KR20050081824A - Photosensitive polyamic acid derivatives and polyimides for insulator of organic thin film transistor - Google Patents

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Abstract

본 발명은 전유기 박막 트랜지스터 절연체용 감광성 폴리아믹산과 이를 광경화하여 제조한 폴리이미드 수지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 방향족 테트라카르복시산 이무수물과 감광성 방향족 디아민의 단량체를 중합반응시켜 폴리이미드계 수지를 제조함에 있어, 저극성 알킬기 함유 디아민 단량체를 필수 조성물질로서 함유시켜 용액중합 반응하여 제조한 것으로 광개시제 없이도 자체 광반응이 가능하고 표면의 극성이 제어되어 전유기 박막 트랜지스터의 절연체용 소재로서 유용한 효과가 있는 신규 감광성 폴리아믹산과 이를 광경화하여 제조한 폴리이미드 수지에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive polyamic acid for an all organic thin film transistor insulator and a polyimide resin prepared by photocuring the polymer. In the preparation, it is prepared by solution polymerization reaction containing low polar alkyl group-containing diamine monomer as essential composition material, and it is possible to self photoreaction without photoinitiator and its surface polarity is controlled, which is useful as an insulator material for all organic thin film transistors. Novel photosensitive polyamic acid and a polyimide resin prepared by photocuring it.

Description

전유기 박막트랜지스터 절연체용 감광성 폴리아믹산 및 이로부터 제조된 폴리이미드 수지{Photosensitive polyamic acid derivatives and polyimides for insulator of organic thin film transistor} Photosensitive polyamic acid derivatives and polyimides for insulator of organic thin film transistor}

본 발명은 전유기 박막 트랜지스터 절연체용 감광성 폴리아믹산과 이를 광경화하여 제조한 폴리이미드 수지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 방향족 테트라카르복시산 이무수물과 감광성 방향족 디아민의 단량체를 중합반응시켜 폴리이미드계 수지를 제조함에 있어, 저극성 알킬기 함유 디아민 단량체를 필수 조성물질로서 함유시켜 용액중합 반응하여 제조한 것으로 광개시제 없이도 자체 광반응이 가능하고 표면의 극성이 제어되어 전유기 박막 트랜지스터의 절연체용 소재로서 유용한 효과가 있는 신규 감광성 폴리아믹산과 이를 광경화하여 제조한 폴리이미드 수지에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive polyamic acid for an all organic thin film transistor insulator and a polyimide resin prepared by photocuring the polymer. In the preparation, it is prepared by solution polymerization reaction containing low polar alkyl group-containing diamine monomer as essential composition material, and it is possible to self photoreaction without photoinitiator and its surface polarity is controlled, which is useful as an insulator material for all organic thin film transistors. Novel photosensitive polyamic acid and a polyimide resin prepared by photocuring it.

폴리이미드 수지는 방향족 테트라카르복시산 또는 그 유도체와 방향족 디아민 또는 방향족 디이소시아네이트를 축중합 후 이미드화하여 제조되는 고내열 수지로서, 사용된 단량체의 종류에 따라 여러 가지의 분자구조를 가질 수 있다.The polyimide resin is a high heat resistant resin prepared by imidating an aromatic tetracarboxylic acid or a derivative thereof and an aromatic diamine or an aromatic diisocyanate, and may have various molecular structures depending on the type of monomer used.

이와 같은 폴리이미드 수지는 불용·불융의 초고내열성 수지로서 다음과 같은 특성을 가지고 있다: (1) 뛰어난 내열산화성 보유, (2) 사용 가능한 온도가 대단히 높으며, 장기 사용온도는 약 260 ℃이고, 단기 사용 온도는 480 ℃ 정도로 매우 우수한 내열특성 보유, (3) 뛰어난 전기화학적·기계적 특성 보유, (4) 내방사선성 및 저온특성 우수, (5) 고유 난연성 보유, (6) 내약품성 우수.These polyimide resins are insoluble and insoluble ultra-high heat resistant resins, which have the following characteristics: (1) excellent thermal oxidation resistance, and (2) extremely high usable temperature, long-term service temperature of about 260 ° C. The use temperature is very good at about 480 ℃, and it has excellent heat resistance, (3) excellent electrochemical and mechanical properties, (4) excellent radiation and low temperature properties, (5) good flame resistance, and (6) good chemical resistance.

상기와 같은 방향족 폴리이미드 수지는 우수한 내열특성을 보유하는 장점이 있지만, 반면에 높은 극성기 밀도로 인해 표면장력이 높으며, 박막트랜지스터용 절연체로 적용하기에는 낮은 유전 상수 등을 가지는 단점이 있으며 광경화에 의한 패턴의 형성이 용이하지 않은 단점을 가지고 있다. Aromatic polyimide resins as described above have the advantage of retaining excellent heat resistance characteristics, on the other hand, have high surface tension due to high polar group density, and have the disadvantage of having a low dielectric constant to be applied as an insulator for thin film transistors. There is a disadvantage that the formation of the pattern is not easy.

일반적으로 박막트랜지스터용 절연재로는 높은 유전상수를 갖는 무기박막 예를 들면 실리콘 질화물(silicon nitride), 바륨 스트론튬(barium strontium), 바륨 티타네이트(barium titanate) 등이 일반적으로 사용되고 있고, 대부분의 경우 박막 증착을 위해 고가의 진공 장비가 요구되는 단점이 있다. 그리하여 미국특허 제5,946,551호 등에서는 비교적 저온에서 화학적 용액공정에 의해 무기박막의 전구체로부터 무기박막을 형성하는 결과를 보고하기도 하였으나, 이 경우에도 300 ∼ 700 ℃ 정도의 높은 공정온도가 요구되어 공정온도가 200 ℃ 이하로 제한되어 있는 폴리카보네이트, 폴리설폰, 폴리에테르설폰과 같은 플라스틱 기판 위에서의 저온 박막화 공정이 어려운 단점을 안고 있다. In general, as an insulating material for thin film transistors, inorganic thin films having a high dielectric constant such as silicon nitride, barium strontium, and barium titanate are generally used. There is a disadvantage that expensive vacuum equipment is required for deposition. Thus, U.S. Patent No. 5,946,551 et al. Reported the formation of an inorganic thin film from a precursor of an inorganic thin film by a chemical solution process at a relatively low temperature. In this case, however, a process temperature of about 300 to 700 ° C. is required. The low temperature thinning process on plastic substrates such as polycarbonate, polysulfone, polyethersulfone, which are limited to 200 ° C. or less, has a difficult disadvantage.

뿐만 아니라 박막트랜지스터용 절연체는 유리(glass) 혹은 플라스틱 기판과 같은 유/무기소재 위에 미세 패턴을 형성할 수 있는 감광성이 요구되는데, 이의 해결을 위해서는 포토레지스트 도포를 통한 고가의 다단계 공정이 필요하다. 따라서 절연체 자체에 감광기능을 부여할 경우 공정을 크게 단순화시킬 수 있는 장점이 있다. In addition, the insulator for thin film transistors requires photosensitivity to form a fine pattern on organic / inorganic materials such as glass or plastic substrates. To solve this problem, an expensive multi-step process is required through photoresist coating. Therefore, when the photosensitive function is applied to the insulator itself, there is an advantage that can greatly simplify the process.

또한 박막트랜지스터의 고이동도 구현을 위한 절연체의 주요 요구 특성 중의 하나로서 펜타센(pentacene)과 같은 저극성 유기 반도체 물질과의 계면장력을 최소화함이 요구되고 있는 바, 이를 위해서는 절연체 표면의 표면장력이 정밀 제어된 신규 유기 소재의 개발이 크게 요구되고 있다.  In addition, it is required to minimize the interfacial tension with low-polar organic semiconductor materials such as pentacene as one of the main characteristics of the insulator for high mobility of the thin film transistor. There is a great demand for the development of this precisely controlled new organic material.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명의 발명자들은 ①특정의 감광성 기능기를 함유하는 방향족 디아민과 함께 ②저극성 알킬기를 함유한 디아민 단량체를 포함하는 혼합물을 ③특정의 테트라카르복실산 이무수물과 중합 반응하여 폴리아믹산을 제조하였으며, ④이로부터 제조된 감광성 폴리이미드 수지는 감광특성이 우수하여 자체 광반응에 광개시제 첨가 없이도 자외광 조사에 의해 미세패턴 형성이 가능할 뿐만 아니라 ⑤이로부터 제작된 전유기 트랜지스터 소자는 전계효과전하이동도가 뛰어남을 확인함으로써 본 발명을 완성하게 되었다. In order to solve the above problems, the inventors of the present invention polymerize a mixture containing (1) aromatic diamine containing a specific photosensitive functional group, (2) diamine monomer containing a low polar alkyl group, and (3) specific tetracarboxylic dianhydride. The polyamic acid was prepared by the reaction. (4) The photosensitive polyimide resin prepared therefrom has excellent photosensitivity, so that it is possible to form a fine pattern by ultraviolet light irradiation without the addition of a photoinitiator in its own photoreaction. The device completed the present invention by confirming the excellent field effect charge mobility.

또한 상기 폴리아믹산을 광경화 반응시켜서 제조한 폴리이미드 수지는 기존 폴리이미드 수지의 특성을 거의 그대로 유지하면서 광반응에 의한 미세패턴 형성이 가능할 뿐만 아니라 낮은 표면장력 및 높은 전계효과 전하 이동도를 갖기 때문에 공정의 단순함이 요구되는 전유기 박막트랜지스터용 절연체로 사용이 가능한 특징이 있다. In addition, the polyimide resin prepared by photocuring the polyamic acid is capable of forming a micropattern by photoreaction while maintaining the properties of the existing polyimide resin as it is, as well as having a low surface tension and high field effect charge mobility. It can be used as an insulator for all organic thin film transistors that require simplicity of process.

따라서, 본 발명은 유기박막트랜지스터 등의 첨단 산업용 핵심 소재로서 우수한 물성을 갖는 신규 구조의 감광성 폴리아믹산과 이를 광경화 반응시켜 제조한 것으로 우수한 전기적 절연특성을 갖는 신규 감광성 폴리이미드 수지를 제공하는데 그 목적이 있다. Accordingly, the present invention provides a novel photosensitive polyimide resin having excellent electrical insulation properties as a photosensitive polyamic acid having a novel structure having excellent physical properties and photocuring reaction thereof as a core industrial core material such as an organic thin film transistor. There is this.

본 발명은 다음 화학식 1로 표시되는 신규 구조의 감광성 폴리아믹산 및 이를 광경화하여 제조한 폴리이미드 수지를 그 특징으로 한다 :The present invention is characterized by a photosensitive polyamic acid having a novel structure represented by the following Chemical Formula 1 and a polyimide resin prepared by photocuring the same:

상기 화학식 1에서:In Formula 1 above:

, , , , , , , , , 중에서 선택된 하나 이상의 4가기로서, 반드시 (i)로 표시되는 4가기를 포함하는 것을 특징으로 하며; Is , , , , , , , , , And At least one tetravalent selected from among, characterized in that it comprises a tetravalent represented by (i) necessarily;

, , , , , , , , , , , , , , , , , , , 및 중에서 선택된 1종 이상의 2가기로서, 반드시 (ⅱ), (ⅲ) 및 (ⅳ) 중에서 선택된 하나 이상의 감광성기와 (v)로 표시되는 저극성기가 항상 포함되며; Is , , , , , , , , , , , , , , , , , , , And At least one divalent group selected from among always includes at least one photosensitive group selected from (ii), (iii) and (iii) and a low polar group represented by (v);

ℓ은 100 ∼ 1000 범위의 자연수이고; m 및 n은 1 ∼ 30 범위의 자연수이며; R1, R2, R3은 각각 탄소수 1 ∼ 30 사이의 알킬기 또는 아릴기이고; Z는 에스테르기, 아미드기, 이미드기 및 에테르기 중에서 선택된 하나이다.L is a natural number in the range of 100 to 1000; m and n are natural numbers ranging from 1 to 30; R 1 , R 2 and R 3 are each an alkyl or aryl group having 1 to 30 carbon atoms; Z is one selected from an ester group, an amide group, an imide group and an ether group.

또한 본 발명은 상기 화학식 1로 표시되는 폴리아믹산을 광경화한 후 이미드화 반응하여 제조한 폴리이미드 수지를 포함하는 바, 본 발명의 폴리이미드 수지는 표면장력이 35 ∼ 45 dyne/cm의 범위에 있으며, 유전상수가 3 ∼ 6 범위에 있다.In addition, the present invention includes a polyimide resin prepared by photo-curing the polyamic acid represented by the formula (1) and then imidization reaction, the polyimide resin of the present invention has a surface tension in the range of 35 to 45 dyne / cm The dielectric constant is in the range of 3-6.

이와 같은 본 발명을 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the present invention in more detail as follows.

본 발명에 따른 감광성 폴리아믹산을 제조하기 위해 테트라카르복시산 이무수물로서는 피로멜리트산 이무수물, 벤조페논테트라카르복실산 이무수물, 옥시디프탈산 이무수물, 비프탈산 이무수물 및 헥사플루오로이소프로필리덴디프탈산 이무수물을 사용한다. 특히 벤조페논테트라카르복실산 이무수물(i, BTDA)을 필수성분으로 사용함에 의해 광경화제 없이 자외선 조사에 의해 광경화 반응이 가능하게 하였다. 상기 방향족 고리 함유 테트라카르복시산 이무수물 이외에도 필요에 따라 당 분야에서 통상적으로 사용되어온 1,2,3,4-시클로부탄테트라카르복시산 이무수물[CBDA], 1,2,3,4-시클로펜탄테트라카르복시산 이무수물[CPDA], 5-(2,5-디옥소테트라히드로퓨릴)-3-메틸시클로헥산-1,2-디카르복시산 이무수물[DOCDA], 4-(2,5-디옥소테트라히드로퓨릴-3-일)-테트랄린-1,2-디카르복시산 이무수물[DOTDA] 및 바이시클로옥텐-2,3,5,6-테트라카르복시산 이무수물[BODA] 중에서 선택된 1종 이상의 지방족 고리 함유 테트라카르복시산 이무수물을 사용할 수 있다. 본 발명이 산 무수물 단량체로서 필수적으로 사용하는 (ⅰ)로 표시되는 벤조페논테트라카르복실산 이무수물은 전체 테트라카르복시산 이무수물 단량체 사용량의 10 ∼ 100 몰%로 사용할 수 있으며, 사용량이 10 몰% 미만이면 자외광에 의한 패턴 형성이 불충분한 단점이 있다. Tetracarboxylic dianhydrides for the preparation of the photosensitive polyamic acid according to the present invention include pyromellitic dianhydride, benzophenonetetracarboxylic dianhydride, oxydiphthalic dianhydride, nonphthalic dianhydride and hexafluoroisopropylidenediphthalic acid. Use dianhydrides. In particular, by using the benzophenone tetracarboxylic dianhydride (i, BTDA) as an essential component to enable the photocuring reaction by ultraviolet irradiation without a photocuring agent. In addition to the aromatic ring-containing tetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride [CBDA], 1,2,3,4-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride which has been commonly used in the art as needed. Water [CPDA], 5- (2,5-dioxotetrahydrofuryl) -3-methylcyclohexane-1,2-dicarboxylic dianhydride [DOCDA], 4- (2,5-dioxotetrahydrofuryl- 3-yl) -tetralin-1,2-dicarboxylic dianhydride [DOTDA] and bicyclooctene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride [BODA] at least one aliphatic ring-containing tetracarboxylic acid You may use dianhydrides. The benzophenonetetracarboxylic dianhydride represented by (i) which is essentially used as the acid anhydride monomer in the present invention can be used in 10 to 100 mol% of the total amount of tetracarboxylic dianhydride monomers, and the amount is less than 10 mol%. There is a disadvantage that the pattern formation by the ultraviolet light is insufficient.

한편, 또 다른 단량체로서 디아민은 감광성 기능기 함유 디아민 단량체와 저극성 알킬기 함유 디아민 단량체 이외에도 통상적으로 사용되어온 방향족 디아민 단량체가 사용될 수 있다. 감광성 기능기 함유 디아민으로서는 2-(메타크릴로일옥시)에틸 3,5-디아미노벤조에이트 (ⅱ, DA-MA), 3,5-디아미노벤젠 신나메이트 (ⅲ, DA-CN) 및 7-(3,5-디아미노벤조일옥시)쿠마린 (ⅳ, DA-CM) 중에서 선택된 1종 이상의 방향족 디아민을 필수성분으로 사용한다. 특히, 본 발명에서는 저극성 알킬기 함유 디아민 단량체 (v)를 필수 조성성분으로서 선택 사용한데 그 특징이 있으며, 이로써 감광성 폴리이미드 절연체의 표면장력 제어능을 향상시킬 수 있었다. 상기한 저극성 알킬기 함유 디아민 단량체는 전체 디아민 단량체 사용량에 대해 10 ∼ 100 몰% 범위로 사용하며, 이때 사용량이 10 몰% 미만이면 자외광에 의한 패턴 형성이 불충분하며, 내화학성이 낮아지는 단점이 있다. 또한, 본 발명은 상기한 디아민 단량체 이외에도 당 분야에서 통상적으로 사용되어온 방향족 디아민 단량체, 예를 들면, 파라-페닐렌디아민[p-PDA], 메타-페닐렌디아민[m-PDA], 4,4-옥시디아닐린[ODA], 4,4-메틸렌디아닐린[MDA], 2,2-비스아미노페닐헥사풀루오로프로판[HFDA], 메타비스아미노페녹시디페닐설폰[m-BAPS], 파라비스아미노페녹시디페닐설폰[p-BAPS], 1,4-비스아미노페녹시벤젠[TPE-Q], 1,3-비스아미노페녹시벤젠[TPE-R], 2,2-비스아미노페녹시페닐프로판[BAPP], 2,2-비스아미노페녹시페닐헥사풀루오로프로판[HFBAPP], 5-디아미노벤조산, 2,4-디아미노벤젠 설폰산, 2,5-디아미노벤젠 설폰산, 및 2,2-디아미노벤젠 디설폰산 등 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 디아민 단량체를 사용할 수 있다.On the other hand, as another monomer, the diamine may be an aromatic diamine monomer that has been commonly used in addition to the photosensitive functional group-containing diamine monomer and the low polar alkyl group-containing diamine monomer. Examples of the photosensitive functional group-containing diamine include 2- (methacryloyloxy) ethyl 3,5-diaminobenzoate (ii, DA-MA), 3,5-diaminobenzene cinnamate (VII, DA-CN), and 7 At least one aromatic diamine selected from-(3,5-diaminobenzoyloxy) coumarin (ⅳ, DA-CM) is used as an essential ingredient. Particularly, in the present invention, a low polar alkyl group-containing diamine monomer (v) is selected and used as an essential composition component, which has the characteristics, thereby improving the surface tension control ability of the photosensitive polyimide insulator. The low polar alkyl group-containing diamine monomer is used in the range of 10 to 100 mol% based on the total amount of diamine monomer, and if the amount is less than 10 mol%, pattern formation by ultraviolet light is insufficient and chemical resistance is low. have. In addition, the present invention, in addition to the diamine monomers described above, aromatic diamine monomers commonly used in the art, for example, para-phenylenediamine [ p -PDA], meta-phenylenediamine [ m -PDA], 4,4 -Oxydianiline [ODA], 4,4-methylenedianiline [MDA], 2,2-bisaminophenylhexafuluropropane [HFDA], metabisaminophenoxydiphenylsulfone [ m- BAPS], parabis Aminophenoxydiphenylsulfone [ p- BAPS], 1,4-bisaminophenoxybenzene [TPE-Q], 1,3-bisaminophenoxybenzene [TPE-R], 2,2-bisaminophenoxyphenyl Propane [BAPP], 2,2-bisaminophenoxyphenylhexafuluropropane [HFBAPP], 5-diaminobenzoic acid, 2,4-diaminobenzene sulfonic acid, 2,5-diaminobenzene sulfonic acid, and One or two or more diamine monomers selected from 2,2-diaminobenzene disulfonic acid and the like can be used.

본 발명에 따른 폴리아믹산은 상기 테트라카르복시산 이무수물과 감광성 디아민 단량체 및 저극성 치환기를 가지는 디아민 단량체 등의 디아민 단량체를 극성 유기 용매에 용해시켜 용액 중합하여 제조한다. 상기 용액 중합반응에 사용되는 용매는 메타-크레졸, N-메틸-2-피롤리돈(NMP), 디메틸포름아미드(DMF), 디메틸아세트아미드(DMAc), 감마부티로락톤, 2-부톡시에탄올 및 2-에톡시에탄올 등 중에서 선택된 하나 또는 그 이상의 혼합 용매이다.The polyamic acid according to the present invention is prepared by dissolving a diamine monomer such as tetracarboxylic dianhydride, a photosensitive diamine monomer and a diamine monomer having a low polar substituent in a polar organic solvent and solution polymerization. Solvents used in the solution polymerization are meta-cresol, N -methyl-2-pyrrolidone (NMP), dimethylformamide (DMF), dimethylacetamide (DMAc), gamma butyrolactone, 2-butoxyethanol And one or more mixed solvents selected from 2-ethoxyethanol and the like.

상기의 단량체로부터 제조된 본 발명의 폴리아믹산은 10,000 ∼ 200,000 g/㏖ 범위의 중량평균 분자량(Mw)을 가지며, 0.05 ∼ 1.0 g/dL 범위의 고유점도를 유지하고 있다.The polyamic acid of the present invention prepared from the above monomers has a weight average molecular weight (Mw) in the range of 10,000 to 200,000 g / mol, and maintains an intrinsic viscosity in the range of 0.05 to 1.0 g / dL.

또한, 상기 폴리아믹산을 경화하여 폴리이미드 수지를 제조함에 있어, 폴리아믹산의 경화온도는 90 ∼ 300 ℃의 범위이며, 보다 구체적으로 1차 경화온도는 90 ∼ 150 ℃ 범위이고, 2차 경화온도는 200 ∼ 300 ℃ 범위인 것이 보다 바람직하며, 경화 시간은 1 ∼ 180 분 범위에 있다. 이미드화 촉매로서는 p-톨루엔술폰산, 히드록시 벤조산, 크로톤산 등의 유기산 및 유기아민 유도체들을 상기 반응 혼합물의 전체 양을 기준으로 0 ∼ 5 중량%의 양으로 첨가할 수 있으며, 라디칼 중합 억제제로서 하이드로퀴논 등이 폴리이미드 수지에 대해 30 ∼ 500 ppm의 범위로 사용될 수 있다.In addition, in preparing the polyimide resin by curing the polyamic acid, the curing temperature of the polyamic acid is in the range of 90 ~ 300 ℃, more specifically the primary curing temperature is in the range of 90 ~ 150 ℃, the secondary curing temperature is It is more preferable that it is the range of 200-300 degreeC, and hardening time exists in the range of 1-180 minutes. As the imidization catalyst, organic acids and organic amine derivatives such as p -toluenesulfonic acid, hydroxy benzoic acid and crotonic acid may be added in an amount of 0 to 5% by weight based on the total amount of the reaction mixture. Quinone or the like can be used in the range of 30 to 500 ppm with respect to the polyimide resin.

상기와 같은 방법으로 경화하여 제조된 본 발명에 따른 폴리이미드 수지의 열분해온도는 380 ∼ 420 ℃의 범위에 있었으며, 100 ∼ 5,000 mJ/㎠의 광량을 가지는 자외선의 조사에 의해 10 ∼ 50 ㎛ 범위의 우수한 해상도를 나타내었다. 뿐만 아니라, 광경화 후 감광성 폴리이미드계 수지의 내화학성은 크게 개선되었으며 2.38% 테트라메틸암모늄 히드록사이드 수용액에 불용의 상태를 보여주었다. 또한, 1 MHz의 주파수에서 3 ∼ 6의 유전상수를 보였으며, 표면장력은 35 ∼ 45 dyne/cm의 범위에 있음을 알 수가 있었다. 또한 280 ∼ 300 nm의 파장을 가지는 자외광을 조사함에 의해 10 ∼ 50 ㎛의 미세패턴형성이 가능하였다. Pyrolysis temperature of the polyimide resin according to the present invention prepared by curing in the above manner was in the range of 380 ~ 420 ℃, 10 ~ 50 ㎛ range by irradiation of ultraviolet light having a light amount of 100 ~ 5,000 mJ / ㎠ Excellent resolution was shown. In addition, the chemical resistance of the photosensitive polyimide-based resin after photocuring was greatly improved and insoluble in 2.38% aqueous tetramethylammonium hydroxide solution. In addition, the dielectric constant of 3 to 6 was shown at a frequency of 1 MHz, and the surface tension was found to be in the range of 35 to 45 dyne / cm. Further, by irradiating ultraviolet light having a wavelength of 280 to 300 nm, it was possible to form a fine pattern of 10 to 50 µm.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 폴리아믹산 및 이를 경화하여 제조한 폴리이미드 수지는 기존에 제조된 바 없는 신규한 물질로서, 감광성기 및 저극성 알킬 측쇄의 도입에 의하여 감광성과 표면 특성 및 상기 물질의 적용에 의하여 제조된 유기 트랜지스터의 전기절연특성 및 전하이동특성이 특히 개선된 신규한 고분자 소재이다. The polyamic acid and the polyimide resin prepared by curing the polyamic acid according to the present invention as described above are new materials that have not been prepared in the past, and the photosensitivity and surface properties and the materials are introduced by the introduction of a photosensitive group and a low polar alkyl side chain. It is a novel polymer material in which the electrical insulation properties and the charge transfer properties of the organic transistors produced by the application are improved.

이와 같은 본 발명은 실시예에 의거하여 더욱 구체적으로 설명하는 바, 본 발명이 다음 실시예에 의하여 한정되는 것은 아니다.Such the present invention will be described in more detail based on Examples, but the present invention is not limited by the following Examples.

제조예 1: 7-(3,5-디니트벤조일옥시)쿠마린 (DN-CM)의 제조Preparation Example 1 Preparation of 7- (3,5-dinithbenzoyloxy) coumarin (DN-CM)

교반기, 질소주입장치가 부착된 500 ㎖의 반응기에 질소가스를 서서히 통과시키면서 50 g의 3,5-디니로트로벤조일클로라이드를 600 ㎖의 피리딘에 용해시킨 후, 질소가스를 통과시키면서 35.2 g의 7-하이드록시쿠마린을 넣고 2시간 동안 110 까지 승온한 후, 온도를 유지하면서 24시간 동안 교반하였다. 반응용액을 고온 여과한 후 과량의 물에 침전하여 고체를 수득하였으며, 이를 에틸아세테이트에서 재결정하여 77.3 g의 7-(3,5-디니트로벤조일옥시)쿠마린(DN-CM)를 제조하였다(수율 80%).50 g of 3,5-dinitrotrobenzoyl chloride was dissolved in 600 ml of pyridine while slowly passing nitrogen gas through a 500 ml reactor equipped with a stirrer and a nitrogen injector, followed by 35.2 g of 7 -Hydroxycoumarin was added and the temperature was raised to 110 for 2 hours, followed by stirring for 24 hours while maintaining the temperature. The reaction solution was filtered hot and precipitated in excess water to obtain a solid, which was recrystallized from ethyl acetate to prepare 77.3 g of 7- (3,5-dinitrobenzoyloxy) coumarin (DN-CM) (yield). 80%).

제조예 2: 7-(3,5-디아미노벤조일옥시)쿠마린 (DA-CM)의 제조Preparation Example 2 Preparation of 7- (3,5-diaminobenzoyloxy) coumarin (DA-CM)

4구 둥근 플라스크에 525 ㎖의 이소프로필 알코올/물/N-메틸-2-피롤리돈(NMP)를 4/1/2 부피비로 넣고 33 g의 DN-CM을 용해시킨 후 50 ℃까지 승온하였다. 여기에 51.7 g의 철을 넣고 0.8 ㎖의 염산을 천천히 가한 다음 20분이 지난 후 동량의 철가루와 염산를 넣었다. 이어서 10 분동안 70 ℃로 승온한 후 1시간에 걸쳐 103.4 g의 철과 1.6 ㎖의 염산을 천천히 첨가하여 동일온도에서 24시간 동안 반응시킨 후 여과하였다. 여기에 0.1 N의 수산화나트륨 수용액 9.3 ㎖을 넣어 중화한 후, 여과를 통해 철가루를 제거하였다. 용제를 제거한 후 에탄올에서 재결정하여 연노랑색의 7-(3,5-디아미노벤조일옥시)쿠마린(DA-CM) 13.4 g을 수득하였다(수율 49%).525 ml of isopropyl alcohol / water / N- methyl-2-pyrrolidone (NMP) was added to a four-necked round flask in a 4/1/2 volume ratio to dissolve 33 g of DN-CM and heated up to 50 ° C. . 51.7 g of iron was added thereto, and 0.8 ml of hydrochloric acid was added slowly. After 20 minutes, the same amount of iron powder and hydrochloric acid were added thereto. Subsequently, after raising the temperature to 70 ° C. for 10 minutes, 103.4 g of iron and 1.6 ml of hydrochloric acid were slowly added over 1 hour, and reacted at the same temperature for 24 hours, followed by filtration. 9.3 ml of 0.1 N aqueous sodium hydroxide solution was added thereto and neutralized, and iron powder was removed by filtration. The solvent was removed and recrystallized from ethanol to give 13.4 g of light yellow 7- (3,5-diaminobenzoyloxy) coumarin (DA-CM). Obtained (yield 49%).

제조예 3: 1-(3,5-디니트로페닐)-3-(1-옥타데센)-숙시닉이미드 (DN-IM-18)의 제조Preparation Example 3 Preparation of 1- (3,5-dinitrophenyl) -3- (1-octadecene) -succinicimide (DN-IM-18)

교반기, 질소주입장치가 부착된 250 ㎖의 반응기에 질소가스를 서서히 통과시키면서 3,5-디니트로아닐린 9.2 g(0.05 mol)을 반응용매인 아세틱산 50 ㎖에 용해시킨 후, 질소가스를 통과시키면서 2-옥타데센-1-일 숙신산 무수물 17.5 g(0.05 mol)을 넣고, 24시간 동안 환류시켰다. 반응용액을 상온으로 냉각시킨 후, 석출된 고체를 얻었다. 수득된 고체를 메탄올에 재결정하여, 16.2 g의 1-(3,5-디니트로페닐)-3-(1-옥타데센)-숙시닉이미드(DN-IM-18)(수율 63%)을 제조하였다.Dissolve 9.2 g (0.05 mol) of 3,5-dinitroaniline in 50 ml of acetic acid, which is a reaction solvent, while slowly passing nitrogen gas through a 250 ml reactor equipped with a stirrer and a nitrogen injection device. 17.5 g (0.05 mol) of 2-octadecen-1-yl succinic anhydride was added and refluxed for 24 hours. After the reaction solution was cooled to room temperature, a precipitated solid was obtained. The obtained solid was recrystallized in methanol to give 16.2 g of 1- (3,5-dinitrophenyl) -3- (1-octadecene) -succinicimide (DN-IM-18) (yield 63%). Prepared.

제조예 4 : 1-(3,5-디아미노페닐)-3-옥타데실-숙시닉이미드(DA-IM-18)의 제조Preparation Example 4 Preparation of 1- (3,5-diaminophenyl) -3-octadecyl-succinicimide (DA-IM-18)

NMP와 에탄올(1/3 부피비) 100 mL에 10.3 g(0.02 mol)의 DN-IM-18을 용해시킨 후, Pd/C(5%) 촉매(탄소입자의 표면에 금속 팔라듐을 5%의 양으로 도포한 촉매) 0.5 g과 함께 수소 반응기에 넣은 후, 60 ℃에서 2시간 동안 환원반응을 수행하였다. 반응혼합물을 여과한 후, 반응용매를 감압증류하였다. 헥산/에틸아세테이트 공용매 중에서 재결정하여 6.87 g의 1-(3,5-디아미노페닐)-3-옥타데실-숙시닉이미드(DA-IM-18)(수율 75%)을 제조하였다. After dissolving 10.3 g (0.02 mol) of DN-IM-18 in 100 mL of NMP and ethanol (1/3 volume ratio), Pd / C (5%) catalyst (5% of metal palladium on the surface of the carbon particles) 0.5 g of the catalyst coated with a hydrogen reactor, followed by a reduction reaction at 60 ° C. for 2 hours. After filtering the reaction mixture, the reaction solvent was distilled under reduced pressure. 6.87 g of 1- (3,5-diaminophenyl) -3-octadecyl-succinimide (DA-IM-18) (yield 75%) was prepared by recrystallization in a hexane / ethyl acetate cosolvent.

실시예 1. 폴리아믹산(PAA-1)의 제조Example 1 Preparation of Polyamic Acid (PAA-1)

교반기와 질소주입장치를 부착한 100 ㎖의 반응기에 질소가스를 서서히 통과시키면서 DA-CM 4.0 g(13.5 mmol)과 DA-IM-18 0.69 g(1.5 mmol)을 33 ㎖의 N-메틸-2-피롤리돈에 용해시킨 후, 벤조페논테트라카르복실산 이무수물(BTDA) 4.83 g(15.0 mmol)을 서서히 첨가하였다. 이때 고형분의 농도는 20 중량%로 하였으며, 반응온도를 0 ∼ 10 ℃로 유지시키면서 24 시간동안 반응을 진행시켰다. 이때 중합반응의 수율은 정량적인 것으로 확인되었으며, N-메틸-2-피롤리돈을 용매로 하여 0.5 g/dL의 농도로 30 ℃에서 고유점도를 측정하였다.While slowly passing nitrogen gas through a 100 ml reactor equipped with a stirrer and a nitrogen injector, 33 ml of N -methyl-2- and 4.0 g (13.5 mmol) of DA-CM-18 and 0.69 g (1.5 mmol) of DA-IM-18 were added. After dissolving in pyrrolidone, 4.83 g (15.0 mmol) of benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA) was slowly added. At this time, the concentration of the solid was 20% by weight, and the reaction was performed for 24 hours while maintaining the reaction temperature at 0 to 10 ° C. The yield of the polymerization reaction was confirmed to be quantitative, and the intrinsic viscosity was measured at 30 ° C. at a concentration of 0.5 g / dL using N -methyl-2-pyrrolidone as a solvent.

실시예 2. 폴리아믹산(PAA-2)의 제조Example 2. Preparation of Polyamic Acid (PAA-2)

DA-CM 4.0 g(13.5 mmol), DA-IM-18 2.65g(5.8 mmol), 그리고 벤조페논테트라카르복실산 이무수물 6.22 g(19.3 mmol)을 사용하여 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 수행하였다.It was carried out in the same manner as in Example 1 using 4.0 g (13.5 mmol) of DA-CM, 2.65 g (5.8 mmol) of DA-IM-18, and 6.22 g (19.3 mmol) of benzophenonetetracarboxylic dianhydride. .

실시예 3. 폴리아믹산(PAA-3)의 제조Example 3. Preparation of Polyamic Acid (PAA-3)

DA-CM 4.0 g(13.5 mmol), DA-IM-18 6.18 g(13.5 mmol), 벤조페논테트라카르복실산 이무수물 8.7 g(27.0 mmol)을 사용하여 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 수행하였다.It was carried out in the same manner as in Example 1 using 4.0 g (13.5 mmol) of DA-CM, 6.18 g (13.5 mmol) of DA-IM-18, and 8.7 g (27.0 mmol) of benzophenonetetracarboxylic dianhydride.

실시예 4. 폴리아믹산(PAA-4)의 제조Example 4. Preparation of Polyamic Acid (PAA-4)

DA-CM 2.0 g(6.75 mmol), DA-IM-18 7.2 g(15.8 mmol), 벤조페논테트라카르복실산 이무수물 7.2 g(22.5 mmol)을 사용하여 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 수행하였다.It was carried out in the same manner as in Example 1 using 2.0 g (6.75 mmol) of DA-CM, 7.2 g (15.8 mmol) of DA-IM-18, and 7.2 g (22.5 mmol) of benzophenonetetracarboxylic dianhydride.

실시예 5. 폴리아믹산(PAA-5)의 제조Example 5. Preparation of Polyamic Acid (PAA-5)

DA-CM 1.0 g(3.4 mmol), DA-IM-18 13.9 g(30.4 mmol), 벤조페논테트라카르복실산 이무수물 10.9 g(33.8 mmol)을 사용하여 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 수행하였다.1.0 g (3.4 mmol) of DA-CM, 13.9 g (30.4 mmol) of DA-IM-18, and 10.9 g (33.8 mmol) of benzophenonetetracarboxylic dianhydride were used in the same manner as in Example 1.

실시예 6. 폴리아믹산(PAA-6)의 제조Example 6. Preparation of Polyamic Acid (PAA-6)

DA-IM-18 4.0 g(8.8 mmol), 그리고 벤조페논테트라카르복실산 이무수물 2.8 g(8.7 mmol)을 사용하여 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 수행하였다.4.0-g (8.8 mmol) of DA-IM-18 and 2.8 g (8.7 mmol) of benzophenonetetracarboxylic dianhydride were carried out in the same manner as in Example 1.

실시예 7. 폴리아믹산(PAA-7)의 제조Example 7 Preparation of Polyamic Acid (PAA-7)

DA-MA 3.4 g(13.5 mmol)과 DA-IM-18 0.69 g(1.5 mmol), 그리고 벤조페논테트라카르복실산 이무수물 6.22 g(19.3 mmol)을 사용하여 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 수행하였다.It was carried out in the same manner as in Example 1 using 3.4 g (13.5 mmol) of DA-MA, 0.69 g (1.5 mmol) of DA-IM-18, and 6.22 g (19.3 mmol) of benzophenonetetracarboxylic dianhydride. .

실시예 8. 폴리아믹산(PAA-8)의 제조Example 8 Preparation of Polyamic Acid (PAA-8)

DA-CN 3.4 g(13.5 mmol)과 DA-IM-18 0.69 g(1.5 mmol), 그리고 벤조페논테트라카르복실산 이무수물 6.22 g(19.3 mmol)을 사용하여 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 수행하였다.It was carried out in the same manner as in Example 1 using 3.4 g (13.5 mmol) of DA-CN, 0.69 g (1.5 mmol) of DA-IM-18, and 6.22 g (19.3 mmol) of benzophenonetetracarboxylic dianhydride. .

비교예 1. 폴리아믹산(PAA-9)의 제조Comparative Example 1. Preparation of Polyamic Acid (PAA-9)

DA-CM 4.0 g(13.5 mmol), 하이드로퀴논 0.4 mg, 그리고 벤조페논테트라카르복실산 이무수물 4.35 g(13.5 mmol)을 사용하여 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 수행하였다.It was carried out in the same manner as in Example 1 using 4.0 g (13.5 mmol) of DA-CM, 0.4 mg of hydroquinone, and 4.35 g (13.5 mmol) of benzophenonetetracarboxylic dianhydride.

비교예 2. 폴리아믹산(PAA-10)의 제조Comparative Example 2. Preparation of Polyamic Acid (PAA-10)

DA-CM 4.0 g(13.5 mmol)과 피로멜리트산 이무수물(PMDA) 3.27 g(15.0mmol)을 사용하여 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 수행하였다.It was carried out in the same manner as in Example 1 using 4.0 g (13.5 mmol) of DA-CM and 3.27 g (15.0 mmol) of pyromellitic dianhydride (PMDA).

상기 실시예 1 ∼ 8과 비교예 1 ∼ 2에 따라 제조된 폴리아믹산의 단량체 조성, 고유점도, 및 중량평균분자량을 다음 표 1에 나타내었다.The monomer composition, intrinsic viscosity, and weight average molecular weight of the polyamic acid prepared according to Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 2 are shown in Table 1 below.

폴리아믹산Polyamic acid 단량체 조성(몰비)Monomer composition (molar ratio) 고유점도(g/dL)Intrinsic Viscosity (g / dL) 중량평균분자량 (g/mol)Weight average molecular weight (g / mol) 산 이무수물Mountain dianhydride 디아민(I)Diamine (I) 디아민(II)Diamine (II) 실시예 1(PAA-1)Example 1 (PAA-1) BTDA(10)BTDA (10) DA-CM(9)DA-CM (9) DA-IM-18(1)DA-IM-18 (1) 0.870.87 99,00099,000 실시예 2(PAA-2)Example 2 (PAA-2) BTDA(10)BTDA (10) DA-CM(7)DA-CM (7) DA-IM-18(3)DA-IM-18 (3) 0.790.79 95,00095,000 실시예 3(PAA-3)Example 3 (PAA-3) BTDA(10)BTDA (10) DA-CM(5)DA-CM (5) DA-IM-18(5)DA-IM-18 (5) 0.650.65 87,00087,000 실시예 4(PAA-4)Example 4 (PAA-4) BTDA(10)BTDA (10) DA-CM(3)DA-CM (3) DA-IM-18(7)DA-IM-18 (7) 0.590.59 64,80064,800 실시예 5(PAA-5)Example 5 (PAA-5) BTDA(10)BTDA (10) DA-CM(1)DA-CM (1) DA-IM-18(9)DA-IM-18 (9) 0.570.57 48,00048,000 실시예 6(PAA-6)Example 6 (PAA-6) BTDA(10)BTDA (10) DA-CM(0)DA-CM (0) DA-IM-18(10)DA-IM-18 (10) 0.550.55 32,00032,000 실시예 7(PAA-7)Example 7 (PAA-7) BTDA(10)BTDA (10) DA-MA(7)DA-MA (7) DA-IM-18(0.7)DA-IM-18 (0.7) 0.800.80 90,00090,000 실시예 8(PAA-8)Example 8 (PAA-8) BTDA(10)BTDA (10) DA-CN(7)DA-CN (7) DA-IM-18(0.7)DA-IM-18 (0.7) 0.840.84 98,00098,000 비교예 1(PAA-9)Comparative Example 1 (PAA-9) BTDA(10)BTDA (10) DA-CM(10)DA-CM (10) DA-IM-18(0)DA-IM-18 (0) 0.900.90 111,000111,000 비교예 2(PAA-10)Comparative Example 2 (PAA-10) PMDA(10)PMDA (10) DA-CM(10)DA-CM (10) DA-IM-18(0)DA-IM-18 (0) 0.920.92 101,000101,000

본 발명에 따라 제조된 폴리아믹산의 분자구조는 1H-NMR 분석에 의해 확인되었으며, 대표적으로 PAA-1의 1H-NMR 스펙트럼을 도면 1에 도시하였다. 상기 폴리아믹산의 고유점도는 0.55 ∼ 0.92 dL/g 이었고, GPC(gel permeation chromatography)에 의해 측정한 중량평균 분자량은 32,000 ∼ 120,000 g/mol 범위에 있었으며 용매 주형에 의한 필름 성형성이 매우 우수한 것으로 나타났다.The molecular structure of the polyamic acid prepared according to the present invention was confirmed by 1 H-NMR analysis, and representatively 1 H-NMR spectrum of PAA-1 is shown in FIG. The intrinsic viscosity of the polyamic acid was 0.55 to 0.92 dL / g, the weight average molecular weight measured by gel permeation chromatography (GPC) was in the range of 32,000 ~ 120,000 g / mol and was found to be very excellent film formability by solvent casting .

실험예 : 폴리이미드 박막의 제조 및 특성 평가 Experimental Example: Preparation and Characterization of Polyimide Thin Films

상기 실시예 1 ∼ 8과 비교예 1 ∼ 2에서 제조한 폴리아믹산(PAA) 용액을 스핀 코팅하여 3000 ∼ 5000 Å의 두께로 박막화 한 후, 90 ℃의 온도에서 2분간 열처리하여 용매를 제거하였다. 이어, 수은램프(mercury lamp)를 사용하여 100 ∼ 5000 mJ의 자외광을 조사한 후, 90 ∼ 150 ℃ 사이의 온도에서 1 ∼ 60 분 동안 부분적으로 이미드화 반응을 수행하였다. 상기의 광경화 폴리이미드 필름을 2.38 %의 테트라메틸암모늄히드록사이드(TMAH) 수용액에 침적시켜 비노광 부위를 제거한 후, 200 ∼ 300 ℃의 온도에서 노광 후 열처리하여 폴리이미드 박막을 제조하였다. After spin coating the polyamic acid (PAA) solution prepared in Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 2 to form a thin film having a thickness of 3000 to 5000 kPa, the solvent was removed by heat treatment at a temperature of 90 ° C. for 2 minutes. Subsequently, ultraviolet rays of 100 to 5000 mJ were irradiated with a mercury lamp, and then partially imidized for 1 to 60 minutes at a temperature between 90 and 150 ° C. The photocured polyimide film was immersed in a 2.38% tetramethylammonium hydroxide (TMAH) aqueous solution to remove non-exposed sites, and then subjected to heat treatment after exposure at a temperature of 200 to 300 ° C. to prepare a polyimide thin film.

[광경화 폴리이미드 박막의 특성 평가][Characteristic evaluation of photocurable polyimide thin film]

(1) 용해도(1) solubility

광조사에 의한 패턴 형성 실험을 위하여 본 발명에서는 폴리아믹산 박막의 열처리 공정 조건을 변화하였으며, 90 ∼ 150 ℃의 온도 범위에서 1 ∼ 60분간 열처리한 결과, 노광부와 비노광부 사이에 용해도의 차이가 관찰되었으며, 2.38 %의 테트라메틸암모늄히드록사이드(TMAH) 수용액에서의 용해도 평가 결과를 표 2에 나타내었다.        In the present invention, the heat treatment process conditions of the polyamic acid thin film were changed for the pattern formation experiment by light irradiation. As a result of heat treatment for 1 to 60 minutes at a temperature range of 90 to 150 ° C., the difference in solubility between the exposed part and the non-exposed part was observed. The solubility evaluation results in 2.38% aqueous tetramethylammonium hydroxide (TMAH) solution are shown in Table 2.

(2) 열적특성(2) thermal characteristics

본 발명에서 제조한 폴리이미드 수지의 열적특성을 알아보기 위하여 실시예 1 ∼ 8과 비교예 1 ∼ 2로부터 제조된 폴리아믹산을 200 ∼ 300 ℃의 온도에서 1분 ∼ 180분 동안 이미드화 반응시킨 후 열중량분석기를 이용하여 초기분해온도를 구하였으며, 그 결과를 다음 표 2에 나타내었다.       In order to examine the thermal properties of the polyimide resin prepared in the present invention, the polyamic acid prepared in Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 and 2 was subjected to imidization reaction at a temperature of 200 to 300 ° C. for 1 minute to 180 minutes. The initial decomposition temperature was calculated using a thermogravimetric analyzer, and the results are shown in Table 2 below.

폴리아믹산Polyamic acid 물성Properties 해상도(㎛)Resolution (μm) 용해도Solubility 초기분해온도(℃)Initial decomposition temperature (℃) 비노광부Non-exposure 노광부Exposed part 실시예 1(PAA-1)Example 1 (PAA-1) 용해Dissolution 불용Insoluble 405405 5050 실시예 2(PAA-2)Example 2 (PAA-2) 용해Dissolution 불용Insoluble 390390 5050 실시예 3(PAA-3)Example 3 (PAA-3) 용해Dissolution 불용Insoluble 392392 5050 실시예 4(PAA-4)Example 4 (PAA-4) 용해Dissolution 불용Insoluble 385385 5050 실시예 5(PAA-5)Example 5 (PAA-5) 용해Dissolution 불용Insoluble 380380 5050 실시예 6(PAA-6)Example 6 (PAA-6) 용해Dissolution 불용Insoluble 380380 5050 실시예 7(PAA-7)Example 7 (PAA-7) 용해Dissolution 불용Insoluble 400400 5050 실시예 8(PAA-8)Example 8 (PAA-8) 용해Dissolution 불용Insoluble 405405 5050 비교예 1(PAA-9)Comparative Example 1 (PAA-9) 용해Dissolution 불용Insoluble 420420 5050 비교예 2(PAA-10)Comparative Example 2 (PAA-10) 용해Dissolution 가용Available 410410 --

상기의 표 2에서 알 수 있듯이 본 발명의 실시예 1 ∼ 8에 따라 제조된 폴리이미드계 수지들은 광조사 전에는 모두 2.38 중량%의 테트라메틸암모늄히드록사이드 수용액에 용해되었으나, 자외광의 조사에 의해 알칼리 수용액에 대한 용해도가 현격히 감소하였으며 그 결과 광조사에 의해 50 ㎛의 해상도를 갖는 패턴의 형성이 가능하였다. 반면 벤조페논테트라카르복실릭산 이무수물 대신 피로멜리트산 이무수물을 단량체로 사용하여 제조한 비교예 2의 PAA-8로부터 형성된 폴리이미드 박막의 경우에는 광조사에 관계없이 2.38 중량%의 테트라메틸암모니움 하이드록사이드 수용액에서 모두 용해되어 알칼리 수용액에서의 패턴형성이 불가능하였다.       As can be seen in Table 2 above, the polyimide resins prepared according to Examples 1 to 8 of the present invention were all dissolved in 2.38% by weight of an aqueous tetramethylammonium hydroxide solution before irradiation, but were irradiated with ultraviolet light. The solubility in the aqueous alkali solution was significantly reduced, and as a result, a pattern having a resolution of 50 μm was possible by light irradiation. On the other hand, in the case of the polyimide thin film formed from PAA-8 of Comparative Example 2 prepared using pyromellitic dianhydride as a monomer instead of benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2.38 wt% of tetramethylammonium regardless of light irradiation All dissolved in the aqueous hydroxide solution was impossible to form patterns in the aqueous alkali solution.

또한 상기의 폴리이미드 전구체는 380 ℃ 이상의 높은 열분해온도를 나타내었다. In addition, the polyimide precursor showed a high thermal decomposition temperature of 380 ℃ or more.

(3) 표면장력, 유전상수 및 전계전하이동도(3) Surface tension, dielectric constant, and field charge mobility

[유기절연체 특성 평가 : 유전상수][Insulation Characteristics Evaluation: Dielectric Constant]

본 발명의 폴리이미드 절연체의 전기적 절연 특성을 평가하기 위하여 금 전극-폴리이미드 박막-금 전극(MIM) 구조를 가진 간단한 소자를 유리와 플라스틱 기판 위에 소자제작과 같은 조건으로 진공증착과 스핀코팅을 통하여 제작하였다. 즉, 실시예 1 ∼ 8과 비교예 1 ∼ 2로부터 제조된 폴리이미드 박막의 유전상수를 측정하기 위해서 본 발명에서는 유리기판 위에 40 nm 두께의 금을 약 10-6 torr의 진공 하에서 열증착하였다. 여기에 폴리아믹산(PAA) 용액을 스핀 코팅하여 3000 ∼ 5000 Å의 두께로 박막화 한 후 90 ℃의 온도에서 2분간 열처리하여 용매를 제거하였다. 이어, 수은램프(mercury lamp)를 사용하여 100 ∼ 5000 mJ의 자외광을 조사한 후, 90 ∼ 150 ℃ 사이의 온도에서 1 ∼ 60분 동안 부분적 이미드화 반응을 수행하였다. 상기의 광·열경화 폴리이미드 필름을 2.38 중량%의 테트라메틸암모늄히드록사이드(TMAH) 수용액에 침적시켜 비노광 부위를 제거한 후, 200 ∼ 300 ℃의 온도에서 1 ∼ 180분 동안 열처리하여 이미드화 반응을 완료하였다. 얻어진 폴리이미드 박막 위에 지름 2 cm의 금을 40 nm의 두께로 박막 증착한 후 임피던스 계전기(impedance analyzer)를 이용하여 1 MHz의 주파수에서 전기용량(capacitance)을 측정하여 유전상수를 계산하였다.In order to evaluate the electrical insulating properties of the polyimide insulator of the present invention, a simple device having a gold electrode-polyimide thin film-gold electrode (MIM) structure was subjected to vacuum deposition and spin coating under the same conditions as device fabrication on glass and plastic substrates. Produced. That is, in order to measure dielectric constants of the polyimide thin films prepared from Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 and 2, 40 nm thick gold was thermally deposited on a glass substrate under a vacuum of about 10 −6 torr. Here, the polyamic acid (PAA) solution was spin-coated and thinned to a thickness of 3000 to 5000 Pa, and then heat-treated at 90 ° C. for 2 minutes to remove the solvent. Subsequently, ultraviolet rays of 100 to 5000 mJ were irradiated with a mercury lamp, and then partial imidization reaction was performed for 1 to 60 minutes at a temperature between 90 and 150 ° C. The photo-thermosetting polyimide film was immersed in a 2.38% by weight aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (TMAH) to remove non-exposed sites, and then heat-treated at a temperature of 200 to 300 ° C. for 1 to 180 minutes to imidize the same. The reaction was completed. After depositing a thin film of gold with a diameter of 2 cm on the obtained polyimide thin film with a thickness of 40 nm, the dielectric constant was calculated by measuring a capacitance at a frequency of 1 MHz using an impedance analyzer.

[유기박막 트랜지스터의 제작 및 특성평가][Production and Characterization of Organic Thin Film Transistors]

본 발명의 광경화 폴리이미드를 이용하여 유기 박막 트랜지스터를 제작하고 그 특성을 측정하였다. 유기반도체로는 유기 박막 트랜지스터에서 가장 널리 사용되고 상대적으로 좋은 성능을 가지는 펜타센을 사용하였다. 기판은 유리와 폴리에테르설폰을 사용하였다. 상접촉(top-contact)소자 제작방법은 다음과 같다. 기판 청결도는 전자 소자를 제작할 때 가장 중요한 요소 중의 하나이므로 세제, 증류수, 아세톤 그리고 아이소프로필알코올을 이용하여 초음파 세척을 한 후 오븐에서 충분히 건조시킨 것을 사용하였고, 플라스틱 기판은 시판되는 것을 별도의 세척공정 없이 보호막만 탈리시킨 후 그대로 사용하였다. The organic thin film transistor was produced using the photocured polyimide of this invention, and the characteristic was measured. As an organic semiconductor, pentacene, which is widely used in organic thin film transistors and has a relatively good performance, was used. The substrate used glass and polyethersulfone. The manufacturing method of the top-contact device is as follows. Substrate cleanliness is one of the most important factors in the manufacture of electronic devices, so ultrasonic cleaning with detergents, distilled water, acetone and isopropyl alcohol was used, followed by drying sufficiently in an oven, and plastic substrates were sold separately. Only the protective film without detachment was used as it is.

잘 세척된 기판 위에 먼저 금을 새도우마스크를 이용하여 1ㅧ10-6 torr의 진공에서 열 진공 증착하여 2 mm 너비의 게이트 전극을 40 nm 두께로 형성하였다. 그 위에 본 발명의 광경화 폴리아믹산 용액을 300 nm 두께로 스핀코팅하고, 90 ℃에서 2분 간 건조한 후, 자외광을 조사하고 90 ∼ 150 ℃의 온도에서 부분적으로 이미드화 반응을 수행한 후 2.38 중량%의 테트라메틸암모니움하이드록사이드 수용액으로 현상하여 원하는 모양으로 패터닝하였다. 패턴된 박막을 200 ∼ 300 ℃에서 가열함으로써 폴리이미드 박막을 얻었다. 상기의 폴리이미드 박막 위에 유기반도체인 펜타센을 1ㅧ10-6 torr의 진공에서 열진공 증착을 이용하여 50 nm 두께로 증착하였다. 이때 펜타센의 결정화에 큰 영향을 미치는 기판의 온도는 90 ℃로 일정하게 유지하였다. 마지막으로 금을 게이트 증착과 같은 방법으로 40 nm의 두께로 증착하여 소오스와 드레인 전극을 형성하였다. 하접촉(bottom-contact) 소자는 펜타센과 소오스, 드레인 전극의 형성 순서를 서로 바꿈으로써 제작하였다. 소자 특성은 게이트 전압에 따른 드레인 전압-드레인 전류 및 드레인 전압에 따른 게이트 전압-드레인 전류 곡선들을 이용하여 평가하였으며, 전계전하이동도 측정 결과를 다음 표 3에 나타내었다.The gold was first deposited on a well-cleaned substrate by thermal vacuum deposition using a shadow mask at a vacuum of 1 × 10 −6 torr to form a 2 mm wide gate electrode having a thickness of 40 nm. After spin coating the photocurable polyamic acid solution of the present invention to a thickness of 300 nm, dried at 90 ℃ for 2 minutes, irradiated with ultraviolet light and partially imidized at a temperature of 90 ~ 150 ℃ 2.38 It was developed by weight of aqueous tetramethylammonium hydroxide solution and patterned to a desired shape. The polyimide thin film was obtained by heating a patterned thin film at 200-300 degreeC. Pentacene, an organic semiconductor, was deposited on the polyimide thin film to a thickness of 50 nm using thermal vacuum deposition in a vacuum of 1 × 10 −6 torr. At this time, the temperature of the substrate having a great influence on the crystallization of pentacene was kept constant at 90 ℃. Finally, gold was deposited to a thickness of 40 nm in the same manner as gate deposition to form a source and a drain electrode. Bottom-contact devices were fabricated by changing the order of formation of pentacene, source, and drain electrodes. The device characteristics were evaluated using the drain voltage-drain current according to the gate voltage and the gate voltage-drain current curves according to the drain voltage, and the field charge mobility measurement results are shown in Table 3 below.

폴리아믹산Polyamic acid 유전상수(at 1 MHz)Dielectric Constant (at 1 MHz) 표면장력(dyne/cm)Surface tension (dyne / cm) 전계효과전하이동도 (cm2/V·s)Field Effect Charge Mobility (cm 2 / V · s) 실시예 1(PAA-1)Example 1 (PAA-1) 4.004.00 43.543.5 0.120.12 실시예 2(PAA-2)Example 2 (PAA-2) 3.983.98 42.242.2 0.350.35 실시예 3(PAA-3)Example 3 (PAA-3) 3.893.89 40.740.7 0.340.34 실시예 4(PAA-4)Example 4 (PAA-4) 3.833.83 38.938.9 0.950.95 실시예 5(PAA-5)Example 5 (PAA-5) 3.783.78 36.536.5 1.051.05 실시예 6(PAA-6)Example 6 (PAA-6) 3.793.79 35.035.0 1.201.20 실시예 7(PAA-7)Example 7 (PAA-7) 4.054.05 34.534.5 0.400.40 실시예 8(PAA-8)Example 8 (PAA-8) 3.983.98 36.036.0 0.350.35 비교예 1(PAA-9)Comparative Example 1 (PAA-9) 4.134.13 45.045.0 0.060.06 비교예 2(PAA-10)Comparative Example 2 (PAA-10) 4.104.10 51.051.0 0.010.01

상기 표 3에서 알 수 있듯이 본 발명의 실시예 1 ∼ 실시예 8에 따라 제조된 폴리이미드계 수지들은 3.78 ∼ 4.05 범위의 유전상수와 35.0 ∼ 43.5 dyne/cm 범위의 표면장력을 가지고 있었으며 중합체 내에 옥타데실기의 함유한 단량체인 DA-IM-18의 함유량이 증가할 수록 유전상수와 표면장력은 모두 감소하였다. 반면 DA-IM-18의 증가는 전계효과전하이동도에 있어서는 서서히 증가하는 효과를 보였으며 그 결과 0.12 ∼ 1.20 ㎠/V·s의 전계효과전하이동도를 나타내었다.As can be seen in Table 3, the polyimide resins prepared according to Examples 1 to 8 of the present invention had a dielectric constant in the range of 3.78 to 4.05 and a surface tension in the range of 35.0 to 43.5 dyne / cm and octane in the polymer. As the content of DA-IM-18, a monomer containing decyl group, increased, both dielectric constant and surface tension decreased. On the other hand, the increase of DA-IM-18 showed a gradually increasing effect on the field effect charge mobility, resulting in a field effect charge mobility of 0.12 to 1.20 ㎠ / V · s.

본 발명은 감광 특성이 우수한 신규 지방족 폴리아믹산 및 이를 광경화한 폴리이미드 수지의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게로는 감광성 향상 기능기를 함유하는 폴리아믹산 및 광경화 폴리이미드 수지에 관한 것이다. 본 발명의 감광성 폴리아믹산을 광경화하여 제조한 폴리이미드 수지들은 380 ∼ 420 ℃의 높은 열분해온도, 3 ∼ 6의 유전상수 및 35 ∼ 45 dyne/cm 범위의 표면장력을 가지고 있음이 확인되었다. 본 발명에서 제조한 투명 감광성 폴리아믹산은 280 ∼ 310 nm 범위의 파장에서 100 ∼ 5,000 mJ의 광조사에 의해 10 ㎛까지 미세패턴 형성이 가능하였으며, 전유기 박막트랜지스터용 절연재로 사용되어 0.12 ∼ 1.20 ㎠/V·s의 전계효과전하이동도(field effect mobility)를 보유하고 있었다. 상기에서 설명한 바와 같이 본 발명의 감광성 절연재는 우수한 전기적 특성, 내화학약품성, 내열성 및 감광특성을 보유함으로써 액정표시소자에 사용되는 전유기 트랜지스터용 절연체, 컬러 필터의 버퍼 코팅층 또는 유리 기판과 및 접촉 패널(touch panel)용 액정표시 소자의 고분자 격벽 재료로서의 응용이 가능할 뿐만 아니라 액정표시소자 제조의 복잡한 공정을 단축할 수 있는 효과가 있다.  The present invention relates to a novel aliphatic polyamic acid having excellent photosensitivity and a method for producing a polyimide resin photocured, and more particularly, to a polyamic acid and a photocurable polyimide resin containing a photosensitive enhancing functional group. It was confirmed that the polyimide resins prepared by photocuring the photosensitive polyamic acid of the present invention had a high thermal decomposition temperature of 380 to 420 ° C., a dielectric constant of 3 to 6 and a surface tension in the range of 35 to 45 dyne / cm. The transparent photosensitive polyamic acid prepared in the present invention was capable of forming a fine pattern up to 10 μm by light irradiation of 100 to 5,000 mJ at a wavelength in the range of 280 to 310 nm, and was used as an insulating material for an all organic thin film transistor to be 0.12 to 1.20 cm 2. It has a field effect mobility of / V · s. As described above, the photosensitive insulating material of the present invention has excellent electrical properties, chemical resistance, heat resistance, and photosensitive properties, thereby insulators for all-organic transistors used in liquid crystal display devices, buffer coating layers or glass substrates of color filters, and contact panels. It is not only possible to apply the liquid crystal display device for the touch panel as a polymer partition material but also to shorten the complicated process of manufacturing the liquid crystal display device.

도 1은 PAA-1의 1H-NMR 스펙트럼이다.1 is a 1 H-NMR spectrum of PAA-1.

도 2는 광경화 PAA-1의 SEM 사진이다.2 is a SEM photograph of photocurable PAA-1.

도 3은 광경화 PAA-1을 유전체로 도입한 전유기 박막트랜지스터 소자의 I-V 곡선이다.3 is an I-V curve of an all-organic thin film transistor element having photocured PAA-1 as a dielectric.

Claims (7)

다음 화학식 1로 표시되는 것을 특징으로 하는 감광성 폴리아믹산 :     A photosensitive polyamic acid characterized by the following formula (1): [화학식 1][Formula 1] 상기 화학식 1에서:In Formula 1 above: , , , , , , , , , 중에서 선택된 하나 이상의 4가기로서, 반드시 (i)로 표시되는 4가기를 포함하는 것을 특징으로 하며; Is , , , , , , , , , And At least one tetravalent selected from among, characterized in that it comprises a tetravalent represented by (i) necessarily; , , , , , , , , , , , , , , , , , , , 및 중에서 선택된 1종 이상의 2가기로서, 반드시 (ⅱ), (ⅲ) 및 (ⅳ) 중에서 선택된 하나 이상의 감광성기와 (v)로 표시되는 저극성기가 항상 포함되며; Is , , , , , , , , , , , , , , , , , , , And At least one divalent group selected from among always includes at least one photosensitive group selected from (ii), (iii) and (iii) and a low polar group represented by (v); ℓ은 100 ∼ 1000 범위의 자연수이고; m 및 n은 1 ∼ 30 범위의 자연수이며; R1, R2, R3은 각각 탄소수 1 ∼ 30 사이의 알킬기 또는 아릴기이고; Z는 에스테르기, 아미드기, 이미드기 및 에테르기 중에서 선택된 하나이다.L is a natural number in the range of 100 to 1000; m and n are natural numbers ranging from 1 to 30; R 1 , R 2 and R 3 are each an alkyl or aryl group having 1 to 30 carbon atoms; Z is one selected from an ester group, an amide group, an imide group and an ether group. 제 1 항에 있어서, 상기 폴리아믹산의 고유점도가 0.05 ∼ 1.0 g/dL의 범위이며, 중량평균분자량은 10,000 ∼ 200,000 g/mol인 것을 특징으로 하는 감광성 폴리아믹산.The photosensitive polyamic acid according to claim 1, wherein the intrinsic viscosity of the polyamic acid is in the range of 0.05 to 1.0 g / dL, and the weight average molecular weight is 10,000 to 200,000 g / mol. 다음 화학식 1로 표시되는 폴리아믹산을 경화하여 제조된 것임을 특징으로 하는 감광성 폴리이미드 수지 :Photosensitive polyimide resin, characterized in that prepared by curing the polyamic acid represented by the following formula (1): [화학식 1][Formula 1] 상기 화학식 1에서: , 및 ℓ은 각각 상기 청구항 1에서 정의한 바와 같다.In Formula 1 above: , And L are as defined in claim 1, respectively. 제 1 항에 있어서, 상기 경화는 90 ∼ 150 ℃에서의 제1차 열경화한 후에 200 ∼ 300 ℃에서의 제2차 열경화한 것임을 특징으로 하는 감광성 폴리이미드 수지.The photosensitive polyimide resin according to claim 1, wherein the curing is performed after the first heat curing at 90 to 150 ° C and the second heat curing at 200 to 300 ° C. 제 1 항에 있어서, 상기 폴리이미드 수지의 유전상수가 3 ∼ 6인 것임을 특징으로 하는 감광성 폴리이미드 수지.The photosensitive polyimide resin according to claim 1, wherein the polyimide resin has a dielectric constant of 3 to 6. 제 1 항에 있어서, 상기 폴리이미드 수지의 표면장력이 35 ∼ 45 dyne/cm인 것임을 특징으로 하는 감광성 폴리이미드 수지.The photosensitive polyimide resin according to claim 1, wherein the surface tension of the polyimide resin is 35 to 45 dyne / cm. 상기 청구항 3 내지 6 중에서 선택된 감광성 폴리이미드 수지를 사용하여 제작된 것으로 전계효과전하이동도가 0.12 ∼ 1.20 ㎠/V·s인 것임을 특징으로 하는 유기트랜지스터.An organic transistor, which is produced using the photosensitive polyimide resin selected from Claims 3 to 6, wherein the field effect charge mobility is 0.12 to 1.20 cm 2 / V · s.
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