KR20070056498A - Apparatus and method for fabricating flat panel display - Google Patents

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KR20070056498A
KR20070056498A KR1020050115198A KR20050115198A KR20070056498A KR 20070056498 A KR20070056498 A KR 20070056498A KR 1020050115198 A KR1020050115198 A KR 1020050115198A KR 20050115198 A KR20050115198 A KR 20050115198A KR 20070056498 A KR20070056498 A KR 20070056498A
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Abstract

A manufacturing device and a method of a flat panel display are provided to spray ions to the substrate and to measure the amount of static electricity induced to a substrate in real time, by integrating a static electricity removing unit and a static electricity measuring unit. A manufacturing device of a flat panel display is composed of a static electricity removing unit(112) eliminating static electricity of a substrate(111); a measuring unit(114) integrated with the static electricity removing unit to measure the amount of static electricity induced to the substrate; a control unit(116) for comparing the amount of static electricity measured by the measuring unit, with the reference static electricity amount; and a display unit(118) for displaying a comparison result value output from the control unit.

Description

평판 표시 장치의 제조 장치 및 제조 방법{APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING FLAT PANEL DISPLAY} Manufacturing apparatus and method for manufacturing a flat panel display device {APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING FLAT PANEL DISPLAY}

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 평판 표시 장치의 제조 장치를 나타내는 도면이다.1 is a diagram illustrating an apparatus for manufacturing a flat panel display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2는 도 2에 도시된 일체형 제전부/측정부를 상세히 나타내는 도면이다.FIG. 2 is a view illustrating in detail the integrated static eliminator / measurement unit shown in FIG. 2.

도 3은 도 2에 도시된 정전기량 측정부에서 측정된 정전기량을 나타내는 도면이다.FIG. 3 is a diagram illustrating the amount of static electricity measured by the static electricity measuring unit shown in FIG. 2.

도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 평판 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.4 is a diagram for describing a method of manufacturing a flat panel display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 제조 장치를 이용한 제조 방법에 의해 형성된 평판 표시 장치를 나타내는 사시도이다.5 is a perspective view illustrating a flat panel display formed by a manufacturing method using a manufacturing apparatus according to an exemplary embodiment of the present disclosure.

<도면의 주요부분에 대한 설명><Description of main parts of drawing>

1,11,111 : 기판 58 : 박막 트랜지스터1,11,111: substrate 58: thin film transistor

62 : 컬러필터 64 : 공통전극62: color filter 64: common electrode

68 : 블랙매트릭스 70 : 박막 트랜지스터 기판68: black matrix 70: thin film transistor substrate

72 : 화소 전극 74 : 데이터 라인72 pixel electrode 74 data line

76 : 액정층 80 : 컬러 필터 기판76 liquid crystal layer 80 color filter substrate

82 : 게이트 라인 101 내지 10n : 공정부82: gate line 101 to 10n: process part

106,108 : 신호라인 110 : 일체형 제전부/측정부106,108: signal line 110: integrated static eliminator / measurement unit

112 : 제전부 114 : 측정부 112: static eliminator 114: measuring unit

116 : 제어부 118 : 표시부116 control unit 118 display unit

120,122 : 편광판 130 : 액정 표시 패널120,122: polarizer 130: liquid crystal display panel

본 발명은 평판 표시 장치의 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것으로, 특히 실시간으로 정전기량을 측정할 수 있는 평판 표시 장치의 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a manufacturing apparatus and a manufacturing method of a flat panel display, and more particularly, to a manufacturing apparatus and a manufacturing method of a flat panel display capable of measuring an amount of static electricity in real time.

현재, CRT를 대체하는 디스플레이로 전계를 이용하여 유전 이방성을 갖는 액정의 광투과율을 조절함으로써 화상을 표시하는 액정 표시 장치가 각광을 받고 있다. At present, a liquid crystal display device for displaying an image by adjusting the light transmittance of a liquid crystal having dielectric anisotropy using an electric field as a display to replace a CRT has been in the spotlight.

이러한 액정 표시 장치는 액정을 사이에 두고 합착제에 의해 합착되는 박막 트랜지스터 기판 및 컬러 필터 기판을 구비한다. Such a liquid crystal display device includes a thin film transistor substrate and a color filter substrate bonded by a binder with a liquid crystal interposed therebetween.

컬러 필터 기판에는 빛샘 방지를 위한 블랙 매트릭스와, 컬러 구현을 위한 컬러 필터, 화소전극과 수직전계를 이루는 공통전극과, 그들 위에 액정 배향을 위해 도포된 상부 배향막을 포함하는 컬러 필터 어레이가 상부기판 상에 형성된다. The color filter substrate includes a color filter array including a black matrix for preventing light leakage, a color filter for realizing color, a common electrode forming a vertical electric field with the pixel electrode, and an upper alignment layer coated thereon for liquid crystal alignment on the upper substrate. Is formed.

박막 트랜지스터 기판에는 하부기판 상에 서로 교차되게 형성된 게이트라인 및 데이터라인과, 그들의 교차부에 형성된 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)와, 박막트랜지스터와 접속된 화소전극과, 그들 위에 액정 배향을 위해 도포된 하부 배향막을 포함하는 박막 트랜지스터 어레이가 하부기판 상에 형성된다.The thin film transistor substrate includes a gate line and a data line intersecting each other on a lower substrate, a thin film transistor (TFT) formed at an intersection thereof, a pixel electrode connected to the thin film transistor, and a liquid crystal alignment thereon. A thin film transistor array including the applied lower alignment layer is formed on the lower substrate.

이러한 액정표시장치를 생산하는 제조라인에는 기판의 운반 및 보관, 공정장비, 작업자 등으로 인해 유기이물, 무기이물, 금속이물 등의 각종 이물이 존재한다.In the production line for producing such a liquid crystal display, various foreign materials such as organic foreign matter, inorganic foreign matter, and metal foreign matter exist due to transport and storage of substrates, process equipment, and workers.

액정표시장치의 기판으로 주로 사용되는 유리기판은 부도체이기 때문에 정전기가 쉽게 유도될 수 있어 각종 이물이 유리기판에 쉽게 부착될 수 있으며 부착된 이물은 유리기판으로부터 쉽게 분리되지 않는다.Since a glass substrate mainly used as a substrate of a liquid crystal display device is an insulator, static electricity can be easily induced, so that various foreign substances can be easily attached to the glass substrate, and the attached foreign substances are not easily separated from the glass substrate.

따라서, 초기 유리기판 투입 뿐만 아니라 각 단위공정과 단위공정 사이마다 이온 나이져를 설치하여 정전기를 제거한다. Therefore, in addition to the initial glass substrate input, ionizers are installed between each unit process and unit processes to remove static electricity.

그러나, 종래에는 기판 상에 유도된 정전기량을 이온 나이져를 정지시킨 후 비정기적으로 측정한다. 측정된 정전기량이 기준치를 초과한 경우 불량이 발생된 패널들의 추적이 불가능한 문제점이 있다.However, conventionally, the amount of static electricity induced on the substrate is measured irregularly after stopping the ionizer. If the measured amount of static electricity exceeds the reference value, there is a problem that tracking of defective panels is impossible.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 실시간으로 정전기량을 측정할 수 있는 평판 표시 장치의 제조 장치 및 방법을 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide an apparatus and method for manufacturing a flat panel display device capable of measuring the amount of static electricity in real time.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 평판 표시 장치의 제조 장치는 기판을 제전시키는 제전부와; 상기 제전부와 일체화됨과 아울러 상기 제전된 기판 상에 유도된 정전기량을 측정하는 측정부와; 상기 측정부에서 측정된 정전기량과 기준 정전기량을 비교하는 제어부와; 상기 제어부로부터의 비교값을 표시하는 표시부를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, an apparatus for manufacturing a flat panel display device according to the present invention includes an electrostatic portion for discharging the substrate; A measuring unit which is integrated with the antistatic unit and measures the amount of static electricity induced on the antistatic substrate; A controller for comparing the amount of static electricity measured by the measuring unit with a reference amount of static electricity; And a display unit for displaying the comparison value from the control unit.

여기서, 상기 제전부는 상기 기판 상에 이온을 분사하는 이온 나이져인 것을 특징으로 한다.Here, the static eliminator is an ionizer for injecting ions onto the substrate.

한편, 상기 기판은 액정 표시 장치의 상부 기판 및 하부 기판 중 적어도 어느 한 기판인 것을 특징으로 한다.On the other hand, the substrate is characterized in that at least one of the upper substrate and the lower substrate of the liquid crystal display device.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 평판 표시 장치의 제조방법은 기판을 제전부를 이용하여 제전시키는 단계와; 상기 제전부와 일체화된 측정부를 이용하여 상기 제전된 기판 상에 유도된 정전기량을 측정하는 단계와; 상기 측정부에서 측정된 정전기량과 기준 정전기량을 제어부에서 비교하는 단계와; 상기 제어부로부터의 비교값을 표시부에 표시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, a method of manufacturing a flat panel display device according to the present invention comprises the steps of: static eliminating the substrate by using a static eliminator; Measuring the amount of static electricity induced on the charged substrate using a measuring unit integrated with the static eliminating unit; Comparing the amount of static electricity measured by the measuring unit with a reference amount of static electricity in the control unit; And displaying the comparison value from the control unit on a display unit.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 평판 표시 장치의 제조장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.1 is a diagram schematically illustrating an apparatus for manufacturing a flat panel display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 평판 표시 장치는 제1 내지 제n 공정부(101 내지 10n)와, 제1 내지 제n 공정부(101 내지 10n) 사이에 배치되는 일체형 제전부/측정부(110)를 구비한다.Referring to FIG. 1, the flat panel display according to the present invention includes an integrated static eliminator / measure unit disposed between the first to nth process units 101 to 10n and the first to nth process units 101 to 10n. 110.

제1 내지 제n 공정부(101 내지 10n) 각각에서는 기판 세정 공정과; 증착 공정, 노광 공정, 현상 공정 및 식각 공정 등을 포함하는 기판 패터닝 공정과; 액정 적하 공정과; 기판 합착 공정과; 테스트 공정 등이 이루어진다. Each of the first to nth process parts 101 to 10n; A substrate patterning process including a deposition process, an exposure process, a developing process and an etching process; A liquid crystal dropping step; A substrate bonding process; Test process and so on.

여기서, 기판 세정 공정에서는 상/하부기판의 패터닝 전후에 기판들의 이물질을 세정제를 이용하여 제거하게 된다.Here, in the substrate cleaning process, foreign substances on the substrates are removed using a cleaning agent before and after the upper and lower substrates are patterned.

기판 패터닝 공정에서는 컬러필터 어레이 패터닝 공정과 박막트랜지스터 어레이 패터닝 공정으로 나뉘어진다.Substrate patterning is divided into a color filter array patterning process and a thin film transistor array patterning process.

컬러필터 어레이 패터닝 공정을 통해 상부 기판 상에는 다수의 컬러필터 어레이가 형성된다. 여기서, 다수의 컬러필터 어레이 각각은 빛샘 방지를 위한 블랙 매트릭스와, 컬러 구현을 위한 컬러 필터, 화소전극과 수직전계를 이루는 공통전극과, 그들 위에 액정 배향을 위해 도포된 상부 배향막을 포함한다.Through the color filter array patterning process, a plurality of color filter arrays are formed on the upper substrate. Here, each of the plurality of color filter arrays includes a black matrix for preventing light leakage, a color filter for realizing color, a common electrode forming a vertical electric field with the pixel electrode, and an upper alignment layer coated thereon for liquid crystal alignment.

박막트랜지스터 어레이 패터닝 공정을 통해 하부 기판 상에는 다수의 박막트랜지스터 어레이가 형성된다. 여기서, 다수의 박막트랜지스터 어레이 각각은 서로 교차되게 형성된 게이트라인 및 데이터라인과, 그들의 교차부에 형성된 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)와, 박막트랜지스터와 접속된 화소전극과, 그들 위에 액정 배향을 위해 도포된 하부 배향막을 포함한다.Through the thin film transistor array patterning process, a plurality of thin film transistor arrays are formed on the lower substrate. Here, each of the plurality of thin film transistor arrays has a gate line and a data line formed to cross each other, a thin film transistor (TFT) formed at their intersections, a pixel electrode connected to the thin film transistor, and a liquid crystal alignment thereon. And a lower alignment layer applied for the purpose.

액정 적하 공정에서는 컬러필터 어레이가 형성된 상부 기판 및 박막트랜지스터 어레이가 형성된 하부 기판 중 적어도 어느 하나의 기판 상에 액정이 적하된다.In the liquid crystal dropping step, the liquid crystal is dropped onto at least one of the upper substrate on which the color filter array is formed and the lower substrate on which the thin film transistor array is formed.

기판 합착 공정에서는 컬러필터 어레이가 형성된 상부 기판 및 박막트랜지스터 어레이가 형성된 하부 기판 중 적어도 어느 하나의 기판 상에 도포된 합착제를 이용하여 상부 기판과 하부 기판을 합착한다.In the substrate bonding process, the upper substrate and the lower substrate are bonded together using a bonding agent applied on at least one of the upper substrate on which the color filter array is formed and the lower substrate on which the thin film transistor array is formed.

테스트 공정에서는 액정을 사이에 두고 상부 기판과 하부 기판이 합착되어 형성된 액정 표시 패널에 편광판을 부착시킨 후 그 액정 표시 패널의 불량 유무를 판별한다. In the test process, a polarizing plate is attached to a liquid crystal display panel formed by joining an upper substrate and a lower substrate with a liquid crystal interposed therebetween, and then determine whether the liquid crystal display panel is defective.

일체형 제전부/측정부(110)는 도 2에 도시된 바와 같이 상부 기판 및 하부 기판 중 적어도 어느 하나의 기판(111)을 제전하는 제전부(112)와, 제전부(112)와 일체형으로 형성된 정전기량 측정부(114)와, 정전기량 측정부(114)를 제어하는 제어부(116)와, 정전기량 측정부(114)의 측정결과를 표시하는 표시부(118)를 구비한다.As shown in FIG. 2, the integrated static eliminator / measure unit 110 may be formed integrally with the static eliminator 112 and the static eliminator 112 for static eliminating at least one of the upper and lower substrates 111. The electrostatic amount measuring unit 114, a control unit 116 for controlling the electrostatic amount measuring unit 114, and a display unit 118 displaying the measurement result of the electrostatic amount measuring unit 114 are provided.

제전부(112)는 제1 내지 제n 공정부(101 내지 10n) 중 어느 하나의 공정부를 거친 기판(111)을 제전한다. 즉, 제전부(112)는 이온 나이져(Ionizer)로 형성되어 이온 나이져에서 발생된 이온을 제1 내지 제n 공정부(101 내지 10n) 중 어느 하나의 공정부를 거친 기판(111)에 분사함으로써 정전기 발생을 억제하게 된다. The static eliminator 112 charges the substrate 111 having passed through any one of the first through n-th process portions 101 through 10n. That is, the static eliminator 112 is formed as an ionizer and sprays ions generated from the ionizer onto the substrate 111 having passed through any one of the first to nth process units 101 to 10n. As a result, the generation of static electricity is suppressed.

한편, 이온은 전자 방출부에서 발생된 전자와 이온 공급 가스를 충돌시킴으로써 이온 공급가스가 이온화되어 생성된다. 생성된 이온들은 이온 분사부를 통해 기판(111) 상에 분사된다. 기판(111) 상에 분사된 이온들은 양극성 또는 음극성으로 대전된 대전체를 중화시킴으로써 정전기 발생을 방지하게 된다.On the other hand, ions are generated by ionizing the ion supply gas by colliding the electrons generated in the electron emission section with the ion supply gas. The generated ions are injected onto the substrate 111 through the ion injector. The ions injected onto the substrate 111 may prevent the generation of static electricity by neutralizing the charged battery with positive or negative polarity.

정전기량 측정부(114)는 제전부(112)와 일체형으로 형성되어 기판(111)에 유도된 정전기량을 측정한다.The static electricity measuring unit 114 is integrally formed with the antistatic unit 112 to measure the static electricity induced in the substrate 111.

제어부(116)는 정전기량 측정부(114)와 제1 신호라인(106), 예를 들어 RS232C 케이블(Cable)을 통해 연결되어 정전기량 측정부(114)에서 측정된 정전기량을 기준 정전기량과 비교한다. 측정된 정전기량이 기준 정전기량 이하인 경우, 정전기량이 측정된 기판(111)은 다음 공정부로 이동하게 된다. 반면에 측정된 정전기량이 도 3에 도시된 바와 같이 기준 정전기량(s)보다 큰 경우, 정전기량이 측정된 기판(111)은 검출되어 리워크 공정으로 투입되거나 폐기처분된다.The control unit 116 is connected to the static electricity measuring unit 114 and the first signal line 106, for example, RS232C cable (Cable), and the amount of static electricity measured by the static electricity measuring unit 114 is compared with the reference static electricity amount. Compare. When the measured amount of static electricity is less than or equal to the reference amount of static electricity, the substrate 111 in which the amount of static electricity is measured is moved to the next process unit. On the other hand, when the amount of static electricity measured is greater than the reference amount of static electricity s as shown in FIG. 3, the substrate 111 in which the amount of static electricity is measured is detected and introduced into the rework process or disposed of.

표시부(118)는 제어부(116)와 제2 신호라인(108), 예를 들어 랜 케이블(LAN Cable)를 통해 연결되어 제어부(116)로부터의 비교값을 표시한다. 이러한 표시부(118)를 통해 표시된 비교값(측정된 정전기량과 기준 정전기량의 비교값)이 큰 경우, 관리자는 그 비교값이 나타난 시점(t1~t2)에서 일체형 제전부/측정부(110)를 통과한 기판을 검출한다. The display unit 118 is connected to the control unit 116 and the second signal line 108, for example, a LAN cable to display a comparison value from the control unit 116. When the comparison value (compared value of measured amount of static electricity and reference amount of static electricity) displayed through the display unit 118 is large, the manager may determine the integrated static eliminator / measure unit 110 at a time point t1 to t2 at which the comparison value appears. The board | substrate which passed through is detected.

도 4는 본 발명에 따른 평판 표시 장치의 제조방법을 설명하기 위한 흐름도이다.4 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a flat panel display device according to the present invention.

먼저, 제1 내지 제n 공정부 중 제i 공정부에 해당 기판이 투입된다(S1단계). First, the substrate is input to the i-th process unit among the first to nth process units (step S1).

이 공정부를 거친 기판 상에는 공기 중의 기체를 이온화시켜 발생된 이온이 제전부를 통해 분사된다(S2단계). On the substrate passed through the process unit, ions generated by ionizing gas in the air are injected through the static eliminator (step S2).

이와 동시에 제전부와 일체형으로 형성된 정전기량 측정부는 기판에 유도된 정전기량을 측정한다(S3단계). At the same time, the electrostatic amount measuring unit formed integrally with the static eliminator measures the amount of static electricity induced in the substrate (step S3).

측정된 정전기량과 기준 정전기량은 제어부에서 비교된다(S4단계). The measured amount of static electricity and the reference amount of static electricity are compared at the control unit (step S4).

비교결과 측정된 정전기량이 기준 정전기량 이하인 경우, 정전기량이 측정된 기판(111)은 제i+1 공정부로 이동하게 된다(S5단계). As a result of the comparison, when the measured amount of static electricity is less than or equal to the reference amount of static electricity, the substrate 111 in which the amount of static electricity is measured is moved to the i + 1 process unit (step S5).

반면에 비교결과 측정된 정전기량이 도 3에 도시된 바와 같이 기준 정전기량보다 큰 경우, 정전기량이 측정된 기판(111)은 검출되어 리워크 공정으로 투입되거나 폐기처분된다(S6단계). On the other hand, when the amount of static electricity measured as a result of the comparison is greater than the standard amount of static electricity as shown in FIG. 3, the substrate 111 in which the amount of static electricity is measured is detected and introduced into the rework process or disposed of (S6).

한편, 제어부로부터의 비교결과는 표시부에 표시되어 관리자가 그 비교값을 인지할 수 있도록 한다.On the other hand, the comparison result from the control unit is displayed on the display unit so that the administrator can recognize the comparison value.

도 5는 본 발명에 따른 제조 장치에 의해 형성된 액정 표시 패널을 나타내는 사시도이다.5 is a perspective view showing a liquid crystal display panel formed by the manufacturing apparatus according to the present invention.

도 5에 도시된 액정 표시 패널(130)은 액정층(76)을 사이에 두고 서로 대향하여 합착된 박막 트랜지스터 기판(70) 및 컬러 필터 기판(80)와, 박막 트랜지스터 기판(70) 및 컬러 필터 기판(80)의 배면에 부착되는 상부 편광판(120) 및 하부 편광판(122)을 구비한다.The liquid crystal display panel 130 illustrated in FIG. 5 includes a thin film transistor substrate 70 and a color filter substrate 80 bonded together to face each other with the liquid crystal layer 76 therebetween, the thin film transistor substrate 70 and the color filter. An upper polarizer 120 and a lower polarizer 122 are attached to the rear surface of the substrate 80.

컬러 필터 기판(80)은 상부 기판(11) 상에 순차적으로 형성된 블랙매트릭스(68), 컬러필터(62), 공통 전극(64), 컬럼 스페이서(도시하지 않음)를 구비한다. The color filter substrate 80 includes a black matrix 68, a color filter 62, a common electrode 64, and a column spacer (not shown) sequentially formed on the upper substrate 11.

블랙 매트릭스(68)는 상부 기판(11)을 컬러 필터(62)가 형성되어질 다수의 셀영역들로 나누고, 인접한 셀들간의 광 간섭 및 외부광 반사를 방지한다. 이를 위해, 블랙 매트릭스(68)는 하부 기판(1) 상에 형성된 데이터 라인(74), 게이트 라인(82) 및 박막 트랜지스터(58) 중 적어도 어느 하나와 중첩되게 상부 기판(11) 상에 형성된다. The black matrix 68 divides the upper substrate 11 into a plurality of cell regions in which the color filter 62 is to be formed, and prevents light interference and external light reflection between adjacent cells. To this end, the black matrix 68 is formed on the upper substrate 11 to overlap at least one of the data line 74, the gate line 82, and the thin film transistor 58 formed on the lower substrate 1. .

컬러 필터(62)는 블랙 매트릭스(68)에 의해 구분된 셀영역에 적(R), 녹(G), 청(B)으로 구분되게 형성되어 적, 녹, 청색 광을 각각 투과시킨다. The color filter 62 is formed to be divided into red (R), green (G), and blue (B) in the cell region divided by the black matrix 68 to transmit red, green, and blue light, respectively.

공통 전극(64)은 투명 도전층으로 액정 구동시 기준이 되는 공통 전압(Vcom)을 공급한다. The common electrode 64 supplies a common voltage Vcom which is a reference when driving the liquid crystal to the transparent conductive layer.

컬럼 스페이서는 박막 트랜지스터 기판(70)과 컬러 필터 기판(80)과의 셀갭을 일정하게 유지시키는 역할을 한다. The column spacer serves to maintain a constant cell gap between the thin film transistor substrate 70 and the color filter substrate 80.

박막 트랜지스터 기판(70)은 하부 기판(1) 위에 서로 교차하게 형성된 게이트 라인(82) 및 데이터 라인(74)과, 그 교차부에 인접한 박막 트랜지스터(58)와, 그 교차 구조로 마련된 화소 영역에 형성된 화소 전극(72)을 구비한다. The thin film transistor substrate 70 includes a gate line 82 and a data line 74 formed on the lower substrate 1 so as to cross each other, a thin film transistor 58 adjacent to the intersection portion, and a pixel region provided in the crossing structure. The formed pixel electrode 72 is provided.

박막 트랜지스터(58)는 게이트 라인(82)에 공급되는 스캔 신호에 응답하여 데이터 라인(74)에 공급되는 화소 신호가 화소 전극(72)에 충전되어 유지되게 한다. 이를 위하여, 박막 트랜지스터(58)는 게이트 라인(82)과 접속된 게이트 전극, 데이터 라인(74)과 접속된 소스 전극, 소스 전극과 대향하게 위치하여 화소 전극(72)과 접속된 드레인 전극, 소스 전극과 드레인 전극 사이에 채널을 형성하는 활성층, 소스 전극 및 드레인 전극 각각과 활성층과의 오믹 접촉을 위한 오믹 접촉층을 구비한다. The thin film transistor 58 keeps the pixel signal supplied to the data line 74 charged in the pixel electrode 72 in response to the scan signal supplied to the gate line 82. To this end, the thin film transistor 58 may include a gate electrode connected to the gate line 82, a source electrode connected to the data line 74, a drain electrode positioned to face the source electrode and connected to the pixel electrode 72, and a source. An active layer forming a channel between the electrode and the drain electrode, and an ohmic contact layer for ohmic contact with each of the active layer and the source electrode and the drain electrode are provided.

화소 전극(72)은 박막 트랜지스터(58)로부터 공급된 화소 신호를 충전하여 컬러 필터 기판(80)에 형성되는 공통 전극(64)과 전위차를 발생시키게 된다. 이 전위차에 의해 박막 트랜지스터 기판(70)과 컬러 필터 기판(80)에 위치하는 액정이 유전 이방성에 의해 회전하게 되며 백라이트 유닛으로부터 화소 전극(72)을 경유하여 입사되는 광량을 조절하여 컬러 필터 기판(80) 쪽으로 투과시키게 된다.The pixel electrode 72 charges the pixel signal supplied from the thin film transistor 58 to generate a potential difference with the common electrode 64 formed on the color filter substrate 80. Due to the potential difference, the liquid crystals positioned on the thin film transistor substrate 70 and the color filter substrate 80 are rotated by dielectric anisotropy, and the amount of light incident from the backlight unit via the pixel electrode 72 is adjusted to adjust the color filter substrate ( 80).

컬러 필터 기판(80)과 박막트랜지스터 기판(70) 상에 부착된 상/하부 편광판들(120,122)은 어느 한 방향으로 편광된 빛을 투과시키게 되며, 액정층(76)이 90°TN 모드일 때 그들의 편광방향은 서로 직교하게 된다. The upper and lower polarizers 120 and 122 attached to the color filter substrate 80 and the thin film transistor substrate 70 transmit light polarized in one direction, and the liquid crystal layer 76 is in the 90 ° TN mode. Their polarization directions are perpendicular to each other.

한편, 본 발명에 따른 평판 표시 장치는 액정 표시 장치를 예로 들어 설명하였지만 이외에도 플라즈마 디스플레이 패널, 전계 방출 소자, 전계 발광 소자 등에도 적용가능하다.Meanwhile, although the flat panel display according to the present invention has been described using a liquid crystal display as an example, it is also applicable to a plasma display panel, a field emission device, an electroluminescent device, and the like.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 평판 표시 장치의 제조 장치 및 제조방법은 제전부와 정전기량 측정부가 일체화되어 형성된다. As described above, the manufacturing apparatus and the manufacturing method of the flat panel display device according to the present invention are formed integrally with the electrostatic charge unit and the electrostatic amount measuring unit.

이에 따라, 본 발명에 따른 평판 표시 장치의 제조 장치 및 제조 방법은 이온을 기판 상에 분사함과 아울러 기판에 유도된 정전기량을 실시간으로 측정할 수 있게 된다.Accordingly, the apparatus and method for manufacturing a flat panel display device according to the present invention can inject ions onto a substrate and measure the amount of static electricity induced in the substrate in real time.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니 라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (6)

기판을 제전시키는 제전부와;A static eliminator for discharging the substrate; 상기 제전부와 일체화됨과 아울러 상기 제전된 기판 상에 유도된 정전기량을 측정하는 측정부와;A measuring unit which is integrated with the antistatic unit and measures the amount of static electricity induced on the antistatic substrate; 상기 측정부에서 측정된 정전기량과 기준 정전기량을 비교하는 제어부와;A controller for comparing the amount of static electricity measured by the measuring unit with a reference amount of static electricity; 상기 제어부로부터의 비교값을 표시하는 표시부를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 장치.And a display unit for displaying the comparison value from the control unit. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제전부는 상기 기판 상에 이온을 분사하는 이온 나이져인 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 장치.And the static eliminator is an ionizer for injecting ions onto the substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판은 액정 표시 장치의 상부 기판 및 하부 기판 중 적어도 어느 한 기판인 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 장치.And the substrate is at least one of an upper substrate and a lower substrate of the liquid crystal display device. 제전부를 이용하여 기판을 제전시킴과 아울러 상기 제전부와 일체화된 측정부를 이용하여 상기 제전된 기판 상에 유도된 정전기량을 측정하는 단계와;Deciding the amount of static electricity induced on the depleted substrate by using a measuring unit integrated with the destatic part, as well as discharging the substrate using the destatic part; 상기 측정부에서 측정된 정전기량과 기준 정전기량을 제어부에서 비교하는 단계와;Comparing the amount of static electricity measured by the measuring unit with a reference amount of static electricity in the control unit; 상기 제어부로부터의 비교값을 표시부에 표시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 방법.And displaying the comparison value from the control unit on a display unit. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 기판을 제전시키는 단계는 Destaticizing the substrate 상기 기판 상에 이온을 분사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 방법.And injecting ions onto the substrate. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 기판 상에 이온을 분사하는 단계는Injecting ions on the substrate 액정 표시 장치의 상부 기판 및 하부 기판 중 적어도 어느 한 기판 상에 상기 이온을 분사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 방법.And spraying the ions onto at least one of an upper substrate and a lower substrate of the liquid crystal display.
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