KR20060136483A - Pleated-Type Cartridge Filter Device - Google Patents
Pleated-Type Cartridge Filter Device Download PDFInfo
- Publication number
- KR20060136483A KR20060136483A KR1020067023814A KR20067023814A KR20060136483A KR 20060136483 A KR20060136483 A KR 20060136483A KR 1020067023814 A KR1020067023814 A KR 1020067023814A KR 20067023814 A KR20067023814 A KR 20067023814A KR 20060136483 A KR20060136483 A KR 20060136483A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- filter
- folding
- filter material
- sides
- core
- Prior art date
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 77
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims abstract description 33
- 210000000988 Bone and Bones Anatomy 0.000 claims abstract description 18
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 abstract description 31
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 16
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 13
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 13
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 8
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 8
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 8
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 7
- -1 Polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- 229920000006 Perfluoroalkoxy alkane Polymers 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 4
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 4
- SCKXCAADGDQQCS-UHFFFAOYSA-N performic acid Chemical compound OOC=O SCKXCAADGDQQCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000840 ETFE Polymers 0.000 description 2
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene (PE) Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 241000282890 Sus Species 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- QHSJIZLJUFMIFP-UHFFFAOYSA-N ethene;1,1,2,2-tetrafluoroethene Chemical compound C=C.FC(F)=C(F)F QHSJIZLJUFMIFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 229920000131 polyvinylidene Polymers 0.000 description 1
- 239000008213 purified water Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Abstract
본 발명에 따르면, 여과 효율이 높고, 필터 수명도 길며, 저렴하게 제조할 수 있는 카트리지 필터 장치를 제공한다. 여과재, 코어, 슬리브 및 2개의 엔드 캡(상하 마개부)을 갖는 아웃-인-패스 방식의 플리츠 카트리지 필터 장치에 있어서, 플리츠 폴딩에 직교하는 필터재 단면 중에는 1개의 산 폴딩선 (a), 그 양측에 2개의 골 폴딩선 (b) 및 그 양측에 2개의 산 폴딩선 (c)가 존재하여 슬리브측의 1개의 낮은 산부, 그 양측 코어측의 2개의 골부, 및 그 양측의 슬리브측의 2개의 높은 산부가 형성되어 있는 W자형 부분을 포함하는 카트리지 필터 장치이다.According to the present invention, there is provided a cartridge filter device having high filtration efficiency, long filter life and low cost. In the out-in-pass pleated cartridge filter device having a filter material, a core, a sleeve, and two end caps (upper and lower caps), one acid folding line (a) is provided in the filter material cross section orthogonal to the pleat folding. There are two bone folding lines (b) on both sides and two acid folding lines (c) on both sides, so that one low peak on the sleeve side, two valleys on both core sides, and two on the sleeve side on both sides A cartridge filter device comprising a W-shaped portion in which two high peaks are formed.
카트리지 필터 장치, 사각 필터재, 앤드캡, 플리츠 폴딩 Cartridge filter unit, square filter element, end cap, pleat folding
Description
본 발명은 여과 효율이 높고, 필터 수명이 긴 플리츠형 카트리지 필터 장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 여과에 기여하는 필터 면적이 증대된, 저렴하게 제조할 수 있는 플리츠형 카트리지 필터 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a pleated cartridge filter device having high filtration efficiency and a long filter life. More particularly, the present invention relates to a pleated cartridge filter device that can be manufactured at low cost, with an increased filter area contributing to filtration.
필터는 각종 유체 중의 이물질ㆍ입자의 분리 처리에 사용되고 있으며, 목적으로 하는 이물질ㆍ입자를 포착할 수 있고, 사용이 간단ㆍ간편하며, 입자의 유지 능력(수용 용량)이 높은, 즉 사용 수명이 긴 기능이 요구되고 있다. 이러한 필터로서 부직포 또는 막상 시트(멤브레인)가 플리츠형으로 폴딩된 플리츠형 필터가 알려져 있다. 플리츠형 필터는 여과 면적을 크게 제조할 수 있다는 점에서 장점이 있다.The filter is used to separate foreign matters and particles in various fluids, and it is possible to capture the foreign matters and particles of interest, is simple and easy to use, and has a high retention capacity (capacity) of particles, that is, a long service life. Function is required. As such a filter, a pleated filter in which a nonwoven fabric or a membrane sheet (membrane) is folded into a pleated form is known. The pleated filter has an advantage in that the filtration area can be made large.
필터의 용도로서는 차량용 오일, 공기 여과 장치 등의 비교적 간단한 것에서부터 반도체 장치 제조용 웨이퍼의 세정이나 포토레지스트 여과, 의료 분야에서의 여과 등의 정밀한 것까지 여러 분야에 걸쳐 있다. 특히 정밀한 필터가 요구되는 반도체 분야에서는, 최근 LSI의 집적도가 향상됨에 따라 보다 미세한 배선폭이 요구되고 있으며, LSI의 패터닝을 행하는 제조 공정에서의 매우 미세한 이물질의 배제 기술이 요구되고 있다. 패터닝은 일반적으로는 포토레지스트를 실리콘 웨이퍼 에 적용하고, 노광부와 비노광부의 현상액에 대한 용해도 차이를 이용하여 행해지는 것인데, 웨이퍼 상이나 레지스트액에 이물질이 혼입되면, 설계대로의 선폭으로 패터닝할 수 없어 불량의 원인이 된다. 예를 들면, 현재에는 여과 후의 포토레지스트액 중에 0.05 ㎛ 정도의 이물질이 잔존해도 결함ㆍ배선 불량 등의 원인이 된다. 그러나, 포토레지스트액은, 통상은 체류, 장시간의 방치에 의해 겔을 발생하기 쉬운 성질을 갖고 있기 때문에, 포토레지스트액을 실리콘 웨이퍼에 도포하여 감광시키기 전에 포토레지스트액 중에 겔이 발생하게 된다(여기서, 겔이란 포토레지스트 중에서 그 일부가 변질된 감광성 물질과는 상이한 것을 말함). 이러한 겔이 포토레지스트액 중에 존재하는 경우에는, 실리콘 웨이퍼 상의 포토레지스트막에는 감광 동안 현상액에 용해되어야 하는 패턴에 미용해된 이물질이 남아 패턴 결함을 일으키게 된다.The use of the filter covers a variety of fields, from relatively simple ones such as vehicle oils and air filtration devices to precise ones such as cleaning wafers for semiconductor device manufacturing, photoresist filtration, and filtration in medical fields. Particularly in the semiconductor field requiring precise filters, finer wiring widths are required as the degree of integration of the LSI is improved recently, and a technique for removing very fine foreign substances in the manufacturing process for patterning the LSI is required. Patterning is generally performed by applying a photoresist to a silicon wafer and using a difference in solubility in the developer of the exposed portion and the non-exposed portion. There is no cause for failure. For example, even if foreign matters of about 0.05 mu m remain in the photoresist liquid after filtration, it may cause defects and poor wiring. However, since the photoresist liquid generally has a property of easily generating a gel by staying and standing for a long time, the gel is generated in the photoresist liquid before the photoresist liquid is applied to the silicon wafer and subjected to photoresist (here Gel refers to a photoresist that is partially different in photoresist). When such a gel is present in the photoresist solution, foreign matters that are undissolved in the pattern that must be dissolved in the developing solution during the photoresist remain in the photoresist film on the silicon wafer, causing pattern defects.
상기와 같은 초미세 입자ㆍ이물질을 제거하기 위한 필터재는 매우 고가이며, 필터재의 사용량은 사용 중에 막힘을 일으키지 않을 정도로 넓은 여과 면적의 범위 내에서 될 수 있는 한 절약하는 것이 바람직하다. 여기서, 필터를 투과하지 않는 입자가 실제로 퇴적되는 부분의 면적을 유효 여과 면적이라고 한다. The filter material for removing ultrafine particles and foreign matters as described above is very expensive, and it is desirable to save the amount of the filter material used as long as it can be within the range of a filtration area large enough not to cause clogging during use. Here, the area of the part where the particle | grains which do not permeate a filter actually accumulate is called an effective filtration area.
통상, 막힘을 방지하여 사용 가능 기간(수명)을 연장하기 위해 유효 여과 면적을 넓히기 위해서는, 사용하는 필터재 면적을 넓히는 방법이 행해지고 있다. 그러나, 통상의 플리츠 폴딩은 높이가 균일한 산으로 구성되기 때문에, 사용 필터재 면적을 넓히기 위해서는 플리츠 폴딩 산의 측면끼리 접촉하도록 필터가 긴밀하게 폴딩될 필요가 있었다. 도 4는 통상적인 플리츠 폴딩 필터의 일례의 단면도이며, 도면의 상류(또는 외측)로부터 피여과 유체가 공급되어 하류(또는 내측)로 여과액이 유출된다. 도 4에서는 산 폴딩선 및 골 폴딩선의 높이가 각각 일정하며, 골 폴딩선은 모두 여과액측 코어에 접촉하도록 설계되어 있다. 이러한 긴밀하게 폴딩된 필터에 의해 이물질 입자를 포함하고 있는 유체를 여과하면, 필터를 투과하지 않은 입자가 폴딩 산의 상측부에만 퇴적되어 막힘을 일으키고, 폴딩된 부분은 유효하게 기능하지 않으며(유효 여과 면적이 좁으며), 결과적으로 필터로서의 수명이 짧아진다는 문제가 있었다(도 4 참조). Usually, in order to enlarge the effective filtration area in order to prevent clogging and to extend the usable period (life time), the method of extending the filter material area to be used is performed. However, since the normal pleat folding is composed of a hill with a uniform height, the filter needs to be closely folded so as to contact the sides of the pleat folding hill in order to increase the area of the filter material used. 4 is a cross-sectional view of an example of a conventional pleated folding filter, in which a filtrate fluid is supplied from upstream (or outside) of the figure, and the filtrate flows out downstream (or inside). In FIG. 4, the heights of the acid folding line and the bone folding line are constant, respectively, and the bone folding lines are all designed to contact the filtrate side core. When the fluid containing the foreign matter particles is filtered by such a tightly folded filter, particles that do not penetrate the filter are deposited only on the upper side of the folding acid, causing clogging, and the folded portion does not function effectively (effective filtration). The area is narrow), and as a result, there is a problem that the lifetime as a filter is shortened (see Fig. 4).
또한, 아웃-인-패스 방식의 플리츠 폴딩 필터재에서의 통상적인 플리츠 폴딩의 변형으로서, 슬리브와 마주하는 일부의 산의 정상부의 산 폴딩선을 V자형 골 폴딩으로 전환하여 M자형으로 하여, 모든 산의 정상부 높이를 일정하게 한 구성도 제안되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1). 특허 문헌 1의 필터재는, 원통형 필터재에 있어서 균일 플리츠 폴딩을 행한 경우, 내주측(코어측)이 조밀해지고, 외주측(슬리브측)이 비조밀하게 되어 필연적으로 생기는 외주측의 공간을 유효하게 이용하여 사용 필터재 면적을 넓히기 위한 구성이다(도 5 참조). 따라서, 특허 문헌 1의 여과재는 내주측이나 외주측이 모두 조밀해지는 구성이기 때문에, 필터는 더 긴밀하게 폴딩되어 유효 여과 면적이 보다 좁아지게 되어 있다.Further, as a variation of the conventional pleat folding in the pleated folding filter material of the out-in-pass method, the acid folding line at the top of a part of the mountain facing the sleeve is converted into a V-shaped bone folding to make an M shape. The structure which made the height of the top of a mountain constant is also proposed (for example, patent document 1). In the filter material of
특허 문헌 1: 일본 실용신안 공개 (소)62-87710호 공보Patent Document 1: Japanese Utility Model Publication No. 62-87710
상기한 바와 같이, 유효 여과 면적을 넓히고, 실제로 사용하는 필터재 면적을 절약하는 방법이 요구되고 있었지만, 필터 장치의 슬리브 외경이나 높이 등의 외경 치수는 호환성이 있도록 제작되어 있기 때문에, 외경 치수를 변경하지 않고 이들 목적을 달성할 필요가 있었다. As mentioned above, the method of increasing the effective filtration area and saving the area of the filter material actually used was calculated | required. However, since outer diameter dimensions, such as the sleeve outer diameter and height of a filter device, are manufactured for compatibility, the outer diameter dimension is changed. It was necessary to achieve these purposes.
본 발명은 사각 필터재를 플리츠형으로 폴딩하고, 필터재의 플리츠 폴딩에 평행한 양단을 서로 밀봉하여 실질적으로 원통형으로서 얻어진 여과재와, 코어(다공질 안쪽통)와, 슬리브(다공질 바깥쪽통)와, 2개의 엔드 캡(상하 마개부)을 가지며, 상기 코어와 슬리브 사이에 상기 여과재를 삽입하여 상하 엔드 캡 사이에 끼워 여과재의 상하 단연부 부분을 엔드 캡에 액밀하게 열 용착하여 슬리브측에서부터 코어측 방향으로 피여과액을 흐르게 하는, 이른바 아웃-인-패스 방식의 카트리지 필터 장치에 있어서, 플리츠 폴딩에 직교하는 필터재 단면 중에는 1개의 산 폴딩선 (a), 그 양측에 2개의 골 폴딩선 (b) 및 그 양측에 2개의 산 폴딩선 (c)가 존재하여 슬리브측의 1개의 낮은 산부, 그 양측 코어측의 2개의 골부, 및 그 양측 슬리브측의 2개의 높은 산부가 형성되어 있는 W자형 부분을 포함하는 카트리지 필터 장치에 관한 것이다. The present invention is a filter medium obtained by folding a rectangular filter material into a pleated form and sealing both ends parallel to the pleat folding of the filter material to be substantially cylindrical, a core (porous inner cylinder), a sleeve (porous outer cylinder), 2 End caps (upper and lower caps), and the filter medium is inserted between the core and the sleeve and sandwiched between the upper and lower end caps to heat-weld the upper and lower edge portions of the filter material to the end caps from the sleeve side to the core side. In the so-called out-in-pass cartridge filter device for flowing a filtrate, one acid folding line (a), two bone folding lines (b) on both sides thereof, and a filter material cross section orthogonal to pleat folding There are two acid folding lines (c) on both sides to form one low peak on the sleeve side, two valleys on both core sides, and two high peaks on both sleeve sides. It relates to a filter cartridge device comprising a word W-shaped portion.
상기 필터재 중 적어도 한쪽면에 서포트재가 사용될 수도 있다.A support material may be used on at least one side of the filter material.
상기 낮은 산부를 형성하는 산 폴딩부 (a)와 골 폴딩부 (b)의 간격 A (mm)와, 높은 산부를 형성하는 골 폴딩부 (b)와 산 폴딩부 (c)의 간격 B (mm)의 비율(A/B)은 0.3 이상 1 미만인 것이 바람직하다. The distance A (mm) between the acid folding portion (a) and the bone folding portion (b) forming the lower peak portion, and the distance B (mm) between the bone folding portion (b) and the acid folding portion (c) forming the high peak portion. (A / B) is preferably 0.3 or more and less than 1.
상기 코어의 외경 D (mm)와, 필터재 및 서포트재의 총 두께 t (mm)에 대한 필터재의 골 폴딩선의 총수 n은, n=(πD/2t)×(1.1 내지 1.9)의 관계에 있는 것이 바람직하다. The outer diameter D (mm) of the core and the total number n of bone folding lines of the filter material with respect to the total thickness t (mm) of the filter material and the support material have a relationship of n = (πD / 2t) × (1.1 to 1.9) desirable.
또한, 「산의 높이」란, 여과재가 수용된 상태의 플리츠 폴딩에 직교하는 필터의 절단면에 있어서, 산 폴딩선으로부터 양측의 인접한 골 폴딩선끼리를 연결하는 선에 수직으로 내린 선과의 직교점까지의 거리를 말한다. 또한, 여과재가 수용된 상태에서 플리츠 폴딩에 직교하는 필터의 절단면의 모든 골 폴딩부를 통과하는 선은 코어 주위에 하나의 원주를 그린다. In addition, "mount | height of a mountain" is the cut surface of the filter orthogonal to pleat folding of the state in which the filter medium was accommodated, and it is from the acid folding line to the perpendicular point with the line perpendicular | vertical to the line which connects adjacent bone folding lines of both sides. Say the distance. In addition, the line passing through all the bone folding portions of the cut surface of the filter orthogonal to the pleat folding with the filter medium drawn draws one circumference around the core.
<발명의 효과>Effect of the Invention
본 발명의 플리츠형 카트리지 필터 장치의 필터는, 높은 산과 높은 산 사이에 낮은 산이 포함되기 때문에, 여과에 기여하는 필터 면적이 종래 기술에 비하여 증대되어 있다. 종래 기술에 따르면, 필터 면적을 증대시키기 위해서는 될 수 있는 한 넓은 면적의 필터를 필터 장치 내에 충전할 필요가 있었다. 그러나, 본 발명에서는 의외로 좁은 필터 면적(적은 충전량)으로 여과 효율이 높고, 필터 수명도 긴 효과가 얻어진다. 또한, 여과 효율이 양호하기 때문에, 사용하는 필터재가 적어도 되며, 원재료비가 저렴해지고, 부가적으로 여과재당 플리츠 가공 조작이 적어지기 때문에 제조 시간이 단축된다. In the filter of the pleated cartridge filter device of the present invention, since a low acid is contained between a high acid and a high acid, the filter area which contributes to filtration is increased compared with the prior art. According to the prior art, in order to increase the filter area, it was necessary to fill the filter device with as large an area as possible. However, in the present invention, an effect of surprisingly narrow filter area (small filling amount) and high filtration efficiency and long filter life is obtained. In addition, since the filtration efficiency is good, the filter material to be used is at least reduced, the raw material cost is inexpensive, and additionally, the pleat processing operation per filter medium is reduced, so that the production time is shortened.
<발명을 실시하기 위한 최선의 형태>Best Mode for Carrying Out the Invention
본 발명의 필터재는 처리액 중의 제거하여야 할 이물질의 크기에 따라 원하는 크기의 구멍을 갖는 소재라면 어떠한 재질의 것이라도 좋으며, 예를 들어 포토레지스트액의 여과를 행하는 경우에는 0.05 내지 0.2 ㎛ 정도의 미세 구멍을 갖는, 폴리테트라플루오로에틸렌 수지(이하, PTFE라고 함), 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, SUS, 나일론, 폴리테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르(이하, PFA라고 함), 폴리비닐리덴 플루오라이드(PVDF) 등의 재질의 필터막이 사용되는데, 이것으로 한정되는 것이 아니다. 또한, 실리콘 웨이퍼용 린스액 등, 반도체 장치 제조에 사용되는 약제의 여과를 행하는 경우에는, 0.05 내지 1.0 ㎛ 정도의 미세 구멍을 갖는 상기 재질의 필터막이 사용된다. The filter material of the present invention may be any material as long as it has a hole having a desired size according to the size of the foreign matter to be removed in the treatment liquid. For example, when the photoresist liquid is filtered, the filter material may be about 0.05 to 0.2 μm. Polytetrafluoroethylene resin (hereinafter referred to as PTFE), polyethylene, polypropylene, SUS, nylon, polytetrafluoroethylene-perfluoroalkylvinyl ether (hereinafter referred to as PFA), and polyvinylidene having holes A filter membrane made of a material such as fluoride (PVDF) is used, but is not limited thereto. In addition, when filtering the chemical agent used for semiconductor device manufacture, such as a rinse liquid for a silicon wafer, the filter membrane of the said material which has a micropore about 0.05-1.0 micrometer is used.
필터재의 두께는 수지계 재료의 경우, 예를 들면 0.1 내지 2.0 mm이다. 0.5 mm 미만이라도 필터재의 굽힘 강성이 낮은 것도 있으며, 서포트재를 사용함으로써 필터가 좌굴하여(buckling) 압력 손실이 증대되는 것을 방지하고 있다. 또한, 2.0 mm를 초과하면 플리츠 가공이 매우 곤란해질 뿐만 아니라, 사용하는 필터재 면적의 상한이 제한되어, 결과적으로 유효 여과 면적이 감소하여 목적하는 성능을 발휘할 수 없다.The thickness of the filter material is, for example, 0.1 to 2.0 mm in the case of a resin material. The bending rigidity of the filter material is low even if it is less than 0.5 mm, and the use of the support material prevents the filter from buckling and increases the pressure loss. Moreover, when it exceeds 2.0 mm, not only pleat processing becomes very difficult, but the upper limit of the area of the filter material to be used is restrict | limited, As a result, an effective filtration area decreases and a desired performance cannot be exhibited.
본 발명의 여과재는 플리츠 폴딩되어 있고, 플리츠 폴딩에 직교하는 필터재 단면 중에는 1개의 산 폴딩선 (a), 그 양측에 2개의 골 폴딩선 (b) 및 그 양측에 2개의 산 폴딩선 (c)가 존재하여 슬리브측의 1개의 낮은 산부, 그 양측 코어측의 2개의 골부, 및 그 양측 슬리브측의 2개의 높은 산부가 형성되어 있는 W자형 부분을 포함한다. 도 1은 본 발명에 사용되는 필터의 일례의 플리츠 폴딩에 직교하는 단면의 개략도이며, 모든 골 폴딩선은 코어에 접촉되어 있다. 한편, 산의 높이는 상하로 변동되어 있고, 높은 산의 산 폴딩선은 유체 공급측의 슬리브와 가장 근접해 있다. 도 1의 플리츠 폴딩의 1 반복 단위는, 1개의 높은 산과 1개의 낮은 산으로 구성되어 있다. 이 구성을 갖는 필터로 입자 함유 유체를 여과하면, 폴딩된 필터 부분도 유효하게 기능하여 여과가 행해지며, 여과된 입자는 2개의 높은 산 사이에 있는 낮은 산 위에 퇴적할 수 있기 때문에, 필터 막힘을 일으켜 사용이 곤란해질 때까지의 시간(필터 수명)이 길어진다.The filter medium of the present invention is pleat-folded, and in the cross section of the filter material orthogonal to the pleat-folding, one acid folding line (a), two bone folding lines (b) on both sides thereof, and two acid folding lines (c) on both sides thereof. ) And a W-shaped portion in which one low peak on the sleeve side, two valleys on both core sides thereof, and two high peaks on both sleeve sides thereof are formed. 1 is a schematic view of a cross section orthogonal to pleat folding of an example of a filter used in the present invention, wherein all bone folding lines are in contact with the core. On the other hand, the height of the mountain fluctuates up and down, and the acid folding line of the high mountain is closest to the sleeve on the fluid supply side. One repeating unit of the pleat folding of FIG. 1 consists of one high acid and one low acid. When the particle-containing fluid is filtered with a filter having this configuration, the folded filter portion also functions effectively to perform filtration, and the filter particles can be deposited on a low acid between two high acids, thus preventing filter clogging. It increases the time (filter life) until it becomes difficult to use.
상기 산의 높이는 규칙적으로 상하 변동할 수도 있고, 랜덤하게 상하 변동할 수도 있다. 예를 들어, 산의 높이가 「고저」로 이루어지는 2개의 산으로 플리츠 폴딩의 1 반복 단위가 구성되는 것이나, 「고저고」 또는「고저저고」로 이루어지는 3 또는 4개의 산으로 1 반복 단위가 구성되는 것을 들 수 있다. The height of the mountain may fluctuate up and down regularly, or may fluctuate up and down randomly. For example, one repeating unit of pleat folding consists of two peaks having a mountain height of "high", or one repeating unit of three or four peaks of "high" or "high". What is comprised is mentioned.
본 발명의 플리츠 폴딩된 필터는, 여과된 입자가 높은 산과 낮은 산 사이에도 퇴적될 수 있으며, 폴딩된 부분의 일부가 노출되기 때문에 유효 여과 면적이 넓고, 여과 효율이 높아져, 그 결과 필터 수명이 길어진다(도 1 참조). The pleated folded filter of the present invention can be deposited between high and low acid, the filtered particles are exposed, part of the folded portion is exposed to a large effective filtration area, high filtration efficiency, resulting in a long filter life (See FIG. 1).
본 발명의 필터는 플리츠 폴딩의 밀도를 높임으로써 엔드 캡의 용착시에 좌굴하지 않는 높은 강성(형상 유지 성능)을 확보하는 것도 가능하지만, 여과 효율이 높기 때문에 서포트재를 사용하여 폴딩하기 쉽고, 높은 강성(형상 유지 성능)을 확보하는 한편, 플리츠 폴딩의 밀도를 낮추어 필터재의 사용량을 절약하는 것도 가능하다. The filter of the present invention can secure a high rigidity (shape retention performance) that does not buckle during welding of the end cap by increasing the density of the pleat folding, but it is easy to fold using a support material because of high filtration efficiency and high While securing rigidity (shape retention performance), it is also possible to lower the density of the pleat folding to save the use of the filter material.
높은 산과 낮은 산의 높이 차이는, 상기와 동일하게 조건에 따라 상이하다. 바람직하게는 낮은 산부를 형성하는 산 폴딩부 (a)와 골 폴딩부 (b)의 간격 A (mm)와, 높은 산부를 형성하는 골 폴딩부 (b)와 산 폴딩부 (c)의 간격 B (mm)의 비율(A/B)은 0.3 이상 1 미만이다. 이 범위 내에서 낮은 산은 높은 산보다 낮고, 슬리브에 접하지 않고 여과재 형상을 유지하기 위한 보강도 겸한 지지체가 될 수 있는 높이가 된다. 그 결과, 여과 효율을 감소시키지 않으면서, 필터 수명(공급-배출 압력차가 소정의 값에 도달할 때까지의 여과 부피)도 늘리는 효과를 얻을 수 있다.The height difference of a high mountain and a low mountain changes with conditions similar to the above. Preferably, the distance A (mm) between the acid folding portion (a) and the bone folding portion (b) forming the lower peak portion, and the distance B between the bone folding portion (b) and the acid folding portion (c) forming the high peak portion The ratio (A / B) of (mm) is 0.3 or more and less than one. Within this range, the low acid is lower than the high acid, and the height can be a support that also serves as a reinforcement for maintaining the shape of the filter medium without contacting the sleeve. As a result, the effect of increasing the filter life (filtration volume until the supply-discharge pressure difference reaches a predetermined value) can be obtained without reducing the filtration efficiency.
본 발명의 플리츠는 수지계 재료의 경우, 왕복식, 고속 회전 방식 등의 통상적인 플리츠 가공으로 설정하여 용이하게 제조할 수 있다. In the case of the resin-based material, the pleats of the present invention can be easily manufactured by setting them to conventional pleat processing such as reciprocating and high speed rotation.
본 발명의 필터재 및 서포트재의 총 두께 t (mm)는, 1개의 산 또는 골의 두께가 2t이기 때문에, 사용하는 코어의 외경 D (mm) 및 필터재의 골 폴딩선의 총수 n 사이에 n=(πD/2t)×(1.1 내지 1.9)의 관계에 있는 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 n=(πD/2t)×(1.3 내지 1.8)이다. 상기 총 두께 t(mm)는 압력 등의 힘이 가해지지 않은 상태의 필터재 및 서포트재(사용했을 경우)의 두께의 합계치이다. n이 (πD/2t)×1.1 미만이면 좌굴하기 쉬워 실용적으로 사용할 수 없다. 한편, (πD/2t)×1.9를 초과하면 필터 충전 밀도가 높아져 유효 여과 면적이 좁아지기 때문에, 본 발명의 우수한 효과를 얻기 어렵다.Since the total thickness t (mm) of the filter material and the support material of the present invention is 2t in thickness of one acid or valley, n = (between the outer diameter D (mm) of the core to be used and the total number n of bone folding lines of the filter material. It is preferable to exist in the relationship of (pi) D / 2t) x (1.1 to 1.9), More preferably, n = ((pi) D / 2t) x (1.3 to 1.8). The said total thickness t (mm) is a sum total of the thickness of the filter material and support material (when used) in the state in which force, such as a pressure, is not applied. When n is less than ((pi) D / 2t) * 1.1, it is easy to buckle and cannot be used practically. On the other hand, when ((pi) D / 2t) x1.9 is exceeded, since the filter packing density becomes high and the effective filtration area becomes narrow, the outstanding effect of this invention is hard to be obtained.
또한, 간격 A (mm)와 간격 B(mm) 및 총 두께 t(mm)는 t<A<B의 관계에 있다. In addition, the interval A (mm), the interval B (mm) and the total thickness t (mm) have a relationship of t <A <B.
본 발명의 여과재는 필터재의 적어도 한쪽면 또는 양면에 서포트재가 사용될 수도 있으며, 예를 들어 필터재 양면에 1쌍의 서포트재가 첨가된 후, 플리츠형으로 폴딩되어 양측 연부가 밀봉된 것일 수도 있다. 서포트재로서는 메쉬, 부직포 등의 통상적으로 사용되는 재료를 사용할 수 있다. 서포트재를 사용함으로써 필터 전체의 굽힘 강성을 높일 수 있게 되어 형상 유지 성능이 향상된다.In the filter medium of the present invention, a support material may be used on at least one side or both sides of the filter material. For example, after a pair of support materials are added to both sides of the filter material, the filter material may be folded in a pleated form to seal both edges thereof. As a support material, materials generally used, such as a mesh and a nonwoven fabric, can be used. By using the support material, the bending stiffness of the entire filter can be increased, thereby improving shape retention performance.
서포트재는 네트상, 다공질 시트상, 부직포상으로 사용되며, 예를 들어 PFA, PTFE, 테트라플루오로에틸렌-에틸렌 공중합체(이하, ETFE라고 함), PVDF 등의 열가소성 불소 수지, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, SUS 등의 재질이 바람직하게 사용된다. The support material is used in the form of a net, a porous sheet, and a nonwoven fabric. For example, thermoplastic fluorine resins such as PFA, PTFE, tetrafluoroethylene-ethylene copolymer (hereinafter referred to as ETFE), PVDF, polyethylene, polypropylene, A material such as SUS is preferably used.
본 발명의 사각 필터재를 플리츠형으로 폴딩하고, 필터재의 플리츠 폴딩에 평행한 양단을 서로 밀봉하여 얻어지는 실질적으로 원통형 여과재는, 코어와 슬리브 사이에 삽입되며, 상하 엔드 캡 사이에 더 끼워 여과재의 상하 단연부 부분을 엔드 캡에 액밀하게 열 용착하여 카트리지 필터 장치에 수용된다. A substantially cylindrical filter medium obtained by folding the rectangular filter material of the present invention in a pleated form and sealing both ends parallel to the pleat folding of the filter material is inserted between the core and the sleeve, and is further sandwiched between the upper and lower end caps, and the upper and lower ends of the filter material. The end portion is thermally welded to the end cap and received in the cartridge filter device.
본 발명의 카트리지 필터 장치는 아웃-인-패스 방식의 카트리지 필터 장치에 사용할 수 있다. 유체가 플리츠형 필터를 통과할 때에는, 유체 공급 방향에 대하여 낮은 산 폴딩 부분을 둘러싸고 있는 높은 산 폴딩 부분이 개구부가 되어 유체에 함유된 입자 및/또는 이물질이 효과적으로 포착되어, 필터의 노출 표면을 충분히 활용할 수 있다. The cartridge filter device of the present invention can be used for an out-in-pass cartridge filter device. When the fluid passes through the pleated filter, the high acid folding portion surrounding the low acid folding portion with respect to the fluid supply direction becomes an opening so that the particles and / or foreign matter contained in the fluid can be effectively trapped to sufficiently cover the exposed surface of the filter. It can be utilized.
수지계 재료의 경우, 유체 공급측(1차측) 서포트재의 종류는, 플리츠 가공시 또는 플리츠 가공 후에 있어서, 플리츠의 산 형상(고저)을 유지할 수 있는 서포트재의 조합을 여러가지 선택함으로써 다수 존재한다. In the case of the resin-based material, there are many kinds of fluid supply side (primary side) support materials by selecting various combinations of support materials capable of maintaining the acid shape (high) of the pleats during or after the pleat processing.
또한, 유체로서 액체, 기체 중 어느 하나를 이용할 수 있다. In addition, any one of liquid and gas can be used as the fluid.
<실시예 1><Example 1>
코팅 중량 250 g/m2(두께 400 ㎛)의 도 6에 나타낸 구성을 갖는 폴리테트라플루오로에틸렌(다이킨 고교사 제조, PTFE) 부직포 막 면적 7,022 cm2에, 1차측(유 체 공급측) 서포트재로서 두께 450 ㎛의 PFA제 2중 직물 네트(섬유 직경 0.22 mm) 및 2차측(유체 배출측) 서포트재로서 두께 220 ㎛의 PFA제 두꺼운 네트(섬유 직경 0.11 mm)를 겹쳐 15 mm 산/12 mm 산/15 mm 산으로 구성되는 반복 단위를 반복하여 플리츠 가공("고저고"가 1 반복 단위)하여 폴딩 산 수를 총 114(높이 15 mm의 산 수 76, 높이 12 mm의 산 수 38)로 하고 나서 양측 연부를 밀봉하여 여과재로 해서 카트리지 필터 장치(슬리브 내경 76 mm 코어 외경 46 mm)를 조립하였다. A/B=0.8. n=114=[46π/{2×(0.4+0.45+0.22)}]×1.69. Primary side (fluid supply side) support to a polytetrafluoroethylene (manufactured by Daikin Kogyo Co., Ltd., PTFE) nonwoven membrane area 7,022 cm 2 having a coating weight of 250 g / m 2 (400 μm thick). PFA double weave net (fiber diameter 0.22mm) with a thickness of 450 µm as a material and a thick net (fiber diameter 0.11 mm) with a thickness of 220 µm as a support material for the secondary side (fluid discharge side) 15 mm Repeated pleats processing (repeat height is 1 repetition unit) is repeated by repeating units consisting of mm peaks / 15 mm peaks, and the total number of folding peaks is 114 (15 peaks 76 mm high and 38
<비교예 1>Comparative Example 1
실시예 1의 PTFE 부직포 막 면적 14,520 cm2를 모두 15 mm 산으로 하여 플리츠 폴딩하고, 폴딩 산 수를 총 220(산 높이 15 mm)으로 한 필터를 사용하여 조립한 카트리지 필터 장치를 사용하였다. A/B=1. n=220={46π/(2×0.4)}×1.22. A pleated fold of 14,520 cm 2 of the PTFE nonwoven fabric membrane area of Example 1 was all 15 mm peak, and a cartridge filter device assembled using a filter having a total number of folding peaks of 220 (mount height 15 mm) was used. A / B = 1. n = 220 = {46π / (2 × 0.4)} × 1.22.
<비교예 2>Comparative Example 2
실시예 1의 PTFE 부직포 막 면적 12,300 cm2의 1차측 서포트재 및 2차측 서포트재로서 두께 150 ㎛의 PFA제 얇은 네트(섬유 직경 0.08 mm)를 사용하여 중첩하고, 모두 15 mm 산으로서 플리츠 폴딩하여 폴딩 산 수를 총 187(산 높이 15 mm)로 하고 나서 양측 연부를 밀봉하여 여과재로 해서 카트리지 필터 장치를 조립하였다. A/B=1. n=187=[46π/{2×(0.4+0.15+0.15)}]×1.81. The PTFE nonwoven membrane of Example 1 was superimposed using a 150 nm thick PFA net (fiber diameter 0.08 mm) as the primary support material and secondary support material having a surface area of 12,300 cm 2 , and both were pleat-folded as 15 mm peaks. The total number of folding acid was 187 (mount height 15 mm), and then both edges were sealed to prepare a cartridge filter device as a filter medium. A / B = 1. n = 187 = [46π / {2 × (0.4 + 0.15 + 0.15)}] × 1.81.
<비교예 3>Comparative Example 3
코팅 중량 250 g/m2(두께 400 ㎛)의 도 7에 나타낸 구성을 갖는 PTFE 부직포 막 면적 14,000 cm2를 모두 15 mm 산으로 하여 플리츠 폴딩하고, 폴딩 산 수를 총 213(산 높이 15 mm)으로 한 시판 중인 카트리지 필터 장치(닛본 마이크로크로스 가부시끼 가이샤 제조, 상품명 플루오르가드 PRS 필터)를 사용하였다. A/B=1. n=213={46π/(2×0.4)}×1.18. PTFE nonwoven membrane having a coating weight of 250 g / m 2 (thickness of 400 μm) pleat-folded with a total area of 14,000 cm 2 as 15 mm acid, and the total number of folding peaks was 213 (mount height 15 mm). A commercially available cartridge filter device (manufactured by Nippon Microcross Co., Ltd., trade name FluoroGuard PRS Filter) was used. A / B = 1. n = 213 = {46π / (2 × 0.4)} × 1.18.
필터 성능 평가Filter performance evaluation
코팅 중량 250 g/cm2의 필터를 사용한 실시예 1 및 비교예 1 내지 3의 필터 장치에 대하여, 유체로서 JIS 8종의 더스트(입경 1 ㎛ 또는 5 ㎛)를 농도 100 ppm으로 함유하는 2종의 정제수를 사용하고, 공급 압력 0.05 kgf/cm2 및 0.1 kgf/cm2로 각각 유출 속도를 측정하고, 수명(공급-배출 압력 차이가 1 kgf/cm2에 도달할 때까지의 여과 부피) 및 입자 제거 성능(포집 효율; 리텐션)을 측정하였다. 결과를 하기 표 1에 나타내었다. 또한, 공급 압력을 0 내지 0.5 kgf/cm2로 변화시킨 경우의 필터 장치로부터의 유출 속도의 변화를 도 2에 나타내고(수온 25 ℃), 여과 시간의 변화를 도 3에 나타내었다(수온 22 ℃, 유출 속도 10 L/분).For the filter device of Example 1 and Comparative Examples 1 to 3 using a filter having a coating weight of 250 g / cm 2 , two types containing 100 ppm of JIS dust (particle size of 1 μm or 5 μm) as a fluid at a concentration of 100 ppm Using purified water and measuring the outflow rates with feed pressures of 0.05 kgf / cm 2 and 0.1 kgf / cm 2 , respectively, for the life (filtration volume until the supply-discharge pressure difference reaches 1 kgf / cm 2 ) and Particle removal performance (capture efficiency; retention) was measured. The results are shown in Table 1 below. In addition, the change of the outflow rate from the filter apparatus at the time of supply pressure changing to 0-0.5 kgf / cm <2> is shown in FIG. 2 (water temperature 25 degreeC), and the change of filtration time is shown in FIG. 3 (water temperature 22 degreeC). Flow rate 10 L / min).
실시예 1은 실용 가능한 입자 제거 성능을 가지며, 공급 압력에 대한 유출 속도, 수명이 매우 우수하였다.Example 1 had practical particle removal performance and was very good at outflow rate and life with respect to feed pressure.
비교예 1은 서포트 재료를 사용하지 않고, 좌굴을 방지하기 위해 실시예 1의 약 2배 면적의 동일한 필터를 사용하여 종래의 플리츠 폴딩을 행한 것이다(플리츠 폴딩수 약 2배). 실시예 1보다 입자 제거 성능은 매우 향상되었지만, 공급 압력에 대한 유출 속도, 수명이 매우 저하하여 실용에 견딜 수 없었다. 이것은 폴딩 밀도가 매우 높고, 유효 여과 면적이 좁아져 유체 및 함유되는 입자의 통과가 곤란해졌기 때문이다.In Comparative Example 1, conventional pleat folding was performed using the same filter of about twice the area of Example 1 to prevent buckling without using a support material (about two times the pleat fold count). Although the particle removal performance was much improved than Example 1, the outflow rate with respect to supply pressure, and the lifetime fell very much, and it was unbearable for practical use. This is because the folding density is very high, and the effective filtration area is narrowed, making it difficult to pass the fluid and the contained particles.
비교예 2는 비교예 1과 동일한 필터를 서포트재와 함께 사용하여 형상 유지 성능을 확보하고, 비교예 1보다 필터 면적 및 폴딩 수를 적게 한 것이다. 그러나, 서포트재의 존재에 의해 필터가 긴밀하게 폴딩된 결과, 공급 압력에 대한 유출 속도, 수명은 비교예 1보다는 향상되었지만, 역시 실용에 견딜 수 없었다.In Comparative Example 2, the same filter as in Comparative Example 1 was used together with the support material to ensure the shape retention performance, and the filter area and the number of folding were smaller than in Comparative Example 1. However, as a result of the tight folding of the filter by the presence of the support material, the outflow rate and life with respect to the supply pressure were improved as compared with Comparative Example 1, but also could not withstand practical use.
비교예 3은 실시예 1과는 상이한 공경의 필터를 서포트재 없이 사용하고, 형상 유지 성능을 확보하기 위해 플리츠 폴딩의 밀도를 높여 실시예 1의 2배 필터 면적 및 플리츠 폴딩 수를 사용한 것이다. 비교예 3에서는 필터 공경이 크기 때문에 공급 압력에 대한 유출 속도는 실시예 1보다 컸지만, 입자 제거 성능이 매우 낮고, 통상적인 플리츠 폴딩이기 때문에 유효 여과 면적이 좁고, 수명은 반이었다.In Comparative Example 3, a filter having a pore size different from that of Example 1 was used without a support material, and the density of the pleat folding was increased to use the double filter area and the pleat folding number of Example 1 to secure the shape retention performance. In Comparative Example 3, the outflow rate with respect to the supply pressure was larger than in Example 1 because of the large filter pore size, but the particle removal performance was very low, and the effective filtration area was narrow because of the conventional pleat folding, and the service life was half.
도 1은 본 발명의 일례를 나타내는 필터의 사용 중의 단면 개략도이다. 1 is a schematic cross-sectional view during use of a filter showing an example of the present invention.
도 2는 공급 압력을 변화시킨 경우의 필터 장치로부터의 유출 속도의 변화를 나타낸 그래프이다. 2 is a graph showing a change in the outflow rate from the filter device when the supply pressure is changed.
도 3은 유량을 일정하게 했을 경우의 필터 장치의 여과 시간의 변화를 나타낸 그래프이다. 3 is a graph showing a change in filtration time of the filter device when the flow rate is made constant.
도 4는 종래예의 필터의 일례의 단면 개략도이다. 4 is a cross-sectional schematic diagram of an example of a filter of a conventional example.
도 5는 종래예의 필터의 다른 예의 단면 개략도이다. 5 is a schematic cross-sectional view of another example of a filter of the conventional example.
도 6a는 실시예 1에서 사용한 필터재의 전자 현미경 사진(100배)이다.6A is an electron micrograph (100 times) of the filter material used in Example 1. FIG.
도 6b는 실시예 1에서 사용한 필터재의 전자 현미경 사진(500배)이다. 6B is an electron micrograph (500 times) of the filter material used in Example 1. FIG.
도 7a는 비교예 3에서 사용한 필터재의 전자 현미경 사진(100배)이다. 7A is an electron micrograph (100 times) of the filter material used in Comparative Example 3. FIG.
도 7b는 비교예 3에서 사용한 필터재의 전자 현미경 사진(500배)이다.7B is an electron micrograph (500 times) of the filter material used in Comparative Example 3. FIG.
Claims (4)
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JPJP-P-2004-00120359 | 2004-04-15 | ||
| JP2004120359 | 2004-04-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20060136483A true KR20060136483A (en) | 2007-01-02 |
| KR20070000513A KR20070000513A (en) | 2007-01-02 |
Family
ID=35149807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020067023814A KR20070000513A (en) | 2004-04-15 | 2005-04-14 | Pleated-type cartridge filter device |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20070278149A1 (en) |
| EP (1) | EP1757355A4 (en) |
| JP (1) | JPWO2005099877A1 (en) |
| KR (1) | KR20070000513A (en) |
| CN (1) | CN1942235A (en) |
| TW (1) | TW200603877A (en) |
| WO (1) | WO2005099877A1 (en) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5156245B2 (en) * | 2007-03-26 | 2013-03-06 | 倉敷紡績株式会社 | Cartridge filter and filtration apparatus using the same |
| JP5385524B2 (en) * | 2007-11-14 | 2014-01-08 | ダイワボウホールディングス株式会社 | Cartridge filter |
| DE102010056148B4 (en) * | 2010-12-28 | 2013-01-03 | Sartorius Stedim Biotech Gmbh | filter |
| DE102012000490A1 (en) | 2012-01-13 | 2013-07-18 | Mann + Hummel Gmbh | Air filter element and air filter |
| DE102012000470A1 (en) * | 2012-01-13 | 2013-07-18 | Mann + Hummel Gmbh | Air filter element and air filter |
| US10112130B2 (en) | 2012-10-09 | 2018-10-30 | Donaldson Company, Inc. | Self-supporting folded sheet material, filter elements, and methods |
| WO2014075703A1 (en) | 2012-11-14 | 2014-05-22 | Rt-Filtertechnik Gmbh | Filter element and hydraulic circuit with such a filter element |
| DE102012022285A1 (en) * | 2012-11-14 | 2014-05-15 | Hydac Filtertechnik Gmbh | Filter element for filtration of process fluids, hydraulic fluids and liquid fuels and lubricants, has multi-layer structure of filter medium with filter folds, where all filter folds terminate along imaginary circular cylinder |
| US10105632B2 (en) * | 2014-04-09 | 2018-10-23 | Donaldson Company, Inc. | Self-supporting folded sheet material, filter elements, and methods |
| JP6524352B2 (en) * | 2016-11-21 | 2019-06-05 | 株式会社ロキテクノ | Filter member |
| DE102017000792B4 (en) | 2017-01-30 | 2022-08-04 | Mann+Hummel Gmbh | Filter element, method for its manufacture and air filter |
| CN107261660B (en) * | 2017-07-21 | 2023-10-03 | 江苏优冠汽车配件有限公司 | Combined long-life high-efficiency air filter |
| US10688417B2 (en) * | 2018-10-24 | 2020-06-23 | Pall Corporation | Support and drainage material, filter, and method of use |
| KR20210032730A (en) * | 2019-09-17 | 2021-03-25 | 코웨이 주식회사 | Pleated-type Filter Member |
| CN113813674B (en) * | 2021-09-28 | 2023-03-24 | 浙江东原科技股份有限公司 | Filter capable of balancing pressure difference inside and outside filter element |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2627350A (en) * | 1949-01-12 | 1953-02-03 | Wix Accessories Corp | Filter cartridge |
| US3875202A (en) * | 1973-01-05 | 1975-04-01 | Alcolac Inc | Sulfates of monoethylenically unsaturated alcohols and the alkenoxylated adducts of said alcohols |
| JPS50115876U (en) * | 1974-03-05 | 1975-09-20 | ||
| JPS6058208A (en) * | 1983-09-09 | 1985-04-04 | Kurabo Ind Ltd | Filter element and preparation thereof |
| DE3935503A1 (en) * | 1989-10-25 | 1991-05-02 | Knecht Filterwerke Gmbh | Ring filter element - with a short fold followed by at least two long folds |
| JPH07243356A (en) * | 1994-03-03 | 1995-09-19 | Toyo Eremento Kogyo Kk | Filter element |
| JP2978434B2 (en) * | 1996-01-11 | 1999-11-15 | オルガノ株式会社 | Renewal method of filter in power plant condensing system |
| AU765826B2 (en) * | 1999-01-07 | 2003-10-02 | 3M Innovative Properties Company | Pleated filter element and method of forming a pleated filter element |
| EP1322396B1 (en) * | 2000-09-15 | 2006-12-06 | 3M Innovative Properties Company | Spiral pleated filter cartridges |
| JP4066595B2 (en) * | 2000-10-03 | 2008-03-26 | 株式会社ジーエス・ユアサコーポレーション | Pleated cartridge filter |
-
2005
- 2005-04-14 WO PCT/JP2005/007263 patent/WO2005099877A1/en active Application Filing
- 2005-04-14 KR KR1020067023814A patent/KR20070000513A/en not_active Application Discontinuation
- 2005-04-14 CN CNA2005800109889A patent/CN1942235A/en active Pending
- 2005-04-14 EP EP05730570A patent/EP1757355A4/en not_active Withdrawn
- 2005-04-14 JP JP2006512382A patent/JPWO2005099877A1/en not_active Withdrawn
- 2005-04-15 TW TW094112143A patent/TW200603877A/en unknown
-
2006
- 2006-10-13 US US11/549,140 patent/US20070278149A1/en not_active Abandoned
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20060136483A (en) | Pleated-Type Cartridge Filter Device | |
| KR20070000513A (en) | Pleated-type cartridge filter device | |
| KR101196282B1 (en) | Turbine air-intake filter | |
| EP1554028B1 (en) | Filterelement including filtration media with multi-layer pleat support | |
| US9266040B2 (en) | Filtration system | |
| RU60874U1 (en) | CARTRIDGE FILTER ELEMENT (OPTIONS) | |
| CA2385319A1 (en) | Filter elements and filtering methods | |
| JP4634890B2 (en) | Pleated cartridge filter device | |
| KR20090006213A (en) | Pleated filter cartridge | |
| JP4495831B2 (en) | Multilayer filter element | |
| KR20060011961A (en) | Pleated construction for effecting gas transfer membrane | |
| JP2010051933A (en) | Membrane degassing module | |
| CN111085022B (en) | Support and drainage material, filter and method of use | |
| JP2003181227A (en) | Filter cartridge | |
| WO2024030464A1 (en) | Filter element with mixed pleat heights | |
| WO2024030461A1 (en) | Filter element with mixed pleat heights | |
| DE202005012047U1 (en) | Composite filtering medium for removing particles, has diaphragm filtration layer, which exhibits porous polymer membrane, and depth filtration medium layer exhibiting fibers and arranged on upstream side of diaphragm layer | |
| WO2024030466A1 (en) | Filter element with mixed pleat heights | |
| JP2008272753A (en) | Filter cartridge | |
| RU2183493C2 (en) | Cartridge filter and filtering material for its making | |
| JP2005152883A (en) | Filter element and filtering cartridge using the same | |
| JP2023554604A (en) | Printed structures supporting electrospun fibers for filtration | |
| JPH11114382A (en) | Cartridge filter | |
| KR20040072018A (en) | Pleated filter with high flow rate |