KR20070049769A - 액정표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정표시장치의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 의하면 기판에 배향막이 형성된 후에 스페이서를 형성한다. 배향막은 롤러를 이용한 프리팅 방법으로 형성되며, 이 경우 스페이서와 같이 돌출된 부분이 없으므로 기판 전체에 걸쳐 균일한 배향막이 형성될 수 있다. 또한 배향막 불량시의 재작업을 몇 번 진행하더라도, 배향막 제거시 사용되는 약액 등으로 인하여 스페이서가 손상받지 않게 된다. 한편, 위와 같은 방법에 따라 제조되는 본 발명의 액정표시장치는 배향막상에 스페이서가 형성되는 특징이 있다.

액정, 배향막, 러빙, 스페이서

Description

액정표시장치 및 그 제조방법{Liquid Crystal Display Device and Method of Fabricating the Same}

도 1은 종래 기술에 따라 배향막을 형성하는 공정을 도시한 단면도,

도 2는 배향막의 재작업시 스페이서의 높이 변화를 나타낸 그래프,

도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 설명하는 단면도들,

도 4a는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 평면도이고, 도 4b는 도 4a의 A-A' 라인을 따라 취해진 단면도이다.

♧도면의 주요부분에 대한 부호의 설명♧

10,100,200 -- 기판 20,120,220 -- 배향막

30,300 -- 스페이서 210 -- 차광막 패턴

400 -- 액정 T -- 박막트랜지스터

GL -- 게이트 라인 DL -- 데이터 라인

본 발명은 평판표시장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액정을 사용하는 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.

최근 노트북 컴퓨터나 핸드폰과 같은 휴대용 전자 제품의 수요가 증가함에 따라서 두께가 두껍지 않고 가벼운 평판표시장치(FPD; Flat Panel Display)에 대한 요구가 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치에는, 액정표시장치(LCD)나 플라즈마 디스플레이(PDP) 또는 유기전계발광 디스플레이(OELD) 등이 있다. 상기 평판표시장치 중 특히 액정표시장치는, 동일한 화면 크기를 갖는 다른 표시장치에 비하여 무게가 가볍고 부피가 작으며 작은 전력으로 동작하여 최근 널리 보급되고 있다.

일반적으로 액정표시장치는 두 개의 기판과 그 사이에 액정이 배열된 액정층을 포함한다. 액정표시장치의 동작시, 상기 두 개의 기판에는 각각 상이한 전압이 인가되며 상기 전압차에 따른 전기장이 액정에 작용한다. 액정은 유전율 이방성을 가지며, 그 결과 상기 전기장의 작용으로 액정의 배열이 변경된다. 액정은 또한 굴절율 이방성을 가지며 그 배열 방향에 따라 빛에 대한 투과도가 달라진다. 따라서 영상 정보에 대응되는 투과도를 갖도록 액정이 배열되도록 하면, 원하는 영상이 외부에 표시될 수 있다.

상기 기판에는 스페이서와 배향막이 형성된다. 상기 스페이서는 두 개의 기판 중 어느 하나에 형성되며, 두 개의 기판 사이 간격인 셀 갭이 일정하게 유지되도록 작용한다. 상기 배향막은 액정에 작용하여 액정을 규칙적으로 배열하는 역할을 수행한다. 그런데 종래 기술에 따르면, 상기 스페이서 및 배향막과 관련하여 다음과 같은 문제점이 있다.

도 1은 종래 기술에 따라 배향막을 형성하는 공정을 도시한 단면도이다.

도 1을 참조하면, 기판(1)에는 일정한 높이를 갖는 복수의 스페이서(3)가 형성되며, 스페이서(3)가 형성된 상태에서 배향막(2)이 형성된다. 배향막(2)은 주로 프린팅법을 이용하여 형성되며, 이는 롤러(4)가 기판(1)에서 회전하면 롤러(4) 표면의 배향막을 구성하는 물질이 기판(1)의 표면으로 전사되는 방식으로 구성된다. 이러한 방식하에서는 롤러(4)와 기판(1)간의 접촉이 원활하게 이루어지는지 여부에 따라 배향막(2)의 특성이 결정된다. 그런데 스페이서(3)가 형성된 영역에서는 스페이서(3)가 일정 높이로 돌출되기 때문에, 롤러(4)와 기판(1)이 접촉되지 않는 부분이 발생된다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 스페이서(3)와 인접하는 기판(1)의 영역(점선 표시)으로 배향막(2)이 형성되지 않을 수 있으며, 그 결과 해당 영역에서는 다른 영역과 상이하게 액정이 배열될 수 있다. 따라서 화면에 균일한 영상이 표시될 수 없으며, 스페이서(3) 주위에는 빛샘 등이 발생되어 화질이 저하되는 문제점이 있다.

스페이서(3) 및 배향막(2)과 관련된 또 다른 문제점은 배향막(2)의 형성 과정 중에 스페이서(3)가 손상받을 수 있다는 점이다. 배향막(2)은 한 번의 공정으로 형성될 수 있지만, 다양한 공정 변수로 인하여 기판(1)의 소정 영역에 배향막(2)이 형성되지 않을 수도 있다. 만약 배향막(2)의 불량 정도가 심각한 경우에는, 기존의 배향막(2)을 제거하고 재작업이 수행된다. 상기 배향막(2) 제거는 약액을 이용하여 진행되는데, 상기 약액에 의해 스페이서(3)가 손상받을 수 있는 문제가 있다.

도 2는 배향막의 재작업시 스페이서의 높이 변화를 나타낸 그래프이다. 도 2에서 S1 내지 S6은 다양한 스페이서의 샘플을 나타내며, 가로축은 배향막의 재작업 진행 상황을 나타내고, 세로축은 재작업에 따른 스페이서의 높이 변화를 나타낸다. 스페이서가 형성된 초기 상태를 기준으로 배향막에 대한 1회 처리가 진행되면 스페이서의 높이가 다소 증가된다. 여기서 1회 처리는 배향막 제거를 위해 배향막이 약액으로 처리된 상태를 의미하며, 이 때 스페이서 또한 약액에 의해 높이가 증가된다. 그러나 베이킹(baking)이 진행되면, 약액이 증발되며 스페이서의 일부분이 약액과 반응하여 그 높이가 감소된다. 도 2에 도시된 바와 같이, 샘플에 따라 차이나지만 모든 샘플이 베이킹 단계 후에는 초기 상태 보다 높이가 낮아지며, 배향막에 대한 2차 재작업이 진행된 경우에는 더욱 높이가 낮아진다.

앞서 살핀 바와 같이, 스페이서는 셀 갭을 일정하게 유지하는 역할을 하는데, 스페이서의 높이가 달라지면 셀 갭이 유지될 수 없어 대비비/시야각/휘도 균일성 등 액정표시장치의 전반적인 동작 특성에 악영향을 미친다.

본 발명은 상기한 사정을 감안한 것으로, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 스페이서 및 배향막의 형성 방법을 개선하여 동작 특성이 향상된 액정표시장치 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은 액정표시장치의 제조방법을 제공한다. 상기한 제조방법에 의하면, 기판에 배향막이 형성된 후에 스페이서를 형성한다. 이 경우, 롤러를 이용하여 기판에 배향막을 프린팅함에 있어 스페이서와 같이 돌출된 부분이 없으므로 기판 전체에 걸쳐 배향막이 형성될 수 있다. 또한 배 향막 불량시의 재작업을 몇 번 진행하더라도, 스페이서는 배향막에 대한 재작업이 종료된 시점에 형성되므로 배향막에 제거시 사용되는 약액 등으로 인하여 스페이서가 손상받지 않게 된다.

상기 기판은 액정표시장치에 구비되는 두 개의 기판에 모두 해당될 수 있으며, 일 기판에서는 상기 배향막 형성 전에 기판에 차광막 패턴을 형성하며, 다른 기판에서는 상기 배향막 형성전에 서로 교차하면서 화소를 한정하는 게이트 라인과 데이터 라인을 형성하게 된다.

본 발명의 액정표시장치는 상기한 제조방법에 따라 제조될 수 있다. 본 발명의 액정표시장치는 공정 순서 변경에 따라 배향막상에 스페이서가 형성되는 구조를 갖는다. 구체적으로는, 상부기판과 하부기판 및 그 사이에 배열되는 액정, 상기 상부기판과 하부기판에 각각 형성되는 배향막, 그리고 상기 상부기판과 하부기판 중 어느 하나의 배향막에 상호 분리되게 형성되는 복수의 스페이서를 포함한다.

이하 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 살펴보기로 한다. 다만 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다양한 형태로 응용되어 변형될 수도 있다. 오히려 아래의 실시예들은 본 발명에 의해 개시된 기술 사상을 보다 명확히 하고 나아가 본 발명이 속하는 분야에서 평균적인 지식을 가진 당업자에게 본 발명의 기술 사상이 충분히 전달될 수 있도록 제공되는 것이다. 따라서 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되는 것으로 해석되어서는 안 될 것이다. 또한 하기 실시예와 함께 제시된 도면들에 있어서, 층 및 영역들의 크기는 명확한 설명을 강조하기 위해서 간략화되거나 다소 과장되어진 것이며, 도면상에 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 설명하는 단면도들이다.

도 3a를 참조하면, 기판(10)에 프린팅법을 이용하여 배향막(20)이 형성된다. 즉, 롤러(40)가 기판(10)에서 회전하면 롤러(40) 표면의 배향막을 구성하는 물질이 기판(10)의 표면으로 전사되어 배향막(20)이 형성된다. 상기 물질로는 폴리이미드계 고분자 물질이 주로 사용되며, 이는 배향 안정성, 내구성, 생산성 등에서 장점을 갖는다.

위와 같은 프린팅 공정에 있어서 중요한 점은 넓은 면적의 기판(10)에 대해 일정하고 균일한 배향막(20)이 형성되도록 하는 것이다. 왜냐하면 배향막(20)의 두께가 대략 500 ~ 1000Å 정도로 형성되는 경우에 100Å 정도의 두께차가 발생하더라도 화면상에 배향 불균일에 의한 얼룩이 발생될 수 있기 때문이다.

본 발명은 종래 기술과 달리, 스페이서(도 3d의 도면 부호 30 참조)와 같이 기판(10) 표면에서 높게 돌출된 부분이 형성되기 이전 단계에서 기판(10)이 평평한 상태에서 배향막(20)이 형성된다. 따라서 특정 영역이 누락되지 않고 기판(10)의 전 영역에 걸쳐서 배향막(20)이 형성될 수 있으며, 아울러 상기 배향막(20)은 균일한 두께를 갖게 된다.

도 3b를 참조하면, 배향막(20)에 대한 러빙이 진행된다. 상기 배향막(20)은 기판(10)상에 배열되는 액정(미도시)과 수소 결합이나 반데르 발스(Van der Waals) 상호 작용과 같은 물리화학적 상호 작용을 한다. 이러한 작용을 통하여 액정은 일방향으로 배열된다. 그러나 액정의 배열 방향은 다소 불규칙적이며 이들이 규칙적인 배향 특성을 갖도록 하기 위해 러빙 과정을 필요로 한다. 도 3b에 도시된 바와 같이, 러빙은 기판(10)의 표면에 나일론(Nylon)/레이온(Rayon)/코튼(Cotton) 등의 러빙천(51)이 감겨있는 롤러(50)를 일방향으로 회전시키는 것으로 진행된다. 롤러(50)의 회전에 따라 러빙천(51)이 배향막(20)을 일방향으로 문지르게 되며, 러빙천(51)의 미세한 돌기들이 배향막(20)과 마찰을 일으킨다. 이로 인하여 배향막(20)은 규칙적으로 배향되어 액정이 원하는 방향으로 배열될 수 있도록 작용한다.

상기 러빙은 필수적인 것은 아니며 생략될 수도 있다. 이는 사용되는 액정의 종류 및 그에 따른 액정표시장치의 구동 방식에 따라 달라진다. 가령 TN(Twisted Nematic) 모드의 액정표시장치에서는 러빙이 필수적이나, VA(Vertically Aligned) 모드나 IPS (In-Plane Switching) 모드의 액정표시장치에서는 러빙이 생략될 수 있다. TN 모드에서는 비틀린 네마틱 액정이 사용되며, 전기장이 인가되는 않은 비활성 상태에서 액정이 기판(10)에 대해 수평하게 배열되며, 이러한 액정의 배열 상태를 형성하기 위해 러빙이 진행된다.

상기 러빙에 의해 배향막(20)이 균일한 방향성을 가지려면, 배향막(20) 전체가 천으로 문지러질 수 있도록 롤러(50)가 배향막(20) 전체에 접촉되어야 한다. 이는 배향막(20)을 프린팅 하는 경우와 유사하게, 스페이서와 같이 기판(10) 표면에서 높게 돌출된 부분이 있다면 돌출된 부분 근방의 배향막(20)이 적절하게 러빙될 수 없는 문제가 발생될 수 있다. 본 발명에 의하면, 스페이서와 같은 돌출 부분이 형성되기 이전 단계에서 기판(10)이 평평한 상태에서 러빙이 진행되므로, 배향막(20) 전체가 균일한 방향성을 갖게된다.

위와 같이 배향막(20)에 대한 공정이 완료되면, 이 후 스페이서에 대한 공정이 진행된다. 여기서 배향막(20)에 대한 공정은 배향막(20) 불량으로 인한 재작업을 포함하며, 본 발명에 의하면 스페이서는 배향막(20)의 불량으로 인한 재작업에 영향을 받지 않게 된다. 즉, 앞서 살핀 바와 같이, 배향막(20) 재작업시 기존의 배향막(20)을 약액으로 제거하게 되며, 이 때 상기 약액에 의해 스페이서가 손상받을 수도 있다. 하지만 본 발명에서는 위와 같은 재작업을 포함한 배향막(20)에 대한 공정이 종료된 이후에 스페이서에 대한 공정이 진행되므로, 배향막(20)을 제거하기 위한 약액에 의해 스페이서가 손상받지 않는다.

이와 같이 본 발명에서는 배향막(20)이 균일하게 형성되지 않거나 배향막(20)의 재작업시 스페이서가 손상받는 문제가 모두 해소된다. 이러한 두 가지 종래 기술의 문제는 서로 독립적이며, 액정표시장치에 따라서는 어느 하나의 문제만이 크게 부각될 수 있다. 가령 특정 액정표시장치에서 배향막(20)의 재작업에 따른 스페이서의 손상만이 문제되는 경우라면, 이는 배향막(20)과 스페이서의 공정 순서 변경으로 해소되며 러빙은 배향막 형성 후 언제 진행되더라도 무방하다. 따라서 이 경우 러빙은 스페이서가 형성(도 3d에 도시된 단계)된 이후에 진행될 수도 있다.

도 3c를 참조하면, 기판(10)상에 포토레지스트를 도포하여 감광막(30')이 형성되고 감광막(30')에 대한 노광이 진행된다. 포토레지스트가 네가티브 타입인 경 우 빛이 조사된 부분의 감광막(30')이 잔류하게 되며, 도 3c에 도시된 바와 같이, 투과 영역(62)과 불투과 영역(61)을 갖는 포토 마스크(60)를 사용하여 스페이서가 형성될 영역에만 빛이 조사되도록 노광한다. 만약 포지티브 타입의 포토레지스트가 사용된다면, 스페이서가 형성될 영역에만 빛이 조사되지 않도록 노광한다.

도 3d를 참조하면, 감광막(30')에 대한 현상이 진행되어 서로 이격된 복수의 스페이서(30)가 형성된다. 상기 현상은 기판(10)을 현상액에 담그거나 또는 기판(10)에 현상액을 분사하는 방법으로 진행되며, 현상액에 의해 빛이 조사되지 않은 부분의 감광막(30')이 제거된다. 이와 같은 방법에 의해 일정한 높이를 갖는 스페이서가 형성된다.

액정표시장치는 상부기판과 하부기판 및 그 사이의 액정을 포함한다. 상기 배향막은 두 개의 기판에 모두 형성되며, 스페이서는 어느 한 쪽의 기판에만 형성된다. 본 발명의 제조방법은 상부기판과 하부기판 중 어느 쪽에라도 적용될 수 있으며, 상부기판인지 또는 하부기판인지에 따라서 기판과 배향막 사이에는 상이한 중간막들이 형성된다. 예컨대, 상부기판의 경우에는 배향막 형성 전에 개구부를 갖는 차광막 패턴 등을 형성하며, 하부기판의 경우에는 배향막 형성전에 서로 교차하면서 화소를 한정하는 게이트 라인과 데이터 라인 등을 형성한다. 상부기판 또는 하부기판에 대한 상세 구조 및 형성방법에 대해서는, 본 발명의 액정표시장치를 살펴보면서 후술하도록 한다.

본 발명의 액정표시장치는 상기한 제조방법에 따라 제조되며, 공정 순서가 변경됨에 따라서 다음과 같은 구조를 갖게 된다.

도 4a는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 평면도이고, 도 4b는 도 4a의 A-A' 라인을 따라 취해진 단면도이다.

도 4a를 참조하면, 하부기판(100)에는 상호 교차하면서 화소를 한정하는 복수의 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL)이 형성되며, 각 화소에는 박막트랜지스터(T)와 화소전극(119)이 구비된다. 박막트랜지스터(T)는 게이트 라인(GL)이 연장된 게이트 전극(110)과, 게이트 전극(110)상의 반도체층(115) 및, 데이터 라인(DL)이 연장된 소오스 전극(116) 및 소오스 전극(116)과 대향되며 화소전극(119)과 연결되는 드레인 전극(117)을 포함한다.

위와 같은 구조의 하부기판(100)은, 동작시 게이트 라인(GL)으로 전송된 게이트 온 신호에 따라 박막트랜지스터(T)가 턴온되면 데이터 라인(DL)으로 전송된 데이터 전압이 화소전극(119)에 인가된다. 이 때, 상부기판(200)에는 화소전극(119)과 대향되게 공통전극(215)이 형성되어 여기에 공통전압이 인가되며, 공통전압과 데이터 전압의 차이에 따른 전기장이 액정(도 4b의 도면부호 400 참조)에 작용한다.

한편, 상부기판(100)과 하부기판(200) 중 어느 한 쪽에는 스페이서(300)가 형성되어 위와 같은 액정표시장치의 동작시 기판(100,200) 사이의 간격을 일정하게 유지한다.

이하 상기한 액정표시장치의 수직 구조 및 그에 따른 형성 방법을 살펴본다.

도 4b를 참조하면, 하부기판(100)에는 각 화소마다 박막트랜지스터(T)와 이에 연결된 화소전극(119)이 구비되며, 또한 화소의 경계에는 데이터 라인(DL)이 배치된다. 이러한 구조의 하부기판(100)은 다음과 같이 형성될 수 있다.

먼저, 하부기판(100)의 전면에 스퍼터링 방법으로 금속막을 증착한 후 이를 패터닝하여 게이트 라인(GL)과 함께 게이트 전극(110)이 형성된다. 게이트 전극(110)을 포함한 하부기판(100)의 전면에는 플라즈마 화학기상증착 방법을 이용하여 실리콘 질화막과 같은 게이트 절연막(112)이 형성된다. 게이트 절연막(112)상에는 비정질 실리콘막/n+ 비정질 실리콘막의 이층막을 증착한 후 이를 패터닝하여 게이트 전극과 중첩되게 반도체층(115)이 형성된다. 상기 반도체층(115)의 이층막은 하부의 액티브층(113)과 상부의 오믹 콘택층(114)을 포함한다. 이어서, 게이트 전극(110)을 형성하였던 공정과 유사한 방법으로, 데이터 라인(DL)과 함께 소오스 전극(116)과 드레인 전극(117)이 형성된다. 이 때, 오믹 콘택층(114)은 소오스 전극(116)/드레인 전극(117)에 따라 분리되도록 패터닝되며, 그 결과 박막트랜지스터(T)가 완성된다. 박막트랜지스터(T)를 포함한 하부기판(100)의 전면에는 보호막(118)이 형성된다. 상기 보호막(118)은 게이트 절연막(112)과 동일한 방법으로 형성되는 무기막외에 두꺼운 유기막이 추가될 수 있다. 상기 보호막(118)은 드레인 전극(117)과 중첩되는 영역에 콘택홀(h)을 갖도록 패터닝되며, 콘택홀(h)의 내부 및 보호막(118)상에 화소전극(119)이 형성된다. 상기 화소전극(119)은 산화주석인듐이나 산화아연인듐을 이용한 투명도전막을 증착한 후 이를 패터닝하여 각 화소별로 분리되게 형성된다.

하부기판(100)의 최상층에는 배향막(120)이 형성되며, 배향막(120)상에는 일정 높이의 스페이서(300)가 형성된다. 만약 스페이서(300)가 상부기판(200)에 형성되는 경우에는, 스페이서(300)의 말단 부분이 하부기판(100)의 배향막(120)과 접촉하게 된다.

본 발명에 따르면, 스페이서(300)의 외부면에는 배향막(120)이 전혀 형성되지 않는다. 즉, 종래 기술에서는 스페이서/배향막의 순서로 형성되므로 배향막의 프린팅시 스페이서의 외부에 배향막이 형성될 수 있었으나, 본 발명에서는 이와 상이하게 스페이서(300)의 외부에 배향막(120)이 형성되지 않는 특징이 있다.

도 4a 및 4b에 도시된 바와 같이, 스페이서(300)는 박막트랜지스터(T)상에 배치될 수 있다. 스페이서(300)는 기판(100,200) 사이의 간격 유지를 위한 것으로, 이러한 역할을 수행할 수 있도록 기판(100,200)상에 균일하게 분포되는 한 그 위치가 제한되지 않는다. 그러나 스페이서(300)가 빛의 진행을 차단하여 개구율을 낮출 수 있다는 점을 감안하면 스페이서(300)는 상부기판(200) 또는 하부기판(100) 중 빛이 차단되는 영역에 형성되어, 스페이서(300)에 의해 별도로 빛의 투과가 차단되는 부분의 면적이 증가되는 않도록 함이 바람직하다. 이러한 관점에서, 스페이서(300)는 게이트 전극(110)으로 인하여 빛이 투과가 차단되는 하부기판(100)의 박막트랜지스터(T)에 배치되거나 또는 이에 대응되는 위치의 상부기판(200)에 배치됨이 바람직하다.

상부기판(200)에는 차광막 패턴(210), 컬러필터(212), 오버코트막(213) 및 공통전극(215)이 형성된다. 차광막 패턴(210)은 크롬 등의 금속박막이나 카본 (carbon) 계열의 유기 재료로 차광막을 형성한 후 이를 패터닝하여 형성되며, 화소에 대응되는 개구부(211)가 구비되어 화소 이외 영역으로의 빛 투과를 차단한다. 컬러필터(212)는 차광막 패턴(210)상에 각 개구부(211)를 규칙적으로 채우는 적색(R)/녹색(G)/청색(B)의 필터들로 구성된다. 컬러필터(212)는 적색(R)/녹색(G)/청색(B)의 일정한 순서에 따라 안료가 포함된 컬러 포토레지스트를 상부기판(200)상에 도포한 후 이를 패터닝하여 형성될 수 있다. 오버코트막(213)은 아크릴 수지 등을 이용한 스핀 코팅의 방법으로 형성될 수 있으며, 차광막 패턴(210)과 컬러필터(212)의 높낮이 차이로 상부기판(200)이 굴곡지게 형성된 것을 평탄화한다. 공통전극(215)은 산화주석인듐이나 산화아연인듐을 이용한 투명도전막을 증착하여 형성된다.

상부기판(200)의 최상층에는 배향막(220)이 형성되며, 배향막(220)상에는 일정 높이의 스페이서(300)가 형성된다. 만약 스페이서(300)가 하부기판(100)에 형성되는 경우에는, 스페이서(300)의 말단 부분이 상부기판(200)의 배향막(220)과 접촉하게 된다.

이상에서 살펴 본 바와 같이 본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 스페이서와 같이 기판 표면에서 높게 돌출된 부분이 형성되기 이전에 배향막이 형성되므로, 배향막이 기판의 특정 영역에 누락됨이 없이 전 영역에 걸쳐서 형성되며 또한 균일한 두께를 갖게 된다. 또한 배향막 형성 후 러빙이 필요한 경우, 러빙 또한 스페이서 형성전 기판이 평평한 상태에서 진행될 수 있으므로 배 향막이 균일한 배향 특성을 가질 수 있다.

둘째, 배향막 불량에 따른 재작업을 진행하면서 이미 형성된 배향막을 제거하는 경우, 종래 기술에서는 배향막 제거에 사용되는 약액에 의해 스페이서가 손상받을 수 있느나, 본 발명에서는 배향막 공정이 완료된 이후 스페이서가 형성되므로 위와 같은 문제가 해소될 수 있다.

Claims (9)

1. 기판에 배향막을 형성하고;

   상기 배향막에 일정 높이를 갖는 복수의 스페이서를 형성하고;

   상기 기판상에 액정을 배열하는 것을 포함하는 액정표시장치의 제조방법.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 배향막 형성 전에, 상기 기판에 개구부를 갖는 차광막 패턴을 형성하는 것을 더 포함하는 액정표시장치의 제조방법.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 배향막 형성전에, 상기 기판에 서로 교차하면서 화소를 한정하는 게이트 라인과 데이터 라인을 형성하는 것을 더 포함하는 액정표시장치의 제조방법.
4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 액정은 비틀린 네마틱 액정으로 배열되는 액정표시장치의 제조방법.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 배향막에 대한 러빙 공정을 더 포함하며, 상기 러빙 공정은 상기 스페이서 형성 전 또는 스페이서 형성 후에 이루어지는 액정표시장치의 제조방법.
6. 상부기판과 하부기판 및 그 사이에 배열되는 액정;

   상기 상부기판과 하부기판에 각각 형성되는 배향막; 그리고

   상기 상부기판과 하부기판 중 어느 하나의 배향막에 일정 높이를 갖는 복수의 스페이서를 포함하는 액정표시장치.
7. 제 6항에 있어서,

   상기 상부기판은 개구부를 갖는 차광막 패턴을 더 포함하며, 상기 스페이서는 상기 개구부가 형성되지 않는 영역에 배치되는 액정표시장치.
8. 제 7항에 있어서,

   상기 하부기판은 서로 교차하면서 상기 개구부에 대응되는 화소를 한정하는 게이트 라인과 데이터 라인을 더 포함하며, 상기 스페이서는 상기 화소의 모서리 부분에 배치되는 액정표시장치.
9. 제 6항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 액정은 비틀린 네마틱 액정인 것을 특징으로 하는 액정표시장치.

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