KR20070028105A

KR20070028105A - Exhaust chuck

Info

Publication number: KR20070028105A
Application number: KR1020050083300A
Authority: KR
Inventors: 조용상; 김병수; 이효영
Original assignee: 엘지마이크론 주식회사
Priority date: 2005-09-07
Filing date: 2005-09-07
Publication date: 2007-03-12

Abstract

An exhaust chuck is provided to prevent a breakdown of an exhaust tube irrespective of directions of the exhaust tube in an exhaust process by using a bellows pipe which 360 is transferable. An exhaust chuck is installed between a pump and an exhaust tube of a sample in order to exhaust gases from the sample through the exhaust tube. The exhaust chuck includes an exhaust head(1), a pump connecting part(2), and a bellows pipe(3). The exhaust head is connected with the exhaust tube. The pump connecting part is connected with the pump. The bellows pipe is installed between the exhaust head and the pump connecting part.

Description

Exhaust Chuck}

도 1은 종래의 면발광램프, 배기관, 배기척 및 게터관을 보여주는 단면도. 1 is a cross-sectional view showing a conventional surface light emitting lamp, exhaust pipe, exhaust chuck and getter pipe.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 배기척을 보여주는 사시도. 2 is a perspective view showing an exhaust chuck according to an embodiment of the present invention.

도 3은 도 2에 도시된 배기척이 배기관과 상향식으로 연결되는 상태를 보여 주는 도면.3 is a view showing a state in which the exhaust chuck shown in Figure 2 is connected to the exhaust pipe from the bottom up.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

1, 22 : 배기헤드 2, 22 : 펌프 연결부(배기척 넥)1, 22: exhaust head 2, 22: pump connection (exhaust chuck neck)

3 : 주름관 11 : 전면 유리기판3: corrugated pipe 11: front glass substrate

12 : 배면 유리기판 13 : 전극12 back glass substrate 13 electrode

14 : 격벽 15 : 형광체14 bulkhead 15 phosphor

16, 33, 43 : 배기관 17 : 게터관16, 33, 43: exhaust pipe 17: getter tube

18 : 게터 19 : 플라즈마 방전 채널18: getter 19: plasma discharge channel

20, 100 : 배기척 31 : 샘플20, 100: exhaust chuck 31: sample

32 : 샘플 지지대32: sample support

본 발명은 배기관의 파손을 예방하도록 한 배기척에 관한 것이다. The present invention relates to an exhaust chuck to prevent damage to the exhaust pipe.

각종 조명장치나 표시장치 등에서 사용되는 램프로는 냉음극 발광램프(Cold Cathode Fluorescent Lamp : CCFL)가 주로 사용된다. 이러한 냉음극 발광램프는 전극 설치위치에 따라 방전가스와 기화상태의 수은이 밀봉된 유리관 내에 전극들이 설치되고 유리관 내부 표면에 형광체가 형성되는 내부전극 램프와 그 유리관의 외부에 전극들이 설치되고 유리관 내부 표면에 형광체가 형성되는 외부 전극 램프로 나뉘어진다. Cold Cathode Fluorescent Lamp (CCFL) is mainly used as a lamp used in various lighting devices and display devices. The cold cathode light emitting lamp has an internal electrode lamp in which electrodes are installed in a glass tube sealed with discharge gas and vaporized mercury according to the electrode installation position, and a phosphor is formed on the inner surface of the glass tube, and electrodes are installed outside the glass tube and inside the glass tube. It is divided into external electrode lamps in which phosphors are formed on the surface.

내부전극 램프의 내부 전극들에 고전압의 교류신호가 인가되면 그 전극들 사이에서 전계가 인가되어 플라즈마 방전이 발생되고 그 때 발생된 전자가 수은을 여기시켜 자외선이 발생된다. 그리고 자외선에 의해 형광체가 여기 및 천이되어 가시광이 발생된다. When a high voltage AC signal is applied to the internal electrodes of the internal electrode lamp, an electric field is applied between the electrodes to generate a plasma discharge, and the generated electrons excite mercury to generate ultraviolet rays. The phosphor is excited and transitioned by the ultraviolet rays to generate visible light.

이에 비하여, 외부전극 램프의 외부 전극들에 고전압의 교류신호가 인가되면 유리관 내의 양전극 사이에서 플라즈마 방전이 발생되어 전자가 발생되고 그 전자에 의해 수은이 여기되어 형광체를 발광시킨다. 이 외부전극 램프는 플라즈마 방전에 의해 유리관 내의 전극 근방의 유리관 표면에 벽전하가 형성되고, 그 벽전하를 이용하여 비교적 낮은 전압으로 플라즈마 방전을 일으키므로 발열량이 작고 고효율로 구동되는 장점과, 전압 강하가 매우 작으므로 하나의 인버터에 의해 다수의 외부전극 램프들이 구동될 수 있는 장점이 있다. On the other hand, when a high voltage AC signal is applied to the external electrodes of the external electrode lamp, plasma discharge is generated between both electrodes in the glass tube to generate electrons, and mercury is excited by the electrons to emit phosphors. The external electrode lamp has a merit that the wall charge is formed on the surface of the glass tube near the electrode in the glass tube by the plasma discharge, and the plasma discharge is generated at a relatively low voltage by using the wall charge. Since it is very small, there is an advantage that a plurality of external electrode lamps can be driven by one inverter.

한편, 액정표시장치는 비디오신호에 따라 액정셀들의 광투과율을 조절하여 화상을 표시하게 된다. 액티브 매트릭스(Active Matrix) 타입의 액정표시장치는 액정셀마다 스위칭소자가 형성되어 동영상을 표시하기에 유리하다. 스위칭소자로는 주로 박막트랜지스터가 이용되고 있다. On the other hand, the liquid crystal display device displays an image by adjusting the light transmittance of the liquid crystal cells according to the video signal. In an active matrix type liquid crystal display, switching elements are formed in each liquid crystal cell, which is advantageous for displaying a moving image. Thin film transistors are mainly used as switching elements.

액정표시장치는 자발광소자가 아니기 때문에 별도의 백라이트 유닛이 필요하다. 액정표시장치의 백라이트 유닛으로는 일측 끝단에 설치되는 램프의 빛을 도광판을 이용하여 면광원으로 변환하여 액정표시패널에 조사하는 에지 라이트(edge-linght) 방식과 액정표시패널의 아래에 설치된 다수의 램프들을 이용하여 액정표시패널에 빛을 조사하는 다이렉트-라이트(direct light) 방식이 있다. Since the LCD is not a self-light emitting device, a separate backlight unit is required. As the backlight unit of the liquid crystal display, an edge-linght method for converting light of a lamp installed at one end into a surface light source using a light guide plate and irradiating the liquid crystal display panel, There is a direct light method for irradiating light to the liquid crystal panel using lamps.

최근에는 기존 에지 라이트 방식이나 다이렉트-라이트 방식에 비하여 발광효율과 발광 휘도와 그 휘도의 균일도가 높은 면발광 램프에 대한 연구개발이 활발히 진행되고 있다. Recently, research and development of surface emitting lamps having high luminous efficiency, luminous brightness, and uniformity of luminance are being actively conducted compared to existing edge light or direct-light methods.

이러한 면발광 램프는 도 1과 같이 배기홀(11a)과 수은주입홀(11b)이 형성된 전면 유리기판(11), 격벽(14)과 플라즈마 방전 채널(19)을 사이에 두고 전면 유리기판(11)과 밀봉되는 배면 유리기판(12), 배면 유리기판(12) 상에 형성되는 다수의 전극들(13), 및 플라즈마 방전 채널(19) 내에서 격벽(14)과 유리기판들(11, 12)의 표면에 형성되는 형광체(15)를 구비한다. As shown in FIG. 1, the surface emitting lamp includes the front glass substrate 11 having the exhaust hole 11a and the mercury injection hole 11b formed therebetween, the partition 14, and the plasma discharge channel 19 interposed therebetween. A rear glass substrate 12 which is sealed with a plurality of electrodes 13, a plurality of electrodes 13 formed on the rear glass substrate 12, and a partition 14 and glass substrates 11 and 12 in the plasma discharge channel 19. Phosphor 15 formed on the surface of the substrate.

이러한 면발광 램프의 배기공정은 실런트로 배기홀(11a)에 배기관(16)을 접착하고 그 배기관(16)에 배기척(20)을 연결한 후, 고온에서 진공펌프로 플라즈마 방전 채널들(19) 내의 공기를 외부로 배기시킨다. 배기척(20)은 배기관(16)과 연결되는 배기헤드(21), 진공펌프와 연결되는 배기척 넥(neck)(22)를 포함한다. 그리고 방전가스 주입공정에서는 배기관(16)을 통해 불활성 가스를 포함한 방전가스를 플라즈마 방전 채널들(19) 내에 주입한다. The exhaust process of the surface emitting lamp is performed by attaching the exhaust pipe 16 to the exhaust hole 11a with a sealant and connecting the exhaust chuck 20 to the exhaust pipe 16, and then discharging the plasma discharge channels 19 with a vacuum pump at a high temperature. Exhaust air to the outside. The exhaust chuck 20 includes an exhaust head 21 connected to the exhaust pipe 16 and an exhaust chuck neck 22 connected to the vacuum pump. In the discharge gas injection process, the discharge gas including the inert gas is injected into the plasma discharge channels 19 through the exhaust pipe 16.

면발광 램프의 수은주입공정은 실런트로 수은주입홀(11b)에 게터(18)가 삽입된 게터관(17)을 접착한 후, 인덕터를 게터관(17) 근방에 설치하고 그 인덕터에 교류전류를 인가하여 게터관(17) 내의 게터(18)에 유도전류가 인가되도록 하여 그 게터(18)를 활성화시킴으로써 수은을 플라즈마 방전 채널들(19) 내로 주입시킨다. In the mercury injection process of the surface emitting lamp, the getter tube 17 into which the getter 18 is inserted is attached to the mercury injection hole 11b with a sealant, and then an inductor is installed near the getter tube 17 and an alternating current is applied to the inductor. Mercury is injected into the plasma discharge channels 19 by applying an induced current to the getter 18 in the getter tube 17 to activate the getter 18.

이러한 배기공정, 방전가스 주입공정 및 수은주입공정을 마친 후, 배기홀(11a)로부터 배기관(16)을 그리고, 수은주입홀(11b)로부터 게이트관(17)을 분리시키는 팁-오프(Tip-off) 공정이 실시된 후, 마지막으로 배기홀(11a)과 수은주입홀(11b)을 밀봉시키는 공정이 이루어진다. After the exhaust process, the discharge gas injection process, and the mercury injection process, a tip-off for drawing the exhaust pipe 16 from the exhaust hole 11a and separating the gate tube 17 from the mercury injection hole 11b. ) Process is performed, and finally, a process of sealing the exhaust hole 11a and the mercury injection hole 11b is performed.

그런데, 종래의 면발광 램프는 배기공정에서 배기관이 흔히 파손되는 문제점이 있다. 이는 고온의 배기공정에서 배기관이 열로 인해 변형되고 그 변형양이 배기척(20)에서 흡수되지 않기 때문이다.However, the conventional surface emitting lamp has a problem that the exhaust pipe is often broken in the exhaust process. This is because the exhaust pipe is deformed due to heat in the high temperature exhaust process and the amount of deformation is not absorbed by the exhaust chuck 20.

따라서, 본 발명의 목적은 배기관의 파손을 예방하도록 한 배기척을 제공하는데 있다. Accordingly, it is an object of the present invention to provide an exhaust chuck to prevent damage to the exhaust pipe.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 배기척은 배기관과 연결되는 배기헤드와; 펌프와 연결되는 펌프 연결부와; 상기 배기헤드와 상기 펌프 연결부 사이에 설치되는 주름관을 구비한다. In order to achieve the above object, the exhaust chuck according to the present invention includes an exhaust head connected to the exhaust pipe; A pump connection part connected to the pump; A corrugated pipe is provided between the exhaust head and the pump connection part.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 이점들은 첨부한 도면들을 참조한 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and advantages of the present invention in addition to the above object will become apparent from the description of the preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 2 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 4.

도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 배기척(100)은 배기관과 연결되는 배기헤드(1), 진공펌프와 연결되는 펌프 연결부(2), 및 배기헤드(1)와 펌프 연결부(2) 사이에 설치되는 주름관(3)을 구비한다. Referring to FIG. 2, the exhaust chuck 100 according to the embodiment of the present invention includes an exhaust head 1 connected to an exhaust pipe, a pump connection part 2 connected to a vacuum pump, and an exhaust head 1 and a pump connection part ( 2) is provided with a corrugated pipe (3) provided between.

주름관(3)은 주름진 스테인레스(SUS)로 제작되어 360°의 전방향으로 유동이 가능하여 배기관이 움직일 때 유동되어 배기관의 움직임을 흡수함으로써 배기관의 파손을 예방하는 역할을 한다. Corrugated pipe (3) is made of corrugated stainless (SUS) is possible to flow in all directions of 360 ° flows when the exhaust pipe is moved to absorb the movement of the exhaust pipe serves to prevent damage of the exhaust pipe.

이러한 배기척(100)은 도 3과 같은 상향식 배기관(33, 43)에 연결된다. This exhaust chuck 100 is connected to the bottom up exhaust pipe (33, 43) as shown in FIG.

도 3에 있어서, 도면부호 "31"은 내부 공간이 배기공정에 의해 배기되어야 하는 샘플로써, 그 샘플은 배기공정이 필요한 소자로써 예를 들면 면발광 램프(FFL), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 혹은 전계방출표시패널(FED) 등의 소자이다. 그리고 도면부호 "32"는 샘플(31)을 지지하기 위한 샘플 지지대이다. In Fig. 3, reference numeral 31 denotes a sample in which the internal space is to be exhausted by the exhaust process, and the sample is an element requiring the exhaust process, for example, a surface light emitting lamp (FFL), a plasma display panel (PDP), Or an element such as a field emission display panel (FED). And reference numeral 32 is a sample support for supporting the sample 31.

도 3에서 알 수 있는 바, 고온의 배기공정에서 배기관(33)이 열변형되거나 혹은 진동 등에 의해 배기관(33)이 움직일 때 배기척(100)의 주름관(3)이 배기관(33)을 따라 유동함으로써 배기관(33)의 변형양 또는 움직임양을 흡수하여 배기관(33)의 파손을 예방할 수 있다. 3, the corrugated pipe 3 of the exhaust chuck 100 flows along the exhaust pipe 33 when the exhaust pipe 33 moves due to thermal deformation or vibration in a high temperature exhaust process. As a result, the amount of deformation or movement of the exhaust pipe 33 can be absorbed to prevent breakage of the exhaust pipe 33.

본 발명에 따른 배기척은 주름관에 의해 360°의 전방향에서 유동이 가능하므로 도 3과 같이 배기관이 샘플(31)의 상향으로 형성되거나 그 반대로 하향으로 형성되거나, 혹은 배기관이 샘플(31)의 측방향으로 형성되는 배기관 구조 즉, 배기관의 방향에 관계없이 배기관에 연결되어 배기공정에서 배기관의 파손을 예방할 수 있다. Exhaust chuck according to the present invention can be flowed in all directions of 360 ° by the corrugated pipe so that the exhaust pipe is formed upward of the sample 31 or vice versa as shown in Figure 3, or the exhaust pipe is formed of the sample 31 The exhaust pipe structure formed in the lateral direction, that is, connected to the exhaust pipe regardless of the direction of the exhaust pipe can prevent damage of the exhaust pipe in the exhaust process.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 배기척은 360°이동이 가능한 주름관을 포함하여 배기관의 파손을 예방할 수 있다. As described above, the exhaust chuck according to the present invention includes a corrugated pipe capable of moving 360 ° to prevent damage to the exhaust pipe.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims

In the exhaust chuck installed between the pump and the exhaust pipe of the sample to exhaust the gas in the sample through the exhaust pipe,

An exhaust head connected to the exhaust pipe;

A pump connection part connected to the pump;

And a corrugated pipe installed between the exhaust head and the pump connection part.