KR20070016230A - Apparatus for carrying substrate - Google Patents
Apparatus for carrying substrate Download PDFInfo
- Publication number
- KR20070016230A KR20070016230A KR1020050070534A KR20050070534A KR20070016230A KR 20070016230 A KR20070016230 A KR 20070016230A KR 1020050070534 A KR1020050070534 A KR 1020050070534A KR 20050070534 A KR20050070534 A KR 20050070534A KR 20070016230 A KR20070016230 A KR 20070016230A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- pulley
- oil
- oil supply
- substrate
- substrate transfer
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G39/00—Rollers, e.g. drive rollers, or arrangements thereof incorporated in roller-ways or other types of mechanical conveyors
- B65G39/02—Adaptations of individual rollers and supports therefor
- B65G39/09—Arrangements of bearing or sealing means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G23/00—Driving gear for endless conveyors; Belt- or chain-tensioning arrangements
- B65G23/22—Arrangements or mountings of driving motors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G45/00—Lubricating, cleaning, or clearing devices
- B65G45/02—Lubricating devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2207/00—Indexing codes relating to constructional details, configuration and additional features of a handling device, e.g. Conveyors
- B65G2207/48—Wear protection or indication features
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Details Of Gearings (AREA)
Abstract
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 이를 위하여 본 발명은 모터 구동에 의해 벨트로 연결된 풀리를 회전시키고, 일측의 풀리로부터 구동력을 전달받아 암을 작동시켜 암 선단에 안치시킨 기판을 이송시키는 기판 이송 장치에 있어서, 상기 풀리에 결합되는 베어링의 일측에는 윤활유가 공급되는 공급 노즐(10)이 위치하고, 상기 공급 노즐(10)을 통한 윤활유의 공급은 급유 밸브(20)에 의해서 단속되도록 하며, 상기 급유 밸브(20)에는 오일 탱크(30)로부터 급유 호스(40)를 통해 윤활유가 전달되도록 하는 구성으로 구비되도록 하여 풀리 및 풀리를 지지하는 베어링으로 일정한 주기마다 윤활유가 수동 또는 자동으로 공급되게 함으로써 이 부위에서의 마찰력을 최소화하여 안정된 구동력 전달이 이루어질 수 있도록 하는 동시에 설비 점검 주기를 더욱 연장시키면서 공수를 절감시켜 한층 경제적인 설비 관리 및 공정 수행이 이루어지도록 하는 더욱 생산성을 향상시키게 되는 효과를 제공한다.The present invention relates to a substrate transfer device, to which the present invention rotates a pulley connected to the belt by a motor drive, a substrate transfer for transferring a substrate placed on the tip of the arm by operating the arm receives the driving force from the pulley on one side In the apparatus, a supply nozzle 10 to which lubricating oil is supplied is located at one side of the bearing coupled to the pulley, and the supply of lubricating oil through the supply nozzle 10 is interrupted by the oil supply valve 20, and the oil supply The valve 20 is provided with a configuration in which the lubricant is transferred from the oil tank 30 through the oil supply hose 40 so that the lubricant is supplied manually or automatically at regular intervals to a bearing for supporting the pulley and the pulley. Minimizes the frictional force in the system to ensure stable transmission of drive force, while at the same time While extending to reduce airborne provides the effect of further improving the productivity, thereby to ensure a more economical equipment and perform management process performed.
기판이송, 풀리, 베어링, 급유 Board Transfer, Pulley, Bearing, Lubrication
Description
도 1은 일반적인 반도체 제조 설비 중의 다중 챔버 구성을 도시한 평면도,1 is a plan view showing a multi-chamber configuration in a typical semiconductor manufacturing facility,
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 급유 수단을 도시한 개략적인 블록 구조도,2 is a schematic block structure diagram showing the oil supply means of the substrate transfer apparatus according to the present invention;
도 3은 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 구조를 도시한 사용 상태도.3 is a use state diagram showing the structure of the substrate transfer apparatus according to the present invention;
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10 : 공급 노즐10: supply nozzle
20 : 급유 밸브20: oil supply valve
30 : 오일 탱크30: oil tank
40 : 급유 호스40: oil supply hose
50, 60 : 풀리(pulley)50, 60: pulley
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 마찰력이 심한 구동 부위에 윤활유가 적절하면서 손쉽게 공급될 수 있도록 함으로써 안정된 기판 이송과 공수의 절감으로 한층 경제적인 공정 수행이 가능토록 하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, a substrate transfer apparatus that enables a more economic process to be carried out with stable substrate transfer and reduction of man-hours by allowing lubricating oil to be appropriately and easily supplied to a driving part with high frictional force. It is about.
일반적으로 반도체 제조 설비와 LCD 제조 설비에서는 기판의 이송을 위해 기판 이송 장치가 구비되도록 하고 있으며, 이러한 기판 이송 장치로 대표적인 것이 로봇이다.In general, semiconductor manufacturing facilities and LCD manufacturing facilities are equipped with a substrate transfer device for the transfer of the substrate, a typical robot is such a substrate transfer device.
특히 공정 설비 내부에서의 기판 이송은 그 정확성에서 더욱 세밀한 제어가 필요로 된다.In particular, transfer of substrates inside process equipment requires more precise control of its accuracy.
또한 공정의 효율성 및 공간의 활용을 증대시키기 위하여 여러 종류의 기판 가공작업이 다수개의 챔버에서 동시에 진행되도록 하는 다중 챔버 시스템을 채택하고 있다.In addition, to increase the efficiency of the process and the utilization of space, a multi-chamber system is adopted to allow several substrate processing operations to proceed simultaneously in multiple chambers.
도 1은 반도체 제조 설비 중에서 다중 챔버의 구성을 도시한 평면도로서, 다중 챔버 시스템은 중앙의 트랜스퍼 챔버(1)를 중심으로 일측에는 가공할 기판이나 이미 가공한 기판의 대기 구간인 로드락 챔버(2)를 구비하고, 로드락 챔버(2)와 대응되는 위치에는 실질적인 공정을 수행하게 되는 공정 챔버(3)가 구비된다.FIG. 1 is a plan view illustrating a configuration of a multi-chamber in a semiconductor manufacturing facility. The multi-chamber system includes a
이때 트랜스퍼 챔버(1)에는 로드락 챔버(2)와 공정 챔버(3)간으로 기판을 전달하도록 하는 이송 로봇(4)이 구비되어 있다.In this case, the
이 이송 로봇(4)은 통상 모터 구동에 의해서 풀리를 통해 암(4a)을 구동시켜 암선단의 캐리지(4b)에 안치되는 기판을 필요로 하는 위치로 안전하게 이송시키게 되는 것이다.The
한편 이송 로봇(4)은 트랜스퍼 챔버(1)의 하부에서 풀리간 벨트에 의해 연결되어 동력이 전달되도록 하고 있고, 일측의 풀리가 모터로부터 동력을 전달받아 모터 구동에 의해서 기판 이송 작동이 수행되도록 한다.On the other hand, the
하지만 기판 이송 작동을 지속적으로 장시간 수행하다 보면 특히 풀리의 베어링 연결 부위가 부식되면서 작동 오류를 유발시킬 수가 있으므로 정기적인 점검이 반드시 수행되어야만 한다.However, regular checks must be carried out as the substrate transfer operation continues for an extended period of time, especially as the bearing connections of the pulleys may corrode and cause operational errors.
이와 같은 점검이 자주 수행되도록 하기 위해서는 작업 공수가 커지면서 작업 효율 및 생산성을 저하시키게 되는 결정적인 원인으로 작용하게 된다.In order to perform such a check frequently, it becomes a decisive cause of declining work efficiency and productivity as the work maneuver increases.
따라서 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 장시간 작동에 따른 부식이 우려되는 풀리의 베어링 연결 부위를 항상 윤활되게 함으로써 정확한 동력 전달과 관리의 편의를 제공하는 동시에 점검 주기를 보다 연장시킴으로써 생산성이 향상되도록 하는 기판 이송 장치를 제공하는데 있다.Therefore, the present invention has been invented to solve the above-mentioned problems of the prior art, an object of the present invention is to provide a convenient power transmission and management convenience by always lubricating the bearing connection portion of the pulley that is concerned about corrosion due to long-term operation. At the same time, to provide a substrate transfer device to improve the productivity by extending the inspection cycle.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 모터 구동에 의해 벨트로 연결된 풀리를 회전시키고, 일측의 풀리로부터 구동력을 전달받아 암을 작동시켜 암 선단에 안치시킨 기판을 이송시키는 기판 이송 장치에 있어서, 상기 풀리에 결합되는 베어링의 일측에는 윤활유가 공급되는 공급 노즐이 위치하고, 상기 공급 노즐을 통한 윤활유의 공급은 급유 밸브에 의해서 단속되도록 하며, 상기 급유 밸브에는 오일 탱크로부터 급유 호스를 통해 윤활유가 전달되도록 하는 것이다.In order to achieve the above object, the present invention is a substrate transfer device for rotating the pulley connected to the belt by the motor drive, and transfers the substrate placed on the tip of the arm by operating the arm receives the driving force from the pulley on one side, One side of the bearing coupled to the pulley is a supply nozzle for supplying the lubricating oil, the supply of the lubricating oil through the supply nozzle is to be intermitted by the oil supply valve, and the oil supply valve to the lubricant to be delivered through the oil supply hose from the oil tank will be.
상기의 구성에서 상기 급유 밸브는 수동으로 개폐 단속 및 개폐량 조절을 할 수 있는 수동식 구조로 형성되게 할 수도 있고, 솔레노이드를 이용하여 컨트롤러에서의 제어 명령에 의해 급유가 자동으로 단속되게 할 수도 있다.In the above configuration, the oil supply valve may be formed in a manual structure capable of manually opening and closing the control and the amount of opening and closing, or may be to control the oil supply automatically by a control command from the controller using a solenoid.
특히 자동식 급유 밸브는 컨트롤러에서의 일정 주기마다 일정 시간 동안만 개방되도록 하여 급유가 이루어질 수 있게 하는 것이 보다 바람직하다. In particular, the automatic refueling valve is more preferably opened for a predetermined time every certain period in the controller to enable the refueling is made.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명은 기판 이송 장치의 풀리에 결합되는 베어링으로 윤활유가 공급되도록 하는 급유 수단이 구비되도록 하는데 가장 두드러진 특징이 있다.The present invention has the most remarkable feature of having an oil supply means for supplying lubricant to a bearing coupled to a pulley of the substrate transfer device.
본 발명의 기판 이송 장치는 우선 크게 구동 수단인 모터와, 이 모터로부터 전달되는 구동력을 전달하는 동력 전달 수단인 벨트와 풀리와, 일측의 풀리에 연결되어 풀리로부터 전달되는 회전력에 의해 회전하는 암 및 암 선단부에서 기판이 안치되도록 구비되는 캐리지의 결합에 의해서 이루어지는 구성으로, 이는 종전의 기판 이송 장치와 동일하다.The substrate conveying apparatus of the present invention firstly comprises a motor as a driving means, a belt and a pulley as a power transmission means for transmitting a driving force transmitted from the motor, and an arm rotating by a rotational force connected to the pulley on one side, The configuration is achieved by the engagement of the carriage provided so that the substrate is placed at the arm tip, which is the same as the conventional substrate transfer apparatus.
즉 본 발명의 기판 이송 장치는 모터의 구동에 의해서 발생되는 구동력을 구동축측 풀리에 전달하면서 구동축측 풀리와 연동축측 풀리를 연결하는 벨트를 통해 구동력이 연동축으로 전달되도록 하고, 연동축으로 전달되는 구동력에 의해 암을 회전시키는 방식에 의해 암 선단부의 캐리지를 이동시켜 기판이 이동되도록 하는 것이다. That is, the substrate transfer apparatus of the present invention transmits the driving force generated by the driving of the motor to the drive shaft side pulley so that the driving force is transmitted to the interlock shaft through the belt connecting the drive shaft side pulley and the interlock shaft side pulley, and is transmitted to the interlock shaft. The substrate is moved by moving the carriage at the tip of the arm by rotating the arm by the driving force.
이때 암은 동력 전달 수단을 통해 캐리지를 전후 방향과 회전 방향으로 이동시키면서 최선단에 구비되는 캐리지에 안치되어 있는 기판을 필요로 하는 위치로 이동시키게 된다.At this time, the arm moves the carriage in the front-rear direction and the rotational direction through the power transmission means to move the substrate placed in the carriage provided at the uppermost position to the required position.
도 2는 본 발명에 따른 급유 수단을 개략적으로 도시한 것으로서, 본 발명은 모터의 구동력에 의해 암 선단의 캐리지가 작동하도록 하는 구성에 베어링으로의 윤활유를 공급하는 급유 수단이 구비되도록 하는 것이다.Figure 2 schematically shows the lubrication means according to the present invention, the present invention is to provide a lubrication means for supplying lubricating oil to the bearing in a configuration such that the carriage of the arm tip is operated by the driving force of the motor.
급유 수단에는 크게 공급 노즐(10)과 급유 밸브(20)와 오일 탱크(30) 및 급유 호스(40)로서 이루어지는 구성이다.The oil supply means is constituted largely as a
급유 호스(40)는 오일 탱크(30)로부터 공급 노즐(10)에 이르는 윤활유 공급 라인을 이루며, 급유 밸브(20)는 이들 오일 탱크(30)와 공급 노즐(10)간 급유 호스(40)의 중간에 구비되게 할 수도 있고, 오일 탱크(30) 또는 공급 노즐(10)에 부착되는 구성으로 구비되게 할 수도 있다.The
급유 수단에서 공급 노즐(10)은 윤활유를 토출하게 되는 토출 단부로서, 공급 노즐(10)은 윤활유 공급 부위 즉 풀리 지지용 베어링 및 베어링 결합 부위에 단부가 위치되도록 한다.In the lubrication means, the
그리고 급유 밸브(20)는 공급 노즐(10)을 통한 윤활유의 토출을 단속하도록 하는 구성이며, 토출량 조절이 가능한 구조로 되도록 한다.And the
급유 밸브(20)는 특히 설비 관리자에 의한 수동 조작에 의해서 작동되게 할 수도 있고, 도시한 바와 같이 전기적인 작동에 의한 솔레노이드(21)를 이용하여 컨트롤러(22)에 의해 제어되게 함으로써 자동으로 조작되게 할 수도 있다.The
특히 자동 조작 타입의 급유 밸브(20)는 컨트롤러(22)에 의해서 이미 설정된 일정한 주기마다 일정 시간동안만 급유되도록 하는 것이 보다 바람직하다.In particular, it is more preferable that the automatic operation type
오일 탱크(30)는 항상 소정량의 윤활유를 수용하도록 하는 구성으로서, 충전이 용이한 위치에 구비되도록 하는 것이 바람직하다.The
급유 호스(40)는 오일 탱크(30)로부터 공급 노즐(10)에까지 윤활유가 유동할 수 있도록 하는 윤활유 유동 통로인 바 유연한 고무 호스를 사용할 수도 있고, PVC 파이프나 금속재의 관으로서 형성되게 할 수도 있다.The
또한 급유 호스(40)는 공급 노즐(10)과 오일 탱크(30) 사이에 구비되는 급유 밸브(20)의 위치에 따라서 공급 노즐(10)과 급유 밸브(20)를 연결하는 동시에 급유 밸브(20)와 오일 탱크(30)를 연결하도록 한다.In addition, the
한편 공급 노즐(10)은 기판 이송 장치에서 특히 마찰에 의한 마모가 발생할 가능성이 있는 부위에 복수개가 동시에 구비되는 구성으로도 형성이 가능하다.On the other hand, the
이와 같이 구성된 본 발명에 의한 작용에 대해서 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present invention configured as described above is as follows.
우선 본 발명은 오일 탱크(30)에 일정량의 윤활유가 충전되도록 하고, 도 3에서와 같이 공급 노즐(10)은 단부가 기판 이송 장치의 풀리(50) 및 풀리(60)를 지지하는 베어링(미도시)을 향해 고정되도록 한다.First, the present invention allows the
공급 노즐(10)과 오일 탱크(30)의 사이에는 급유 밸브(20)가 구비되어 있고, 급유 밸브(20)는 급유가 필요한 시점에 수동 또는 자동으로 작동되게 함으로써 윤 활 공급이 이루어지도록 한다.An
즉 일정 주기로 급유 밸브(20)를 일정 시간동안 개방되도록 하면 오일 탱크(30)로부터 미세한 양의 윤활유가 급유 밸브(20)를 거쳐 공급 노즐(10)를 통하여 필요로 하는 위치에 공급되도록 한다.That is, when the
이와 같이 윤활유는 직접 설비 관리자에 의해서 수동으로 미세 조정하여 적정량을 공급할 수도 있고, 컨트롤러(22)에 의해서 급유 밸브(20)를 작동시켜 자동으로 적정량이 공급되게 할 수도 있다.In this way, the lubricant may be manually finely adjusted by the facility manager to supply the appropriate amount, or the
이렇게 적정한 시기에 급유가 이루어지도록 하면 마찰 예상 부위에서의 마모를 최소화할 수가 있다.Lubrication at the right time can minimize wear at anticipated friction.
따라서 기판 이송 장치의 장기적인 구동에 의해 마찰이 예상되는 부위로 미리 윤활이 안정적으로 이루어지게 함으로써 풀리 및 베어링 마모에 따른 동력 전달이 안정적으로 정확하게 수행될 수 있도록 한다.Therefore, the lubrication is stably performed to the site where friction is expected by long-term driving of the substrate transfer device, so that power transmission due to pulley and bearing wear can be stably performed accurately.
다시 말해 기판 이송 장치를 지속적으로 구동시키다 보면 구동 부위에서는 부득이 면마찰이 발생할 수 밖에 없으며, 이중에서도 풀리(50)와 풀리(60)간 구동력 전달은 대단히 중요하다.In other words, when the substrate transfer device is continuously driven, the surface friction inevitably occurs in the driving portion, and the driving force transmission between the
특히 상호 벨트 등으로 연결되는 풀리(50)와 풀리(60) 중 적어도 어느 일측의 풀리에서 보다 마찰이 심하게 발생되면서 양 풀리(50)(60)으로 마찰 편차가 발생되면 결국 풀리를 통한 구동력 전달에 미세한 편차가 발생하게 되므로 정확한 기판 이송을 이룰 수가 없다.In particular, when friction occurs more seriously in at least one of the
이는 풀리를 지지하는 부위 및 베어링 결합 부위에서의 마찰력이 심화되면서 유발되는 현상이며, 이러한 마찰력 심화는 주로 윤활유 부족 등에 의해 초래되고 있으므로 현재는 주기적인 설비 점검(PM)에 의해 윤활유가 적절한 시기에 공급되도록 하여 이 부위에서의 마찰이 최소화되도록 하고 있다.This phenomenon is caused by the deepening of the frictional force at the part supporting the pulley and the bearing coupling part. Since the increased frictional force is mainly caused by the lack of lubricating oil, the lubricant is supplied at the appropriate time by the periodic equipment inspection (PM). This is to minimize the friction in this area.
이에 본 발명은 마찰이 심화되는 부위로 항상 윤활유가 적절하게 공급되게 함으로써 구동 부위에서의 부식 방지와 마찰이 최소화되도록 하여 설비 점검의 주기를 보다 지연시킬 수 있도록 한다.Accordingly, the present invention allows the lubricant to be properly supplied to the site where the friction is intensified, thereby preventing corrosion at the driving site and minimizing the friction, thereby further delaying the inspection cycle.
설비의 점검 주기를 연장시키게 되면 공정을 더욱 안정적으로 진행할 수가 있게 되어 더욱 생산성을 향상시킬 수가 있게 된다.Prolonging the inspection intervals of the equipment can make the process more stable and more productive.
특히 설비의 점검 횟수를 보다 줄일 수가 있도록 하여 인력 공수를 더욱 절약할 수가 있게 되므로 생산 효율을 더욱 증대시킬 수가 있게 된다.In particular, it is possible to further reduce the number of inspections of the facility to further reduce the labor manpower, thereby further increasing the production efficiency.
한편 상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다는 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. On the other hand, while many matters have been described in detail in the above description, they should be construed as illustrative of preferred embodiments rather than to limit the scope of the invention.
따라서 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.Therefore, the scope of the present invention should not be defined by the described embodiments, but should be determined by the technical spirit described in the claims.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 모터의 구동력을 전달하게 되는 풀리 및 풀리를 지지하는 베어링으로 일정한 주기마다 윤활유가 수동 또는 자동으로 공급되게 함으로써 이 부위에서의 마찰력을 최소화하여 안정된 구동력 전달이 이루어질 수 있도록 하는 동시에 설비 점검 주기를 더욱 연장시키면서 공수를 절감시켜 한층 경제적인 설비 관리 및 공정 수행이 이루어지도록 하며, 특히 안정적으로 공정을 진행할 수가 있게 되어 더욱 생산성을 향상시키는 유용한 효과를 제공한다.As described above, according to the present invention, as the bearing supporting the pulley and the pulley which transmits the driving force of the motor, the lubricant is supplied manually or automatically at regular intervals so as to minimize the frictional force at this site so that a stable driving force can be achieved. At the same time, the facility maintenance cycle and process execution are more economical by reducing the man-hours while extending the facility inspection cycle, and in particular, the process can be stably performed, thus providing a useful effect of improving productivity.
Claims (5)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050070534A KR20070016230A (en) | 2005-08-02 | 2005-08-02 | Apparatus for carrying substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050070534A KR20070016230A (en) | 2005-08-02 | 2005-08-02 | Apparatus for carrying substrate |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20070016230A true KR20070016230A (en) | 2007-02-08 |
Family
ID=43650460
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050070534A KR20070016230A (en) | 2005-08-02 | 2005-08-02 | Apparatus for carrying substrate |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20070016230A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100833711B1 (en) * | 2007-02-26 | 2008-05-29 | 주식회사 테라세미콘 | An apparatus for transferring substrate in large area substrate treating system |
CN116092992A (en) * | 2022-12-12 | 2023-05-09 | 苏州赛森电子科技有限公司 | Transmission assembly and silicon chip conveyor |
-
2005
- 2005-08-02 KR KR1020050070534A patent/KR20070016230A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100833711B1 (en) * | 2007-02-26 | 2008-05-29 | 주식회사 테라세미콘 | An apparatus for transferring substrate in large area substrate treating system |
CN116092992A (en) * | 2022-12-12 | 2023-05-09 | 苏州赛森电子科技有限公司 | Transmission assembly and silicon chip conveyor |
CN116092992B (en) * | 2022-12-12 | 2024-02-20 | 苏州赛森电子科技有限公司 | Transmission assembly and silicon chip conveyor |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9636719B2 (en) | Systems and methods for treating workpieces | |
CN105521964B (en) | Automatic cyclic cleaning antirust permutation equipment | |
CN107381048A (en) | Commutate conveying equipment and glass post-processing production line | |
KR20070016230A (en) | Apparatus for carrying substrate | |
KR100862987B1 (en) | Transferring apparatus of substrate | |
KR20140131736A (en) | load port module and method of loading a substrate into a process chamber using the same | |
KR100567136B1 (en) | Multi-type works transporting apparatus | |
CN100516984C (en) | Transfer apparatus | |
CN212170810U (en) | Automatic glazing device for toilet elbow | |
KR20090058342A (en) | Corner roller for feed supply system | |
CN105883362B (en) | A kind of coke storage and conveying equipment with reversing arrangement | |
KR20110047036A (en) | Water supply device of continuous ship unloader | |
KR20130013632A (en) | Water supply device for continuous ship unloader | |
KR101277497B1 (en) | Water supplying apparatus for ship | |
KR101405371B1 (en) | Automatic lubricator for conveyor | |
JPH05215300A (en) | Automatic connecting device for flexible pipeline and its control system | |
CN209777729U (en) | Movable feeding device | |
CN202645617U (en) | Automatic spraying device and coal mine transporting equipment | |
CN219276210U (en) | Hollow brick production raw material mixing device | |
KR102136067B1 (en) | Device for removing coal attached on chute | |
KR100460660B1 (en) | An apparatus for transferring splash cover | |
CN108313624A (en) | A kind of drag conveyor | |
CN220998049U (en) | Cleaning and lubricating device for chain of shuttle chain conveyor | |
KR102280069B1 (en) | Transfer device with extended life | |
CN219057941U (en) | Dust removal spraying angle modulation device of coal mining conveyor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WITN | Withdrawal due to no request for examination |