KR20070053609A - Apparatus and methods for a substrate carrier having an inflatable seal - Google Patents

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KR20070053609A
KR20070053609A KR1020060106197A KR20060106197A KR20070053609A KR 20070053609 A KR20070053609 A KR 20070053609A KR 1020060106197 A KR1020060106197 A KR 1020060106197A KR 20060106197 A KR20060106197 A KR 20060106197A KR 20070053609 A KR20070053609 A KR 20070053609A
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마이클 알. 라이스
마틴 알. 엘리엇
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어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Abstract

본 발명은 기판 캐리어와 함께 사용하기 위한 시스템들, 방법들, 및 장치를 제공한다. 본 발명은 기판 캐리어의 도어의 공기주입식 밀봉부를 수축시키기 위해 진공 소스를 사용하도록 적응되는 도어 오프너를 제공한다. 상기 공기주입식 밀봉부를 수축시킴으로써, 도어가 기판 캐리어의 몸체로부터 해제되어 기판들이 제거 및/또는 캐리어에 삽입될 수 있다. 도어를 도어 오프너에 고정되게 유지시키기 위해 도어에 제 2 진공 소스가 제공될 수 있다. 본 발명의 많은 다른 실시예들이 개시된다.The present invention provides systems, methods, and apparatus for use with a substrate carrier. The present invention provides a door opener adapted to use a vacuum source to retract the pneumatic seal of the door of the substrate carrier. By retracting the pneumatic seal, the door can be released from the body of the substrate carrier so that the substrates can be removed and / or inserted into the carrier. A second vacuum source may be provided to the door to keep the door fixed to the door opener. Many other embodiments of the invention are disclosed.

Description

공기주입식 밀봉부를 갖는 기판 캐리어를 위한 장치 및 방법{APPARATUS AND METHODS FOR A SUBSTRATE CARRIER HAVING AN INFLATABLE SEAL}APPARATUS AND METHODS FOR A SUBSTRATE CARRIER HAVING AN INFLATABLE SEAL

도 1은 본 발명의 장치의 예시적인 실시예의 사시도를 도시한다.1 shows a perspective view of an exemplary embodiment of the apparatus of the present invention.

도 2는 제거되는 도어 오프너 몸체의 밀봉판을 갖는 도 1의 장치를 도시한다.2 shows the device of FIG. 1 with a sealing plate of the door opener body being removed.

도 3은 기판 캐리어 도어 및 도어 오프너 몸체의 반대 측면들을 도시하는 반대편 사시도로서 도 1의 장치를 도시한다.3 shows the apparatus of FIG. 1 as an opposing perspective view showing opposite sides of the substrate carrier door and door opener body.

도 4는 도 3의 라인 4-4를 따라 절개된 도 3의 장치의 컴포넌트들의 측면도를 도시한다.4 shows a side view of the components of the apparatus of FIG. 3 cut along line 4-4 of FIG. 3.

도 5는 기판 캐리어 도어에 부착되거나 결합된 도어 오프너 몸체를 나타내는 도 4의 장치의 측면도를 도시한다.FIG. 5 shows a side view of the apparatus of FIG. 4 showing the door opener body attached or coupled to the substrate carrier door. FIG.

도 6은 도 3의 라인 6-6을 따라 절개된 도 3의 장치의 컴포넌트들의 측단면도를 도시한다.6 shows a cross-sectional side view of the components of the apparatus of FIG. 3, taken along line 6-6 of FIG. 3.

도 7은 FOUP 도어에 부착되거나 결합된 도어 오프너를 나타내는 도 6의 장치의 측면도를 도시한다.7 shows a side view of the apparatus of FIG. 6 showing a door opener attached or coupled to a FOUP door.

도 8은 도 1 내지 도 7의 진보적인 FOUP 도어 및 도어 오프너를 사용하는 시스템을 도시한다.8 shows a system using the advanced FOUP door and door opener of FIGS. 1-7.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 예시적인 프로세스를 나타내는 흐름도를 도시한다.9 shows a flow diagram illustrating an example process according to one embodiment of the invention.

※ 도면의 부호에 대한 부호의 설명※ Explanation of code about code of drawing

100: 장치 200: FOUP 도어100: device 200: FOUP door

210: 외부 플레이트 220: 내부 구조물210: outer plate 220: inner structure

230: 공기주입식 도어 밀봉부 240: 소켓들230: air injection door seal 240: sockets

250: 도어 밀봉 진공 이음쇠 300: 도어 오프너 몸체250: door sealing vacuum fitting 300: door opener body

340: 도어 유지 포트 370: 도어 유지 진공 채널340: door holding port 370: door holding vacuum channel

본 출원은 "APPARATUS AND METHODS FOR A SUBSTRATE CARRIER HAVING AN INFLATABLE SEAL"이란 명칭으로 2005년 11월 21일자로 제출된 미국 가 특허출원 일련번호 60/738,542호를 우선권으로 청구하며, 이는 모든 목적들을 위해 본 발명에 참조로 포함된다.This application claims priority to US Patent Application Serial No. 60 / 738,542, filed November 21, 2005, entitled "APPARATUS AND METHODS FOR A SUBSTRATE CARRIER HAVING AN INFLATABLE SEAL," for all purposes. Incorporated by reference to the invention.

본 발명은 전자 장치 제조에 관한 것으로서, 특히 기판 캐리어 도어들의 밀봉에 관련된 장치 및 방법들에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to electronic device manufacturing, and more particularly, to apparatus and methods related to sealing of substrate carrier doors.

임의의 잠재적인 오염 입자들로의 노출로부터 기판들(예, 패턴화되거나 패턴화되지 않은 반도체 웨이퍼들, 유리 패널들, 폴리머 기판들, 레티클들, 마스크들, 유리 판들 등)을 보호하는 것이 일반적으로 바람직하다. 따라서, 이러한 기판들은 밀폐된(air tight) 보관용기들에 저장될 수 있다. 그러나, 기판들은 통상적으로 전자 장치 제조 설비내에서 상이한 처리 툴들로 수송되어야 한다. 따라서, 기판들을 잠재적인 오염 입자들에 노출시키지 않으면서, 기판들을 액세스하기 위한 시스템들 및 방법들 뿐만 아니라 밀봉된 보관용기들에서 기판들을 수송하기 위한 방법들 및 장치가 필요하다.It is common to protect substrates (eg, patterned or unpatterned semiconductor wafers, glass panels, polymer substrates, reticles, masks, glass plates, etc.) from exposure to any potential contaminating particles. Is preferred. Thus, these substrates can be stored in air tight containers. However, substrates typically have to be transported to different processing tools in an electronic device manufacturing facility. Thus, there is a need for systems and methods for accessing substrates as well as methods and apparatus for transporting the substrates in sealed storage containers without exposing the substrates to potential contaminant particles.

본 발명의 목적은 기판들을 잠재적인 오염 입자들에 노출시키지 않으면서, 기판들을 액세스하기 위한 시스템들 및 방법들 뿐만 아니라 밀봉된 보관용기들에서 기판들을 수송하기 위한 방법들 및 장치를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide systems and methods for accessing substrates as well as methods and apparatus for transporting the substrates in sealed containers, without exposing the substrates to potential contaminating particles.

몇몇 실시예들에서, 본 발명은 기판 캐리어의 몸체로부터 도어를 해제(release)시키기 위해 기판 캐리어의 도어의 공기주입식 밀봉부를 수축(collapse)시키도록 제 1 진공 소스에 제공되는 도어 오프너(door opener)를 포함하는 기판 캐리어와 함께 사용하기 위한 장치를 제공한다.In some embodiments, the present invention provides a door opener provided to a first vacuum source for collapsing the pneumatic seal of the door of the substrate carrier to release the door from the body of the substrate carrier. It provides an apparatus for use with a substrate carrier comprising a.

본 발명의 다른 실시예들에서, 하나 이상의 기판들을 홀딩하도록 제공되는 기판 캐리어, 및 기판 캐리어 수송 시스템으로부터 기판 캐리어를 수용하기 위한 로드포트(loadport)를 포함하는 기판 캐리어들을 밀봉하기 위한 시스템이 제공된다. 상기 로드포트는 상기 기판 캐리어의 몸체로부터 상기 도어를 해제시키기 위해 기판 캐리어의 도어의 공기주입식 밀봉부를 수축시키기 위해 제 1 진공 소스에 제공되는 도어 오프너를 포함한다.In other embodiments of the present invention, a system for sealing substrate carriers is provided that includes a substrate carrier provided to hold one or more substrates, and a loadport for receiving the substrate carrier from the substrate carrier transport system. . The load port includes a door opener provided to the first vacuum source to retract the pneumatic seal of the door of the substrate carrier to release the door from the body of the substrate carrier.

본 발명의 또 다른 실시예들에서, 로드포트에서 기판 캐리어를 수용하는 단계; 상기 기판 캐리어의 도어에 도어 오프너를 결합시키는 단계; 상기 도어를 홀딩하도록 상기 도어 오프너를 통해 상기 도어에 제 1 진공 압력을 인가하는 단계; 및 공기주입식 밀봉부를 수축시키고 상기 기판 캐리어로부터 상기 기판의 도어를 해제하기 위해 공기주입식 밀봉부에 제 2 진공 압력을 인가하는 단계를 포함하는 방법이 제공된다.In still other embodiments of the invention, there is provided a method, comprising: receiving a substrate carrier at a load port; Coupling a door opener to the door of the substrate carrier; Applying a first vacuum pressure to the door through the door opener to hold the door; And applying a second vacuum pressure to the pneumatic seal to retract the pneumatic seal and release the door of the substrate from the substrate carrier.

본 발명의 다른 특징들 및 실시예들은 이하의 상세한 설명, 첨부된 청구범위 및 도면들로부터 보다 완전히 명백해질 것이다.Other features and embodiments of the present invention will become more fully apparent from the following detailed description, the appended claims and the drawings.

본 발명은 공기주입식 밀봉부를 갖는 기판 캐리어 도어에 관한 것이다. 편의상, 본 발명은 전단 개방 통합 포드(FOUP) 도어와 연계하여 기술된다. 그러나, 본 발명은 반도체 웨이퍼들, 유리 기판들, 폴리머 기판들, 마스크들, 레티클들 등과 같은 기판들을 하우징 및 수송하도록 제공되는 임의의 기판 캐리어와 함께 사용될 수 있다는 것이 이해될 것이다.The present invention relates to a substrate carrier door having a pneumatic seal. For convenience, the present invention is described in conjunction with a shear open integrated pod (FOUP) door. However, it will be appreciated that the present invention may be used with any substrate carrier provided to house and transport substrates such as semiconductor wafers, glass substrates, polymer substrates, masks, reticles, and the like.

도 1은 일반적으로 참조번호 100으로 지정된 본 발명의 장치의 예시적인 실시예의 사시도를 도시한다. 도 1을 참조하면, 장치(100)는 FOUP 도어(200)를 포함한다. 예시적인 실시예에서 FOUP 도어(200)는 임의의 적절한 전단 개방 통합 포드(FOUP)(도 8에 도시된 일 예)와 함께 사용되거나 이와 연계하여 사용될 수 있다. FOUP 도어(200)는 밀봉된 클로저(closure)를 생성하도록 FOUP의 도어 프레임(미도시)에 안착되도록 제공된다. 장치(100)는 또한 FOUP 도어 오프너(도 8) 및/또는 로드포트(도 8)와 함께 사용되거나 이와 연계하여 사용되는 도어 오프너 몸체(300) 를 포함한다.1 shows a perspective view of an exemplary embodiment of a device of the invention, generally designated 100. Referring to FIG. 1, apparatus 100 includes a FOUP door 200. In an exemplary embodiment, the FOUP door 200 may be used in conjunction with or in conjunction with any suitable shear opening integration pod (example shown in FIG. 8). The FOUP door 200 is provided to be seated in a door frame (not shown) of the FOUP to create a sealed closure. The device 100 also includes a door opener body 300 for use with or in conjunction with a FOUP door opener (FIG. 8) and / or a load port (FIG. 8).

도 1을 참조하면, FOUP 도어(200)는 외부 플레이트(210), 및 상기 외부 플레이트(210)에 부착된 내부 구조물(220)을 포함한다. 외부 플레이트(210) 및 내부 구조물(220)은 스크류들, 볼트들 등과 같은 임의의 적절한 방식으로 서로 부착될 수 있거나, 통합적으로 형성 및/또는 단일 구조일 수 있다.Referring to FIG. 1, the FOUP door 200 includes an outer plate 210 and an inner structure 220 attached to the outer plate 210. The outer plate 210 and the inner structure 220 may be attached to each other in any suitable manner, such as screws, bolts, or the like, or may be integrally formed and / or of a single structure.

또한, FOUP 도어(200)는 도시된 바와 같이, 외부 플레이트(210)/내부 구조물(220) 조합물의 둘레 주변에서 이를 따라 연장되는 공기주입식 도어 밀봉부(230)를 포함한다. 예시적인 실시예에서, 공기주입식 도어 밀봉부(230)는 고무(rubber) 또는 유사 물질(예, 탄성, 가요성, 및/또는 순응(conforming) 물질)일 수 있다. FOUP 도어(200)가 FOUP의 도어 프레임에 안착되면, 공기주입식 도어 밀봉부(230)가 팽창되어 도어 프레임에 대해 가압되고 FOUP를 밀폐시키도록 밀봉될 수 있다.In addition, the FOUP door 200 includes a pneumatic door seal 230 that extends around the perimeter of the outer plate 210 / inner structure 220 combination, as shown. In an exemplary embodiment, the pneumatic door seal 230 may be a rubber or similar material (eg, an elastic, flexible, and / or conforming material). When the FOUP door 200 is seated in the door frame of the FOUP, the pneumatic door seal 230 may be expanded to press against the door frame and seal to seal the FOUP.

FOUP 도어(200)는 본 발명에서 기술되는 것처럼 도어 오프너 몸체(300)의 다른 피쳐들(feature) 또는 핀들을 수용할 수 있는 도시된 바와 같은 외부 플레이트(210)의 소켓들(240)을 포함할 수도 있다. 예시적인 실시예에서, 소켓들(240)은 등록(registration) 핀 소켓들 또는 유사한 동적 피쳐들일 수 있다. 소켓들(240)의 임의의 개수는 도어 오프너 몸체(300) 및/또는 FOUP 도어(200)의 설계에 따라 사용될 수 있다. FOUP 도어(200)는 또한 도시된 바와 같이, 외부 플레이트(210)에 위치된 도어 밀봉 진공 이음쇠(fitting)(250)를 포함한다. 다른 이음쇠 위치들이 사용될 수 있다.The FOUP door 200 may include sockets 240 of the outer plate 210 as shown, which may receive other features or pins of the door opener body 300 as described herein. It may be. In an example embodiment, the sockets 240 may be registration pin sockets or similar dynamic features. Any number of sockets 240 may be used depending on the design of the door opener body 300 and / or the FOUP door 200. The FOUP door 200 also includes a door sealing vacuum fitting 250 located on the outer plate 210, as shown. Other fitting locations can be used.

외부 플레이트(210) 및 내부 구조물(220)은 외부 플레이트(210)/내부 구조물 (220) 조합물이 도어 밀봉 진공 이음쇠(250)를 통해 공기주입식 도어 밀봉부(230) 외부로 공기 또는 임의의 다른 가스가 통과할 수 있도록 하고, 도어 밀봉 진공 이음쇠(250)로부터 공기주입식 도어 밀봉부(230)로 공기 또는 임의의 다른 가스가 통과할 수 있도록 제공된다. 이러한 방식으로, 도어 밀봉 진공 이음쇠(250)에 대한 진공의 인가는 도어 밀봉부(230)를 수축 또는 도어 밀봉부(230)로부터 공기를 배출시킬 수 있다. 도어 밀봉 진공 이음쇠(250)로부터 진공의 제거(및/또는 압축된 공기/가스의 인가)는 도어 밀봉부(230)를 팽창시키거나 다시 공기 배출시키기 위해 공기 또는 다른 가스(몇몇 실시예들에서 도어 밀봉 진공 이음쇠(250)에 인가될 수 있음)가 도어 밀봉 진공 이음쇠(250)를 통해 진입하도록 할 수 있다.The outer plate 210 and the inner structure 220 may have the outer plate 210 / inner structure 220 combination through the door seal vacuum fitting 250 and out of the air inlet door seal 230 or any other. It is provided to allow gas to pass through and to allow air or any other gas to pass from the door seal vacuum fitting 250 to the pneumatic door seal 230. In this manner, the application of a vacuum to the door seal vacuum fitting 250 may deflate the door seal 230 or evacuate air from the door seal 230. Removal of the vacuum from the door seal vacuum fitting 250 (and / or application of compressed air / gas) may cause air or other gas (in some embodiments the door) to expand or re-air the door seal 230. (Which may be applied to sealing vacuum fitting 250) may enter through door sealing vacuum fitting 250.

도 1을 다시 참조하면, 도어 오프너 몸체(300)는 외부 벽(310) 및 내부 벽(320)을 포함한다. 내부 벽(320)은 FOUP 도어(200)의 외부 플레이트(210)에 접하도록 제공된다. 도어 오프너 몸체(300)는 또한 도어 오프너 몸체의 외부 벽(310)에 착탈식으로 부착되고 도어 오프너 몸체(300)의 내부 영역을 위한 커버로서 작용하는 밀봉 플레이트(330)를 포함한다. Referring again to FIG. 1, the door opener body 300 includes an outer wall 310 and an inner wall 320. The inner wall 320 is provided to abut the outer plate 210 of the FOUP door 200. The door opener body 300 also includes a sealing plate 330 detachably attached to the outer wall 310 of the door opener body and acting as a cover for the interior area of the door opener body 300.

도어 오프너 몸체(300)는 본 발명에서 보다 상세히 기술되는 것처럼, 도어 오프너 몸체(300)를 통해 FOUP 도어(200)의 진공 유지를 허용하기 위해 진공 소스(미도시)에 연결될 수 있는 도어 유지 포트(340)를 더 포함한다. 도어 오프너 몸체(300)는 또한 FOUP 도어(200)의 도어 밀봉부(230)의 진공 활성화(공기수축)를 위해 진공 소스(미도시)에 연결될 수 있는 도어 밀봉 활성화 포트(350)를 포함한다(이하에서 기술되는 것처럼).The door opener body 300 may be connected to a vacuum source (not shown) to allow vacuum maintenance of the FOUP door 200 through the door opener body 300, as described in more detail herein. 340) further. The door opener body 300 also includes a door seal activation port 350 that can be connected to a vacuum source (not shown) for vacuum activation (air deflation) of the door seal 230 of the FOUP door 200 ( As described below).

예시적인 실시예에서, 본 발명의 장치 및 방법은 2개의 진공 소스들, 임의의 수의 진공 소스들, 또는 본 발명에서 기술되는 진공 소스들의 기능을 제공하도록 적응되는 단일 진공 소스를 사용할 수 있다. 선택적으로 또는 부가적으로, 본 발명은 FOUP 도어(200)의 도어 밀봉부(230)를 팽창시키기 위해 하나 이상의 공기 또는 가스 소스들을 사용할 수 있다.In an exemplary embodiment, the apparatus and method of the present invention may use two vacuum sources, any number of vacuum sources, or a single vacuum source that is adapted to provide the functionality of the vacuum sources described herein. Alternatively or additionally, the present invention may use one or more air or gas sources to inflate the door seal 230 of the FOUP door 200.

도 2는 제거되는 도어 오프너 몸체(300)의 밀봉 플레이트(330)를 갖는 도 1의 장치(100)를 도시한다. 밀봉 플레이트(330)가 제거되면, 도어 오프너 몸체(300)의 내부 영역(360)이 노출된다. 내부 영역(360)내에서, 도어 오프너 몸체(300)는 도어 유지 진공 채널(370)을 포함할 수 있다. 도어 유지 진공 채널(370)은 본 발명에서 보다 상세히 기술되는 것처럼 도어 오프너 몸체(300)에 대항하게 배치되는 FOUP 도어(200)를 홀딩하기 위해, 진공 압력이 각각의 진공 소스로부터 인가될 때 진공을 제공하기 위해 채널(341)을 통해 도어 유지 포트(340)에 접속된다.2 shows the device 100 of FIG. 1 with the sealing plate 330 of the door opener body 300 being removed. When the sealing plate 330 is removed, the interior area 360 of the door opener body 300 is exposed. Within the interior region 360, the door opener body 300 may include a door retention vacuum channel 370. The door retaining vacuum channel 370 applies a vacuum when a vacuum pressure is applied from each vacuum source to hold the FOUP door 200 disposed against the door opener body 300 as described in more detail herein. It is connected to the door retention port 340 through a channel 341 to provide.

내부 영역(360)내에서, 도어 오프너 몸체(300)는 도어 밀봉 활성화 진공 채널(380)을 포함할 수 있다. 도어 밀봉 활성화 진공 채널(380)은 본 발명에서 보다 상세히 기술되는 것처럼 도어 밀봉부(230)를 수축시키도록 각각의 진공 소스로부터 진공이 인가되도록 하기 위해 채널(351)을 통해 도어 밀봉 활성화 포트(350)에 접속된다.Within the interior region 360, the door opener body 300 may include a door seal activation vacuum channel 380. Door seal activation vacuum channel 380 is door seal activation port 350 through channel 351 to allow vacuum to be applied from each vacuum source to deflate door seal 230 as described in more detail herein. ) Is connected.

도 3은 FOUP 도어(200) 및 도어 오프너 몸체(300)의 반대 측면들을 나타내는 반대편 사시도로서 도 1의 장치(100)를 도시한다. 도 3을 참조하면, 도어 오프너 몸체(300)는 예시적인 실시예에서 FOUP 도어(200)의 도어 밀봉 진공 이음쇠(250)로 연장되도록 제공되는 도어 밀봉 진공 이음쇠(355)를 그 내부 벽(320)상에 포함한다. 도어 밀봉 진공 이음쇠(355)는 도어 밀봉 활성화 진공 채널(380)에 접속된다(도 2). 도어 오프너 몸체(300)는 또한 예시적인 실시예에서 FOUP 도어(200)의 소켓들(240)(도 2)와 동적으로 결합되도록 제공되는 다른 등록/동적 피쳐들 또는 핀들(345)을 내부 벽(320)상에 포함할 수 있다. 도어 오프너 몸체(300) 및/또는 FOUP 도어(200)의 설계에 따라 임의의 수 및 실용적인 형상의 핀들(345)이 사용될 수 있다.3 shows the device 100 of FIG. 1 as an opposite perspective view showing opposite sides of the FOUP door 200 and the door opener body 300. Referring to FIG. 3, the door opener body 300 has a door seal vacuum fitting 355 provided therein that extends into the door seal vacuum fitting 250 of the FOUP door 200 in an exemplary embodiment, the inner wall 320 thereof. It includes in a phase. The door seal vacuum fitting 355 is connected to the door seal activating vacuum channel 380 (FIG. 2). The door opener body 300 also includes other registration / dynamic features or pins 345 that are provided to be dynamically coupled with the sockets 240 (FIG. 2) of the FOUP door 200 in an exemplary embodiment with an inner wall ( On 320). Any number and practically shaped pins 345 may be used depending on the design of the door opener body 300 and / or the FOUP door 200.

도 3을 다시 한번 참조하면, 도어 오프너 몸체(300)는 도어 유지 진공 컵들 또는 엘리먼트들(375)을 내부 벽(320)상에 포함할 수도 있다. 도시된 실시예에서, 2개의 도어 유지 진공 컵들(375)은 도어 오프너 몸체(300)에 대항하여 FOUP 도어(200)를 홀딩하기 위해 사용된다. 일반적으로, 임의의 수의 도어 유지 진공 컵들(375)이 사용될 수 있다(예, 1, 2, 3, 4 등).Referring again to FIG. 3, door opener body 300 may include door retaining vacuum cups or elements 375 on inner wall 320. In the embodiment shown, two door retaining vacuum cups 375 are used to hold the FOUP door 200 against the door opener body 300. In general, any number of door retaining vacuum cups 375 may be used (eg, 1, 2, 3, 4, etc.).

도어 유지 진공 컵들(375)은 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 등과 같이, FOUP 도어(200)에 대항하는 밀봉부를 형성할 수 있는 임의의 적절한 물질로 제조될 수 있다. 일 실시예에서, 각각의 도어 유지 진공 컵(375)은 도어 오프너 몸체(300)의 내부 벽(320)에서 채널(미도시)을 기계가공하고 상기 채널내에 O-링(377) 또는 유사한 밀봉 엘리먼트를 배치시킴으로써 형성될 수 있다. 도어 유지 진공 컵들(375)은 도어 유지 진공 채널(370)(도 2)과 접속되고, 도어 유지 포트(340)(도 2) 및 도어 유지 진공 채널(370)(도 2)을 통해 각각의 진공 소스로부터 진공이 도 어 유지 진공 컵들(375)에 인가되고 제공될 때, 도어 오프너 몸체(300)에 대항하게 FOUP 도어(200)를 홀딩할 수 있다.The door retaining vacuum cups 375 can be made of any suitable material that can form a seal against the FOUP door 200, such as polytetrafluoroethylene (PTFE) or the like. In one embodiment, each door retaining vacuum cup 375 machined a channel (not shown) in the inner wall 320 of the door opener body 300 and an O-ring 377 or similar sealing element within the channel. It can be formed by placing. The door retaining vacuum cups 375 are connected with the door retaining vacuum channel 370 (FIG. 2), and are respectively vacuumed through the door retaining port 340 (FIG. 2) and the door retaining vacuum channel 370 (FIG. 2). When a vacuum from the source is applied and provided to the door retaining vacuum cups 375, the FOUP door 200 can be held against the door opener body 300.

도 4는 도 3의 라인 4-4를 따라 절개한 도 3의 장치(100)의 컴포넌트들의 측면도를 도시한다. 도 4에서, FOUP 도어(200) 및 도어 오프너 몸체(300)는 서로로부터 이격되게 도시된다. 도 4는 FOUP 도어(200)의 외부 플레이트(210), 내부 구조물(220) 및 공기주입식 밀봉부(230)를 도시한다. 도 4는 또한 도어 오프너 몸체(300)의 외부 벽(310), 내부 벽(320), 핀들(345) 및 도어 유지 진공 컵들(375)을 도시한다. 4 shows a side view of the components of the apparatus 100 of FIG. 3, taken along line 4-4 of FIG. 3. In FIG. 4, the FOUP door 200 and the door opener body 300 are shown spaced apart from each other. 4 shows the outer plate 210, the inner structure 220 and the pneumatic seal 230 of the FOUP door 200. 4 also shows an outer wall 310, an inner wall 320, pins 345 and door retaining vacuum cups 375 of the door opener body 300.

도 5는 FOUP 도어(200)에 부착 및/또는 결합되는 도어 오프너 몸체(300)를 나타내는 도 4의 장치(100)의 측면도를 도시한다. 즉, 도어 오프너 몸체(300)의 내부 벽(320)은 FOUP 도어(200)의 외부 플레이트(210)에 접촉되고, 도어 오프너 몸체(300)의 핀들(345)(도 3)은 외부 플레이트(210)의 소켓들(240)(도 2)에 결합된다. 도시된 구성에서, 도어 유지 포트(340)(도 2)를 통하여 도어 유지 진공 채널(370)(도 2)을 통해 진공 압력이 도어 유지 진공 컵들(375)에 인가되면, FOUP 도어(200)는 도어 오프너 몸체(300)에 대항하게 유지될 수 있다.5 shows a side view of the device 100 of FIG. 4 showing the door opener body 300 attached and / or coupled to the FOUP door 200. That is, the inner wall 320 of the door opener body 300 is in contact with the outer plate 210 of the FOUP door 200, and the pins 345 (FIG. 3) of the door opener body 300 are the outer plate 210. ) Sockets 240 (FIG. 2). In the configuration shown, when a vacuum pressure is applied to the door holding vacuum cups 375 through the door holding vacuum channel 370 (FIG. 2) through the door holding port 340 (FIG. 2), the FOUP door 200 is closed. It may be held against the door opener body 300.

도 6은 도 3의 라인 6-6을 따라 절개한 도 3의 장치(100)의 컴포넌트들의 측단면도를 도시한다. 도 6에서, FOUP 도어(200) 및 도어 오프너 몸체(300)는 서로로부터 이격되게 도시된다.FIG. 6 shows a cross-sectional side view of the components of the apparatus 100 of FIG. 3 taken along line 6-6 of FIG. 3. In FIG. 6, the FOUP door 200 and the door opener body 300 are shown spaced apart from each other.

도 6은 도어 오프너 몸체(300), 외부 벽(310), 내부 벽(320), 밀봉 플레이트(330), 도어 유지 진공 채널(370), 도어 밀봉 활성화 진공 채널(380), 연결 채널 (351), 도어 밀봉 진공 이음쇠(355), 핀(345), 및 도어 유지 진공 컵(375)을 도시한다. 도 6은 또한 FOUP 도어(200), 외부 플레이트(210), 내부 구조물(220), 공기주입식 밀봉부(230) 및 도어 밀봉 진공 이음쇠(250)를 도시한다. 도어 밀봉 진공 이음쇠(250)는 도어 밀봉 진공 이음쇠(250)와 도어 밀본 진공 이음쇠(355) 사이에 밀봉부를 형성하기 위한 밀봉 엘리먼트(610)(예, O-링)를 포함할 수 있다(도 7에 도시된 바와 같이).6 shows door opener body 300, outer wall 310, inner wall 320, sealing plate 330, door retaining vacuum channel 370, door sealing activation vacuum channel 380, connecting channel 351. , Door seal vacuum fitting 355, pin 345, and door retaining vacuum cup 375. 6 also shows FOUP door 200, outer plate 210, inner structure 220, pneumatic seal 230 and door sealing vacuum fitting 250. The door seal vacuum fitting 250 may include a sealing element 610 (eg, an O-ring) to form a seal between the door seal vacuum fitting 250 and the door millbone vacuum fitting 355 (FIG. 7). As shown in).

도 7을 참조하면, 도 6의 장치(100)의 측단면도가 도시되며, FOUP 도어(200)에 부착되거나 결합되는 도어 오프너 몸체(300)를 도시한다. 즉, 도어 오프너 몸체(300)의 내부 벽(320)은 FOUP 도어(200)의 외부 플레이트(210)와 접촉되고, 도어 오프너 몸체(300)의 핀들(345)(도 3)은 외부 플레이트(210)의 소켓들(240)(도 2)에 결합된다. 도시된 구성에서, 도어 유지 포트(340)(도 2)를 통하여 도어 유지 진공 채널(370)(도 2)을 통해 도어 유지 진공 컵들(375)에 진공 압력이 인가되면, FOUP 도어(200)는 도어 오프너 몸체(300)에 대항하게 유지될 수 있다.Referring to FIG. 7, a cross-sectional side view of the apparatus 100 of FIG. 6 is shown, showing a door opener body 300 attached or coupled to the FOUP door 200. That is, the inner wall 320 of the door opener body 300 is in contact with the outer plate 210 of the FOUP door 200, and the pins 345 (FIG. 3) of the door opener body 300 are the outer plate 210. ) Sockets 240 (FIG. 2). In the configuration shown, when a vacuum pressure is applied to the door holding vacuum cups 375 through the door holding vacuum channel 370 (FIG. 2) through the door holding port 340 (FIG. 2), the FOUP door 200 It may be held against the door opener body 300.

도 8은 도 1-도 7의 진보적인 FOUP 도어(200) 및 도어 오프너 몸체(300)를 사용하는 시스템(800)을 도시한다. 도 8을 참조하면, 시스템(800)은 이에 결합된 FOUP 도어(200)를 갖는 기판 캐리어(810)(예, FOUP)를 포함한다. 즉, 도어(200)는 기판 캐리어(810)의 개구(815)내에 위치되고, 공기주입식 밀봉부(230)(도 8에 미도시)는 그 내부에 도어(200)를 홀딩하도록 팽창된다.8 shows a system 800 using the advanced FOUP door 200 and door opener body 300 of FIGS. 1-7. Referring to FIG. 8, system 800 includes a substrate carrier 810 (eg, FOUP) having a FOUP door 200 coupled thereto. That is, the door 200 is located in the opening 815 of the substrate carrier 810 and the pneumatic seal 230 (not shown in FIG. 8) is expanded to hold the door 200 therein.

또한, 시스템(800)은 이에 결합된 도어 오프너(825)를 갖는 로드포트(820)를 포함한다. 도어 오프너(825)는 도어 오프너 몸체(300)(도 8에 미도시)를 포함한 다. 제 1 진공 소스(830)는 도어 오프너 몸체(300)의 도어 유지 진공 컵들(375)에 제 1 진공을 인가하기 위해 제 1 진공 라인(832)을 통해 도어 오프너 몸체(300)에 결합될 수 있다. 마찬가지로, 제 2 진공 소스(835)는 도어(200)의 도어 밀봉부(230)에 제 2 진공을 인가하기 위해 제 2 진공 라인(834)을 통해 도어 오프너 몸체(300)에 결합될 수 있다. 제 1 및 제 2 진공 소스(830, 835)는 단일 진공 소스 또는 다수의 진공 소스들(예, 하나 이상의 진공 펌프들)로부터 제공될 수 있다.The system 800 also includes a load port 820 having a door opener 825 coupled thereto. The door opener 825 includes a door opener body 300 (not shown in FIG. 8). The first vacuum source 830 may be coupled to the door opener body 300 through the first vacuum line 832 to apply a first vacuum to the door retaining vacuum cups 375 of the door opener body 300. . Similarly, the second vacuum source 835 may be coupled to the door opener body 300 through the second vacuum line 834 to apply a second vacuum to the door seal 230 of the door 200. The first and second vacuum sources 830, 835 may be provided from a single vacuum source or multiple vacuum sources (eg, one or more vacuum pumps).

시스템(800)은 시스템(800)을 제어하도록 제공되는 제어기(840)를 포함할 수도 있다. 제어기(840)는 단일 케이블을 통해 로드포트(820)에 접속될 수 있고 로봇 및 도어 오프너(825)의 동작을 유도할 수 있다. 제어기(840)는 또한 진공 소스들(830, 835)에 직접 결합될 수 있고, 예를 들어 도 9에 대해 이하에서 기술되는 것처럼, 본 발명의 방법들을 실행하기 위해 진공 소스들(830, 835)을 직접 제어하도록 추가로 적용될 수 있다.System 800 may include a controller 840 provided to control system 800. The controller 840 may be connected to the load port 820 through a single cable and direct the operation of the robot and the door opener 825. The controller 840 may also be directly coupled to the vacuum sources 830, 835 and the vacuum sources 830, 835 for performing the methods of the present invention, for example as described below with respect to FIG. 9. It can be further applied to control directly.

도 9를 참조하면, 본 발명의 예시적인 방법(900)이 도 8에 도시된 시스템에 대해 기술된다. 단계(902)에서, 개방 동작이 FOUP 도어(200)에서 수행될 때, FOUP(810)는 로봇(미도시)에 의해 로드포트(820)에서 위치될 수 있다. 단계(904)에서, FOUP는 그 다음 로드포트(820)의 도어 오프너(825)를 향해 이동되어 FOUP 도어(200)가 도어 오프너 몸체(300)에 접촉될 수 있다(예를 들어, 도 5 및 도 7에 도시된 것처럼).With reference to FIG. 9, an exemplary method 900 of the present invention is described with respect to the system shown in FIG. 8. At step 902, when an opening operation is performed at the FOUP door 200, the FOUP 810 may be located at the load port 820 by a robot (not shown). In step 904, the FOUP may then be moved towards the door opener 825 of the load port 820 such that the FOUP door 200 may contact the door opener body 300 (eg, FIGS. 5 and 5). As shown in FIG. 7).

FOUP 도어(200)가 도어 오프너 몸체(300)에 접촉 및/또는 대항하게 이동되면, 도어 오프넌 몸체(300)의 핀들(345)은 FOUP 도어(200)의 외부 플레이트(210)에 서 소켓들(240)에 맞물리고 및/또는 결합된다(도 4-도 5 참조). FOUP 도어(200)는 외부 플레이트(210)가 도어 유지 진공 컵들(375)(도 5)과 접촉되게 이동될 때까지 도어 오프너 몸체(300)를 향해 계속 이동되고, 도어 밀봉 진공 이음쇠(355)는 또한 도어 밀봉 진공 이음쇠(250)로 이동된다(도 6-7).When the FOUP door 200 is moved in contact with and / or against the door opener body 300, the pins 345 of the door opener body 300 are connected to the sockets on the outer plate 210 of the FOUP door 200. Meshes with and / or engages 240 (see FIGS. 4--5). The FOUP door 200 continues to move toward the door opener body 300 until the outer plate 210 is moved in contact with the door holding vacuum cups 375 (FIG. 5), and the door sealing vacuum fitting 355 is moved. It is also moved to the door seal vacuum fitting 250 (FIGS. 6-7).

단계(906)에서, 도어 유지 진공 채널(370)을 통해 제 1 진공 소스(830)로부터 도어 유지 포트(340) 및 도어 유지 진공 컵들(375)로 제 1 진공이 인가될 수 있다. 제 1 진공의 인가시, FOUP 도어(200)의 외부 플레이트(210)는 도어 오프너 몸체(300)에 대항하여 긴밀히 당겨진다.In step 906, a first vacuum may be applied from the first vacuum source 830 to the door retention port 340 and the door retention vacuum cups 375 via the door retention vacuum channel 370. Upon application of the first vacuum, the outer plate 210 of the FOUP door 200 is closely pulled against the door opener body 300.

그 다음, FOUP 도어(200)가 도어 오프너 몸체(300)에 대항하게 유지되는 것을 보장하기 위해 상기 제 1 진공이 검사될 수 있다. 이러한 방식으로, 도어 오프너 몸체(300)가 FOUP 도어(200)에 자체적으로 부착되거나 FOUP 도어(200)를 붙잡은 다음 순차적인 도어 개방 및/또는 폐쇄 동작(이하에서 기술됨) 동안 FOUP 도어(200)를 홀딩 및/또는 고정하거나 FOUP 도어(200)를 조정할 수 있도록 제 1 진공이 사용될 수 있다.The first vacuum can then be checked to ensure that the FOUP door 200 is held against the door opener body 300. In this way, the door opener body 300 attaches itself to the FOUP door 200 or catches the FOUP door 200 and then the FOUP door 200 during sequential door opening and / or closing operations (described below). The first vacuum can be used to hold and / or lock the door or adjust the FOUP door 200.

FOUP 도어(200)가 도어 오프너 몸체(300)에 부착 및 유지되면, 단계(908)에서, 제 2 진공 소스(835)로부터 도어 밀봉 활성화 포트(350) 및 도어 밀봉 진공 이음쇠(355)로 도어 밀봉 활성화 진공 채널(380)을 통해 제 2 진공이 인가된다. 제 2 진공은 도어 밀봉 진공 이음쇠(250)를 통해 도어 밀봉부(230)에 인가된다. 도어 밀봉 진공 이음쇠(250)로의 제 2 진공의 인가는 도어 밀봉부(230)가 공기배출 및/또는 수축되도록 한다. 그 다음, 단계(910)에서, FOUP 도어(200)는 FOUP(810)의 개구(815)로부터 제거되어, FOUP(810)를 개방시킬 수 있다. 개방되면, 단계(912 및 914)에서, FOUP(810)로부터 기판들이 부가 및/또는 제거될 수 있다.Once the FOUP door 200 is attached and held to the door opener body 300, in step 908, door sealing from the second vacuum source 835 to the door sealing activation port 350 and the door sealing vacuum fitting 355. A second vacuum is applied through the activation vacuum channel 380. The second vacuum is applied to the door seal 230 through the door seal vacuum fitting 250. Application of the second vacuum to the door seal vacuum fitting 250 causes the door seal 230 to vent and / or deflate. Then, at step 910, the FOUP door 200 may be removed from the opening 815 of the FOUP 810 to open the FOUP 810. Once open, in steps 912 and 914, substrates may be added and / or removed from the FOUP 810.

FOUP 도어(200)를 폐쇄시키기 위해, 상기 프로세스가 역으로 수행될 수 있다. 예를 들어, 예시적인 실시예에서, FOUP 도어(200)는 단계(916)에서 FOUP(810)의 전단 개구(815)를 폐쇄시키기 위해 폐쇄된 위치로 이동될 수 있다. 단계(918)에서, 제 2 진공 소스(835)는 도어 밀봉부(230)가 재-팽창 또는 확장되도록 하기 위해 연결해제됨으로써 FOUP 도어(200)가 폐쇄되게 밀봉시킬 수 있다. 원한다면, 도어 밀봉부(230)를 팽창시키기 위해 공기, 질소 또는 다른 가스의 소스(별도로 도시되지 않음)가 사용될 수 있다. 그 다음, 단계(920)에서, 제 1 진공 소스(830)는 FOUP 도어(200)의 외부 플레이트(210)로부터 도어 유지 진공 컵들(375)을 해제하기 위해 연결해제될 수 있다. 그 다음, FOUP(810)는 단계(922)에서 도어 오프너 몸체(300) 및 도어 오프너(825)로부터 떨어지게 이동 또는 수송될 수 있다.In order to close the FOUP door 200, the process can be performed in reverse. For example, in an exemplary embodiment, the FOUP door 200 may be moved to a closed position to close the front opening 815 of the FOUP 810 at step 916. In step 918, the second vacuum source 835 may be disconnected to allow the door seal 230 to re-expand or expand to seal the FOUP door 200 closed. If desired, a source of air, nitrogen or other gas (not shown separately) may be used to inflate door seal 230. Next, at step 920, the first vacuum source 830 may be disconnected to release the door holding vacuum cups 375 from the outer plate 210 of the FOUP door 200. FOUP 810 may then be moved or transported away from door opener body 300 and door opener 825 in step 922.

상술한 예시적인 실시예에서, 장치(100)는 2개의 진공 소스들을 사용하는 것으로서 기술된다. 제 1 진공 소스(830)는 도어 오프너 몸체(300)가 FOUP 도어(200)에 자체적으로 부착되거나 FOUP 도어(200)를 붙잡도록 작용할 수 있다. 제 2 진공 소스(835)는 FOUP 도어(200)의 제어가 제 1 진공 소스(835)에 의해 형성된 이후 FOUP 도어(200)의 개방을 허용하도록 하기 위해 도어 밀봉부(230)가 공기배출 또는 수축하도록 할 수 있다. 다른 예시적인 실시예에서, 임의의 수의 진공 소스들이 사용될 수 있다. 또 다른 예시적인 실시예에서, 상기 두 동작들을 수행하도록 적응되는 단일 진공 소스가 사용될 수 있다.In the exemplary embodiment described above, the apparatus 100 is described as using two vacuum sources. The first vacuum source 830 may act to allow the door opener body 300 to attach itself to the FOUP door 200 or to hold the FOUP door 200. The second vacuum source 835 allows the door seal 230 to vent or deflate to allow opening of the FOUP door 200 after control of the FOUP door 200 is formed by the first vacuum source 835. You can do that. In other exemplary embodiments, any number of vacuum sources may be used. In yet another exemplary embodiment, a single vacuum source may be used that is adapted to perform the two operations.

본 발명은 다양한 예시적인 실시예들에서 기술 및 도시되었지만, 상기 상세한 설명들은 본 발명의 예시일 뿐이며 이를 제한하는 것으로 해석되어서는 안된다. 이러한 관점에서, 본 발명은 이하의 청구범위에 의해서만 제한되는 본 발명의 범주에서 임의의 모든 변형들, 변화들 및/또는 대안적 실시예들을 포함한다.While the present invention has been described and illustrated in various exemplary embodiments, the foregoing descriptions are merely illustrative of the invention and should not be construed as limiting it. In this regard, the present invention includes any and all modifications, changes and / or alternative embodiments in the scope of the present invention which are limited only by the following claims.

본 발명에 의하면, 기판들을 잠재적인 오염 입자들에 노출시키지 않으면서, 기판들을 액세스하기 위한 시스템들 및 방법들 뿐만 아니라 밀봉된 보관용기들에서 기판들을 수송하기 위한 방법들 및 장치를 제공할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to provide systems and methods for accessing substrates as well as methods and apparatus for transporting the substrates in sealed storage containers without exposing the substrates to potential contaminant particles. It works.

Claims (24)

기판 캐리어와 함께 사용하기 위한 장치로서,An apparatus for use with a substrate carrier, 상기 기판 캐리어의 몸체로부터 도어를 해제하기 위해 기판 캐리어의 도어의 공기주입식 밀봉부(inflatable seal)를 수축시키도록 제 1 진공 소스를 사용하게 적응(adapted)되는 도어 오프너(opener)A door opener adapted to use a first vacuum source to deflate an inflatable seal of the door of the substrate carrier to release the door from the body of the substrate carrier 를 포함하는 기판 캐리어용 장치.Apparatus for a substrate carrier comprising a. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 도어 오프너는 상기 도어 오프너에 대항하게 상기 기판 캐리어의 도어를 유지시키기 위해 제 2 진공 소스를 사용하도록 추가로 적응되는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어용 장치.And the door opener is further adapted to use a second vacuum source to hold the door of the substrate carrier against the door opener. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 도어 오프너는 상기 제 1 진공 소스로부터 상기 기판 캐리어의 도어의 공기주입식 밀봉부로 진공 압력을 인가하도록 적응되는 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어용 장치.And the door opener includes a port adapted to apply a vacuum pressure from the first vacuum source to the pneumatic seal of the door of the substrate carrier. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 도어 오프너는 상기 제 2 진공 소스로부터 상기 기판 캐리어의 도어로 진공 압력을 인가하도록 적응되는 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어용 장치.And the door opener includes a port adapted to apply a vacuum pressure from the second vacuum source to the door of the substrate carrier. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제 1 진공 소스 및 상기 제 2 진공 소스는 단일 진공 소스로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어용 장치.And the first vacuum source and the second vacuum source are formed from a single vacuum source. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 도어 오프너는 상기 기판 캐리어의 도어상의 해당 등록 피쳐(registration feature)와 결합되도록 적응되는 등록 피쳐를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어용 장치.And the door opener further comprises a registration feature adapted to engage a corresponding registration feature on the door of the substrate carrier. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 도어 오프너는 상기 제 1 진공 소스로부터 상기 기판 캐리어의 도어의 공기주입식 밀봉부로 진공 압력을 유도하도록 적응되는 하나 이상의 채널들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어용 장치.And the door opener further comprises one or more channels adapted to induce a vacuum pressure from the first vacuum source to the pneumatic seal of the door of the substrate carrier. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 도어 오프너는 상기 제 2 진공 소스로부터 상기 기판 캐리어의 도어로 진공 압력을 유도하도록 적응되는 하나 이상의 채널들을 더 포함하는 것을 특징으 로 하는 기판 캐리어용 장치.The door opener further comprising one or more channels adapted to induce a vacuum pressure from the second vacuum source to the door of the substrate carrier. 기판 캐리어들을 밀봉하기 위한 시스템으로서,A system for sealing substrate carriers, the system comprising: 하나 이상의 기판들을 홀딩하도록 적응되는 기판 캐리어; 및A substrate carrier adapted to hold one or more substrates; And 기판 캐리어 수송 시스템으로부터 기판 캐리어를 수용하기 위한 로드포트(loadport) - 상기 로드포트는 상기 기판 캐리어의 몸체로부터 도어를 해제하기 위해 기판 캐리어의 도어의 공기주입식 밀봉부를 수축시키도록 제 1 진공 소스를 사용하게 적응되는 도어 오프너를 포함함 -Loadport for receiving a substrate carrier from a substrate carrier transport system, wherein the loadport uses a first vacuum source to deflate the pneumatic seal of the door of the substrate carrier to release the door from the body of the substrate carrier With door opener adapted to 를 포함하는 기판 캐리어 밀봉 시스템.Substrate carrier sealing system comprising a. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 도어 오프너는 상기 도어 오프너에 대항하게 상기 기판 캐리어의 도어를 유지시키기 위해 제 2 진공 소스를 사용하도록 추가로 적응되는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 밀봉 시스템.And the door opener is further adapted to use a second vacuum source to hold the door of the substrate carrier against the door opener. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 도어 오프너는 상기 제 1 진공 소스로부터 상기 기판 캐리어의 도어의 공기주입식 밀봉부로 진공 압력을 인가하도록 적응되는 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 밀봉 시스템.And the door opener includes a port adapted to apply a vacuum pressure from the first vacuum source to the pneumatic seal of the door of the substrate carrier. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 도어 오프너는 상기 제 2 진공 소스로부터 상기 기판 캐리어의 도어로 진공 압력을 인가하도록 적응되는 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 밀봉 시스템.And the door opener includes a port adapted to apply a vacuum pressure from the second vacuum source to the door of the substrate carrier. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 제 1 진공 소스 및 상기 제 2 진공 소스는 단일 진공 소스로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 밀봉 시스템.And the first vacuum source and the second vacuum source are formed from a single vacuum source. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 도어 오프너는 상기 기판 캐리어의 도어상의 해당 등록 피쳐와 결합되도록 적응되는 등록 피쳐를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 밀봉 시스템.And the door opener further comprises a registration feature adapted to engage a corresponding registration feature on the door of the substrate carrier. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 도어 오프너는 상기 제 1 진공 소스로부터 상기 기판 캐리어의 도어의 공기주입식 밀봉부로 진공 압력을 유도하도록 적응되는 하나 이상의 채널들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 밀봉 시스템.And the door opener further comprises one or more channels adapted to induce a vacuum pressure from the first vacuum source to the pneumatic seal of the door of the substrate carrier. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 도어 오프너는 상기 제 2 진공 소스로부터 상기 기판 캐리어의 도어로 진공 압력을 유도하도록 적응되는 하나 이상의 채널들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 밀봉 시스템.And the door opener further comprises one or more channels adapted to induce vacuum pressure from the second vacuum source to the door of the substrate carrier. 로드포트에서 기판 캐리어를 수용하는 단계;Receiving the substrate carrier at the load port; 상기 로드포트의 도어 오프너를 상기 기판 캐리어의 도어에 결합시키는 단계;Coupling a door opener of the load port to a door of the substrate carrier; 상기 도어를 홀딩하기 위해 상기 도어 오프너를 통해 제 1 진공 압력을 상기 도어에 인가하는 단계; 및Applying a first vacuum pressure to the door through the door opener to hold the door; And 상기 도어의 공기주입식 밀봉부에 제 2 진공 압력을 인가하여 상기 공기주입식 밀봉부를 수축시키고 상기 기판 캐리어로부터 상기 기판 캐리어의 도어를 해제시키는 단계Applying a second vacuum pressure to the pneumatic seal of the door to shrink the pneumatic seal and release the door of the substrate carrier from the substrate carrier 를 포함하는 방법.How to include. 제 17 항에 있어서,The method of claim 17, 상기 기판 캐리어로부터 상기 도어를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.Removing the door from the substrate carrier. 제 17 항에 있어서,The method of claim 17, 상기 기판 캐리어로부터 기판을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.Removing the substrate from the substrate carrier. 제 17 항에 있어서,The method of claim 17, 상기 기판 캐리어에 기판을 삽입하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.Inserting a substrate into the substrate carrier. 제 18 항에 있어서,The method of claim 18, 상기 기판 캐리어의 도어 프레임에 도어를 삽입하는 단계를 더 포함하고, 상기 공기주입식 밀봉부는 여전히 상기 제 2 진공 압력하에서 수축되는 것을 특징으로 하는 방법.Inserting a door into the door frame of the substrate carrier, wherein the pneumatic seal is still retracted under the second vacuum pressure. 제 21 항에 있어서,The method of claim 21, 상기 공기주입식 밀봉부가 상기 기판 캐리어의 도어 프레임의 도어를 팽창 및 밀봉시키도록 하기 위해 상기 공기주입식 밀봉부로부터 상기 제 2 진공 압력을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.And removing the second vacuum pressure from the inflation seal to cause the inflation seal to expand and seal the door of the door frame of the substrate carrier. 제 22 항에 있어서,The method of claim 22, 상기 도어로부터 상기 제 1 진공 압력을 제거하여 상기 도어 오프너로부터 상기 도어를 해제시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.Removing the first vacuum pressure from the door to release the door from the door opener. 제 23 항에 있어서,The method of claim 23, 상기 기판 캐리어의 도어로부터 상기 도어 오프너를 결합해제시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.Disengaging the door opener from the door of the substrate carrier.
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