KR20050098306A - 초정밀 미소차압 측정장치 및 초정밀 차압 측정장치 - Google Patents

초정밀 미소차압 측정장치 및 초정밀 차압 측정장치 Download PDF

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KR20050098306A
KR20050098306A KR1020057014562A KR20057014562A KR20050098306A KR 20050098306 A KR20050098306 A KR 20050098306A KR 1020057014562 A KR1020057014562 A KR 1020057014562A KR 20057014562 A KR20057014562 A KR 20057014562A KR 20050098306 A KR20050098306 A KR 20050098306A
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KR1020057014562A
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코토히코 세코구치
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가부시키가이샤 후지킨
코토히코 세코구치
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Abstract

기계적인 슬라이딩부를 개재하지 않고 미소차압을 전자식 칭량·압력변환기에 전달함으로써, 미소차압을 고정밀도로 연속적으로 측정할 수 있고, 또한 구조가 간단하며 제조비용의 대폭적인 인하를 가능하게 한 초정밀 미소차압 측정장치를 제공한다.
구체적으로는, 초정밀 미소차압 측정장치를, 내부에 공간부를 갖는 장치본체(1)와, 장치본체(1)의 내부공간내에 설치되어 상기 내부공간을 하부공간(7)과 상부공간(8)으로 기밀하게 분할하는 수압판(3)과, 하부공간(7)내에 설치되고 그 위에 수압판(3)을 지지 고정하는 전자식 칭량·압력변환기(2)와, 상기 수압판(3)의 외주 가장자리부를 액봉(液封)하고, 하부공간(7)과 상부공간(8) 사이의 기밀을 유지하는 액봉부(R)로 구성하고, 상부공간(8)내의 압력(P1)과 하부공간(7)내의 압력(P2) 사이의 미소차압을 수압판(3)을 통해 전자식 칭량·압력변환기(2)에 의해 측정한다.

Description

초정밀 미소차압 측정장치 및 초정밀 차압 측정장치{SUPER-PRECISE MICRO-DIFFERENTIAL PRESSURE MEASURING DEVICE AND SUPER-PRECISE DIFFERENTIAL PRESSURE MEASURING DEVICE}
본 발명은, 고성능 전자식 칭량·압력변환기를 사용한 초정밀 미소차압 측정장치 및 초정밀 차압 측정장치에 관한 것이며, 차압계의 기준기나 저저항 필터의 압력강하특성의 계측, 필터성능의 감시, 감압하의 기체를 다루는 유체기기에 있어서의 유동특성의 평가용 도구로서 사용되는 초정밀 미소차압 측정장치와, 수 기압정도의 차압의 측정에 범용되는 초정밀 차압 측정장치에 관한 것이다.
종전부터, 미소압력이나 미소차압의 측정의 기준기로서, 통상 아스카니어형 미압계나 액주형 마노미터와 같은 액주높이를 육안에 의해 판독하는 형식의 것이 이용되고 있지만, 실린더의 램기구에 작용하는 힘을 전자식 칭량기에 의해 칭량하도록 한 형식의 것도 사용되어 왔다.
또한, 변형 게이지 또는 반도체 게이지 등을 이용하여 차압을 전기적으로 검출하는 방법도 많이 이용되고 있지만, 이것 등을 기준기로서 사용하는 것은 일반적으로 행해지고 있지 않다.
그러나, 예를 들면 전자의 액주높이를 육안에 의해 판독하는 형식의 아스카니어형 미압계에서는, 판독 분해능이 최고라도 0.01mm정도이며, 3자리수정도의 유효한 숫자의 수주 나노미터(nmAq)오더의 미소차압을 연속적으로 정확하게 측정하는 것은 전혀 불가능한 데다가, 측정값을 전기신호로서 연속적으로 출력할 수 없다.
또한 후자의 전자식 칭량기를 사용하는 형식의 전자식 차압 측정장치에 있어서는, 측정결과를 전기신호로서 연속적으로 출력할 수는 있지만, 피측정 압력에 의해 발생한 힘을 스템이나 램 등을 통해 전자식 칭량·압력변환기로 전달하는 구성으로 하고 있으므로, 가동부분의 마찰이나 기계적 가공 정밀도에 기인하는 측정오차의 발생이 불가피하며, 결과적으로 미소차압을 고정밀도로 계측할 수 없다라는 문제가 있다(일본 실용신안 공고 평6-76937호 및 일본 특허공고 평2-52975호 등).
또, 이것은, 수 기압정도의 차압측정을 목적으로 하는 소위 범용형의 전자식 차압 측정장치에 있어서도 같으며, 가동부분의 마찰 등에 의한 측정오차가 불가피하기 때문에, 고정밀도의 측정을 할 수 없다는 문제가 있다.
특허문헌1 일본 실용신안 공고 평6-76937호 공보
특허문헌2 일본 특허공고 평2-52975호 공보
도1은, 본 발명의 제1실시형태에 따른 초정밀 미소차압 측정장치의 단면개요도이다.
도2는, 본 발명의 다른 실시형태에 따른 초정밀 미소차압 측정장치의 단면개요도이다.
도3은, 차압이 0일 때의 환상 액봉부(R)의 상태를 나타내는 단면도이다.
도4은, 차압이 생기고 있을 때의 환상 액봉부(R)의 상태를 나타내는 단면도이다.
도5은, 제2발명에 따른 범용 초정밀 차압 측정장치의 단면 개요도이다.
도6은, 구획막에 의한 상하 공간부의 격리상태를 나타내는 부분확대 단면도이다.
(부호의 설명)
1:장치본체 1a:하부본체
1b:상부본체 1d:끼워맞춤홈
2:전자식 칭량·압력변환기 3:수압판
3a:평판상의 디스크판 3b:밀봉벽
3c:수용홈 3d:끼워맞춤홈
4:지지체 4a:첨두부
5:지지체의 받침대 6:밀봉액
7:하부공간 7a:압력 도입구멍
8:상부공간 8a:압력 도입구멍
9:밀봉액 저류홈
R:환상 액봉부(밀봉벽(3b), 밀봉액(6) 및 저류홈(9))
A1:외환부의 면적 A2:내환부의 면적
S1:은 수압판 상면의 면적 S2:수압판 하면의 면적
Se:유효 수압면적 De:유효지름
ρ:밀봉액의 밀도 g:중력의 가속도
Po:차압이 0일 때의 상하 양 공간부내의 압력
hbo:차압이 0일 때의 밀봉벽(3b)의 하단면과 액면간의 거리
Pbo:차압이 0일 때의 밀봉벽(3b)의 하단면의 위치에 있어서의 액압
P1:상부공간(8)내의 압력 P2:하부공간(7)내의 압력
hb:차압이 발생하고 있을 때의 밀봉벽(3b)의 하단면과 외환부의 액면간의 거리
h1:차압이 발생하고 있을 때의 외환부의 액면과 차압이 0일 때의 액면간의 거리
h2:차압이 발생하고 있을 때의 내환부의 액면과 차압이 0일 때의 액면간의 거리
Pb:차압이 발생하고 있을 때의 밀봉벽(3b)의 하단면의 위치에 있어서의 액압
10:구획막 D:수압판의 직경
δ:수압판(3)의 끝면과 하부본체(1a)와의 내벽면 간극치수
본 발명은, 종전의 이러한 종류의 미소압력이나 미소차압의 측정장치 및 범용의 전자식 차압력 측정장치에 있어서의 상술한 바와 같은 문제, 즉 (1)액주높이를 육안에 의해 검출하는 형식의 것에서는 판독 정밀도가 낮은 데다가, 검출값을 연속적으로 출력할 수 없는 것, 또한 (2)전자식 칭량기를 사용하는 형식의 것에서는, 압력을 힘으로 변환해서 전자식 칭량기로 전달하는 기구의 가동부의 마찰 등에 의해, 측정오차의 발생이 불가피하며, 미소차압의 측정이 곤란한 데다가, 측정정밀도가 낮은 것 등의 문제를 해결하는 것이며, 전자식 칭량·압력변환기 자체를 피측정 압력이 가해진 공간내에 설치함과 아울러, 전자식 칭량·압력변환기에 고정된 수압판을 통해 상기 피측정 압력공간과 다른쪽의 피측정 공간 사이를 밀봉액 또는 구획막에 의해 기밀하게 격리함으로써, 3자리수정도의 유효한 숫자의 수주 나노미터(nmAq)오더의 초미소 차압의 고정밀도의 측정 및 수 기압정도의 범용 차압의 초정밀 측정을 가능하게 한 초정밀 미소차압 측정장치 및 초정밀 차압 측정장치를 제공하는 것을 발명의 주된 목적으로 하는 것이다.
본원 발명자들은, 수압면을 형성하는 수압판을 슬라이딩기구(가동기구)를 통해 지지함으로써, 수압판에 가해지는 힘을 전자식 칭량기에 전달하도록 한 종래의 방식은, 상기 슬라이딩부분에 생기는 마찰저항이 오차를 유인하는 원인으로 되고, 초미소 차압의 측정에는 부적당하다고 판단하여, 상기 마찰저항 등에 의한 오차를 피하기 위해서, 수압면을 형성하는 수압판을 구속하지 않고 전자식 칭량·압력변환기의 받침대상에 지지 고정함과 아울러, 수압판 상·하 양면측의 2개의 피측정 압력공간을 수압판을 통해 기밀하게 구획하는 방책으로서, 액봉방식의 채용을 착상했다.
또한 이것과 동시에, 수 기압정도의 차압측정에 있어서는, 상기 액봉방식 대신에, 얇은 수지 필름 또는 금속제 막체를 구획막으로서 이용함으로써, 보다 고정밀도의 차압측정이 가능한 것을 착상했다.
본원 각 발명은 상기 착상과 측정시험의 결과에 기초하여 창작된 것이며, 청구항1의 발명은, 내부에 공간부를 갖는 장치본체(1)와, 장치본체(1)의 내부공간내에 설치되고, 상기 내부공간을 하부공간(7)과 상부공간(8)으로 기밀하게 분할하는 수압판(3)과, 하부공간(7)내에 설치되어서 그 위에 수압판(3)을 지지 고정하는 전자식 칭량·압력변환기(2)와, 상기 수압판(3)의 외주 가장자리부를 액봉(液封)하고, 하부공간(7)과 상부공간(8) 사이의 기밀을 유지하는 액봉부(R)로 이루어지고, 상부공간(8)내의 압력(P1)과 하부공간(7)내의 압력(P2) 사이의 미소차압을 수압판(3)을 통해 전자식 칭량·압력변환기(2)에 의해 측정하는 구성으로 한 것을 발명의 기본구성으로 하는 것이다.
청구항2의 발명은, 청구항1의 발명에 있어서, 장치본체(1)를, 하부공간(7)에 연통하는 압력 도입구멍(7a)을 구비한 하부본체(7)와, 상부공간(8)에 연통하는 압력 도입구멍(8a)을 구비한 상부본체(8)를 대향형상으로 조합함과 아울러, 내부공간의 내벽면에 환상의 밀봉액 저류홈(9)을 구비한 것으로 한 것이다.
청구항3의 발명은, 청구항1의 발명에 있어서, 수압판(3)을, 평판상의 디스크판(3a)과 그 외주 가장자리에 하방을 향해서 돌출형성된 밀봉벽(3b)으로 이루어지는 구성으로 한 것이다.
청구항4의 발명은, 청구항1의 발명에 있어서, 전자식 칭량·압력변환기(2)를 칭량값을 전기신호의 형태로 연속적으로 인출하고, 이것을 컴퓨터에 보내고, 차압으로 변환해서 출력하는 구성으로 한 것이다.
청구항5의 발명은, 청구항4의 발명에 있어서, 전자식 칭량·압력변환기(2)를, 전자식 칭량기와 전자식 칭량기로부터의 칭량신호를 차압으로 변환해서 출력하는 컴퓨터로 이루어지는 구성으로 한 것이다.
청구항6의 발명은, 청구항1의 발명에 있어서, 전자식 칭량·압력변환기(2)를, 그 받침대(5)상에 지지체(4)를 개재해서 수압판(3)을 지지, 고정하는 구성으로 한 것이다.
청구항7의 발명은, 청구항1의 발명에 있어서, 전자식 칭량·압력변환기(2)를, 상단, 하단 또는 상하단을 첨두형으로 한 지지체(4)를 개재해서 수압판(3)을 지지 고정하는 구성으로 한 것이다.
청구항8의 발명은, 청구항1의 발명에 있어서, 액봉부(R)를, 장치본체(1)의 내부공간의 내벽면에 형성한 환상의 밀봉액 저류홈(9)과, 밀봉액 저류홈(9)내에 충전한 밀봉액(6)과, 밀봉액(6)의 내부로 상방으로부터 그 하단면을 삽입한 수압판(3)의 외주 가장자리에 설치한 환상의 밀봉벽(3b)으로 이루어지는 구성으로 한 것이다.
청구항9의 발명은, 청구항8의 발명에 있어서, 액봉부(R)를, 그 접액부의 전부 또는 일부에 균일한 흡습성을 유지하기 위한 표면처리를 실시한 액봉부로 한 것이다.
본원 청구항10에 기재된 초정밀 차압 측정장치는, 내부에 공간부를 갖는 장치본체(1)와, 장치본체(1)의 내부공간내에 설치되고, 상기 내부공간을 하부공간(7)과 상부공간(8)으로 기밀하게 분할하는 수압판(3)과, 하부공간(7)내에 설치되어서 그 위에 수압판(3)을 지지 고정하는 전자식 칭량·압력변환기(2)와, 상기 수압판(3)의 외주면과 장치본체(1)의 내벽면과의 간극에 설치되고, 하부공간(7)과 상부공간(8) 사이의 기밀을 유지하는 구획막(10)으로 이루어지고, 상부공간(8)내의 압력(P1)과 하부공간(7)내의 압력(P2) 사이의 차압을 수압판(3)을 통해 전자식 칭량·압력변환기(2)에 의해 측정하는 구성으로 한 것을 발명의 기본구성으로 하는 것이다.
청구항11의 발명은, 청구항10의 발명에 있어서, 장치본체(1)를, 하부공간(7)에 연통하는 압력 도입구멍(7a)을 구비한 하부본체(7)와, 상부공간(8)에 연통하는 압력 도입구멍(8a)을 구비한 상부본체(8)를 대향형상으로 조합함과 아울러, 수압판(3)의 외주면에 이것과 수직으로 구획막(10)의 내주 가장자리를 삽입하는 끼워맞춤홈(3d)을, 또 장치본체(1)의 내벽면의 상기 끼워맞춤홈(3d)과 동일 높이의 위치에 이것과 수직으로 구획막(10)의 외주 가장자리를 삽입하는 끼워맞춤홈(1d)을 형성하는 구성으로 한 것이다.
청구항12의 발명은 청구항10의 발명에 있어서, 구획막(10)을 수지 필름 또는 금속제 박막으로 이루어지는 플랜지상의 구획막으로 함과 아울러, 상기 구획막(10)의 외주 가장자리부를 장치본체(1)의 끼워맞춤홈(1d)내로, 또 그 내주 가장자리부를 수압판(3)의 끼워맞춤홈(3d)내로 각각 기밀하게 삽입하는 구성으로 한 것이다.
청구항13의 발명은 청구항10의 발명에 있어서, 전자식 칭량·압력변환기(2)를, 칭량값을 전기신호의 형태로 연속적으로 인출하고, 이것을 컴퓨터에 의해 차압으로 변환해서 출력하는 구성으로 한 것이다.
청구항14의 발명은 청구항10의 발명에 있어서, 전자식 칭량·압력변환기(2)를, 전자식 칭량기와 전자식 칭량기로부터의 칭량신호를 차압으로 변환해서 출력하는 컴퓨터로 이루어지는 구성으로 한 것이다.
청구항15의 발명은 청구항10의 발명에 있어서, 전자식 칭량·압력변환기(2)를, 그 받침대(5)상에 지지체(4)를 개재해서 수압판(3)을 지지, 고정하는 구성으로 한 것이다.
청구항16의 발명은 청구항10의 발명에 있어서, 전자식 칭량·압력변환기(2)를, 상단, 하단 또는 상하단을 첨두형으로 한 지지체(4)를 개재해서 수압판(3)을 지지 고정하는 구성으로 한 것이다.
(발명의 효과)
본 발명에 따른 초정밀 미소차압 측정장치에 있어서는, 수압판(3)이 상하방향으로 전혀 이동하지 않기 때문에, 밀봉액(6)이 만드는 메니스커스에 수압판(3)이 영향을 주는 일이 전혀 없다.
또한 2개의 환상 액면을 형성하는 밀봉액(6)의 액면높이는, 양 압력공간(7,8)의 차압(ΔP)에 따라 다르지만, 양 액면의 면적(A1,A2)은, 후술하는 바와 같이, 같게 하는 것이 필수조건은 아니다.
또한 양 압력공간(7,8) 사이의 차압(ΔP)의 미소한 변화에 따라 액면의 형상이 변화되면, 이것에 의해 밀봉액(6)이 만드는 메니스커스가 변화되고, 수압판(3)에 상하방향으로 작용하는 힘이 유기된다.
그러나, 이 힘은, 내외(양면)의 환상 액면 사이에서 상쇄되는 방향으로 작용하므로, 차압의 측정 정밀도에 영향을 미치는 일이 없다.
본 발명에 있어서는, 장치본체(1)내의 하부공간(7)내에 전자식 칭량·압력변환기(2)를 설치함과 아울러, 수압판(3)과 그 외주 가장자리의 액봉부(R)에 의해 장치본체(1)내를 하부공간(7)과 상부공간(8)으로 기밀하게 분할하고, 상기 수압판(3)에 가해지는 양 공간(7,8) 사이의 차압에 의한 힘을 전자식 칭량·압력변환기(2)에 의해 연속적으로 계측함과 아울러, 이것을 차압으로 환산해서 전기신호로서 출력하는 구성으로 하고 있다.
그 결과, 차압에 의해 생긴 힘은, 전자식 칭량·압력변환기(2)의 상에 고정된 수압판(3)을 통해 전자식 칭량·압력변환기(2)로 직접적으로 전달되는 것으로 되고, 차압에 의해 생긴 힘의 전달계로에는 기계적인 마찰부가 일절 개재되지 않으므로, 차압의 측정 정밀도를 대폭 향상시킬 수 있고, 최소 칭량을 적절하게 선택한 전자식 칭량·압력변환기(2)를 사용함으로써, 본 발명의 초정밀 미소차압 측정장치의 경우에는, 3자리수 또는 그 이상으로 큰 유효숫자를 갖는 미소차압의 고정밀도의 연속 측정이 가능하게 되고, 예를 들면 최소 칭량이 0.0001g의 전자식 칭량·압력변환기(2)를 이용한 경우에는 수주 수백 나노미터 오더의 차압의 고정밀도 연속 측정이 가능하게 된다.
또한 액봉부(R)를 형성하는 밀봉액(6)은, 차압의 측정상에 그 밀도가 관계되지 않으므로, 어떠한 액체여도 밀봉액으로서 사용할 수 있다.
그 결과, 밀봉액의 선정이 용이하게 되고, 측정장치 자체의 구조가 매우 간단한 것인 것과 아울러, 제조비용의 대폭적인 인하가 가능하게 된다.
또한 본원 발명의 초정밀 차압 측정장치에 있어서는, 구획막(10)이 플렉시블한 박막이기 때문에, 장치본체(1)의 끼워맞춤홈(1d) 및 수압판(3)의 끼워맞춤홈(3d)에의 구획막(10)의 삽입에 따라 수압판(3)에 상하방향의 힘을 유발하는 일은 없다.
또한, 수압판(3)의 형태나 중량 즉 그 재질이나 두께, 형상은, 차압의 측정에 전혀 무과하므로, 임의로 수압판(3)의 재질이나 두께나 형상 등을 선정할 수 있고, 이 면에서도 차압 측정장치의 제조비용의 인하가 한층 가능하게 된다.
또한 종전의 차압 측정장치의 경우에는, 그 교정이나 검정을 행할 때에 기준기 등이 필요하게 되고, 또 검정시에는 실제로 차압을 발생시킬 필요가 있는 것에 대해서, 본원 발명의 차압 측정장치에서는, 차압(압력)에 해당되는 중추를 탑재하는 것에 의해, 차압을 필요로 하는 일없이 교정이나 검정을 용이하게 행할 수 있어 매우 바람직하다.
본 발명은 상술한 바와 같이, 매우 간단한 구조의 저렴하게 제조가능한 장치에 의해, 지금까지 없는 초고정밀도의 미소 차압의 연속 측정과 전기신호에 의한 연속적인 측정값의 출력을 가능하게 하는 것이며, 우수한 실용적 효용을 나타내는 것이다.
이하, 도면에 기초하여 본 발명의 실시형태를 설명한다.
도1은 본 발명에 따른 초정밀 미소차압 측정장치의 단면개요도이며, 도1에 있어서, 1은 장치본체, 2는 전자식 칭량·압력변환기, 3은 수압판, 4는 지지체, 5는 전자식 칭량·압력변환기의 받침대, 6은 밀봉액이다.
상기 장치본체(1)는 금속이나 엔지니어링 플라스틱에 의해 내부에 공간부를 구비한 상자형상으로 형성되어 있고, 본 실시형태에 있어서는 하부본체(1a)와 상부본체(1b)를 대향형상으로 조합해서, 양자를 기밀하게 고정함으로써 장치본체(1)가 형성되어 있다.
또, 도1의 실시형태에 있어서는, 평면형상이 원형의 하부본체(1a)와 상부본체(1b)를 각각 대향형상으로 조합함으로써 장치본체(1)를 형성하도록 하고 있지만, 장치본체의 형태나 구조는 어떠한 것이어도 좋은 것은 물론이다.
상기 하부본체(1a)에는, 그 내부공간(7)에 연통하는 압력 도입구멍(7a)이, 또한 상부본체(1b)에는 그 내부공간(8)에 연통하는 압력 도입구멍(8a)이 각각 형성되어 있다.
또한 장치본체(1)의 내주벽에는 소정의 횡폭치수와 깊이치수를 갖는 상면측이 개방된 환상의 밀봉액(6)의 저류홈(9)이 형성되어 있으며, 상기 저류홈(9)내에 밀봉액(6)이 저류되어 있다.
또, 도1의 실시형태에서는 저류홈(9)을 하부본체(1a)의 내주벽면의 상방부에 형성하고 있지만, 도3 및 도4에 나타내듯이, 저류홈(9)을 상부본체(1b)의 내주벽면에 형성하도록 해도 좋다.
상기 전자식 칭량·압력변환기(2)는 한쪽의 압력공간(하부본체(1a)의 내부공간(7))내에 설치되어 있고, 이 하부본체(1a)에 지지 고정되어 있다.
또한 상기 전자식 칭량·압력변환기(2)는, 전자식 칭량기와 전자식 칭량기로부터의 칭량값을 차압으로 변환해서 출력하는 컴퓨터로 구성되어 있다.
또, 전자식 칭량기 자체는 공지인 것이므로, 여기에서는 그 상세한 설명을 생략하지만, 피측정 미소차압(ΔP)을 3자리수정도의 유효숫자를 갖는 수주 수백 나노미터 오더의 범위에서 측정하기 위해서는, 후술하는 바와 같이 전자식 칭량기의 최소표시로서는 0.0001g 정도의 것을 사용한다. 또한 최대 칭량용량으로서는, 측정해야 할 최대 차압의 크기에 적합한 것을 선정한다.
본 실시형태에 있어서는, 전자식 칭량기로서 AND사제의 HX시리즈, 윗접시 전자천평 HX-100을 사용하고 있으며, 최소 표시 0.0001g, 최대 칭량용량 101g의 것을 사용하고 있다.
상기 수압판(3)은 플라스틱재를 가공해서 역접시형으로 형성되어 있으며, 평 판상의 원형 디스크(3a)의 외주 가장자리에는, 하방으로 직각으로 돌출시킨 상태로 밀봉벽(1b)이 형성되어 있다. 또, 수압판(3)의 재질은 플라스틱재에 한정되는 것은 아니고, 금속재를 이용하여 형성해도 좋다.
또한 상기 수압판(3)은, 상기 외주 가장자리의 밀봉벽(1b)을 도1에 나타낸 바와 같이 저류홈(9)의 밀봉액(6)내로 삽입한 상태에서, 지지체(4)를 통해 전자식 칭량·압력변환기(2)의 받침대(5)상에 수평자세로 지지, 고정되어 있으며, 수압판(3) 자체가 상하방향으로 이동하는 일은 전혀 없다.
본 실시형태에 있어서는, 수압판(3)을 두께 약 2mm의 플라스틱에 의해 형성하고 있으며, 또한 그 직경(D)은 나중에 예시하는 바와 같이, 피측정 차압(ΔP)의 최대값과 최소값에 적합한 크기로 선정되어 있다.
또한, 상기 지지체(4)는 금속에 의해 원통형 또는 원뿔대로 형성되어 있으며, 장치본체(1)의 외형치수에 따라 그 높이치수는 적당하게 선정된다. 이 지지체(4)의 재질은 어떠한 재질이어도 좋고, 본 실시형태에 있어서는, 지지체(4)는 포금에 의해 형성되어 있다. 또한 지지체(4)의 형상도, 원통형이나 원뿔대에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 측면에서 볼 때 사다리꼴이나 직사각형, 정사각형 등의 직육면체 등이어도 좋다.
상기 밀봉액(6)은, 후술하는 바와 같이 피측정 차압(ΔP)의 크기에 따라 그 저류높이가 적당하게 선정되어 있다.
또, 밀봉액(6)의 밀도는 피측정 차압(ΔP)에 의해 전자식 칭량·압력변환기(2)에 가해지는 하방으로의 압력(Fa)에 직접 관계되지 않도록 칭량조작할 수 있으므로, 밀봉액(6)은 어떠한 액체(예를 들면 물이나 오일 등)이어도 좋고, 본 실시형태에 있어서는 실리콘 오일이 밀봉액(6)으로서 이용되고 있다.
즉, 도1에서도 알 수 있듯이, 상기 수압판(3)과 밀봉액(6)에 의해, 장치본체(1)의 내부는 압력 도입구멍(7a)에 연통하는 하부공간(7)과, 압력 도입구멍(8a)에 연통하는 상부공간(8)으로 기밀하게 분할되어 있으며, 또한 전자식 칭량·압력변환기(2)는 하부공간(7)내에 설치되어 있고, 수압판(3)에 가해지는 양 공간(7,8)의 압력차(ΔP)=P1-P2＞0(또는 ΔP=P2-P1＞0)에 상당하는 힘(F)이 상기 전자식 칭량·압력변환기(2)에 의해 연속적으로 계측됨과 아울러, 이 계측된 칭량값이 컴퓨터에 의해 차압으로 변환되고, 전기신호로서 연속적으로 외부로 출력되게 된다.
도2는, 본 발명의 제2실시형태에 따른 초정밀 미소차압 측정장치의 단면개요도이며, 상부본체(1b)와 하부본체(1a)가 플랜지를 사용하지 않고 기밀하게 연결되어 있는 점, 지지체(4)의 일단이 첨두형상으로 되어 있는 점 및 전자식 칭량·압력변환기(2)가 받침대를 갖고 있지 않은 점이, 상기 도1에 나타낸 제1실시형태에 따른 장치와 다르며, 그 밖의 구성은 제1실시형태에 따른 장치의 경우와 동일하다.
즉, 상기 지지체(4)는, 그 상단이 첨두형상(4a)으로 형성되어 있으며, 그 첨두부(4a)가 수압판(3)의 하면측에 형성된 수용홈(3c)내에 결합되어 있다. 이렇게, 첨두부(4a)를 수용홈(3c)에 결합시킴으로써, 수압판(3)의 가로방향으로의 이동이 저지되게 된다. 또, 지지체(4)의 형상과 그 설정 개수는, 수압판(3)을 안정되게 지지할 수 있으면, 자유롭게 선택가능하다.
또한 도2의 실시형태에서는 지지체(4)의 상단부만을 첨두형상으로 형성하고 있지만, 상단부와 하단부의 양쪽을 첨두형상으로 해도 좋다.
또한, 도2의 실시형태에서는 전자식 칭량·압력변환기(2)를 하부공간(7)내에 설치하는 구성으로 하고 있지만, 전자식 칭량·압력변환기(2)를 상부공간(8)내에 하향으로 배치하고, 수압판(3)을 지지체(4)를 통해 매달기형상으로 지지 고정하는 구성으로 해도 좋다. 전자식 칭량·압력변환기(2)의 오프셋량의 조정에 수압판(3) 등의 중량을 포함시킴으로써, 수압판(3)을 매달기 지지하는 구성의 채용이 가능하게 된다.
다음에 본 발명에 따른 초정밀 미소차압 측정장치의 작동원리에 대해서 설명한다.
도3 및 도4는, 도1에 나타낸 본 발명의 초정밀 미소차압 측정장치에 있어서, 전자식 칭량·압력변환기(2)에 가해지는 차압(ΔP)에 관계되는 설명도이며, 전자의 도3은 하부공간(7)과 상부공간(8) 사이의 차압(ΔP)이 0일 때의 환상 액봉부(R)(수압판(3)의 밀봉벽(3b) 및 저류홈(9)내의 밀봉액(6))의 상태를 나타내는 것이며, 또 후자의 도4는, 하부공간(7)과 상부공간(8) 사이에 차압(P1-P2)＞0이 발생되고 있는 경우의 환상 액봉부(R)의 상태를 나타내는 것이다.
도3 및 도4에 있어서, S1을 수압판(3)의 상면의 면적, S2를 수압판 하면의 면적, ρ를 밀봉액(6)의 밀도, g를 중력의 가속도, A1을 환상 액봉부(R)의 외환부의 면적, A2를 환상 액봉부(R)의 내환부의 면적, Po를 차압이 0일 때의 상하 공간부(8,7)내의 압력, hbo를 밀봉벽(3b)의 하단면과 밀봉액(6)의 액면간의 거리라고 하면, 밀봉액(6)내의 밀봉벽(3b) 하단면의 위치에 있어서의 밀봉액압(Pbo)=Po+ρg hbo로 나타내어진다.
또한 도4에 나타내듯이 상하 양 공간(8,7)의 압력이 P1, P2로 되고, 양자간에 차압(P1-P2(P1＞P2))이 발생할 경우, 외환부의 액면은 하강함과 아울러 내환부의 액면은 상승한다. 단, 도4에 있어서, hb는 차압이 발생하고 있을 때의 밀봉벽(3b)의 하단면과 외환부의 액면간의 거리, h1은 차압이 발생하고 있을 때의 외환부의 액면과 차압이 0일 때의 액면간의 거리, h2는 차압이 발생하고 있을 때의 내환부의 액면과 차압이 0일 때의 액면간의 거리, Pb는 차압이 발생하고 있을 때의 밀봉벽(3b)의 하단면의 위치에 있어서의 액압이다.
그렇게 하면, 차압이 발생하고 있을 때의 밀봉벽(3b)의 하단면에 있어서의 액압(Pb)은, 하기의 식(1)으로 나타내어진다.
Pb=P1+ρghb=P2+ρg(h1+h2+hb)…(1)
또, P1-P2=ρg(h1+h2)…(2)
A1h1=A2h2…(3)
이기 때문에, 식(2)와 식(3)으로부터 차압(P1-P2)은 식(4)로 나타내어진다.
P1-P2=ρg(1+A2/A1)h2…(4)
또, hbo=hb+h1…(5)
이기 때문에, 수압판(3)의 상하면에 작용하는 압력에 의해 생기는 힘의 차(F)는, 하기의 식(6)∼식(9)에 의해 나타내어진다.
F=S1P1-{S2P2+(S1-S2)Pb}…(6)
여기에서 (S1-S2)를 ΔS=(S1-S2)…(7)
이라고 하고, 식(1)의 Pb를 식(6)에 대입하면, 식(8)이 얻어진다.
F=S1P1-(S2P2+ΔSPb)
=S1P1-〔S2P2+ΔS{P2+ρg(h1+h2+hb)}〕
=S1P1-{(S2+ΔS)P2+ΔSρg(h1+h2+hb)}
=S1P1-S1P2-ΔSρg(h1+h2+hb)
=S1(P1-P2)-ΔSρg(h1+h2+hb)…(8)
상기 식(8)의 제2항을 식(5)를 이용하여 고쳐 쓰면, 식(9)가 얻어진다.
F=S1(P1-P2)-ΔSρg(h2+hb+h1)
=S1(P1-P2)-ΔSρg(h2+hbo)
=S1(P1-P2)-ΔSρgh2-ΔSρghbo…(9)
상기 식(9)의 제3항은, 차압이 0인 상태에 있어서 수압판(3)의 중량과 함께 전자식 칭량·압력변환기(2)를 리셋함으로써, 차압의 측정시에는 카운트되지 않는, 즉 0으로 되어 있는 항이다. 따라서, 실제로 전자식 칭량·압력변환기(2)에 의해 검출되는 힘을 Fa라고 하면, 이 Fa는 식(10)에 의해 나타내어진다.
Fa=S1(P1-P2)-ΔSρgh2…(10)
또한, 식(10)에, 식(4)를 대입해서 h2를 소거하면, 식(11)과 같이 되며, 이 식(11)로부터 최종적으로 필요로 하는 차압(P1-P2)의 산정식이 식(12)로서 얻어진다. 또, 식(12)중의 Se는 식(13)에서 정의되는 유효 수압 면적이다.
Fa=S1(P1-P2)-ΔS(P1-P2)/(1+A2/A1)
=S1(P1-P2){1-(ΔS/S1)/(1+A2/A1)}…(11)
(P1-P2)=Fa/Se…(12)
Se=S1/{1-(ΔS/S1)/(1+(A2/A1))}…(13)
즉, 전자식 칭량·압력변환기(2)에 의해 계량된 힘(Fa)으로부터 측정의 목적인 차압(P1-P2)을 결정하기 위해서는, Fa를 유효 수압 면적(Se)으로 나누면 된다.
또한 상기 초정밀 미소차압 측정장치를 설계할 때에, ΔS를 S1에 비해서 특별히 작게 할 필요는 없고, 또한 A2를 A1과 일치시킬 필요도 전혀 없다.
또, 차압(P1-P2)이 약간 변화된 경우에는, 밀봉액(6)의 액면과 밀봉벽(3b)의 벽면 사이에 생기는 메니스커스도 약간 변형되게 된다. 그러나 상기 변형의 발생 의 방법은, 상부공간(8)측(P1측)과 하부공간(7)측(P2측)에서는 반대로 되므로, 결과적으로 이 메니스커스의 변형에 따르는 표면장력은 상쇄되게 되고, 차압측정의 정밀도를 저하시키는 요인으로는 되지 않는다.
또한 밀봉액(6)의 액면과 밀봉벽(3b) 및 밀봉액 저류홈(9) 사이의 메니스커스의 형상이, 벽면의 오염 등에 의해 흡습성이 고르지 않는 경우에는 습윤의 상태가 시간적으로 변동하고, 차압(P1-P2)에 의해 생기는 힘(Fa)의 외란요인으로 되는 일이 있을 수 있다.
이러한 경우에는, 접액벽면에 발액처리를 미리 실시함으로써, 유효한 대책으로 할 수 있다.
상술한 바와 같이, 식(12)을 사용함으로써, 본원 발명의 초정밀 미소차압 측정장치에 있어서는, 전자식 칭량기의 출력을 컴퓨터에 의해 차압으로 변환함으로써, 차압(P1-P2)을 구할 수 있고, 또한 상기 식(12)는 봉입액(6)의 밀도(ρ)나 수압판(3)의 중량과는 무관한 것이므로, 봉입액(6) 및 수압판(3)의 재질이나 형상 등은 어느 것이어도 좋은 것으로 된다.
다음에 수압판(3)의 외형크기와, 본 발명의 초정밀 미소차압 측정장치로 측정가능한 최소차압 및 상기 최소차압을 공기류의 동압으로 나타낸 경우의 공기유속의 관계에 대해서 설명한다.
수압판의 유효 수압 면적을 Se, 차압을 ΔP, 전자식 칭량기에 가해지는 힘을 F라고 가정하면, 상기 힘(F)은, F=SeΔP로 나타내어진다.
여기에서, 가령 차압(ΔP)에 의해 발생하는 힘의 칭량(F)을 0.1g이라고 하면, 측정되는 차압의 값(ΔP)은, ΔP=F/Se=0.1/Se(g/mm2)=0.01/Se(kg/cm2)=0.01×104/Se(mmAq)=100/Se(mmAq)로 된다.
상기의 차압(ΔP)에 상당한 동압을 갖는 상온·상압의 공기의 유속을 u(m/s)라고 하면,
ΔP=ρu2/2g=(1.25/1000)u2/2g=0.06378·u2(mmAq)으로 된다.
상기 ΔP≒100/Se(mmAq)의 식 중의 Se를 파라미터로 해서 ΔP를 연산함과 아울러, 이것을 동압으로 하는 공기의 유속(u)을 구하면, 하기의 표1과 같이 된다.
(표1)
유효수압면적(Se)에 상당한수압면의 유효직경:De㎜ 100 200 400
측정차압:ΔPmmAq 0.01273 0.003183 0.0009758
상온상압의 공기의 유속:um/s(ΔP에 상당한 동압을 갖는 기류의 속도) 0.4468 0.2234 0.02793
또, 상기 표1에 있어서, 유효 수압 면적(Se)은, 수압판의 유효직경 Demm으로 환산되어 나타내어지고 있다.
상술한 바와 같이, 칭량(F)이 0.1g의 전자식 칭량·압력변환기(2)를 사용하면, 예를 들면 원형의 수압판의 유효직경(De)이 100mm일 때에는, 측정 차압(ΔP)이 0.01273mmAq로 된다. 또한 유효직경(De)이 400mm일 때에는, ΔP가 795.8nmAq로 되며, 이 경우에는 3자리수정도의 유효숫자를 갖는 수주 수백 나노미터의 차압(ΔP)을 측정하는 것이 가능하게 된다.
이렇게, 본원 발명의 초정밀 미소차압 측정장치에 있어서는, 칭량(F)이 0.1g∼0.0001g의 전자식 칭량·압력변환기(2)를 사용함으로써, 3자리수 또는 그 이상으로 큰 유효숫자를 갖는 미소차압을 고정밀도로 측정하는 것이 가능하게 된다.
도5는, 본원 제2발명의 실시형태에 따른 범용 초정밀 차압 측정장치의 단면개요도이며, 도1 내지 도4에 나타낸 제1발명의 초정밀 미소차압 측정장치에 있어서의 액봉방식 대신에, 구획막(10)에 의한 밀봉방식을 채용한 점이 제1발명과는 다르다.
즉 도5에 있어서, 1은 장치본체, 2는 전자식 칭량·압력변환기, 3은 수압판, 4는 지지체(부하 전달용 추체), 7은 하부공간, 8은 상부공간, 10은 구획막이며, 구획막(10)을 제외한 그 밖의 구성은, 도1 내지 도4에 나타낸 상기 제1발명의 경우와 동일하다.
상기 도5의 제2발명에 있어서는, 측정가능한 차압의 상한값을 수 기압의 오더로까지 높이기 위해서, 상부공간압력(P1)(1차압력)과 하부공간압력(P2)(2차압력)의 격리를 위해 구획막(10)이 사용되고 있다.
구획막(10)으로서는, (a)얇은 막두께이며 유연성을 갖는 것(플렉시블한 특성을 구비하는 것), (b)온도변화 등에 의해 구획막(10)이 신축되어도, 전자식 칭량·압력변환기(2)에 가해지는 힘이 발생하지 않는 것 및 (c)장기에 걸쳐 안정된 기밀성을 유지할 수 있고, 내식성이 우수한 것 등의 특성을 구비한 것이 바람직하고, 본 실시형태에 있어서는, 두께 5∼200㎛의 수지 필름 또는 금속제 박막이 사용되고 있다.
또, 상기 구획막(10)의 온도변화 등에 의한 신축에 의해, 전자식 칭량·압력변환기(2)에 가해지는 힘이 발생하는 것을 방지하기 위해서, 구획막(10)의 양단부의 수압판(3)과 하부본체(1a)에의 고정점은 동일 수평면으로 유지되어 있고, 또한 상기 전자식 칭량·압력변환기(2)에 가해지는 힘 자체가 유기되기 어렵게 되도록, 구획막(10)에는 도6에 나타내듯이, 약간 느슨함이 주어지고 있다.
도6은, 구획막(10)에 의한 상하 양 공간부(8,7) 사이의 격리부분을 나타내는 부분확대도이며, 가는 폭의 플랜지상(링형상)의 구획막(10)의 내주 가장자리부와 외주 가장자리부는, 각각 수압판(3)의 단면 및 하부본체(1a)의 내주벽면에 수직으로 형성된 끼워맞춤홈(3d,1d)내로 각각 삽입되고, 기밀하게 접착(또는 끼워짐) 고정되어 있다.
도6을 참조하여, D를 수압판(3)의 지름, δ을 수압판(3)의 끝면과 하부본체(1a)의 내벽면의 간극치수, Fa를 차압(P1-P2, P1＞P2)에 의해 발생한 힘 중 지지체(4)를 통해 전자식 칭량·압력변환기(2)에 가해지는 힘, FD를 수압판(3)에 발생하는 힘, Fp를 구획막(10)에 발생하는 힘이라고 한다.
또한 상기 Fp는, 간극(δ)이 수압판(3)의 직경(D)에 비해서 상대적으로 작기 때문에, 수압판(3)과 하부본체(1a)의 양쪽으로 등분으로 전달된다고 한다.
그렇게 하면, 상기 지지체(4)를 통해 전자식 칭량·압력변환기(2)에 전달되는 힘(Fa)은 Fa=FD+Fp/2가 된다. 여기에서, FD=(P1-P2)×πD2/4, Fp=(P1-P2)×π(D+δ)×δ이기 때문에, Fa는 하기의 식14로 나타내어진다.
Fa=(P1-P2)×πD2/4+(P1-P2)×π(D+δ)×δ/2
=(P1-P2)×πD2/4×{1+2δ/D+2×(δ/D)2}…(14)
수압판(3)의 직경(D) 및 구획막(10)의 횡폭(즉 간극치수(δ))이 주어져 있으면, 상기 식(14)로부터 (P1-P2)=Fa/〔(πD2/4)×{1+2δ/D+2(δ/D)2}〕=Fa/K…(15)가 된다. 여기에, K=(πD2/4)×〔1+2δ/D+2(δ/D2)〕…(16)이다. 차압(P1-P2)은 전자식 칭량·압력변환기(2)로 검출된 Fa를 분모의 정수(K)로 나눔으로써, 주어지게 된다.
본 발명에 따른 초정밀 미소차압 측정장치는, 차압계의 기준기나 저저항 필터의 압력강하특성의 계측, 필터성능의 감시, 감압하의 기체를 취급하는 유체기기에 있어서의 유동특성의 평가용 도구 등으로서 사용되며, 또한 초정밀 차압 측정장치는, 일반공업용 등의 수 기압정도의 차압측정에 범용되는 것이다.

Claims (16)

  1. 내부에 공간부를 갖는 장치본체(1); 이 장치본체(1)의 내부공간내에 설치되어 상기 내부공간을 하부공간(7)과 상부공간(8)으로 기밀하게 분할하는 수압판(3); 상기 하부공간(7)내에 설치되고 그 위에 수압판(3)을 지지 고정하는 전자식 칭량·압력변환기(2); 및 상기 수압판(3)의 외주 가장자리부를 액봉(液封)하고, 상기 하부공간(7)과 상기 상부공간(8) 사이의 기밀을 유지하는 액봉부(R)로 이루어지고: 상기 상부공간(8)내의 압력(P1)과 상기 하부공간(7)내의 압력(P2) 사이의 미소차압을 수압판(3)을 통해 상기 전자식 칭량·압력변환기(2)에 의해 측정하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 초정밀 미소차압 측정장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 장치본체(1)를, 상기 하부공간(7)에 연통하는 압력 도입구멍(7a)을 구비한 하부본체(7) 및 상기 상부공간(8)에 연통하는 압력 도입구멍(8a)을 구비한 상부본체(8)를 대향형상으로 조합함과 아울러, 상기 내부공간의 내벽면에 환상의 밀봉액 저류홈(9)을 구비한 구성으로 한 것을 특징으로 하는 초정밀 미소차압 측정장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 수압판(3)을, 평판상의 디스크판(3a)과 그 외주 가장자리에 하방을 향해서 돌출형성된 밀봉벽(3b)으로 이루어지는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 초정밀 미소차압 측정장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 전자식 칭량·압력변환기(2)를, 칭량값을 전기신호의 형태로 연속적으로 인출하고, 이것을 컴퓨터에 의해 차압으로 변환해서 출력하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 초정밀 미소차압 측정장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 전자식 칭량·압력변환기(2)를, 전자식 칭량기와 이 전자식 칭량기로부터의 칭량신호를 차압으로 변환해서 출력하는 컴퓨터로 이루어지는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 초정밀 미소차압 측정장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 전자식 칭량·압력변환기(2)를, 그 받침대(5)상에 지지체(4)를 개재해서 수압판(3)을 지지, 고정하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 초정밀 미소차압 측정장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 전자식 칭량·압력변환기(2)를, 상단, 하단 또는 상하단을 첨두형으로 한 지지체(4)를 개재해서 수압판(3)을 지지 고정하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 초정밀 미소차압 측정장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 액봉부(R)를, 상기 장치본체(1)의 내부공간의 내벽면에 형성한 환상의 밀봉액 저류홈(9), 이 밀봉액 저류홈(9)내에 충전한 밀봉액(6), 및 이 밀봉액(6)의 내부로 상방으로부터 그 하단면을 삽입한 수압판(3)의 외주 가장자리에 설치한 환상의 밀봉벽(3b)으로 이루어지는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 초정밀 미소차압 측정장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 액봉부(R)를, 그 접액부의 전부 또는 일부에 균형적인 흡습성을 유지하기 위한 표면처리를 실시한 액봉부로 한 것을 특징으로 하는 초정밀 미소차압 측정장치.
  10. 내부에 공간부를 갖는 장치본체(1); 이 장치본체(1)의 내부공간내에 설치되어 상기 내부공간을 하부공간(7)과 상부공간(8)으로 기밀하게 분할하는 수압판(3); 상기 하부공간(7)내에 설치되고 그 위에 수압판(3)을 지지 고정하는 전자식 칭량·압력변환기(2); 및 상기 수압판(3)의 외주면과 장치본체(1)의 내벽면의 간극에 설치되고, 상기 하부공간(7)과 상기 상부공간(8) 사이의 기밀을 유지하는 구획막(10)으로 이루어지고: 상기 상부공간(8)내의 압력(P1)과 상기 하부공간(7)내의 압력(P2) 사이의 차압을 수압판(3)을 통해 상기 전자식 칭량·압력변환기(2)에 의해 측정하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 초정밀 차압 측정장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 장치본체(1)를, 상기 하부공간(7)에 연통하는 압력 도입구멍(7a)을 구비한 하부본체(7) 및 상기 상부공간(8)에 연통하는 압력 도입구멍(8a)을 구비한 상부본체(8)를 대향형상으로 조합함과 아울러, 상기 수압판(3)의 외주면에 이것과 수직으로 구획막(10)의 내주 가장자리를 삽입하는 끼워맞춤홈(3d)을, 또한 상기 장치본체(1)의 내벽면의 상기 끼워맞춤홈(3d)과 동일 높이의 위치에 이것과 수직으로 상기 구획막(10)의 외주 가장자리를 삽입하는 끼워맞춤홈(1d)을 형성하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 초정밀 차압 측정장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 구획막(10)을 수지 필름 또는 금속제 박막으로 이루어지는 플랜지상의 구획막으로 함과 아울러, 상기 구획막(10)의 외주 가장자리부를 상기 장치본체(1)의 끼워맞춤홈(1d)내로, 또한 그 내주 가장자리부를 상기 수압판(3)의 끼워맞춤홈(3d)내로 각각 기밀하게 삽입하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 초정밀 차압 측정장치.
  13. 제10항에 있어서, 상기 전자식 칭량·압력변환기(2)를, 칭량값을 전기신호의 형태로 연속적으로 인출하고, 이것을 컴퓨터에 의해 차압으로 변환해 출력하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 초정밀 차압 측정장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 전자식 칭량·압력변환기(2)를, 전자식 칭량기와 이 전자식 칭량기로부터의 칭량신호를 차압으로 변환해서 출력하는 컴퓨터로 이루어지는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 초정밀 차압 측정장치.
  15. 제10항에 있어서, 상기 전자식 칭량·압력변환기(2)를, 그 받침대(5)상에 지지체(4)를 개재해서 수압판(3)을 지지, 고정하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 초정밀 차압 측정장치.
  16. 제10항에 있어서, 상기 전자식 칭량·압력변환기(2)를, 상단, 하단 또는 상하단을 첨두형으로 한 지지체(4)를 개재해서 수압판(3)을 지지 고정하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 초정밀 차압 측정장치.
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