KR20050081918A - 동일 단위유체저항요소로 구성된 유체저항소자를 이용한디지털 유체논리회로 - Google Patents

동일 단위유체저항요소로 구성된 유체저항소자를 이용한디지털 유체논리회로 Download PDF

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Abstract

본 발명은 미소 유로 내에서 미소 유체의 유동 또는 유압 저항을 조절하는 유체저항소자를 이용한 디지털 유체논리회로에 관한 것이다.
본 발명에 따른 디지털 유체논리회로는, 유체를 공급하는 유체공급원과, 상기 유체공급원과 연통되는 입측유로 및 유체가 배출되는 출측유로와, 상기 입측유로와 출측유로 사이에 구성되어 상기 출측유로로 배출되는 유체의 유량 또는 유압을 조절하는 유체논리부를 구비하고; 상기 유체논리부는 상기 유체의 유입여부 또는 다른 통기구로의 배출여부를 제어하는 온/오프밸브수단과, 상기 입측유로를 통해 공급되는 상기 유체의 적어도 2개 이상의 경로를 형성하는 다수의 유체저항소자 및 직선유로를 구비하며; 상기 입측유로와 출측유로 사이에 직렬, 병렬 또는 직병렬 혼합으로 연결되고 각각 동일한 단위 유체저항값을 갖는 적어도 2개 이상의 단위유체저항요소를 구비하고; 상기 온/오프밸브수단의 온/오프 제어동작에 따라 상기 유체의 경로가 변경되어 상기 출측유로로 배출되는 유체의 유량 또는 유압이 제어되며, 상기 출측유로로 배출되는 유체의 유량 또는 유압에 따라 출력값이 결정된다.

Description

동일 단위유체저항요소로 구성된 유체저항소자를 이용한 디지털 유체논리회로 {Fluid resistor device using fluid resistor units and, its applications digital fluid logic circuits}
본 발명은 미소 유로 내에서 미소 유체의 유동 또는 유압 저항을 조절하는 유체저항소자와, 이 유체저항소자를 이용한 디지털 유체논리회로에 관한 것이다.
최근 미소 생체 시료 주입기, 미소 분석기 등에 대한 관심이 증가하고 있다. 이러한 응용 분야에서는 nl 또는 ㎕ 정도의 소량의 유체를 정밀하게 제어하는 것이 요구된다. 상기 요구를 만족시키기 위해서는 유동저항을 정확하게 조절할 필요가 있다.
종래에는 도 1에 도시된 바와 같이 유체의 유동저항을 조절하기 위하여 동일 깊이를 가진 유로의 폭을 조절하는 방법을 이용하였다.
도 1을 참조하면, 종래기술에 따른 유체의 유동저항을 조절하는 방법은 유로(30) 사이에 서로 다른 유체저항요소(40, 41)를 사용한다. 이와 같은 구성을 가진 미소 유량/유압 조절기는 유량/유압을 정해진 양으로 조절하기 위하여 유로 내의 유체저항요소의 단면적을 변화시킨다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이 동일 깊이의 유체 저항부의 폭을 증감하여 유동저항을 조절한다.
그러나, 이러한 방법은 일반적으로 유동 또는 유압 저항이 유로의 단면적과 선형적인 관계가 아니기 때문에 유로의 단면적을 조절하여 원하는 수준의 유량 또는 압력을 조절하기에 상당한 어려움이 따른다.
또한, 특정 유량 또는 압력에 맞추어 유체저항요소를 설계하더라도 제작 과정에서 가공 오차가 발생하게 되어 전체 유체시스템 내에 유량 또는 압력의 정확성과 동일 유체시스템 간의 균질성을 유지하는데 어려움이 따른다.
종래 기술을 살펴보면, 다음과 같은 것들이 있다.
먼저, 미국특허(US 5849367) 'Micromachined Fluid Handling Devices'는 미소펌프, 밸브, 유량조절기를 이용하여 미소유체의 유동을 조절하는 방법이다. 본 선행특허의 유량조절기는 박막을 이용하여 유로의 단면적을 조절하는 방법이다. 이 경우 박막의 동작 특성상, 반복도와 선형성이 떨어져서 유량 및 유동저항의 정확도가 떨어지는 문제점이 있다.
미국 특허(US 6296020) 'Fluid Circuit Components based upon Passive Fluid Dynamics'는 비어있는 유로 내부로 유체가 진입할 때 유체와 유로 벽 사이의 접촉각 또는 표면 장력에 의한 유동저항의 변화를 이용하여 각각의 유로를 통하여 흐르는 미소 유체의 분리 및 혼합 상태를 조절하는 방법이다. 본 선행 특허는 유체 저항을 이용하여 각각의 빈 유로를 통하여 유입되는 유동을 차단하거나 유동의 순서를 조절하는 방법이다. 그러나, 본 선행 특허는 미소 가공시 발생하는 가공 오차의 영향이 매우 크므로 상술한 문제점들을 해결하지는 못한다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 유체의 유동저항을 조절하기 위하여 유로 내의 유체저항요소의 깊이와 폭을 조절하는 방법 대신, 깊이와 폭이 정하여진 단위유체저항요소를 형성하고 상기 단위유체저항요소를 직렬, 병렬 또는 직병렬 혼합으로 연결하여 전체 유동저항을 변화시키는 유체저항소자를 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 상술한 유체저항소자를 이용하여 유체의 유량/유압 조절장치를 구성하며 그 유체의 유량/유압 조절장치를 이용하여 디지털 유체논리회로를 제공하는 데 그 목적이 있다.
앞서 설명한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 디지털 유체논리회로는, 유체를 공급하는 유체공급원과, 상기 유체공급원과 연통되는 입측유로 및 유체가 배출되는 출측유로와, 상기 입측유로와 출측유로 사이에 구성되어 상기 출측유로로 배출되는 유체의 유량 또는 유압을 조절하는 유체논리부를 구비하고,
상기 유체논리부는 상기 유체의 유입여부 또는 다른 통기구로의 배출여부를 제어하는 온/오프밸브수단과, 상기 입측유로를 통해 공급되는 상기 유체의 적어도 2개 이상의 경로를 형성하는 다수의 유체저항소자 및 직선유로를 구비하며,
상기 유체저항소자는 임의의 두 유로 사이를 직렬, 병렬, 또는 직병렬 혼합으로 연결하는 적어도 2개 이상의 단위유체저항요소를 구비하고,
상기 온/오프밸브수단의 온/오프 제어동작에 따라 상기 유체의 경로가 변경되어 상기 출측유로로 배출되는 유체의 유량 또는 유압이 제어되며, 상기 출측유로로 배출되는 유체의 유량 또는 유압에 따라 출력값이 결정되는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 유체저항소자를 이용한 디지털 유체논리회로의 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
먼저, 이 발명에서 제안하는 유체저항소자 및 그를 이용한 유량/유압 조절장치에 대해 설명하고, 마지막으로 이 발명에 따른 디지털 유체논리회로를 설명한다.
도 2는 본 발명에서 제안하는 유체의 유동저항을 조절하는 방법을 개념적으로 도시한다.
도 2의 (a)는 본 발명에 의하여 정의된 단위유체저항요소를 평면상에 직렬로 연결하여 전체 유동저항을 조절하는 방법을 나타낸 것이고, 도 2의 (b)는 단위유체저항요소를 병렬로 연결하여 전체 유동저항을 조절하는 방법을 나타낸 것이며, 도 2의 (c)는 단위유체저항요소를 직병렬 혼합으로 연결하여 전체 유동저항을 조절하는 방법을 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 단위유체저항소자의 실시예들을 도시한 도면이다. 단위유체저항소자는 유로의 단면적을 조절하여 형성하여 유체의 유동저항을 조절한다. 도 3의 (a), (b), (c), (d), (e), (f), (g), (h), (i), (j), (k), (l), (m) 및 (n)은 각각 다양한 단위유체저항요소(52)를 형성하는 방법을 나타내고 있는데, (a) 및 (b)는 동일한 깊이를 가지는 유로(30) 내부에 유로의 폭에 비하여 상대적으로 유로의 폭을 줄이는 방법으로 단위유체저항요소(52)를 형성하는 방법을 도시하고 있다.
또한, 도 3의 (c), (d) 및 (e)는 동일한 깊이를 가지는 유로(30) 내부에 폭의 변화를 일정하게 하고, 유로(30)의 폭에 비하여 상대적으로 폭을 줄이는 방법으로 단위유체저항요소(52)를 형성하는 방법을 도시하고 있다.
또한, 도 3의 (f), (g), (h), (i), (j) 및 (k)는 동일한 깊이를 가지는 유로(30) 내부에 유로(30)의 폭에 비하여 상대적으로 유로의 폭을 넓히는 방법으로 단위유체저항요소(52)를 형성하는 방법을 도시하고 있다.
또한, 도 3의 (l), (m) 및 (n)은 유로(30) 내부에 기둥 형태의 기하학적 구조물(52)을 유로 내에 섬 형태로 제작하는 방법으로 단위유체저항요소(52)를 형성하는 방법을 도시하고 있다.
한편, 도 3의 (a) 내지 (n)에서, 유로(30)의 선단부(10)에는 유체 공급원(도면에는 도시되어 있지 아니함.)이 연통되고, 후단부(20)에는 유체의 출구가 연통될 수 있다. 그러면, 유체 공급원으로부터 공급된 유체가 유로(30)를 통하여 흐를 때, 단위유체저항요소(52)에서는 나머지 유로(30)에 비하여 상대적으로 큰 값의 점성에 의한 압력 손실과 기하학적 형상 변화에 의한 추가적인 압력 손실이 발생하게 되어, 단위유체저항요소(52)에서의 단위 길이당 유동저항이 유로(30)에서의 단위 길이당 유동저항에 비하여 훨씬 큰 값을 가지게 된다.
도 4는 본 발명에 따른 단위유체저항요소를 직렬 연결하여 유체저항소자를 구성한 실시예들을 도시한다.
도 4에 도시된 유체저항소자는 도 3과 같이 형성된 단위유체저항요소(50)를 구성할 수 있는데, 이 단위유체저항요소(50)를 유로와 유로 사이에 직렬로 연결하여 전체 유동저항을 조절한다.
전기 영역과 유체 영역의 유사성을 살펴보면, 전압은 유압, 전류는 단위 시간당 유량, 전기 저항은 유동저항에 대응되며, 각각의 영역 내에서의 역할이 아래의 [수학식 1]과 같이 매우 유사함을 알 수 있다.
여기서, R은 전기 저항이고, V는 전압차이며, i는 전류이고, Rf는 유동 또는 유압 저항이며, ΔP 는 압력차이고, Q는 유량율(Flow Rate)이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 유로(30)에서의 유동저항을 조절하기 위하여 유로 단면적을 조절하는 방법 대신 단위유체저항요소(41)를 단순히 직렬로 연결하여 각 유로(30)의 전체 유동저항을 조절한다. 이는 전기 영역에서 저항을 직렬로 연결하는 것을 모사한 것이다.
상술한 도 4의 유체저항소자에 일정한 유압 또는 유량, 혹은 맥동하는 유압 또는 유량으로 유체를 공급하는 유체 공급기를 연결하면, 공급되는 유체의 유압 또는 유량을 조절하여 배출하는 유량/유압 조절기를 구성할 수 있다.
도 5는 본 발명에 따른 단위유체저항요소를 병렬로 연결하여 유체저항소자를 구성한 방법을 도시한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 유로(30)의 전체 유동저항을 조절하기 위하여 그 저항값에 따라 유로의 단면적을 조절하는 방법 대신에 단위유체저항요소(51)를 병렬로 연결한다. 이는 전기 영역에서 저항을 병렬로 연결하는 것을 모사한 것이다.
상술한 도 5의 유체저항소자에 일정한 유압 또는 유량, 혹은 맥동하는 유압 또는 유량으로 유체를 공급하는 유체 공급기를 연결하면, 공급되는 유체의 유압 또는 유량을 조절하여 배출하는 유량/유압 조절기를 구성할 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 단위유체저항요소를 직병렬 혼합으로 연결하여 유체저항소자를 구성한 방법을 도시한다. 도 6의 (a)에서 단위유체저항요소(53)는 도 6의 (b)의 단위유체저항요소(54)와 동일하다.
이 경우 도 6의 (a)에서 단위유체저항요소(53)에 의한 유동 또는 유압 저항은 도 6의 (b)에서 단위유체저항요소(54)에 의한 유동 또는 유압 저항과 같게 된다. 도 6의 (b)에서 좌측의 단위유체저항요소와 우측의 단위유체저항요소는 각각 도 6의 (a)의 단위유체저항요소(53)에 비하여 절반 크기의 유동 또는 유압 저항을 가지게 된다. 이는 전기 영역에서 동일 크기의 저항을 직렬 및 병렬로 연결하여 같은 값의 저항값을 가지게 하는 것을 모사한 것이다.
상술한 도 6의 유체저항소자에 일정한 유압 또는 유량, 혹은 맥동하는 유압 또는 유량으로 유체를 공급하는 유체 공급기를 연결하면, 공급되는 유체의 유압 또는 유량을 조절하여 배출하는 유량/유압 조절기를 구성할 수 있다.
도 7은 본 발명에 의한 등가 회로 구성을 설명하기 위한 참고도이다. 즉, 도 7은 전압 또는 전류를 정해진 비율로 분배하는 전압, 전류 분배기의 회로도로서, 두 저항(R1, R2)의 양단(30) 사이에 전압 또는 전류원이 연결되면 두 저항의 저항값의 절대치와는 상관없이 저항값의 비에 따라 전압, 전류가 분배된다. 도 7과 같은 등가회로를 응용하면 유체를 정해진 비율로 혼합 또는 분배하는 유체 혼합기 또는 유체 분배기를 구성할 수 있다.
도 8은 본 발명에 따른 디지털 유체논리회로를 도시한 도면이다. 도 8의 (a)는 유체 논리곱(AND)소자의 일 실시예이고, 도 8의 (b)는 유체 논리합(OR)소자의 일 실시예이다.
유체 논리곱소자는 도 8의 (a)에 도시된 바와 같이 유로(30)의 입력단(10)에는 유체 공급원이 연통되고, 유로(30)를 통하여 유체가 1 개의 출구(20)와 2 개의 통기구(70, 71)에 유입된다. 입력단(10)과 도통된 유로(30)의 다른 한 끝단은 1 개의 통기구(70)와 도통된 직선 유로(31) 및 유체저항소자(52)를 포함하는 직선 유로(32)와 도통되고, 직선 유로(32)의 다른 한 끝단은 1 개의 통기구(71)와 도통된 다른 직선 유로(33) 및 유체저항소자(52)와 출구(20)를 포함하는 직선 유로(34)와 도통된다. 통기구(70, 71)에는 온/오프밸브(60A, 60B)가 연결되어, 온/오프밸브(60A, 60B)의 온/오프 동작에 따라 출구(20)로 배출되는 유체의 유량 또는 유압이 달라지며, 이 유체의 유량 또는 유압의 대소에 따라 출력값 '1', '0'이 결정된다.
도 8의 (a)는 유체 논리곱소자이다. 2개의 온/오프밸브(60A, 60B)가 모두 온(ON) 상태이면, 즉 온/오프밸브(60A, 60B)가 모두 통기구(70, 71)를 닫으면, 유체 공급원으로부터 제공되는 유체가 유로(30), 직선 유로(32), 유체저항소자(52), 및 직선 유로(34)를 통해 출구(20)로 배출되며, 이때 출구로 배출되는 유체의 유량이나 유압이 많기 때문에 출력값은 '1'로 된다.
한편, 2개의 온/오프밸브(60A, 60B) 중 어느 하나의 온/오프밸브가 온(ON) 상태이고 다른 하나의 온/오프밸브가 오프(OFF) 상태이거나, 두 온/오프밸브가 모두 오프(OFF) 상태이면, 즉 온/오프밸브 중 적어도 하나가 통기구를 열면, 유체 공급원으로부터 제공되는 유체가 상대적으로 저항값이 작은 직선 유로(31) 또는 직선 유로(33)를 통해 통기구로 배출되어, 출구로 배출되는 유체의 유량 또는 유압이 적어진다. 따라서, 이때의 출력값은 '0'이 된다.
한편, 유체 논리합소자는 도 8의 (b)에 도시된 바와 같이, 유로(30)의 2 개의 입력단(10A, 10B)에는 유체 공급원 및 온/오프밸브(60A, 60B)가 연통되고, 이러한 유로(30)를 통하여 유체가 출력단(20)으로 배출된다. 이 출력단(20)은 2 개의 입력단(10A, 10B)의 중앙에 위치한다. 그리고, 유체저항요소(52)는 2 개의 입력단(10A, 10B)과 출력단(20)을 연결하는 유로(30)에서 입력단(10A, 10B)이 결합된 점을 기준으로 같은 거리만큼 전방에 위치한다.
위의 유체 논리합소자의 동작을 설명하면, 이 유체 논리합소자는 2개의 입력단(10A, 10B)의 온/오프밸브(60A, 60B) 중 임의의 1 개 또는 2 개가 온 상태가 되었을 때 출력단(20)이 '1' 상태가 되어야 한다. 2개의 입력단(10A, 10B)의 온/오프밸브가 모두 온 상태에서는 통기구가 열리기 때문에 유체 공급원으로부터 유체가 유로(30)로 입력되어 출력단(20)을 통해 배출된다. 2개의 온/오프밸브 중 어느 하나의 온/오프밸브가 온 상태에서, 하나의 통기구가 열리기 때문에 유체 공급원으로부터 유체가 유로로 입력되어 출력단을 통해 배출된다. 따라서, 이때의 출력값은 '1'이 된다.
한편, 2개의 온/오프밸브가 모두 오프 상태에서는 두 개의 통기구가 모두 닫힌 상태이기 때문에 유체 공급원으로부터 유체가 유로로 입력되지 않고, 따라서 출력단을 통해 배출되는 유체도 없다. 따라서, 이때의 출력값은 '0'이 된다.
이러한 유체논리회로를 조합하여 다양한 논리 회로를 구성할 수 있다.
이상에서 본 발명에 대한 기술 사상을 첨부 도면과 함께 서술하였지만, 이는 본 발명의 가장 양호한 일 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 이 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자이면 누구나 본 발명의 기술 사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.
이상과 같이 본 발명에 따른, 단위유체저항요소를 이용한 복합유체소자 및 유체회로망은, 유동 또는 유압 저항을 조절하기 위하여 유로의 폭과 깊이를 조절하는 기존의 방식과 달리, 일정한 유동저항을 가지는 단위유체저항요소를 직렬, 병렬, 또는 직병렬 혼합 연결을 통하여 전체 유체 시스템 내에 필요한 유동 또는 유압 저항을 설정하기 때문에, 복잡한 계산없이 정의된 단위유체저항요소를 평면상에 단순히 배치하는 방법을 통하여 유로를 설계할 수 있으며, 제작 과정시 발생하는 가공 오차의 영향을 줄일 수 있는 효과가 있다.
이러한 본 발명은 인슐린 펌프(Insulin Pump)와 같은 미소 유량 또는 유압 조절기에 사용할 수 있고, 이는 폐쇄형 인공 췌장을 구현하기 위한 초소형 생체 시료 주입기 및 미소 약물 혼합기에 적용될 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 유체의 유동저항을 조절하는 방법을 나타낸 개념도,
도 2는 본 발명에서 제안하는 유체의 유동저항을 조절하는 방법을 개념적으로 도시한 도면,
도 3은 본 발명에 따른 유체의 유동저항을 조절하기 위하여 유로의 단면적이 급격히 줄어드는 부분을 제작하는 방법을 이용하여 다양한 단위유체저항요소를 형성하는 실시예를 도시한 도면,
도 4는 본 발명에 따른 단위유체저항요소의 직렬 연결을 통하여 유체저항소자를 구성한 실시예들을 도시한 도면,
도 5는 본 발명에 따른 단위유체저항요소의 병렬 연결을 통하여 유체저항소자를 구성한 실시예들을 도시한 도면,
도 6은 본 발명에 따른 단위유체저항요소의 직병렬 혼합 연결을 통하여 유체저항소자를 구성한 실시예들을 도시한 도면,
도 7은 본 발명에 따른 유체저항소자의 등가 회로 구성을 설명하기 위한 참고도,
도 8은 본 발명에 따른 유체저항소자를 이용하여 디지털 유체논리회로를 구성한 실시예들을 도시한 도면이다.

Claims (8)

  1. 유체를 공급하는 유체공급원과, 상기 유체공급원과 연통되는 입측유로 및 유체가 배출되는 출측유로와, 상기 입측유로와 출측유로 사이에 구성되어 상기 출측유로로 배출되는 유체의 유량 또는 유압을 조절하는 유체논리부를 구비하고,
    상기 유체논리부는 상기 유체의 유입여부 또는 다른 통기구로의 배출여부를 제어하는 온/오프밸브수단과, 상기 입측유로를 통해 공급되는 상기 유체의 적어도 2개 이상의 경로를 형성하는 다수의 유체저항소자 및 직선유로를 구비하며,
    상기 입측유로와 출측유로 사이에 직렬, 병렬 또는 직병렬 혼합으로 연결되고 각각 동일한 단위 유체저항값을 갖는 적어도 2개 이상의 단위유체저항요소를 구비하고,
    상기 온/오프밸브수단의 온/오프 제어동작에 따라 상기 유체의 경로가 변경되어 상기 출측유로로 배출되는 유체의 유량 또는 유압이 제어되며, 상기 출측유로로 배출되는 유체의 유량 또는 유압에 따라 출력값이 결정되는 것을 특징으로 하는 디지털 유체논리회로.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 유체논리부는,
    상기 입측유로를 통해 상기 유체공급원으로부터 공급되는 유체를 분리하여 각각 입력하는 제1직선유로 및 제1유체저항소자와, 상기 제1유체저항소자를 통과한 유체를 분리하여 각각 입력하는 제2직선유로 및 제2유체저항소자와, 상기 제1직선유로를 통과한 유체의 통기구로의 배출여부를 제어하는 제1온/오프밸브와, 상기 제2직선유로를 통과한 유체의 통기구로의 배출여부를 제어하는 제2온/오프밸브를 구비하고, 상기 출측유로는 상기 제2유체저항소자와 연결되어 상기 제1유체저항소자와 제2유체저항소자를 통과한 유체를 외부로 배출하며,
    상기 유체저항소자는 임의의 두 유로 사이를 직렬, 병렬 또는 직병렬 혼합으로 연결되고 각각 동일한 단위 유체저항값을 갖는 적어도 2개 이상의 단위유체저항요소를 구비한 것을 특징으로 하는 디지털 유체논리회로.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 유체논리부는,
    상기 유체공급원으로부터 공급되는 제1경로의 유체의 유입여부를 제어하는 제1온/오프밸브와, 상기 유체공급원으로부터 공급되는 제2경로의 유체의 유입여부를 제어하는 제2온/오프밸브와, 상기 제2온/오프밸브를 통과한 유체가 상기 제1온/오프밸브 쪽으로 역류하지 않고 상기 출측유로 쪽으로 흐르도록 상기 제1온/오프밸브와 출측유로 사이에 연결된 제1유체저항소자와, 상기 제1온/오프밸브를 통과한 유체가 상기 제2온/오프밸브 쪽으로 역류하지 않고 상기 출측유로 쪽으로 흐르도록 상기 제2온/오프밸브와 상기 출측유로 사이에 연결된 제2유체저항소자를 구비하고,
    상기 유체저항소자는 임의의 두 유로 사이를 직렬, 병렬 또는 직병렬 혼합으로 연결되고 각각 동일한 단위 유체저항값을 갖는 적어도 2개 이상의 단위유체저항요소를 구비한 것을 특징으로 하는 디지털 유체논리회로.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 단위유체저항요소는 동일한 깊이 및 폭을 가지는 유로를 형성하면서 일정한 위치에서 기둥 형태의 돌기가 유로 내에 섬 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 디지털 유체논리회로.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 돌기는 원기둥 또는 다각기둥 형상인 것을 특징으로 하는 디지털 유체논리회로.
  6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 단위유체저항요소는 동일한 깊이 및 폭을 가지는 유로를 형성하면서 일정한 위치에서 폭이 변경되어 소정의 기하학적 형상을 갖는 유로를 형성하는 것을 특징으로 하는 디지털 유체논리회로.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 단위유체저항요소는 동일한 깊이를 가지는 유로 내부에 상대적으로 폭을 줄이는 기하학적 형상을 형성한 것을 특징으로 하는 디지털 유체논리회로.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 단위유체저항요소는 동일한 깊이를 가지는 유로 내부에 상대적으로 폭을 넓히는 기하학적 형상을 형성한 것을 특징으로 하는 디지털 유체논리회로.
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