KR20050116571A - Connecting apparatus for use in equipment for fabricating semiconductor devices - Google Patents

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KR20050116571A
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Abstract

본 발명은 반도체 소자 제조 설비에서의 공정 챔버와 유출입관을 연결하기 위한 연결 장치로서, 상기 유출입관의 관로보다 내경이 크고 일정 높이를 갖게 형성되는 환형 체결부를 가지며 상기 유출입관의 외경보다 크게 형성되어진 결합단부와, 상기 환형 체결부와 상응하게 형성되어 상기 환형 체결부가 삽입되기 위한 환형 홈을 가지며 상기 환형 홈의 중앙에 유출입홀을 갖는 이피디 플레이트와 상기 유출입관과 상기 이피디 플레이트를 결합하기 위한 고정부를 구비함을 특징으로 하는 연결 장치를 구비함을 특징으로 한다. 본 발명은 반도체 소자 제조 설비의 조립 작업의 편리함을 제공하고, 이피디 플레이트에 있는 암나사부의 마모로 인한 리크를 방지하고자 상기 이피디 플레이트를 교체해야 하는 경제적인 손실을 최소화 할 수 있다. The present invention is a connecting device for connecting the process chamber and the inlet and outlet pipe in the semiconductor device manufacturing equipment, the inner diameter is larger than the outlet of the inlet pipe has an annular fastening portion formed to have a certain height is formed larger than the outer diameter of the outlet pipe Effidi plate having an engaging end and corresponding to the annular fastening portion and having an annular groove for inserting the annular fastening portion and having an outlet hole in the center of the annular groove, And a connecting device, characterized in that it comprises a fixing part. The present invention provides the convenience of the assembly operation of the semiconductor device manufacturing equipment, it is possible to minimize the economic loss to replace the EPID plate in order to prevent leakage due to the wear of the female thread portion in the EPID plate.

Description

반도체 소자 제조 설비의 연결 장치{Connecting apparatus for use in equipment for fabricating semiconductor devices} Connecting apparatus for use in equipment for fabricating semiconductor devices

본 발명은 반도체 소자 제조 설비의 연결 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이피디 플레이트(EPD plate)와 유출입관의 연결 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a connection device of a semiconductor device manufacturing facility, and more particularly, to a connection device of an EPD plate and an outlet pipe.

일반적으로, 반도체 소자의 제조를 위하여 다양한 공정이 수행되어지는데, 이러한 다양한 공정들은 주로 공정 챔버(process chamber)내에서 이루어진다. 반도체 소자 제조 공정의 다수는 화학적인 작용을 이용하는 것이며, 이러한 화학적인 작용이 이루어질 때의 온도와 압력등은 가장 중요한 공정 조건이다. 압력조절을 위한 방법에는 여러 가지가 있으나, 주로 유입되는 기체 물질의 양과 배출되는 기체 물질의 양을 조절하는 것이고, 이를 위해서 외부의 유출입관에 연결되어진 압력 조절기, 유량 조절기등이 사용된다.In general, various processes are performed for fabricating semiconductor devices, and these various processes are mainly performed in a process chamber. Many of the semiconductor device manufacturing processes utilize chemical action, and the temperature and pressure when such chemical action is performed are the most important process conditions. There are many ways to control the pressure, but mainly to control the amount of gaseous material flowing in and the amount of gaseous material discharged, and for this purpose, a pressure regulator, a flow regulator, etc. connected to an external outlet pipe is used.

이와 같이, 정확한 공정 압력의 조절은 매우 중요하므로 중간 조절 밸브등을 통한 압력 조절이 매우 중요하고, 특히 유출입관과의 연결 부분에 있어서의 리크(leak) 방지에 유념하여야 한다.As such, precise control of the process pressure is very important, and therefore, pressure control through an intermediate control valve or the like is very important, and in particular, care must be taken to prevent leakage in the connection portion with the inlet and outlet pipe.

이하에서는 종래의 기술에 의한 공정 챔버와 유출입관과의 연결 장치가 첨부된 도면들을 참조하여 설명된다.Hereinafter, a connection apparatus between a process chamber and an outlet pipe according to the related art will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래의 기술에 따른 연결 장치의 분해 사시도이다.  1 is an exploded perspective view of a connection device according to the prior art.

상기 이피디 플레이트는 종말점 검출(end point detection)을 위한 장치가 설치되고, 유출입관과 연결되게 하는 공정 챔버의 한 면을 지칭하는 것이다.The EPID plate refers to one side of the process chamber in which an apparatus for end point detection is installed and connected to the outlet pipe.

도 1에는 결합단부(2), 이피디 플레이트(12), 고정부(16)가 나타나 있다.In FIG. 1, the coupling end 2, the EPID plate 12, and the fixing part 16 are illustrated.

상기 결합단부(2)는 환형 체결부(1), 결합단부홀(3), 제1체결홀(4)을 구비하고 있는데, 상기 환형 체결부(1)는 상기 결합단부(2)내에 장착되어지고, 내경과 외경을 가지는 환형으로 이루어져 있다. 상기 환형 체결부의 내경(8)은 유출입관의 내경(도 2의 7)보다 크고, 상기 환형 체결부(1)는 상기 이피디 플레이트(12)의 환형 홈(11)과 체결되어지는 부분이다. 상기 결합단부(2)는 상기 이피디 플레이트(12)와 결합되는 부분으로서, 유출입관(6)의 끝 부분에 연결되고 상기 유출입관(6)의 내경(도 2의 7)보다 크며, 상기 결합단부(2)내에는 상기 결합단부홀(3)과, 상기 체결유닛(5)이 관통하여 체결되기 위한 제1체결홀(4)이 위치하고 있다.The engaging end 2 has an annular fastening part 1, an engaging end hole 3, and a first fastening hole 4, the annular fastening part 1 being mounted in the engaging end part 2. It consists of a ring having an inner diameter and an outer diameter. The inner diameter 8 of the annular fastening part is larger than the inner diameter of the outflow pipe 7 (7 of FIG. 2), and the annular fastening part 1 is a part to be engaged with the annular groove 11 of the EPD plate 12. The coupling end 2 is a portion that is coupled to the EPD plate 12, is connected to the end of the inlet and outlet pipe 6 and larger than the inner diameter of the outlet (6) (7 in Fig. 2), the coupling In the end 2, the coupling end hole 3 and the first fastening hole 4 for fastening through the fastening unit 5 are located.

상기 결합단부홀(3)은 상기 유출입 홀(13)과 상응하게 결합하여, 공정 챔버의 압력 조절을 위한 물질이 흐르게 하기 위한 부분이다. 상기 결합단부홀(3)의 직경은 상기 유출입관(6)의 내경(도 2의 7)과 동일하게 구성되어져 있다. The coupling end hole 3 is a portion for mating with the outflow hole 13 so that a material for adjusting the pressure of the process chamber flows. The diameter of the said coupling end hole 3 is comprised similarly to the internal diameter (7 of FIG. 2) of the said inflow_out | flow_pipe 6. As shown in FIG.

상기 고정부(16)는 체결유닛(5), 제1체결홀(4), 제2체결홀(14)로 구성되어져 있다. The fixing portion 16 is composed of a fastening unit 5, a first fastening hole 4, and a second fastening hole 14.

상기 제1체결홀(4)은 상기 제2체결홀(14)과 함께, 상기 체결유닛(5)이 체결되기 위한 부분으로서, 상기 결합단부와 상기 이피디 플레이트홀의 결합을 고정시키는 역할을 한다. The first fastening hole 4 is a part for fastening the fastening unit 5 together with the second fastening hole 14, and serves to fix the coupling between the coupling end and the EPD plate hole.

상기 이피디 플레이트(12)는 상기 환형 체결부(1)가 삽입되기 위한 환형 홈(11), 상기 결합단부홀(3)에 상응하게 형성된 유출입홀(13), 상기 체결유닛(5)이 체결되기 위한 제2체결홀(14), 종말점 감지기의 근접 설치와 작업자의 육안 관찰을 위한 윈도우부(15)를 구비하고 있다.The EPDI plate 12 has an annular groove 11 through which the annular fastening portion 1 is inserted, an outflow hole 13 corresponding to the coupling end hole 3, and the fastening unit 5 fastening. The second fastening hole 14 is provided, and the window unit 15 is provided for the proximity installation of the end point detector and the human eye observation.

상기 환형 홈(11)의 내경(18)은 상기 환형 체결부(1)의 내경과 동일하게 구성되어져 있고, 상기 유출입 홀(13)의 직경(도 2의 17)은 상기 유출입관의 내경(7)과 동일하게 구성되어져 있다.The inner diameter 18 of the annular groove 11 is configured to be the same as the inner diameter of the annular fastening portion 1, the diameter of the outflow hole 13 (17 in Fig. 2) is the inner diameter (7) of the outflow pipe ) Is configured in the same way.

도 2는 종래의 기술에 따른 유출입관과 이피디 플레이트의 결합상태를 나타내는 단면도이다.Figure 2 is a cross-sectional view showing a coupling state of the inlet and outflow pipe according to the prior art plate.

도 2를 참조하면, 종래의 기술에 의한 공정 챔버와 유출입관이 연결되는 과정은 다음과 같이 설명된다.Referring to Figure 2, the process of connecting the process chamber and the outlet pipe according to the prior art will be described as follows.

먼저, 상기 결합단부(2)내에 형성된 환형 체결부(1)를 상기 이피디 플레이트(12)에 형성된 환형 홈(11)에, 상기 결합단부(2)가 상기 이피디 플레이트(12)에 닿을 때까지 밀착시킨다.First, when the annular fastening portion 1 formed in the engaging end portion 2 contacts the annular groove 11 formed in the EPID plate 12, and the engaging end portion 2 contacts the EPID plate 12. Close contact

그런 다음, 상기 제1체결홀(4)과 상기 이피디 플레이트(12)에 형성된 제2체결홀(14)이 일치되게 조정한 후, 상기 체결유닛(5)을 체결하여 상기 결합단부(2)와 상기 이피디 플레이트(12)의 결합을 고정한다.Then, the first fastening hole 4 and the second fastening hole 14 formed in the EPD plate 12 are adjusted to coincide with each other, and then the fastening unit 5 is fastened to the coupling end 2. Fix the combination of the EPID plate 12 with.

이와 같이 종래의 기술에 의한 공정 챔버와 유출입관의 연결 장치에 의하면, 연결 과정에서 유출입관의 끝에 연결된 결합단부와 이피디 플레이트를 밀착시켜, 상기 결합단부의 전(all) 면과 이피디 플레이트의 면이 닿도록 조절하고, 상기 제1체결홀과 상기 제2체결홀이 상응되게 조절한 후, 상기 체결유닛을 결합하여야 하는데, 이러한 작업의 어려움이 있다.As described above, according to the connection device of the process chamber and the inlet and outlet pipe according to the related art, the coupling end and the IPP plate connected to the end of the outlet and the inlet pipe are brought into close contact with each other in the connecting process, thereby After the surface is adjusted to reach, and the first fastening hole and the second fastening hole correspondingly adjusted, the fastening unit should be coupled, there is a difficulty in this operation.

또한, 상기 결합단부의 면과 이피디 플레이트의 면을 모두 일치시키지 않은 상태에서 체결유닛을 결합하는 경우에는 고정부의 나사산이 파손될 우려가 있다. 이러한 나사산의 마모로 인하여, 상기 유출입관과 상기 이피디 플레이트의 결합이 느슨해져, 상기 유출입관이 유동하게 되고, 결과적으로 공정 챔버의 리크가 빈번히 발생하는 문제점이 있다.In addition, when the coupling unit is coupled in a state where the surface of the coupling end portion and the surface of the EPID plate do not coincide with each other, there is a possibility that the thread of the fixing portion may be broken. Due to the wear of the thread, there is a problem that the coupling of the outflow pipe and the EPID plate is loose, the outflow pipe flows, and as a result, leakage of the process chamber occurs frequently.

또한, 상기의 리크를 방지하기 위해 상기 이피디 플레이트를 교체해야 하므로, 경제적인 손실을 초래하는 문제점이 있다. In addition, since the EPID plate needs to be replaced to prevent the leakage, there is a problem of causing an economic loss.

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 반도체 소자 제조 설비의 조립 작업시 고정부의 파손에 의한 리크 발생의 문제점을 해결할 수 있는 반도체 소자 제조 설비의 연결장치를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a connection device of a semiconductor device manufacturing facility that can solve the problem of leakage caused by the breakage of the fixing portion during the assembly operation of the semiconductor device manufacturing facility.

본 발명의 다른 목적은 반도체 소자 제조 설비의 조립 작업의 편리함을 제공하는 반도체 소자 제조 설비의 연결장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a connection device of a semiconductor device manufacturing facility that provides the convenience of assembly work of the semiconductor device manufacturing facility.

본 발명의 또 다른 목적은 이피디 플레이트에 있는 고정부의 일부분의 마모로 인한 리크를 방지하고자 상기 이피디 플레이트를 교체해야 하는 경제적인 손실을 줄일 수 있는 반도체 소자 제조 설비의 연결장치를 제공함에 있다.It is still another object of the present invention to provide a connection device of a semiconductor device manufacturing facility which can reduce the economic loss of replacing the EPID plate in order to prevent leakage due to wear of a part of the fixing part of the EPID plate. .

상기의 목적들을 달성하기 위하여 본 발명은, 반도체 소자 제조 설비에서의 공정 챔버와 유출입관을 연결하기 위한 연결 장치에 있어서, 상기 유출입관의 관로보다 내경이 크고 일정 높이를 갖게 형성되는 환형 체결부를 가지며 상기 유출입관의 외경보다 크게 형성되어진 결합단부와, 상기 환형 체결부가 삽입되기 위한 환형 홈을 가지며 상기 환형 홈의 중앙에 유출입홀을 갖는 이피디 플레이트와, 상기 유출입관과 상기 이피디 플레이트를 결합하기 위한 고정부를 구비함을 특징으로 하는 연결 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention, in the connecting device for connecting the process chamber and the inlet and outlet pipe in the semiconductor device manufacturing facility, has an annular fastening portion formed to have a larger inner diameter and a predetermined height than the outlet of the outlet pipe Combining the EIPDI plate having a coupling end formed larger than the outer diameter of the outflow pipe, an annular groove for inserting the annular fastening portion and having an inflow hole in the center of the annular groove, the outflow pipe and the EPDI plate It provides a connection device characterized in that it has a fixing for.

나아가, 상기 환형 체결부의 높이는 상기 이피디 플레이트의 두께보다 작고, 상기 환형 체결부의 상기 이피디 플레이트측 끝부분은 볼록하고 둥근형태로 이루어지는 것이 바람직하고, 상기 환형 홈은 상기 환형 체결부의 끝부분에 상응하게 오목하고 둥근 형태로 이루어지는 것이 바람직하다.Furthermore, the height of the annular fastening portion is smaller than the thickness of the EPID plate, the EPID plate side end portion of the annular fastening portion is preferably convex and rounded, the annular groove corresponding to the end of the annular fastening portion It is preferably made of concave and round shape.

나아가, 유출입홀은 직경이 상기 유출입관의 관로의 직경과 동일한 것이 바람직하다. Furthermore, it is preferable that the inflow hole has the same diameter as the diameter of the conduit of the outflow pipe.

이하 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다양한 실시예에서의 설명들은 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가지는 자에게 본 발명의 보다 철저한 이해를 돕기 위한 의도 이외에는 다른 의도없이 예를 들어 도시되고 한정된 것에 불과하므로, 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 사용되어서는 아니 될 것이다. 또한, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이며, 도면상에서 동일한 부호로 표시된 요소는 동일한 요소를 의미한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The descriptions in the various embodiments are only shown and limited by way of example and without intention other than the intention to help those of ordinary skill in the art to more thoroughly understand the present invention, and thus the scope of the present invention. It should not be used as a limitation. In addition, the shape of the element etc. in the figure is exaggerated in order to emphasize clearer description, and the element shown with the same code | symbol in the figure means the same element.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 연결 장치의 분해 사시도이다. 3 is an exploded perspective view of a connection device according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 연결 장치는 결합단부(102), 이피디 플레이트(112), 고정부(116)로 구성되어져 있다.Referring to Figure 3, the connection device according to an embodiment of the present invention is composed of a coupling end 102, EPD plate 112, the fixing portion 116.

상기 결합단부(102)는 유출입관(106)의 끝 부분에 연결되어져 있고, 내부에는 상기 유출입관(106)의 관로에 상응하게 형성된 결합단부홀(103)과, 제1체결홀(104)을 포함하고 있다.The coupling end 102 is connected to the end of the inlet and outlet pipe 106, and the coupling end hole 103 and the first fastening hole 104 formed correspondingly to the conduit of the outlet and inlet pipe 106. It is included.

상기 결합단부홀(103)은 상기 유출입관(106)의 관로와 유출입홀(113)이 서로 관통하게 하는 역할을 한다. 상기 결합단부홀(103)의 직경은 상기 유출입관(106)의 내경(도 4의 107)과 동일하게 구성되는 것이 바람직하다.The coupling end hole 103 serves to allow the pipe of the outflow pipe 106 and the outflow hole 113 to penetrate each other. The diameter of the coupling end hole 103 is preferably configured to be the same as the inner diameter (107 of Fig. 4) of the outflow pipe 106.

상기 제1체결홀(104)은 체결유닛(105)이 체결되어 유출입관(106)과 상기 이피디 플레이트(112)의 연결이 고정되게 한다.The first fastening hole 104 is a fastening unit 105 is fastened so that the connection of the outflow pipe 106 and the EPD plate 112 is fixed.

상기 유출입관(106)은 유량 조절기, 압력 조절기 등의 압력 조절을 위한 장치와 상기 공정 챔버를 연결하는 부분으로서, 상기 유출입관(106)의 관로를 통해서 압력조절용 물질이 상기 공정 챔버로 유입되고 배출되게 함으로써, 상기 공정 챔버의 압력이 조절된다.The inlet and outlet pipe 106 is a portion that connects a device for pressure control such as a flow regulator, a pressure regulator and the process chamber, the pressure regulating material is introduced into the process chamber through the pipe of the outlet pipe 106 and discharged In this way, the pressure in the process chamber is controlled.

상기 고정부(116)는 체결유닛(105), 제1체결홀(104), 제2체결홀(114)로 구성되어진다.The fixing part 116 is composed of a fastening unit 105, a first fastening hole 104, a second fastening hole 114.

상기 체결 유닛(105)은 상기 이피디 플레이트(112)와 상기 결합단부(102)를 고정하기 위한 것으로서, 상기 제1체결홀(104)과 제2체결홀(114)의 홀이 일치된 상태에서 상기 제1체결홀(104)을 관통하여 체결되고, 또한 이와 동시에 제2체결홀(114)에 체결된다. 상기 체결유닛(105)은 상기 유출입관(106)과 상기 이피디 플레이트(112)가 연결 후에, 상기 유출입관(106)가 상하좌우로 유동되는 것을 방지하여, 상기 연결이 견고해지게 하는 역할을 한다.The fastening unit 105 is for fixing the EPID plate 112 and the coupling end portion 102 in a state where the holes of the first fastening hole 104 and the second fastening hole 114 are coincident with each other. It is fastened through the first fastening hole 104 and at the same time is fastened to the second fastening hole 114. The fastening unit 105 prevents the outflow pipe 106 from flowing up, down, left, and right after the outlet pipe 106 and the EPD plate 112 are connected, and serves to secure the connection. do.

상기 환형 체결부(101)는 상기 결합단부(102)에 장착되어지고, 내경과 외경을 갖는 환형으로 이루어져 있으며, 내경(108)은 상기 유출입관의 직경(107)보다 크게 구성되어져 있다. 상기 이피디 플레이트(112)와 마주하는 상기 결합단부(102)의 면으로부터 상기 환형 체결부(101)의 최고점까지의 높이, 즉 돌출된 부위의 길이는 상기 이피디 플레이트(112)의 두께보다 작게 구성되어지는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 만일 상기 환형 체결부(101)의 돌출 부분이 상기 이피디 플레이트(112)보다 더 길게 형성된다면, 상기 이피디 플레이트(112)의 환형 홈(111)도 그에 상응하게 형성되어져야 할 것이고, 그렇게 된다면 공정챔버의 리크가 생기게 될 가능성이 증가하기 때문이다. The annular fastening portion 101 is mounted to the coupling end portion 102, and consists of an annular shape having an inner diameter and an outer diameter, and the inner diameter 108 is configured to be larger than the diameter 107 of the outflow pipe. The height from the surface of the coupling end portion 102 facing the EPID plate 112 to the highest point of the annular fastening portion 101, that is, the length of the protruding portion is smaller than the thickness of the EPID plate 112. It is desirable to be configured. Because, if the protruding portion of the annular fastening portion 101 is formed longer than the EPID plate 112, the annular groove 111 of the EPID plate 112 should also be formed correspondingly, This increases the likelihood of leaking process chambers.

상기 환형 체결부(101)의 상기 이피디 플레이트측 끝부분은 평면형, 또는 볼록하게 둥근형 등으로 다양하게 구성될 수 있다. 다만, 상기 유출입관(106)을 상기 이피디 플레이트(112)에 연결할 때, 상기 환형 체결부(101)의 끝부분이 모서리를 가진 형태라면, 상기 이피디 플레이트(112)가 상기 환형 체결부(101)에 의해 손상을 입을 수 있는 점을 고려한다면, 상기 환형 체결부(101)의 끝단은 볼록하게 둥근형으로 구성됨이 바람직하다 할 것이다. The EPD plate-side end of the annular fastening portion 101 may be configured in various ways such as flat, convexly round. However, when connecting the outflow pipe 106 to the EPD plate 112, if the end portion of the annular fastening portion 101 has a corner shape, the EPDI plate 112 is the annular fastening portion ( Considering that it may be damaged by the 101, it will be preferable that the end of the annular fastening portion 101 is configured to be convexly rounded.

상기 환형 체결부(101)의 다른 한쪽 부분, 즉 상기 결합단부(102)의 내부로 삽입된 부분은 상기 결합단부(102)에 단단하게 장착되도록 구성되어져야 한다. 상기 결합단부(102)로부터 분리 가능한 형태, 또는 상기 접촉부(102)와 일체형등으로 다양하게 변형될 수 있다 하겠다. 상기 결합단부(102)로부터 분리 가능한 형태인 경우에, 끝 부분은 평면형 또는 둥근형등으로 다양하게 변형될 수 있다. The other part of the annular fastening part 101, that is, the part inserted into the coupling end part 102, should be configured to be firmly mounted to the coupling end part 102. It can be variously modified in a form that can be separated from the coupling end 102, or integral with the contact portion 102. In the case of detachable form from the coupling end 102, the end portion may be variously modified in a flat or round shape.

상기 이피디 플레이트(112)는 환형 홈(111), 유출입홀(113), 제2체결홀(114), 윈도우부(115)를 구비하고 있다.The EPD plate 112 includes an annular groove 111, an outflow hole 113, a second fastening hole 114, and a window portion 115.

상기 환형 홈(111)은 상기 환형 체결부(101)가 삽입되기 위한 것으로서, 상기 환형 홈(111)의 단면은 상기 환형 체결부(101)의 단면과 상응하도록 구성되어져야 한다. 또한, 결합시 상기 환형 체결부(101)의 끝부분이 닿는 부위, 즉 상기 환형 홈(111)의 내부의 끝부분도 상기 환형 체결부(101)와 상응하게 구성되어지는 것이 바람직하다. The annular groove 111 is to be inserted into the annular fastening portion 101, the cross section of the annular groove 111 should be configured to correspond to the cross section of the annular fastening portion 101. In addition, it is preferable that the end portion of the inner part of the annular groove 111 that the end portion of the annular fastening portion 101 touches when being coupled is configured to correspond to the annular fastening portion 101.

예를 들면, 상기 환형 체결부(101)의 끝부분이 평면형이라면, 상기 환형 홈(111) 내부의 끝부분도 평면형이 바람직하고, 상기 환형 체결부(101)의 끝부분이 볼록하게 둥근형이라면, 이에 상응하게 상기 환형 홈(111) 내부의 끝부분은 오목하게 둥근형이 바람직하다. 이는 상기 이피디 플레이트(112)와 유출입관(106)과의 정교한 연결을 도모하고 리크를 최소화하기 위함이다.For example, if the end portion of the annular fastening portion 101 is flat, the end portion inside the annular groove 111 is also preferably flat, and if the end portion of the annular fastening portion 101 is convexly rounded, Correspondingly, the end portion inside the annular groove 111 is preferably concavely rounded. This is to minimize the leakage and to facilitate the precise connection between the EIPDI plate 112 and the outlet pipe 106.

상기 유출입홀(113)은 상기 유출입관(106)과 상기 공정 챔버사이에 압력 조절을 위한 물질이 유입 또는 유출될 수 있도록 하기 위한 것으로서, 상기 결합단부 홀(103)과 상기 유출입관(106)의 관로와 서로 상응하게 형성되어져 있다. The inflow and outflow hole 113 is for allowing a material for pressure control to flow in or out between the inflow and outflow pipe 106 and the process chamber, and the coupling end hole 103 and the outflow and inflow pipe 106 are formed. It is formed to correspond to the pipeline.

상기 유출입홀(113)의 직경(도 4의 117)은 상기 유출입관의 내경(107)과 일치하게 구성되는 것이 바람직하다. It is preferable that the diameter (117 of FIG. 4) of the outflow hole 113 is configured to match the inner diameter 107 of the outflow pipe.

상기 제2체결홀(114)은 상기 체결유닛(105)이 상기 제1체결홀(104)을 관통하여 상기 이피디 플레이트(112)에 체결되게 하기 위한 것이다. 상기 제2체결홀(114)은 상기 제1체결홀(104)과 상응하게 형성되어져 있다. The second fastening hole 114 is to allow the fastening unit 105 to be fastened to the EPD plate 112 by passing through the first fastening hole 104. The second fastening hole 114 is formed to correspond to the first fastening hole 104.

상기 윈도우부(115)는 종말점 검출기가 근접 설치되고, 작업자가 공정 챔버내의 공정 진행 상황을 육안으로 관찰할 수 있게 하기 위한 부분이다. 이는 종말점 검출기에 의한 감지와 작업자등의 육안에 의한 감지를 병행하여 상기 공정의 종료점을 정확히 감지하기 위함이다.The window unit 115 is a portion for which an end point detector is installed in close proximity, and allows an operator to visually observe a process progress in a process chamber. This is to accurately detect the end point of the process in parallel with the detection by the end point detector and the human eye.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 유출입관과 이피디 플레이트의 결합상태를 나타내는 단면도이다.Figure 4 is a cross-sectional view showing a coupling state of the inlet and outflow pipe in accordance with an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 유출입관(106)의 끝 부분에 연결되어져 있는 결합단부(102), 상기 결합단부(102)에 장착된 환형 체결부(101), 상기 환형 체결부(101)가 상기 이피디 플레이트(112)의 환형 홈(111)에 삽입된 상태, 그리고 상기 체결유닛(105)가 상기 제1체결홀, 상기 제2체결홀에 체결된 상태가 보여진다.Referring to Figure 4, the coupling end portion 102 is connected to the end of the inlet and outlet pipe 106, the annular fastening portion 101 mounted on the coupling end 102, the annular fastening portion 101 is the The state in which the plate 112 is inserted into the annular groove 111 and the fastening unit 105 is fastened to the first fastening hole and the second fastening hole are shown.

도 4를 참조하면, 상기 유출입관(106)과 상기 이피디 플레이트(112)가 연결되는 순서는 다음과 같이 설명된다.4, the order in which the outlet pipe 106 and the EPID plate 112 are connected is described as follows.

먼저, 상기 결합단부(102)내에 형성된 환형 체결부(101)를 상기 이피디 플레이트(112)에 형성된 환형 홈(111)에 끼운 상태로, 상기 결합단부(102)가 상기 이피디 플레이트(112)에 닿을 때까지 밀착시킨다.First, in the state in which the annular fastening portion 101 formed in the coupling end portion 102 is inserted into the annular groove 111 formed in the EPD plate 112, the coupling end 102 is the EPID plate 112. Close contact until

그런 다음, 상기 체결 유닛(105)을 상기 제1체결홀(104)과 상기 제2체결홀(114)이 일치되게 조정한 후, 상기 제1체결홀과 상기 제2체결홀에 결합한다. 그 결과, 상기 유출입관(106)과 상기 공정 챔버가 결합되어 고정되게 된다.Then, the fastening unit 105 is adjusted to coincide with the first fastening hole 104 and the second fastening hole 114, and then is coupled to the first fastening hole and the second fastening hole. As a result, the outlet pipe 106 and the process chamber are coupled and fixed.

본 발명의 실시예에 따른 연결 장치는 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기본 원리를 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 설계되고, 응용될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가지는 자에게는 자명한 사실이라 할 것이다. The connection device according to the embodiment of the present invention is not limited to the above embodiment, and can be variously designed and applied without departing from the basic principles of the present invention. It will be obvious to one.

상술한 바와 같이 본 발명은 반도체 소자 제조 설비의 조립 작업시 수나사부 또는 암나사부의 나사산의 마모에 의한 리크 발생을 최소화하는 효과가 있다As described above, the present invention has an effect of minimizing the occurrence of leakage due to wear of the male thread or the female thread of the thread during assembly of the semiconductor device manufacturing equipment.

또한, 본 발명은 반도체 소자 제조 설비의 조립 작업의 편리함을 제공하고, 이피디 플레이트에 있는 암나사부의 마모로 인한 리크를 방지하고자 상기 이피디 플레이트를 교체해야 하는, 경제적인 손실을 줄일 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention provides the convenience of the assembly operation of the semiconductor device manufacturing equipment, and to reduce the economic loss, which has to replace the EPID plate to prevent leakage due to the wear of the female thread portion of the EPID plate have.

도 1은 종래의 기술에 따른 연결 장치의 분해 사시도이다. 1 is an exploded perspective view of a connection device according to the prior art.

도 2는 종래의 기술에 따른 유출입관과 이피디 플레이트의 결합상태를 나타내는 단면도이다.Figure 2 is a cross-sectional view showing a coupling state of the inlet and outflow pipe according to the prior art plate.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 연결 장치의 분해 사시도이다. 3 is an exploded perspective view of a connection device according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 유출입관과 이피디 플레이트의 결합상태를 나타내는 단면도이다. Figure 4 is a cross-sectional view showing a coupling state of the inlet and outflow pipe in accordance with an embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

101 : 환형 체결부 102 : 결합단부101: annular fastening portion 102: coupling end

103 : 결합단부홀 104 : 제1체결홀 103: coupling end hole 104: first fastening hole

105 : 체결유닛 106 : 유출입관 105: fastening unit 106: outflow pipe

107 : 유출입관의 내경107: inside diameter of outflow pipe

111 : 환형 홈 112 : 이피디 플레이트111: annular groove 112: ipidi plate

113 : 유출입홀 114 : 제2체결홀 113: outflow hole 114: second fastening hole

116 : 고정부 116: fixed part

Claims (7)

반도체 소자 제조 설비에서의 공정 챔버와 유출입관을, 연결하기 위한 연결 장치에 있어서:In the connecting device for connecting the process chamber and the outlet flow in the semiconductor device manufacturing facility: 상기 유출입관의 관로보다 내경이 크고 일정 높이를 갖게 형성되는 환형 체결부를 가지며 상기 유출입관의 외경보다 크게 형성되어진 결합단부와;A coupling end portion having an inner diameter greater than that of the outflow pipe and having a predetermined height, the coupling end being larger than the outer diameter of the outflow pipe; 상기 환형 체결부가 삽입되기 위한 환형 홈을 가지며, 상기 환형 홈의 중앙에 유출입홀을 갖는 이피디 플레이트와;An EPID plate having an annular groove for inserting the annular fastening portion and having an outlet hole in the center of the annular groove; 상기 유출입관과 상기 이피디 플레이트를 결합하기 위한 고정부를 구비함을 특징으로 하는 연결 장치.And a fixing part for coupling the outflow pipe and the EPID plate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 환형 체결부의 높이는 상기 이피디 플레이트의 두께보다 작음을 특징으로 하는 연결 장치.And the height of the annular fastening portion is smaller than the thickness of the EPID plate. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 유출입홀은 직경이 상기 유출입관의 관로의 직경과 동일함을 특징으로 하는 연결 장치.The outflow hole is a connection device, characterized in that the diameter is the same as the diameter of the conduit of the outflow pipe. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 환형 체결부의 상기 이피디 플레이트측 끝부분은 볼록하고 둥근형태로 이루어짐을 특징으로 하는 연결 장치.And the EPID plate side end portion of the annular fastening portion is formed in a convex and round shape. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 환형 홈은 상기 환형 체결부의 끝부분에 상응하게 오목하고 둥근형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 연결 장치.The annular groove is a connection device, characterized in that the concave and rounded shape corresponding to the end of the annular fastening portion. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 환형 체결부의 상기 이피디 플레이트측 끝부분은 볼록하고 둥근형태로 이루어짐을 특징으로 하는 연결 장치.And the EPID plate side end portion of the annular fastening portion is formed in a convex and round shape. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 환형 홈은 상기 환형 체결부의 끝부분에 상응하게 오목하고 둥근형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 연결 장치.The annular groove is a connection device, characterized in that the concave and rounded shape corresponding to the end of the annular fastening portion.
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