KR20060127652A - An apparatus for manufacturing metal deposition - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 종래의 금속적층체 제조장치의 개략적 구성도,1 is a schematic configuration diagram of a conventional metal laminate manufacturing apparatus,
도 2는 본 발명에 따른 금속적층제 제조장치의 제1실시예의 개략적 구성도,2 is a schematic structural diagram of a first embodiment of an apparatus for manufacturing a metal laminate according to the present invention;
도 3a은 도 2에 있어서, 금속적층체의 성장속도를 빠르게 하기 위하여 4 개의 분무부가 기판을 중심으로 대칭으로 배치된 상태를 도시한 도면이고, 도 3b는 4 개의 분무부가 기판을 중심으로 비대칭으로 배치된 상태를 도시한 도면,3A is a view illustrating a state in which four spray parts are symmetrically disposed about a substrate in order to increase the growth rate of the metal laminate in FIG. 2, and FIG. 3B shows four spray parts asymmetrically about the substrate. A drawing showing the placed state,
도 4는 도 2에 있어서, 금속적층체의 진동 운동에 의하여 직경이 커지는 것을 설명하기 위한 도면,4 is a view for explaining that the diameter increases in the vibration movement of the metal laminate in Figure 2,
도 5는 도 2의 금속적층체 제조장치에 다른 구성의 수직진동구동부가 채용된 예를 도시한 도면, FIG. 5 is a view showing an example in which the vertical vibration driving unit having another configuration is employed in the apparatus for manufacturing a metal laminate of FIG. 2;
도 6은 도 2의 금속적층체 제조장치에 또 다른 구성의 수직진동구동부가 채용된 예를 도시한 도면, 6 is a view showing an example in which the vertical vibration driving unit of another configuration is employed in the apparatus for manufacturing a metal laminate of FIG.
도 7은 도 2의 금속적층체 제조장치에 회전승강구동부, 수직진동구동부 및 지지프레임으로 이루어지는 구성을 2 개 채용한 예를 도시한 도면, FIG. 7 is a view showing an example in which two configurations including a rotating lift drive unit, a vertical vibration drive unit, and a support frame are employed in the apparatus for manufacturing a metal laminate of FIG. 2;
도 8은 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 제2실시예의 개략적 구성도,8 is a schematic structural diagram of a second embodiment of an apparatus for manufacturing a metal laminate according to the present invention;
도 9는 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 제3실시예의 개략적 구성도,9 is a schematic structural diagram of a third embodiment of an apparatus for manufacturing a metal laminate according to the present invention;
도 10은 도 9의 금속적층체 제조장치에 회전승강구동부, 수평진동구동부 및 지지프레임으로 이루어지는 구성을 2 개 채용한 예를 도시한 도면, FIG. 10 is a view showing an example in which two configurations including a rotating lift drive unit, a horizontal vibration drive unit, and a support frame are employed in the apparatus for manufacturing a metal laminate of FIG. 9;
도 11은 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 제4실시예의 개략적 구성도,11 is a schematic structural diagram of a fourth embodiment of an apparatus for manufacturing a metal laminate according to the present invention;
도 12는 본 발명에 따른 금속적층제 제조장치의 제5실시예의 개략적 구성도, 12 is a schematic structural diagram of a fifth embodiment of an apparatus for manufacturing a metal laminate according to the present invention;
도 13은 도 12의 금속적층체 제조장치에 회전승강구동부 및 지지프레임으로 이루어지는 구성을 2 개 채용한 예를 도시한 도면, FIG. 13 is a view showing an example in which two configurations including a rotary lifting drive unit and a support frame are employed in the apparatus for manufacturing a metal laminate of FIG. 12;
도 14는 도 12의 금속적층체 제조장치에 있어서, 금속적층체의 성장속도를 빠르게 하기 위하여 4 개의 분무부가 기판을 중심으로 대칭으로 배치된 상태를 도시한 도면,14 is a view showing a state in which the four spraying portions are symmetrically disposed about a substrate in order to increase the growth rate of the metal laminate in the apparatus for manufacturing a metal laminate of FIG. 12;
도 15는 도 12의 금속적층체 제조장치에 있어서, 2 종류의 조성을 갖는 금속적층체를 성장시키기 위하여, 2 종류의 용강이 저장된 제1,2턴디쉬 및 그 턴디쉬에 각각 연결되는 제1,2분무부를 도시한 도면,FIG. 15 is the apparatus for manufacturing a metal laminate of FIG. 12, in order to grow a metal laminate having two kinds of compositions, first and second tundish stored with two kinds of molten steel and first and second tish dishes connected to the tundish, respectively; Drawing showing two spray parts,
도 16은 도 12의 금속적층체 제조장치에 금속적층체의 두께를 두껍게 하기 위한 수평진동구동부를 채용한 예를 도시한 도면,FIG. 16 is a view showing an example in which the horizontal vibrating drive unit for thickening the thickness of the metal laminate is adopted in the metal laminate manufacturing apparatus of FIG. 12; FIG.
도 17은 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 제6실시예를 도시한 도면,17 is a view showing a sixth embodiment of the metal laminate manufacturing apparatus according to the present invention;
도 18은 도 17의 금속적층체 제조장치에 승강구동부, 수평진동구동부 및 지지프레임으로 이루어지는 구성을 2 개 채용한 예를 도시한 도면, FIG. 18 is a view showing an example in which two configurations including a lifting drive unit, a horizontal vibration drive unit, and a support frame are employed in the apparatus for manufacturing a metal laminate of FIG. 17;
도 19는 도 17의 금속적층체 제조장치에 있어서, 금속적층체의 성장속도를 빠르게 하기 위하여 4 개의 분무부가 기판을 중심으로 대칭으로 배치된 상태를 도시한 도면,19 is a view showing a state in which the four spraying portions are symmetrically arranged around a substrate in order to increase the growth rate of the metal laminate in the apparatus for manufacturing a metal laminate of FIG. 17;
도 20은 도 17의 금속적층체 제조장치에 있어서, 2 종류의 조성을 갖는 금속 적층체를 성장시키기 위하여, 2 종류의 용강이 저장된 제1,2턴디쉬 및 그 턴디쉬에 각각 연결되는 제1,2분무부를 도시한 도면.FIG. 20 is a view illustrating a metal laminate manufacturing apparatus of FIG. 17, wherein in order to grow a metal laminate having two kinds of compositions, first and second tundishes each having two kinds of molten steel and first and second tish dishes connected to the tundish, respectively; A diagram showing two spray parts.
<도면 중 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>
10 ... 챔버 11 ... 턴디쉬10
12 ... 분무부 15 ... 개폐도어12
20 ... 회전승강구동부 21 ... 승강봉20 ... lifting
22 ... 본체 30, 30', 30" ... 수직진동구동부22 ...
31 ... 오일박스 32 ,,, 내부공간31
33 ... 지지바아 35 ... 캠33
31' ... 롤러 32' .... 캠31 '... Roller 32' .... Cam
33' ... 캠회전부 31" ... 롤러33 '... Cam turn 31 "... roller
32" ... 쇄기캠 33" ... 쇄기캠왕복이동부32 "... Wedge Cam 33" ... Wedge Cam Round Trip
33a" ... 제1레버 33b" ... 제2레버33a "... lever 1 33b" ... lever 2
33c" ... 바아회전모터 40 ... 지지프레임33c "...
41 ... 롤러 42 ... 제1가이드레일41
43 ... 베어링 44 ... 제2가이드레일43 ... bearing 44 ... second guide rail
45 ... 베어링 50 ...지지프레임 이동부45 ... bearing 50 ... support frame moving parts
110 ... 챔버 111 ... 턴디쉬110
112 ... 분무부 115 ... 개폐도어112
120 ... 회전승강구동부 121 ... 승강봉120 ...
122 ... 본체 130 ... 수직진동구동부122 ...
131 ... 제1롤러 132 ... 레버131 ...
132a ... 제1장공 132b ... 제2장공132a ...
133 ... 지지바아 134 ... 지지판133
134a ... 롤러 135 ... 캠회전부
135a ... 회전축 136 ... 원기둥캠135a ...
136a ... 캠홈 137 ... 승강바아136a
137a ... 제2롤러 137b ... 제3롤러137a ...
138 ... 지지판이동부 140 ... 지지프레임138 ... support
141 ... 롤러 150 ...지지프레임 이동부141
210 ... 챔버 211 ... 턴디쉬210
212 ... 분무부 215 ... 개폐도어212
220 ... 회전승강구동부 221 ... 승강봉220 ... elevating
222 ... 본체 230 ... 수평진동구동부222 ...
231 ... 롤러 232 ... 지지대231 ...
233 ... 원기둥캠 233a .. 캠홈233 ...
234 ... 캠회전부 235 ... 지지판234 ...
235a ... 롤러 240 ... 지지프레임235 a ...
241 ... 롤러 250 ...지지프레임 이동부241 ...
310 ... 챔버 311 ... 턴디쉬310 ...
312 ... 분무부 315 ... 개폐도어312 ... spraying
320 ... 회전승강구동부 321 ... 승강봉320 ...
322 ... 본체 330 ... 두께가변부322 ...
331 ... 제1롤러 332 ... 레버331 ...
332a ... 제1장공 332b ... 제2장공332a ...
333 ... 제2롤러 334 ... 제3롤러333 ...
335 ... 수평이동바아 336 ... 원기둥캠335 ...
336a ... 캠홈 337 ... 캠회전부336a ...
337a ... 가이더 338 ... 수직이동부337a ... Guiders 338 ... Vertical Shifters
338a ... 모터 338b ... 스크류338a ...
339 ... 지지판 340 ... 지지프레임339 ...
341 ... 롤러 350 ...지지프레임 이동부341 ...
410 ... 챔버 411 ... 턴디쉬410 ...
412 ... 분무부 415 ... 개폐도어412 ... spraying
420 ... 회전승강구동부 421 ... 승강봉420 ... lifting
422 ... 본체 430 ... 수평진동구동부422 ...
431 ... 롤러 432 ... 지지대431 ...
433 ... 원기둥캠 433a .. 캠홈433 ...
434 ... 캠회전부 435 ... 지지판434 ...
435a ... 롤러 440 ... 지지프레임435 a ...
441 ... 롤러 450 ...지지프레임 이동부441 ...
510 ... 챔버 511 ... 턴디쉬510 ...
512 ... 분무부 515 ... 개폐도어512 ... spraying
520 ... 승강구동부 521 ... 승강봉520 ... lifting
522 ... 본체 530 ... 수평진동구동부522 ...
531 ... 제1레버 532 ... 제2레버531 ...
533 ... 바아회전모터 534 ... 지지판533 ...
540 ... 지지프레임 541 ... 롤러540 ...
550 ...지지프레임 이동부550 ... support frame moving parts
본 발명은 금속적층체 제조장치에 관한 것으로서, 상세하게는 조업성을 향상시킬 수 있는 금속적층체 제조장치에 관한 것이다.The present invention relates to a metal laminate manufacturing apparatus, and more particularly, to a metal laminate manufacturing apparatus that can improve the operability.
금속적층제 제조장치란, 고온 상태에서 액상 형태로 존재하는 금속이나 합금(이하, 용강이라 함)을 회전되는 기판상으로 분무시킴으로써 그 기판상에서 금속적층체가 자라게 하는 장치이다. An apparatus for manufacturing a metal lamination agent is a device for growing a metal laminate on a substrate by spraying a metal or alloy (hereinafter, molten steel) present in a liquid form in a high temperature state onto a rotating substrate.
도 1은 종래의 금속적층체 제조장치의 개략적 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a conventional metal laminate manufacturing apparatus.
도시된 바와 같이, 종래의 금속 봉상 분무적층체 제조장치는, 챔버(1)의 상부에 설치되는 것으로 용강이 저장되는 턴디쉬(tundish)(2)와, 챔버(1) 내부에서 기판(S)을 지지하는 승강봉(5a)을 회전 및 승하강 시키는 회전승강구동부(5)와, 턴디쉬(2)로부터 공급되는 용강을 기판(S) 상으로 분무시키는 분무부(6)를 포함하여 구성된다.As shown in the drawing, the conventional metal rod-shaped spray laminate manufacturing apparatus includes a
이러한 구조에 의하여, 기판(S)은 승강봉(5a)에 의하여 천천히 회전되고, 이 상태에서 분무부(6)는 턴디쉬(2)로부터 공급되는 용강을 액적 상태로 기판(S) 상에 비스듬하게 분무한다. 분무된 액적은 회전되는 기판(S)상에 낙하된 후 굳어지고, 서서히 하강하는 승강봉(5a) 및 계속해서 낙하되는 액적에 의하여 기판(S) 상에는 봉상 형태의 금속적층체(M)가 자라게 된다. By this structure, the substrate S is slowly rotated by the elevating
그런데, 상기한 구조의 금속적층체 제조장치에 있어서, 금속적층체(M)가 완전히 제조(성장)된 후 챔버(1) 내부에서 꺼내야 하는데, 챔버(1) 내부는 매우 고온이기 때문에 금속적층체(M)를 바로 꺼내지 못한다. 즉, 챔버(1) 및 금속적층체(M)가 어느 정도 식을 때까지 기다려야 하였고 이에 따라 조업 생산성이 매우 나빴다.By the way, in the apparatus for manufacturing a metal laminate having the above-described structure, the metal laminate M must be completely manufactured (grown) and then removed from the inside of the
또한, 금속적층체(M)를 챔버(1)로부터 꺼낸 후 기판(S)등의 소모품을 교체하기 위하여 조업자는 챔버(1) 내부로 들어가야 하였는데, 챔버(1) 내부에는 용강을 분무하는데 사용된 분사가스가 채워져 있어 조업자가 분사가스에 의하여 질식될 위험이 항상 도사리고 있었다. In addition, in order to replace the consumables such as the substrate S after the metal laminate M was removed from the
그리고, 금속적층체(M)는 기판(S)이 회전되면서 서서히 하강하는 동안에 성장되므로, 제조되는 금속적층체의 직경은 제한적일 수 밖에 없었고, 또한 제조하는데 많은 시간이 걸린다는 문제가 있었다. 이는 금속적층체의 단가 상승으로 이어졌다.In addition, since the metal laminate M is grown while the substrate S is being rotated and gradually lowered, the diameter of the metal laminate to be manufactured is inevitably limited, and there is a problem that it takes a long time to manufacture. This led to an increase in the unit cost of the metal laminate.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하고자 창출된 것으로서, 금속적층체를 꺼내지 위하여 챔버 내부로 들어갈 필요가 없고, 또한 금속적층체 및 챔버가 식지 않아도 금속적층체를 챔버로부터 곧바로 꺼낼 수 있는 금속적층체 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention has been made to solve the above problems, it is not necessary to go into the chamber to take out the metal laminate, and also the metal laminate and the metal laminate that can take out the metal laminate directly from the chamber without cooling the chamber. It is an object to provide a manufacturing apparatus.
본 발명의 다른 목적은, 성장되는 금속적층체의 직경을 크게 함으로써 제조량을 늘릴 수 있으며, 제조시간을 단축함으로써 생산속도를 향상시킬 수 있는 금속적층체 제조장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a metal laminate production apparatus capable of increasing the production amount by increasing the diameter of the metal laminate to be grown, and improving the production speed by shortening the production time.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 일실시예는, 용강이 저장되는 턴디쉬와, 상기 턴디쉬로부터 공급되는 용강을 액적상태로 분무하는 적어도 하나 이상의 분무부가 설치되는 챔버; 상기 분무부에서 분무되는 용강이 적층되는 기판을 회전 및 승하강시키는 회전승강구동부; 상기 회전승강구동부를 지지하는 지지프레임; 상기 회전승강구동부의 기판을 상기 챔버 내로 유출입시키기 위하여, 상기 지지프레임을 상기 챔버의 내부 또는 외부로 이동시키는 지지프레임 이동부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, one embodiment of the metal laminate manufacturing apparatus according to the present invention, a tundish is stored molten steel, and at least one spraying unit for spraying molten steel supplied from the tundish in the form of droplets A chamber installed; A rotary lifting drive unit for rotating and elevating a substrate on which the molten steel sprayed from the spraying unit is stacked; A support frame for supporting the rotation elevating unit; And a support frame moving unit for moving the support frame into or out of the chamber in order to flow the substrate of the rotation elevating drive unit into and out of the chamber.
본 발명에 있어서, 상기 회전승강구동부(20)와 지지프레임(40) 내부 바닥사이에 설치되어 그 회전승강구동부(20)를 수직 방향으로 진동시키기 위한 수직진동구동부(30)를 더 포함하고, 상기 수직진동구동부(30)는, 상기 회전승강구동부(20)의 본체(22) 하부를 지지하는 것으로서 오일이 채워지는 내부공간(32)을 가지는 오 일박스(31)와, 상기 오일박스(31)를 밀봉되게 관통하며 상기 지지프레임(40) 내부 바닥에 지지되는 지지바아(33)와, 상기 지지바아(33)에 회전 가능하게 설치되며 상기 내부공간(32) 상부에 캠면이 접촉되는 캠(35)과, 상기 캠(35)을 회전시키는 캠회전부(미도시)를 포함한다.In the present invention, the rotary lifting
본 발명에 있어서, 상기 회전승강구동부(20)와 지지프레임(40) 내부 바닥사이에 설치되어 그 회전승강구동부(20)를 수직 방향으로 진동시키기 위한 수직진동구동부(30')를 더 포함하고, 상기 수직진동구동부(30')는, 상기 회전승강구동부(20)의 본체(22) 하부를 지지하는 롤러(31')와, 상기 롤러(31')가 접하는 편심된 캠면이 형성된 캠(32')과, 상기 캠(32')을 회전시키는 캠회전부(33')를 포함한다.In the present invention, the rotary lifting
본 발명에 있어서, 상기 회전승강구동부(20)와 지지프레임(40) 내부 바닥사이에 설치되어 그 회전승강구동부(20)를 수직 방향으로 진동시키기 위한 수직진동구동부(30")를 더 포함하고, 상기 수직진동구동부(30")는, 상기 회전승강구동부(40)의 본체(22) 하부를 지지하는 롤러(31")와, 상기 롤러(31")가 접하는 캠면이 형성된 쇄기형상의 쇄기캠(32")과, 쇄기캠(32")을 수평 방향으로 왕복이동시키는 쇄기캠왕복이동부(33")를 포함한다.In the present invention, the rotary lifting
본 발명에 있어서, 상기 회전승강구동부(120)와 지지프레임(140) 내부 바닥사이에 설치되어 그 회전승강구동부(120)를 수직 방향으로 진동시키기 위한 수직진동구동부(130)를 더 포함하고, 상기 수직진동구동부(130)는, 일측에 상기 회전승강구동부(120)의 본체(122) 측부에 설치된 제1롤러(131)가 끼어지는 제1장공(132a)과 타측에 형성된 제2장공(132b)을 가지는 레버(132)와, 상기 제1장공(132a)과 제2장 공(132b) 사이의 상기 레버(132)에 축결합되는 지지바아(133)와, 상기 지지바아(133)를 지지하며 상기 지지프레임(140) 내부 바닥에 슬라이딩되는 지지판(134)과, 상기 지지판(134)에 설치되는 것으로 수직 방향으로 회전축(135a)이 형성된 캠회전부(135)와, 상기 회전축(135a)에 설치되는 것으로서 외주에 캠홈(136a)이 형성된 원기둥캠(136)과, 상기 캠홈(136a)에 끼어지는 제2롤러(137a)와 상기 제2장공(13b)에 끼어지는 제3롤러(137b)를 가지는 승강바아(137)와, 상기 지지프레임(140)의 측부에 설치되어 상기 지지판(134)을 수평 방향으로 이동시키는 지지판이동부(138)를 포함한다.In the present invention, the rotary lifting
본 발명에 있어서, 상기 회전승강구동부(220)와 지지프레임(240) 내부 바닥사이에 설치되어 그 회전승강구동부(220)를 수평 방향으로 진동시키기 위한 수평진동구동부(230)를 더 포함하고, 상기 수평진동구동부(230)는, 상기 회전승강구동부(220)의 하부를 상기 지지프레임(240) 내부 바닥에 슬라이딩 가능하게 지지하는 지지판(235)과, 상기 회전승강구동부(220)의 측부에서 돌출된 수평지지대(232)에 설치되는 롤러(231)와, 상기 지지프레임(240) 측부에 설치되며 상기 롤러(231)가 끼어지는 캠홈(233a)이 형성된 원기둥캠(233)과, 상기 원기둥캠(233)을 수평 방향으로 회전시키는 캠회전부(234)를 포함한다.In the present invention, the rotary lifting
본 발명에 있어서, 상기 회전승강구동부(320)와 지지프레임(340) 내부 바닥사이에 설치되어 기판(S)에서 적층되는 금속적층체(M)의 두께를 가변시키는 두께가변부(330)를 포함하고, 상기 두께가변부(330)는, 상기 회전승강구동부(320)의 본체(322) 하부를 지지프레임(340) 내부 바닥에 슬라이딩 가능하게 지지하는 지지판 (339)과, 상기 회전승강구동부(320)의 측부에서 돌출된 지지대(331a)에 설치되는 제1롤러(331)와, 일측에 상기 제1롤러(331)가 끼어지는 제1장공(332a)과 타측에 형성된 제2장공(332b)을 가지며 그 제1장공(332a)과 제2장공(332b) 사이가 상기 지지프레임(340)의 내부 측부 소정부에 힌지결합되는 레버(332)와, 일측에 상기 제2장공(332b)에 끼어지는 제2롤러(333)가 설치되고 타측에 제3롤러(334)가 설치되는 수평이동바아(335)와, 상기 제3롤러(334)가 끼어지는 캠홈(336a)이 형성된 원기둥캠(336)과, 상기 원기둥캠(336)을 수평 방향으로 회전시키는 캠회전부(337)와, 상기 캠회전부(337)를 수직방향으로 이동시키는 수직이동부(338)를 포함한다.In the present invention, a thickness
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 다른 실시예는, 용강이 저장되는 턴디쉬(511)와, 상기 턴디쉬(511)로부터 공급되는 용강을 액적상태로 분무하는 적어도 하나 이상의 분무부(512)가 설치되는 챔버(510); 상기 분무부(512)에서 분무되는 용강이 적층되는 기판(S)을 승하강시키는 승강구동부(520); 상기 승강구동부(520)를 지지하는 지지프레임(540); 상기 승강구동부(520)의 기판(S)을 상기 챔버(510) 내로 유출입시키기 위하여, 상기 지지프레임(540)을 상기 챔버(510)의 내부 또는 외부로 이동시키는 지지프레임 이동부(550); 상기 지지프레임(540) 내부에 설치되어 승강구동부(420)를 수평방향으로 진동시키는 수평진동구동부(530);를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, another embodiment of the metal laminate manufacturing apparatus according to the present invention, the
본 발명에 있어서, 상기 수평진동구동부(530)는, 상기 승강구동부(520)의 하부를 상기 지지프레임(540) 내부 바닥에 슬라이딩 가능하게 지지하는 지지판(534)과, 일측이 상기 승강구동부(520)의 측부에 힌지결합된 제1레버(531)와, 일측이 상 기 제1레버(531)의 타측과 힌지결합되는 제2레버(532)와, 상기 제2레버(532)의 타측을 회전시키는 바아회전모터(533)로 이루어진다.In the present invention, the horizontal
이하, 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an apparatus for manufacturing a metal laminate according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명에 따른 금속적층제 제조장치의 제1실시예의 개략적 구성도이고, 도 3a은 도 2에 있어서, 금속적층체의 성장속도를 빠르게 하기 위하여 4 개의 분무부가 기판을 중심으로 대칭으로 배치된 상태를 도시한 도면이고, 도 3b는 4 개의 분무부가 기판을 중심으로 비대칭으로 배치된 상태를 도시한 도면이다. 또, 도 4는 도 2에 있어서, 금속적층체의 진동 운동에 의하여 직경이 커지는 것을 설명하기 위한 도면이고, 도 5는 도 2의 금속적층체 제조장치에 다른 구성의 수직진동구동부가 채용된 예를 도시한 도면이며, 도 6은 도 2의 금속적층체 제조장치에 또 다른 구성의 수직진동구동부가 채용된 예를 도시한 도면이다. 그리고, 도 7은 도 2의 금속적층체 제조장치에 회전승강구동부, 수직진동구동부 및 지지프레임으로 이루어지는 구성을 2 개 채용한 예를 도시한 도면이다. FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a first embodiment of a metal lamination manufacturing apparatus according to the present invention, and FIG. 3A shows, in FIG. 2, four sprayed portions symmetrically about a substrate in order to increase the growth rate of the metal laminate. FIG. 3B illustrates a state in which four spray units are asymmetrically disposed about a substrate. 4 is a view for explaining the increase in diameter due to the vibrating motion of the metal laminate in FIG. 2, and FIG. 5 is an example in which the vertical vibration driving unit having another configuration is employed in the metal laminate manufacturing apparatus of FIG. 6 is a view illustrating an example in which the vertical vibration driving unit of another configuration is employed in the apparatus for manufacturing a metal laminate of FIG. 2. FIG. 7 is a view showing an example in which two configurations including a rotating lift drive unit, a vertical vibration drive unit, and a support frame are employed in the metal laminate manufacturing apparatus of FIG. 2.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 금속적층제 제조장치의 제1실시예는, 용강이 저장되는 턴디쉬(11)와, 턴디쉬(11)로부터 공급되는 용강을 액적상태로 분무하는 적어도 하나 이상의 분무부(12)가 설치되는 챔버(10); 분무부(12)에서 분무되는 용강이 적층되는 기판(S)을 회전 및 승하강시키는 회전승강구동부(20); 회전승강구동부(20)를 지지하는 지지프레임(40); 회전승강구동부(20)의 기판(S)을 챔버(10) 내로 유출입시키기 위하여, 지지프레임(40)을 챔버의 내부 또는 외부로 이동 시키는 지지프레임 이동부(50);를 포함한다. 이때, 회전승강구동부(20)와 지지프레임(40) 내부 바닥사이에는 그 회전승강구동부(20)를 수직 방향으로 진동시키기 위한 수직진동구동부(30)가 설치되는 것이 바람직하다. As shown, the first embodiment of the metal laminate manufacturing apparatus according to the present invention, the
턴디쉬(11)는 금속이나 합금이 가열되어서 액상 형태로 된 용강을 저장하는 것이다. 이러한 턴디쉬(11)의 구조는 일반적인 것이므로 더 이상의 상세한 설명은 생략한다. The
분무부(12)는, 고압가스를 이용하여 턴디쉬(11)로부터 공급되는 용강을 기판(S) 상으로 분무시키는 것으로서, 그로부터 분무되는 액적의 분무축이 회전승강구동부(20)의 중심축과 예각을 이루도록 배치된다. The
이러한 분무부(12)가 복수개가 채용될 경우 금속적층체의 성장속도를 빠르게 할 수 있으며, 분무부(12)가 복수개 채용될 경우에 기판(S)을 중심으로 대칭 또는 비대칭으로 배치된다. 즉, 도 3a에 도시된 바와 같이, 금속적층체(M) 상부로 액적을 분무하는 분무부(12a)(12b)(12c)(12d) 4 개를 기판(S)을 중심으로 대칭으로 배치할 수도 있고, 도 3b 에 도시된 바와 같이 기판(S)의 일측으로 4 개의 분무부(12a')(12b')(12c')(12d')를 배치할 수도 있는 것이다. When a plurality of
챔버(10)의 일측 또는 양측에는 개폐도어(15)가 설치되며, 개폐도어(15)의 개폐 여부에 따라서 지지프레임(40)에 의하여 이동되는 회전승강구동부(20)의 기판(S)이 챔버(10) 내부에 위치되던지 챔버(10) 외부에 위치된다. One side or both sides of the
회전승강구동부(20)는, 기판(S)을 지지하는 승강봉(21)과, 승강봉(21)을 승강시키는 본체(22)로 구성된다. 이러한 회전승강구동부(20)에 있어서, 본체(22)의 내부에는 승강봉(21)을 승강시키기 위한 기어 및 모터가 설치되어 구현되거나, 승강봉(21)을 승강시키기 위한 캠 구조가 설치되어 구현될 수 있다. 또는, 회전승강구동부(20) 자체가 유압실린더로서 구현될 수도 있다. 이러한 회전승강구동부(20)의 구조는 당업계에서 일반적인 것이므로 더 이상의 상세한 설명은 생략한다. The rotary
수직진동구동부(30)는, 회전승강구동부(20)를 수직방향으로 반복해서 진동운동 시킴으로써 금속적층체의 직경을 크게 하기 위한 것이다. The vertical
기판(S) 상에서 성장하는 금속적층체(M)의 직경을 크게 하고자 한다면, 도 4에 도시된 바와 같이 회전되는 금속적층체(M)를 상하 방향으로 진동시켜야 한다. 즉, 금속적층체(M)가 상방으로 위치될 때(점선 참조) 분무부(12)로부터 분무되는 액적이 금속적층체의 가장자리에 도달하고, 금속적층체(M)가 하방으로 위치될 때(실선 참조) 분무부(12)로부터 분무되는 액적이 금속적층체의 대략 중앙에 모이게 되므로, 결과적으로 성장하는 금속적층체의 직경이 커지게 되는 것이다. If the diameter of the metal laminate M growing on the substrate S is to be increased, the metal laminate M to be rotated as shown in FIG. 4 should be vibrated in the vertical direction. That is, when the metal laminate M is positioned upwards (see dashed line), when the droplets sprayed from the
그런데, 짧은 시간동안 회전되는 금속적층체(M)를 상하 방향으로 진동시키는 것은 회전승강구동부(20)로도 가능하다. 하지만 성장되면서 상당한 무게를 가지게 되는 금속적층체(M)를 오랜 시간동안 진동시키는 것은 현실적으로 불가능하다. 따라서, 본원에서는 별도의 수직진동구동부(30)를 채용하여 오랜시간동안 금속적층체를 상하 방향으로 진동시키고자 하는 것이다. By the way, it is also possible to vibrate the metal laminate (M) rotated for a short time in the vertical direction as the rotary lifting drive unit (20). However, it is practically impossible to vibrate the metal laminate (M) for a long time, which has a considerable weight as it grows. Accordingly, in the present application, the separate vertical
상기한 수직진동구동부(30)는, 회전승강구동부(20)의 본체(22) 하부를 지지하는 것으로서 오일이 채워지는 내부공간(32)을 가지는 오일박스(31)와, 오일박스(31)를 밀봉되게 관통하며 지지프레임(40) 내부 바닥에 지지되는 지지바아(33)와, 지지바아(33)에 회전 가능하게 설치되며 내부공간(32) 상부에 캠면이 접촉되는 캠(35)과, 캠(35)을 회전시키는 캠회전부(미도시)를 포함한다. 이때 오일은 반고체형 그리스가 적합한데, 반고체형 오일은 캠(35)이 회전되는 동안에 그 캠(35)과 내부공간(32) 사이에서 발생되는 마찰열에서 의하여 액상으로 상변화되어, 캠(35)의 캠면과 내부공간 접촉면이 마모되는 것을 방지한다. The vertical
상기한 수직진동구동부(30')는 도 5에 도시된 바와 같이, 회전승강구동부(20)의 본체(22) 하부를 지지하는 롤러(31')와, 롤러(31')가 접하는 편심된 캠면이 형성된 캠(32')과, 캠(32')을 회전시키는 캠회전부(33')를 포함할 수도 있다. As shown in FIG. 5, the vertical
또, 상기한 수직진동구동부(30")는, 도 6에 도시된 바와 같이, 회전승강구동부(20)의 본체(22) 하부를 지지하는 롤러(31")와, 롤러(31")가 접하는 캠면이 형성된 쇄기형상의 쇄기캠(32")과, 쇄기캠(32")을 수평 방향으로 왕복이동시키는 쇄기캠왕복이동부(33")를 포함할 수도 있다. 이때, 쇄기캠왕복이동부(33")는 일측이 쇄기캠(32")의 측부에 힌지결합된 제1레버(33a")와, 일측이 제1레버(33a")의 타측과 힌지결합되는 제2레버(33b")와, 제2레버(33b")의 타측을 회전시키는 바아회전모터(33c")로 이루어지며, 제2레버(33b")를 회전시킴에 따라 제2레버(33b")는 제1레버(33a")를 잡아당기거나 밀게 되어 쇄기캠(32")을 수평방향으로 왕복 운동시킨다. In addition, as shown in FIG. 6, the vertical
지지프레임(40)의 하부에는 바닥에 대하여 슬라이딩이 원할히 이루어질 수 있도록 하부에는 다수개의 롤러(41)가 설치된다. 또한, 지지프레임(40) 내부 하부에는 오일박스(31)가 상하 방향으로 움직일 때 좌우로 흔들리지 않도록 그 오일박스(31)의 외주를 수직 방향으로 가이드하는 제1가이드레일(42)이 설치되고, 오일박 스(31)가 보다 원할히 상하 방향으로 움직일 수 있도록 오일박스(31)와 제1가이드레일(42) 사이에 공지의 베어링(43)이 설치되는 것이 바람직하다. 그리고, 지지프레임(40) 내부 상부에는 회전승강구동부(20)가 상하 방향으로 움직일 때 좌우로 흔들리지 않도록 그 본체(22)의 외주를 수직 방향으로 가이드하는 제2가이드레일(44)이 설치되고, 본체(22)가 보다 원할히 상하 방향으로 움직일 수 있도록 본체(22)와 제2가이드레일(44) 사이에 공지의 베어링(45)이 설치되는 것이 바람직하다.The lower portion of the
지지프레임 이동부(50)는 지지프레임(40)을 챔버(10) 방향으로 이동시킬 수 있으며, 이러한 지지프레임 이동부(50)는 공지의 유압실린더를 이용하거나, 모터와 기어를 이용하여 구현할 수 있다. 본 실시예에서는 유압실린더를 이용하였다. The support
본원의 금속적층체 제조장치의 제1실시예는 상기한 구성에 의하여, 지지프레임 이동부(50)가 지지프레임(40)를 챔버(10) 방향으로 이동시키면, 지지프레임(40)에 지지되는 회전승강구동부(20) 상의 기판(S)이 챔버(10) 내부에 위치된다. 이 상태에서, 분무부(12)는 턴디쉬(11)로부터 공급되는 용강을 기판(S) 상으로 액적 상태로 분무하는데, 분무된 액적은 기판(S) 상으로 낙하하면서 굳게 되고, 연속적으로 낙하하는 액적에 의하여 금속적층체로 성장하게 된다. According to the first embodiment of the metal laminate manufacturing apparatus of the present application, when the support
금속적층체(M)의 직경이 커지게 하기 위하여 수직진동구동부(30)를 구동한다. 즉, 캠회전부가 캠(35)을 회전시키면, 내부공간(32)의 상부면에 캠면이 접촉된 캠(35)이 오일박스(31)를 상하 방향으로 움직이고, 이에 따라 오일박스(31)에 지지되는 회전승강구동부(20)가 상하 방향으로 진동되면서 회전되며 성장되는 금속적층체(M)의 직경이 커진다.In order to increase the diameter of the metal laminate M, the vertical
상기한 과정을 통하여 금속적층체(M)가 완성되면, 지지프레임 이동부(50)는 회전승강구동부(20) 및 수직진동구동부(30)를 지지하는 지지프레임(40)을 챔버(10) 반대방향으로 이동시키고, 이에 따라 회전승강구동부(20) 상의 기판(S)에 적층된 금속적층체(M)는 챔버(10)로부터 빠져나온다. 즉, 조업자가 챔버(10) 내부에 들어가지 않더라도, 그리고 챔버(10)가 식지 않더라도 금속적층체(M)를 챔버(10)로부터 꺼낼 수 있는 것이다. When the metal laminate M is completed through the above process, the support
한편, 도 7에 도시된 바와 같이, 회전승강구동부(20), 수직진동구동부(30) 및 지지프레임(40)으로 이루어지는 구성을 2 개 채용할 경우, 첫 번째 회전승강구동부(20)의 기판(S)에 금속적층체(M)가 적층된 후 챔버(10)로부터 금속적층체(M)를 꺼내는 동안에, 다른 회전승강구동부의 가판(S')이 챔버(10) 내부로 진입되도록 할 수 있다. 이 경우, 금속적층체를 제조하는 조업시간을 더욱 단축할 수 있다. On the other hand, as shown in Figure 7, when employing two configurations consisting of the rotary lifting
다음, 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 제2실시예를 설명한다. Next, a second embodiment of the metal laminate manufacturing apparatus according to the present invention will be described.
도 8은 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 제2실시예의 개략적 구성도이다. 8 is a schematic structural diagram of a second embodiment of an apparatus for manufacturing a metal laminate according to the present invention.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 제2실시예는, 용강이 저장되는 턴디쉬(111)와, 턴디쉬(111)로부터 공급되는 용강을 액적상태로 분무하는 적어도 하나 이상의 분무부(112)가 설치되는 챔버(110); 분무부(112)에서 분무되는 용강이 적층되는 기판(S)을 회전 및 승하강시키는 회전승강구동부(120); 회전승강구동부(120)를 지지하는 지지프레임(140); 회전승강구동부(120)의 기판(S)을 챔버(110) 내로 유출입시키기 위하여, 지지프레임(140)을 챔버의 내부 또는 외 부로 이동시키는 지지프레임 이동부(150);를 포함한다. 이때, 회전승강구동부(120)와 지지프레임(140) 내부 바닥사이에는 그 회전승강구동부(220)를 수직 방향으로 진동시키기 위한 수직진동구동부(130)가 설치된다. 그리고, 지지프레임(140)의 하부에는 바닥에 대하여 슬라이딩이 원할히 이루어질 수 있도록 하부에는 다수개의 롤러(141)가 설치되는 것이 바람직하다. As shown, the second embodiment of the apparatus for manufacturing a metal laminate according to the present invention, the
여기서, 챔버(110), 턴디쉬(111), 분무부(112), 개폐도어(115)에 관련된 설명은 실질적으로 제1실시예에서의 설명된 챔버(10), 턴디쉬(11), 분무부, 개폐도어(15)와 실질적으로 동일하므로 더 이상의 상세한 설명은 생략한다.Here, the description relating to the
회전승강구동부(120)는, 기판(S)을 지지하는 승강봉(121)과, 승강봉(121)을 승강시키는 본체(122)로 구성되며, 이러한 회전승강구동부(120)도 제1실시예에서 설명된 것과 실질적으로 동일하므로 더 이상의 상세한 설명은 생략한다. The rotation elevating
수직진동구동부(130)는, 회전승강구동부(120)를 수직방향으로 반복해서 진동운동 시킴으로써 금속적층체의 직경을 크게 하기 위한 것으로서, 일측에 회전승강구동부(120)의 본체(122) 측부에 설치된 제1롤러(131)가 끼어지는 제1장공(132a)과 타측에 형성된 제2장공(132b)을 가지는 레버(132)와, 제1장공(132a)과 제2장공(132b) 사이의 레버(132)에 축결합되는 지지바아(133)와, 지지바아(133)를 지지하며 지지프레임(140) 내부 바닥에 슬라이딩되는 지지판(134)과, 지지판(134)에 설치되는 것으로 수직 방향으로 회전축(135a)이 형성된 캠회전부(135)와, 회전축(135a)에 설치되는 것으로서 외주에 캠홈(136a)이 형성된 원기둥캠(136)과, 캠홈(136a)에 끼어지는 제2롤러(137a)와 제2장공(132b)에 끼어지는 제3롤러(137b)를 가지는 승강 바아(137)와, 지지프레임(140)의 측부에 설치되어 지지판(134)을 수평 방향으로 이동시키는 지지판이동부(138)를 포함한다. 여기서, 금속적층체 제조장치의 소정 위치에는 승강바아(137)가 수직방향으로만 움직일 수 있도록 가이드하는 가이더(139)가 설치되고, 지지판(134)의 하부에는 그 지지판(134)이 지지프레임(140) 내부 바닥에서 원활히 움직일 수 있도록 하기 위한 다수개의 롤러(134a)가 설치되는 것이 바람직하다. The vertical
상기한 수직진동구동부(130)의 구성에 의하여, 캠회전부(135)가 원기둥캠(136)을 회전시키면, 캠홈(136a)에 끼어지는 제2롤러(137a)가 상항방향으로 움직이면서 제3롤러(137b)가 설치된 승강바아(137)를 상하 방향으로 승강시키고, 제3롤러(137b)는 지지바아(133)에 축결합되어 있는 레버(132)를 시소 운동시킨다. 그러면 시소 운동하는 레버(132)의 제1장공(132a)에 설치된 제1롤러(131)가 상하 방향으로 움직이면서 회전승강구동부(120)를 상하 방향으로 진동시키고, 이에 따라 회전되며 성장하는 금속적층체(M)의 직경이 커진다.When the
한편, 회전승강구동부(120)의 진폭을 가변시킬 경우에는 지지판이동부(138)를 구동하여 지지판(134)을 좌측 또는 우측으로 이동시킨다. 그러면, 제1장공(132a)에 대한 제1롤러(131)의 상대 위치가 변하면서 회전승강구동부(120)의 진동 진폭이 가변된다. 즉, 지지판이동부(138)에 의하여 지지판(134)이 좌측으로 이동하면 지지바아(133)와 제1롤러(131) 사이의 거리가 가까워지면서 회전승강구동부(120)의 진동 진폭이 작아지고, 지지판(134)이 우측으로 이동하면 지지바아(133)와 제1롤러(131) 사이의 거리가 멀어지면서 회전승강구동부(120)의 진동 진폭이 커지 는 것이다. 이와 같이 회전승강구동부(120)의 진동 진폭이 작아지면 회전되며 성장되는 금속적층체(M)의 직경이 작아지고, 진동 진폭이 커지면 회전되며 성장되는 금속적층체(M)의 직경이 커진다. On the other hand, when varying the amplitude of the rotary lifting
본원의 금속적층체 제조장치의 제2실시예는 상기한 구성에 의하여, 지지프레임 이동부(150)가 지지프레임(140)를 챔버(110) 방향으로 이동시키면, 지지프레임(140)에 지지되는 회전승강구동부(120) 상의 기판(S)이 챔버(110) 내부에 위치된다. 이 상태에서, 분무부(112)는 턴디쉬(111)로부터 공급되는 용강을 기판(S) 상으로 액적 상태로 분무하는데, 분무된 액적은 기판(S) 상으로 낙하하면서 굳게 되고, 연속적으로 낙하하는 액적에 의하여 금속적층체로 성장하게 된다. 이때, 금속적층체(M)의 직경이 커지게 하기 위하여 수직진동구동부(130)를 구동하고, 금속적층체(M)의 직경을 보다 크게 하기 위하여 지지판이동부(138)를 움직여 회전승강구동부(120)의 진동 진폭을 크게 한다. According to the second embodiment of the apparatus for manufacturing a metal laminate according to the present invention, when the support
상기한 과정을 통하여 금속적층체(M)가 완성되면, 지지프레임 이동부(150)는 회전승강구동부(120) 및 수직진동구동부(130)를 지지하는 지지프레임(140)을 챔버(110) 반대방향으로 이동시키고, 이에 따라 회전승강구동부(120) 상의 기판(S)에 적층된 금속적층체(M)는 챔버(110)로부터 빠져나온다. 즉, 조업자가 챔버(110) 내부에 들어가지 않더라도, 그리고 챔버(110)가 식지 않더라도 금속적층체(M)를 챔버(110)로부터 꺼낼 수 있는 것이다. When the metal laminate M is completed through the above process, the support
다음, 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 제3실시예를 설명한다. Next, a third embodiment of the metal laminate manufacturing apparatus according to the present invention will be described.
도 9는 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 제3실시예의 개략적 구성도이 고, 도 10은 도 9의 금속적층체 제조장치에 회전승강구동부, 수평진동구동부 및 지지프레임으로 이루어지는 구성을 2 개 채용한 예를 도시한 도면이다. FIG. 9 is a schematic structural diagram of a third embodiment of a metal laminate manufacturing apparatus according to the present invention, and FIG. 10 is a structure consisting of a rotary lifting drive unit, a horizontal vibration driving unit, and a support frame in the metal laminate manufacturing apparatus of FIG. It is a figure which shows the example employ | adopted.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 제3실시예는, 용강이 저장되는 턴디쉬(211)와, 턴디쉬(211)로부터 공급되는 용강을 액적상태로 분무하는 적어도 하나 이상의 분무부(212)가 설치되는 챔버(210); 분무부(212)에서 분무되는 용강이 적층되는 기판(S)을 회전 및 승하강시키는 회전승강구동부(220); 회전승강구동부(220)를 지지하는 지지프레임(240); 회전승강구동부(220)의 기판(S)을 챔버(210) 내로 유출입시키기 위하여, 지지프레임(240)을 챔버의 내부 또는 외부로 이동시키는 지지프레임 이동부(250);를 포함한다. 이때, 회전승강구동부(220)와 지지프레임(240) 내부 바닥사이에는 그 회전승강구동부(220)를 수평 방향으로 진동시키기 위한 수평진동구동부(230)가 설치된다. 그리고, 지지프레임(240)의 하부에는 바닥에 대하여 슬라이딩이 원할히 이루어질 수 있도록 하부에는 다수개의 롤러(241)가 설치되는 것이 바람직하다. As shown, the third embodiment of the metal laminate manufacturing apparatus according to the present invention, the
여기서, 챔버(210), 턴디쉬(211), 분무부(212), 개폐도어(215)에 관련된 설명은 실질적으로 제1실시예에서의 설명된 챔버(10), 턴디쉬(11), 분무부(12), 개폐도어(15)와 실질적으로 동일하므로 더 이상의 상세한 설명은 생략한다.Here, the description related to the
회전승강구동부(220)는, 기판(S)을 지지하는 승강봉(221)과, 승강봉(221)을 승강시키는 본체(222)로 구성되며, 이러한 회전승강구동부(220)도 제1실시예에서 설명된 것과 실질적으로 동일하므로 더 이상의 상세한 설명은 생략한다. The rotation elevating
수평진동구동부(230)는, 회전승강구동부(220)를 수평방향으로 반복해서 진동 운동 시킴으로써 금속적층체의 직경을 크게 하기 위한 것으로서, 회전승강구동부(220)의 하부를 지지프레임(240) 내부 바닥에 슬라이딩 가능하게 지지하는 지지판(235)과, 회전승강구동부(220)의 측부에서 돌출된 수평지지대(232)에 설치되는 롤러(231)와, 지지프레임(240) 측부에 설치되며 롤러(231)가 끼어지는 캠홈(233a)이 형성된 원기둥캠(233)과, 원기둥캠(233)을 수평 방향으로 회전시키는 캠회전부(234)를 포함한다. 여기서, 금속적층체 제조장치의 소정 위치에는 수평지지대(232)가 수평방향으로만 움직일 수 있도록 가이드하는 가이더(239)가 설치되고, 지지판(235)의 하부에는 그 지지판(235)이 지지프레임(240) 내부 바닥에서 원활히 움직일 수 있도록 하기 위한 다수개의 롤러(235a)가 설치되는 것이 바람직하다. 상기한 수평진동구동부(230)의 구성에 의하여, 캠회전부(234)가 원기둥캠(233)을 회전시키면, 캠홈(233a)에 끼어지는 롤러(231)가 수평 방향으로 움직이면서 수평지지대(232)를 수평 방향으로 왕복이동시키고, 이에 따라 수평지지대(232)는 회전승강구동부(220)를 좌우 방향으로 움직이면서 기판(S) 상에서 회전되며 성장하는 금속적층체(M)의 직경이 커지게 한다. The horizontal
본원의 금속적층체 제조장치의 제3실시예는 상기한 구성에 의하여, 지지프레임 이동부(250)가 지지프레임(240)를 챔버(210) 방향으로 이동시키면, 지지프레임(240)에 지지되는 회전승강구동부(220) 상의 기판(S)이 챔버(210) 내부에 위치된다. 이 상태에서, 분무부(212)는 턴디쉬(211)로부터 공급되는 용강을 기판(S) 상으로 액적 상태로 분무하는데, 분무된 액적은 기판(S) 상으로 낙하하면서 굳게 되고, 연속적으로 낙하하는 액적에 의하여 금속적층체로 성장하게 된다. 이때, 수평진동 구동부(230)를 구동하면, 회전승강구동부(220)의 수평 방향 진동 진폭이 크게 되어 금속적층체(M)의 직경이 커지게 된다. According to the third embodiment of the metal laminate manufacturing apparatus of the present application, when the support
상기한 과정을 통하여 금속적층체(M)가 완성되면, 지지프레임 이동부(250)는 회전승강구동부(220) 및 수평진동구동부(230)를 지지하는 지지프레임(240)을 챔버(210) 반대방향으로 이동시키고, 이에 따라 회전승강구동부(220) 상의 기판(S)에 적층된 금속적층체(M)는 챔버(210)로부터 빠져나온다. 즉, 조업자가 챔버(210) 내부에 들어가지 않더라도, 그리고 챔버(210)가 식지 않더라도 금속적층체(M)를 챔버(210)로부터 꺼낼 수 있는 것이다. When the metal laminate M is completed through the above process, the support
한편, 도 10에 도시된 바와 같이, 회전승강구동부(220), 수평진동구동부(230) 및 지지프레임(240)으로 이루어지는 구성을 2 개 채용할 경우, 첫 번째 회전승강구동부(220)의 기판(S)에 금속적층체(M)가 적층된 후 챔버(210)로부터 금속적층체(M)를 꺼내는 동안에, 다른 회전승강구동부의 가판(S')이 챔버(210) 내부로 진입되도록 할 수 있다. 이 경우, 금속적층체를 제조하는 조업시간을 더욱 단축할 수 있다. On the other hand, as shown in Figure 10, when employing two configurations consisting of the rotary lifting
다음, 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 제4실시예를 설명한다. Next, a fourth embodiment of the metal laminate manufacturing apparatus according to the present invention will be described.
도 11은 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 제4실시예의 개략적 구성도이다. 11 is a schematic structural diagram of a fourth embodiment of an apparatus for manufacturing a metal laminate according to the present invention.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 제3실시예는, 용강이 저장되는 턴디쉬(311)와, 턴디쉬(311)로부터 공급되는 용강을 액적상태로 분무하는 적어도 하나 이상의 분무부(312)가 설치되는 챔버(310); 분무부(321)에서 분무되는 용강이 적층되는 기판(S)을 회전 및 승하강시키는 회전승강구동부(320); 회전승강구동부(320)를 지지하는 지지프레임(340); 회전승강구동부(320)의 기판(S)을 챔버(310) 내로 유출입시키기 위하여, 지지프레임(340)을 챔버의 내부 또는 외부로 이동시키는 지지프레임 이동부(350);를 포함한다. 이때, 회전승강구동부(320)와 지지프레임(340) 내부 바닥사이에는 기판(S)에서 적층되는 금속적층체(M)의 두께를 가변시키는 두께가변부(330)가 설치된다. 그리고, 지지프레임(340)의 하부에는 바닥에 대하여 슬라이딩이 원할히 이루어질 수 있도록 하부에는 다수개의 롤러(341)가 설치되는 것이 바람직하다. As shown, the third embodiment of the apparatus for manufacturing a metal laminate according to the present invention, the
여기서, 챔버(310), 턴디쉬(311), 분무부(312), 개폐도어(315)에 관련된 설명은 실질적으로 제1실시예에서의 설명된 챔버(10), 턴디쉬(11), 분무부, 개폐도어(15)와 실질적으로 동일하므로 더 이상의 상세한 설명은 생략한다.Here, the description relating to the
회전승강구동부(320)는, 기판(S)을 지지하는 승강봉(321)과, 승강봉(321)을 승강시키는 본체(322)로 구성되며, 이러한 회전승강구동부(320)도 제1실시예에서 설명된 것과 실질적으로 동일하므로 더 이상의 상세한 설명은 생략한다. The rotary
두께가변부(330)는, 회전승강구동부(320)의 본체(322) 하부를 지지프레임(340) 내부 바닥에 슬라이딩 가능하게 지지하는 지지판(339)과, 회전승강구동부(320)의 측부에서 돌출된 지지대(331a)에 설치되는 제1롤러(331)와, 일측에 제1롤러(331)가 끼어지는 제1장공(332a)과 타측에 형성된 제2장공(332b)을 가지며 그 제1장공(332a)과 제2장공(332b) 사이가 지지프레임(340)의 내부 측부 소정부에 힌지결합되는 레버(332)와, 일측에 제2장공(332b)에 끼어지는 제2롤러(333)가 설치되고 타측에 제3롤러(334)가 설치되는 수평이동바아(335)와, 제3롤러(334)가 끼어지는 캠홈(336a)이 형성된 원기둥캠(336)과, 원기둥캠(336)을 수평 방향으로 회전시키는 캠회전부(337)와, 캠회전부(337)를 수직방향으로 이동시키는 수직이동부(338)를 포함한다. 이때, 수평이동바아(335)가 수평 방향으로만 움직일 수 있도록, 캠회전부(337)에 고정되는 가이더(337a)가 수평이동바아(335)를 가이드한다.The thickness
여기서, 수직이동부(338)는 공지의 유압실린더를 이용하거나, 모터와 기어를 이용하여 구현할 수 있다. 본 실시예에서는 모터(338a)와 캠회전부(337)를 나사결합되도록 관통하는 스크류(338b)를 채용한 것을 예로써 설명하고 있다. Here, the vertical moving
상기한 두께가변부(330)의 구성에 의하여, 캠회전부(337)가 원기둥캠(336)을 회전시키면, 캠홈(336a)에 끼어지는 제3롤러(334)가 수평 방향으로 움직이면서 수평이동바아(335)에 설치된 제2롤러(333)를 수평 방향으로 왕복이동시키고, 제2장공(332b)에 설치된 제2롤러(333)는 레버(332)를 움직여 제1장공(332a)에 설치된 제1롤러(331)을 움직인다. 그러면, 제1롤러(331)에 결합된 지지대(331a)가 회전승강구동부(320)를 좌우 방향으로 움직이게 되고, 이에 따라 회전되며 성장하는 금속적층체(M)의 직경이 커진다.When the
한편, 회전승강구동부(320)의 수평 방향으로의 진폭을 가변시킬 경우에는 수직이동부(338)을 구동하여 캠회전부(337)를 상하 방향으로 이동시킨다. 예를 들면, 수직이동부(338)에 의하여 캠회전부(337)가 하방향으로 움직이면 가이더(337a)에 의하여 지지되는 수평이동바아(335)가 하방으로 이동하고, 이에 따라 수평이동바아(335)의 단부에 위치되는 제2롤러(333)가 제2장공(332b)의 하부로 이동한다. 그러 면, 수평이동바아(335)에 의하여 수평 방향으로 진동하는 레버(332)의 진폭이 커지고, 레버(332)의 제1장공(332a)에 결합된 지지대(331a)에 의하여 움직이는 회전승강구동부(320)의 진폭이 커진다. 이 상태에서, 회전승강구동부(320)의 기판(S) 상에서 회전되며 적층되는 금속적층체(M)의 직경은 커진다. 그러나 수직이동부(338)에 의하여 캠회전부(337)가 상방향으로 움직이면 가이더(337a)에 의하여 지지되는 수평이동바아(335)가 상방으로 이동하고, 이에 따라 수평이동바아(335)의 단부에 위치되는 제2롤러(333)이 제2장공(332b)의 상부로 이동한다. 그러면, 수평이동바아(335)에 의하여 수평 방향으로 진동하는 레버(332)의 진폭이 작아지고, 레버(332)의 제1장공(332a)에 결합된 지지대(331a)에 의하여 움직이는 회전승강구동부(320)의 진폭이 작아진다. 이 상태에서, 회전승강구동부(320)의 기판(S) 상에서 회전되며 적층되는 금속적층체(M')의 직경은 작아진다. On the other hand, when the amplitude of the rotary lifting
본원의 금속적층체 제조장치의 제4실시예는 상기한 구성에 의하여, 지지프레임 이동부(350)가 지지프레임(340)를 챔버(310) 방향으로 이동시키면, 지지프레임(340)에 지지되는 회전승강구동부(320) 상의 기판(S)이 챔버(310) 내부에 위치된다. 이 상태에서, 분무부(312)는 턴디쉬(311)로부터 공급되는 용강을 기판(S) 상으로 액적 상태로 분무하는데, 분무된 액적은 기판(S) 상으로 낙하하면서 굳게 되고, 연속적으로 낙하하는 액적에 의하여 금속적층체로 성장하게 된다. 이때, 수평진동구동부(330)를 구동하면, 회전승강구동부(320)의 수평 방향 진동 진폭이 크게 되어 금속적층체(M)의 직경이 커지게 된다. According to the fourth embodiment of the metal laminate manufacturing apparatus of the present application, when the support
상기한 과정을 통하여 금속적층체(M)가 완성되면, 지지프레임 이동부(350)는 회전승강구동부(320) 및 수평진동구동부(330)를 지지하는 지지프레임(340)을 챔버(310) 반대방향으로 이동시키고, 이에 따라 회전승강구동부(320) 상의 기판(S)에 적층된 금속적층체(M)는 챔버(310)로부터 빠져나온다. 즉, 조업자가 챔버(310) 내부에 들어가지 않더라도, 그리고 챔버(310)가 식지 않더라도 금속적층체(M)를 챔버(310)로부터 꺼낼 수 있는 것이다. When the metal laminate M is completed through the above process, the support
한편, 도시하지는 않았지만, 제1,2,3실시에에서와 같이, 회전승강구동부(320), 수평진동구동부(330) 및 지지프레임(340)으로 이루어지는 구성을 2 개 채용할 경우, 첫 번째 회전승강구동부(320)의 기판(S)에 금속적층체(M)가 적층된 후 챔버(310)로부터 금속적층체(M)를 꺼내는 동안에, 다른 회전승강구동부의 가판이 챔버(310) 내부로 진입되도록 할 수 있다. 이 경우, 금속적층체를 제조하는 조업시간을 더욱 단축할 수 있다. On the other hand, although not shown, as in the first, second, third embodiment, when employing two configurations consisting of the rotary lifting
다음, 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 제5실시예를 설명한다. Next, a fifth embodiment of the metal laminate manufacturing apparatus according to the present invention will be described.
도 12는 본 발명에 따른 금속적층제 제조장치의 제5실시예의 개략적 구성도이고, 도 13은 도 12의 금속적층체 제조장치에 회전승강구동부 및 지지프레임으로 이루어지는 구성을 2 개 채용한 예를 도시한 도면이다. 또, 도 14는 도 12의 금속적층체 제조장치에 있어서, 금속적층체의 성장속도를 빠르게 하기 위하여 4 개의 분무부가 기판을 중심으로 대칭으로 배치된 상태를 도시한 도면이고, 도 15는 도 12의 금속적층체 제조장치에 있어서, 2 종류의 조성을 갖는 금속적층체를 성장시키기 위하여, 2 종류의 용강이 저장된 제1,2턴디쉬 및 그 턴디쉬에 각각 연결되는 제1,2분무부를 도시한 도면이다. 그리고, 도 16은 도 12의 금속적층체 제조장치에 금 속적층체의 두께를 두껍게 하기 위한 수평진동구동부를 채용한 예를 도시한 도면이다.FIG. 12 is a schematic structural diagram of a fifth embodiment of an apparatus for manufacturing a metal laminate according to the present invention, and FIG. 13 shows an example in which two configurations including a rotating lifting drive unit and a support frame are employed in the metal laminate manufacturing apparatus of FIG. 12. Figure is shown. FIG. 14 is a view showing a state in which four spraying portions are symmetrically arranged around a substrate in order to increase the growth rate of the metal laminate in FIG. 12, and FIG. 15 is FIG. 12. In the apparatus for manufacturing a metal laminate of the present invention, in order to grow a metal laminate having two kinds of compositions, there are shown first and second tundish in which two kinds of molten steel are stored and first and second spraying portions respectively connected to the tundish. Drawing. 16 is a view showing an example in which the horizontal vibration driving unit for thickening the thickness of the metal laminate is employed in the apparatus for manufacturing a metal laminate of FIG. 12.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 제5실시예는, 용강이 저장되는 턴디쉬(411)와, 턴디쉬(411)로부터 공급되는 용강을 액적상태로 분무하는 적어도 하나 이상의 분무부(412)가 설치되는 챔버(410); 분무부(412)에서 분무되는 용강이 적층되는 기판(S)을 회전 및 승하강시키는 회전승강구동부(420); 회전승강구동부(420)를 지지하는 지지프레임(440); 회전승강구동부(420)의 기판(S)을 챔버(410) 내로 유출입시키기 위하여, 지지프레임(440)을 챔버의 내부 또는 외부로 이동시키는 지지프레임 이동부(450);를 포함한다. 이때, 지지프레임(440)의 하부에는 바닥에 대하여 슬라이딩이 원할히 이루어질 수 있도록 하부에는 다수개의 롤러(441)가 설치되는 것이 바람직하다. As shown, the fifth embodiment of the apparatus for manufacturing a metal laminate according to the present invention, the
턴디쉬(411)는 금속이나 합금이 가열되어서 액상 형태로 된 용강을 저장하는 것이다. 이러한 턴디쉬(411)의 구조는 일반적인 것이므로 더 이상의 상세한 설명은 생략한다. The
분무부(412)는, 고압가스를 이용하여 턴디쉬(411)로부터 공급되는 용강을 기판(S) 상으로 분무시키는 것으로서, 그로부터 분무되는 액적의 분무축이 회전승강구동부(420)의 중심축과 예각을 이루도록 배치된다. The
본원의 금속적층체 제조장치의 제5실시예는, 지지프레임(440)에 지지되는 회전승강구동부(420) 상의 기판(S)이 챔버(410) 내부에 위치되되, 분무부(412)에서 분무되는 액적이 기판(S)의 가장자리에 떨어지도록 위치되어야 한다. 이 상태에서, 기판(S)이 회전하는 동안에 액적이 기판(S) 가장자리로 낙하하면서 굳게 되고, 연속적으로 낙하하는 액적에 의하여 파이프 형상의 금속적층체로 성장하게 된다. In the fifth embodiment of the metal laminate manufacturing apparatus of the present application, the substrate (S) on the
이때, 도 13에 도시된 바와 같이, 파이프 형상의 금속적층체를 제조하는 조업시간을 단축하기 위하여, 회전승강구동부(420), 수평진동구동부(430) 및 지지프레임(440)으로 이루어지는 구성을 2 개 채용할 수 도 있고, 이 경우 첫 번째 회전승강구동부(420)의 기판(S)에 금속적층체(M)가 적층된 후 챔버(410)로부터 금속적층체(M)를 꺼내는 동안에, 다른 회전승강구동부의 기판(S')이 챔버(410) 내부로 진입된다. At this time, as shown in Figure 13, in order to shorten the operating time for manufacturing the pipe-shaped metal laminate, the configuration consisting of the rotary lifting
또한, 분무부(412)가 복수개가 채용될 경우 금속적층체의 성장속도를 빠르게 할 수 있으며, 분무부(412)가 복수개 채용될 경우에 기판(S)을 중심으로 대칭 또는 비대칭으로 배치된다. 즉, 도 14에 도시된 바와 같이, 금속적층체(M) 상부로 액적을 분무하는 분무부(412a)(412b)(412c)(412d) 4 개를 기판(S)의 가장자리를 중심으로 대칭으로 배치할 수도 있고, 기판(S)의 가장자리 일측으로 4 개의 분무부를 배치할 수도 있는 것이다. In addition, when a plurality of
또한, 도 15에 도시된 바와 같이, 다른 조성의 용강이 저장된 제1턴디쉬(411)과 제2턴디쉬(411')을 채용하고, 각각의 제1턴디쉬(411)와 제2턴디쉬(411')에 복수개로 이루어지는 제1분무부(412a, 142b)와 제2분무부(412a', 412b')를 채용할 경우에, 기판(S) 상에 적층되는 파이프 형상의 금속적층체는 2 가지의 조성을 가질 수 있는 것이다. In addition, as shown in FIG. 15, a
한편, 도 16에 도시된 바와 같이, 제3실시예에서 설명된 것과 동일한 구성의 수평진동구동부(430)를 채용할 경우, 수평진동구동부(430)가 회전승강구동부(420)를 수평방향으로 반복해서 진동운동 시킴으로써 파이프 형상의 금속적층체(M')의 두께(직경)을 크게 할 수도 있다. 즉, 캠회전부(434)가 원기둥캠(433)을 회전시키면, 캠홈(433a)에 끼어지는 롤러(431)가 수평 방향으로 움직이면서 수평지지대(432)를 수평 방향으로 왕복이동시키고, 이에 따라 수평지지대(432)는 지지판(435)에 지지되는 회전승강구동부(420)를 좌우 방향으로 움직이면서 기판(S) 상에서 회전되며 성장하는 파이프 형상의 금속적층체(M)의 두께(직경)을 크게 하는 것이다. On the other hand, as shown in Figure 16, when employing the horizontal
본 발명의 금속적층체 제조장치의 동작은 제1,2,3,4실시예에서 설명된 것과 거의 유사하므로 더 이상의 상세한 설명은 생략한다.Since the operation of the metal laminate manufacturing apparatus of the present invention is almost similar to that described in the first, second, third, and fourth embodiments, further detailed description is omitted.
다음, 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 제6실시예를 설명한다. Next, a sixth embodiment of the metal laminate manufacturing apparatus according to the present invention will be described.
도 17은 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 제6실시예를 도시한 도면이고, 도 18은 도 17의 금속적층체 제조장치에 승강구동부, 수평진동구동부 및 지지프레임으로 이루어지는 구성을 2 개 채용한 예를 도시한 도면이며, 도 19는 도 17의 금속적층체 제조장치에 있어서, 금속적층체의 성장속도를 빠르게 하기 위하여 4 개의 분무부가 기판을 중심으로 대칭으로 배치된 상태를 도시한 도면이고, 도 20은 도 17의 금속적층체 제조장치에 있어서, 2 종류의 조성을 갖는 금속적층체를 성장시키기 위하여, 2 종류의 용강이 저장된 제1,2턴디쉬 및 그 턴디쉬에 각각 연결되는 제1,2분무부를 도시한 도면이다. 17 is a view showing a sixth embodiment of the metal laminate manufacturing apparatus according to the present invention, Figure 18 is a configuration consisting of a lifting drive unit, a horizontal vibration driving unit and a support frame in the metal laminate manufacturing apparatus of FIG. FIG. 19 is a view showing an example of the present invention, and FIG. 19 is a view illustrating a state in which four spray units are symmetrically disposed about a substrate in order to increase the growth rate of the metal laminate in FIG. 17. FIG. 20 illustrates the first and second tundishes stored in two kinds of molten steel and the tundish, respectively, in order to grow the metal laminate having two kinds of compositions in the metal lamination manufacturing apparatus of FIG. 17. It is a figure which shows 1, 2 spraying parts.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치의 제6실시예는, 용강이 저장되는 턴디쉬(511)와, 턴디쉬(511)로부터 공급되는 용강을 액적상태로 분 무하는 적어도 하나 이상의 분무부(512)가 설치되는 챔버(510); 분무부(512)에서 분무되는 용강이 적층되는 기판(S)을 승하강시키는 승강구동부(520); 승강구동부(520)를 지지하는 지지프레임(540); 승강구동부(520)의 기판(S)을 챔버(510) 내로 유출입시키기 위하여, 지지프레임(540)을 챔버의 내부 또는 외부로 이동시키는 지지프레임 이동부(550)과, 지지프레임(540) 내부에 설치되어 승강구동부(520)를 수평방향으로 진동시키는 수평진동구동부(530);를 포함한다. 이때, 지지프레임(540)의 하부에는 바닥에 대하여 슬라이딩이 원할히 이루어질 수 있도록 하부에는 다수개의 롤러(541)가 설치되는 것이 바람직하다. As shown, the sixth embodiment of the metal laminate manufacturing apparatus according to the present invention, the
여기서, 챔버(510), 턴디쉬(511), 분무부(512), 개폐도어(515)에 관련된 설명은 실질적으로 제1실시예에서의 설명된 챔버(10), 턴디쉬(11), 분무부, 개폐도어(15)와 실질적으로 동일하므로 더 이상의 상세한 설명은 생략한다.Here, the description relating to the
승강구동부(520)는, 기판(S)을 지지하는 승강봉(521)과, 승강봉(521)을 승강시키는 본체(522)로 구성된다. The
수평진동구동부(530)는, 승강구동부(520)를 수평방향으로 반복해서 진동운동 시킴으로써 사각기둥 형상의 금속적층체가 적층되게 하기 위한 것으로서, 승강구동부(520)의 하부를 지지프레임(540) 내부 바닥에 슬라이딩 가능하게 지지하는 지지판(534)과, 일측이 승강구동부(520)의 측부에 힌지결합된 제1레버(531)와, 일측이 제1레버(531)의 타측과 힌지결합되는 제2레버(532)와, 제2레버(532)의 타측을 회전시키는 바아회전모터(533)로 이루어진다. 이러한 구성에 의하여, 제2레버(532)를 회전시키면, 제2레버(532)는 제1레버(531)를 잡아당기거나 밀게 되어 승강구동부 (520)를 지지프레임(540) 내부 바닥에서 왕복운동시킨다. 본 실시예에서 수평진동구동부(530)는 상기한 구성으로 이루어져 있지만, 승강구동부(520)를 왕복 운동시킬 수 있다면, 수평진동구동부(530)는 유압실린더로 구현하거나, 또는 모터 및 기어구조를 이용하여서도 구현할 수 있음은 물론이다. The horizontal
본원의 금속적층체 제조장치의 제6실시예는, 지지프레임 이동부(550)가 지지프레임(540)를 챔버(510) 방향으로 이동시키면, 지지프레임(540)에 지지되는 승강구동부(520) 상의 기판(S)이 챔버(510) 내부에 위치된다. 이 상태에서, 수평진동구동부(530)가 승강구동부(520)를 수평 방향으로 진동시키고, 분무부(512)는 턴디쉬(511)로부터 공급되는 용강을 기판(S) 상으로 액적 상태로 분무하는데, 분무된 액적은 기판(S) 상으로 낙하하면서 굳게 되고, 연속적으로 낙하하는 액적에 의하여 사각기둥 형상의 금속적층체로 성장하게 된다. The sixth embodiment of the metal laminate manufacturing apparatus of the present application, when the support
상기한 과정을 통하여 금속적층체(M)가 완성되면, 지지프레임 이동부(550)는 승강구동부(520) 및 수평진동구동부(530)를 지지하는 지지프레임(540)을 챔버(510) 반대방향으로 이동시키고, 이에 따라 승강구동부(520) 상의 기판(S)에 적층된 금속적층체(M)는 챔버(510)로부터 빠져나온다. 즉, 조업자가 챔버(510) 내부에 들어가지 않더라도, 그리고 챔버(510)가 식지 않더라도 금속적층체(M)를 챔버(510)로부터 꺼낼 수 있는 것이다. When the metal laminate M is completed through the above process, the support
이때, 도 18에 도시된 바와 같이, 사각기둥 형상의 금속적층체를 제조하는 조업시간을 단축하기 위하여, 승강구동부(520), 수평진동구동부(530) 및 지지프레임(540)으로 이루어지는 구성을 2 개 채용할 수 도 있고, 이 경우 첫 번째 승강구 동부(520)의 기판(S)에 금속적층체(M)가 적층된 후 챔버(510)로부터 금속적층체(M)를 꺼내는 동안에, 다른 승강구동부의 기판(S')이 챔버(510) 내부로 진입된다. At this time, as shown in Figure 18, in order to shorten the operation time for manufacturing a rectangular column-shaped metal laminated body, the configuration consisting of the lifting
또한, 분무부(512)가 복수개가 채용될 경우 금속적층체의 성장속도를 빠르게 할 수 있으며, 분무부(512)가 복수개 채용될 경우에 기판(S)을 중심으로 대칭 또는 비대칭으로 배치된다. 즉, 도 19에 도시된 바와 같이, 사각기둥 형상의 금속적층체(M) 상부로 액적을 분무하는 분무부(512a)(512b)(512c)(512d) 4 개를 기판(S)의 가장자리를 중심으로 대칭으로 배치할 수도 있고, 도 기판(S)의 가장자리 일측으로 4 개의 분무부를 배치할 수도 있는 것이다. In addition, when a plurality of
또한, 도 20에 도시된 바와 같이, 다른 조성의 용강이 저장된 제1턴디쉬(511)과 제2턴디쉬(511')을 채용하고, 각각의 제1턴디쉬(511)와 제2턴디쉬(511')에 복수개의 분무부(512a, 512b)(512a', 512b')를 채용할 경우에, 기판(S) 상에 적층되는 사각기둥 형상의 금속적층체는 2 가지의 조성을 가질 수 있는 것이다. In addition, as shown in FIG. 20, a
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, this is merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 금속적층체 제조장치에 따르면, 금속적층체를 성장시킬 때 회전뿐만 아니라 상하 방향으로 진동시킴으로써 제조되는 금속적층체의 직경을 크게 할 수 있으며, 이에 따라 제조량을 늘릴 수 있고 제조시간을 단축함으로써 생산속도를 향상시킬 수 있다라는 효과가 있다.As described above, according to the apparatus for manufacturing a metal laminate according to the present invention, when the metal laminate is grown, the diameter of the metal laminate manufactured by vibrating in the vertical direction as well as rotation can be increased, thereby increasing the amount of production. In addition, the production speed can be improved by shortening the manufacturing time.
Claims (15)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050048888A KR20060127652A (en) | 2005-06-08 | 2005-06-08 | An apparatus for manufacturing metal deposition |
Applications Claiming Priority (1)
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KR1020050048888A KR20060127652A (en) | 2005-06-08 | 2005-06-08 | An apparatus for manufacturing metal deposition |
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Family
ID=37730674
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KR1020050048888A KR20060127652A (en) | 2005-06-08 | 2005-06-08 | An apparatus for manufacturing metal deposition |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106623935A (en) * | 2016-10-09 | 2017-05-10 | 湖南工业大学 | Spray deposition platform |
CN108396302A (en) * | 2018-05-29 | 2018-08-14 | 大连维钛克科技股份有限公司 | The continuous swing type pivoted frame of substrate bearing axis |
-
2005
- 2005-06-08 KR KR1020050048888A patent/KR20060127652A/en not_active Application Discontinuation
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