KR20060104229A - Plasma display panel and manufacturing method thereof - Google Patents

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KR20060104229A
KR20060104229A KR1020050026182A KR20050026182A KR20060104229A KR 20060104229 A KR20060104229 A KR 20060104229A KR 1020050026182 A KR1020050026182 A KR 1020050026182A KR 20050026182 A KR20050026182 A KR 20050026182A KR 20060104229 A KR20060104229 A KR 20060104229A
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plasma display
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mesoporous
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박승준
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엘지전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층 및 그의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a protective layer of a plasma display panel and a method of manufacturing the same.

이러한 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 전면 패널의 유전체의 상부에 형성된 제 1 보호층과 제 1 보호층 상부에 형성된 제 2 보호층을 포함하되, 제 1 보호층은 산화마그네슘(MgO)으로 이루어지고, 제 2 보호층은 박막 형태의 메조다공체층인 것을 특징으로 한다.The plasma display panel according to the present invention includes a first protective layer formed on the dielectric of the front panel and the second protective layer formed on the first protective layer, the first protective layer is made of magnesium oxide (MgO) The second protective layer is characterized in that the mesoporous body layer in the form of a thin film.

또한, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 (a) 전면 패널의 유전체 상부에 산화마그네슘(MgO)을 증착하여 제 1 보호층을 형성하는 단계와 (b) 제 1 보호층 표면에 제 2 보호층을 형성하는 단계를 포함하되, 제 2 보호층은 박막 형태의 메조다공체층인 것을 특징으로 한다.In addition, a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention includes the steps of (a) depositing magnesium oxide (MgO) on the dielectric of the front panel to form a first protective layer and (b) a second protective layer on the surface of the first protective layer. Forming a protective layer, wherein the second protective layer is characterized in that the mesoporous layer in the form of a thin film.

따라서, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 산화마그네슘(MgO)로 이루어지는 제 1 보호층 상면에 메조다공체층을 형성함으로써 H2O, CO2 등의 불순물들로 인한 수화 및 오염을 방지한다. 이에 따라, 제 1 보호층의 이차방출계수를 향상시켜 방전특성도 개선되고 안정한 방전 상태를 얻기 위해 실시하는 에이징 공정 시간이 대폭 감소하는 효과가 있다.Accordingly, the plasma display panel according to the present invention forms a mesoporous layer on the upper surface of the first protective layer made of magnesium oxide (MgO) to prevent hydration and contamination due to impurities such as H 2 O and CO 2 . As a result, the secondary emission coefficient of the first protective layer is improved to improve the discharge characteristics and to significantly reduce the aging process time performed to obtain a stable discharge state.

Description

플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법{Plasma Display Panel and Manufacturing Method Thereof}Plasma Display Panel and Manufacturing Method Thereof

도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도.1 is a view showing the structure of a typical plasma display panel.

도 2a 및 2b는 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층을 E-beam법을 이용하여 증착하는 방법을 나타낸 도.2A and 2B illustrate a method of depositing a protective layer of a conventional plasma display panel using an E-beam method.

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도.3 is a view showing the structure of a plasma display panel according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 순차적으로 나타낸 블록도. 4 is a block diagram sequentially illustrating a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention;

도 5는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 메조다공체층을 형성하는 메조다공체층의 모재 형성과정을 나타낸 도.5 is a view showing a base material forming process of the mesoporous layer to form a mesoporous layer of the plasma display panel according to the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층 형성과정을 나타낸 도.6 is a view illustrating a process of forming a protective layer of a plasma display panel according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명> <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

300: 전면 패널 301: 전면 글라스300: front panel 301: front glass

302: 스캔 전극 303: 서스테인 전극302: scan electrode 303: sustain electrode

a: 투명전극 b: 버스전극a: transparent electrode b: bus electrode

304: 상부 유전체층 305: 제 1 보호층304: upper dielectric layer 305: first protective layer

306: 제 2 보호층 즉, 메조다공체층 310: 후면 패널306: second protective layer, i.e., mesoporous layer 310: rear panel

311: 후면 글라스 312: 격벽311 rear glass 312 bulkhead

313: 어드레스 전극 314: 형광체층313: address electrode 314: phosphor layer

315: 하부 유전체층315: lower dielectric layer

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 보호층을 개선한 플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly, to a plasma display panel having an improved protective layer and a method of manufacturing the same.

일반적으로, 플라즈마 디스플레이 패널은 전면 패널과 후면 패널 사이에 형성된 격벽이 하나의 단위 셀을 이루는 것으로, 각 셀 내에는 네온(Ne), 헬륨(He) 또는 네온과 헬륨의 혼합기체(Ne+He)와 같은 주 방전 기체와 소량의 크세논을 함유하는 불활성 가스가 충진되어 있다. 고주파 전압에 의해 방전이 될 때, 불활성 가스는 진공자외선(Vacuum Ultraviolet Rays)을 발생하고 격벽 사이에 형성된 형광체를 발광시켜 화상이 구현된다. 이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널은 얇고 가벼운 구성이 가능하므로 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.In general, a plasma display panel is a partition wall formed between a front panel and a rear panel to form one unit cell, and each cell includes neon (Ne), helium (He), or a mixture of neon and helium (Ne + He). An inert gas containing a main discharge gas such as and a small amount of xenon is filled. When discharged by a high frequency voltage, the inert gas generates vacuum ultraviolet rays and emits phosphors formed between the partition walls to realize an image. Such a plasma display panel has a spotlight as a next generation display device because of its thin and light configuration.

도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도이다.1 illustrates a structure of a general plasma display panel.

도 1에 도시된 바와 같이, 플라즈마 디스플레이 패널은 화상이 디스플레이 되는 표시면인 전면 글라스(101)에 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)이 쌍을 이뤄 형성된 복수의 유지전극쌍이 배열된 전면 패널(100) 및 배면을 이루는 후면 글라스(111) 상에 전술한 복수의 유지전극쌍과 교차되도록 복수의 어드레스 전극(113)이 배열된 후면 패널(110)이 일정거리를 사이에 두고 평행하게 결합된다.As shown in FIG. 1, a plasma display panel includes a front panel in which a plurality of sustain electrode pairs formed by pairing a scan electrode 102 and a sustain electrode 103 are arranged on a front glass 101 that is a display surface on which an image is displayed. The rear panel 110 on which the plurality of address electrodes 113 are arranged so as to intersect the plurality of sustain electrode pairs on the back glass 111 forming the back surface 100 and the rear surface is coupled in parallel with a predetermined distance therebetween. .

전면 패널(100)은 하나의 방전셀에서 상호 방전시키고 셀의 발광을 유지하기 위한 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103), 즉 투명한 물질로 형성된 투명전극(a)과 은(Ag)과 같은 금속재질로 제작된 버스전극(b)으로 구비된 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)이 쌍을 이뤄 포함된다. 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)은 방전 전류를 제한하며 전극 쌍 간을 절연시켜주는 상부 유전체층(104)에 의해 덮혀지고, 상부 유전체층(104) 상면에는 방전 조건을 용이하게 하기 위하여 산화마그네슘(MgO)을 증착한 보호층(105)이 형성된다.The front panel 100 includes a scan electrode 102 and a sustain electrode 103 for mutually discharging and maintaining light emission of the cells in one discharge cell, that is, transparent electrodes a and silver Ag formed of a transparent material. The scan electrode 102 and the sustain electrode 103 provided as a bus electrode b made of a metal material are included in pairs. The scan electrode 102 and the sustain electrode 103 are covered by an upper dielectric layer 104 that limits the discharge current and insulates the pair of electrodes, and the upper surface of the upper dielectric layer 104 is magnesium oxide to facilitate the discharge conditions. A protective layer 105 on which (MgO) is deposited is formed.

후면 패널(110)은 복수 개의 방전 공간 즉, 방전셀을 형성시키기 위한 스트라이프 타입의 격벽(112)이 평행을 유지하여 배열된다. 또한, 어드레스 방전을 수행하여 진공자외선을 발생시키는 다수의 어드레스 전극(113)이 격벽(112)에 대해 평행하게 배치된다. 후면 패널(110)의 상측면에는 어드레스 방전 시 화상표시를 위한 가시광선을 방출하는 R, G, B 형광체(114)가 도포된다. 어드레스 전극(113)과 형광체(114) 사이에는 어드레스 전극(113)을 보호하기 위한 하부 유전체층(115)이 형성된다.The rear panel 110 is arranged in such a manner that a plurality of discharge spaces, that is, stripe-type partitions 112 for forming discharge cells are maintained in parallel. In addition, a plurality of address electrodes 113 which perform address discharge to generate vacuum ultraviolet rays are arranged in parallel with the partition wall 112. On the upper side of the rear panel 110, R, G, and B phosphors 114 which emit visible light for image display during address discharge are coated. A lower dielectric layer 115 is formed between the address electrode 113 and the phosphor 114 to protect the address electrode 113.

이와 같은 전면 패널에서의 보호층(240)은 플라즈마 디스플레이 패널의 방전전압을 낮추기 위한 이차전자를 공급해주며 상부 유전체층(230)이 이온으로부터 받는 손상을 막아주는 역할을 한다.The protective layer 240 in the front panel supplies secondary electrons for lowering the discharge voltage of the plasma display panel and prevents damage from the ions of the upper dielectric layer 230.

다음은 이러한 역할을 하는 보호층이 E-beam법을 이용하여 증착하는 과정을 보여준다.The following shows a process in which the protective layer that plays this role is deposited using the E-beam method.

도 2a 및 2b는 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층을 E-beam법을 이용하여 증착하는 방법을 나타낸 도이다.2A and 2B illustrate a method of depositing a protective layer of a conventional plasma display panel using an E-beam method.

도 2a에 도시된 바와 같이, 유지전극쌍 상부에 유전체층(204)이 형성된 전면 패널(200)을 보호층(205)을 증착시키기 위해 진공 챔버(210) 내부로 진입시킨다. 이 때, 진공 챔버(210) 내부로 진입한 전면 패널(200)은 유전체층(204) 상부에 보호층(205)을 증착시키는 장치를 통해 보호층(205)이 증착되는데, 이러한 보호층 증착 장치는 전면 패널(200)을 고정하는 패널고정부(230)와 전면 패널(200)이 소정거리로 이격되어 전면 패널(200)에 통상 산화마그네슘(MgO)으로 이루어지는 보호층(205)을 증착시키는 증기발산부(250)를 포함한다. 여기서, 증기발산부(250)는 허스(Hearth, 250a)내에 MgO 물질(250b)을 담아서 허스(Hearth, 250a)에 형성된 오리피스(Orifice, 250a1)를 통하여 전자빔(E-Beam, 270)건으로 MgO 물질(250b)을 집중 조사하는 장치를 말한다.As shown in FIG. 2A, the front panel 200 having the dielectric layer 204 formed on the sustain electrode pair enters the vacuum chamber 210 to deposit the protective layer 205. At this time, the protective layer 205 is deposited on the front panel 200 that enters the vacuum chamber 210 through a device for depositing the protective layer 205 on the dielectric layer 204. The panel fixing part 230 fixing the front panel 200 and the front panel 200 are spaced apart by a predetermined distance, and vapor diffusion for depositing a protective layer 205 made of magnesium oxide (MgO) on the front panel 200. The unit 250 is included. Here, the vapor dissipation unit 250 contains the MgO material 250b in the hearth (Hearth, 250a), the MgO with an electron beam (E-Beam, 270) through an orifice (250a 1 ) formed in the hearth (Hearth, 250a). A device for intensively irradiating the material 250b.

한편, 진공 챔버(210) 내부에서 패널고정부(230)에 놓여진 전면 패널(200)은 증기발산부(250)와 10㎝의 거리(d1)로 이격되어 제작된다. 이와 같이 제작된 진공 챔버(210)내의 보호층 증착장치(230, 250)를 이용하여 도 2b에 도시된 바와 같이 증기발산부(250)의 MgO 물질(250b)을 허스(Hearth, 250a)에 형성된 오리피스(Orifice, 250a1)를 통하여 전자빔(E-Beam, 270)건으로 집중 조사하면 MgO 물질 (250b)은 에너지 대부분이 열로 변하게 되어 기체의 승화상태인 증기가 전면 패널(200)의 유전체층(204) 표면에 달라붙게 된다.On the other hand, the front panel 200 placed on the panel fixing part 230 in the vacuum chamber 210 is produced spaced apart from the vapor diverging unit 250 by a distance (d 1 ) of 10cm. As shown in FIG. 2B, the MgO material 250b of the vapor dispersing unit 250 is formed on the hearth 250a by using the protective layer deposition apparatuses 230 and 250 in the vacuum chamber 210 manufactured as described above. Intensive irradiation with an electron beam (E-Beam, 270) through an orifice (250O 1 ) causes the MgO material (250b) to convert most of its energy into heat so that the sublimed vapor of the gas is in the dielectric layer (204) of the front panel (200). Will stick to the surface.

이와 같은 방법으로 증착되는 MgO 보호층은 MgO 특성상 H2O와 CO2와의 반응이 매우 강하여 보호층 장착 후 대기 중에 노출되면 이러한 물질이 MgO 보호층에 흡착되어 방전특성이 악화된다.The MgO protective layer deposited in this manner has a very strong reaction between H 2 O and CO 2 due to the MgO characteristics, and when the protective layer is exposed to the air after installation of the protective layer, the substance is adsorbed onto the MgO protective layer and thus the discharge characteristics are deteriorated.

따라서 MgO 보호층 증착 후, 가능한 빠르게 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 패널과 후면 패널을 합착해야 하는데 합착 중에 일부 흡착되는 H2O와 CO2는 방지할 수 없다.Therefore, after deposition of the MgO protective layer, the front panel and the rear panel of the plasma display panel should be bonded as soon as possible, but H 2 O and CO 2 adsorbed during the bonding cannot be prevented.

이와 같이 흡착되는 불순물들로 인하여 보호층의 표면이 수화되거나 오염되어 이차방출계수가 작아져 방전개시전압이 높아지고 플라즈마 디스플레이 패널 구동 시 오방전이 일어나는 문제점이 있다.As a result of the impurities adsorbed as above, the surface of the protective layer is hydrated or contaminated, so that the secondary emission coefficient is decreased, resulting in a high discharge start voltage and an incorrect discharge when the plasma display panel is driven.

따라서 본 발명은 전면 패널의 산화마그네슘(MgO)으로 형성되는 보호층의 상면에 메조다공체층을 형성함으로써 보호층에 불순물의 흡착 및 보호층의 수화를 방지하여 플라즈마 디스플레이 패널의 방전특성을 개선시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.Therefore, the present invention forms a mesoporous layer on the upper surface of the protective layer formed of magnesium oxide (MgO) of the front panel to prevent the adsorption of impurities on the protective layer and the hydration of the protective layer to improve the discharge characteristics of the plasma display panel. The present invention provides a plasma display panel and a method of manufacturing the same.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널은 전면 패널의 유전체의 상부에 형성된 제 1 보호층과, 제 1 보호층 상부에 형성된 제 2 보호층을 포함하되, 제 1 보호층은 산화마그네슘(MgO)으로 이루어지고, 제 2 보호층은 박막 형태의 메조다공체층인 것을 특징으로 한다.Plasma display panel of the present invention for achieving the above object comprises a first protective layer formed on the dielectric of the front panel and the second protective layer formed on the first protective layer, the first protective layer is magnesium oxide (MgO), and the second protective layer is characterized in that the mesoporous body layer in the form of a thin film.

메조다공체층의 두께는 2㎚이상 50㎚이하인 것을 특징으로 한다.The mesoporous body layer has a thickness of 2 nm or more and 50 nm or less.

메조다공체층은 실리카(SiO2)를 주성분으로 하는 것을 특징으로 한다.The mesoporous layer is characterized by having silica (SiO 2 ) as a main component.

메조다공체층 내에서 실리카의 입자는 일정한 방향성을 갖는 것을 특징으로 한다.The particles of silica in the mesoporous body layer are characterized by having a certain orientation.

또한, 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 (a) 전면 패널의 유전체 상부에 산화마그네슘(MgO)을 증착하여 제 1 보호층을 형성하는 단계와 (b) 제 1 보호층 표면에 박막 형태의 메조다공체층인 제 2 보호층을 형성하는 단계를 포함한다.In addition, a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention for achieving the above object comprises the steps of (a) depositing magnesium oxide (MgO) on the dielectric of the front panel to form a first protective layer and (b) the first Forming a second protective layer, which is a mesoporous layer in the form of a thin film, on the surface of the protective layer.

제 2 보호층을 형성하는 단계는 제 1 보호층이 형성된 전면 패널에 소정 크기의 자기력을 가하면서 제 1 보호층의 상부에 메조다공체층의 모재를 도포하는 것을 특징으로 한다.The forming of the second protective layer may be performed by applying a base material of the mesoporous body layer on the first protective layer while applying a magnetic force of a predetermined size to the front panel on which the first protective layer is formed.

메조다공체층은 열 증착법, E-빔 증착법, 진공증착법, 스퍼터링법, CVD법, MOCVD법, MBE법 중 적어도 어느 하나를 사용하여 형성하는 것을 특징으로 한다.The mesoporous layer is formed using at least one of thermal evaporation, E-beam evaporation, vacuum evaporation, sputtering, CVD, MOCVD and MBE.

이하에서는 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도이다.3 is a view showing the structure of a plasma display panel according to the present invention.

도 3은 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 화상 이 디스플레이 되는 표시면인 전면 글라스(301)에 스캔 전극(302) 및 서스테인 전극(303)이 쌍을 이뤄 형성된 복수의 유지전극쌍이 배열된 전면 패널(300) 및 배면을 이루는 후면 글라스(311) 상에 전술한 복수의 유지전극쌍과 교차되도록 복수의 어드레스 전극(313)이 배열된 후면 패널(310)이 일정거리를 사이에 두고 평행하게 결합된다.3, the plasma display panel according to the present invention includes a plurality of sustain electrode pairs formed by pairing a scan electrode 302 and a sustain electrode 303 on the front glass 301, which is a display surface on which an image is displayed. The rear panel 310 having the plurality of address electrodes 313 arranged so as to intersect with the plurality of storage electrode pairs described above on the front panel 300 and the rear glass 311 forming the rear surface with a predetermined distance therebetween. Combined in parallel.

전면 패널(300)은 하나의 방전 셀에서 상호 방전시키고 셀의 발광을 유지하기 위한 스캔 전극(302) 및 서스테인 전극(303), 즉 투명한 물질로 형성된 투명전극(a)과 은(Ag)과 같은 금속재질로 제작된 버스전극(b)으로 구비된 스캔 전극(302) 및 서스테인 전극(303)이 쌍을 이뤄 포함된다. 스캔 전극(302) 및 서스테인 전극(303)은 방전 전류를 제한하며 전극 쌍 간을 절연시켜주는 상부 유전체층(304)에 의해 덮혀지고, 상부 유전체층(304) 상면에는 방전 조건을 용이하게 하기 위하여 산화마그네슘(MgO)을 증착한 제 1 보호층(305)이 형성된다. 이와 같이 형성된 제 1 보호층 상부에는 제 1 보호층의 수화방지 및 오염방지 기능을 가지는 박막 형태의 제 2 보호층인 메조다공체층(306)이 형성된다. 이러한 메조다공체층(306)에 대한 설명은 다음 도 5에서 후술하기로 한다.The front panel 300 includes a scan electrode 302 and a sustain electrode 303 for discharging each other in one discharge cell and maintaining light emission of the cells, that is, transparent electrodes a and silver Ag formed of a transparent material. The scan electrode 302 and the sustain electrode 303 provided as a bus electrode b made of a metal material are included in pairs. The scan electrode 302 and the sustain electrode 303 are covered by an upper dielectric layer 304 that limits the discharge current and insulates the electrode pairs, and the upper surface of the upper dielectric layer 304 is magnesium oxide to facilitate the discharge conditions. The first protective layer 305 on which (MgO) is deposited is formed. The mesoporous body layer 306, which is a second protective layer in the form of a thin film having a function of preventing hydration and contamination of the first protective layer, is formed on the first protective layer. The description of the mesoporous layer 306 will be described later with reference to FIG. 5.

후면 패널(310)은 복수 개의 방전 공간 즉, 방전 셀을 형성시키기 위한 스트라이프 타입의 격벽(312)이 평행을 유지하여 배열된다. 또한, 어드레스 방전을 수행하여 진공자외선을 발생시키는 다수의 어드레스 전극(313)이 격벽(312)에 대해 평행하게 배치된다. 후면 패널(310)의 상측면에는 어드레스 방전 시 화상표시를 위한 가시광선을 방출하는 R, G, B 형광체(314)가 도포된다. 어드레스 전극(313)과 형광체(314) 사이에는 어드레스 전극(313)을 보호하기 위한 하부 유전체층(315)이 형성된다.The rear panel 310 is arranged such that a plurality of discharge spaces, that is, stripe-type partition walls 312 for forming discharge cells are arranged in parallel. In addition, a plurality of address electrodes 313 that perform address discharge to generate vacuum ultraviolet rays are arranged in parallel with the partition 312. On the upper side of the rear panel 310, R, G, and B phosphors 314 that emit visible light for image display during address discharge are coated. A lower dielectric layer 315 is formed between the address electrode 313 and the phosphor 314 to protect the address electrode 313.

이와 같은 구조를 갖는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the manufacturing method of the plasma display panel according to the present invention having such a structure as follows.

도 4는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 순차적으로 나타낸 블록도이다.4 is a block diagram sequentially illustrating a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention.

도 4에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 도 4의 우측에 나열된 전면 패널 제조 과정과, 좌측에 나열된 후면 패널 제조 과정 및 하측에 나열된 실링 과정 등을 포함한 조립 과정을 포함한다. As shown in FIG. 4, the method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention includes an assembly process including a front panel manufacturing process listed on the right side of FIG. 4, a rear panel manufacturing process listed on the left side, and a sealing process listed below. do.

먼저, 도 4의 우측에 나열된 전면 패널 제조 과정을 설명하면 다음과 같다. 전면 패널은 먼저 기재가 되는 전면 글라스를 준비한 후(401), 전면 글라스 상부에 복수의 유지전극쌍이 형성된다(402). 이 후, 유지전극쌍 상부에 상부 유전체층이 형성되고(403), 상부 유전체층 상부에 유지전극쌍을 보호하기 위한 산화마그네슘(Mgo)으로 이루어진 제 1 보호층이 형성된다(404). 이 후, 제 1 보호층 상면에 제 1 보호층을 보호하기 위한 제 2 보호층 즉, 메조다공체층이 형성된다(405).First, a front panel manufacturing process listed on the right side of FIG. 4 will be described. The front panel first prepares a front glass as a substrate (401), and then a plurality of sustain electrode pairs are formed on the front glass (402). Thereafter, an upper dielectric layer is formed over the sustain electrode pair (403), and a first protective layer made of magnesium oxide (Mgo) for protecting the sustain electrode pair is formed over the upper dielectric layer (404). Thereafter, a second protective layer for protecting the first protective layer, that is, a mesoporous layer is formed on the upper surface of the first protective layer (405).

이어서, 도 4의 좌측에 나열된 후면 패널 제조 과정을 설명하면 다음과 같다. 후면 패널은 전면 패널과 마찬가지로 먼저 기재가 되는 후면 글라스를 준비하고(411), 전면 패널에 형성된 유지전극쌍과 교차하여 대향되도록 복수의 어드레스전극이 후면 글라스에 형성된다(412). 이 후, 어드레스전극 상면에 하부 유전체층이 형성되고(413), 하부 유전체층 상면에 형광체층이 형성된다(414). Next, the manufacturing process of the rear panel listed on the left side of FIG. 4 will be described. Like the front panel, the rear panel prepares a rear glass, which is a base material (411), and a plurality of address electrodes are formed on the rear glass so as to face and cross the sustain electrode pair formed on the front panel (412). Thereafter, a lower dielectric layer is formed on the upper surface of the address electrode (413), and a phosphor layer is formed on the upper surface of the lower dielectric layer (414).

이와 같이 제조된 전면 패널과 후면 패널은 서로 실링되어(420) 플라즈마 디스플레이 패널(430)을 형성한다.The front panel and the rear panel manufactured as described above are sealed to each other 420 to form the plasma display panel 430.

한편, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층은 전술한 바와 같이 산화마그네슘으로 형성되는 제 1 보호층과 메조다공체 모재를 이용하여 형성되는 제 2 보호층 즉, 메조다공체층으로 형성되는데, 여기서 제 2 보호층을 이루는 메조다공체 모재에 대해 자세히 살펴보면 다음 도 5와 같다. Meanwhile, the protective layer of the plasma display panel according to the present invention is formed of a first protective layer formed of magnesium oxide and a second protective layer formed of a mesoporous substrate, that is, a mesoporous layer, as described above. Looking at the mesoporous body base material constituting the 2 protective layer in detail as shown in FIG.

도 5는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 메조다공체층을 형성하는 메조다공체층의 모재 형성과정을 나타낸 도이다.5 is a diagram illustrating a process of forming a base material of the mesoporous layer forming the mesoporous layer of the plasma display panel according to the present invention.

도 5를 살펴보기 전에, 메조다공체란 다공체의 구멍의 지름 크기가 메조 사이즈를 갖는 것이다. 여기서, 메조 사이즈란 나노 사이즈보다는 크고 마이크로 사이즈보다는 작은 사이즈를 말하며, 이러한 메조다공체의 모재로 이루어지는 메조다공체층의 두께는 2nm이상 50nm이하가 된다.Before looking at Figure 5, the mesoporous body is a diameter size of the hole of the porous body has a meso size. Here, the meso size means a size larger than the nano size and smaller than the micro size, and the thickness of the mesoporous layer made of the base material of the mesoporous body is 2 nm or more and 50 nm or less.

이러한 메조다공체의 모재는 유기 성분 또는 무기 성분으로 형성 가능한데 무기 성분의 메조다공체의 모재 형성 방법을 살펴보면 먼저, 도 5의 (a)에서 보는 바와 같이 무기 분자의 집합체를 이루는 물질에 규산 등을 이용하여 (b)에서 보는 바와 같이 주형 골격을 형성한다. 이러한 메조다공체 모재의 주형 골격을 이루는 것은 실리카(SiO2)등의 비정질 물질이다.The base material of the mesoporous body may be formed of an organic component or an inorganic component. Referring to the method of forming the base material of the mesoporous body of the inorganic component, first, as shown in FIG. 5 (a), silicic acid or the like is used as a material of the aggregate of the inorganic molecules. As shown in (b), a mold skeleton is formed. What forms the template skeleton of such a mesoporous base material is an amorphous substance such as silica (SiO 2 ).

이 후, (c)에서 보는 바와 같이 소성 공정을 통해 무기물을 제거하면 무기 성분의 메조다공체 모재가 형성된다. 그리하여 메조다공체 모재를 주로 이루는 성 분은 실리카(SiO2)가 되므로 메조다공체층 또한 주성분이 실리카(SiO2)가 된다.Thereafter, as shown in (c), when the inorganic material is removed through the firing process, a mesoporous base material of the inorganic component is formed. Thus, since the main component of the mesoporous base material is silica (SiO 2 ), the mesoporous layer also becomes silica (SiO 2 ).

유기성분의 메조다공체 모재도 이와 같은 방법으로 형성된다.The mesoporous matrix of organic components is also formed in this way.

이와 같은 메조다공체 모재를 이용한 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층 형성과정을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the process of forming a protective layer of the plasma display panel according to the present invention using such a mesoporous substrate as follows.

도 6은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층 형성과정을 나타낸 도이다.6 illustrates a process of forming a protective layer of a plasma display panel according to the present invention.

도 6에서 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층 형성과정은 먼저, (a)에서 보는 바와 같이 전면 패널의 유전체 상부(601)에 산화마그네슘을(MgO)을 CVD법이나 E-Beam법등으로 증착하여 제 1 보호층(602)을 형성한다. As shown in FIG. 6, in the process of forming the protective layer of the plasma display panel according to the present invention, as shown in (a), magnesium oxide (MgO) is deposited on the dielectric 601 of the front panel by CVD or E. The first protective layer 602 is formed by depositing by the beam method or the like.

이 후, (b)와 같이 메조다공체 모재(604) 즉, 실리카 입자에 방향성을 부여하기 위해 마그네틱(603)을 전면 패널(601)의 하부에 놓고 자기력을 이용하여 (c)와 같이 제 1 보호층(602) 상부에 제 2 보호층 즉, 메조다공체층(605)을 형성한다.Thereafter, as shown in (b), the magnetic 603 is placed under the front panel 601 to impart orientation to the mesoporous base material 604, that is, the silica particles, and the first protection is performed as shown in (c). A second protective layer, i.e., mesoporous layer 605, is formed over the layer 602.

이 때, 메조다공체층(605)은 박막의 형태를 갖는데, 이러한 메조다공체층은 열 증착법, E-Beam 증착법, 진공증착법, 스퍼터링법, CVD법, MOCVD법, MBE법 중 적어도 어느 하나를 이용하여 형성된다.At this time, the mesoporous layer 605 has a thin film form, and the mesoporous layer is formed by at least one of thermal evaporation, E-Beam deposition, vacuum deposition, sputtering, CVD, MOCVD, and MBE. Is formed.

이와 같은 방법으로 산화마그네슘(MgO)로 이루어지는 제 1 보호층 상면에 제 2 보호층 즉, 메조다공체층을 형성하면 보호층의 주요 기능을 하는 제 1 보호층이 증착된 후 대기 중에 노출되어도 H2O, CO2 등의 불순물들로 인한 수화 및 오염을 방 지한다. By this same method, to form a second protective layer that is, meso-porous layer on the upper surface of the first protective layer made of magnesium oxide (MgO) may be exposed to, after the first protective layer for the features of the protective layer deposition atmosphere H 2 Prevents hydration and contamination due to impurities such as O and CO 2 .

따라서 제 1 보호층의 이차방출계수를 향상시켜 방전특성도 개선되고 안정한 방전 상태를 얻기 위해 실시하는 에이징 공정 시간이 대폭 감소하게 된다.Therefore, the secondary emission coefficient of the first protective layer is improved to improve the discharge characteristics and to significantly reduce the aging process time performed to obtain a stable discharge state.

상술한 바와 같이, 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.As described above, the technical configuration of the present invention can be understood by those skilled in the art that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention.

그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Therefore, the above-described embodiments are to be understood as illustrative and not restrictive in all respects, and the scope of the present invention is indicated by the appended claims rather than the detailed description, and the meaning and scope of the claims and their All changes or modifications derived from equivalent concepts should be construed as being included in the scope of the present invention.

이상에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 산화마그네슘(MgO)로 이루어지는 제 1 보호층 상면에 메조다공체층을 형성함으로써 H2O, CO2 등의 불순물들로 인한 수화 및 오염을 방지한다. As described above, the plasma display panel according to the present invention forms a mesoporous layer on the upper surface of the first protective layer made of magnesium oxide (MgO) to prevent hydration and contamination due to impurities such as H 2 O and CO 2 . do.

따라서 제 1 보호층의 이차방출계수를 향상시켜 방전특성도 개선되고 안정한 방전 상태를 얻기 위해 실시하는 에이징 공정 시간이 대폭 감소하는 효과가 있다.Therefore, the secondary emission coefficient of the first protective layer is improved to improve the discharge characteristics and to significantly reduce the aging process time performed to obtain a stable discharge state.

Claims (7)

전면 패널의 유전체의 상부에 형성된 제 1 보호층과,A first protective layer formed on top of the dielectric of the front panel; 상기 제 1 보호층 상부에 형성된 제 2 보호층을 포함하되,Including a second protective layer formed on the first protective layer, 상기 제 1 보호층은 산화마그네슘(MgO)으로 이루어지고, 상기 제 2 보호층은 박막 형태의 메조다공체층인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.The first protective layer is made of magnesium oxide (MgO), the second protective layer is a plasma display panel, characterized in that the mesoporous layer of a thin film form. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 메조다공체층의 두께는 2㎚이상 50㎚이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.And the thickness of the mesoporous body layer is 2 nm or more and 50 nm or less. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 메조다공체층은 실리카(SiO2)를 주성분으로 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.The mesoporous body layer is a plasma display panel, characterized in that the main component is silica (SiO 2 ). 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 메조다공체층 내에서 상기 실리카의 입자는 일정한 방향성을 갖는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.And the particles of silica in the mesoporous body layer have a constant orientation. (a) 전면 패널의 유전체 상부에 산화마그네슘(MgO)을 증착하여 제 1 보호층을 형성하는 단계와,(a) depositing magnesium oxide (MgO) over the dielectric on the front panel to form a first protective layer; (b) 상기 제 1 보호층 표면에 박막 형태의 메조다공체층인 제 2 보호층을 형성하는 단계;(b) forming a second protective layer, which is a mesoporous layer in the form of a thin film, on the surface of the first protective layer; 를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.Method of manufacturing a plasma display panel comprising a. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제 2 보호층을 형성하는 단계는Forming the second protective layer 상기 제 1 보호층이 형성된 전면 패널에 소정 크기의 자기력을 가하면서 상기 제 1 보호층의 상부에 상기 메조다공체층의 모재를 도포하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.And applying a base material of the mesoporous body layer on top of the first protective layer while applying a magnetic force of a predetermined size to the front panel on which the first protective layer is formed. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 메조다공체층은 열 증착법, E-Beam 증착법, 진공증착법, 스퍼터링법, CVD법, MOCVD법, MBE법 중 적어도 어느 하나를 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.The mesoporous layer is formed using at least one of thermal evaporation, e-beam deposition, vacuum deposition, sputtering, CVD, MOCVD, and MBE.
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