KR20060095607A - High-density information storage medium, method for manufacturing the same, apparatus and method for recording/reproducing the same - Google Patents

High-density information storage medium, method for manufacturing the same, apparatus and method for recording/reproducing the same Download PDF

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Abstract

본 발명에 의하여 작은 피트 크기를 갖으면서도 안정적인 트랙킹을 제공하는 고밀도 정보저장매체, 그 기록/재생 장치 및 그 제조방법이 개시된다.Disclosed is a high density information storage medium having a small pit size and providing stable tracking, a recording / reproducing apparatus thereof, and a manufacturing method thereof.

본 발명에 따른 고밀도 정보저장매체는 랜드 및 그루브가 형성된 원판과, 상기 원판 위에 형성된 제 1 유전체층과, 상기 제 1 유전체층 위에 금속 화합물로 형성된 기록층과, 상기 기록층위에 형성된 제 2 유전체층을 포함하며, 상기 기록층은 레이저빔의 조사에 의해 부피 변화가 일어나 소정의 마크가 형성되는 것을 특징으로 한다.The high density information storage medium according to the present invention includes a disc formed with lands and grooves, a first dielectric layer formed on the disc, a recording layer formed of a metal compound on the first dielectric layer, and a second dielectric layer formed on the recording layer. The recording layer is characterized in that a volume change occurs by irradiation of a laser beam to form a predetermined mark.

본 발명에 따른 고밀도 정보저장매체 및 그 제조방법에 의하면, 피트 사이즈의 감소에도 불구하고, 랜드 및 그루브를 이용하여 안정적인 트랙킹을 제공할 수 있다.According to the high-density information storage medium and the manufacturing method thereof according to the present invention, it is possible to provide stable tracking using lands and grooves despite the decrease in the pit size.

Description

고밀도 정보저장매체, 그 제조 방법, 그 기록/재생 장치 및 방법{High-density information storage medium, method for manufacturing the same, apparatus and method for recording/reproducing the same}High-density information storage medium, method for manufacturing the same, apparatus and method for recording / reproducing the same

도 1은 종래의 기술에 따른 광기록매체의 재생시의 푸쉬풀 신호를 나타낸 그래프.1 is a graph showing a push-pull signal at the time of reproduction of an optical recording medium according to the prior art.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 정보저장매체의 층구조를 나타낸 단면도.Figure 2 is a cross-sectional view showing a layer structure of the information storage medium according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 정보저장매체의 층구조를 나타낸 단면도.Figure 3 is a cross-sectional view showing a layer structure of the information storage medium according to another embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 정보저장매체에 레이저빔을 조사하는 상태를 나타낸 도면.4 is a view showing a state of irradiating a laser beam to the information storage medium according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 정보저장매체의 기록층에서 부피 변형이 일어난 상태를 나타낸 도면.5 is a view showing a state in which the volume deformation occurred in the recording layer of the information storage medium according to the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 정보저장매체의 일부를 나타낸 사시도.Figure 6 is a perspective view showing a part of the information storage medium according to the present invention.

도 7a 내지 7c는 본 발명에 따른 정보저장매체의 기록층에 형성된 마크 패턴의 AFM 이미지를 나타낸 도면.7A to 7C show AFM images of mark patterns formed on the recording layer of the information storage medium according to the present invention;

도 8은 본 발명에 따른 고밀도 정보저장매체의 제조방법을 나타낸 플로우 차 트.8 is a flow chart showing a method of manufacturing a high density information storage medium according to the present invention.

도 9는 본 발명에 따른 정보저장매체의 기록 및/또는 재생장치의 일 예를 나타낸 도면.9 is a view showing an example of an apparatus for recording and / or reproducing an information storage medium according to the present invention;

도 10은 본 발명에 따른 정보저장매체의 기록 및/또는 재생장치의 다른 예를 나타낸 도면.10 shows another example of an apparatus for recording and / or reproducing an information storage medium according to the present invention.

도 11은 본 발명에 따른 정보저장매체에서 검출되는 푸쉬풀 신호의 파형을 나타낸 도면.11 is a view showing a waveform of a push-pull signal detected in an information storage medium according to the present invention.

본 발명은 정보저장매체, 그 제조방법, 그 기록/재생 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세히는 작은 피트 크기를 갖으면서도 안정적인 트랙킹을 제공하는 고밀도 정보저장매체, 그 제조방법, 그 기록/재생 장치 및 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an information storage medium, a method of manufacturing the same, a recording / reproducing apparatus and a method thereof, and more particularly, to a high density information storage medium having a small pit size and providing stable tracking. And to a method.

일반적으로 광기록매체는 비접촉식으로 정보의 기록/재생을 수행하는 광픽업장치의 정보저장매체로서 이용된다. 최근에는 컴퓨터 관련 산업의 발달로 인해 더욱 큰 저장능력을 갖는 새로운 저장매체에 대한 수요가 증가하고 있다.In general, an optical recording medium is used as an information storage medium of an optical pickup apparatus which performs recording / reproducing of information in a non-contact manner. Recently, due to the development of computer-related industry, the demand for new storage media with greater storage capacity is increasing.

이러한 광기록매체의 기록 용량을 증가시키는 방법으로는 기록 광원의 파장을 단파장화하고 대물렌즈의 개구수를 고개구수화하거나, 기록층을 복수층으로 구성하는 방법이 있다. 또한, 기록 용량을 증가시키는 다른 방법으로 피트 크기를 작게 하거나 트랙피치를 작게 하는 방법이 있다. As a method of increasing the recording capacity of such an optical recording medium, there is a method of shortening the wavelength of the recording light source, increasing the numerical aperture of the objective lens, or configuring a plurality of recording layers. Another method of increasing the recording capacity is to reduce the pit size or reduce the track pitch.

예를 들어, 현재 상용화되고 있는 블루레이(Blu-ray) 디스크의 트랙 피치는 0.32㎛, 기록 용량은 25GB, 최단 기록 마크는 150㎚인데, 100GB의 저장용량을 갖도록 하기 위해서는 최단 기록 마크를 25GB의 1/4 크기인 37.5㎚로 감소시켜야 한다.For example, a Blu-ray disc currently commercially available has a track pitch of 0.32 µm, a recording capacity of 25 GB, and a shortest recording mark of 150 nm. In order to have a storage capacity of 100 GB, the shortest recording mark is 25 GB. It should be reduced to 37.5 nm, which is a quarter size.

피트 크기를 감소시켜 기록밀도를 증가시키는 광기록매체의 하나로서, 초해상 근접장 구조(Super-Resolution Near-Field Structure:Super-RENS)의 광기록매체가 연구되고 있다. 상기 초해상 근접장 구조를 이용한 광기록매체는 재생빔의 분해능의 한계인 λ/4NA(λ:광원의 파장, NA:대물렌즈의 개구수)를 극복하여 분해능 이하의 작은 마크(또는 피트)로 기록된 소정의 데이터를 재생할 수 있는 정보저장매체를 말한다.As one of the optical recording media for reducing the pit size and increasing the recording density, an optical recording media having a super-resolution near-field structure (Super-RENS) has been studied. The optical recording medium using the super-resolution near-field structure overcomes λ / 4NA (λ: wavelength of the light source, NA: numerical aperture of the objective lens), which is the limit of the resolution of the reproduction beam, and records as a small mark (or pit) below the resolution. Refers to an information storage medium capable of reproducing predetermined data.

그러나, 광기록매체의 기록용량을 늘이기 위하여 피트의 크기를 감소시키는 경우 RF 신호의 진폭은 감소되는 경향이 있다. 특히, 피트의 폭(width)이 개구부(aperture)보다 작아지게 되면 RF 신호의 진폭이 크게 감소되고, C/N(Carrier-to-Noise ratio)도 매우 작아지는 문제점이 있다. 즉, 종래의 기술에 의하면 저장매체의 기록용량을 증가시키기 위하여 피트의 크기를 감소시키는 경우 신호 품질의 열화를 초래한다. However, the amplitude of the RF signal tends to decrease when the size of the pit is reduced to increase the recording capacity of the optical recording medium. In particular, when the width of the pit becomes smaller than the aperture, the amplitude of the RF signal is greatly reduced, and the carrier-to-noise ratio (C / N) is also very small. That is, according to the prior art, when the size of the pit is reduced to increase the recording capacity of the storage medium, the signal quality is deteriorated.

또한, 광기록매체에 데이터를 기록 및/또는 재생하려면 레이저빔이 피트열에서 벗어나지 않도록 광픽업부의 대물렌즈를 트랙킹하여야 한다. 그런데, 상기 고밀도의 피트를 구현한 초해상 근접장 구조의 정보저장매체의 경우 종래의 피트의 반사도 차이를 이용한 트랙킹 방식, 예를 들어 푸쉬풀 방식이나 차분 푸쉬풀 등의 트랙킹 방식을 이용하는 경우, 기록/재생을 위한 트랙킹이 불안해지는 문제가 있 다.In addition, in order to record and / or reproduce data on the optical recording medium, the objective lens of the optical pickup unit must be tracked so that the laser beam does not escape from the pit rows. However, in the case of an information storage medium having a high resolution pit, the tracking method using a difference in reflectivity of a conventional pit, for example, a tracking method such as a push-pull method or a differential push-pull, is used. There is a problem that tracking for playback becomes unstable.

도 1은 파장 659nm, 개구수 0.6인 광학시스템에서 분해능 이하인 150nm 단일톤(monotone) 피트를 갖는 광기록매체의 재생시의 푸쉬풀(push pull) 신호를 나타낸 그래프이다. 여기서, 재생파워는 2.2mW이다.1 is a graph showing a push pull signal during reproduction of an optical recording medium having a resolution of 150 nm monotone pits or less in an optical system having a wavelength of 659 nm and a numerical aperture of 0.6. Here, the reproduction power is 2.2 mW.

도 1을 참조하면, 푸쉬풀 신호는 약 1V의 작은 진폭을 갖는다. 안정적인 트랙킹을 위해서는 푸쉬풀 신호가 정확한 부호와 충분한 값을 갖어야 되는데, 종래의 피트의 반사도 차이를 이용한 트랙킹 방식에서는 정보저장매체의 기록용량을 늘이기 위하여 피트의 크기가 감소되는 경우, 도 1에 도시된 바와 같이 푸쉬풀 신호가 작은 값을 갖게 되어 트랙킹이 되지 않거나 트랙킹이 되었다 하더라도 신호가 불안한 문제가 있다.Referring to FIG. 1, the push pull signal has a small amplitude of about 1V. For stable tracking, the push-pull signal must have a correct sign and sufficient value. In the conventional tracking method using the difference in reflectance of the pit, when the pit size is reduced to increase the recording capacity of the information storage medium, the push pit is shown in FIG. As described above, even though the push pull signal has a small value and is not tracked or tracked, the signal is unstable.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 기록밀도의 증가를 위해 피크의 길이와 폭이 줄어들어 발생하는 트랙킹 불안 문제를 해결할 수 있는 고밀도 정보저장매체, 그 기록/재생 장치 및 방법, 그 제조방법을 제공하는 데에 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, a high-density information storage medium that can solve the tracking anxiety caused by the reduction in the length and width of the peak to increase the recording density, its recording / reproducing apparatus and An object of the present invention is to provide a method and a manufacturing method thereof.

또한, 본 발명은 기록밀도의 증가를 위해 레이저 파장의 추가적인 감소나 높은 개구수를 갖는 렌즈를 사용하지 않고도 기존의 레이저 및 렌즈를 이용함으로써 추가적인 비용 부담없이 기록밀도가 향상된 고밀도 정보저장매체, 그 기록/재생 장치 및 방법, 그 제조방법을 제공하는 데에 목적이 있다.In addition, the present invention provides a high-density information storage medium having improved recording density without additional cost by using existing lasers and lenses without additional reduction of laser wavelength or using lenses having a high numerical aperture to increase recording density. An object of the present invention is to provide a reproducing apparatus and method, and a manufacturing method thereof.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명인 고밀도 정보저장매체는 랜드 및 그루브가 형성된 원판과, 상기 원판 위에 형성된 제 1 유전체층과, 상기 제 1 유전체층 위에 금속 화합물로 형성된 기록층과, 상기 기록층위에 형성된 제 2 유전체층을 포함하며, 상기 기록층은 레이저빔의 조사에 의해 부피 변화가 일어나 소정의 마크가 형성되는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above technical problem, the high-density information storage medium of the present invention includes a disc formed with lands and grooves, a first dielectric layer formed on the disc, a recording layer formed of a metal compound on the first dielectric layer, and the recording layer on the recording layer. And a second dielectric layer formed, wherein the recording layer has a volume change caused by irradiation of a laser beam to form a predetermined mark.

본 발명에 따른 고밀도 정보저장매체의 제조방법은 원판에 트랙킹을 위한 랜드 및 그루브를 형성하는 단계; 상기 원판 위에 제 1 유전체층, 기록층 및 제 2 유전체층을 코팅하는 단계; 상기 기록층에 레이저빔을 조사하여 빔이 조사되는 부분의 온도 분포의 차이에 따라 상기 기록층에 부피 변화를 발생시켜 소정의 마크를 형성하는 단계를 포함한다.Method for producing a high-density information storage medium according to the present invention comprises the steps of forming a land and groove for tracking on the disc; Coating a first dielectric layer, a recording layer and a second dielectric layer on the disc; Irradiating a laser beam to the recording layer to generate a predetermined mark by generating a volume change in the recording layer according to a difference in temperature distribution of the portion to which the beam is irradiated.

본 발명에 따른 랜드 및 그루브가 형성된 원판과, 레이저빔의 조사에 의한 부피 변화를 통해 소정의 마크가 형성되는 기록층을 구비한 정보저장매체의 기록/재생 장치는, 상기 랜드 및 그루브를 이용하여 트랙킹을 수행하고, 상기 정보저장매체에 데이터를 기록 또는 재생하기 위해 상기 매체로 레이저빔을 조사하고 상기 매체로부터 반사되는 빔을 검출하는 광픽업과, 상기 광픽업이 상기 매체에 데이터를 기록하거나 재생하도록 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.An apparatus for recording / reproducing an information storage medium having a disc having lands and grooves formed thereon and a recording layer having a predetermined mark formed through a volume change by irradiation of a laser beam, using the lands and grooves Optical pickup for irradiating a laser beam to the medium and detecting a beam reflected from the medium to perform tracking, to record or reproduce data on the information storage medium, and the optical pickup to record or reproduce data on the medium It characterized in that it comprises a control unit for controlling to.

본 발명에 따른 정보저장매체의 기록/재생 방법은 상기 매체의 원판에 형성된 랜드 및 그루부를 이용하여 트랙킹을 수행하는 단계; 및 상기 매체에 대한 레이저빔의 조사에 의한 부피 변화를 이용하여 상기 매체에 데이터를 기록하거나 상기 매체로부터 데이터를 독출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of recording / reproducing an information storage medium, the method including: tracking using lands and grooves formed on the disc of the medium; And recording data on the medium or reading data from the medium by using the volume change caused by the laser beam irradiation on the medium.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 고밀도 정보저장매체, 그 기록/재생 장치 및 그 제조방법은, 미리 소정의 랜드 및 그루브가 형성된 원판을 이용하여 상기 원판 위에 분해능 이하의 작은 피트를 형성함으로써, 정보저장매체의 기록밀도를 향상시키면서도 상기 랜드 및 그루브를 이용하여 안정적인 트랙킹이 가능하게 하는 것을 특징으로 한다.According to the present invention, a high density information storage medium, a recording / reproducing apparatus thereof, and a method of manufacturing the same are used to form a small pit of less than resolution on the disc using a disc having predetermined lands and grooves formed therein, thereby recording density of the information storage medium. It is characterized in that to enable stable tracking using the land and groove while improving.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 정보저장매체(100)의 층구조를 나타낸 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing the layer structure of the information storage medium 100 according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 정보저장매체(100)는 원판(105) 상에 코팅된 기록층(110), 상기 기록층(110) 상에 코팅된 유전체층(115), 상기 유전체층(115) 상에 코팅된 전도성 금속층(120)을 포함한다.2, an information storage medium 100 according to an embodiment of the present invention may include a recording layer 110 coated on a disc 105, a dielectric layer 115 coated on the recording layer 110, The conductive metal layer 120 is coated on the dielectric layer 115.

상기 원판(105)에는 미리 트랙킹을 위한 랜드(L) 및 그루브(G)가 형성되어 있다. 널리 알려진 바와 같이, 상기 원판(105)에는 랜드(L) 및 그루브(G)를 용이하게 형성할 수 있다.The disc 105 is formed with lands L and grooves G for tracking in advance. As is widely known, lands (L) and grooves (G) can be easily formed in the disc 105.

상기 기록층(110)은 유전체 및 합금으로 이루어진 합금 유전체층 또는 합금층으로 형성될 수 있다. 여기서, 상기 합금 유전체층(또는 합금층)은 희토류 금속 및 전이 금속을 포함하여 구성될 수 있다. 상기 희토류 금속으로는 Tb, 상기 전이 금속으로는 철(Fe) 및 코발트(Co)가 이용될 수 있다. 즉, 바람직하게는 상기 기록층(110)은 TbFeCo로 구성된다.The recording layer 110 may be formed of an alloy dielectric layer or an alloy layer made of a dielectric and an alloy. Here, the alloy dielectric layer (or alloy layer) may comprise a rare earth metal and a transition metal. Tb may be used as the rare earth metal, and iron (Fe) and cobalt (Co) may be used as the transition metal. That is, preferably, the recording layer 110 is made of TbFeCo.

상기 기록층(110)은 빔이 조사되면 열을 흡수하여 빔이 조사된 부분에 부피 변화를 일으킨다. 즉, 상기 기록층(110)은 빔의 조사에 따른 국부적인 온도 분포의 차이에 의해 조사된 영역에 화학적 및 물리적 반응을 일으켜 부피 변화가 일어난다.When the beam is irradiated, the recording layer 110 absorbs heat to cause a volume change in the portion to which the beam is irradiated. That is, the recording layer 110 causes chemical and physical reactions in the irradiated area due to the difference in local temperature distribution according to the irradiation of the beam, thereby causing a volume change.

상기 유전체층(115)은 ZnS-SiO2와 같은 금속산화물로 형성될 수 있다.The dielectric layer 115 may be formed of a metal oxide such as ZnS-SiO 2 .

상기 전도성 금속층(120)은 도전성을 띨 수 있는 두께로 상기 유전체층(115) 상에 코팅한다. 여기서, 상기 전도성 금속층(120)은 Cu, Ni, Fe, Co 중 어느 하나로 형성될 수 있다.The conductive metal layer 120 is coated on the dielectric layer 115 to a thickness that can be conductive. Here, the conductive metal layer 120 may be formed of any one of Cu, Ni, Fe, Co.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 정보저장매체(100)의 층구조를 나타낸 단면도이다.3 is a cross-sectional view showing the layer structure of the information storage medium 100 according to another embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 상기 정보저장매체(100)는 상기 기록층(110)의 상부 및 하부에 제 1 유전체층(107) 및 제 2 유전체층(113)이 형성되도록 할 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 정보저장매체(100)는 상기 복수개의 제 1,2 유전체층(107,113)을 제외하고, 나머지 구성에 있어서 도 2에 도시된 정보저장매체(100)와 동일한 바 구체적인 설명은 생략한다.As shown in FIG. 3, the information storage medium 100 may have first and second dielectric layers 107 and 113 formed on and under the recording layer 110. The information storage medium 100 according to another embodiment of the present invention is identical to the information storage medium 100 shown in FIG. 2 except for the plurality of first and second dielectric layers 107 and 113, and thus, the detailed description thereof. Is omitted.

도 4는 본 발명에 따른 상기 정보저장매체(100)에 레이저빔을 조사하는 상태를 나타낸 도면이다. 도 4에서는 도 3에 도시된 정보저장매체(100)의 랜드 또는 그루브 중 어느 하나에 레이저빔이 조사되는 경우를 나타낸다. 4 is a view showing a state in which a laser beam is irradiated to the information storage medium 100 according to the present invention. 4 illustrates a case where a laser beam is irradiated to any one of lands or grooves of the information storage medium 100 shown in FIG. 3.

도 4에 도시된 바와 같이, 상기 정보저장매체(100)에 소정의 데이터를 기록하기 위하여, 상기 정보저장매체(100)를 회전시키면서 레이저빔을 상기 정보저장매 체(100)에 조사한다. 여기서, 상기 레이저빔은 대물렌즈(OL)를 통하여 상기 기록층(110)에 집속된다. 도시된 바와 같이, 레이저빔의 조사영역에 따른 온도분포는 가우시안 분포를 나타내며, 이로 인해 레이저빔의 중심부(A)의 온도가 그 주변부에 비해 온도가 높아진다. As shown in FIG. 4, a laser beam is irradiated onto the information storage medium 100 while rotating the information storage medium 100 to record predetermined data on the information storage medium 100. Here, the laser beam is focused on the recording layer 110 through the objective lens OL. As shown, the temperature distribution according to the irradiation area of the laser beam shows a Gaussian distribution, whereby the temperature of the central portion A of the laser beam is higher than its periphery.

구체적으로는, 개구수(NA)가 0.65이고 파장이 405nm 인 레이저빔을 상기 정보저장매체(100)에 조사하면, 레이저빔의 중심부근의 온도가 임계 온도 이상으로 올라가는 경우 상기 제 1,2 유전체층(107,113)을 구성하는 ZnS-SiO2의 분해가 일어나 S와 O2가 발생한다. 상기 S 및 O2는 상기 기록층(110)으로 확산되어 들어가고, 상기 기록층(110)에는 국부적인 기체압 증가로 인한 부피변화가 일어난다. Specifically, when the laser beam having a numerical aperture NA of 0.65 and a wavelength of 405 nm is irradiated to the information storage medium 100, when the temperature near the center of the laser beam rises above the critical temperature, the first and second dielectric layers The decomposition of ZnS-SiO 2 constituting (107,113) occurs to generate S and O 2 . The S and O 2 diffuse into the recording layer 110, and the volume change occurs in the recording layer 110 due to a local gas pressure increase.

본 발명에 따른 정보저장매체의 기록층(110)에서 부피 변형이 일어난 상태를 나타낸 도 5를 참조하면, 상기 부피변화로 인해 상기 기록층(110)에는 소정의 데이터를 기록하기 위한 마크(125)가 형성된다. 상기 기록층(110)에서의 부피 변화는 상기 기록층(110)과 맞닿은 상하의 제 1,2 유전체층(107,113)에도 부피 변화를 일으킨다.Referring to FIG. 5 showing a state where volume deformation occurs in the recording layer 110 of the information storage medium according to the present invention, the mark 125 for recording predetermined data in the recording layer 110 due to the volume change. Is formed. The volume change in the recording layer 110 also causes a volume change in the upper and lower first and second dielectric layers 107 and 113 in contact with the recording layer 110.

상기 방식에 의하면, 레이저빔이 조사되는 부분 중에서 소정의 임계 온도 이상으로 올라가는 부분(A)에서만 부피변화가 발생하기 때문에, 즉, 조사된 레이저빔의 일부 영역에서만 부피변화가 발생하기 때문에 마크(125)의 크기를 감소시킬 수 있다. 따라서, 정보저장매체의 기록 용량을 증가시킬 수 있다.According to the above method, since the volume change occurs only in the portion A of the portion where the laser beam is irradiated to rise above the predetermined threshold temperature, that is, the volume change occurs only in a portion of the irradiated laser beam, the mark 125 ) Can be reduced in size. Therefore, the recording capacity of the information storage medium can be increased.

도 6은 상기 부피 변화를 이용하여 마크를 기록한 본 발명에 따른 정보저장 매체의 일부를 나타낸 사시도이다. 도 6에서는 랜드(L) 및 그루브(G) 모두에 소정의 마크 패턴을 형성시킨 경우를 나타내고 있다. 다만, 도시된 바에 한정되지 않고, 그루브(G) 또는 랜드(L)에만 마크를 형성할 수 있음은 자명하다.6 is a perspective view showing a part of an information storage medium according to the present invention in which a mark is recorded using the volume change. In FIG. 6, the case where predetermined mark pattern is formed in both the land L and the groove G is shown. However, it is obvious that the mark can be formed only on the groove G or the land L without being limited to the illustrated one.

도 6을 참조하면, 제 1 유전체층(107) 및 제 2 유전체층(113) 사이의 기록층(110) 상에 레이저빔의 조사에 따른 부피변화로 인하여 소정의 마크가 형성된다. 전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 정보저장매체에는 조사된 레이저빔의 일부 영역에서만 부피변화가 발생하므로 작은 크기의 마크를 형성할 수 있다.Referring to FIG. 6, a predetermined mark is formed on the recording layer 110 between the first dielectric layer 107 and the second dielectric layer 113 due to the volume change caused by the laser beam irradiation. As described above, in the information storage medium according to the present invention, since a volume change occurs only in a part of the irradiated laser beam, a small size mark may be formed.

또한, 본 발명에 따른 정보저장매체는, 상기 부피 변화를 이용하여 고밀도의 기록 용량을 가지는 한편, 기록 및/또는 재생시 상기 원판(105)에 형성된 랜드(L)와 그루브(G)를 이용하여 트랙킹이 수행됨으로써, 종래의 기술에 따른 푸쉬풀 트랙킹 기술 등을 통해서도 안정적인 트랙킹이 가능하게 된다.In addition, the information storage medium according to the present invention has a high density recording capacity by using the volume change, while using lands (L) and grooves (G) formed on the disc 105 during recording and / or playback. By tracking, stable tracking is possible even through a push-pull tracking technique according to the related art.

도 7a 내지 7c는 본 발명에 따른 정보저장매체의 기록층(110)에 형성된 상기 마크 패턴의 AFM(Atomic Force Microscopy) 이미지를 나타낸 도면이다.7A to 7C illustrate AFM (Atomic Force Microscopy) images of the mark pattern formed on the recording layer 110 of the information storage medium according to the present invention.

도 7a 내지 7c에서 좌측의 이미지는 상기 기록층(110)에 형성된 마크 매턴을 위에서 바라본 평면도이고, 우측의 그래프는 상기 좌측의 이미지의 점선에 따른 단면도이다. 여기서, 도 7a 내지 7c는 각각 15MHz, 18.75MHz, 30MHz의 주파수를 갖는 레이저빔을 입사하여 형성된 마크 패턴을 나타낸다.7A to 7C, the image on the left is a plan view of the mark maton formed in the recording layer 110 as viewed from above, and the graph on the right is a sectional view along the dotted line of the image on the left. 7A to 7C show mark patterns formed by incident laser beams having frequencies of 15 MHz, 18.75 MHz, and 30 MHz, respectively.

도 7a 내지 7c를 참조하면, 상기 기록층(110)에는 각각 직경이 100nm, 80nm, 50nm이고, 높이는 65nm, 45nm, 35nm인 마크가 형성된다. 종래의 25GB의 기록용량을 갖는 블루레이(Blu-ray) 디스크에 있어서 최단 기록 마크는 150㎚임을 고려할 때, 본 발명에 따른 정보저장매체는 작은 크기의 마크가 형성되므로 기록 용량을 증가시킬 수 있다.Referring to FIGS. 7A to 7C, marks are formed on the recording layer 110 having diameters of 100 nm, 80 nm, and 50 nm, and heights of 65 nm, 45 nm, and 35 nm, respectively. Considering that the shortest recording mark is 150 nm in a conventional Blu-ray disc having a recording capacity of 25 GB, the information storage medium according to the present invention can increase the recording capacity because a small size mark is formed. .

한편, 상기 기록층(110)의 부피변화를 이용한 마크 패턴을 형성하는 방법은 재생 전용의 피트가 있는 ROM 기판뿐만 아니라 기록/재생이 가능한 재기록용 원판에도 적용할 수 있다.On the other hand, the method of forming the mark pattern using the volume change of the recording layer 110 can be applied not only to a ROM substrate having a pit dedicated for reproduction, but also to a rewritable disc capable of recording / reproducing.

도 8은 본 발명에 따른 고밀도 정보저장매체의 제조방법을 나타낸 플로우 차트이다. 8 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a high density information storage medium according to the present invention.

먼저, 원판에 트랙킹을 위한 랜드 및 그루브를 형성한다(200). First, lands and grooves for tracking are formed on the original plate (200).

상기 랜드 및 그루브가 형성된 원판상에 제 1 유전체층을 형성하고, 상기 제 1 유전체층 위에 기록층을 코팅하고, 상기 기록층 위에 다시 제 2 유전체층을 코팅한다(210). 여기서, 본 발명에 따른 정보저장매체를 다른 정보저장매체의 제작을 위한 마스터로 이용하는 경우에는 상기 제 2 유전체층 위에 전도성 금속층 및 도금층을 더 코팅하여 스탬퍼를 형성할 수도 있다.A first dielectric layer is formed on the disc on which the lands and grooves are formed, a recording layer is coated on the first dielectric layer, and a second dielectric layer is coated on the recording layer (210). In the case where the information storage medium according to the present invention is used as a master for fabricating another information storage medium, a stamper may be formed by further coating a conductive metal layer and a plating layer on the second dielectric layer.

그리고, 상기 제 1 유전체층, 기록층, 제 2 유전체층에 레이저빔을 조사하여 부피 변화를 일으킨다(220). 전술한 바와 같이, 레이저빔의 조사에 의하여 상기 유전체층에서 금속과 기체가 분해되고, 상기 분해된 금속과 기체가 기록층에 확산되어 국부적인 기체압의 변화가 생기고, 이는 상기 기록층에 부피 변화를 일으켜 마크가 형성된다. 상기 기록층에서의 부피 변화는 상기 기록층과 상하로 맞닿은 제 1 유전체층 및 제 2 유전체층의 부피도 변화시킨다. 이러한 부피 변화를 통해 생긴 마크가 소정의 데이터를 기록하기 위한 패턴으로 이용된다.The laser beam is irradiated to the first dielectric layer, the recording layer, and the second dielectric layer to cause a volume change (220). As described above, the metal and the gas are decomposed in the dielectric layer by the irradiation of the laser beam, and the decomposed metal and the gas are diffused in the recording layer, thereby causing a local change in the gas pressure, which causes a volume change in the recording layer. To form a mark. The volume change in the recording layer also changes the volume of the first dielectric layer and the second dielectric layer which are in contact with the recording layer up and down. The mark resulting from this volume change is used as a pattern for recording predetermined data.

레이저빔을 조사하여 소정의 데이터에 대응되는 마크를 기록하는 경우, 상기 원판에 형성된 랜드 및 그루브를 이용하여 트랙킹을 수행하게 된다. 정보저장매체의 재생시의 경우에도 상기 랜드 및 그루브를 이용하여 트랙킹이 수행되어, 종래 피트의 반사율 차이로 트랙킹을 수행하는 것에 비하여 안정적인 트랙킹이 가능하다.When a mark corresponding to predetermined data is recorded by irradiating a laser beam, tracking is performed using lands and grooves formed on the original plate. In the case of reproducing the information storage medium, tracking is performed by using the lands and grooves, so that stable tracking is possible as compared with conventional tracking by the difference in reflectance of the pit.

도 9 및 도 10은 본 발명에 따른 정보저장매체에 데이터를 기록하거나 상기 매체로부터 데이터를 재생하기 위한 기록/재생 장치의 일 예를 나타낸 도면이다.9 and 10 illustrate an example of a recording / reproducing apparatus for recording data on or reproducing data from an information storage medium according to the present invention.

도 9를 참조하면, 본 발명에 따른 정보저장매체의 기록/재생 장치는 광픽업(300), 기록/재생 신호 처리부(400) 및 제어부(500)를 포함한다.Referring to FIG. 9, an apparatus for recording / reproducing an information storage medium according to the present invention includes an optical pickup 300, a recording / reproducing signal processor 400, and a controller 500.

상기 광픽업(300)은 본 발명에 따른 정보저장매체(D)에 재생빔을 조사한 후 반사되는 빔을 검출하는 부분이며, 상기 기록/재생 신호 처리부(400)는 상기 광픽업(300)에서 검출된 빛에 소정의 신호처리를 하는 부분이며, 상기 제어부(500)는 상기 기록/재생 장치의 각 구성요소의 동작을 제어하는 부분이다.The optical pickup 300 is a portion for detecting a beam reflected after irradiating a reproduction beam to the information storage medium (D) according to the present invention, the recording / reproduction signal processing unit 400 is detected by the optical pickup 300 The control unit 500 controls the operation of each component of the recording / reproducing apparatus.

구체적으로는, 상기 광픽업(300)은 빔을 조사하는 광원(310), 상기 광원(310)으로부터 조사된 빔을 분광시키는 회절소자(330), 상기 회절소자(330)를 통과한 빔을 평행하게 해주는 콜리메이팅 렌즈(52), 입사빔의 진행 경로를 변환하는 빔스프리터(340), 상기 빔스프리터(340)를 통과한 빔을 본 발명에 따른 정보저장매체(D)에 집속시키는 대물렌즈를 포함한다.Specifically, the optical pickup 300 is parallel to the light source 310 for irradiating the beam, the diffraction element 330 for spectroscopy the beam irradiated from the light source 310, the beam passing through the diffraction element 330 The collimating lens 52, the beam splitter 340 for converting the propagation path of the incident beam, and the objective lens for focusing the beam passing through the beam splitter 340 to the information storage medium (D) according to the present invention. Include.

상기 광원(310)에서 출사된 빔은 상기 회절소자(330)를 통해 제 1 빔과 제 2빔으로 분광된다. 상기 제 1 빔과 제 2 빔의 파워는 회절소자(330)의 회절 패턴을 변화시켜 조절할 수 있다. The beam emitted from the light source 310 is split into the first beam and the second beam through the diffraction element 330. The power of the first beam and the second beam may be adjusted by changing the diffraction pattern of the diffraction element 330.

또한, 상기 광픽업(300)은 기록 및/또는 재생을 위한 레이저빔이 피트열에서 벗어나지 않도록 광픽업부의 대물렌즈를 트랙킹하기 위해서, 전술한 바와 같이 상기 정보저장매체(D)에 형성된 랜드 및 그루부를 이용한다.In addition, the optical pickup 300 is a land and a groove formed in the information storage medium (D) as described above, in order to track the objective lens of the optical pickup unit so that the laser beam for recording and / or reproduction does not deviate from the pit row. Use wealth.

상기 정보저장매체(D)에서 반사된 제 1 빔과 제 2 빔이 상기 빔스프리터(54)에 의해 반사되어 광검출기(360)에 수광된다. 상기 광검출기(360)에 수광된 제 1 빔과 제 2 빔은 전기적 신호로 변환되고, 신호처리부(400)를 통해 재생 신호로 출력된다.The first and second beams reflected from the information storage medium D are reflected by the beam splitter 54 and received by the photodetector 360. The first and second beams received by the photodetector 360 are converted into electrical signals and output as reproduction signals through the signal processor 400.

상기 신호처리부(400)는 상기 광검출기(360)를 통해 광전 변환된 제 1 빔 신호를 증폭기(410)에 의해 증폭시키고, 제 2 빔 신호를 보상부(620)를 통해 시간 지연을 보상해 준다. 상기 제 1 빔의 재생 신호와 제 2 빔의 재생 신호는 연산부(430)를 통해 연산처리되고, 채널 1(Ch1)을 통해 RF 신호로 출력되며, 채널 2(Ch2)를 통해 트랙킹을 위한 푸쉬풀 신호로 출력된다.The signal processor 400 amplifies the first beam signal photoelectrically converted through the photodetector 360 by the amplifier 410, and compensates for the time delay through the compensator 620. . The reproduction signal of the first beam and the reproduction signal of the second beam are computed through an operation unit 430, output as an RF signal through channel 1 (Ch1), and a push-pull for tracking through channel 2 (Ch2). It is output as a signal.

상기 제어부(500)는 본 발명에 따른 정보저장매체에 기록된 마크를 재생하기 위해 적절한 파워의 빔이 조사되도록 상기 광픽업(300)을 제어한다. 또한, 상기 제어부(500)는 상기 RF 신호와 푸쉬풀 신호를 이용하여 포커싱 서보와 트랙킹 서보를 수행한다.The controller 500 controls the optical pickup 300 to irradiate a beam of appropriate power to reproduce the mark recorded on the information storage medium according to the present invention. In addition, the controller 500 performs focusing servo and tracking servo by using the RF signal and the push-pull signal.

상기 도 9에 도시된 기록 및/또는 재생장치는 제 1,2 빔을 생성하기 위해 회절소자를 구비하였으나, 도 10에 도시된 바와 같이, 제 1,2 빔을 조사하기 위한 독립적인 제 1광원(380a)과 제 2광원(380b)을 각각 구비하도록 할 수 있다. 도 10에 서는 상기 제 1,2광원(380a,380b)이 하나의 패키지화된 광모듈로 구성된 것을 도시하였다.The recording and / or reproducing apparatus shown in FIG. 9 includes a diffraction element for generating the first and second beams, but as shown in FIG. 10, an independent first light source for irradiating the first and second beams. 380a and a second light source 380b may be provided, respectively. In FIG. 10, the first and second light sources 380a and 380b are configured as one packaged optical module.

다만, 상기 제 1,2광원(380a,380b)를 패키지화하지 않고 독립적으로 구성하여 상기 제 1,2광원(380a,380b)을 각각 다른 위치에 배치할 수 있으며, 이와 같은 경우에는 회절 소자를 구비할 필요가 없다.However, the first and second light sources 380a and 380b may be independently configured without packaging, and the first and second light sources 380a and 380b may be disposed at different positions. In this case, a diffraction element may be provided. There is no need to do it.

또한, 도 10에 도시된 기록/재생 장치는 상기 제 1광원(380a)에서 출사되어 정보저장매체(D)에서 반사되어 온 빔을 수광하기 위한 제 1 광검출부(370a)와, 상기 제 2광원(380b)에서 출사되어 정보저장매체(D)에서 반사되어 온 빔을 수광하기 위한 제 2 광검출부(370b)를 구비한 광검출기(370)를 포함한다.In addition, the recording / reproducing apparatus shown in FIG. 10 includes a first light detector 370a for receiving a beam emitted from the first light source 380a and reflected from the information storage medium D, and the second light source. And a photodetector 370 having a second photodetector 370b for receiving a beam emitted from 380b and reflected from the information storage medium D.

상기 도 9 및 도 10에서의 빔 중 어느 하나는 본 발명에 따른 정보저장매체의 기록/재생을 위한 빔으로 이용하고, 나머지 하나는 트랙킹 신호를 검출하는데 이용될 수 있다. 전술한 바와 같이, 트랙킹 신호의 검출시는 본 발명에 따른 정보저장매체의 원판에 형성된 랜드 및 그루브를 이용함으로써, 작은 마크 크기에도 불구하고 충분한 크기의 트랙킹 신호를 얻을 수 있다.Any one of the beams in FIGS. 9 and 10 may be used as a beam for recording / reproducing an information storage medium according to the present invention, and the other one may be used for detecting a tracking signal. As described above, when the tracking signal is detected, by using lands and grooves formed on the original plate of the information storage medium according to the present invention, a tracking signal of sufficient size can be obtained despite the small mark size.

도 11은 본 발명에 따른 정보저장매체에서 검출되는 푸쉬풀 신호의 파형을 나타낸 도면이다.11 illustrates waveforms of a push-pull signal detected by an information storage medium according to the present invention.

본 발명에 따른 정보저장매체는 원판에 형성된 랜드 및 그루브를 이용한다. 따라서, 종래 피트의 반사도 차이를 이용한 트랙킹 방법에 비하여, 도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 정보저장매체는 진폭이 충분히 큰 푸쉬풀 신호를 얻을 수 있으므로, 안정적인 트랙킹을 가능하게 한다.The information storage medium according to the present invention uses lands and grooves formed in the disc. Accordingly, as shown in FIG. 11, the information storage medium according to the present invention can obtain a push-pull signal having a sufficiently large amplitude, thereby enabling stable tracking.

이와 같이, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.As such, it will be understood by those skilled in the art that the present invention may be implemented in a modified form without departing from the essential features of the present invention. Therefore, the disclosed embodiments should be considered in descriptive sense only and not for purposes of limitation. The scope of the present invention is shown in the claims rather than the foregoing description, and all differences within the scope will be construed as being included in the present invention.

본 발명에 따른 고밀도 정보저장매체, 그 기록/재생 장치 및 그 제조방법에 의하면, 피트 사이즈의 감소에도 불구하고, 랜드 및 그루브를 이용하여 안정적인 트랙킹을 제공할 수 있다.According to the high-density information storage medium, the recording / reproducing apparatus, and the manufacturing method thereof according to the present invention, it is possible to provide stable tracking by using lands and grooves despite the decrease in the pit size.

또한, 본 발명은 종래의 광학 시스템을 그대로 이용하여 고밀도의 정보저장매체의 제조를 가능하게 하여, 고밀도 정보저장매체의 제조시 생산비용의 증가를 방지할 수 있다.In addition, the present invention enables the production of a high-density information storage medium by using a conventional optical system as it is, it is possible to prevent an increase in the production cost in the production of a high-density information storage medium.

Claims (7)

정보저장매체에 있어서,In the information storage medium, 랜드 및 그루브가 형성된 원판과, 상기 원판 위에 형성된 제 1 유전체층과, 상기 제 1 유전체층 위에 금속 화합물로 형성된 기록층과, 상기 기록층위에 형성된 제 2 유전체층을 포함하며,A disc having lands and grooves formed thereon, a first dielectric layer formed on the disc, a recording layer formed of a metal compound on the first dielectric layer, and a second dielectric layer formed on the recording layer, 상기 기록층은 레이저빔의 조사에 의해 부피 변화가 일어나 소정의 마크가 형성되는 것을 특징으로 하는 고밀도 정보저장매체.The recording layer has a high density information storage medium, characterized in that the volume change occurs by irradiation of a laser beam to form a predetermined mark. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 부피 변화는, 레이저빔의 조사에 의해 상기 제 1 유전체층 및 제 2 유전체층에서 분해된 금속과 기체가 상기 기록층에 확산되어 발생하는 것을 특징으로 하는 고밀도 정보저장매체.The volume change is caused by diffusion of metal and gas decomposed in the first and second dielectric layers into the recording layer by irradiation of a laser beam. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기록층은 희토류 전이 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고밀도 정보저장매체.And the recording layer is made of a rare earth transition metal. 정보저장매체의 제조방법에 있어서,In the method of manufacturing the information storage medium, 원판에 트랙킹을 위한 랜드 및 그루브를 형성하는 단계;Forming lands and grooves for tracking on the disc; 상기 원판 위에 제 1 유전체층, 기록층 및 제 2 유전체층을 코팅하는 단계;Coating a first dielectric layer, a recording layer and a second dielectric layer on the disc; 상기 기록층에 레이저빔을 조사하여 빔이 조사되는 부분의 온도 분포의 차이에 따라 상기 기록층에 부피 변화를 발생시켜 소정의 마크를 형성하는 단계를 포함하는 고밀도 정보저장매체의 제조방법.Irradiating a laser beam to the recording layer to generate a predetermined mark by generating a volume change in the recording layer according to a difference in temperature distribution of the portion to which the beam is irradiated. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 부피 변화는, 레이저빔의 조사에 의해 상기 제 1 유전체층 및 제 2 유 전체층에서 분해된 금속과 기체가 상기 기록층에 확산되어 발생하는 것을 특징으로 하는 고밀도 정보저장매체의 제조방법.Wherein the volume change is caused by diffusion of metal and gas decomposed in the first dielectric layer and the second dielectric layer into the recording layer by irradiation of a laser beam. 랜드 및 그루브가 형성된 원판과, 레이저빔의 조사에 의한 부피 변화를 통해 소정의 마크가 형성되는 기록층을 구비한 정보저장매체의 기록/재생 장치에 있어서,An information storage medium recording / reproducing apparatus having an original plate having lands and grooves formed thereon, and a recording layer having a predetermined mark formed through a volume change by irradiation of a laser beam, 상기 랜드 및 그루브를 이용하여 트랙킹을 수행하고, 상기 정보저장매체에 데이터를 기록 또는 재생하기 위해 상기 매체로 레이저빔을 조사하고 상기 매체로부터 반사되는 빔을 검출하는 광픽업과, 상기 광픽업이 상기 매체에 데이터를 기록하거나 재생하도록 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기록/재생 장치.An optical pickup for performing tracking using the lands and grooves, irradiating a laser beam to the medium and detecting a beam reflected from the medium to record or reproduce data on the information storage medium; And a control unit for controlling to record or reproduce data on the medium. 정보저장매체의 기록/재생 방법에 있어서,In the recording / reproducing method of the information storage medium, 상기 매체의 원판에 형성된 랜드 및 그루부를 이용하여 트랙킹을 수행하는 단계; 및Performing tracking using lands and grooves formed on the disc of the medium; And 상기 매체에 대한 레이저빔의 조사에 의한 부피 변화를 이용하여 상기 매체에 데이터를 기록하거나 상기 매체로부터 데이터를 독출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기록/재생 방법.And recording data to or reading data from the medium by using a volume change caused by irradiation of a laser beam to the medium.
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