KR20050109344A - Apparatus for identifying a chip - Google Patents
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Abstract
본 발명은 칩을 식별하기 위한 장치에 관한 것으로, 칩에 랏 넘버(lot number), 랏에서의 웨이퍼 넘버, X-Y 좌표를 이용한 웨이퍼에서의 칩 위치를 저장하고 테스트 모드에서 이를 확인할 수 있도록 함으로써, 칩 테스트 시 어느 웨이퍼의 어떠한 부분에 위치하고 있었는지를 식별하고 어떠한 공정이 진행되었는지를 판별할 수 있어 공정 단계와 연결지어 원인 분석을 용이하게 할 수 있다. The present invention relates to a device for identifying a chip, by storing a chip number in a chip using a lot number, a wafer number in a lot, and an XY coordinate on the chip, and enabling the chip to be identified in a test mode. During testing, it can identify which part of a wafer is located and which process has been processed, which can be linked to process steps to facilitate cause analysis.
Description
본 발명은 칩을 식별하기 위한 장치에 관한 것으로, 특히 랏 넘버(lot number), 랏에서의 웨이퍼 넘버, 웨이퍼에서의 X-Y 좌표를 이용하여 칩을 식별할 수 있는 칩을 식별하기 위한 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for identifying a chip, and more particularly, to an apparatus for identifying a chip capable of identifying a chip using a lot number, a wafer number in a lot, and an XY coordinate in a wafer. .
일반적으로, 반도체 제조 공정이 완료된 후에는 웨이퍼 레벨이나 패키지된 상태에서 테스트가 진행된다. 이때, 불량이 발생되면 여러 가지로 원인 분석을 하게 되는데, 칩에는 특별한 ID가 부여되지 않기 때문에 공정 단계와 연결지어 원인 분석을 하기 힘든 문제점이 있다. Typically, testing is done at wafer level or packaged after the semiconductor fabrication process is complete. At this time, when a defect occurs, the cause is analyzed in various ways. Since a special ID is not assigned to the chip, there is a problem that it is difficult to analyze the cause in connection with the process step.
이에 대하여, 본 발명이 제시하는 칩을 식별하기 위한 장치는 칩에 랏 넘버(lot number), 랏에서의 웨이퍼 넘버, X-Y 좌표를 이용한 웨이퍼에서의 칩 위치를 저장하고 테스트 모드에서 이를 확인할 수 있도록 함으로써, 칩 테스트 시 어느 웨이퍼의 어떠한 부분에 위치하고 있었는지를 식별하고 어떠한 공정이 진행되었는지를 판별할 수 있어 공정 단계와 연결지어 원인 분석을 용이하게 할 수 있다. In contrast, the apparatus for identifying a chip according to the present invention stores a chip number on a wafer using a lot number, a wafer number in a lot, and an XY coordinate on the chip, and makes it possible to confirm the result in a test mode. In addition, it is possible to identify which part of a wafer is located in a chip test and to determine which process has been performed, which can be connected to the process step to facilitate cause analysis.
본 발명의 실시예에 따른 칩을 식별하기 위한 장치는 칩 식별 정보를 커팅 상태로 저장하기 위한 다수의 퓨즈들이 포함되며, 어드레스 신호에 따라 이들 정보를 출력한다. An apparatus for identifying a chip according to an embodiment of the present invention includes a plurality of fuses for storing the chip identification information in a cutting state, and outputs the information according to the address signal.
본 발명의 다른 실시예에 따른 칩을 식별하기 위한 장치는 테스트 모드 제어 신호에 따라 테스트 모드로의 진입을 제어하며, 테스트 모드 선택 신호에 따라 테스트 모드 중 칩 식별 모드가 선택되면 칩 식별 정보의 출력 인에이블 신호를 출력하는 테스트 모드 제어 수단과, 칩 식별 정보를 커팅 상태로 저장하기 위한 다수의 퓨즈들이 포함되며, 어드레스 신호에 따라 이들 정보를 출력하는 퓨즈 박스, 및 출력 인이에블 신호에 따라 칩 식별 정보를 입/출력 핀으로 출력하는 출력 제어 수단을 포함한다. The apparatus for identifying a chip according to another embodiment of the present invention controls the entry into the test mode according to the test mode control signal, and outputs the chip identification information when the chip identification mode is selected among the test modes according to the test mode selection signal. A test mode control means for outputting an enable signal, a plurality of fuses for storing chip identification information in a cutting state, a fuse box for outputting these information according to an address signal, and a chip in accordance with an output enable signal And output control means for outputting identification information to the input / output pins.
상기에서, 퓨즈 박스는 랏 넘버를 표시하기 위한 제1 퓨즈 블록와, 랏에 포함된 다수의 웨이퍼들을 구분할 수 있도록 웨이퍼 넘버를 표시하기 위한 제1 퓨즈 블록, 및 웨이퍼에서 칩이 위치하는 영역을 좌표로 표시하기 위한 제3 퓨즈 블록을 포함한다. In the above description, the fuse box may include a first fuse block for displaying a lot number, a first fuse block for displaying a wafer number to distinguish a plurality of wafers included in the lot, and an area where a chip is located on the wafer. And a third fuse block for displaying.
이때, 랏 넘버를 헥사 형태로 표시하기 위하여 제1 퓨즈 블록이 네 개 구비되며, 좌표를 표시하기 위하여 제3 퓨즈 블록이 두 개 구비될 수 있다.In this case, four first fuse blocks may be provided to display the lot number in hexa form, and two third fuse blocks may be provided to display the lot number.
한편, 제1 내지 제3 퓨즈 블록 중 어느 하나는, 제1 노드와 전원전압 단자 사이에 접속되며, 퓨즈들의 커팅 상태를 독출하기 전에 제어 신호에 따라 전원전압을 제1 노드로 전달하여 제1 노드를 프리챠지하기 위한 프리챠지 수단과, 제1 노드에 병렬로 접속되며 커팅 여부로 칩 식별 정보가 저장된 다수의 퓨즈들과, 퓨즈들과 접지 단자 사이에 각각 접속되며 어드레스 신호들의 코딩된 신호들에 따라 온/오프가 결정되는 다수의 스위칭 소자들을 포함하여, 코딩된 신호들이 순서대로 입력되어 스위칭 소자들의 일부가 턴온될 때 턴온된 스위칭 소자들과 연결된 퓨즈들의 커팅상태에 따라 달라지는 제1 노드의 전위로 칩 식별 정보를 나타낸다. Meanwhile, any one of the first to third fuse blocks may be connected between the first node and the power supply voltage terminal, and transmit the power supply voltage to the first node according to a control signal before reading the cutting state of the fuses. Precharge means for precharging the plurality of fuses, the plurality of fuses connected in parallel to the first node and having the chip identification information stored therein for cutting, and the coded signals of the address signals respectively connected between the fuses and the ground terminal. The potential of the first node, which is dependent on the cutting state of the fuses connected to the switched-on switching elements when the coded signals are input in sequence and some of the switching elements are turned on, including a plurality of switching elements whose on / off is determined accordingly. Indicates chip identification information.
한편, 코딩된 신호들이 입력되는 것을 감지하여 출력 인에이블 신호를 생성하는 어드레스 입력 감지부, 및 출력 인에이블 신호에 따라 제1 노드의 전위를 출력하는 버퍼를 더 포함할 수 있다. The apparatus may further include an address input detector configured to detect input of coded signals to generate an output enable signal, and a buffer to output the potential of the first node according to the output enable signal.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 상술하는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명의 범위는 본원의 특허 청구 범위에 의해서 이해되어야 한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of the present invention. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. Only this embodiment is provided to complete the disclosure of the present invention and to fully inform those skilled in the art, the scope of the present invention should be understood by the claims of the present application.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 칩을 식별하기 위한 장치를 설명하기 위한 블록도이다. 1 is a block diagram illustrating an apparatus for identifying a chip according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 칩을 식별하기 위한 장치는 퓨즈 박스(110), 테스트 모드 제어 수단(120), 및 출력 제어 수단(130)을 포함하며, 칩을 식별할 수 있는 식별 신호는 입출력 핀들(140)을 통해 외부로 출력된다. 각 구성 요소에 대해 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다. Referring to FIG. 1, an apparatus for identifying a chip according to an embodiment of the present invention may include a fuse box 110, a test mode control means 120, and an output control means 130, and may identify a chip. The identification signal is output to the outside through the input and output pins 140. The detailed description of each component is as follows.
먼저, 초기에 테스트 모드 인에이블 신호(mrsp6)가 입력되면 테스트 모드 제어 수단(120)은 주변 회로들이 테스트 모드에서 동작할 수 있도록 테스트 모드 인에이블 신호를 발생시킨다. 이때, 테스트 모드 인에이블 신호(mrsp6) 인가 시 입력되는 테스트 모드 선택 신호(At<0:10>)에 따라 테스트 종류가 결정된다. 테스트 모드 선택 신호(At<0:10>)에 따라 어떠한 테스트가 결정될 것인지는 신호의 조합에 따라 변경 가능하며, 이는 이미 공지된 기술로써 자세한 설명은 생략하기로 한다.First, when the test mode enable signal mrsp6 is initially input, the test mode control means 120 generates a test mode enable signal so that peripheral circuits can operate in the test mode. In this case, the test type is determined according to the test mode selection signal At <0:10> input when the test mode enable signal mrsp6 is applied. Which test is determined according to the test mode selection signal At <0:10> may be changed according to a combination of signals, which is already known and a detailed description thereof will be omitted.
한편, 테스트 모드 선택 신호(At<0:10>)에 따라 칩을 식별하기 위한 식별 모드로 진입되면 테스트 모드 제어 수단(120)은 칩 식별 모드의 인에이블 신호(Tm_wafcode)를 출력한다.On the other hand, when entering the identification mode for identifying the chip according to the test mode selection signal At <0:10>, the test mode control means 120 outputs the enable signal Tm_wafcode of the chip identification mode.
퓨즈 박스(110)는 다수의 퓨즈 블록으로 구성되며, 퓨즈의 커팅 상태로 랏 넘버(lot number), 랏에 포함된 다수의 웨이퍼 중에서 몇 번째 웨이퍼인지를 구분하기 위한 웨이퍼 넘버, 웨이퍼에서 다수의 칩 중에 어느 부분에 위치한 칩인지를 부분하기 위하여 X-Y 좌표를 나타내기 위한 데이터가 저장된다. The fuse box 110 is composed of a plurality of fuse blocks, a lot number in the cutting state of the fuse, a wafer number to distinguish the number of wafers among the plurality of wafers included in the lot, and a plurality of chips in the wafer The data for representing the XY coordinates are stored in order to determine which part is located in the chip.
구체적인 실시예를 설명하면 다음과 같다.A specific embodiment will be described below.
10개의 퓨즈들로 퓨즈 블록이 구성될 수 있으며, 테스트 모드 진입 후 인가되는 5개의 어드레스 신호(예를 들면, Add<2:6>)들을 코딩한 신호로 퓨즈들의 커팅 상태를 판독하여 칩을 식별할 수 있다.The fuse block may be composed of 10 fuses, and the chip may be identified by reading cutting states of the fuses using signals encoded by five address signals (for example, Add <2: 6>) applied after entering the test mode. can do.
먼저, 0000부터 9999까지의 랏 넘버를 헥사(Hexa) 형태로 표현하기 위하여 4개의 퓨즈 블록(111 내지 114)이 사용되며, 0부터 25까지의 웨이퍼 넘버를 표현하기 위하여 1개의 퓨즈 블록(115)이 사용되며, 웨이퍼에서 칩의 X-Y 좌표를 표현하기 위해 2개의 퓨즈 블록(116 및 117)이 사용될 수 있다. 이 경우 총 7개의 퓨즈 블록(111 내지 117)이 필요하다. 각각의 퓨즈 블록은 동일한 구성으로 이루어지며, 퓨즈의 커팅 상태만 달라진다. First, four fuse blocks 111 to 114 are used to express lot numbers 0000 to 9999 in hexa form, and one fuse block 115 to represent wafer numbers 0 to 25. Is used, two fuse blocks 116 and 117 may be used to represent the XY coordinates of the chip on the wafer. In this case, a total of seven fuse blocks 111 to 117 are required. Each fuse block has the same configuration, and only the cutting state of the fuse is different.
도 2는 도 1에 도시된 퓨즈 블록의 구성 및 동작을 설명하기 위한 회로도이다.FIG. 2 is a circuit diagram for describing a configuration and an operation of the fuse block illustrated in FIG. 1.
도 2를 참조하면, 퓨즈 블록은 제1 노드(A)에 병렬로 접속된 다수의 퓨즈들(도면에서는 10개로 도시됨; F101 내지 F110)과, 각각의 퓨즈들(F101 및 F110)과 접지 단자 사이에 접속되며 코딩된 어드레스 신호들(Add<2:6>)에 따라 온/오프가 결정되는 다수의 스위칭 소자들(T101 내지 T110)과, 전원전압 단자(VDD)에 제1 노드(A) 사이에 접속되며, 퓨즈들(F101 및 F110)의 커팅 상태를 독출하기 전에 제어 신호(xredstpb)에 따라 전원전압을 전달하여 제1 노드(A)를 프리챠지하기 위한 프리챠지 수단(T111)을 포함하여 이루어진다.Referring to FIG. 2, the fuse block includes a plurality of fuses (shown as 10 in the drawing; F101 to F110) connected in parallel to the first node A, the respective fuses F101 and F110 and a ground terminal. The first node A is connected to a plurality of switching elements T101 to T110 connected between the plurality of switching elements T101 to T110 and determined on / off according to coded address signals Add <2: 6>. It is connected between, and includes a precharge means (T111) for precharging the first node (A) by transmitting a power supply voltage in accordance with the control signal (xredstpb) before reading the cutting state of the fuses (F101 and F110) It is done by
퓨즈들(F101 및 F110)의 커팅 상태와 스위칭 소자들(T101 내지 T110)의 온/오프 상태에 따라 제1 노드(A)의 전위는 달라지고, 제1 노드(A)의 전위는 버퍼(N102 및 INV105)를 통해 출력된다. 출력된 신호에 따라 칩이 어느 랏의 몇 번째 웨이퍼의 어느 부분에 위치했던 칩인지를 구분할 수 있으며, 이를 통해 칩이 어떠한 공정 조건을 거쳐 완성되었는지를 연관시켜 문제점을 용이하게 확인할 수 있다. The potential of the first node A varies according to the cutting state of the fuses F101 and F110 and the on / off states of the switching elements T101 to T110, and the potential of the first node A is the buffer N102. And INV105). According to the output signal, it is possible to distinguish which chip is located on which part of which wafer and which part of the lot. Through this, it is possible to easily identify the problem by associating the chip under what process conditions.
상기의 구성에서 제1 노드(A)의 프리챠지 상태를 유지해주기 위한 프리챠지 유지 수단(INV101 및 T112)이 더 포함될 수 있다. 그리고, 코딩된 어드레스 신호들(Add<2:6> 중 어느 하나)이 입력되는 것을 감지하여 출력 인에이블 신호를 생성하는 어드레스 입력 감지부(111a)를 더 포함할 수 있다.In the above configuration, precharge holding means INV101 and T112 for maintaining the precharge state of the first node A may be further included. The apparatus may further include an address input detector 111a that detects input of coded address signals Add <2: 6> and generates an output enable signal.
먼저, 상기의 구성으로 이루어진 퓨즈 블록의 동작을 설명하면 다음과 같다. First, the operation of the fuse block having the above configuration will be described.
먼저, 웨이퍼 레벨에서 퓨즈 컷팅을 통해 칩이 어느 랏의 몇 번째 웨이퍼의 어느 부분에 위치했던 칩인지를 기록한다. 예를 들어, 첫 번째 랏의 두 번째 웨이퍼의 X-Y좌표가 2-3인 부분에 위치했던 칩의 경우를 예로써 설명하기로 한다. 이 경우, 랏 넘버를 표시하는 퓨즈 블록(도 1의 111 내지 114) 중 최하위 숫자를 표시하는 퓨즈 블록(예를 들면, 114)에서는 제1, 제3 및 제7 퓨즈(F101, F103 및 F107)가 커팅된다. 웨이퍼 넘버를 표시하는 퓨즈 블록(115)에서는 제2, 제3 및 제7 퓨즈(F102, F103 및 F107)가 커팅된다. 웨이퍼의 X좌표를 나타내는 퓨즈 블록(116)에서는 제2, 제3 및 제7 퓨즈(F102, F103 및 F107)가 커팅된다. 웨이퍼의 Y좌표를 나타내는 퓨즈 블록(117)에서는 제1, 제4 및 제7 퓨즈(F101, F104 및 F107)가 커팅된다.First, the fuse cutting at the wafer level records which chips were placed on which part of the wafer. For example, the chip case where the X-Y coordinate of the second wafer of the first lot is located at 2-3 will be described as an example. In this case, the first, third, and seventh fuses F101, F103, and F107 are used in the fuse block (eg, 114) displaying the lowest number among the fuse blocks (111 to 114 in FIG. 1) indicating the lot number. Is cut. In the fuse block 115 indicating the wafer number, the second, third and seventh fuses F102, F103 and F107 are cut. In the fuse block 116 representing the X coordinate of the wafer, the second, third and seventh fuses F102, F103 and F107 are cut. In the fuse block 117 representing the Y coordinate of the wafer, the first, fourth and seventh fuses F101, F104, and F107 are cut.
이 상태에서 어드레스 신호(Add<2:6>)는 하기의 표 1에 도시된 바와 같이 코딩되어 순서대로 입력된다.In this state, the address signals Add <2: 6> are coded as shown in Table 1 below and input in order.
상기에서, 제어 신호(xredstpb)가 로우 펄스로 인가되어 제1 노드(A)가 프리챠지된 후 첫 번째로 어드레스'00000'이 입력되면, 이 어드레스가 코딩된 신호(a 내지 j)로 제1 내지 제10 스위칭 소자(T101 내지 T110)에 각각 인가되어 제1, 제3 및 제7 스위칭 소자(T101, T103 및 T107)가 턴온되고 나머지 스위칭 소자들은 턴오프 된다. 이 경우, 제4 퓨즈 블록(도 1의 114)에서는 제1, 제3 및 제7 퓨즈(F101, F103 및 F107)가 커팅되어 있으므로 제1 노드(A)에서 접지 단자로의 전류 패스가 형성되지 않아 제1 노드(A)의 프리챠지 상태가 그대로 유지된다. 따라서, 제4 퓨즈 블록(114)에서는 제1 노드(A)의 전위가 버퍼(N102 및 INV105)를 통해 하이 레벨로 출력되어 첫 번째 랏에 포함되어 있던 칩임을 식별할 수 있다. 한편, 다른 퓨즈 블록에서는 제1, 제3 및 제7 퓨즈(F101, F103 및 F107) 중 적어도 어느 하나가 커팅되지 않은 상태로 유지되어 있기 때문에 전류 패스가 형성되어, 모두 로우 신호가 출력된다. In the above, when the address '00000' is first input after the control signal xredstpb is applied as a low pulse and the first node A is precharged, the first address is used as the coded signals a to j. The first, third, and seventh switching elements T101, T103, and T107 are turned on and the remaining switching elements are turned off, respectively, by being applied to the tenth to tenth switching elements T101 to T110. In this case, since the first, third, and seventh fuses F101, F103, and F107 are cut in the fourth fuse block 114 (FIG. 1), a current path from the first node A to the ground terminal is not formed. Therefore, the precharge state of the first node A is maintained as it is. Accordingly, in the fourth fuse block 114, the potential of the first node A may be output at a high level through the buffers N102 and INV105 to identify the chip included in the first lot. On the other hand, since at least one of the first, third and seventh fuses F101, F103 and F107 is kept uncut in the other fuse block, a current path is formed and all low signals are output.
이어서, 제어 신호(xredstpb)가 로우 펄스로 다시 인가되어 제1 노드(A)가 프리챠지된 후 두 번째로 어드레스'00001'이 입력되면, 이 어드레스가 코딩된 신호(a 내지 j)로 제1 내지 제10 스위칭 소자(T101 내지 T110)에 각각 인가되어 제2, 제3 및 제7 스위칭 소자(T102, T103 및 T107)가 턴온되고 나머지 스위칭 소자들은 턴오프 된다. 이 경우, 제5 및 제6 퓨즈 블록(도 1의 115 및 116)에서는 제2, 제3 및 제7 퓨즈(F102, F103 및 F107)가 커팅되어 있으므로 제1 노드(A)에서 접지 단자로의 전류 패스가 형성되지 않아 제1 노드(A)의 프리챠지 상태가 그대로 유지된다. 따라서, 제5 및 제6 퓨즈 블록(115 및 116)에서는 제1 노드(A)의 전위가 버퍼(N102 및 INV105)를 통해 하이 레벨로 출력되어 첫 번째 랏에 포함되어 있던 웨이퍼 중 첫 번째 웨이퍼에 포함된 칩임을 식별할 수 있으며, 동시에 웨이퍼에서 칩이 위치하는 X좌표가 2임을 알 수 있다. 한편, 다른 퓨즈 블록에서는 제2, 제3 및 제7 퓨즈(F1022, F103 및 F107) 중 적어도 어느 하나가 커팅되지 않은 상태로 유지되어 있기 때문에 전류 패스가 형성되어, 모두 로우 신호가 출력된다. Subsequently, when the control signal xredstpb is applied again with a low pulse so that the first node A is precharged and the address '00001' is input for the second time, the first address is input as the coded signals a to j. The second, third, and seventh switching elements T102, T103, and T107 are turned on and the remaining switching elements are turned off, respectively, by being applied to the tenth to tenth switching elements T101 to T110. In this case, the second, third and seventh fuses F102, F103, and F107 are cut in the fifth and sixth fuse blocks 115 and 116 of FIG. 1, and thus, the first node A to the ground terminal. Since no current path is formed, the precharge state of the first node A is maintained as it is. Therefore, in the fifth and sixth fuse blocks 115 and 116, the potential of the first node A is output at a high level through the buffers N102 and INV105 to the first of the wafers included in the first lot. It can be identified that the included chip, and at the same time it can be seen that the X coordinate of the chip is located on the wafer 2. On the other hand, at least one of the second, third and seventh fuses F1022, F103 and F107 is kept uncut in the other fuse block, so that a current path is formed and all low signals are output.
계속해서, 제어 신호(xredstpb)가 로우 펄스로 다시 인가되어 제1 노드(A)가 프리챠지된 후 세 번째로 어드레스'00010'이 입력되면, 이 어드레스가 코딩된 신호(a 내지 j)로 제1 내지 제10 스위칭 소자(T101 내지 T110)에 각각 인가되어 제1, 제4 및 제7 스위칭 소자(T101, T104 및 T107)가 턴온되고 나머지 스위칭 소자들은 턴오프 된다. 이 경우, 제7 퓨즈 블록(도 1의 117)에서는 제1, 제4 및 제7 퓨즈(F101, F104 및 F107)가 커팅되어 있으므로 제1 노드(A)에서 접지 단자로의 전류 패스가 형성되지 않아 제1 노드(A)의 프리챠지 상태가 그대로 유지된다. 따라서, 제7 퓨즈 블록(117)에서는 제1 노드(A)의 전위가 버퍼(N102 및 INV105)를 통해 하이 레벨로 출력되어 웨이퍼에서 칩이 위치하는 Y좌표가 2임을 알 수 있다. 한편, 다른 퓨즈 블록에서는 제1, 제4 및 제7 퓨즈(F101, F104 및 F107) 중 적어도 어느 하나가 커팅되지 않은 상태로 유지되어 있기 때문에 전류 패스가 형성되어, 모두 로우 신호가 출력된다. Subsequently, when the control signal xredstpb is applied again with a low pulse so that the third address '00010' is input after the first node A is precharged, the address is reset to the coded signals a to j. The first, fourth, and seventh switching elements T101, T104, and T107 are turned on and the remaining switching elements are turned off, respectively, by being applied to the first to tenth switching elements T101 to T110. In this case, since the first, fourth, and seventh fuses F101, F104, and F107 are cut in the seventh fuse block 117 of FIG. 1, a current path from the first node A to the ground terminal is not formed. Therefore, the precharge state of the first node A is maintained as it is. Therefore, in the seventh fuse block 117, the potential of the first node A is output at a high level through the buffers N102 and INV105, so that the Y coordinate at which the chip is positioned on the wafer is 2. On the other hand, at least one of the first, fourth and seventh fuses F101, F104, and F107 is kept uncut in the other fuse block, so that a current path is formed and all low signals are output.
이후에도, 동일한 동작으로 진행된다. 하지만, 상기와 같이, 첫 번째 랏의 두 번째 웨이퍼의 X-Y좌표가 2-3인 부분에 위치했던 칩의 경우는 세 번째 어드레스가 입력되는 순간 모든 정보를 다 얻을 수 있다. Thereafter, the same operation proceeds. However, as described above, in the case of the chip located in the portion where the X-Y coordinate of the second wafer of the first lot is 2-3, all information can be obtained at the time of input of the third address.
한편, 도 2에 도시된 어드레스 입력 감지부(111a)에 대한 구성 및 동작을 설명하면 다음과 같다.Meanwhile, the configuration and operation of the address input detector 111a shown in FIG. 2 will be described below.
어드레스 입력 감지부(111a)는 제2 노드(B)와 접지 단자 사이에 병렬로 접속되며 코딩된 어드레스 신호(Add34<0:3>)가 인가되는 다수의 스위칭 소자들(T113 내지 T116)과, 전원전압 단자(VDD)와 제2 노드(B) 사이에 접속되어 제어 신호(xredstpb)에 따라 제2 노드(B)를 초기화하는 스위칭 소자(T117)와, 제2 노드(B)의 전위를 래치하는 래치(LAT1)와, 래치(LAT1)의 출력 신호를 버퍼(N102 및 INV105)로 전달하는 버퍼(N101 및 INV104)를 포함한다. 상기에서, 스위칭 소자들(T113 내지 T116)로 코딩된 어드레스 신호(Add34<0:3>)가 입력되지만 코딩된 다른 어드레스 신호(Add2<0:1> 또는 Add56<0:3>)가 인가되어도 무방하다.The address input sensing unit 111a is connected between the second node B and the ground terminal in parallel, and includes a plurality of switching elements T113 to T116 to which a coded address signal Add34 <0: 3> is applied. A switching element T117 connected between the power supply voltage terminal VDD and the second node B to initialize the second node B according to the control signal xredstpb, and latches a potential of the second node B. The latch LAT1 and the buffers N101 and INV104 which transmit the output signals of the latch LAT1 to the buffers N102 and INV105 are included. In the above, although the address signals Add34 <0: 3> coded to the switching elements T113 to T116 are input, other coded address signals Add2 <0: 1> or Add56 <0: 3> are applied. It's okay.
상기의 구성으로 이루어진 어드레스 입력 감지부(111a)는 어드레스 입력 전에 제어 신호(xredstpb)에 의해 제2 노드(B)가 프리챠지되어 로우 레벨의 신호를 출력하고, 이 신호는 버퍼(N102 및 INV105)로 인가되어 퓨즈 블록이 동작하지 않도록 한다. 이 상태에서, 코딩된 어드레스 신호가 인가되면 스위칭 소자들(T113 내지 T116) 중 적어도 어느 하나가 턴온되어 전류 패스가 형성된다. 이에 따라 어드레스 입력 감지부(111a)는 하이 레벨의 신호를 출력하고, 이 신호가 버퍼(N102 및 INV105)로 인가되어 퓨즈 블록이 정상적으로 동작한다. The address input detection unit 111a having the above-described configuration outputs a low level signal by precharging the second node B by the control signal xredstpb before inputting the address, and this signal is output to the buffers N102 and INV105. To prevent the fuse block from operating. In this state, when a coded address signal is applied, at least one of the switching elements T113 to T116 is turned on to form a current path. Accordingly, the address input detector 111a outputs a high level signal, and the signal is applied to the buffers N102 and INV105 so that the fuse block operates normally.
이처럼, 어드레스 입력 감지부(111a)는 코딩된 어드레스 신호가 인가되는 것을 감지하고, 코딩된 어드레스 신호가 인가되는 경우에만 퓨즈 블록에서 데이터를 출력하도록 한다. As such, the address input detector 111a detects that the coded address signal is applied and outputs data from the fuse block only when the coded address signal is applied.
상술한 바와 같이, 본 발명은 칩에 랏 넘버(lot number), 랏에서의 웨이퍼 넘버, X-Y 좌표를 이용한 웨이퍼에서의 칩 위치를 저장하고 테스트 모드에서 이를 확인할 수 있도록 함으로써, 칩 테스트 시 어느 웨이퍼의 어떠한 부분에 위치하고 있었는지를 식별하고 어떠한 공정이 진행되었는지를 판별할 수 있어 공정 단계와 연결지어 원인 분석을 용이하게 할 수 있다. As described above, the present invention stores the chip number on the wafer using the lot number, the wafer number in the lot, and the XY coordinates on the chip, and makes it possible to confirm this in the test mode, thereby determining the It can identify where it was located and determine what process has been carried out, which can be linked to the process steps to facilitate cause analysis.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 칩을 식별하기 위한 장치를 설명하기 위한 블록도이다. 1 is a block diagram illustrating an apparatus for identifying a chip according to an embodiment of the present invention.
도 2는 도 1에 도시된 퓨즈 블록의 구성 및 동작을 설명하기 위한 회로도이다. FIG. 2 is a circuit diagram for describing a configuration and an operation of the fuse block illustrated in FIG. 1.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
110 : 퓨즈 박스 111 내지 117 : 퓨즈 블록110: fuse box 111 to 117: fuse block
120 : 테스트 모드 제어 수단 130 : 출력 제어 수단120: test mode control means 130: output control means
140 : 입/출력 핀 140: input / output pins
Claims (8)
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---|---|---|---|
KR1020040034521A KR20050109344A (en) | 2004-05-15 | 2004-05-15 | Apparatus for identifying a chip |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR100818324B1 (en) * | 2006-10-02 | 2008-03-31 | (주)테크윙 | Test support method of test handler and test handler |
-
2004
- 2004-05-15 KR KR1020040034521A patent/KR20050109344A/en not_active Application Discontinuation
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KR100818324B1 (en) * | 2006-10-02 | 2008-03-31 | (주)테크윙 | Test support method of test handler and test handler |
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