KR20060001668A - Robot for transporting substrate - Google Patents

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KR20060001668A
KR20060001668A KR1020040050822A KR20040050822A KR20060001668A KR 20060001668 A KR20060001668 A KR 20060001668A KR 1020040050822 A KR1020040050822 A KR 1020040050822A KR 20040050822 A KR20040050822 A KR 20040050822A KR 20060001668 A KR20060001668 A KR 20060001668A
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박종익
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 가이드핀의 신속한 교체가 가능한 기판운반용 로보트에 관한 것으로, 운반되는 기판이 놓이는 복수의 핸드와, 상기 핸드에 설치되는 복수의 부시와, 상기 부시와 결합됨에 따라 핸드에 설치되어 핸드에 놓이는 기판을 고정시키는 가이드핀으로 구성된다.The present invention relates to a robot for transporting a substrate that can be quickly replaced with a guide pin, a plurality of hands on which a substrate to be transported is placed, a plurality of bushes installed on the hand, and as combined with the bush is installed on the hand and placed on the hand It consists of a guide pin for fixing the substrate.

로보트, 핸드, 가이드핀, 부시, 나사결합Robot, Hand, Guide Pin, Bush, Screwed

Description

기판운반용 로보트 {ROBOT FOR TRANSPORTING SUBSTRATE}ROBOT FOR TRANSPORTING SUBSTRATE}

도 1은 액정표시소자의 구조를 나타내는 간략 단면도.1 is a simplified cross-sectional view showing the structure of a liquid crystal display element.

도 2는 기판운반용 로보트를 나타내는 도면.2 is a view showing a substrate transport robot.

도 3a는 종래 기판운반용 로보트의 핸드에 설치되는 고정부의 가이드핀과 부시를 나타내는 도면.Figure 3a is a view showing the guide pin and the bush of the fixing portion installed in the hand of the conventional substrate transport robot.

도 3b는 가이드핀과 부시가 결합된 것을 나타내는 도면.Figure 3b is a view showing the coupling of the guide pin and the bush.

도 4a는 본 발명에 따른 기판운반용 로보트의 핸드에 설치되는 고정부의 가이드핀과 부시를 나타내는 도면.Figure 4a is a view showing the guide pin and the bush of the fixing portion installed on the hand of the robot for substrate transport according to the present invention.

도 4a는 가이드핀과 부시가 결합된 것을 나타내는 도면.Figure 4a is a view showing that the guide pin and the bush is coupled.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on main parts of drawing

114 : 로보트 핸드 116 : 고정부114: robot hand 116: fixed part

126 : 가이드핀 126 : 가이드핀 본체126: guide pin 126: guide pin body

127 : 공간 136 : 부시127: space 136: bush

137 : 부시 본체 138a,138b : 나사공137: bush body 138a, 138b: screw hole

140a,140b : 나사140a, 140b: screw

본 발명은 액정표시소자의 기판운반용 로보트(robot)에 관한 것으로, 특히, 기판을 고정시키는 가이드핀과 부시를 별개로 로보트핸드에 고정시킴으로서 가이드핀의 신속한 교체가 가능한 기판운반용 로보트에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a robot for transporting a substrate of a liquid crystal display device. More particularly, the present invention relates to a substrate transport robot capable of quickly replacing guide pins by separately fixing a guide pin and a bush to a robot hand.

근래, 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 현재에는 액정표시소자(LCD)가 각광을 받고 있다.Recently, with the development of various portable electronic devices such as mobile phones, PDAs, and notebook computers, there is a growing demand for flat panel display devices for light and thin applications. Such flat panel displays are being actively researched, such as LCD (Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel), FED (Field Emission Display), VFD (Vacuum Fluorescent Display), but mass production technology, ease of driving means, Liquid crystal display devices (LCDs) are in the spotlight for reasons of implementation.

도 1은 일반적인 액정표시소자의 단면을 개략적으로 나타낸 것이다. 도면에 도시한 바와 같이, 액정표시소자(1)는 하부기판(5)과 상부기판(3) 및 상기 하부기판(5)과 상부기판(3) 사이에 형성된 액정층(7)으로 구성되어 있다. 1 schematically illustrates a cross section of a general liquid crystal display device. As shown in the figure, the liquid crystal display device 1 is composed of a lower substrate 5 and an upper substrate 3 and a liquid crystal layer 7 formed between the lower substrate 5 and the upper substrate 3. .

하부기판(5)은 구동소자 어레이(Array)기판으로써, 도면에 상세하게 도시하지 않았지만, 상기 하부기판(5)에는 복수의 화소가 형성되어 있으며, 각각의 화소에는 박막트랜지스터(thin film transistor)와 같은 구동소자가 형성되어 있다. The lower substrate 5 is a driving element array substrate. Although not shown in detail in the drawing, a plurality of pixels are formed on the lower substrate 5, and each pixel includes a thin film transistor and a thin film transistor. The same drive element is formed.

상부기판(3)은 칼라필터(color filter)기판으로써, 실제 칼라를 구현하기 위한 칼라필터층이 형성되어 있다. 또한, 상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)에는 각각 화소전극 및 공통전극이 형성되어 있으며 액정층(7)의 액정분자를 배향하기 위한 배향막이 도포되어 있다.The upper substrate 3 is a color filter substrate, and a color filter layer for realizing color is formed. In addition, a pixel electrode and a common electrode are formed on the lower substrate 5 and the upper substrate 3, respectively, and an alignment film for aligning liquid crystal molecules of the liquid crystal layer 7 is coated.

그리고, 상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)은 실링재(sealing material)(9)에 의해 합착되어 있으며, 그 사이에 액정층(7)이 형성되어 상기 하부기판(5)에 형성된 구동소자에 의해 액정분자를 구동하여 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다.The lower substrate 5 and the upper substrate 3 are bonded by a sealing material 9, and a liquid crystal layer 7 is formed therebetween to form a driving element formed on the lower substrate 5. By driving the liquid crystal molecules by controlling the amount of light passing through the liquid crystal layer to display the information.

상기와 같은 액정표시소자는 유리와 같은 투명한 기판 위에 사진식각공정 등과 같은 다수의 공정을 통해 제작되며, 한 공정이 종료된 기판은 카세트에 적재된 후 작업자 또는 자동운반장치(automatic guided vehicle) 등과 같은 운반수단에 의해서 다음의 공정장비로 운반된다. 그리고, 운반된 기판은 로딩로보트에 의해 카세트로부터 수납 및 취출된다. 이 취출된 기판이 기판운반용 로보트에 의해 다음의 공정장비로 이송된 후 다음의 공정이 진행되는 것이다.The liquid crystal display device as described above is fabricated through a number of processes such as a photolithography process on a transparent substrate such as glass, the substrate is finished after being loaded into a cassette, such as an operator or automatic guided vehicle It is conveyed to the next process equipment by the conveying means. Then, the transported substrate is stored and taken out from the cassette by the loading robot. The extracted substrate is transferred to the next process equipment by the substrate transport robot, and then the next process is performed.

도 2는 기판을 운반하는 기판운반용 로보트의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.2 is a view schematically showing a structure of a substrate transport robot for transporting a substrate.

도면에 도시된 바와 같이, 기판운반용 로보트(10)는 기판(3)이 놓이는 복수의 핸드(14)와 상기 핸드(14)를 고정시키는 핸드고정부(12)로 구성되며, 핸드(14)에는 복수의 고정부재(16)가 설치된다. 기판(3)이 핸드(14)에 놓이는 경우 상기 고정부재(16)는 기판(3)과의 측면과 접촉하여, 기판(3)이 핸드(14) 위에서 움직이는 것을 방지한다. 즉, 상기 고정부재(16)에 의해 기판(3)이 핸드(14)에 고정되는 것이다.As shown in the figure, the substrate transport robot 10 is composed of a plurality of hands 14, on which the substrate 3 is placed, and a hand fixing part 12 for fixing the hands 14, and in the hand 14 A plurality of fixing members 16 are installed. When the substrate 3 is placed on the hand 14, the fixing member 16 is in contact with the side surface of the substrate 3 to prevent the substrate 3 from moving on the hand 14. That is, the substrate 3 is fixed to the hand 14 by the fixing member 16.

도 3a에 도시된 바와 같이, 고정부재(16)는 기판(3)의 측면과 직접 접촉하여 기판을 고정시키는 가이드핀(26)과 상기 가이드핀(26)을 로보트(10)의 핸드(14)에 결합시키는 부시(bush;36)로 구성된다. 상기 가이드핀(26)은 본체(27)와 상기 부시(36)가 수납되는 공간(28)으로 구성되어 있으며, 상기 부시(36)는 가이드핀(26)을 로보트(10)의 핸드(14)에 설치하기 위한 것으로, 본체(37)와 나사가 삽입되는 나사공(38)으로 이루어진다.As shown in Figure 3a, the fixing member 16 is in direct contact with the side of the substrate 3, the guide pin 26 for fixing the substrate and the guide pin 26 to the hand 14 of the robot 10 It is composed of a bush (36) for coupling to. The guide pin 26 is composed of a body 28 and a space 28 for receiving the bush 36, the bush 36 is the guide pin 26 to the hand 14 of the robot 10 To be installed in, the main body 37 and the screw hole 38 is inserted into the screw.

도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 부시(36)는 가이드핀(26)의 공간(28)에 삽입되고, 상기 부시(36)의 나사공(36)에는 나사(40)가 삽입되어 가이드핀(26)과 부시(36) 및 로보트의 핸드(14)를 일체로 고정시킨다. 이때, 나사(40)와 가이드핀(26)의 본체(27) 사이에는 와셔(washer;42)가 구비된다.As shown in FIG. 3B, the bush 36 is inserted into the space 28 of the guide pin 26, and the screw 40 is inserted into the screw hole 36 of the bush 36 so that the guide pin ( 26 and the bush 36 and the hand 14 of the robot are fixed integrally. At this time, a washer 42 is provided between the screw 40 and the main body 27 of the guide pin 26.

한편, 가이드핀(26)은 기판(3)의 운송이 반복됨에 따라 기판(3)의 측면과의 접촉이 반복되고, 그 결과 기판(3)의 측면과 접촉하는 가이드핀(26)이 마모된다. 따라서, 기판(3)을 안정적으로 고정시키기 위해서는 일정 시간이 경과함에 따라 마모된 가이드핀(26)을 교체해야만 한다.On the other hand, the guide pins 26 are repeatedly contacted with the side surface of the substrate 3 as the transport of the substrate 3 is repeated, and as a result, the guide pins 26 in contact with the side surfaces of the substrate 3 wear out. . Therefore, in order to stably fix the substrate 3, the worn guide pin 26 must be replaced after a predetermined time.

그러나, 상기한 구조의 종래 로보트(10)의 경우 가이드핀(26)과 부시(36)가 일체로 로보트(10)의 핸드(14)에 결합되기 때문에, 가이드핀(26)을 교체하기 위해서는 가이드핀(26)과 부시(36)를 분해한 후 교체해야만 한다. 따라서, 가이드핀(26)의 교체에 시간이 소모될 뿐만 아니라 교체후 가이드핀(26)과 기판(3)의 간격과 로보트(10)의 반송좌표를 수정해야만 하는 번거로움이 있었다. However, in the case of the conventional robot 10 having the above-described structure, since the guide pin 26 and the bush 36 are integrally coupled to the hand 14 of the robot 10, the guide pin 26 is replaced in order to replace the guide pin 26. Pin 26 and bush 36 must be disassembled and replaced. Therefore, the replacement of the guide pin 26 is not only time-consuming, but there is a hassle to correct the interval between the guide pin 26 and the substrate 3 and the return coordinates of the robot 10 after the replacement.

본 발명은 상기한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 로보트의 핸드와 부시, 부시와 가이드핀을 별개로 결합함으로써 가이드핀의 신속한 교체가 가능한 기판운반용 로보트를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of the above-described object, and an object of the present invention is to provide a robot for substrate transport which can be quickly replaced with a guide pin by combining the hand and the bush, the bush and the guide pin separately.

본 발명의 다른 목적은 부시를 로보트의 핸드로부터 분리할 필요없이 부시로부터 가이드핀만을 분해하여 교체함으로써 가이드핀의 교체 후 좌표의 수정이 필요없는 기판운반용 로보트를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a robot for transporting a substrate that does not require modification of the coordinates after replacing the guide pin by disassembling and replacing only the guide pin from the bush without having to remove the bush from the hand of the robot.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 기판운반용 로보트는 본체와, 상기 본체에 설치되어 기판이 놓이는 복수의 핸드와, 상기 핸드에 설치되는 복수의 부시와, 상기 부시와 결합됨에 따라 핸드에 설치되어 핸드에 놓이는 기판을 고정시키는 가이드핀으로 구성된다. In order to achieve the above object, a robot for transporting a substrate according to the present invention includes a main body, a plurality of hands installed on the main body, on which the substrate is placed, a plurality of bushes installed on the hand, and a hand as the bush is coupled to the hand. It is composed of guide pins installed to fix the substrate placed on the hand.

상기 부시는 제1나사의 나사결합에 의해 핸드에 설치되고 가이드핀은 제2나사의 나사결합에 의해 부시에 결합되므로, 가이드핀의 교체는 가이드핀을 부시로부터 분해한 후 새로운 가이드핀을 결합시킴으로써 이루어진다.Since the bush is installed in the hand by screwing the first screw and the guide pin is coupled to the bush by screwing the second screw, the replacement of the guide pin is by disassembling the guide pin from the bush and joining a new guide pin. Is done.

본 발명에서는 로보트의 핸드와 부시, 부시와 가이드핀을 별개로 결합한다. 따라서, 가이드핀을 교체하는 경우 부시를 로보트의 핸드로부터 분리할 필요없이 부시로부터 가이드핀만을 분해하여 교체하면 된다. 따라서, 신속한 가이드핀의 교체가 가능할 뿐만 아니라, 부시가 핸드에 계속 설치되어 있으므로 기판의 운반좌표를 수정해야만 하는 번거로움을 없앨 수 있게 된다.In the present invention, the hand and bush of the robot, the bush and the guide pin are combined separately. Therefore, in the case of replacing the guide pin, it is necessary to disassemble and replace only the guide pin from the bush without removing the bush from the hand of the robot. Therefore, not only can the guide pin be replaced quickly, but the bush is still installed in the hand, thereby eliminating the need to modify the transport coordinates of the substrate.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판운판용 로보트에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail for the robot for substrate transport according to the present invention.                     

도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 기판운반용 로보트의 고정부(116)를 나타내는 도면으로, 도 4a는 가이드핀(126)과 부시(136)가 분리된 구조를 나타내는 도면이고 도 4b는 가이드핀(126)과 부시(136)가 결합된 것을 나타내는 도면이다.4A and 4B are views showing the fixing part 116 of the robot for transporting the substrate according to the present invention. FIG. 4A is a view showing a structure in which the guide pin 126 and the bush 136 are separated, and FIG. 4B is a guide pin. 126 and bush 136 are shown to be combined.

실질적으로 본 발명에 따른 기판운반용 로보트의 전체적인 구조는 도 1에 도시된 종래 기판운반용 로보트의 구조와 유사하다. 다만, 본 발명에서는 종래 기판운반용 로보트와는 달리 기판을 고정시키는 고정부의 구조가 다르다. 따라서, 기판운반용 로보트의 구체적인 구조에 대해서는 그 설명을 생략하고 본 발명의 특징인 고정부에 대해서만 설명한다.Substantially, the overall structure of the substrate transport robot according to the present invention is similar to that of the conventional substrate transport robot shown in FIG. 1. However, in the present invention, unlike the conventional substrate transport robot, the structure of the fixing portion for fixing the substrate is different. Therefore, the specific structure of the board | substrate carrying robot is abbreviate | omitted and only the fixed part which is a characteristic of this invention is demonstrated.

도 4a에 도시된 바와 같이, 공정장비를 기판을 운반하는 로보트의 핸드에 설치되어 기판을 고정시키는 고정부(116)는 기판의 측면과 직접 접촉하여 기판을 고정시키는 복수의 가이드핀(126)과 상기 가이드핀(126)에 삽입되어 가이드핀(126)을 로보트의 핸드에 결합시키는 복수의 부시(136)로 구성된다.As shown in FIG. 4A, the fixing unit 116 installed in the hand of the robot carrying the process equipment to fix the substrate includes a plurality of guide pins 126 that directly contact the side surfaces of the substrate to fix the substrate. It is inserted into the guide pin 126 is composed of a plurality of bushes 136 to couple the guide pin 126 to the hand of the robot.

가이드핀(126)은 기판의 측면과 접촉하여 기판을 고정시키는 본체(127)와 부시(128)가 삽입되는 공간(128)으로 구성되어 있다. 또한, 부시(136)는 가이드핀(126)의 공간(128)으로 삽입되는 본체(137)와 상기 본체(137)에 형성된 제1나사공(138a) 및 제2나사공(138b)으로 이루어진다. 이때, 제1나사공(138a)은 부시(136)의 본체(137)를 관통하지 않는 반면에, 제2나사공(138b)은 본체(137)를 관통한다.The guide pin 126 includes a main body 127 for contacting the side surface of the substrate to fix the substrate and a space 128 into which the bush 128 is inserted. In addition, the bush 136 includes a main body 137 inserted into the space 128 of the guide pin 126 and a first screw hole 138a and a second screw hole 138b formed in the main body 137. In this case, the first screw hole 138a does not penetrate the main body 137 of the bush 136, while the second screw hole 138b penetrates the main body 137.

도 4b에 도시된 바와 같이, 부시(136)는 가이드핀(126)의 공간(128)에 삽입되며, 부시(136)의 제1나사공(138a) 및 제2나사공(138b)에는 제1나사(140a) 및 제2 나사(140b)가 삽입되어 나사 결합되어 있다. 이때, 제1나사(140a)는 와셔(142)를 통해 부시(136)를 가이드핀(126)의 본체와 결합시키고 제2나사(140b)는 핸드(114)까지 형성된 제2나사공(138b)을 통해 부시(136)를 로보트의 핸드(114)와 결합시킨다.As shown in FIG. 4B, the bush 136 is inserted into the space 128 of the guide pin 126, and the first screw hole 138a and the second screw hole 138b of the bush 136 are firstly inserted into the space 128. The screw 140a and the second screw 140b are inserted and screwed together. At this time, the first screw 140a couples the bush 136 to the main body of the guide pin 126 through the washer 142, and the second screw 140b is the second screw hole 138b formed up to the hand 114. Through the bush 136 is coupled to the hand 114 of the robot.

이와 같이, 본 발명에서는 제1나사(140a) 및 제1나사공(138a)에 의해 가이드핀(126)과 부시(136)가 결합하고 제2나사(140a) 및 제2나사공(138b)에 의해 부시(136)와 로보트의 핸드(114)를 결합한다. 다시 말해서, 가이드핀(126)은 직접 로보트의 핸드(114)에 결합되는 것이 아니라 부시(136)를 통해 핸드(114)에 결합되는 것이다.As such, in the present invention, the guide pin 126 and the bush 136 are coupled to each other by the first screw 140a and the first screw hole 138a, and the second screw 140a and the second screw hole 138b. By coupling the bush 136 and the hand 114 of the robot. In other words, the guide pin 126 is coupled to the hand 114 through the bush 136 rather than directly to the hand 114 of the robot.

따라서, 기판과 접촉하여 가이드핀(126)에 마모가 발생하는 경우, 가이드핀(126)을 핸드(114)로부터 분리할 필요없이 제1나사(140a)의 나사결합을 해체하여(즉, 가이드핀(126)과 부시(136)를 분해하여) 가이드핀(126)을 단순히 부시(136)로부터 분해하면 되므로, 가이드핀(126)을 신속하게 교체할 수 있게 된다.Therefore, when abrasion occurs in the guide pin 126 in contact with the substrate, the screw thread of the first screw 140a is dismantled (that is, the guide pin does not need to be removed from the hand 114). Since the guide pin 126 is simply disassembled from the bush 136 by disassembling the 126 and the bush 136, the guide pin 126 can be quickly replaced.

한편, 가이드핀(126)의 교체시, 부시(136)는 제2나사(140b)의 나사결합에 의해 로보트의 핸드(114)에 계속 부착되어 있다. 새로운 가이드핀(126)을 설치하는 경우에는 핸드(114)에 계속 부착되어 있는 부시(136)에 새로운 가이드핀(126)을 제1나사(140a)에 의해 결합시키면 된다. 이것은 가이드핀(126)의 교체 전후의 위치가 동일하다는 것을 의미한다. 따라서, 가이드핀과 기판의 간격을 새로이 조정하거나 좌표를 수정할 필요가 없게 된다.On the other hand, when the guide pin 126 is replaced, the bush 136 is still attached to the hand 114 of the robot by screwing the second screw 140b. When the new guide pin 126 is installed, the new guide pin 126 may be coupled to the bush 136 continuously attached to the hand 114 by the first screw 140a. This means that the position before and after replacement of the guide pin 126 is the same. Therefore, there is no need to newly adjust the distance between the guide pin and the substrate or to modify the coordinates.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 가이드핀을 부시에 결합시키고 부시를 로보트의 핸드에 결합함으로써 가이드핀을 핸드에 설치한다. 따라서, 가이드핀의 교체시 가이드핀을 부시로부터 분리하면 되므로, 가이드핀의 교체가 신속하게 이루어지고 그 결과 공정지연을 방지할 수 있게 된다. 더욱이, 부시는 원래의 위치에 고정되어 있으므로, 가이드핀의 교체후에도 좌표의 수정을 할 필요가 없게 된다.As described above, in the present invention, the guide pin is coupled to the bush and the bush is coupled to the hand of the robot to install the guide pin on the hand. Therefore, when the guide pin is replaced by removing the guide pin from the bush, the replacement of the guide pin is made quickly and as a result can prevent the process delay. Furthermore, since the bush is fixed in its original position, there is no need to correct the coordinates even after replacing the guide pin.

Claims (6)

상기 본체에 설치되어 기판이 놓이는 복수의 핸드;A plurality of hands disposed on the main body and on which the substrate is placed; 상기 핸드에 설치되는 복수의 부시; 및A plurality of bushes installed in the hand; And 상기 부시와 결합됨에 따라 핸드에 설치되어 핸드에 놓이는 기판을 고정시키는 가이드핀으로 구성된 기판운반용 로보트.Robot coupled to the bush consisting of a guide pin which is installed on the hand to fix the substrate placed on the hand. 제1항에 있어서, 상기 부시는 제1나사의 나사결합에 의해 핸드에 설치되는 것을 특징으로 하는 로보트.The robot according to claim 1, wherein the bush is installed in the hand by screwing the first screw. 제1항에 있어서, 상기 가이드핀은 제2나사의 나사결합에 의해 부시에 결합되는 것을 특징으로 하는 로보트.The robot of claim 1, wherein the guide pin is coupled to the bush by screwing a second screw. 제1항에 있어서, 가이드핀의 교체는 가이드핀을 부시로부터 분해한 후 새로운 가이드핀을 결합시킴으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 로보트.The robot of claim 1, wherein the replacement of the guide pin is performed by disassembling the guide pin from the bush and joining the new guide pin. 제1항에 있어서, 상기 핸드를 고정시키는 핸드고정부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 로보트.The robot according to claim 1, further comprising a hand fixing part for fixing the hand. 상기 본체에 설치되어 기판이 놓이는 복수의 핸드; 및A plurality of hands disposed on the main body and on which the substrate is placed; And 상기 분리가능한 부시 및 가이드핀으로 구성되며, 가이드핀은 부시에 의해 핸드에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판운반용 로보트.Consists of the detachable bush and the guide pin, the guide pin is a robot for substrate transport, characterized in that installed in the hand by the bush.
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