KR20060064382A - Capacitance manometer including zero-adjusting means - Google Patents

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KR20060064382A KR1020040103209A KR20040103209A KR20060064382A KR 20060064382 A KR20060064382 A KR 20060064382A KR 1020040103209 A KR1020040103209 A KR 1020040103209A KR 20040103209 A KR20040103209 A KR 20040103209A KR 20060064382 A KR20060064382 A KR 20060064382A
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이경형
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Abstract

영점조정을 편리하게 할 수 있는 정전용량식 압력센서에 관한 것으로, 하우징과 하우징 내부에 설치된 다이어프램 및 하우징 내부에 다이어프램과 소정 간격으로 이격되어 설치된 전극을 포함하며 다이어프램 및 전극사이의 정전용량 변화를 측정함으로써 유체의 압력을 측정하는 정전용량식 압력센서에 있어서 하우징에 설치되는 영점조정수단을 포함한다.The present invention relates to a capacitive pressure sensor that can easily adjust the zero point, and includes a diaphragm installed in the housing and the housing, and an electrode spaced at a predetermined interval from the diaphragm inside the housing, and measures capacitance change between the diaphragm and the electrodes. And a zero point adjusting means provided in the housing in the capacitive pressure sensor for measuring the pressure of the fluid.

압력센서, 정전용량, 다이어프램, 영점Pressure sensor, capacitance, diaphragm, zero point

Description

영점조정수단을 포함하는 정전용량식 압력센서{Capacitance Manometer Including Zero-Adjusting Means}Capacitive Manometer Including Zero-Adjusting Means

도 1은 정전용량식 압력센서의 구조를 나타내는 단면도이다. 1 is a cross-sectional view showing the structure of a capacitive pressure sensor.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 정전용량식 압력센서의 사시도이다.2 is a perspective view of a capacitive pressure sensor according to an embodiment of the present invention.

도 3은 도 2에서 A-A면을 따르는 단면도이다. 3 is a cross-sectional view along the A-A plane in FIG.

** 도면의 주요부분의 부호에 대한 설명 **** Explanation of symbols in main part of drawing **

110 : 하우징,110: housing,

150 : 영점조정수단 150: zero adjustment means

본 발명은 정전용량식 압력센서(capacitance manometer)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 영점조정을 편리하게 할 수 있는 정전용량식 압력센서에 관한 것이다.The present invention relates to a capacitive pressure sensor, and more particularly, to a capacitive pressure sensor capable of convenient zero adjustment.

반도체 공정에는 진공기술이 필요하다. 진공기술이 필요한 이유는 다음과 같이 설명할 수 있다. 첫째, 기체의 평균 자유 행로(mean free path)가 증가한다. 진공 용기 내의 기체 분자들이 다른 기체 분자들과 충돌하지 않고 이동할 수 있는 평 균 거리를 평균 자유 행로라고 하는 데 이 거리가 길수록 증착율과 식각율이 증가한다. 둘째, 기체의 끊는점/기화점/승화점이 낮아진다. 진공 상태에서는 대부분의 물질들이 대기압에서보다 더 낮은 상태에서 끊거나 기화된다. 따라서 물질을 증발시키는 과정에서 대기압에서 공정을 진행하는 것보다 에너지가 적게 든다. 셋째, 청정도를 유지시킨다. 잔류 가스로 인한 오염과 잔류 가스가 공정 가스와 원하지 않는 반응을 일으키는 것을 막는다. Semiconductor technology requires vacuum technology. The reason why vacuum technology is needed can be explained as follows. First, the mean free path of the gas increases. The average distance that the gas molecules in a vacuum vessel can move without colliding with other gas molecules is called the average free path, and the longer the distance, the higher the deposition rate and the etching rate. Second, the break point / vaporization point / sublimation point of the gas is lowered. In vacuum, most materials break or evaporate at lower than atmospheric pressure. Therefore, evaporation of materials takes less energy than processing at atmospheric pressure. Third, maintain cleanliness. Contamination from residual gas and residual gas are prevented from causing unwanted reactions with the process gas.

따라서 반도체 공정에 있어서 진공압을 정밀하게 측정하고 제어하는 것은 중요한 요소기술 중의 하나이며, 그 중 압력을 측정하기 위한 압력센서로써 정전용량식 압력센서가 많이 사용되고 있다.Therefore, precisely measuring and controlling the vacuum pressure in the semiconductor process is one of the important element technologies, and among them, capacitive pressure sensors are widely used as pressure sensors for measuring pressure.

정전용량식 압력센서의 구성 및 원리에 대한 일례는 미국특허 3,557,621 에 나타나 있고, 미국특허 4,823,603 는 누설전류를 방지하여 보다 정밀한 압력을 측정할 수 있는 정전용량식 압력센서를 개시하고 있다. 또한 미국특허 4,785,669 에서는 가변 정전용량을 이용한 높은 정밀도의 정전용량식 압력센서를 개시하고 있다.An example of the configuration and principle of the capacitive pressure sensor is shown in US Patent No. 3,557,621, and US Patent No. 4,823,603 discloses a capacitive pressure sensor capable of measuring a more precise pressure by preventing leakage current. In addition, US Patent No. 4,785,669 discloses a high precision capacitive pressure sensor using a variable capacitance.

정전용량식 압력센서를 이용하여 정밀하게 압력을 측정하기 위해서는 영점을 정확히 조정하는 것이 가장 중요하다. 이하에서는 정전용량식 압력센서를 이용한 영점조정의 일예로 MKS사의 바라트론식 619형 압력변환기의 예를 들어 설명한다.Accurate adjustment of the zero point is most important for precise pressure measurement using capacitive pressure sensors. Hereinafter, an example of a zero point adjustment using a capacitive pressure sensor will be described by taking an example of a Barathlon 619 type pressure transducer manufactured by MKS.

바라트론식 619형 압력변환기(Pressure Transducer)는 정전용량식 압력센서와 측정 압력을 전압이나 전류 형태의 출력으로 변환하는 센서조절기, 압력센서 본체와 센서조절기를 연결하기 위한 케이블로 이루어져 있다. The Baratron 619 Pressure Transducer consists of a capacitive pressure sensor, a sensor regulator that converts the measured pressure into an output in the form of voltage or current, and a cable for connecting the pressure sensor body and the sensor regulator.                         

바라트론식 619형 압력변환기의 영점 조정방식의 예를 들면 다음과 같다. 첫째로, 압력센서에 전원을 공급하고 2시간 내지 4시간 동안 예열(warm-up)시킨다. 둘째, 압력센서의 유효 분해능 미만까지 배기한다.(예를 들어 압력센서의 동작 스케일이 1 torr 이면 영점 조정 압력을 0.000005 torr 이하로 하고, 동작 스케일이 10 torr 이면 영점 조정 압력을 0.00005 torr 이하로 한다.) 마지막으로, 센서조절기에 설치되어 있는 영점조정수단을 이용하여 센서조절기의 출력이 0.0 V 또는 0.004 A 가 되도록 한다.An example of the zero adjustment method of the Baratron type 619 pressure transducer is as follows. First, the pressure sensor is powered and warmed up for 2 to 4 hours. Second, exhaust to below the effective resolution of the pressure sensor. (For example, if the pressure scale is 1 torr, zero adjustment pressure should be 0.000005 torr or less, and if the scale is 10 torr, zero adjustment pressure should be 0.00005 torr or less. .) Finally, using the zero adjustment means installed in the sensor controller, make sure that the output of the sensor controller is 0.0 V or 0.004 A.

반도체 제조 공정에서는 여러 부식성이 있는 오염된 가스를 사용하므로 이에 따라 정전용량식 압력센서의 내부에 있는 다이어프램의 물리적 특성에 변화가 올 수 있다. 또한 수분이나 불순물이 센서 내부로 유입되면 감도와 안정성에 영향을 준다. 따라서 정밀한 압력 측정을 위해서는 수시로 압력센서의 영점 조정을 행하는 것이 필요하다.The semiconductor manufacturing process uses a variety of corrosive contaminated gases, which can change the physical properties of the diaphragm inside the capacitive pressure sensor. In addition, when moisture or impurities enter the sensor, it affects the sensitivity and stability. Therefore, it is necessary to adjust the zero point of the pressure sensor from time to time for accurate pressure measurement.

그러나 상기와 같이 압력센서의 영점 조정을 위해서는 여러 절차가 필요하고 시간이 많이 소요된다. 더구나 압력센서에는 영점조정수단이 설치되어 있지 않고 원격 설치된 센서조절기에만 영점조정수단이 설치되어 있어 압력을 모니터하면서 영점 조정하기가 불편한 문제점이 있다. However, for the zero adjustment of the pressure sensor as described above, a number of procedures are required and time-consuming. Moreover, there is a problem in that it is inconvenient to adjust the zero point while monitoring the pressure because the zero point means is not installed in the pressure sensor and only the remotely installed sensor controller is installed.

또한 반도체 공정에는 수많은 압력센서가 사용되고 이에 따라 많은 센서조절기가 함께 사용되는데, 센서조절기는 동일 위치에 한꺼번에 설치하는 경우가 많아 일일이 압력센서와 센서조절기의 매칭 여부를 확인하고 영점 조정을 해야 하는 문제점이 있다.In addition, a number of pressure sensors are used in the semiconductor process, and accordingly, many sensor controllers are used together, and the sensor controllers are often installed at the same position at the same time. Therefore, it is necessary to check whether the pressure sensor and the sensor controller are matched and adjust zero. have.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기의 문제점을 해결하기 위해 영점 조정이 편리한 정전용량식 압력센서를 제공하는 데에 있다. The technical problem to be achieved by the present invention is to provide a capacitive pressure sensor is easy to adjust the zero point to solve the above problems.

상기 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명은 하우징과 상기 하우징 내부에 설치된 다이어프램 및 상기 하우징 내부에 상기 다이어프램과 소정 간격으로 이격되어 설치된 전극을 포함하며 상기 다이어프램 및 상기 전극사이의 정전용량 변화를 측정함으로써 유체의 압력을 측정하는 정전용량식 압력센서에 있어서 상기 하우징에 설치되는 영점조정수단을 포함한다.In order to solve the above technical problem, the present invention includes a housing, a diaphragm installed inside the housing, and electrodes disposed spaced apart from the diaphragm within the housing at predetermined intervals, and the fluid is measured by measuring a change in capacitance between the diaphragm and the electrodes. In the capacitive pressure sensor for measuring the pressure of the sensor comprises a zero adjustment means installed in the housing.

상기 영점조정수단은 포텐셔미터(potentiometer)인 것이 바람직하다.The zero point adjusting means is preferably a potentiometer.

또한 상기 영점조정수단은 상기 하우징의 외부에 홈을 형성하고 상기 홈 내부에 설치하는 것이 바람직하며, 상기 홈의 깊이는 상기 영점조정수단의 높이보다 큰 것이 바람직하다. In addition, the zero point adjusting means is preferably formed in the groove on the outside of the housing and installed inside the groove, the depth of the groove is preferably greater than the height of the zero point adjusting means.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 실시예가 이하에서 개시되는 실시예에 한정할 것이 아니라 서로 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위하여 과장되게 표현된 부분이 있을 수 있으며, 도면상에서 동일 부호로 표시된 요소는 동일 요소를 의미한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present embodiment is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various forms, and only this embodiment is intended to complete the disclosure of the present invention, and to those skilled in the art to fully understand the scope of the invention. It is provided to inform you. Shapes of elements in the drawings may be exaggerated parts to emphasize more clear description, and the elements denoted by the same reference numerals in the drawings means the same elements.                     

본 발명에 의한 정전용량식 압력센서의 동작을 보다 상세히 나타내기 위해 먼저 정전용량식 압력센서의 구조 및 원리에 대해 설명한다.In order to show the operation of the capacitive pressure sensor according to the present invention in more detail, first, the structure and principle of the capacitive pressure sensor will be described.

도 1은 정전용량식 압력센서의 구조를 나타내는 단면도이다. 도 1을 참조하면, 정전용량식 압력센서(10)는 하우징(20), 다이어프램(30), 전극(40), 절연원반(50)을 포함한다. 1 is a cross-sectional view showing the structure of a capacitive pressure sensor. Referring to FIG. 1, the capacitive pressure sensor 10 includes a housing 20, a diaphragm 30, an electrode 40, and an insulating disk 50.

하우징(20)은 보통 원통모양으로 하부에 가스출입관(60)이 있고, 상부에 진공펌프연결관(70), 커넥터(80) 등이 설치된다. 가스출입관(60)은 압력측정을 원하는 가스라인(미도시)과 연결되어 가스가 유입 및 유출된다. 진공펌프연결관(70)에는 보통 게터펌프(미도시)가 연결되어 절연원반(50)과 하우징(20) 하부 사이의 공간(92)을 진공으로 만드는 데 사용된다. 커넥터(80)는 센서조절기(미도시)와 연결하는데 사용하며, 센서조절기(미도시)는 측정된 압력에 비례하는 전압 또는 전류 신호를 출력한다.The housing 20 is generally cylindrical in shape and has a gas entry pipe 60 at the bottom, and a vacuum pump connection pipe 70, a connector 80, and the like are installed at the top. The gas inlet pipe 60 is connected to a gas line (not shown) for which pressure is to be measured so that gas is introduced and discharged. A getter pump (not shown) is usually connected to the vacuum pump connecting tube 70 to be used to vacuum the space 92 between the insulating disk 50 and the lower portion of the housing 20. The connector 80 is used to connect with a sensor regulator (not shown), which outputs a voltage or current signal proportional to the measured pressure.

다이어프램(30)은 금속재질의 박판으로 하우징(10) 내부에 고정되어 설치된다. 전극(40)은 둥근 원반 모양의 전도체로써 하우징(20)의 상부 쪽으로 다이어프램(30)과 소정 간격으로 이격되어 설치된다. 절연원반(50)은 하우징(20)에 고정되어 설치되며, 전극(40)을 지지하는 역할을 하게 된다. The diaphragm 30 is fixedly installed in the housing 10 by a thin metal plate. The electrode 40 is a circular disk-shaped conductor spaced apart from the diaphragm 30 toward the upper portion of the housing 20 at predetermined intervals. The insulating disk 50 is fixedly installed in the housing 20, and serves to support the electrode 40.

절연원반(50)과 하우징(20) 상부 사이의 공간을 기준압력공간(92)이라 한다. 기준압력공간(92)내의 기준압력은 보통 10-9 torr 정도로 극히 낮으며, 진공펌프연결관(70)에 연결된 게터펌프(미도시)에 의해 이를 일정하게 유지한다. 또는 기준압 력을 형성한 후 진공펌프연결관(70)을 밀폐하는 방식을 취하기도 한다.The space between the insulating disk 50 and the upper portion of the housing 20 is referred to as the reference pressure space 92. The reference pressure in the reference pressure space 92 is usually extremely low, such as 10 -9 torr, and is kept constant by a getter pump (not shown) connected to the vacuum pump connecting tube 70. Or after the reference pressure is formed may take a way to seal the vacuum pump connection pipe (70).

다이어프램(30)과 하우징(20) 하부 사이의 공간을 측정공간(90)이라 한다. 측정공간(90) 내의 압력은 정전용량식 압력센서(10)의 측정 영역에 따라 다르다.The space between the diaphragm 30 and the lower portion of the housing 20 is called the measurement space 90. The pressure in the measurement space 90 depends on the measurement area of the capacitive pressure sensor 10.

측정공간(90)과 기준압력공간(92) 사이의 압력의 최대 차이가 정전용량식 압력센서(10)의 측정 범위가 되며 이는 다이어프램(30)의 특성에 따라 정해진다.The maximum difference in pressure between the measurement space 90 and the reference pressure space 92 becomes the measurement range of the capacitive pressure sensor 10, which is determined according to the characteristics of the diaphragm 30.

정전용량식 압력센서(10)의 압력 측정 원리를 간단하게 살펴보면, 다이어프램(30)과 전극(40)은 축전기(capacitor)의 역할을 한다. 축전기에서 정전용량(capacitance, C)은 수학식 1과 같이 정해진다.Looking at the pressure measurement principle of the capacitive pressure sensor 10 briefly, the diaphragm 30 and the electrode 40 serves as a capacitor. The capacitance (C) in the capacitor is determined by Equation (1).

Figure 112004057871466-PAT00001
Figure 112004057871466-PAT00001

수학식 1에서 ε은 유전율, A는 전극의 단면적, d는 전극사이의 거리를 나타낸다. 가스출입관(60)을 통해 가스가 측정공간(90)내로 들어오면 가스 분자와의 충돌로 인하여 다이어프램(30)이 도 1에서 나타낸 점선과 같이 전극(40) 방향으로 구부러진다. 이는 결국 전극간의 거리인 d가 작아지는 결과가 되므로 수학식 1에 의하면 정전용량이 커진다. 이러한 정전용량의 크기 변화를 측정함으로써 가스의 압력을 알 수 있다.In Equation 1, epsilon is the permittivity, A is the cross-sectional area of the electrode, and d is the distance between the electrodes. When gas enters the measurement space 90 through the gas entry pipe 60, the diaphragm 30 is bent in the direction of the electrode 40 as shown by the dotted line shown in FIG. 1 due to collision with gas molecules. This results in a decrease in the distance d between the electrodes, so that the capacitance increases according to Equation (1). By measuring this change in capacitance, the pressure of the gas can be known.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 정전용량식 압력센서의 사시도이다.2 is a perspective view of a capacitive pressure sensor according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명에 의한 정전용량식 압력센서(100)는 하우징(110)의 외부에 영점조정수단(150)을 포함한다. Referring to FIG. 2, the capacitive pressure sensor 100 according to the present invention includes a zero point adjusting means 150 on the outside of the housing 110.                     

하우징(110)의 상부에는 가스출입관(120)이 있고, 상부에는 커넥터(140), 진공펌프연결관(150)이 있다. 또한 하우징(110)의 내부에는 전극(미도시)과 다이어프램(미도시)이 설치되어 있다.The upper portion of the housing 110 has a gas entry pipe 120, the upper portion there is a connector 140, a vacuum pump connecting tube 150. In addition, an electrode (not shown) and a diaphragm (not shown) are installed inside the housing 110.

본 발명에 의하면 압력센서(100)에 떨어져 설치되는 센서조절기(미도시)에 영점조정수단이 설치될 뿐만 아니라 압력센서(100)의 하우징(110)에도 영점조정수단(150)을 설치된다. 영점조정수단(150)은 압력센서(100)의 영점을 조정하기 위한 수단으로 본 실시예에서는 포텐셔미터(potentiometer)를 사용한다. 즉 포텐셔미터를 조정함으로써 센서조절기(미도시)의 출력이 원하는 기준값이 되도록 설정하여 영점을 조정한다. 그러나 본 발명은 포텐셔미터에 한하지 않고 영점을 조정하는 방법에 따라 온-오프 스위치 등을 사용할 수도 있다.According to the present invention, not only the zero point adjusting means is installed in the sensor controller (not shown) installed away from the pressure sensor 100, but also the zero point adjusting means 150 is installed in the housing 110 of the pressure sensor 100. The zero point adjusting means 150 is a means for adjusting the zero point of the pressure sensor 100 in the present embodiment uses a potentiometer (potentiometer). That is, by adjusting the potentiometer, the output of the sensor controller (not shown) is set to a desired reference value, and the zero point is adjusted. However, the present invention is not limited to the potentiometer, but may also use an on-off switch or the like according to a method of adjusting the zero point.

도 3은 도 2에서 A-A면을 따르는 단면도이다. 도 3을 참조하여 영점조정수단의 설치 방법을 설명한다.3 is a cross-sectional view along the A-A plane in FIG. The installation method of the zero adjustment means will be described with reference to FIG.

도 3을 참조하면, 영점조정수단(150)은 하우징(110)의 외벽에 홈(160)을 파고 홈(160) 내부에 설치한다. 홈(160)의 폭은 영점조정수단(150)의 폭보다 넓고, 홈(160)의 깊이는 영점조정수단(150)의 높이보다 크다. 즉 영점조정수단(150)이 홈(160) 내부로 완전히 들어가도록 설치한다. Referring to FIG. 3, the zero point adjusting means 150 digs the groove 160 on the outer wall of the housing 110 and installs it in the groove 160. The width of the groove 160 is wider than the width of the zero adjustment means 150, the depth of the groove 160 is greater than the height of the zero adjustment means 150. That is, the zero adjustment means 150 is installed to completely enter the groove 160.

영점조정수단(150)을 작업자가 임의로 조작하거나, 영점조정수단(150)에 외부의 충격이 가해지면 세팅된 영점이 바꿔질 수 있다. 영점이 바꿔지면 출력되는 압력에 오차를 가지게 되므로 전체 공정에 악영향을 미치고 제품의 불량을 발생시킨다. 따라서 영점조정수단(150)을 홈(160) 내부에 설치하여 영점조정수단(150)을 보호한다. 필요에 따라 홈(160)의 입구에 덮개(미도시)를 부착함으로써 보다 안전하게 영점조정수단(150)을 보호할 수도 있을 것이다.The operator can arbitrarily manipulate the zero adjustment means 150, or if an external shock is applied to the zero adjustment means 150, the set zero point can be changed. If the zero point is changed, there is an error in the output pressure, which adversely affects the whole process and causes product defects. Therefore, the zero adjustment means 150 is installed in the groove 160 to protect the zero adjustment means 150. If necessary, the cover (not shown) may be attached to the inlet of the groove 160 to protect the zero adjustment means 150 more safely.

도면에는 나타내지 않았으나 영점조정수단(150)에는 커넥터(140)와 연결되는 전기배선이 설치된다. 왜냐하면 하우징(110)에 설치되는 영점조정수단(150)도 커넥터(140)를 통해 센서조절기(미도시)와 연결되어야 센서조절기(미도시)의 출력을 조정할 수 있기 때문이다. Although not shown in the drawing, the zero adjustment means 150 is provided with electrical wiring connected to the connector 140. This is because the zero adjustment means 150 installed in the housing 110 may also be connected to a sensor controller (not shown) through the connector 140 to adjust the output of the sensor controller (not shown).

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 정전용량식 압력센서의 영점조작방법을 도 2를 참조하여 이하 설명한다.The zero operation method of the capacitive pressure sensor according to the present invention configured as described above will be described below with reference to FIG.

첫째로, 정전용량식 압력센서(100)에 전원을 공급하고 2시간 내지 4시간 동안 예열(warm-up)시킨다. 둘째, 정전용량식 압력센서(100)의 유효 분해능 미만까지 배기한다. 마지막으로, 정전용량식 압력센서(100)에 설치되어 있는 영점조정수단(150)을 이용하여 센서조절기(미도시)의 출력이 일정한 기준값이 되도록 설정한다. 즉 본 발명에 의하면 영점조정수단(150)이 센서조절기(미도시)뿐만 아니라 압력센서(100) 자체에 부착되어 보다 편리하게 영점 조정이 가능하다.First, power is supplied to the capacitive pressure sensor 100 and warmed up for 2 to 4 hours. Second, it exhausts to less than the effective resolution of the capacitive pressure sensor 100. Finally, the zero point adjusting means 150 installed in the capacitive pressure sensor 100 is set so that the output of the sensor regulator (not shown) is a constant reference value. That is, according to the present invention, the zero point adjusting means 150 is attached to the pressure sensor 100 itself as well as a sensor controller (not shown), and thus the zero point adjustment can be more conveniently performed.

본 실시예에서는 정전용량식 압력센서에 대해서만 설명하였으나 본 발명은 정전용량식 압력센서에 한하지 않고 영점 조정이 필요한 기타 압력 측정 수단에도 적용될 수 있을 것이다.In the present embodiment, only the capacitive pressure sensor is described, but the present invention is not limited to the capacitive pressure sensor but may be applied to other pressure measuring means requiring zero adjustment.

상기에서 상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 정전용량식 압력센서의 영점을 간편하게 조정할 수 있다. 따라서 영점 조정에 따른 시간을 줄일 수 있고 이에 따 른 생산성 향상을 도모할 수 있다. As described above, according to the present invention, the zero point of the capacitive pressure sensor can be easily adjusted. As a result, the time required for zeroing can be reduced and productivity can be improved accordingly.

또한 영점을 간편하게 수시로 재조정할 수 있어 보다 정밀하게 유체의 압력을 측정할 수 있다. In addition, the zero point can be easily readjusted from time to time for more accurate fluid pressure measurements.

Claims (4)

하우징; housing; 상기 하우징 내부에 설치된 다이어프램; 및 A diaphragm installed inside the housing; And 상기 하우징 내부에 상기 다이어프램과 소정 간격으로 이격되어 설치된 전극을 포함하며 상기 다이어프램 및 상기 전극사이의 정전용량 변화를 측정함으로써 유체의 압력을 측정하는 정전용량식 압력센서에 있어서,In the capacitive pressure sensor comprising an electrode spaced apart from the diaphragm at a predetermined interval inside the housing and measuring the pressure of the fluid by measuring the change in capacitance between the diaphragm and the electrode, 상기 하우징에 설치되는 영점조정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량식 압력센서.Capacitive pressure sensor characterized in that it comprises a zero point adjustment means installed in the housing. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 영점조정수단은 포텐셔미터(potentiometer)인 것을 특징으로 하는 정전용량식 압력센서.The zero point adjusting means is a capacitive pressure sensor, characterized in that the potentiometer (potentiometer). 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 영점조정수단은 상기 하우징의 외부에 홈을 형성하고 상기 홈 내부에 설치하는 것을 특징으로 하는 정전용량식 압력센서.The zero point adjustment means capacitive pressure sensor, characterized in that to form a groove on the outside of the housing and installed inside the groove. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 홈의 깊이는 상기 영점조정수단의 높이보다 큰 것을 특징으로 하는 정 전용량식 압력센서.The depth of the groove is a capacitance-type pressure sensor, characterized in that greater than the height of the zero point adjusting means.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU174317U1 (en) * 2016-12-19 2017-10-11 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тверской государственный технический университет" SORPTION ELECTRIC GAS ANALYZER

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