KR20070042635A - 센서용 지그와 이를 이용한 정전기 메타 교정 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 베이스와, 삽입되어질 정전기 메타의 센서와 대응되는 모양과 크기를 갖도록 상기 베이스에 형성된 센서 삽입홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 센서용 지그를 제공한다.

그리고, 삽입되어질 정전기 메타의 센서와 대응되는 모양과 크기를 갖는 센서용 지그와, 스테이지 상에 설치되며, 상기 센서용 지그가 부착되는 제1 전극판과, 상기 제1 전극판과 평행하게 설치되는 제2 전극판을 구비하는 전기장 생성장치와, 상기 제1 및 제2 전극판에 고전압을 공급하는 고전압 발생기로 이루어진 센서용 지그를 이용한 정전기 메타 교정 장치를 제공한다.

Description

센서용 지그와 이를 이용한 정전기 메타 교정 장치 및 방법{ZIG FOR STATIC ELECTRICITY METER'S SENSOR AND STATIC ELECTRICITY CALIBRATOR USING THE SAME AND CALIBRATE METHOD}

도 1a 내지 도1 c는 본 발명의 실시 예에 따른 센서용 지그의 다양한 형태를 도시한 사시도들이다.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 정전기 메타 교정 장치를 나타내는 사시도이다.

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 센서용 지그를 이용한 정전기 메타의 교정 방법을 순차적으로 도시한 흐름도이다.

<도면부호의 간단한 설명>

10: 센서용 지그 11: 베이스

12: 센서 삽입홈 13: 결합홈

14: 결합핀 20: 전기장 생성장치

21: 제1 전극판 22: 제2 전극판

23: 안착판 24: 제1 이송부

25: 제1 제어부 26: 제2 이송부

27: 제2 제어부 28: 제2 스테이지

29: 제1 스테이지 40: 고전압 발생기

90: 차폐막 100: 정전기 메타

본 발명은 정전기 메타 교정 장치에 관한 것으로, 특히 다양한 모델의 정전기 메타에 적합한 센서용 지그를 구비하여 정전기 메타를 효과적으로 교정할 수 있는 센서용 지그와 이를 이용한 정전기 메타 교정 장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로 정전기는 물체 상에 정지한 상태 또는 그 이동이 극히 완만한 상태로 대전되어 있는 전하를 나타내는데, 상이한 물질로 된 물체들이 접촉하면 접촉계면에서 거의 순간적으로 전자 또는 이온 등의 하전입자가 이동하게 되고 이어서 물체들이 분리되면 전하의 대부분이 복귀하지만 그 일부가 물체 표면에 남아 정전기가 된다.

정전기의 주변에 전하가 존재하면 전하가 보유하고 있는 정전기 에너지가 주변공간에 발산하여 주변 공간에 정전기의 작용이 미치는 영역, 즉 전계가 형성되어 미소한 물체를 흡인하거나 반발하여 주변에 영향을 미치게 된다. 이와 같은 정전기는 설비와 제품의 파괴, 전기 쇼크 및 먼지 흡착 등을 유발하여 제품의 신뢰도 및 생산성을 저하시킨다.

상기와 같은 이유로 정전기를 측정하고, 정전기를 제거해야하는 필요성이 발생하고 있으며, 생산라인 각각에 정전기 메타를 구비하여 발생된 정전기량을 측정하여 효과적으로 제거할 수 있는 방법을 모색하게 된다.

특히, 액정표시장치의 제조 공정에서 유리 기판에 박막 증착, 식각 및 액정 셀 공정을 거치는 거의 모든 공정에서 공통적으로 정전기가 발생하게 된다. 이러한 정전기로 인한 절연파괴에 의해 각 셀마다 형성되는 박막 트랜지스터 및 신호 라인의 절연막에 손상을 입히게 되어 제품의 불량과 이로 인한 수율을 감소시키는 원인이된다.

따라서 각각의 공정마다 정전기를 제전시키는 정전기 제전설비를 구비하게 된다. 이러한 정전기 제전설비는 정전기 메타로부터 측정된 정전기 전압에 대응하여 동작한다. 즉, 작업자가 정전기 메타를 통해 대전된 정전기량을 측정하고 측정치에 대응하여 정전기 제전설비를 동작시켜 정전기를 제거하게 된다.

그러나 정전기 메타가 오동작 또는 측정값이 허용 오차 범위를 벗어나게 되면 정전기 측정량의 신뢰도가 낮아지고 작업자가 정전기 제전설비에 잘못된 측정치를 입력하게 되고 결국 정전기가 완전히 제전되지 않아 제품에 불량이 발생하게 된다.

또한 정전기 메타는 설비에 따라 그 센서의 형태 및 크기가 각각 다르므로 정전기 메타의 보정시 외부 업체에 위탁 보정을 하여야 하므로 많은 시간이 소요된다.

따라서 본 발명의 목적은 정전기 메타의 센서에 맞는 센서용 지그를 구비하고 그 센서용 지그를 이용한 정전기 메타 교정 장치 및 방법을 제공하는데 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 베이스와; 삽입되어질 정전기 메타의 센서와 대응되는 모양과 크기를 갖도록 상기 베이스에 형성된 센서 삽입홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 센서용 지그를 제공한다.

또한, 상기의 목적을 달성하기 위해 본 발명은 삽입되어질 정전기 메타의 센서와 대응되는 모양과 크기를 갖는 센서용 지그와; 스테이지 상에 설치되며, 상기 센서용 지그가 부착되는 제1 전극판과; 상기 제1 전극판과 평행하게 설치되는 제2 전극판을 구비하는 전기장 생성장치와; 상기 제1 및 제2 전극판에 고전압을 공급하는 고전압 발생기로 이루어진 센서용 지그를 이용한 정전기 메타 교정 장치를 제공한다.

상기 센서 삽입홈은 원형 또는 다각형 형태로 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 제1 전극판은 상기 고전압 발생기의 접지 전압을 공급하는 단자와 연결되고, 상기 제2 전극판은 상기 고전압 발생기의 정극성 또는 부극성의 고전압을 공급하는 단자와 연결된 것을 특징으로 한다.

상기 전기장 생성장치는 상기 정전기 메타가 안착되며 상기 제1 전극판과 수 직으로 마주하는 안착판을 더 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 전기장 생성장치는 상기 안착판을 수직방향으로 이송하는 제1 이송부와 상기 제1 이송부를 제어하는 제1 제어부를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 제1 이송부를 지지하는 제2 스테이지를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 전기장 생성장치는 상기 제1 및 제2 전극판의 전극간 간격을 조절하기 위해 상기 제1 및 제2 전극판 중 어느 하나를 이송시키는 제2 이송부와, 상기 제2 이송부를 제어하는 제2 제어부를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 전기장 생성장치는 상기 제1 및 제2 전극판을 덮는 차폐막을 더 구비하는 것을 특징으로 한다.

그리고, 본 발명의 목적을 달성하기 위해 본 발명은 정전기 메타의 센서와 대응되는 모양을 갖는 센서 삽입홈이 형성된 센서용 지그를 선택하는 단계와; 상기 센서용 지그를 제1 또는 제2 전극판 중 적어도 어느 하나에 부착시키는 단계와; 정전기 메타의 센서를 상기 센서 삽입홈에 삽입하고 정전기 메타를 안착판에 안착시키는 단계와; 전기장 생성장치의 제1 및 제2 전극과 연결된 고전압 발생기를 동작시켜 정전기를 생성하는 단계와; 상기 정전기 메타에서 전압을 측정하는 단계와; 상기 전기장 생성장치에서 공급된 전압과 상기 정전기 메타에서 측정된 전압을 비교하여 상기 정전기 메타의 오차를 교정하는 단계로 이루어진 정전기 메타 교정 방법을 제공한다.

상기 정전기 메타를 안착판에 안착시키는 단계에 있어서, 상기 안착판을 수 직으로 이동시키는 제1 이송부를 통해 상기 센서 삽입홈과 상기 정전기 메타의 센서가 삽입된 후 평행하게 안착시키는 단계를 더 포함한다.

상기 고전압 발생기를 동작시키는 단계 이전에, 상기 전기장 생성장치에 구비된 제1 및 제2 전극판의 간격을 조절하는 단계를 더 포함한다.

상기 제1 및 제2 전극판의 간격을 조절하는 단계는 제2 이송부와 연결된 제1 또는 제2 전극판 중 어느 하나를 제2 제어부를 이용하여 이송시키는 단계를 더 포함한다.

상기 고전압 발생기를 동작시키는 단계에서, 상기 고전압 발생기는 상기 피측정기의 측정범위 내의 전압 중 다수의 전압 레벨을 인가하는 단계를 더 포함한다.

상기 정전기 메타의 오차를 교정하는 단계 이후에, 상기 고전압 발생기의 전원을 끄고 수분이상 대기한 후 상기 제1 및 제2 전극판간에 충전된 전압이 완전히 방전된 후 상기 정전기 메타를 상기 자기장 생성장치로부터 분리하는 단계를 더 포함한다.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. 이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명한다.

도 1a 내지 도 1c는 본 발명의 실시 예에 따른 센서용 지그의 다양한 형태를 도시한 사시도이다.

도 1a 내지 도 1c를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 센서용 지그는 베이스(11)와, 정전기 메타(100)의 센서가 삽입되는 센서 삽입홈(12)을 구비한다.

베이스(11)는 구리 및 알루미늄 등의 도전성 금속 재질로 이루어진다. 이러한 베이스(11)에 정전기 메타 센서가 삽입되는 센서 삽입홈(12)이 형성된다. 센서 삽입홈(12)은 정전기 메타(100)의 모델에 따라 각각 다른 형태 및 크기로 형성된다. 예를 들면, 도 1a 내지 도 1c에 도시한 바와 같이 센서 삽입홈(12)은 직사각형, 정사각형 및 원형 등의 다양한 형태로 형성될 수 있다.

이를 통해, 정전기 메타의 센서는 센서용 지그(10)에 형성된 센서 삽입홈(12)에 완전히 삽입되어진다.

이에 따라, 정전기 메타의 모델이 다양할 경우 정전기 메타의 센서에 적합한 모양 및 크기의 센서 삽입홈(12)을 갖는 센서용 지그(10)를 선택하여 교정 장치에 장착함으로써 교정시 외부 업체에 위탁할 필요가 없어 교정 시간을 절약할 수 있으며, 교정 시간의 절약으로 인해 공정 수율을 향상시킬 수 있다 .

이러한 센서용 지그(10)의 베이스(11) 가장자리에 다수의 결합홈(13)과 결합핀(14)을 더 구비한다. 결합홈(13)과 결합핀(14)을 통해 전극판의 일면에 고정된다.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 센서용 지그를 이용한 정전기 메타 교정 장치의 사시도를 나타낸 도면이다.

도 2를 참조하면, 센서용 지그를 이용한 정전기 메타 교정 장치는 각각의 정전기 메타 모델의 센서와 모양 및 크기에 따라 센서 삽입홈(12)의 모양 및 크기가 동일하게 형성된 센서용 지그(10)와, 고전압을 발생시키는 고전압 발생기(40) 및 고전압 발생기에서 공급된 고전압을 통해 전기장을 발생시키는 전기장 생성장치(20)로 이루어진다.

구체적으로, 센서용 지그(10)는 상술한 바와 같이 베이스(11)에 정전기 메타(100)의 센서가 삽입되는 센서 삽입홈(12)이 형성된다. 그리고, 전극판에 부착할 수 있도록 결합홈(13)을 형성한다.

고전압 발생기(40)는 직류 고전압을 발생시켜 전기장 생성장치(20)로 공급한다. 고전압 발생기(40)의 일측 단자(41)는 접지 전압을 공급하고 나머지 단자(42)는 정극성/부극성 전압을 전기장 생성장치(20)로 공급한다. 이 때, 고전압 발생기(40)에서 발생되는 고전압의 범위는 -20㎸ 내지 +20㎸ 이다.

전기장 생성장치(20)는 스테이지(29) 위에 고전압 발생기(40)의 출력단자로부터 인가된 접지 전압 및 고전압을 공급받는 제1 및 제2 전극판(21, 22)과, 피측정기기 즉, 정전기 메타(100)가 안착되는 안착판(23)을 구비한다. 그리고 안착판(23)을 수직으로 이송하는 제1 이송부(24)와, 제1 이송부(24)를 제어하는 제1 제어부(25)와, 안착판(23), 제1 이송부 및 제어부(24, 25)를 지지하는 제2 스테이지(28)와 제1 전극판(21) 또는 제2 전극판(22)을 수평방향으로 이송하는 제2 이송부(26) 및 제2 이송부(26)를 제어하는 제2 제어부(27) 를 구비한다.

구체적으로, 도 2에 도시된 전기장 생성장치(20)는 스테이지(29) 상에 수직 및 평행으로 설치되는 제1 및 제2 전극판(21, 22)은 고전압 발생기(40)에서 접지 전압을 공급하는 일측 단자(41) 및 고전압을 공급하는 나머지 단자(42)와 각각 접 속된다. 예를 들어, 제1 전극판(21)에는 접지전압을 공급하는 단자(41)가 접속되고, 제2 전극판(22)에는 고전압이 공급되는 단자(42)가 각각 접속된다. 제1 및 제2 전극판(21, 22)에 고전압 발생기(40)로부터 고전압이 인가되면 양쪽의 전극판 사이에 전기장이 발생된다. 전기장에 의해 양 극판 각각에는 전하가 충전되어 각각의 전극판에 머물러 정전기와 동일한 효과를 발생시킨다. 또한 양쪽의 전극판 사이에는 고전압 발생기(40)로부터 공급된 전압과 양쪽의 기판사이의 거리에 관계하는 전압이 생성된다. 이러한 전압은 제1 및 제2 전극판(21, 22) 사이의 거리에 따라 일측 기판에서 측정되는 전기장의 세기가 달라진다. 즉, 제1 전극판(21)에서 측정되는 전압은 제1 및 제2 전극판(21, 22)의 이격거리가 증가함에 반비례하여 따라 작아진다.

제1 및 제2 전극판(21, 22)의 외부에는 전기장이 세어나가지 못하도록 차폐막(90)을 추가로 구비한다. 제1 및 제2 전극판(21, 22) 사이에 발생되는 전기장이 전극 외측으로 세어나가면 제1 전극판(21)에서 측정되는 전압이 고전압 발생기(40)에서 공급되는 전압과 오차가 발생되므로 차폐막(90)을 통해 전기장 유출을 방지한다.

안착판(23)은 제1 및 제2 전극판(21, 22) 중 어느 일측에 전극판과 수직방향으로 설치된다. 예를 들면 안착판(23)은 접지 전압이 공급되는 제1 전극판(21)에 수직방향으로 설치된다. 이러한 안착판(23)에는 피측정기기 즉, 정전기 메타(100)가 안착된다.

또한, 정전기 메타(100)의 높이를 조절하기 위해 수직방향으로 안착판(23)을 이동시키는 제1 이송부(24)를 구비한다. 제1 이송부(24)를 통해 피측정기가 센서 삽입홈(12)과 수평을 유지하며 삽입되도록 한다.

그리고 제1 이송부(24)의 높이를 조절하는 제1 제어부(25) 구비한다. 제1 제어부(25)는 사용자가 수동으로 조절할 수 있도록 설치되거나, 미세한 조정이 필요한 경우 컴퓨터 제어를 통해 조절할 수 있다.

제2 이송부(26)는 제1 및 제2 전극판(21, 22)을 수평방향으로 이동시킨다. 정전기 메타(100)가 설비에서 측정을 목적으로 사용될 때, 설비의 측정부위에서 소정 거리만큼 이격시켜 측정하므로, 설비와 정전기 메타의 이격거리와 동일하도록 제2 이송부(26)와 제2 제어부(27)를 통해 전극 간격을 조절한다.

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 정전기 메타 교정 장치를 이용한 정전기측정기의 교정방법을 순차적으로 도시한 흐름도이다.

도 3을 참조하면, 정전기 메타의 측정센서와 동일한 형태 및 크기의 삽입홈을 갖는 센서용 지그를 제1 전극판에 부착한다(S10). 다음으로 정전기 메타의 측정센서를 센서용 지그의 센서 삽입홈에 삽입하고, 안착판에 정전기 메타를 안착시킨다(S20). 그리고 고전압 공급기를 작동시켜 제1 및 제2 전극판에 접지 전압 및 고전압을 공급한다(S30). 고전압 공급기에서 발생되는 전압과 정전기 메타에서 발생되는 전압을 측정한다(S40). 다음으로, 제1 및 제2 전압간의 거리에 따른 전압값과 정전기 메타에서 측정된 전압값을 비교하여 오차가 발생되면 정전기 메타에 설치된 0점 조정기를 통해 기기의 오차를 보정한다(S50).

구체적으로, 도 2 및 도 3과 결부하여 설명하면 전기장 생성장치(20)의 제1 전극판(21)에 센서용 지그(10)를 부착한다. 다음으로, 정전기 메타의 센서를 센서용 지그(10)의 센서 삽입홈(12)에 삽입하고, 안착판(23)에 정전기 메타(100)를 안착시킨다. 이 때, 제1 이송부(24)와 연결된 제1 제어부를 통해 안착판(23)의 높이를 조절하여 정전기 메타의 센서와 센서 삽입홈(12)이 평행으로 삽입되도록 한다.

정전기 메타(100)가 실제 설비의 정전기 발생량을 측정할 때 일정 거리를 이격시켜 측정하므로 전기장 생성장치의 제1 및 제2 전극판의 간격을 설비 측정 이격거리와 동일하게 한다. 이를 위하여, 제2 이송부(26)에 연결된 제2 제어부(27)를 조정하여 제1 및 제2 전극판(21, 22)의 간격을 실제 설비와의 측정 이격 거리에 맞춰 조정한다.

다음으로, 전기장 생성장치(20)의 제1 전극판(21)에 고전압 발생기(40)의 접지 전압과 연결된 단자(41)를 연결하고, 제2 전극판(22)에 고전압 발생기(40)의 출력 전압과 연결된 단자(42)에 연결한다. 그리고, 고전압 발생기(40)에서 정전기 메타(100)의 측정전압 범위의 전압 중 기준 전압 예를 들면, 정전기 메타(100)의 최소 측정 전압 또는 최대 측정전압 중 하나를 설정하여 제2 전극판(22)에 공급한다. 그리고 고전압 발생기(40)에서 출력되는 전압과 정전기 메타(100)에서 측정되는 전압을 비교하여 정전기 메타에 설치된 0점 조정기를 조절하여 고전압 발생기(40)에서 출력된 전압과 동일하게 맞춘다.

상술한 단계를 수회 반복하여 정전기 메타를 교정하여 실제 설비에서 측정오차 없이 이용되도록 한다.

이상과 같이, 정전기 메타의 교정이 끝난 후 고전압 발생기를 0볼트로 전압 을 조정하고 전원을 끈 다음 수분 이상 대기한 후 전기장 생성장치(20)의 전극판들에 충전된 전압이 완전히 방전된 후 정전기 메타(100)를 전기장 생성장치(20)로부터 분리한다.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 정전기 메타 교정 장치 및 이를 이용한 교정방법은 정전기 메타의 센서가 삽입되는 삽입홈을 구비한 센서용 지그를 구비하여 반도체 또는 액정표시장치의 제조공정별로 사용되는 각각의 정전기 메타를 신속하고 효과적으로 교정할 수 있다.

Claims (15)

1. 베이스와;

   삽입되어질 정전기 메타의 센서와 대응되는 모양과 크기를 갖도록 상기 베이스에 형성된 센서 삽입홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 센서용 지그.
2. 삽입되어질 정전기 메타의 센서와 대응되는 모양과 크기를 갖는 센서용 지그와;

   스테이지 상에 설치되며, 상기 센서용 지그가 부착되는 제1 전극판과;

   상기 제1 전극판과 평행하게 설치되는 제2 전극판을 구비하는 전기장 생성장치와;

   상기 제1 및 제2 전극판에 고전압을 공급하는 고전압 발생기로 이루어진 센서용 지그를 이용한 정전기 메타 교정 장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 센서 삽입홈은 원형 또는 다각형 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 센서용 지그를 이용한 정전기 메타 교정장치.
4. 제 2 항에 있어서,

   상기 제1 전극판은 상기 고전압 발생기의 접지 전압을 공급하는 단자와 연결 되고, 상기 제2 전극판은 상기 고전압 발생기의 정극성 또는 부극성의 고전압을 공급하는 단자와 연결된 것을 특징으로 하는 센서용 지그를 이용한 정전기 메타 교정 장치.
5. 제 2 항에 있어서,

   상기 전기장 생성장치는

   상기 정전기 메타가 안착되며 상기 제1 전극판과 수직으로 마주하는 안착판을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 센서용 지그를 이용한 정전기 메타 교정 장치.
6. 제 2 항에 있어서,

   상기 전기장 생성장치는

   상기 안착판을 수직방향으로 이송하는 제1 이송부와 상기 제1 이송부를 제어하는 제1 제어부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 센서용 지그를 이용한 정전기 메타 교정 장치.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 제1 이송부를 지지하는 제2 스테이지를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 센서용 지그를 이용한 정전기 메타 교정 장치.
8. 제 2 항에 있어서,

   상기 전기장 생성장치는

   상기 제1 및 제2 전극판의 전극간 간격을 조절하기 위해 상기 제1 및 제2 전극판 중 어느 하나를 이송시키는 제2 이송부와, 상기 제2 이송부를 제어하는 제2 제어부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 센서용 지그를 이용한 정전기 메타 교정 장치.
9. 제 2 항에 있어서,

   상기 전기장 생성장치는

   상기 제1 및 제2 전극판을 덮는 차폐막을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 센서용지극를 이용한 정전기 메타 교정 장치.
10. 정전기 메타의 센서와 대응되는 모양을 갖는 센서 삽입홈이 형성된 센서용 지그를 선택하는 단계와;

    상기 센서용 지그를 제1 또는 제2 전극판 중 적어도 어느 하나에 부착시키는 단계와;

    정전기 메타의 센서를 상기 센서 삽입홈에 삽입하고 정전기 메타를 안착판에 안착시키는 단계와;

    전기장 생성장치의 제1 및 제2 전극과 연결된 고전압 발생기를 동작시켜 정전기를 생성하는 단계와;

    상기 정전기 메타에서 전압을 측정하는 단계와;

    상기 전기장 생성장치에서 공급된 전압과 상기 정전기 메타에서 측정된 전압을 비교하여 상기 정전기 메타의 오차를 교정하는 단계로 이루어진 정전기 메타 교정 방법.
11. 제 10 항에 있어서,

    상기 정전기 메타를 안착판에 안착시키는 단계에 있어서

    상기 안착판을 수직으로 이동시키는 제1 이송부를 통해 상기 센서 삽입홈과 상기 정전기 메타의 센서가 삽입된 후 평행하게 안착시키는 단계를 더 포함하는 정전기 메타 교정 방법.
12. 제 10항 및 11 항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 고전압 발생기를 동작시키는 단계 이전에

    상기 전기장 생성장치에 구비된 제1 및 제2 전극판의 간격을 조절하는 단계를 더 포함하는 정전기 메타 교정 방법.
13. 제 12항에 있어서,

    상기 제1 및 제2 전극판의 간격을 조절하는 단계는

    제2 이송부와 연결된 제1 또는 제2 전극판 중 어느 하나를 제2 제어부를 이용하여 이송시키는 단계를 더 포함하는 정전기 메타 교정 방법.
14. 제 9 항에 있어서,

    상기 고전압 발생기를 동작시키는 단계에서

    상기 고전압 발생기는 상기 피측정기의 측정범위 내의 전압 중 다수의 전압 레벨을 인가하는 단계를 더 포함하는 정전기 메타 교정 방법.
15. 제 9 항에 있어서,

    상기 정전기 메타의 오차를 교정하는 단계 이후에

    상기 고전압 발생기의 전원을 끄고 수분이상 대기한 후 상기 제1 및 제2 전극판간에 충전된 전압이 완전히 방전된 후 상기 정전기 메타를 상기 자기장 생성장치로부터 분리하는 단계를 더 포함하는 정전기 메타 교정 방법.

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