KR20070005783A - Float type area flow meter - Google Patents

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KR20070005783A
KR20070005783A KR1020050060786A KR20050060786A KR20070005783A KR 20070005783 A KR20070005783 A KR 20070005783A KR 1020050060786 A KR1020050060786 A KR 1020050060786A KR 20050060786 A KR20050060786 A KR 20050060786A KR 20070005783 A KR20070005783 A KR 20070005783A
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최민규
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삼성전자주식회사
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Abstract

A float type area flow meter is provided to measure exactly the flow rate by using an improved float structure. A float type area flow meter(10) includes a taper line and a float. A scale is marked on the taper line. The float(13) is inserted into the taper line. The float has weight. The float is formed like a cylinder type structure. The float has a flat upper end portion and a taper type lower end portion. The float type area flow meter further includes a digital display unit composed of a digital display element and a display cover. The digital display element is used for calculating exactly a flow rate on the basis of relation data between the position of the float and the flow rate. The display cover is installed at an outer portion of the digital display element.

Description

플로트형 면적 유량계{Float type area flow meter}Float type area flow meter

도 1은 일반적인 플로트형 면적 유량계를 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a view schematically showing a general float area flow meter.

도 2는 현재 사용되고 있는 플로트를 자세히 보여주는 도면이다. 2 is a view showing in detail the currently used float.

도 3은 본 발명의 실시예에 의한 플로트형 면적 유량계를 나타낸 도면이다.3 is a view showing a float area flow meter according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 플로트형 면적 유량계에 포함된 플로트를 자세히 보여주는 도면이다. 4 is a view showing in detail the float included in the float area meter of FIG.

도 5는 도 3의 플로트형 면적 유량계에 포함된 디지털표시부를 더 자세히 도시한 도면이다. 5 is a view illustrating in more detail the digital display included in the float area flow meter of FIG. 3.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10...플로트형 면적 유량계 12...테이퍼관10 ... float area flowmeter 12 ... taper pipe

13...플로트 16...눈금13 ... float 16 ... scale

18...니들 밸브 20...디지털표시부18 Needle valve 20 Digital display

20a...디지털표시장치 20b...표시부커버20a ... Digital display 20b ... Display cover

21...플로트 위치 측정센서 22...연산기21.Float position sensor 22 ... Operator

23...패널 장치23 ... Panel Unit

본 발명은 플로트형 면적 유량계에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유량을 보다 정확하게 측정할 수 있도록 플로트를 개량한 플로트형 면적 유량계에 관한 것이다.The present invention relates to a float area flow meter, and more particularly, to a float area flow meter in which a float is improved to more accurately measure a flow rate.

일반적으로 액체나 기체의 유량을 측정하는 데 사용되는 유량계는 다양한 형태의 것들이 사용되고 있는데, 그 중 플로트형 면적 유량계는 구조가 간단하면서도 유량계의 캘리브레이션(calibration)에 이용할 정도로 정밀도가 높아 여러 분야에서 폭넓게 사용되고 있다. 예를 들어, 반도체 소자 제조 장비 중 스핀 유닛(spin unit)에는 케미컬 공급 라인에 플로트형 면적 유량계를 사용하여, 현상액과 같이 유량의 변화로 슬롯(slot)의 CD 및 프로파일 등과 같은 중요한 품질 문제가 될 만한 위험 요소를 사전에 예방하며, 보다 정확한 유량을 분사하여 보다 나은 품질의 반도체 소자 제조를 도모하고 있다. In general, various types of flowmeters are used to measure the flow rate of liquid or gas, among which float area flowmeters are widely used in various fields because of their simple structure and high precision enough for the calibration of flowmeters. have. For example, the use of float area flowmeters in chemical supply lines for spin units in semiconductor device manufacturing equipment can lead to significant quality problems such as CD and profile of slots due to changes in flow rate, such as developer. In order to prevent possible risks in advance, more accurate flow rates are injected to promote the manufacture of better quality semiconductor devices.

도 1에 실제 설비에서 사용되고 있는 플로트형 면적 유량계(1)를 개략적으로 도시하였는데, 이것은 눈금(6)이 새겨진 테이퍼관(2)의 내부에 중량을 가지며 상·하로 움직일 수 있는 플로트(다른 말로 유량 조정 볼)(3)를 수직으로 삽입하고, 테이퍼관(2)의 하단과 상단에 유체의 입·출구(미도시)를 각각 형성한 구성이다. 테이퍼관(2) 하측의 입구로 유체를 유입시켜 유체가 상향으로 이동하면, 유속에 따라 플로트(3)의 상·하에 압력차가 발생한다. 이 압력차에 의하여 유속은 감소되어 플로트(3)의 상·하의 압력차와 유효중량이 균등한 지점에서 플로트(3)가 정지하게 된다. 유체의 유통면적과 유량은 비례관계에 있으므로 그 정지위치에 대응하는 테 이퍼관(2)의 눈금(6)을 읽어 유량을 가시적으로 측정할 수 있게 된다. 도시한 바와 같이, 니들 밸브(8)를 달아 시계 방향(CW) 또는 반시계 방향(CCW)으로 돌려 플로트(3)의 정지위치에 대응하는 테이퍼관(2)의 눈금(6)을 읽어 가면서 유량을 조절할 수 있다. Fig. 1 schematically shows a float area flow meter 1 used in an actual installation, which has a weight inside the tapered pipe 2 with a scale 6 engraved therein and is capable of moving up and down (in other words, flow rate). The adjustment ball) 3 is inserted vertically, and the inlet_outlet (not shown) of the fluid was formed in the lower end and upper end of the taper pipe 2, respectively. When a fluid flows in the inlet below the taper pipe 2, and a fluid moves upward, a pressure difference generate | occur | produces above and below the float 3 according to a flow velocity. Due to this pressure difference, the flow velocity is reduced, and the float 3 stops at a point where the pressure difference between the upper and lower pressures of the float 3 and the effective weight are equal. Since the flow area of the fluid and the flow rate are in proportional relationship, the flow rate can be measured visually by reading the scale 6 of the taper pipe 2 corresponding to the stop position. As shown, the needle valve 8 is attached and turned clockwise (CW) or counterclockwise (CCW) while reading the scale 6 of the tapered pipe 2 corresponding to the stop position of the float 3. Can be adjusted.

그런데, 현재 사용되고 있는 플로트(3)는 도 2에 더 자세히 도시한 바와 같이, 상위 부분이 넓은 직사각형의 구조(3')로 두껍게 제작되어 있다. 따라서, 직사각형 구조(3')의 최상면을 기준으로 눈금을 읽게끔 하고 있으나, 직사각형 구조(3')의 최하면을 읽는 사람도 있는 등, 직사각형 구조(3')의 두께로 인해 사용자마다 눈금을 읽는 기준이 달라 플로트(3) 조정 방식이 달라진다. 이 때문에 사용자마다 케미컬 유량이 다르게 조정되며, 정확한 조정을 할 수 없어 실제 분사되는 유량과도 다르게 분사되는 경우가 많다. 또한, 이러한 플로트형 면적 유량계(1)는 눈금(6)에 의해서만 유량을 단순히 가시적으로 확인할 수 있어 유량 확인에 시간이 걸리고 불편하다. By the way, the float 3 currently used is thickly manufactured by the rectangular structure 3 'of the upper part as shown in more detail in FIG. Therefore, although the scale is read based on the top surface of the rectangular structure 3 ', some people read the bottom surface of the rectangular structure 3'. The reading criteria are different and the float 3 adjustment method is different. For this reason, the chemical flow rate is adjusted differently for each user, and in many cases, the injection rate is different from the actual flow rate because the precise adjustment cannot be performed. In addition, such a float area flow meter 1 can only visually check the flow rate only by the scale 6, so it takes time and inconvenience to check the flow rate.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 유량을 보다 정확히 측정할 수 있도록 플로트를 개선한 플로트형 면적 유량계를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in an effort to solve a conventional problem, and to provide a float type area flow meter with improved float to more accurately measure a flow rate.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 플로트형 면적 유량계는 눈금이 새겨진 테이퍼관의 내부에 중량을 갖는 플로트를 삽입한 플로트형 면적 유량계에 있어서, 상기 플로트가 상단이 평평하고 대체로 원통형이며 하단부가 테이퍼진 형상인 것이 특징이다. In order to achieve the above technical problem, a float area flow meter according to the present invention is a float area flow meter in which a float having a weight is inserted into a tapered pipe having a scale, wherein the float has a flat top, a generally cylindrical shape, and a lower end. Is a tapered shape.

바람직한 실시예에서, 본 발명에 따른 플로트형 면적 유량계는 디지털표시부를 더 포함한다. 상기 디지털표시부는 그로부터 상기 플로트까지의 거리와 유량간의 관계 데이터가 입력되며 상기 플로트의 위치를 측정하여 거리-유량 관계 데이터로부터 유량을 산출하여 출력하는 디지털표시장치와 상기 디지털표시장치의 외측에 구비된 표시부커버로 구성된다. In a preferred embodiment, the float area flow meter according to the invention further comprises a digital display. The digital display unit is provided with a relationship between the distance from the float and the flow rate data, and the digital display device for measuring the position of the float to calculate and output the flow rate from the distance-flow rate data and the outside of the digital display device It consists of a display part cover.

상기 디지털표시장치는, 상기 테이퍼관의 직상부에 위치하여 그와 상기 플로트간의 거리를 측정하며 측정값을 전기적 신호로 출력하는 플로트 위치 측정센서와, 상기 플로트 위치 측정센서와 상기 플로트간의 거리와 유량에 대한 관계 데이터가 입력되며 상기 플로트 위치 측정센서와 전기적으로 연결되어 그 측정신호를 상기 거리-유량 관계 데이터와 비교 연산하여 현재의 유량을 산출하는 연산기 및, 상기 산출된 유량을 표시하는 패널 장치로 이루어진다.The digital display device includes a float position measuring sensor positioned directly above the tapered tube and measuring a distance between the float and the float and outputting a measured value as an electrical signal, and a distance and flow rate between the float position measuring sensor and the float. And a calculator which is connected to the float position measuring sensor and is electrically connected to the float position measuring sensor to calculate the current flow rate by comparing the measured signal with the distance-flow rate relationship data, and a panel device displaying the calculated flow rate. Is done.

상기 플로트 위치 측정센서는 레이저 센서 또는 초음파 센서일 수 있다. The float position measuring sensor may be a laser sensor or an ultrasonic sensor.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어져서는 안된다. 본 발명의 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 도면상에서 동일한 부호로 표시된 요소는 동일한 요소를 의미한다. 도면에서의 다양한 요소와 영역은 개략적으 로 그려진 것이다. 따라서, 본 발명은 첨부한 도면에 그려진 상대적인 크기나 간격에 의해 제한되어지지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, embodiments of the present invention may be modified in many different forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. The embodiments of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Elements denoted by the same reference numerals in the drawings means the same element. Various elements and regions in the drawings are schematically drawn. Accordingly, the present invention is not limited by the relative size or spacing drawn in the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 실시예에 의한 플로트형 면적 유량계를 나타낸 도면이고, 도 4는 도 3의 플로트형 면적 유량계에 포함된 플로트를 자세히 보여주는 도면이다. 도 5는 도 3의 플로트형 면적 유량계에 포함된 디지털표시부를 더 자세히 도시한 도면이다. 3 is a view showing a float area flow meter according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a view showing in detail the float included in the float area flow meter of FIG. 5 is a view illustrating in more detail the digital display included in the float area flow meter of FIG. 3.

먼저 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 플로트형 면적 유량계(10)는 기본적으로 잘 알려진 플로트형 면적 유량계의 원리에 충실하게, 눈금(16)이 새겨진 테이퍼관(12)의 내부에 중량을 가지며 상·하로 움직일 수 있는 플로트(다른 말로 유량 조정 볼)(13)를 수직으로 삽입한 것이다. 테이퍼관(12)의 하단과 상단에 유체의 입·출구(미도시)를 각각 형성한다. 테이퍼관(12) 하측의 입구로 유체를 유입시켜 유체가 상향으로 이동하면 유속에 따라 플로트(13)의 상·하에 압력차가 발생한다. 이 압력차에 의하여 유속은 감소되어 플로트(13)의 상·하의 압력차와 유효중량이 균등한 지점에서 플로트(13)가 정지하게 된다. 유체의 유통면적과 유량은 비례관계에 있으므로 그 정지위치에 대응하는 테이퍼관(12)의 눈금(16)을 읽어 유량을 가시적으로 측정할 수 있게 된다. 도시한 바와 같이 니들 밸브(18)를 달아 시계 방향(CW) 또는 반시계 방향(CCW)으로 돌려 플로트(13)의 정지위치에 대응하는 테이퍼관(12)의 눈금(16)을 읽어 가면서 유량을 조절할 수 있다. Referring first to FIG. 3, a float area flow meter 10 according to an embodiment of the present invention basically adheres to the well-known principle of float area flow meters, and is inside the tapered tube 12 engraved with a scale 16. A float (in other words, a flow adjusting ball) 13 having a weight and movable up and down is inserted vertically. Fluid inlets and outlets (not shown) are formed at the lower and upper ends of the tapered pipe 12, respectively. When the fluid flows upward through the inlet of the lower side of the taper pipe 12, a pressure difference arises in the up and down of the float 13 according to the flow velocity. By this pressure difference, the flow velocity is reduced, and the float 13 stops at a point where the pressure difference between the upper and lower pressures of the float 13 and the effective weight are equal. Since the flow area of the fluid and the flow rate are proportional to each other, the flow rate can be measured visually by reading the scale 16 of the tapered pipe 12 corresponding to the stop position. As shown in the drawing, the needle valve 18 is attached and turned clockwise (CW) or counterclockwise (CCW) while reading the scale 16 of the tapered pipe 12 corresponding to the stop position of the float 13. I can regulate it.

도 4에 더 자세히 도시한 바와 같이, 플로트(13)는 상단이 평평하고 대체로 원통형이며 하단부가 테이퍼진 형상이다. 이와 같이, 플로트(13) 상단을 기존 두 꺼운 형태를 없애고 도면과 같이 좌우 평면을 이루도록 평평하게 개선을 하면 보다 정확한 유량 조정이 가능하여, 품질 관련 사고를 사전에 예방할 수 있다.As shown in more detail in FIG. 4, the float 13 is flat at the top, generally cylindrical and tapered at the bottom. As such, if the top of the float 13 is removed to improve the flatness to form the left and right planes as shown in the figure, the more accurate flow rate adjustment, it is possible to prevent quality-related accidents in advance.

한편, 도 3에 도시한 바와 같이, 플로트형 면적 유량계(10)는 디지털표시부(20)를 더 포함할 수 있다. 디지털표시부(20)는 도시한 바와 같이, 예컨대 테이퍼관(13)의 직상부, 즉 출구측에 장착될 수 있으며, 그로부터 플로트(13)까지의 거리와 유량간의 관계 데이터가 입력되며 플로트(13)의 위치를 측정하여 거리-유량 관계 데이터로부터 유량을 산출하여 출력하는 디지털표시장치(20a)와 이 디지털표시장치(20a)의 외측에 구비된 표시부커버(20b)로 구성된다. Meanwhile, as shown in FIG. 3, the float area flow meter 10 may further include a digital display unit 20. As shown, the digital display unit 20 can be mounted, for example, directly above the tapered tube 13, i.e., on the outlet side, and the relationship data between the distance from the float 13 to the float 13 and the flow rate therein is inputted and the float 13 And a display part cover 20b provided on the outside of the digital display device 20a for measuring the position of the digital display device 20a for calculating and outputting a flow rate from the distance-flow rate relationship data.

도 5는 디지털표시부(20)를 더 자세히 도시한 도면이다. 5 illustrates the digital display 20 in more detail.

디지털표시장치(20a)는, 테이퍼관(12)의 직상부에 위치하여 그와 플로트(3)간의 거리를 측정하며 측정값을 전기적 신호로 출력하는 플로트 위치 측정센서(21)와, 플로트 위치 측정센서(21)와 플로트(13)간의 거리와 유량에 대한 관계 데이터가 입력되며 플로트 위치 측정센서(21)와 전기적으로 연결되어 그 측정신호를 거리-유량 관계 데이터와 비교 연산하여 현재의 유량을 산출하는 연산기(22) 및, 산출된 유량을 표시하는 패널 장치(23)로 이루어진다. 플로트 위치 측정센서(21)는 레이저 센서 또는 초음파 센서일 수 있다. The digital display device 20a is located directly above the tapered tube 12 and measures the distance between the float 3 and the float position measuring sensor 21 for outputting the measured value as an electrical signal, and the float position measurement. The relationship data about the distance and flow rate between the sensor 21 and the float 13 is input, and is electrically connected to the float position measuring sensor 21 to calculate the current flow rate by comparing the measured signal with the distance-flow rate relationship data. It consists of the calculator 22 and the panel apparatus 23 which display the calculated flow volume. The float position measuring sensor 21 may be a laser sensor or an ultrasonic sensor.

앞에서 설명한 바와 같이, 테이퍼관(12) 하측의 입구로부터 유체가 상향으로 이동하면 유속에 따라 플로트(13)의 상·하에 압력차가 발생한다. 이 압력차에 의하여 유속은 감소되어 플로트(13)의 상·하의 압력차와 유효중량이 균등한 지점에서 플로트(13)가 정지하게 된다. As described above, when the fluid moves upward from the inlet under the tapered pipe 12, a pressure difference is generated above and below the float 13 in accordance with the flow velocity. By this pressure difference, the flow velocity is reduced, and the float 13 stops at a point where the pressure difference between the upper and lower pressures of the float 13 and the effective weight are equal.

종래에는 플로트(13)의 정지위치에 대응하는 테이퍼관(12)의 눈금(16)을 읽어 유량을 가시적으로만 측정할 수 있었으나, 본 발명의 실시예에서는 임의의 위치에 정지한 플로트(13)에 대해 플로트 위치 측정센서(21)가 레이저나 초음파를 조사하여 플로트 위치 측정센서(21)와 플로트(13)간의 거리를 측정한 뒤, 그 측정값을 전기적인 신호로서 연산기(22)에 출력한다. 이와 같이 출력된 아날로그 측정신호는 연산기(22)에서 디지털 신호로 바뀐다. 연산기(22)에는 플로트 위치 측정센서(21)와 플로트(13)간의 거리와 유량에 대한 관계 데이터가 입력되어 있어, 디지털 신호를 거리-유량 관계 데이터와 비교 연산하여 현재의 유량을 산출한다. 그리고, 이와 같이 산출된 유량값은 패널 장치(23)에 표시된다. Conventionally, the flow rate was only measured visually by reading the scale 16 of the tapered pipe 12 corresponding to the stop position of the float 13, but in the embodiment of the present invention, the float 13 stopped at an arbitrary position. The float position measuring sensor 21 irradiates a laser or ultrasonic wave to measure the distance between the float position measuring sensor 21 and the float 13, and then outputs the measured value as an electrical signal to the calculator 22. . The analog measurement signal output as described above is converted into a digital signal by the calculator 22. The calculator 22 receives relationship data on the flow rate and the distance between the float position measuring sensor 21 and the float 13, and calculates the current flow rate by comparing the digital signal with the distance-flow rate relationship data. The flow rate value calculated in this way is displayed on the panel device 23.

따라서, 디지털표시장치(20a)를 구비하여 실제 분사되는 유량을 표시화하면 평상시에도 정확한 설비 모니터링이 가능하며, 품질 관련 사고를 사전에 예방할 수 있다. 그리고, 사용자마다 다르게 유량 조정하던 것을 표준화시킬 수 있다. Therefore, by displaying the actual flow rate is provided with a digital display device (20a) it is possible to accurately monitor the equipment in normal times, it is possible to prevent quality-related accidents in advance. And, it is possible to standardize the flow rate adjustment differently for each user.

이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 많은 변형이 가능함은 명백하다. In the above, the present invention has been described in detail with reference to preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made by those skilled in the art within the technical idea of the present invention. Is obvious.

상술한 본 발명에 따르면, 플로트 상단을 기존 두꺼운 형태를 없애고 좌우 평면을 이루도록 평평하게 개선을 하면 보다 정확한 유량 조정이 가능하여, 품질 관련 사고를 사전에 예방할 수 있다.According to the present invention described above, if the top of the float is improved to remove the existing thick form to form a left and right plane more precise flow rate adjustment, it is possible to prevent quality-related accidents in advance.

또한 디지털표시장치를 더 장착하면 실제 분사되는 유량을 표시화하여 평상 시에도 정확한 설비 모니터링이 가능하며, 품질 관련 사고를 사전에 예방할 수 있다. 그리고, 사용자마다 다르게 유량 조정하던 것을 표준화시킬 수 있다. In addition, if the digital display device is further installed, the actual flow rate is displayed to enable accurate facility monitoring in normal times, and prevent quality-related accidents in advance. And, it is possible to standardize the flow rate adjustment differently for each user.

Claims (4)

눈금이 새겨진 테이퍼관의 내부에 중량을 갖는 플로트를 삽입한 플로트형 면적 유량계에 있어서,In a float area flow meter in which a float having a weight is inserted into a graduated tapered pipe, 상기 플로트는 상단이 평평하고 대체로 원통형이며 하단부가 테이퍼진 형상인 것을 특징으로 하는 플로트형 면적 유량계.And said float has a flat top, a generally cylindrical shape, and a bottom tapered shape. 제1항에 있어서, 상기 플로트까지의 거리와 유량간의 관계 데이터가 입력되며 상기 플로트의 위치를 측정하여 거리-유량 관계 데이터로부터 유량을 산출하여 출력하는 디지털표시장치와 상기 디지털표시장치의 외측에 구비된 표시부커버로 구성되는 디지털표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플로트형 면적 유량계. The digital display device according to claim 1, wherein the relationship data between the distance to the float and the flow rate is input, and is provided outside the digital display device and the digital display device for measuring the position of the float and calculating and outputting the flow rate from the distance-flow rate data. A float type flowmeter, further comprising a digital display configured as a display cover. 제2항에 있어서, 상기 디지털표시장치는, 상기 테이퍼관의 직상부에 위치하여 그와 상기 플로트간의 거리를 측정하며 측정값을 전기적 신호로 출력하는 플로트 위치 측정센서와, 상기 플로트 위치 측정센서와 상기 플로트간의 거리와 유량에 대한 관계 데이터가 입력되며 상기 플로트 위치 측정센서와 전기적으로 연결되어 그 측정신호를 상기 거리-유량 관계 데이터와 비교 연산하여 현재의 유량을 산출하는 연산기 및, 상기 산출된 유량을 표시하는 패널 장치로 이루어진 것을 특징으로 하는 플로트형 면적 유량계.The apparatus of claim 2, wherein the digital display device comprises: a float position measuring sensor positioned directly on the tapered tube, measuring a distance between the float and the float, and outputting a measured value as an electrical signal; A calculator for inputting relationship data on the distance between the float and the flow rate and electrically connecting the float position measuring sensor to calculate the current flow rate by comparing the measured signal with the distance-flow rate relationship data; and the calculated flow rate Float type area flow meter, characterized in that consisting of a panel device for displaying. 제3항에 있어서, 상기 플로트 위치 측정센서는 레이저 센서 또는 초음파 센서인 것을 특징으로 하는 플로트형 면적 유량계.The float area flow meter according to claim 3, wherein the float position measuring sensor is a laser sensor or an ultrasonic sensor.
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