KR20060089897A - Control unit of semiconductor manufacturing equipments - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 제조 설비의 제어부에 관한 것으로서, 제어 판넬과, 제어 판넬로부터 돌출되어 설치되고, 반도체 제조 설비의 각 장치들과 연결되며, 각 장치들을 제어하기 위해 사용되는 푸시 버튼과, 푸시 버튼의 둘레 외측에 일단이 체결되고, 타단은 손가락이 삽입될 수 있는 홀이 형성되어 있으며, 푸시 버튼의 높이 이상으로 돌출되어 있는 관형의 보호 커버를 포함하는 반도체 제조 설비의 제어부를 제공한다. 이에, 공정 진행 시 작업자가 본의 아니게 푸시 버튼과 접촉하게 되는 경우, 푸시 버튼을 감싸며 형성된 보호 커버에 의하여 푸시 버튼이 눌려지는 것을 방지한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a control unit of a semiconductor manufacturing facility, comprising: a control panel, a push button protruding from the control panel, connected to respective devices of the semiconductor manufacturing facility, and used to control the devices; One end is fastened to the outer circumference, and the other end is provided with a hole into which a finger can be inserted, and provides a control unit of a semiconductor manufacturing facility including a tubular protective cover protruding beyond the height of a push button. Thus, when the worker unintentionally comes in contact with the push button during the process, the push button is prevented from being pushed by a protective cover formed around the push button.

따라서, 반도체 소자의 제조 공정이 진행되던 반도체 제조 설비의 작동이 예기치 않게 중지되는 것을 방지할 수 있으므로 시간 지연 등에 따른 공정 손실이 줄어드는 효과가 있다.Therefore, it is possible to prevent the operation of the semiconductor manufacturing equipment in which the manufacturing process of the semiconductor device proceeds unexpectedly, thereby reducing the process loss due to time delay.

버튼, 커버, 비상정지, 제어부, 반도체 소자Button, Cover, Emergency Stop, Control Unit, Semiconductor Device

Description

반도체 제조 설비의 제어부{Control Unit of semiconductor manufacturing equipments}Control unit of semiconductor manufacturing equipment

도 1은 종래 기술에 따른 반도체 제조 설비의 제어부를 개략적으로 나타내는 사시도.1 is a perspective view schematically showing a control unit of a semiconductor manufacturing facility according to the prior art;

도 2는 본 발명에 따른 보호 커버를 갖는 반도체 제조 설비의 제어부를 개략적으로 나타내는 사시도.2 is a perspective view schematically showing a control unit of a semiconductor manufacturing facility having a protective cover according to the present invention;

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10, 100 : 제어판 11, 12, 110, 120 : 푸시 버튼10, 100: control panel 11, 12, 110, 120: push button

13, 130 : 모니터회로 14, 101 : 제어 판넬13, 130: monitor circuit 14, 101: control panel

140 : 보호 커버 141 : 홀140: protective cover 141: hole

본 발명은 반도체 제조 설비의 제어부에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 제조 설비의 각 장치들과 연결되어 각 장치들을 제어하기 위해 사용되는 푸시 버튼을 구비한 반도체 제조 설비의 제어부에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a control unit of a semiconductor manufacturing facility, and more particularly, to a control unit of a semiconductor manufacturing facility having a push button connected to respective devices of a semiconductor manufacturing facility and used to control each device.

통상적으로, 반도체 소자의 제조 공정은 사진, 식각, 증착, 및 이온주입 등 의 여러 단위 공정들을 선택적이고도 반복적으로 수행함으로써 이루어지며, 생산 라인에 구비된 다양한 반도체 제조 설비들에 의해 이와 같은 여러 단위 공정들이 순차적으로 수행된다.In general, a semiconductor device manufacturing process is performed by selectively and repeatedly performing various unit processes such as photography, etching, deposition, and ion implantation, and such various unit processes are performed by various semiconductor manufacturing facilities provided in a production line. Are performed sequentially.

이러한 반도체 제조 공정을 수행함에 있어서 반도체 제조 설비에서 사소한 공정 사고가 발생되는 경우, 작업자의 신속한 조치가 이루어지지 않으면 대형 사고가 유발될 수 있으며, 이를 대비하여 반도체 제조 설비들은 각 반도체 제조 설비의 동작상태를 나타내고, 비상 시 반도체 제조 설비의 작동을 멈출 수 있는 제어부를 구비하고 있다.In the case of performing such a semiconductor manufacturing process, if a minor process accident occurs in a semiconductor manufacturing facility, a large accident may be caused if a worker's prompt action is not taken. In contrast, the semiconductor manufacturing facilities are in operation state of each semiconductor manufacturing facility. It is equipped with the control part which can stop the operation | movement of a semiconductor manufacturing equipment in an emergency.

반도체 제조 설비의 제어부는 작업자가 쉽게 확인 가능한 곳에 설치되어 작업자가 반도체 제조 설비의 상태를 모니터링할 수 있게 하며, 비상 시 작업자가 반도체 제조 설비의 작동을 신속하게 중지시킬 수 있는 비상용 푸시 버튼을 구비한다. 이하, 첨부 도면을 참조하여 비상용 푸시 버튼이 구비된 반도체 제조 설비의 제어부를 자세히 살펴보기로 한다. The control unit of the semiconductor manufacturing facility is installed in a place where the operator can easily check, so that the operator can monitor the status of the semiconductor manufacturing facility, and has an emergency push button that allows the operator to quickly stop the operation of the semiconductor manufacturing facility in an emergency. . Hereinafter, a control unit of a semiconductor manufacturing facility equipped with an emergency push button will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래 기술에 따른 반도체 제조 설비의 제어부를 개략적으로 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view schematically showing a control unit of a semiconductor manufacturing facility according to the prior art.

도 1을 참조하면, 반도체 제조 설비의 제어부(10)는 수직으로 세워져 설치된 제어 판넬(14)과, 제어 판넬(14) 위에 형성된 모니터회로(13)와, 제어 판넬(14)로부터 돌출되어 설치되고, 반도체 제조 설비의 각 장치(도시되지 않음)들과 연결된 다수개의 푸시 버튼(11,12)을 포함하여 구성된다. 여기서, 다수개의 푸시 버튼(11,12)은 일반적으로 비상 정지용 버튼들이며, STOP 버튼(11)과 PAUSE 버튼(12)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the control unit 10 of a semiconductor manufacturing facility is installed to protrude from a control panel 14 installed vertically, a monitor circuit 13 formed on the control panel 14, and a control panel 14. And a plurality of push buttons 11 and 12 connected to respective devices (not shown) of the semiconductor manufacturing facility. Here, the plurality of push buttons 11 and 12 are generally emergency stop buttons, and may include a STOP button 11 and a PAUSE button 12.

이와 같은 구성을 갖는 반도체 제조 설비의 제어부(10)는 모니터회로(13)를 통해 작업자가 반도체 제조 설비의 공정 진행 상황을 모니터링하게 되며, 공정 진행 중 이상이 발생되면 푸시 버튼(11,12)을 눌러 반도체 제조 설비의 동작을 멈추게 된다. 따라서, 문제 발생 시 작업자의 뒤늦은 조치로 인하여 반도체 제조 설비가 파손되거나 대형 사고가 유발되는 것을 방지하게 된다.The control unit 10 of the semiconductor manufacturing facility having such a configuration monitors the progress of the process of the semiconductor manufacturing facility through the monitor circuit 13, and when the abnormality occurs during the process, pushes the push buttons 11 and 12. Press to stop the operation of the semiconductor manufacturing equipment. Therefore, when a problem occurs, a late action of the worker prevents the semiconductor manufacturing equipment from being damaged or causing a large accident.

그러나, 종래 기술에 따른 반도체 제조 설비의 제어부는 푸시 버튼이 외부로 돌출되어 있기 때문에, 평소의 공정 진행 상황에서 작업자의 움직임에 의한 작업자와 제어부와의 접촉으로 푸시 버튼이 눌려지는 일이 종종 발생된다. However, since the push button of the control unit of the semiconductor manufacturing equipment according to the prior art is protruded to the outside, the push button is often pressed in contact with the control unit and the operator by the movement of the operator in the usual process progress. .

따라서 본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 작업자의 움직임에 따른 접촉으로 인하여 돌출된 푸시 버튼이 본의 아니게 눌려지는 것을 방지할 수 있는 반도체 제조 설비의 제어부를 제공하는 데에 있다.Therefore, an object of the present invention is to solve the problems of the prior art as described above, to provide a control unit of a semiconductor manufacturing equipment that can prevent the push button protruding unintentionally pressed due to the contact according to the movement of the operator. It's there.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 제어부는 제어 판넬과, 제어 판넬로부터 돌출되어 설치되고, 반도체 제조 설비의 각 장치들과 연결되어 각 장치들을 제어하기 위해 사용되는 푸시 버튼을 적어도 하나 이상 포함하며, 푸시 버튼의 둘레 외측에 일단이 체결되고, 타단은 손가락이 삽입될 수 있는 홀이 형성되어 있으며, 푸시 버튼의 높이 이상으로 돌출되어 있어 푸시 버튼이 임 의로 눌려지는 것을 방지하는 보호 커버를 포함하는 것을 특징으로 한다.The control unit of the semiconductor manufacturing equipment according to the present invention for achieving the above object is provided with a control panel, a push button protruding from the control panel, connected to the respective devices of the semiconductor manufacturing equipment and used to control the devices at least. It includes one or more, one end is fastened to the outer circumference of the push button, the other end is formed with a hole into which the finger can be inserted, protruding beyond the height of the push button to protect the push button from being pressed arbitrarily It characterized in that it comprises a cover.

본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 제어부는 보호 커버가 푸시 버튼의 둘레 형상에 따른 관형인 것이 바람직하다.In the control unit of the semiconductor manufacturing equipment according to the present invention, it is preferable that the protective cover is tubular according to the circumferential shape of the push button.

이하 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 제어부에 대한 실시 예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. Hereinafter, an embodiment of a control unit of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 보호 커버를 갖는 반도체 제조 설비의 제어부를 개략적으로 나타내는 사시도이다.2 is a perspective view schematically showing a control unit of a semiconductor manufacturing facility having a protective cover according to the present invention.

도 2을 참조하면, 반도체 제조 설비의 제어부(100)는 수직으로 세워져 설치된 제어 판넬(101)과, 제어 판넬(101) 상에 설치된 모니터회로(130)와, 제어 판넬(101)로부터 돌출되어 설치되고, 반도체 제조 설비의 각 장치(도시되지 않음)들과 연결된 다수개의 푸시 버튼(110,120)을 포함하며, 푸시 버튼(110,120)을 보호하기 위한 보호 커버(140)를 더 포함하여 구성된다. Referring to FIG. 2, the control unit 100 of the semiconductor manufacturing facility is installed to protrude from the control panel 101 installed vertically, the monitor circuit 130 installed on the control panel 101, and the control panel 101. And a plurality of push buttons 110 and 120 connected to respective devices (not shown) of the semiconductor manufacturing facility, and further include a protective cover 140 for protecting the push buttons 110 and 120.

이와 같은 구성을 갖는 반도체 제조 설비의 제어부(100)를 보다 상세하게 살펴보면 다음과 같다.Looking at the control unit 100 of the semiconductor manufacturing equipment having such a configuration in more detail as follows.

제어 판넬(101)은 공정 진행 시 작업자가 쉽게 확인이 가능하고, 접근하기 용이한 곳에 수직으로 설치된다.The control panel 101 is installed in a vertical position where the operator can easily check and access easily during the process.

모니터회로(130)는 제어 판넬(101) 상에 형성되고, 반도체 제조 설비의 작동 상태를 표시하며, 반도체 제조 공정이 수행되는 과정에서 작업자가 반도체 제조 설비의 상태를 쉽게 확인할 수 있도록 식별이 용이한 위치에 설치된다.The monitor circuit 130 is formed on the control panel 101, and displays an operating state of the semiconductor manufacturing equipment, and is easy to identify so that an operator can easily check the state of the semiconductor manufacturing equipment during the process of performing the semiconductor manufacturing process. Is installed in position.

푸시 버튼(110,120)은 제어 판넬(101)에 상에 적어도 하나 이상이 돌출되어 설치되고, 반도체 제조 설비를 제어하기 위해 반도체 제조 설비의 각 장치(도시되지 않음)들과 연결되어 있다. 이러한 푸시 버튼(110,120)은 일반적으로 반도체 제조 설비의 비상 정지용 푸시 버튼(110,120)이며, STOP 버튼(110)과 PAUSE 버튼(120)을 포함할 수 있다.The push buttons 110 and 120 protrude at least one or more on the control panel 101, and are connected to respective devices (not shown) of the semiconductor manufacturing facility to control the semiconductor manufacturing facility. The push buttons 110 and 120 are generally emergency stop push buttons 110 and 120 of a semiconductor manufacturing facility, and may include a STOP button 110 and a PAUSE button 120.

보호 커버(140)는 사각으로 형성된 푸시 버튼(110,120)의 둘레 형상을 따라 사각관형으로 형성되며, 일단이 푸시 버튼(110,120)의 둘레 외측에 체결됨으로써 내부에 푸시 버튼(110,120)을 포함한다. 또한, 타단은 손가락이 삽입될 수 있는 홀(141)이 형성되고, 제어 판넬(101)로부터의 돌출 높이는 푸시 버튼(110,120)의 높이보다 높게 형성되며, 홀(141)을 통하여 손가락이 삽입되어 푸시 버튼(110,120)을 누를 수 있도록 통상의 손가락 길이보다 낮은 높이로 형성된다.The protective cover 140 is formed in a square tubular shape along the circumferential shape of the push buttons 110 and 120 formed in a quadrangular shape, and the push cover 110 and 120 is included therein by having one end fastened to the outer circumference of the push buttons 110 and 120. In addition, the other end is formed with a hole 141 through which the finger can be inserted, the height of the protrusion from the control panel 101 is formed higher than the height of the push button (110, 120), the finger is inserted and pushed through the hole 141 It is formed at a height lower than the normal finger length so that the buttons 110 and 120 can be pressed.

한편, 본 발명에서의 보호 커버(140)는 사각관형으로 형성되어 설치되었으나, 이는 사각관형에만 한정되는 것은 아니며, 푸시 버튼(110,120)의 둘레 형상이 원형일 경우, 원통형으로 형성될 수도 있다. 더하여, 작업자와의 접촉으로부터 푸시 버튼(110,120)이 보호되고, 유사시에 푸시 버튼(110,120)을 작동시킬 수 있는 형상이라면 어떠한 형상도 가능하다.On the other hand, the protective cover 140 in the present invention is formed in a rectangular tubular shape, but is not limited to the rectangular tubular shape, if the circumferential shape of the push button (110 120) is circular, may be formed in a cylindrical shape. In addition, any shape may be used as long as the push buttons 110 and 120 are protected from contact with the operator, and the push buttons 110 and 120 can be operated in a similar manner.

이와 같은 구성을 갖는 반도체 제조 설비의 제어부(100)의 작용을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation of the control unit 100 of the semiconductor manufacturing equipment having such a configuration as follows.

반도체 소자의 제조 공정이 진행되면, 작업자는 모니터회로(130)를 통해 반도체 제조 설비의 공정 진행 상태를 모니터링하게 되고, 공정 진행 중 문제가 발생되면 신속하게 보호 커버(140)에 형성된 홀(141)에 손가락을 삽입하여 푸시 버튼 (110,120)을 누르게 된다. 이에, 반도체 제조 설비는 작동이 중지되어, 문제가 발생됨에도 불구하고 공정을 계속 수행하여 반도체 제조 설비가 파손되거나 대형 사고가 유발되는 것을 방지하게 된다. When the manufacturing process of the semiconductor device is in progress, the operator monitors the process progress of the semiconductor manufacturing equipment through the monitor circuit 130, and if a problem occurs during the process, the hole 141 formed in the protective cover 140 is quickly formed. Insert a finger into the push button (110,120) is pressed. Accordingly, the semiconductor manufacturing equipment is stopped, and thus, the process is continued even though a problem occurs, thereby preventing the semiconductor manufacturing equipment from being damaged or causing a large accident.

또한, 반도체 소자의 제조 공정 진행 시, 작업자가 작업을 위한 움직임 등으로 인하여 본의 아니게 푸시 버튼(110,120)과 접촉하게 되는 경우, 푸시 버튼(110,120)을 감싸며 형성된 보호 커버(140)가 푸시 버튼(110,120)이 눌려지는 것을 방지하게 되어, 반도체 제조 설비에서 진행되던 공정이 예상치 않게 중지되는 것을 예방하게 된다.In addition, when the manufacturing process of the semiconductor device, when the operator unintentionally comes into contact with the push button (110,120) due to movement for the work, the protective cover 140 formed to surround the push button (110,120) is push button ( 110, 120 is prevented from being pressed, thereby preventing the process that is going on in the semiconductor manufacturing equipment is unexpectedly stopped.

한편, 본 발명의 사상은 실시 예에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상이 미치는 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 일이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.On the other hand, the spirit of the present invention is not limited to the embodiments, it is apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the scope of the spirit of the present invention, such modifications and modifications belong to the appended claims It is natural.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 제어부는 제어 판넬 상에 돌출되어 설치된 푸시 버튼을 보호하기 위해 푸쉬 버튼을 내부에 포함하는 보호 커버가 설치된다. 이에, 공정 진행 시 작업자가 본의 아니게 푸시 버튼과 접촉하게 되는 경우, 푸시 버튼을 감싸며 형성된 보호 커버에 의하여 푸시 버튼이 눌려지지 않게 된다. As described above, the control unit of the semiconductor manufacturing facility according to the present invention is provided with a protective cover including a push button therein to protect the push button protruding from the control panel. Thus, when the worker unintentionally comes into contact with the push button during the process, the push button is not pressed by a protective cover formed around the push button.

따라서, 반도체 제조 설비에서 진행되던 공정이 예기치 않게 중지되는 것을 방지할 수 있으므로, 진행되던 공정의 갑작스런 중지로 인해 발생되는 반도체 소자의 불량률을 줄일 수 있고, 시간 지연 등에 따른 공정 손실이 줄어드는 효과가 있 다.Therefore, the process that is going on in the semiconductor manufacturing equipment can be prevented from being unexpectedly stopped, thereby reducing the defect rate of the semiconductor device caused by the sudden stopping of the process that is going on, and reducing the process loss due to time delay. All.

Claims (2)

제어 판넬과, 상기 제어 판넬로부터 돌출되어 설치되고, 반도체 제조 설비의 각 장치들과 연결되어 상기 각 장치들을 제어하기 위해 사용되는 푸시 버튼을 적어도 하나 이상 포함하는 반도체 제조 설비의 제어부에 있어서, A control panel of a semiconductor manufacturing facility comprising a control panel and at least one push button protruding from the control panel and connected to the devices of the semiconductor manufacturing facility and used to control the devices. 상기 푸시 버튼의 둘레 외측에 일단이 체결되고, 타단은 손가락이 삽입될 수 있는 홀이 형성되어 있으며, 상기 푸시 버튼의 높이 이상으로 돌출되어 있어 상기 푸시 버튼이 임의로 눌려지는 것을 방지하는 보호 커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 제어부.One end is fastened to the outer circumference of the push button, the other end is formed with a hole into which the finger can be inserted, protruding beyond the height of the push button includes a protective cover to prevent the push button is pressed arbitrarily The control part of the semiconductor manufacturing equipment characterized by the above-mentioned. 제 1 항에 있어서, 상기 보호 커버는 상기 푸시 버튼의 둘레 형상에 따른 관형인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 제어부.The control unit of claim 1, wherein the protective cover has a tubular shape along the circumferential shape of the push button.
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KR102523077B1 (en) * 2022-04-29 2023-04-17 박종호 Method of semiconductor manufacture equipment managing

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200464758Y1 (en) * 2011-08-26 2013-01-16 황현승 Emergency stop switch unit
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