KR20060004156A - Seal hardening device with seal pattern inspection system and method of inspecting the seal pattern using the same - Google Patents

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KR20060004156A
KR20060004156A KR1020040053161A KR20040053161A KR20060004156A KR 20060004156 A KR20060004156 A KR 20060004156A KR 1020040053161 A KR1020040053161 A KR 1020040053161A KR 20040053161 A KR20040053161 A KR 20040053161A KR 20060004156 A KR20060004156 A KR 20060004156A
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 씰 패턴 검사 시스템을 구비한 씰 경화장치 및 이를 이용한 씰 패턴의 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a seal curing device having a seal pattern inspection system and a seal pattern inspection method using the seal curing apparatus.

본 발명에 의한 씰 패턴 검사 시스템을 구비한 씰 경화장치는 다수의 경화단과; 상기 각 경화단 내부에 기판이 안착할 수 있도록 구비된 기판 안착 수단과; 상기 기판 안착 수단 상부에 구비된 이물 부착 차단용 투명막과; 상기 투명막 상부에 구비된 수직 및 수평방향으로 움직임이 가능한 씰 패턴 의 단선 검사 및 씰 선폭 측정용 카메라와; 상기 경화단 내부에 대각선 방향으로 위치하여 구비되는 정렬용 카메라를 포함한다. Seal curing apparatus provided with a seal pattern inspection system according to the present invention comprises a plurality of curing stages; A substrate seating means provided to allow a substrate to be seated in each of the curing stages; Transparent film for blocking foreign matter attached to the substrate mounting means; A camera for disconnection inspection and seal line width measurement of a seal pattern movable in vertical and horizontal directions provided on the transparent film; It includes an alignment camera provided in a diagonal direction in the curing stage.

또한, 본 발명에 따른 씰 패턴 검사 시스템을 구비한 씰 경화장치를 이용한 액정패널의 씰 패턴 검사 방법은 합착된 액정패널을 씰 경화장치의 경화단 내로 안착시키는 단계와; 상기 경화단 내를 적정온도를 유지시켜 씰 패턴을 경화시키며, 동시에 상기 합착된 액정패널 내부에 형성된 씰 패턴의 단선 검사 및 지정된 위치에서의 선폭을 측정하는 단계를 포함한다.
In addition, the seal pattern inspection method of the liquid crystal panel using a seal curing device provided with a seal pattern inspection system according to the present invention comprises the steps of seating the bonded liquid crystal panel into the curing stage of the seal curing device; Hardening the seal pattern by maintaining an appropriate temperature in the hardened end, and simultaneously checking disconnection of the seal pattern formed in the bonded liquid crystal panel and measuring a line width at a designated position.

씰 패턴 검사장치, 경화장치, 씰 패턴 검사 Seal Pattern Inspection Device, Curing Device, Seal Pattern Inspection

Description

씰 패턴 검사 시스템을 구비한 씰 경화 장치 및 이를 이용한 씰 패턴의 검사 방법{Seal hardening device with seal pattern inspection system and method of inspecting the seal pattern using the same } Seal hardening device with seal pattern inspection system and method of inspecting the seal pattern using the same}             

도 1은 종래의 액정표시장치용 액정패널의 개략적인 평면도.1 is a schematic plan view of a liquid crystal panel for a conventional liquid crystal display device.

도 2는 씰 디스펜서를 포함하는 씰 디스펜서 장치 일부를 도시한 도면. 2 illustrates a portion of a seal dispenser device including a seal dispenser.

도 3은 본 발명에 따른 씰 경화장치를 도시한 도면.3 is a view showing a seal curing device according to the present invention.

도 4는 도 3의 씰 경화장치를 구성하는 하나의 경화단 내부 단면을 도시한 도면.FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating an internal cross section of one curing stage constituting the seal curing apparatus of FIG. 3.

도 5는 상기 도 3의 씰 경화장치를 구성하는 하나의 경화단 내부를 위에서 바라본 모양을 도시한 사시도.
FIG. 5 is a perspective view illustrating the inside of one curing stage constituting the seal curing apparatus of FIG.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

110 : 경화단 120 : 석영관110: hardened end 120: quartz tube

121 : 투명막 125 : 씰 패턴 단선 검사 및 선폭 측정 카메라121: transparent film 125: seal pattern disconnection inspection and line width measuring camera

130, 142 : 조명장치 140 : 정렬 카메라130, 142: lighting device 140: alignment camera

150 : 기판 155 : 씰 패턴150: substrate 155: seal pattern

본 발명은 액정표시장치용 장치에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 씰 패턴 검사장치를 구비한 씰 경화장치 및 이를 이용한 씰 패턴의 검사 방법에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for a liquid crystal display device, and more particularly, to a seal curing apparatus including a seal pattern inspection device and a seal pattern inspection method using the seal curing device.

최근 정보화 사회로 시대가 급발전함에 따라 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판 표시 장치(flat panel display)의 필요성이 대두되었다.Recently, with the rapid development of the information society, the need for a flat panel display having excellent characteristics such as thinning, light weight, and low power consumption has emerged.

이러한 평판 표시 장치는 스스로 빛을 발하느냐 그렇지 못하냐에 따라 나눌 수 있는데, 스스로 빛을 발하여 화상을 표시하는 것을 발광형 표시장치라 하고, 그렇지 못하고 외부의 광원을 이용하여 화상을 표시하는 것을 수광형 표시장치라고 한다. 발광형 표시장치로는 플라즈마 표시장치(plasma display panel)와 전계 방출 표시장치(field emission display), 전계 발광 표시 장치(electro luminescence display) 등이 있으며, 수광형 표시 장치로는 액정표시장치(liquid crystal display)가 있다. Such a flat panel display may be divided according to whether it emits light or not. A light emitting display is one that displays an image by emitting light by itself, and a display is performed by displaying an image using an external light source. It is called a display device. The light emitting display includes a plasma display panel, a field emission display, an electro luminescence display, and the light receiving display includes a liquid crystal display. display).

이중 액정표시장치가 해상도, 컬러표시, 화질 등이 우수하여 노트북이나 데스크탑 모니터에 활발하게 적용되고 있다.Dual liquid crystal display devices are being actively applied to notebooks and desktop monitors because of their excellent resolution, color display, and image quality.

액정표시장치는 전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을 두 전극이 형성되어 있는 면이 서로 대향하도록 배치하고, 두 기판 사이에 액정을 주입한 다음, 두 전 극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 액정 분자를 움직여 빛의 투과율을 조절하여 화상을 표현하는 장치이다.The liquid crystal display device arranges two substrates on which electrodes are formed so that the surfaces on which the two electrodes are formed face each other, injects liquid crystal between the two substrates, and then applies an electric voltage generated by applying a voltage to the two electrodes. It is a device that expresses an image by adjusting the light transmittance by moving the liquid crystal molecules.

이러한 액정표시장치용 액정패널은 화소전극과 스위칭 소자인 박막 트랜지스터가 각 화소별로 형성되는 어레이 기판을 제조하는 공정과 상기 어레이 기판과 대향되어 공통전극 및 적, 녹, 청색의 컬러가 각 화소에 대응하여 형성되는 되어 있는 컬러필터 기판을 제조하는 공정과 상기 두 공정을 통해 제작된 어레이 기판과 컬러필터 기판 사이에 액정을 주입한 후, 합착하는 일련의 공정을 진행하여 완성된다. The liquid crystal panel for a liquid crystal display device includes a process of manufacturing an array substrate in which pixel electrodes and thin film transistors, which are switching elements, are formed for each pixel, and a common electrode and red, green, and blue colors correspond to each pixel as opposed to the array substrate. After injecting the liquid crystal between the process of manufacturing the color filter substrate is formed and the array substrate and the color filter substrate produced through the two processes, and then proceeds to a series of bonding process is completed.

여기서 간단히 액정패널의 제조공정에 대해 설명한다.Here, the manufacturing process of a liquid crystal panel is demonstrated simply.

액정패널 제조공정은 셀 공정이라고 칭하며, 상기 셀 공정은 박막 트랜지스터가 배열된 어레이 기판과 컬러필터가 형성된 컬러필터 기판에 액정을 한 방향으로 배향시키기 위한 배향공정과 두 기판을 합착시켜 일정한 갭(Gap)을 유지시키기 셀 갭(cell gap) 형성공정, 셀 절단(cutting) 공정, 액정주입 공정으로 크게 나눌 수 있다. The liquid crystal panel manufacturing process is called a cell process, and the cell process combines two substrates with an alignment process for aligning liquid crystals in one direction to an array substrate on which thin film transistors are arranged and a color filter substrate on which a color filter is formed. ) Can be roughly divided into a cell gap forming process, a cell cutting process, and a liquid crystal injection process.

전술한 각 셀 공정에 대해 좀 더 자세히 설명하면, 셀 공정의 첫 번째 단계는 배향막 형성 공정으로서 박막 트랜지스터가 각 화소별로 배열된 어레이 기판과 상기 어레이 기판의 화소에 대응하여 적, 녹, 청색 컬러필터가 형성된 컬러필터 기판에 고분자 물질인 폴리이미드(Polyimide)를 코팅하여 배향막을 형성하는 것이다. 어레이 기판 및 컬러필터 기판의 전면에 균일한 두께로 주로 롤 코팅 방식에 의해 일정 패턴을 갖도록 상기 폴리이미드인 배향막을 인쇄한다. 이후, 상기 배향막이 인쇄된 두 기판은 예비 건조 및 소성 과정을 진행하여 경화된 배향막을 형성하게 된다.In more detail with respect to each cell process described above, the first step of the cell process is an alignment layer forming process, in which the thin film transistors are arranged in respective pixels and the red, green, and blue color filters corresponding to the pixels of the array substrate. Is to form an alignment layer by coating a polyimide (Polyimide) as a polymer material on the color filter substrate. The alignment film, which is the polyimide, is printed on the front surface of the array substrate and the color filter substrate so as to have a predetermined pattern mainly by a roll coating method. Thereafter, the two substrates on which the alignment layer is printed are preliminarily dried and baked to form a cured alignment layer.

다음, 상기 경화된 배향막이 형성된 상부 및 하부기판은 셀 공정의 두 번째 단계인 러빙공정을 진행한다. 상기 경화된 배향막 표면을 러빙포로 균일한 압력과 속도로 마찰시켜 배향막 표면의 고분자 사슬을 일정한 방향으로 정렬시킨다. 상기 러빙은 액정의 초기 배열방향을 결정하는 주요한 공정으로, 정상적인 액정의 구동과 균일한 디스플레이(Display)특성을 갖게 한다.Next, the upper and lower substrates on which the cured alignment layer is formed undergo a rubbing process, which is the second step of the cell process. The cured alignment layer surface is rubbed with a rubbing cloth at a uniform pressure and speed to align the polymer chains on the alignment layer surface in a predetermined direction. The rubbing is a main process of determining the initial alignment direction of the liquid crystal, and has a normal display drive and normal driving of the liquid crystal.

다음, 상기 러빙된 두 기판은 세 번째 단계인 씰 패턴 형성과 은(Ag) 도포 및 스페이서 산포 공정을 진행한다. 이때, 하부기판인 어레이 기판은 씰 패턴 형성 공정 및 은 도포 공정을 진행하고, 상부기판인 컬러필터 기판은 스페이서 산포 공정을 진행하거나 또는 컬러필터 기판에 씰 패턴 형성과 은 도포를 실시하고, 어레이 기판에는 스페이서 산포를 진행한다. Next, the rubbed two substrates undergo a third step of forming a seal pattern, applying silver (Ag), and dispersing a spacer. At this time, the array substrate, which is a lower substrate, undergoes a seal pattern forming process and a silver coating process, and the color filter substrate, which is an upper substrate, undergoes a spacer scattering process, or a seal pattern is formed and silver coated on the color filter substrate, and the array substrate Proceed with spacer scattering.

액정패널에 있어 씰 패턴은 액정 주입을 위한 갭(gap) 형성과 주입된 액정을 새지 않게 하는 두 가지 역할을 한다. 이때, 상기 씰 패턴 형성공정은 열경화성 수지인 실란트(sealant)를 기판의 테두리에 일정하게 원하는 패턴으로 형성시키는 공정으로, 씰 스크린 인쇄 장치를 이용한 스크린 마스크법 또는 씰 디스펜싱 장치를 통한 디스펜서법에 의해 기판 상에 형성되고 있으며, 최근 들어 기판이 점점 대형화되면서 디스펜서법이 주류를 이루고 있다. 상기 씰 디스펜서 공정에 대해서는 추후 상세히 설명한다.In the liquid crystal panel, the seal pattern serves to form a gap for liquid crystal injection and to prevent leakage of the injected liquid crystal. In this case, the seal pattern forming process is a process of forming a sealant, which is a thermosetting resin, in a desired pattern on the edge of the substrate constantly, by a screen mask method using a seal screen printing apparatus or a dispenser method through a seal dispensing apparatus. It is formed on a substrate, and the dispenser method has become mainstream in recent years as the substrate becomes larger and larger. The seal dispenser process will be described later in detail.

다음, 상기 씰 패턴이 형성된 어레이 기판(컬러필터 기판)에 은 도포 공정을 진행한다. 이때, 상기 은(Ag) 도포는 상부기판과 하부기판의 도통을 위해 어레이 기판 상의 소정의 위치에 일정량의 은(Ag) 패이스트를 도포하는 것이다. Next, a silver coating process is performed on the array substrate (color filter substrate) on which the seal pattern is formed. At this time, the application of silver (Ag) is to apply a certain amount of silver paste to a predetermined position on the array substrate for the conduction of the upper substrate and the lower substrate.

다음, 전술한 어레이 기판(컬러필터 기판)에 씰 패턴 형성 및 은 도포 공정을 진행하는 동안 컬러필터 기판(어레이 기판)에는 액티브 영역의 셀갭 형성을 위해 볼 스페이서를 기판 전면에 균일한 밀도로 뿌려주는 스페이서 산포 공정을 진행한다. 스페이서 산포에는 건식법과 습식법이 있으며, 주로 +와 -로 대전시켜 스페이서의 뭉침없이 산포하는 건식법이 주로 사용된다. 최근에는 셀갭 유지를 위해 컬러필터 기판 제작 시 상기 기판 상에 일정한 간격을 갖는 패턴드(patterned) 스페이서를 형성하기도 한다. 따라서, 패턴드 스페이서가 구비된 컬러필터 기판의 경우 스페이서 산포공정은 생략된다.Next, during the formation of the seal pattern and the silver coating process on the array substrate (color filter substrate) described above, the color filter substrate (array substrate) is sprayed with uniform density on the entire surface of the substrate to form a cell gap of the active region. The spacer spreading process is performed. There are a dry method and a wet method for the spacer spread, and a dry method in which the spacer is dispersed without aggregation of the spacer by charging with + and-is mainly used. Recently, when manufacturing a color filter substrate to maintain a cell gap, a patterned spacer having a predetermined gap may be formed on the substrate. Therefore, in the case of the color filter substrate having the patterned spacer, the spacer spreading process is omitted.

다음, 상기 어레이 기판(또는 컬러필터 기판)에 씰 패턴 형성과 은 도포 공정과 컬러필터 기판(또는 어레이 기판)에 스페이서 산포 공정이 끝나면, 네 번째 공정인 합착공정을 진행한다. Next, when the seal pattern is formed on the array substrate (or the color filter substrate), the silver coating process and the spacer spreading process are completed on the color filter substrate (or the array substrate), a bonding process is performed.

어레이 기판과 컬러필터 기판의 합착을 위해서는 상부기판의 컬러필터 패턴과 하부기판의 화소가 정확히 일치하도록 해주어야 하는데 이를 합착 정렬이라 한다. 이때, 상기 합착 정열 정도는 각 기판의 설계 시 주어지는 마진(Margin)에 의해 결정되며, 상기 합착 마진은 컬러필터 기판상의 블랙 매트릭스(Black Matrix)와 어레이 기판상의 화소전극의 오버랩 정도에 기인하며, 보통 수 ㎛의 정밀도가 요구된다. 두 기판의 합착 오차범위를 벗어나면, 빛이 새어나오게 되어 액정 셀의 구동시 원하는 화질 특성을 얻지 못하게 된다. 합착 정렬 후 상기 상부 및 하부기판이 합착되어 원판패널을 이룬 후, 상기 원판패널에 균일한 압력을 가하며, 동시에 상기 씰 패턴에 열을 가함으로써 일정한 셀갭을 유지하도록 하여 상기 씰 패턴을 단단히 경화시킨다. In order to bond the array substrate and the color filter substrate, the color filter pattern of the upper substrate and the pixels of the lower substrate must be exactly matched, which is called a bonding alignment. In this case, the degree of adhesion alignment is determined by a margin given at the time of designing each substrate, and the adhesion margin is due to the degree of overlap between the black matrix on the color filter substrate and the pixel electrode on the array substrate. A few micrometers of precision is required. If the two substrates are out of the bonding error range, light leaks out, so that the desired image quality characteristics cannot be obtained when the liquid crystal cell is driven. After the bonding alignment, the upper and lower substrates are bonded to form a disc panel, and then uniform pressure is applied to the disc panel, and at the same time, heat is applied to the seal pattern to maintain a constant cell gap so as to harden the seal pattern.

다음, 다섯 번째 단계인 원판패널을 절단하는 셀 절단공정을 진행한다. 이전 단계까지를 거치며 제작된 원판패널을 단위 셀로 절단하는 공정이다. 셀 절단 공정은 유리기판 보다 경도가 높은 다이아몬드 재질 또는 초경합금 재질의 절단휠로 원판패널 표면에 절단선을 형성하는 스크라이브(Scribe)공정과 상기 절단선에 힘을 가해 파단 분리하는 브레이크(Break) 공정으로 이루어진다.Next, a cell cutting process of cutting the disc panel, which is the fifth step, is performed. It is the process of cutting the original panel manufactured by the previous step into the unit cell. The cell cutting process is a scribe process that forms a cutting line on the surface of a disc panel with a cutting wheel made of diamond or cemented carbide, which is harder than a glass substrate, and a break process that breaks apart by applying force to the cutting line. Is done.

다음, 상기 절단공정을 진행하여 단위 셀로 절단된 액정패널에 여섯 번째 단계인 액정주입 공정을 진행한다. 상기 액정주입 공정은 수 ㎛의 셀갭을 갖는 액정패널 내부를 진공화 한 후 모세관 현상과 대기압 차이를 이용하여 액정을 상기 액정패널의 내부로 주입한다. 이후 액정주입이 완료되면, 상기 액정이 주입된 주입구를 봉지제로 밀봉하고 자외선을 쪼여 봉지제를 경화시킨다. Next, a sixth step of the liquid crystal injection process is performed on the liquid crystal panel cut into unit cells by performing the cutting process. The liquid crystal injection process injects a liquid crystal into the liquid crystal panel by using a capillary phenomenon and an atmospheric pressure difference after evacuating the inside of the liquid crystal panel having a cell gap of several μm. After the liquid crystal injection is completed, the injection hole into which the liquid crystal is injected is sealed with an encapsulant, and the encapsulant is cured by irradiating ultraviolet rays.

다음, 액정패널의 패드 부위 쇼팅바를 제거하는 그라인딩(grinding) 공정과 불량 유무를 판정하는 검사공정을 진행하여 액정패널을 완성한다. Next, a grinding process for removing the pad portion shorting bar of the liquid crystal panel and an inspection process for determining whether the defect is defective are performed to complete the liquid crystal panel.

도 1은 전술한 셀 공정을 진행하여 완성된 액정표시장치용 액정패널의 개략적인 평면도이다.1 is a schematic plan view of a liquid crystal panel for a liquid crystal display device completed by the above-described cell process.

도시한 바와 같이, 액정표시장치용 액정패널(1)은 외각의 비표시영역(NA)에 외부회로를 연결하는 다수 개의 게이트 패드(42) 및 데이터 패드(47)가 형성되어 있고, 상기 각각의 게이트 패드(42)와 연결되어 표시부영역(AA)으로 연장된 가로방 향의 게이트 배선(12)과, 상기 각각의 데이터 패드(47)와 연결되어 표시부영역(AA)로 연장된 세로방향의 데이터 배선(22)과 상기 두 배선(12, 22)이 교차하는 지점에 박막 트랜지스터(Tr)가 각각 형성되어 각각 구동이 가능한 다수의 화소(P)가 구비된 어레이 기판(10)과, 상기 어레이 기판(10)에 대향되고, 상기 각 화소(P)에 대응되며 순차 반복적으로 구비된 적, 녹, 청색 컬러필터 패턴과 상기 패턴과 패턴 사이에 상기 어레이 기판(10)의 게이트 배선(12)과 데이터 배선(22)에 대응하여 구성된 블랙매트릭스(미도시)와 상기 화소(P)들로 형성된 표시부영역(AA) 외각을 둘러싸며 구성된 테두리 블랙매트릭스(52)를 구비한 컬러필터 기판(50)과, 상기 두 기판(10, 50) 사이에 위치하는 액정층(미도시)과, 상기 두 기판(10, 50)이 대응하는 테두리의 비표시영역(NA)에 위치하며 끊김없이 이어지며 형성되는 씰 패턴(70)으로 구성되어 있다.As shown in the drawing, the liquid crystal panel 1 for the liquid crystal display device has a plurality of gate pads 42 and data pads 47 for connecting external circuits to the non-display area NA of the outer shell. A horizontal gate line 12 connected to the gate pad 42 to the display unit area AA, and vertical data connected to each of the data pads 47 to the display unit area AA An array substrate 10 having a plurality of pixels P, each of which a thin film transistor Tr is formed at a point where the wiring 22 and the two wirings 12 and 22 cross each other, and which can be driven, and the array substrate A red, green, and blue color filter pattern opposite to (10) and corresponding to each pixel (P) and sequentially provided, and a gate wiring (12) and data of the array substrate (10) between the pattern and the pattern; Black matrix (not shown) and the pixel (P) configured corresponding to the wiring 22 A color filter substrate 50 having an edge black matrix 52 formed around the outer portion of the display unit area AA formed of a light emitting layer, a liquid crystal layer (not shown) disposed between the two substrates 10 and 50, and The two substrates 10 and 50 are positioned in the non-display area NA of the corresponding edges, and are formed of a seal pattern 70 which is formed to be continuous.

전술한 액정표시장치를 제조 하는데 있어서, 어레이 기판과 컬러필터 기판을 합착하여 액정패널을 형성하기 전의 씰 패턴의 형성 방법에 대해 도면을 참조하여 조금 더 상세히 설명한다. In manufacturing the above-described liquid crystal display device, a method of forming a seal pattern before bonding an array substrate and a color filter substrate to form a liquid crystal panel will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 씰 디스펜서를 포함하는 씰 디스펜서 장치 일부를 도시한 것이다. 2 illustrates a portion of a seal dispenser device including a seal dispenser.

도시한 바와 같이, 씰 패턴(92)을 형성해야 할 어레이 기판(90)이 상기 씰 디스펜서 장치(80)의 스테이지(82) 위에 위치하게 되면, 상기 스테이지(82) 상부에 위치한 내부에 실란트를 채운 씰 디스펜서(84)가 씰 패턴(92)의 형성 시작 위치에 정렬을 하게 되고, 이미 상기 씰 디스펜서 장치(80)에 입력된 씰 패턴 모양에 대한 프로그램에 의해 기판(90) 상의 테두리를 따라 씰 패턴(92)을 형성한다. As shown in the drawing, when the array substrate 90, on which the seal pattern 92 is to be formed, is positioned on the stage 82 of the seal dispenser device 80, the sealant is filled inside the stage 82. The seal dispenser 84 is aligned at the start position of forming the seal pattern 92, and the seal pattern is formed along the edge on the substrate 90 by a program for the shape of the seal pattern already input to the seal dispenser device 80. (92) is formed.                         

상기 씰 디스펜서 장치(80)에는 상기 기판(90) 상에 형성된 씰 패턴(92)의 단선 및 씰 패턴(92)의 폭을 측정하기 위한 카메라(86)가 부착되어 있어, 씰 패턴(92)을 형성한 후, 상기 형성된 씰 패턴(92)을 따라 이동하며, 씰 패턴(92)의 단선 유무를 검사하며, 모델별로 서로다른 위치가 지정된 다수의 포인트에 있어서는 상기 카메라(86)를 통해 씰 패턴(92)의 선폭을 측정한다.The seal dispenser device 80 is attached with a camera 86 for measuring disconnection of the seal pattern 92 formed on the substrate 90 and the width of the seal pattern 92. After the formation, the seal pattern 92 moves along the formed seal pattern 92, inspects whether the seal pattern 92 is disconnected, and seals the seal pattern through the camera 86 at a plurality of points in which different positions are specified for each model. Measure the line width of 92).

이때, 씰 디스펜서 장치(80)에는 각 모델별로 씰 패턴의 적당한 선폭 데이터가 입력되어 있어 측정한 선폭 데이터와 비교함으로써 오차범위를 초과할 경우 경보 등을 발생하여 씰 패턴 형성 불량이 발생하였음을 알리고 있다.At this time, the seal dispenser device 80 is provided with the appropriate line width data of the seal pattern for each model, and compared with the measured line width data to generate an alarm or the like when the error range is exceeded, thereby informing that the seal pattern formation failure has occurred. .

씰 패턴에 단선이 발생하면, 합착 후 액정이 세는 불량이 발생하게 되고, 또한 씰 패턴의 선폭이 오차범위를 벗어나게 되면 액정주입량의 차이가 생기고 또한, 셀갭이 차이 생기게 되어 액정의 두께 차에 의한 표시품질이 저하되는 문제가 발생한다. If disconnection occurs in the seal pattern, a problem in which the liquid crystal is counted after bonding may occur, and if the line width of the seal pattern is out of the error range, a difference in the amount of liquid crystal injection may occur, and a cell gap may occur, resulting in a difference in the thickness of the liquid crystal. The problem of quality deterioration occurs.

하지만, 전술한 바와 같이 진행하는 씰 패턴 형성 후의 상기 형성된 씰 패턴의 단선 검사 또는 씰 패턴의 선폭 측정은 디스펜서 장치에 장착된 카메라가 일일이 상기 기판 내에 형성된 씰 패턴을 따라 이동하면서, 이미 입력된 데이터와 비교하며 측정 또는 검사가 진행되어야 하므로 그 측정 및 검사 시간이 오래 걸리므로 단위 시간당 생산량을 맞추기 위해 모든 기판에 대해서 이루어지지 않고, 통상적으로 20매로 구성된 카세트 단위의 기판 중 3-5매를 지정하여 즉, 카세트 내의 5단, 10단, 15단, 20단에 위치한 기판에 대해서만 단선 및 선폭 측정을 실시하고 있는 실정이다. However, the disconnection inspection of the formed seal pattern or the measurement of the line width of the seal pattern after the formation of the seal pattern proceeding as described above is performed by moving the camera mounted on the dispenser device along the seal pattern formed in the substrate. Since measurement and inspection must be carried out by comparison, the measurement and inspection takes a long time, and thus, 3-5 pieces of substrates of 20 cassette units are normally designated, i.e. The measurement of disconnection and line width is carried out only on the substrates located at the 5th, 10th, 15th, and 20th stages of the cassette.                         

따라서, 씰 패턴의 단선검사 및 선폭 측정을 실시한 기판에 대해서는 문제되지 않지만, 실시하지 않은 기판에 대해서는 씰 패턴의 불량 발생 여부를 액정패널을 완성 후 최종검사에서 알 수 있게 되므로, 불량이 발생한 기판을 추후의 셀공정을 모두 진행하여 액정패널로 완성하게 됨으로써 재료비 손실을 발생시키며, 불량발생시 대처가 늦게 되어 실패 비용이 상승하는 등의 문제가 발생한다.
Therefore, it is not a problem for the boards subjected to the disconnection inspection and the line width measurement of the seal pattern, but it is not a problem for the boards not subjected to the seal pattern. All the subsequent cell processes are completed in the liquid crystal panel, resulting in material cost loss, and in the case of failure, coping is delayed, causing a failure cost to rise.

상기 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에서는 제조 공정시간의 증가없이 전 기판에 대해 씰 패턴의 단선검사 및 선폭 측정이 가능한 씰 패턴 검사 시스템을 제공함으로써 씰 패턴 불량을 조기에 발견할 수 있도록 하여 즉각적인 대처가 가능하도록 하는 것이 목적이다.In order to solve the above problems, the present invention provides a seal pattern inspection system capable of disconnection inspection and line width measurement of the seal pattern for all the substrates without increasing the manufacturing process time, so that the seal pattern defect can be detected early, thereby providing immediate response. The goal is to make it possible.

또한, 상기 전수 씰 패턴 불량을 검사를 실시함으로써 씰 패턴 불량이 발생한 패널에 대해서는 추후 공정을 진행하지 않도록 함으로써 재료비를 절감시키는 것을 또 다른 목적으로 한다.
In addition, another object of the present invention is to reduce the material cost by inspecting the defective seal pattern defect so as not to proceed with the subsequent process for the panel in which the seal pattern defect occurs.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명의 실시예에 따른 씰 패턴 검사 시스템을 구비한 씰 경화장치는 다수의 경화단과; 상기 각 경화단 내부에 기판이 안착할 수 있도록 구비된 기판 안착 수단과; 상기 기판 안착 수단 상부에 구비된 이물 부착 차단용 투명막과; 상기 투명막 상부에 구비된 수직 및 수평방향으로 움 직임이 가능한 씰 패턴 의 단선 검사 및 씰 선폭 측정용 카메라와; 상기 경화단 내부에 대각선 방향으로 위치하여 구비되는 정렬용 카메라를 포함한다. Seal curing apparatus provided with a seal pattern inspection system according to an embodiment of the present invention to achieve the above object and a plurality of curing stages; A substrate seating means provided to allow a substrate to be seated in each of the curing stages; Transparent film for blocking foreign matter attached to the substrate mounting means; A camera for disconnection inspection and seal line width measurement of a seal pattern capable of moving in the vertical and horizontal directions provided on the transparent film; It includes an alignment camera provided in a diagonal direction in the curing stage.

이때, 상기 씰 패턴의 단선 검사 및 씰 선폭 측정 카메라에는 조명장치가 더욱 구비되며, 상기 정렬용 카메라 또는 그 부근에 조명장치가 더욱 구성된 것이 특징이다. At this time, the disconnection inspection of the seal pattern and the seal line width measuring camera is further provided with an illumination device, the illumination device is further configured in or near the alignment camera.

또한, 상기 투명막은 유리기판인 것이 바람직하다.In addition, the transparent film is preferably a glass substrate.

또한, 상기 씰 패턴의 단선 검사 및 씰 선폭 측정 카메라는 상기 카메라의 움직임을 제어하는 컴퓨터와 연결된 것을 특징으로 한다. In addition, the disconnection inspection and seal line width measuring camera of the seal pattern is characterized in that it is connected to a computer that controls the movement of the camera.

본 발명에 의한 씰 패턴 검사 시스템을 구비한 씰 경화장치를 이용한 액정패널의 씰 패턴 검사 방법은 합착된 액정패널을 씰 경화장치의 경화단 내로 안착시키는 단계와; 상기 경화단 내를 적정온도를 유지시켜 씰 패턴을 경화시키며, 동시에 상기 합착된 액정패널 내부에 형성된 씰 패턴의 단선 검사 및 지정된 위치에서의 선폭을 측정하는 단계를 포함한다. The seal pattern inspection method of a liquid crystal panel using a seal curing device provided with a seal pattern inspection system according to the present invention comprises the steps of: seating the bonded liquid crystal panel into the curing stage of the seal curing device; Hardening the seal pattern by maintaining an appropriate temperature in the hardened end, and simultaneously checking disconnection of the seal pattern formed in the bonded liquid crystal panel and measuring a line width at a designated position.

이때, 상기 액정패널이 경화단 내로 안착된 후에는 정렬 카메라에 의해 기판이 놓인 위치를 파악하여 단선 검사 및 선폭 측정 카메라를 정렬시키는 단계를 더욱 포함한다. In this case, after the liquid crystal panel is seated in the curing stage, the method further includes the step of aligning the disconnection inspection and the line width measuring camera by identifying the position where the substrate is placed by the alignment camera.

또한, 상기 액정패널 내부에 형성된 씰 패턴의 단선 검사 및 지정된 위치에서의 선폭을 측정하는 단계는 상기 액정패널 내의 씰 패턴이 형성된 위치로 단선 검사 및 선폭 측정 카메라를 위치시키는 단계와; 상기 단선 검사 및 선폭 측정 카메라에 부착된 조명기구를 점등하는 단계와; 상기 액정패널 상의 씰 패턴을 따라 상기 단선 검사 및 선폭 측정 카메라를 이동시키며 단선 검사를 실시하는 단계와; 액정패널 상의 지정된 선폭 측정 위치에서 씰 패턴의 선폭을 측정하는 단계를 더욱 포함한다. In addition, the disconnection inspection of the seal pattern formed in the liquid crystal panel and measuring the line width at a designated position may include: positioning the disconnection inspection and linewidth measuring camera at a position where the seal pattern is formed in the liquid crystal panel; Lighting the lighting fixture attached to the disconnection inspection and linewidth measuring camera; Performing the disconnection inspection by moving the disconnection inspection and linewidth measuring camera along the seal pattern on the liquid crystal panel; The method may further include measuring a line width of the seal pattern at a designated line width measurement position on the liquid crystal panel.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 씰 패턴의 선폭 검사 및 단선 검사를 씰 디스펜서 장치에서 진행하지 않고, 씰 경화장치 내에서 이루어지도록 한 것이 가장 특징적인 것이다.The present invention is characterized in that the line width inspection and the disconnection inspection of the seal pattern are made in the seal curing apparatus without proceeding in the seal dispenser apparatus.

즉, 씰 디스펜서 장치에 있어서는 초기 세팅시에만 단선 검사 또는 선폭 측정을 실시하고, 그 이후의 기판에 대해서는 씰 경화장치 내에서 실시함으로 전 기판에 대해 씰 패턴의 단선 및 선폭 측정에 있어, 추가적인 공정시간을 필요로 하지 않는 것을 특징으로 한다.In other words, in the seal dispenser, disconnection inspection or linewidth measurement is performed only at the initial setting, and subsequent substrates are performed in the seal curing device, so that additional process time is measured in the disconnection and linewidth of the seal pattern for all the substrates. It does not need to be characterized by.

도 3은 본 발명에 따른 씰 경화장치를 도시한 도면이며, 도 4는 상기 도 3의 각 경화단 내부 단면을 도시한 것이며, 도 5는 하나의 경화단 내부를 위에서 바라보았을 때의 평면을 도시한 것이다.Figure 3 is a view showing a seal curing apparatus according to the present invention, Figure 4 is a cross-sectional view of the inside of each curing stage of Figure 3, Figure 5 shows a plane when viewed from the inside of one curing stage from above. It is.

도시한 바와 같이, 본 발명에 의한 씰 경화장치(100)는 각각 독립적으로 온도를 관리가 가능한 다수의 경화단(110)을 구비하고 있으며, 각각의 경화단(110) 내에 씰 패턴(155)이 형성된 기판(150)이 안착되도록 다수의 석영관(120)이 구비되어 있다. 또한, 각 경화단(110) 내부에 있어서는 상기 기판(150)이 안착되는 석영관(120) 상부로는 투명한 재질 예를들면 유리 기판 등으로 두꺼운 투명막(121)이 구비되어 있으며, 상기 투명막(121) 상부로는 씰 디스펜서 장치의 디스펜서와 동일한 동작 즉, 가로 또는 세로 방향으로 이동이 가능하도록 구성된 이동축(133)에 연 결되어 씰 패턴(155)의 단선 또는 선폭 측정을 위한 카메라(125)가 구비되어 있으며, 각 경화단(110) 내에 투입된 기판(150)의 대각선 방향에 대응하여 2개 이상의 정렬용 카메라(140)가 구비되어 있으며, 상기 단선 검사 및 선폭 측정용 카메라(125) 및 정렬용 카메라(140) 각각에는 소형의 광 조사장치(130, 142)가 부착되어 있다. 이때, 상기 정렬용 카메라(140)에 부착된 광 조사장치(142)는 상기 정렬용 카메라(140) 자체가 아닌 부근에 부착될 수 있다. As shown, the seal curing apparatus 100 according to the present invention is provided with a plurality of curing stages 110, each of which can independently manage the temperature, the seal pattern 155 in each curing stage 110 A plurality of quartz tubes 120 are provided to seat the formed substrate 150. In addition, in each of the hardening stages 110, a thick transparent film 121 is provided on the quartz tube 120 on which the substrate 150 is seated, for example, a transparent material, for example, a glass substrate. The upper part of the camera 121 is connected to a moving shaft 133 configured to move in the horizontal or vertical direction in the same operation as the dispenser of the seal dispenser device, so that the camera 125 for measuring disconnection or line width of the seal pattern 155 may be used. ), Two or more alignment cameras 140 are provided to correspond to the diagonal direction of the substrate 150 inserted into each curing stage 110, and the cameras 125 for disconnection inspection and line width measurement are provided. Small light irradiation devices 130 and 142 are attached to each alignment camera 140. In this case, the light irradiation apparatus 142 attached to the alignment camera 140 may be attached near the alignment camera 140 itself.

상기 경화단(110) 내에 투명한 유리기판으로 이루어진 투명막(121)은 씰 패턴(155)이 형성된 기판(150)이 투입되고 상기 씰 패턴(155)의 경화 공정 진행 중, 동시에 실시되는 씰 패턴의 단선 검사 및 선폭 측정을 위해 단선 검사 및 선폭 측정 카메라(125)가 이동축을 따라 이동하게 됨으로써 발생하게 되는 이물이 상기 기판(150) 상에 떨어지게 되는 것을 방지하기 위해 구성한 것이다. The transparent film 121 made of a transparent glass substrate in the hardened end 110 may have a seal pattern 155 formed thereon and the substrate 150 having the seal pattern 155 therein may be inserted in the curing pattern 110. For the disconnection inspection and line width measurement, the disconnection inspection and the line width measurement camera 125 are configured to prevent foreign matters generated by moving along the moving axis on the substrate 150.

또한, 경화단(110) 내로 투입되는 기판(150)의 대각선 방향으로 구비되는 정렬 카메라(140)는 투입된 기판(150) 상에 구성된 정렬 마크(미도시)를 인식하여 기판(150)이 석영관 상에 놓여진 위치 및 상태를 파악함으로써 상기 단선 검사 및 선폭 측정 카메라(125)를 석영관 위로 놓여진 기판(150) 상에 형성된 씰 패턴(155)의 검사 위치로 정렬시키고, 정확히 상기 씰 패턴(155)을 따라 이동시키기 위함이다.In addition, the alignment camera 140 provided in the diagonal direction of the substrate 150 introduced into the curing end 110 recognizes an alignment mark (not shown) formed on the inserted substrate 150 so that the substrate 150 is a quartz tube. The disconnection inspection and linewidth measuring camera 125 is aligned with the inspection position of the seal pattern 155 formed on the substrate 150 placed on the quartz tube by grasping the position and the state placed on the quartz tube, and the seal pattern 155 exactly. To move along.

다음, 상기 단선 검사 및 선폭 측정 카메라(125)에 부착된 광 조사장치(130)는 상기 경화단(110) 내부는 온도 편차를 방지하기 위해 외부와 밀폐시켜 형성된 공간이므로 어두운 상태이기 때문에 그 상태로는 씰 패턴(155)의 단선 검사 또는 선폭 측정이 불가능하므로 상기 단선 검사 및 선폭 측정 카메라(125)가 이동하는 방향을 따라 광을 기판(150)에 조사함으로써 상기 카메라(125)가 씰 패턴(155)을 인식하도록 하기 위함이다. Next, since the light irradiation apparatus 130 attached to the disconnection inspection and line width measuring camera 125 is a dark state because the inside of the hardened end 110 is formed to be sealed to the outside to prevent temperature deviation, Since the disconnection inspection or linewidth measurement of the seal pattern 155 is impossible, the camera 125 emits light to the substrate 150 along the direction in which the disconnection inspection and the linewidth measurement camera 125 are moved. ) To be recognized.

다음, 전술한 씰 경화장치를 이용한 본 발명의 씰 패턴 형성 및 검사에 대해 설명한다.Next, the seal pattern formation and inspection of this invention using the above-mentioned seal hardening apparatus are demonstrated.

우선, 컬러필터 공정을 진행하여 컬러필터층이 구비된 컬러필터 기판과, 어레이 공정을 진행하여 박막 트랜지스터 및 화소전극을 구비한 어레이 기판에 배향막을 형성하고 러빙 공정을 진행한 기판 중 어느 하나의 기판(본 발명의 실시예에서는 컬러필터 기판 상에 씰 패턴을 형성하는 것으로 한다.)을 씰 디스펜서 장치의 스테이지 위에 위치시킨다.First, the substrate of any one of a color filter substrate including a color filter layer by performing a color filter process and an alignment layer formed on an array substrate including a thin film transistor and a pixel electrode by performing an array process and undergoing a rubbing process ( In the embodiment of the present invention, a seal pattern is formed on the color filter substrate.

다음, 상기 컬러필터 기판 상에 형성된 얼라인 마크를 이용하여 기판 또는 씰 디스펜서를 정렬시킨 후, 씰 디스펜서를 기판상의 씰 패턴을 형성해야 하는 시작 위치에 위치하도록 한 후, 모델별로 프로그램 된 패턴 형상대로 기판상의 테두리를 따라 씰 패턴을 형성한다. Next, after aligning the substrate or the seal dispenser using the alignment mark formed on the color filter substrate, the seal dispenser is positioned at the start position where the seal pattern on the substrate should be formed, and then according to the pattern shape programmed for each model. A seal pattern is formed along the edge on the substrate.

다음, 상기 씰 패턴이 형성된 컬러필터 기판과 상기 씰 패턴 형성시 동시에 진행하여 스페이서가 산포된 어레이 기판을 합착 장치로 이동시킨 후, 합착 정렬하여 합착함으로써 액정패널을 형성한다.Next, the liquid crystal panel is formed by moving the color filter substrate having the seal pattern formed thereon and the array substrate having the spacers scattered thereon to the bonding apparatus, and then bonding and bonding the spacers.

이후, 상기 액정패널을 합착된 상태를 유지 고정시키기 위해 씰 패턴을 단단히 경화시키는 경화장치로 상기 액정패널을 이동시킨 후, 경화단 내의 석영관 위로 위치시킨다. Thereafter, the liquid crystal panel is moved to a curing apparatus that hardens the seal pattern in order to maintain and fix the liquid crystal panel in a bonded state, and then the liquid crystal panel is positioned on the quartz tube in the curing stage.

통상적으로 열경화성 실란트는 80?? 내지 100?? 정도의 분위기에서 500초 내 지 600초 정도 유지함으로써 단단히 경화되므로, 상기 액정패널을 경화단 내부의 석영관 위로 위치시킨 후, 경화단 내의 기판 출입구를 닫아 밀폐시킨다. Thermosetting sealants are typically 80 ?? To 100 ?? Since it hardens | cures by maintaining 500 to 600 second in the atmosphere of about degree, after placing the said liquid crystal panel on the quartz tube inside a hardening stage, the board | substrate entrance in a hardening stage is closed and sealed.

이때, 각 경화단 내에 구비된 정렬용 카메라에 부착 구성된 조명장치가 점등되고, 서로 액정패널 상에 대각방향으로 위치한 정렬용 카메라가 석영관 위에 높여진 액정패널 내에 형성된 정렬 마크를 인식하여 액정패널의 위치 상태를 파악한 후, 상기 액정패널의 위치에 맞게 단선 검사용 카메라를 정렬시킨다. 이후, 상기 단선 검사용 카메라에 부착된 조명장치를 점등하여 액정패널에 조사하고, 씰 패턴 상에 상기 단선 검사용 카메라를 위치시킨 후, 상기 씰 패턴을 따라 이동하면 단선 검사 및 지정된 포인트에서의 씰 패턴의 선폭을 측정한다. 이 경우 상기 경화장치의 각 경화단 마다 구비된 씰 패턴 단선 검사 카메라는 상기 카메라와 연결된 제어 컴퓨터에 의해 투입되는 모델에 따른 씰 패턴 형상대로 움직이며 단선 검사 및 지정한 위치에서 상기 씰 패턴의 선폭을 측정하게 된다. At this time, the lighting device attached to the alignment camera provided in each curing stage is turned on, and the alignment cameras positioned diagonally on each other on the liquid crystal panel recognize the alignment marks formed in the liquid crystal panel raised on the quartz tube. After determining the position, the disconnection inspection camera is aligned with the position of the liquid crystal panel. Thereafter, the illuminating device attached to the disconnection inspection camera is turned on to illuminate the liquid crystal panel, and the disconnection inspection camera is positioned on the seal pattern, and then moved along the seal pattern. Measure the line width of the pattern. In this case, the seal pattern disconnection inspection camera provided at each curing end of the curing apparatus moves in the shape of a seal pattern according to a model input by a control computer connected to the camera, and checks the disconnection and measures the line width of the seal pattern at a designated position. Done.

이때, 상기 제어 컴퓨터에는 이미 씰 패턴의 각 위치에 대한 정보 및 오차범위 등이 데이터로써 저장되어 있으므로, 상기 카메라로부터 읽어드리는 씰 패턴 정보와 비교하며 그 오차가 지정된 오차범위를 벗어나게 되면, 경보음 등을 발생시키고 이상이 있음을 알림으로써 즉각적인 대처가 가능하도록 한다. 불량 발생한 액정패널의 고유번호를 기억함으로써 추후 공정 진행시 상기 불량 발생한 액정패널에 대한 정보를 함께 넘겨주게 되므로 이후 공정에서는 씰 패턴 불량이 발생한 액정패널은 공정진행을 하지 않게 된다. At this time, since the information and the error range for each position of the seal pattern is already stored in the control computer as data, it is compared with the seal pattern information read from the camera, and when the error is out of the specified error range, an alarm sound, etc. It is possible to take immediate action by generating an error and notifying that there is an abnormality. Since the unique number of the defective liquid crystal panel is stored, information about the defective liquid crystal panel is passed along at a later process, so that the liquid crystal panel in which the seal pattern defect occurs in the subsequent process does not proceed with the process.

하나의 액정패널 내의 씰 패턴의 선폭 측정 및 단선 검사는 그 소요 시간이 500초 이하가 되며, 상기 액정패널이 씰 경화로 내에 위치하고 유지되는 동안 즉, 씰 경화 시간 내에 충분히 이루어지게 되므로 추가되는 공정 시간없이 진행이 가능하다. The line width measurement and disconnection inspection of the seal pattern in one liquid crystal panel require less than 500 seconds, and additional processing time is achieved while the liquid crystal panel is located and maintained in the seal curing furnace, that is, within the seal curing time. You can proceed without it.

따라서, 씰 패턴의 단선 및 선폭 측정을 전 기판에 대해 추가적인 검사시간을 요하지 않고 실시하게 됨으로써 씰 패턴 형성 불량이 발생하게 되면, 즉각적인 대응이 가능하며, 더욱이, 전 기판에 대해 씰 패턴 불량이 발생한 기판에 대해 선별작업을 통해 추후 공정을 진행하지 않도록 함으로써 재료비 절감하는 효과가 있다. Therefore, if disconnection or line width measurement of the seal pattern is performed without requiring additional inspection time for all the boards, if a seal pattern formation failure occurs, an immediate response is possible, and moreover, a board having a seal pattern failure for all the boards is generated. It is effective in reducing material costs by not proceeding with subsequent processes through the screening process.

전술한 바와 같이, 씰 경화장치 내에서 씰 패턴의 경화와 동시에 씰 패턴의 단선 검사 및 선폭 측정을 진행한 후에는, 씰 패턴 불량이 발생하지 않은 액정패널에 대해 상기 액정패널의 절단 공정과 액정주입 및 봉지공정과 그라인딩 공정을 순차적으로 진행하여 단위 액정패널을 완성한다.
As described above, after performing the disconnection inspection and the line width measurement of the seal pattern simultaneously with the curing of the seal pattern in the seal curing apparatus, the liquid crystal panel cutting process and the liquid crystal injection for the liquid crystal panel in which the seal pattern defect does not occur. And the encapsulation process and the grinding process are sequentially performed to complete the unit liquid crystal panel.

전술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 씰 패턴 검사 시스템을 적용할 경우 씰 패턴의 경화를 위한 경화장치 내에서 기판이 체류하는 시간을 이용하여 전 기판에 대한 씰 패턴의 단선 검사 및 선폭 측정이 이루어지게 되므로 최종적인 완성된 액정패널에 있어서는 씰 패턴 불량은 발생하지 않으므로 수율 향상의 효과가 있다.As described above, when applying the seal pattern inspection system according to an embodiment of the present invention, the disconnection inspection and line width measurement of the seal pattern of the entire substrate using the time the substrate stays in the curing apparatus for curing the seal pattern In this case, since the seal pattern defect does not occur in the finally completed liquid crystal panel, there is an effect of improving the yield.

또한, 종래 시스템 대비 씰 패턴의 단선 및 선폭 측정 시간을 저감시키게 되 므로 생산성을 높이는 효과가 있다.In addition, since the disconnection and line width measurement time of the seal pattern compared to the conventional system is reduced, there is an effect of increasing the productivity.

또한, 전수검사를 실시함으로써 항상 불량 모니터링 상태이므로 불량 발생시 즉각적으로 대처가 가능하므로 대량 불량 발생을 방지하는 효과가 있다. In addition, since all the inspections are always in a bad monitoring state, it is possible to immediately deal with the occurrence of a defect, thereby preventing the occurrence of a large quantity of defects.

Claims (8)

다수의 경화단과;A plurality of curing stages; 상기 각 경화단 내부에 기판이 안착할 수 있도록 구비된 기판 안착 수단과;A substrate seating means provided to allow a substrate to be seated in each of the curing stages; 상기 기판 안착 수단 상부에 구비된 이물 부착 차단용 투명막과;Transparent film for blocking foreign matter attached to the substrate mounting means; 상기 투명막 상부에 구비된 수직 및 수평방향으로 움직임이 가능한 씰 패턴 의 단선 검사 및 씰 선폭 측정용 카메라와;A camera for disconnection inspection and seal line width measurement of a seal pattern movable in vertical and horizontal directions provided on the transparent film; 상기 경화단 내부에 대각선 방향으로 위치하여 구비되는 정렬용 카메라Alignment camera disposed in the diagonal direction in the curing stage 를 포함하는 씰 패턴 검사 시스템을 구비한 씰 경화장치.Seal hardening device having a seal pattern inspection system comprising a. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 씰 패턴의 단선 검사 및 씰 선폭 측정 카메라에는 조명장치가 더욱 구비된 씰 패턴 검사 시스템을 구비한 씰 경화장치.The seal hardening device having a seal pattern inspection system further equipped with an illumination device in the disconnection inspection of the seal pattern and the seal line width measuring camera. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 정렬용 카메라 또는 그 부근에 조명장치가 더욱 구성된 씰 패턴 검사 시스템을 구비한 씰 경화장치.And a seal pattern inspection system further configured with a lighting device in the alignment camera or in the vicinity thereof. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 투명막은 유리기판인 씰 패턴 검사 시스템을 구비한 씰 경화장치.The transparent film is a seal curing device having a seal pattern inspection system that is a glass substrate. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 씰 패턴의 단선 검사 및 씰 선폭 측정 카메라는 상기 카메라의 움직임을 제어하는 컴퓨터와 연결된 것을 특징으로 하는 씰 패턴 검사 시스템을 구비한 씰 경화장치.The disconnection inspection of the seal pattern and the seal line width measuring camera are connected to a computer that controls the movement of the camera. 상기 제 1 항에 의한 씰 패턴 검사 시스템을 구비한 씰 경화장치를 이용한 액정패널의 씰 패턴 검사 방법에 있어서,In the seal pattern inspection method of the liquid crystal panel using the seal | sticker hardening apparatus provided with the seal pattern inspection system of Claim 1, 합착된 액정패널을 씰 경화장치의 경화단 내로 안착시키는 단계와;Mounting the bonded liquid crystal panel into a curing stage of the seal curing apparatus; 상기 경화단 내를 적정온도를 유지시켜 씰 패턴을 경화시키며, 동시에 상기 합착된 액정패널 내부에 형성된 씰 패턴의 단선 검사 및 지정된 위치에서의 선폭을 측정하는 단계Hardening the seal pattern by maintaining an appropriate temperature in the hardened end, and at the same time, checking disconnection of the seal pattern formed in the bonded liquid crystal panel and measuring a line width at a designated position. 를 포함하여 씰 패턴의 경화와 검사를 동시에 실시하는 것을 특징으로 씰 패턴 검사 방법.Seal pattern inspection method characterized in that to perform the curing and inspection of the seal pattern at the same time. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 액정패널이 경화단 내로 안착된 후에는 정렬 카메라에 의해 기판이 놓인 위치를 파악하여 단선 검사 및 선폭 측정 카메라를 정렬시키는 단계를 더욱 포함하는 씰 패턴 검사 방법.After the liquid crystal panel is seated in the curing stage further comprises the step of aligning the disconnection inspection and line width measuring camera by identifying the position of the substrate placed by the alignment camera. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 액정패널 내부에 형성된 씰 패턴의 단선 검사 및 지정된 위치에서의 선폭을 측정하는 단계는Checking the disconnection of the seal pattern formed in the liquid crystal panel and measuring the line width at a specified position 상기 액정패널 내의 씰 패턴이 형성된 위치로 단선 검사 및 선폭 측정 카메라를 위치시키는 단계와;Positioning a disconnection inspection and linewidth measuring camera at a position where a seal pattern is formed in the liquid crystal panel; 상기 단선 검사 및 선폭 측정 카메라에 부착된 조명기구를 점등하는 단계와;Lighting the lighting fixture attached to the disconnection inspection and linewidth measuring camera; 상기 액정패널 상의 씰 패턴을 따라 상기 단선 검사 및 선폭 측정 카메라를 이동시키며 단선 검사를 실시하는 단계와;Performing the disconnection inspection by moving the disconnection inspection and linewidth measuring camera along the seal pattern on the liquid crystal panel; 액정패널 상의 지정된 선폭 측정 위치에서 씰 패턴의 선폭을 측정하는 단계Measuring the line width of the seal pattern at a designated line width measurement position on the liquid crystal panel 를 더욱 포함하는 씰 패턴 검사 방법.Seal pattern inspection method further comprising.
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