KR20060078273A - Semiconductor manufacturing equipment - Google Patents

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KR20060078273A
KR20060078273A KR1020040117860A KR20040117860A KR20060078273A KR 20060078273 A KR20060078273 A KR 20060078273A KR 1020040117860 A KR1020040117860 A KR 1020040117860A KR 20040117860 A KR20040117860 A KR 20040117860A KR 20060078273 A KR20060078273 A KR 20060078273A
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Abstract

본 발명은 반도체 제조설비에 관한 것으로, 카세트와 공정설비의 사이에 배치되어 카세트와 공정설비에 적재된 웨이퍼를 상호 이송시키는 웨이퍼 이송장치와, 웨이퍼 이송장치의 일측에 설치되어 카세트의 각 슬롯에 적재되는 웨이퍼의 적재여부를 감지하는 감지센서 및 웨이퍼 이송장치의 타측에 설치되어 감지센서에 감지된 결과를 표시하는 표시부로 이루어진다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor manufacturing facility, comprising: a wafer transfer device disposed between a cassette and a process facility to transfer wafers loaded on the cassette and the process facility to each other; It is made up of a detection sensor for detecting whether the wafer is loaded and the display unit for displaying the result detected by the detection sensor is installed on the other side of the wafer transfer device.

따라서, 표시부가 설치된 반도체 제조설비는 이 표시부에 의해 실시간으로 카세트에 웨이퍼가 적재되는 상황을 확인할 수 있어 공정시간을 단축하는 효과가 있다.Therefore, the semiconductor manufacturing equipment provided with the display section can confirm the situation in which the wafer is loaded into the cassette in real time by the display section, thereby reducing the process time.

Description

반도체 제조설비{Semiconductor manufacturing equipment}Semiconductor manufacturing equipment

도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조설비 중 하나의 실시예인 열처리설비를 설명하기 위해 개략적으로 도시한 사시도이다.1 is a perspective view schematically showing a heat treatment facility which is an embodiment of a semiconductor manufacturing facility according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치에 장착된 감지센서의 동작을 설명하기 위해 도시된 도면이다.2 is a view for explaining the operation of the sensor mounted on the wafer transfer apparatus according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치에 장착된 표시부를 설명하기위해 도시된 도면이다.3 is a view illustrating a display unit mounted on a wafer transfer apparatus according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 감시센서와 표시부의 제어관계를 설명하기 위해 도시한 블럭도이다.4 is a block diagram illustrating a control relationship between the monitoring sensor and the display unit according to the present invention.

**주요 부분에 대한 부호의 설명**** Description of the code for the main parts **

100 : 웨이퍼 이송장치100: wafer transfer device

110 : 구동축110: drive shaft

120 : 로봇암120: robot arm

130 : 헤드부130: head

140 : 블레이드140: blade

150 : 감지센서150: detection sensor

160 : 표시부 160: display unit                 

161 : 제 1 디스플레이장치161: first display device

162 : 제 2 디스플레이장치162: second display device

163 : 제 3 디스플레이장치163: third display device

165 : 스킵버튼 165: skip button

170 : 제어부
170: control unit

본 발명은 반도체 제조설비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼 이송장치에 장착되는 감지센서에 감지되는 결과를 디스플레이할 수 있는 표시부를 구비한 반도체 제조설비의 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor manufacturing apparatus, and more particularly, to a wafer transfer apparatus of a semiconductor manufacturing apparatus having a display unit capable of displaying a result detected by a sensor mounted on the wafer transfer apparatus.

일반적으로, 반도체 제조설비는 사진, 식각, 확산, 화학기상증착, 이온주입, 금속증착 등의 단위공정들을 순차적으로 수행함으로써 제조된다. 때문에, 단위공정들은 순차적으로 수행할 때 웨이퍼의 이송은 빈번하게 이루어진다. In general, semiconductor manufacturing facilities are manufactured by sequentially performing unit processes such as photography, etching, diffusion, chemical vapor deposition, ion implantation, and metal deposition. Therefore, the wafer transfer is frequently performed when the unit processes are performed sequentially.

이러한 웨이퍼의 이송관계에 있어서, 통상 동일한 공정을 수행하기 위한 복수개의 웨이퍼는 소정 단위 개수로 카세트에 수용되어 각 공정설비로 이송되고, 이들 각 공정설비에는 수용된 웨이퍼를 카세트로부터 인출하여 공정 수행 위치로 이송시키는 웨이퍼 이송장치를 구비하고 있다.In the transfer relationship of such wafers, a plurality of wafers for performing the same process are usually accommodated in a cassette in a predetermined number of units and transferred to each process facility, and the wafers accommodated in each process facility are taken out of the cassette to a process execution position. A wafer transfer device for transferring is provided.

한편, 폴리실리콘막, 질화막, 산화막 등의 박막을 웨이퍼 상에 증착시키는 데에는 주로 화학기상증착(CVD : chemical vapor deposition)공정 또는 확산공정을 수행하는 열처리설비에서도 웨이퍼 이송장치가 이용되고 있다.On the other hand, a wafer transfer apparatus is also used to deposit thin films such as polysilicon films, nitride films, and oxide films on wafers in heat treatment facilities which mainly perform chemical vapor deposition (CVD) or diffusion processes.

이 웨이퍼 이송장치는 웨이퍼가 수납되는 카세트와 확산로에 인입되어 공정이 수행되는 보트 사이에 배치되어 미처리된 웨이퍼를 카세트로부터 보트로 이송시키거나, 보트로부터 소정의 공정과정을 완료한 웨이퍼를 카세트로 이송시키는 역할을 한다.The wafer transfer device is arranged between a cassette in which a wafer is stored and a boat which is introduced into a diffusion path to carry out a process to transfer an unprocessed wafer from a cassette to a boat, or to transfer a wafer from a boat to a cassette. It serves to transfer.

이때, 웨이퍼 이송장치의 일측에는 감지센서가 장착되어 이 감지센서에 의해 카세트의 각 슬롯에 적재되는 웨이퍼의 적재여부를 감지하게 된다.At this time, one side of the wafer transfer device is equipped with a detection sensor to detect whether the wafer is loaded in each slot of the cassette by the detection sensor.

그러나, 종래의 웨이퍼 이송장치의 일측에 장착되는 감지센서는 카세트에 적재되는 웨이퍼의 미적재 여부를 감지하여 작업자에게 알릴 뿐 감지결과를 실시간으로 확인하는 것은 불가능하다. However, the detection sensor mounted on one side of the conventional wafer transfer apparatus only detects the unloading of the wafer loaded in the cassette and notifies the operator of the detection result in real time.

따라서, 작업자가 정비 시 미적재된 슬롯에 대한 확인시간이 걸리게 되고 이로 인해 공정시간이 지체되는 문제점이 있다.Therefore, the operator takes a check time for the unloaded slot when the maintenance is performed, which causes a problem that the process time is delayed.

따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로서, 본 발명의 목적은 웨이퍼 이송장치에 장착된 감지센서에 의해 카세트에 적재되는 웨이퍼의 감지결과를 확인할 수 있는 표시부를 장착한 반도체 제조설비의 웨이퍼 이송장치를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a wafer transfer apparatus of a semiconductor manufacturing facility equipped with a display unit capable of confirming a detection result of a wafer loaded into a cassette by a detection sensor mounted on a wafer transfer apparatus. To provide.

이와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명은 카세트와 공정설비의 사이에 배 치되어 상기 카세트와 상기 공정설비에 적재된 웨이퍼를 상호 이송시키는 웨이퍼 이송장치와, 상기 웨이퍼 이송장치의 일측에 설치되어 상기 카세트의 각 슬롯에 적재되는 웨이퍼의 적재여부를 감지하는 감지센서 및 상기 웨이퍼 이송장치의 타측에 설치되어 상기 감지센서에 감지된 결과를 표시하는 표시부를 포함한다.The present invention for realizing the above object is a wafer transfer device disposed between the cassette and the processing equipment for transferring the wafer and the wafer loaded in the processing equipment, and installed on one side of the wafer transfer apparatus and the cassette It includes a detection sensor for detecting whether the wafer is loaded in each slot of the and installed on the other side of the wafer transfer device to display the result detected by the detection sensor.

그리고, 상기 표시부는 상기 카세트에 적재되는 상기 웨이퍼의 설정된 개수를 표시하는 제 1 디스플레이장치와, 상기 감지센서에 의해 감지된 상기 카세트에 실제적으로 적재된 웨이퍼의 개수를 확인하는 제 2 디스플레이장치와, 상기 감지센서에 의해 미감지 슬롯의 위치를 확인하는 제 3 디스플레이장치로 이루어진다.The display unit may include a first display device for displaying a set number of wafers loaded in the cassette, a second display device for checking the number of wafers actually loaded in the cassette detected by the detection sensor; And a third display device for checking the position of the undetected slot by the detection sensor.

또한, 상기 표시부에는 상기 감지센서에 의해 감지되는 웨이퍼가 미적재된 슬롯이 복수개인 경우 다음 슬롯의 위치를 상기 제 3 디스플레이장치에 표시하기 위한 스킵버튼이 설치된다.In addition, the display unit is provided with a skip button for displaying the position of the next slot on the third display apparatus when there are a plurality of slots in which the wafer detected by the detection sensor is not loaded.

바람직하게, 상기 각 디스플레이장치는 발광다이오드소자로 이루어진다.Preferably, each display device comprises a light emitting diode element.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 반도체 제조설비에 대한 구성에 대해 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a configuration of a semiconductor manufacturing apparatus of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 웨이퍼 이송장치가 이용되는 반도체 제조설비 중 열처리설비에 대해 설명하기 위해 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치에 장착된 감지센서의 동작을 설명하기 위해 도시된 도면이고, 도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치에 장착된 표시부를 설명하기위해 도시된 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 감시센서와 표시부의 제어관계를 설명하기 위해 도시한 블럭도이다.1 is a perspective view illustrating a heat treatment facility of a semiconductor manufacturing apparatus using a wafer transfer apparatus, and FIG. 2 is a view illustrating an operation of a sensing sensor mounted on a wafer transfer apparatus according to the present invention. 3 is a view illustrating a display unit mounted on a wafer transfer apparatus according to the present invention, and FIG. 4 is a block diagram illustrating a control relationship between the monitoring sensor and the display unit according to the present invention.

한편, 이해의 편의를 위하여 비록 다른 도면에 속하더라도 동일한 구성요소 에는 동일한 부호를 부여하였음을 주의해야 한다.Meanwhile, for convenience of understanding, the same reference numerals are given to the same elements even though they belong to different drawings.

먼저 도 1을 참조하면, 웨이퍼 이송장치(100)는 카세트(C)와 보트(B)의 사이에 배치되어 미처리된 웨이퍼(W)를 카세트(C)로부터 보트(B)로 이송시키거나, 보트(B)로부터 소정의 공정과정을 완료한 웨이퍼(W)를 카세트(C)로 이송시키는 역할을 한다.Referring first to FIG. 1, the wafer transfer device 100 is disposed between the cassette C and the boat B to transfer the unprocessed wafer W from the cassette C to the boat B, or to the boat. It serves to transfer the wafer W, which has completed a predetermined process from (B), to the cassette (C).

이때, 웨이퍼 이송장치(100)는 도시되지 않은 모터에 의해 승강이 가능한 구동축(110)과, 이 구동축(110)에 장착되며 공정진행에 따라 소정거리 신축되며 2개의 관절로 이루어진 로봇암(120)으로 이루어진다. 그리고, 이 로봇암(120)이 연결되는 헤드부(130)와 이 헤드부(130)에 결합되어 구동축(110)과 로봇암(120)의 동작에 따라 웨이퍼(W)를 소정 위치로 이송시키는 블레이드(140)로 이루어진다.At this time, the wafer transfer device 100 is a drive shaft 110 which can be lifted and lifted by a motor (not shown) and the robot arm 120 which is mounted on the drive shaft 110 and stretched a predetermined distance according to the process progress and consists of two joints. Is done. In addition, the robot arm 120 is coupled to the head 130 and the head 130 to which the robot arm 120 is coupled to transfer the wafer W to a predetermined position according to the operation of the drive shaft 110 and the robot arm 120. It consists of a blade 140.

이때, 도면에 도시된 웨이퍼 이송장치는 하나의 예시일 뿐 다른 형상의 웨이퍼 이송장치가 이용되어도 무방하다.At this time, the wafer transfer apparatus shown in the drawing is only one example, and a wafer transfer apparatus of another shape may be used.

도 2를 참조하면, 웨이퍼 이송장치(100)의 일측에는 카세트(C)의 각 슬롯에 적재되는 웨이퍼(W)의 적재유무를 감지하기 위한 감지센서(140)가 장착된다.Referring to Figure 2, one side of the wafer transfer device 100 is mounted with a sensor 140 for detecting the presence or absence of the wafer (W) to be loaded in each slot of the cassette (C).

이때의 감지센서(150)는 구동축(110)의 상, 하 움직임으로 인해 웨이퍼 이송장치(100)가 상, 하로 이동되어 카세트(C)의 각 슬롯을 감지하게 되고 그 결과를 제어부(170)로 전달하게 된다.At this time, the sensor 150 is moved up and down the wafer transfer device 100 due to the up and down movement of the drive shaft 110 to detect each slot of the cassette (C) and the result to the controller 170 Will be delivered.

그리고, 이 감지센서(150)는 광센서로써 수광부(미도시)와 발광부(미도시)로 이루어지며, 발광부로부터 조사된 빛이 수광부로 집광되는 여부에 따라 웨이퍼(W)를 감지하게 된다. In addition, the detection sensor 150 includes a light receiving unit (not shown) and a light emitting unit (not shown) as an optical sensor, and detects the wafer W according to whether light emitted from the light emitting unit is focused on the light receiving unit. .                     

또한, 도 3에 도시된 바와 같이 웨이퍼 이송장치(100)의 타측 즉, 헤드부(130)의 상부에는 감지센서(150)에 의해 감지된 카세트(C)의 각 슬롯에 적재되는 웨이퍼(W)의 감지결과를 표시해주는 표시부(160)가 헤드부(130)의 상부에 장착된다.In addition, as shown in FIG. 3, on the other side of the wafer transfer apparatus 100, that is, the upper portion of the head 130, the wafer W loaded in each slot of the cassette C sensed by the detection sensor 150. The display unit 160 for displaying the detection result of the head unit 130 is mounted on the top.

이 표시부(160)는 카세트(C)에 적재되는 웨이퍼(W)의 설정된 개수를 표시하는 제 1 디스플레이장치(161)와, 감지센서(150)에 의해 카세트(C)에 실제적으로 적재된 웨이퍼(W)의 개수를 표시하는 제 2 디스플레이장치(162)와, 감지센서(150)에 의해 웨이퍼(W)가 미감지된 슬롯의 위치를 확인하는 제 3 디스플레이장치(163)로 이루어진다. 이때, 카세트(C)의 각 슬롯은 소정 방향으로부터 슬롯의 번호가 설정되며, 제 3 디스플레이장치(163)에 미감지 슬롯의 번호를 표시하게 된다.The display unit 160 includes a first display device 161 for displaying a set number of wafers W loaded on the cassette C, and a wafer (not shown) that is actually loaded on the cassette C by the sensor 150. The second display device 162 displaying the number of W) and the third display device 163 confirming the position of the slot in which the wafer W is not detected by the sensor 150. At this time, the slot number of each slot of the cassette C is set from a predetermined direction, and the number of the undetected slot is displayed on the third display apparatus 163.

한편, 표시부(160)의 각 디스플레이장치(161,162,163)는 작업자가 확인하기 쉽도록 숫자를 표시할 수 있는 발광다이오드소자(LED)인 것이 바람직하다.On the other hand, each display device (161, 162, 163) of the display unit 160 is preferably a light emitting diode device (LED) that can display a number for easy operation by the operator.

또한, 감지센서(150)에 의해 카세트(C)에 미적재된 웨이퍼(W)가 둘 이상일 경우 제 3 디스플레이장치(163)에 표시된 번호 이외의 다음 슬롯의 번호를 확인하기 위한 스킵버튼(Skipbutton)(165)이 헤드부(130)의 상부에 장착된다. In addition, when two or more wafers W are not loaded on the cassette C by the detection sensor 150, a skip button for checking the number of the next slot other than the number displayed on the third display apparatus 163 may be used. 165 is mounted on the top of the head 130.

이는 스킵버튼(165)을 누름으로써 감지센서(150)가 감지한 다음 슬롯의 번호를 제어부(170)가 다시 제 3 디스플레이장치(163)에 표시해 주는 것이다..The controller 170 displays the next slot number on the third display apparatus 163 by pressing the skip button 165 and then detecting the slot number.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 대한 작용 및 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the drawings will be described the operation and effect on the present invention.

먼저, 웨이퍼 이송장치(100)를 이용하여 보트(B)로부터 소정 공정이 완료된 웨이퍼(W)를 카세트(C)에 적재시킨다.First, the wafer W in which the predetermined process is completed from the boat B is loaded into the cassette C using the wafer transfer apparatus 100.

그리고, 도 4를 참조하면 웨이퍼 이송장치(100)의 일측에 장착된 감지센서(140)를 이용하여 카세트(C)의 각 슬롯에 적재된 웨이퍼(W)의 미적재여부를 감지하게 되고 이 결과를 제어부(170)에 전달한다.And, referring to Figure 4 using the detection sensor 140 mounted on one side of the wafer transfer device 100 to detect whether the wafer (W) loaded in each slot of the cassette (C) is not loaded It passes to the control unit 170.

이와 동시에 이 제어부(170)는 제 1 디스플레이장치(161)에 미리 설정된 카세트(C)에 적재되는 웨이퍼(W)의 개수를 표시하고, 제 2 디스플레이장치(162)에는 카세트(C)에 실제적으로 적재된 즉, 감지센서(140)에 의해 감지된 웨이퍼(W)의 개수를 표시한다.At the same time, the control unit 170 displays the number of wafers W loaded in the cassette C preset in the first display device 161, and the cassette C is actually loaded in the second display device 162. The number of wafers W loaded, that is, detected by the sensor 140 is displayed.

이때, 제 1 디스플레이장치(161)와 제 2 디스플레이장치(162)의 웨이퍼수가 틀릴 경우 이는 카세트(C)에 웨이퍼(W)가 미적재된 슬롯이 존재한다는 것이다. In this case, when the number of wafers of the first display device 161 and the second display device 162 is different, this means that there is a slot in which the wafer W is not loaded in the cassette C.

웨이퍼(W)가 미적재된 슬롯을 확인하기 위하여 제어부(170)에 의해 이 슬롯의 번호를 보여주는 제 3 디스플레이장치(163)에 표시한다.In order to confirm the slot in which the wafer W is not loaded, the controller 170 displays the slot number on the third display apparatus 163 showing the slot number.

또한, 웨이퍼(W)가 미적재된 슬롯이 둘 이상일 경우 스킵버튼(165)을 눌러 제어부(170)는 웨이퍼가 미적재된 다음 슬롯의 번호를 제 3 디스플레이장치(163)에 표시해준다.In addition, when there are two or more slots in which the wafer W is not loaded, the skip button 165 is pressed to control the controller 170 to display the number of the slot after the wafer is not loaded on the third display device 163.

따라서, 본 발명은 각 디스플레이장치와 스킵버튼를 이용하여 실시간으로 웨이퍼가 미적재된 카세트의 슬롯을 확인할 수 있다.Therefore, the present invention can identify the slot of the cassette is not loaded wafer in real time using each display device and the skip button.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 카세트의 각 슬롯에 적재되는 웨이퍼의 미적재 여부를 감지하는 감지센서의 감지결과를 표시해주는 표시부에 의해 실시 간으로 웨이퍼가 카세트에 적재되는 상황을 확인할 수 있어 공정시간을 단축하는 효과가 있다.As described above, the present invention allows the display unit to display the detection result of the detection sensor for detecting the unloading of the wafer loaded in each slot of the cassette, so as to confirm the situation in which the wafer is loaded into the cassette in real time. It is effective to shorten.

본 발명은 도시한 실시예를 참고로 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구의 범위와 이와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Although the present invention has been described with reference to the illustrated embodiments, it is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the scope of the present invention should be defined by the appended claims and their equivalents.

Claims (4)

카세트와 공정설비의 사이에 배치되어 상기 카세트와 상기 공정설비에 적재된 웨이퍼를 상호 이송시키는 웨이퍼 이송장치;A wafer transfer device disposed between the cassette and the processing equipment to transfer the cassette and the wafer loaded on the processing equipment to each other; 상기 웨이퍼 이송장치의 일측에 설치되어 상기 카세트의 각 슬롯에 적재되는 웨이퍼의 적재여부를 감지하는 감지센서;A detection sensor installed at one side of the wafer transfer device to detect whether a wafer loaded in each slot of the cassette is loaded; 상기 웨이퍼 이송장치의 타측에 설치되어 상기 감지센서에 감지된 결과를 표시하는 표시부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비.And a display unit installed at the other side of the wafer transfer device to display the result detected by the detection sensor. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 표시부는 상기 카세트에 적재되는 상기 웨이퍼의 설정된 개수를 표시하는 제 1 디스플레이장치와, 상기 감지센서에 의해 감지된 상기 카세트에 실제적으로 적재된 웨이퍼의 개수를 확인하는 제 2 디스플레이장치와, 상기 감지센서에 의해 미감지 슬롯의 위치를 확인하는 제 3 디스플레이장치로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비.The display unit includes a first display device for displaying a set number of wafers loaded in the cassette, a second display device for checking the number of wafers actually loaded in the cassette detected by the detection sensor, and the detection. And a third display device for checking the position of the undetected slot by a sensor. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 각 디스플레이장치는 발광다이오드소자로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비.Wherein each display device comprises a light emitting diode element. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 표시부에는 상기 감지센서에 의해 감지되는 웨이퍼가 미적재된 슬롯이 복수개인 경우 다음 슬롯의 위치를 상기 제 3 디스플레이장치에 표시하기 위한 스킵버튼이 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비.And a skip button for displaying a position of a next slot on the third display apparatus when a plurality of slots in which the wafer detected by the sensor is not loaded are installed in the display unit.
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