함하는 상부 기판;
    상기 상부 및 하부 배향막 사이에 마련되고, 이온빔 조사를 통해 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 기울어져 배향된 액정을 포함하는 광 시야각 액정 표시 장치.
  13. 다수의 도메인 영역이 정의되고, 박막 트랜지스터를 포함하는 하부 패턴 상에 형성된 화소 전극과, 상기 화소 전극 상에 형성된 하부 배향막을 포함하는 하부 기판;
    상기 다수의 도메인 영역으로 정의 되고, 컬러 필터를 포함하는 하부 패턴 상에 도메인 영역의 경계면에 절개패턴을 갖는 형성된 공통 전극과, 상기 공통 전극 상에 형성된 상부 배향막을 포함하는 상부 기판;
    상기 상부 및 하부 배향막 사이에 마련되고, 이온빔 조사를 통해 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 기울어져 배향된 액정을 포함하는 광 시야각 액정 표시 장치.
  14. 다수의 도메인 영역이 정의되고, 박막 트랜지스터를 포함하는 하부 패턴 상에 형성된 화소 전극과, 상기 화소 전극 상에 형성된 하부 배향막을 포함하는 하부 기판;
    상기 다수의 도메인 영역으로 정의 되고, 컬러 필터를 포함하는 하부 패턴 상에 형성된 공통 전극과, 도메인 영역의 경계면에 해당하는 상기 공통 전극 상에 형성된 돌기 패턴과, 상기 돌기 패턴을 포함하는 상기 공통 전극 상에 형성된 상부 배향막을 포함하는 상부 기판;
    상기 상부 및 하부 배향막 사이에 마련되고, 이온빔 조사를 통해 상기 도메인 영역 별로 각기 다른 기울기 방향으로 기울어져 배향된 액정을 포함하는 광 시야각 액정 표시 장치.
  15. 청구항 12 또는 청구항 13에 있어서,
    상기 절개패턴은 화소 영역의 중심에 직선 형태 또는 양측면에서 내측 방향으로 연장된 직선 형태 또는 다수의 고립 패턴들이 일정 간격 이격된 형태로 제작된 광 시야각 액정 표시 장치.
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