KR20050079250A - Method of numerical computer simulation for structures with floating electrode - Google Patents

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윤형진
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Abstract

본 발명은 모의 실험 영역 내에 플로팅 전극을 포함하고 있을 경우의 전압 분포 현상을 구하는 방법에 관한 것으로, 이를 위해 본 발명은 모의 실험 영역 내의 각 격자간의 연결 상태 정보를 저장하고 있는 표를 작성하는 단계, 플로팅 전극을 고려한 경우의 격자간 간격을 구하는 단계, 계산된 전압 분포 현상으로부터 플로팅 전극을 고려하여 전극의 표면 전압 값을 추출 후 평균값을 구하는 단계, 구해진 평균값을 다시금 플로팅 전극의 표면에 지정하는 단계를 제공한다. The present invention relates to a method for obtaining a voltage distribution phenomenon when a floating electrode is included in a simulation area. To this end, the present invention provides a method for generating a table storing connection state information between grids in a simulation area. Calculating the inter-grid spacing in consideration of the floating electrode, extracting the surface voltage value of the electrode from the calculated voltage distribution phenomenon, and obtaining the average value, and assigning the obtained average value to the surface of the floating electrode again. to provide.

본 발명에 따라 모의 실험 영역 내에 플로팅 전극을 포함하고 있을 경우에 이러한 플로팅 전극을 고려한 수치 해석적 단계를 제공함으로써 전압 분포 현상을 보다 정확하게 계산해 낼 수 있는 장점이 있다.According to the present invention, when the floating electrode is included in the simulated area, the voltage distribution phenomenon can be more accurately calculated by providing a numerical analysis step considering the floating electrode.

Description

플로팅 전극을 포함한 구조에 대한 수치 해석 전산 모사 방법{METHOD OF NUMERICAL COMPUTER SIMULATION FOR STRUCTURES WITH FLOATING ELECTRODE}Numerical Simulation Method for the Structure Including Floating Electrodes {METHOD OF NUMERICAL COMPUTER SIMULATION FOR STRUCTURES WITH FLOATING ELECTRODE}

본 발명은 전산 모사 실험을 하려는 영역 내에 플로팅 전극(floating electrode)을 포함하고 있을 경우에 이를 고려하여 전압 분포를 수치해석적으로 구하는 전산 모사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a computer simulation method for numerically obtaining a voltage distribution in consideration of a floating electrode in a region to be subjected to a computer simulation experiment.

전산 모사 영역 내에서 전압 분포 현상을 구하는 방법은 각 영역 물질의 유전율을 고려한 라플라스 방정식을 FDM(Finite Difference Method)나 FEM(Finite Element Method)와 같은 수치 해석적 방법을 이용하여 계산한다. 후술하는 내용은 FDM에서 사용하는 방법에 관한 것이다.To calculate the voltage distribution in the computer simulation domain, Laplace's equation considering the dielectric constant of each material is calculated using numerical methods such as finite difference method (FDM) or finite element method (FEM). The following description relates to a method used in FDM.

플로팅 전극은 일반적인 전극과 같이 전극 내에 전압의 변화가 없이 특정 전압 값을 가지게 되는 특성을 가지고 있으나, 이러한 특정 전압 값이 외부에서 강제적으로 인가되는 것이 아니고, 주변 영역의 전압분포 현상에 따라 유동적으로 영향을 받는 값을 가질 수 있는 전극 상태를 말한다. 종래에는 이와 같은 플로팅 전극을 사용하지 않았기 때문에 이에 대한 모의 실험 단계가 필요치 않았으나, 최근에는 복잡하고 다양한 특성의 전압 분포 현상을 구현하기 위해서 실제 공정에서 플로팅 전극을 이용하기도 한다.The floating electrode has a characteristic of having a specific voltage value without changing a voltage in the electrode like a general electrode, but this specific voltage value is not forcibly applied from the outside, but is affected by the voltage distribution phenomenon in the peripheral region. It refers to an electrode state that can have a value of. In the related art, since the floating electrode was not used, a simulation step was not required. However, in order to implement a voltage distribution phenomenon of complex and various characteristics, the floating electrode is also used in an actual process.

이처럼 모의 실험 영역 내에 플로팅 전극이 포함되어 있을 경우 단순히 주변 격자의 전압값으로부터 현재 격자의 전압을 구하는 기존의 방법을 이용하게 되면 그 특성을 잘못 계산하게 될 수 있다. 따라서, 플로팅 전극을 포함하고 있는 영역 내에서의 전압분포 현상을 보다 정확하게 전산 모사할 수 있는 방법이 필요하게 된다.If the floating electrode is included in the simulation area, the characteristics of the current grid may be incorrectly calculated by simply using the existing method of obtaining the voltage of the current grid from the voltage value of the surrounding grid. Therefore, there is a need for a method that can more accurately simulate voltage distribution in a region containing a floating electrode.

따라서, 본 발명의 제1 목적은 전산 모사 영역 내의 주변 전압 분포 현상에 영향을 받아 플로팅 전극(floating electrode)에 발생되는 전압을 수치 해석적인 방법을 통해 계산하는데 있다.Therefore, the first object of the present invention is to calculate the voltage generated at the floating electrode by numerical analysis method under the influence of the peripheral voltage distribution phenomenon in the computer simulation region.

본 발명의 제2 목적은 플로팅 전극을 포함하고 있는 계산 구조의 연결표를 구성하는 기술을 제공하는데 있다.It is a second object of the present invention to provide a technique for constructing a connection table of a calculation structure including a floating electrode.

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 전산 모사 실험 영역 내의 전자기 현상을 고려하여 플로팅 전극의 전압 분포 현상을 구하기 위한 수치 해석적 방법이다.In order to achieve the above object, the present invention is a numerical analysis method for obtaining the voltage distribution phenomenon of the floating electrode in consideration of the electromagnetic phenomenon in the computer simulation experiment area.

본 발명은 모의 실험 구조 내에 플로팅 전극을 포함한 영역의 전압 분포를 구하기 위해 모의 실험 내의 모든 격자간의 연결표를 구하는 단계; 격자간의 연결표로부터 주변 격자의 전압 정보를 구하는 단계; 현재 계산하려는 격자가 플로팅 전극내의 격자인지를 판단하는 단계; 플로팅 전극일 경우 이러한 플로팅 전극의 영역을 고려한 격자간의 간격을 구하는 단계; 전압을 구하는 단계; 구한 전압이 일정한 에러 범위 내에 수렴하는지를 판단하는 단계; 계산된 플로팅 전극 격자의 전압 값으로부터 하나의 평균된 전압 값을 구하는 단계; 계산된 평균 전압 값을 다시 플로팅 전극의 전압으로 지정하는 단계를 제공한다.The present invention includes the steps of obtaining a connection table between all the grids in the simulation to obtain the voltage distribution of the region including the floating electrode in the simulation structure; Obtaining voltage information of a peripheral grid from the connection table between the grids; Determining whether the grating currently being calculated is a grating in the floating electrode; Obtaining a spacing between the lattice considering the area of the floating electrode in the case of the floating electrode; Obtaining a voltage; Determining whether the obtained voltage converges within a predetermined error range; Obtaining one averaged voltage value from the calculated voltage value of the floating electrode grating; And assigning the calculated average voltage value back to the voltage of the floating electrode.

이하, 본 발명에 따른 모의 실험 영역 내에 플로팅 전극이 포함되어 있을 경우의 전압 분포 현상을 구하기 위한 실시예를 도1 내지 도4를 참고하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment for obtaining a voltage distribution phenomenon when the floating electrode is included in the simulation region according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 4.

도1은 전압 값을 구하고자 하는 격자가 플로팅 전극이 아닌 경우의 전압 분포현상을 수치해석적으로 계산하기 위해 나타낸 격자간 연결 상태이다. 도1에서 이해를 돕기 위해 모의 실험 영역을 각각 z축(101)과 x축(102)과 같이 2차원으로 나눈 후 두 축이 교차되는 격자에 숫자를 붙여서 각 격자를 구분하였다. 모의 실험 영역 내의 전압 분포 현상을 구하기 위해서는 각 격자를 순차적으로 이동해 나가면서 해당하는 격자(103)의 주변의 격자, 예를 들어, -x축 방향의 인접 격자 (104), +x 축 방향의 인접 격자(105), -z 축 방향의 인접 격자(106), +z 축 방향의 인접 격자(107)의 전압값과 각 격자의 유전율을 고려한 라플라스 방정식(Laplace equation)을 수치해석적 방법으로 풀게 된다.FIG. 1 is an inter-grid connection state shown in order to numerically calculate the voltage distribution when a grating for which a voltage value is not a floating electrode. For the sake of understanding in FIG. 1, the simulation area was divided into two dimensions, such as the z-axis 101 and the x-axis 102, respectively, and each lattice was divided by numbering the lattice crossing the two axes. In order to obtain the voltage distribution phenomenon in the simulation region, the grids around each of the grids 103 are moved sequentially, for example, adjacent grids 104 in the -x axis direction and adjacent to the + x axis direction. The Laplace equation considering the voltage values of the grating 105, the adjacent grating 106 in the -z axis direction, and the adjacent grating 107 in the + z axis direction and the permittivity of each grating is solved numerically. .

이렇게 계산된 각 격자의 전압값을 기준으로 다시 처음 격자부터 같은 계산을 반복 수행하여 기존에 계산된 전압값과 새로 계산된 전압값의 차이가 일정한 에러율 이하가 되면 반복 수행을 마치게 된다. 이와 같은 방법은 플로팅 전극이 아닌 영역 내에서 전압 분포 현상을 계산하는 방법이다. Based on the voltage values of the grids thus calculated, the same calculation is repeated again from the first grid. When the difference between the previously calculated voltage value and the newly calculated voltage value is less than a certain error rate, the repetition is completed. This method is to calculate the voltage distribution phenomenon in the region other than the floating electrode.

도2는 플로팅 전극의 전압을 구하기 위한 작업 순서도이다. 플로팅 전극을 포함하고 있는 모의 실험 영역 내의 전압 분포 현상을 구하기 위해서는 주변 격자의 전압 분포 그리고 격자간 간격에 대한 정보를 필요로 한다. 격자간 간격 정보는 모의 실험 영역이 변하지 않는 이상 매번 새로 계산할 필요가 없으므로, 이를 한번만 계산하기 위해 먼저 주변 격자간 연결표 구성을 한다(단계 S201).2 is a flowchart showing the operation of obtaining the voltage of the floating electrode. In order to obtain the voltage distribution phenomenon in the simulation region including the floating electrode, information about the voltage distribution of the peripheral grid and the spacing between the grids is needed. The inter-grid spacing information does not need to be newly calculated every time unless the simulation area is changed, so that the inter-grid grid is constructed first (step S201).

현재, 계산하려고 하는 격자가 플로팅 전극의 격자인지를 판단하고(단계 S202), 만약 현재 계산하려는 격자가 플로팅 전극 내에 해당하는 격자이면 이 전극을 고려한 격자 간격을 계산한다(단계 S203). 격자간 연결표를 참조하여 필요한 주변 격자의 전압 정보를 가져오고(단계 S204) 주변 노드간 격자 간격과 전압정보를 토대로 계산하고자 하는 해당 격자의 전압값을 계산한다(단계 S205). 위와 같이 계산하고자 하는 격자가 플로팅 전극인지를 판단하는 단계(단계 S202)에서부터 계산하려 하는 격자의 전압을 구하는 단계(단계 S205)를 모든 모의 실험 영역 내의 격자에 대해 수행을 한 후 각 격자의 전압이 원하는 조건 내에 수렴을 하는지를 판단한다(단계 S206).At present, it is determined whether the grating to be calculated is a grating of the floating electrode (step S202), and if the grating to be calculated is a grating corresponding to the floating electrode, a grating interval considering this electrode is calculated (step S203). Referring to the inter-grid connection table, necessary voltage information of the peripheral grid is taken (step S204), and the voltage value of the corresponding grid to be calculated is calculated based on the grid spacing and voltage information between the peripheral nodes (step S205). From the step of determining whether the grating to be calculated is a floating electrode as described above (step S202), the step of obtaining the voltage of the grating to be calculated (step S205) is performed on the gratings in all simulation regions, and then the voltage of each grating is It is determined whether to converge within a desired condition (step S206).

수렴을 하지 않을 경우에는 다시 플로팅 전극인지를 판단하는 단계(단계 S202)에서 전압을 구하는 단계(단계 S205)를 지속적으로 수행을 하고 모든 격자의 전압이 원하는 조건에 수렴하게 되면, 실험 영역 내에서 플로팅 전극에 해당하는 모든 격자의 전압값으로부터 하나의 평균된 전압값을 계산을 한다(단계 S207). 플로팅 전극 역시 일반적인 전극의 특성처럼 전극 내에 전압의 변화가 없는 특정 전압값을 보유하고 있어야 하므로 계산된 평균 전압값을 다시 플로팅 전극의 모든 격자에 다시 지정을 한다(단계 S208).In the case of not converging, if the voltage is continuously determined in the step S202 of determining whether the electrode is a floating electrode (step S202), and the voltages of all the grids converge to the desired conditions, they are floated in the experiment area. One averaged voltage value is calculated from the voltage values of all the gratings corresponding to the electrode (step S207). Since the floating electrode must also have a specific voltage value without a change in voltage in the electrode like the characteristics of a general electrode, the calculated average voltage value is again assigned to all the grids of the floating electrode (step S208).

도3은 모의 실험 영역 내에 플로팅 전극을 포함하고 있을 경우의 전압 분포 현상을 수치해석적으로 계산하기 위해 각 격자간 연결 상태를 나타낸 도면이다. 전압 분포 현상을 계산하기 위해서는 각 격자를 순차적으로 증가시켜 가면서 전압값을 계산하여야 하는데 이 경우 어느 격자가 각 축으로의 주변 격자인지를 판단하여야 한다.FIG. 3 is a diagram illustrating a connection state between gratings in order to numerically calculate a voltage distribution phenomenon when a floating electrode is included in a simulation region. In order to calculate the voltage distribution phenomenon, it is necessary to calculate the voltage value by sequentially increasing each grating. In this case, it is necessary to determine which grating is a peripheral grating on each axis.

계산하려는 격자가 플로팅 전극이 아닌 일반 영역일 경우에는 도1에서 설명한 방법과 같은 순서대로 계산을 하게 된다. 그러나, 플로팅에 해당하는 격자 (304)의 전압을 계산하려고 할 경우에는 -x 방향의 격자에 해당하는 인접 격자는 21번 격자(305), +x 방향의 격자에 해당하는 인접 격자는 28번 격자(306), +z 방향의 격자에 해당하는 인접 격자는 56번 격자(307), -z 방향의 격자에 해당하는 격자는 14번 격자(308)가 해당된다. 이와 같은 방법으로 모의 실험 영역 내의 모든 격자에 대해 주변 격자가 각각 어떤 격자로 구성되는지를 조사하여 격자간 연결표를 만들어낸다.When the grid to be calculated is a general area other than the floating electrode, calculation is performed in the same order as the method described with reference to FIG. 1. However, when calculating the voltage of the grating 304 corresponding to the plotting, the grating 21 corresponding to the grating in the -x direction is grid 21 and the grating 28 corresponding to the grating in the + x direction is 28. (306), the lattice corresponding to the lattice in the + z direction corresponds to lattice 56 (307), the lattice corresponding to the lattice in the -z direction corresponds to lattice 14 (308). In this way, all grids in the simulation area are examined to determine which grids are composed of neighboring grids, thereby creating intergrid grids.

도4는 도3과 같은 모의 실험 영역을 참고로 하여 각 격자간 연결 상태를 구성한 격자간 연결표를 나타낸 도면이다. 도3에서와 같이 설명을 위하여 x, z 축으로 구성된 2차원 모의 실험 영역을 바탕으로 구성되었기 때문에 가로축으로는 -x, +x, -z, +z의 항목으로 구성이 되어있고, 세로축으로는 각 격자 번호를 표기하였다. 이해를 돕기 위해서 일부 부분은 생략을 하였고, 24번 격자(304)에 해당하는 -x, +x, -z, +z에 해당하는 주변 격자는 각각 21, 28, 14, 56번 격자에 해당하고 이는 도3에서 확인 할 수 있다.FIG. 4 is a diagram illustrating a grid-to-grid connection table constituting a connection state between grids with reference to the simulation area shown in FIG. 3. For the purpose of explanation, as shown in FIG. 3, the two-dimensional simulation area composed of the x and z axes is configured, and the horizontal axis is composed of the items of -x, + x, -z, and + z, and the vertical axis is Each grid number is indicated. For the sake of understanding, some parts are omitted, and the surrounding grids corresponding to -x, + x, -z, and + z corresponding to grid 304 are corresponding to grids 21, 28, 14, and 56, respectively. This can be seen in FIG.

전술한 내용은 후술할 발명의 특허 청구 범위를 보다 잘 이해할 수 있도록 본 발명의 특징과 기술적 장점을 다소 폭넓게 개설하였다. 본 발명의 특허 청구 범위를 구성하는 부가적인 특징과 장점들이 이하에서 상술될 것이다. 개시된 본 발명의 개념과 특정 실시예는 본 발명과 유사 목적을 수행하기 위한 다른 구조의 설계나 수정의 기본으로서 즉시 사용될 수 있음이 당해 기술 분야의 숙련된 사람들에 의해 인식되어야 한다. The foregoing has outlined rather broadly the features and technical advantages of the present invention to better understand the claims of the invention which will be described later. Additional features and advantages that make up the claims of the present invention will be described below. It should be appreciated by those skilled in the art that the conception and specific embodiments of the invention disclosed may be readily used as a basis for designing or modifying other structures for carrying out similar purposes to the invention.

또한, 본 발명에서 개시된 발명 개념과 실시예가 본 발명의 동일 목적을 수행하기 위하여 다른 구조로 수정하거나 설계하기 위한 기초로서 당해 기술 분야의 숙련된 사람들에 의해 사용되어질 수 있을 것이다. 또한, 당해 기술 분야의 숙련된 사람에 의한 그와 같은 수정 또는 변경된 등가 구조는 특허 청구 범위에서 기술한 발명의 사상이나 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 진화, 치환 및 변경이 가능하다.In addition, the inventive concepts and embodiments disclosed herein may be used by those skilled in the art as a basis for modifying or designing other structures for carrying out the same purposes of the present invention. In addition, such modifications or altered equivalent structures by those skilled in the art may be variously evolved, substituted and changed without departing from the spirit or scope of the invention described in the claims.

이상과 같이, 본 발명에 따른 모의 실험영역 내에 플로팅 전극이 존재할 경우의 전압분포 현상을 계산하기 위한 방법은 플로팅 전극을 포함하는 모의 실험영역내의 전압에 영향을 받아 전압값을 갖게 되면서 그 값이 전극 내에서 전압 분포현상을 가지지 않고 하나의 전압값을 가지게되는 물리적인 현상을 정확하게 표현 할 수 있는 장점이 있다.As described above, the method for calculating the voltage distribution phenomenon when the floating electrode is present in the simulation region according to the present invention has a voltage value while being affected by the voltage in the simulation region including the floating electrode. There is an advantage that can accurately represent the physical phenomenon that has a voltage value without having a voltage distribution within.

도1은 전산 모사 실험 영역 내에서 주변 격자의 전압을 참고하여 전압 분포 현상을 수치 해석적으로 구하기 위한 격자 상태.1 is a lattice state for numerically obtaining a voltage distribution phenomenon by referring to a voltage of a peripheral grid in a computer simulation experiment area;

도2는 플로팅 전극의 전압을 구하기 위한 작업 순서도.Fig. 2 is a flow chart of operation for obtaining the voltage of the floating electrode.

도3은 본 발명의 실시 예에 따른 플로팅 전극을 포함하고 있는 경우의 격자간 연결표를 작성하기 위한 격자 상태.3 is a lattice state for creating a grid-to-grid connection table in the case of including a floating electrode according to an embodiment of the present invention.

도4는 본 발명에 따른 전산 모사 영역 내의 격자간의 연결 상태를 표시한 격자간 연결표.4 is a grid-to-grid connection table showing a connection state between grids in the computer simulation region according to the present invention;

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

101 : z축101: z axis

102 : x축102: x-axis

103 : 격자103: lattice

104 : -x축 방향의 인접 격자104: adjacent grid in the -x axis direction

105 : +x 축 방향의 인접 격자105: adjacent grid in the + x axis direction

106 : -z 축 방향의 인접 격자106: adjacent grid in the -z axis direction

107 : +z 축 방향의 인접 격자 107: adjacent grid in the + z axis direction

304 : 전압 값을 계산하고자 하는 격자304: grid to calculate voltage value

305 : 전압 값을 계산하고자 하는 격자로부터 -x 방향의 인접 격자305: adjacent grid in the -x direction from the grid for which voltage values are to be calculated

306 : 전압 값을 계산하고자 하는 격자로부터 +x 방향의 인접 격자306: adjacent grid in the + x direction from the grid for which voltage values are to be calculated

307 : 전압 값을 계산하고자 하는 격자로부터 -z 방향의 인접 격자307: adjacent grid in the -z direction from the grid whose voltage value is to be calculated

308 : 전압 값을 계산하고자 하는 격자로부터 +z 방향의 인접 격자308: adjacent grid in the + z direction from the grid whose voltage value is to be calculated

401 : 전압 값을 계산하고자 하는 격자의 인접 격자 정보를 가지고 있는 격자간 연결표401: grid connection table having adjacent grid information of a grid whose voltage value is to be calculated

Claims (3)

플로팅 전극을 포함하고 있는 구조에 대하여 수치 해석 전산 모사를 하는 방법에 있어서,In the method of performing numerical analysis computer simulation with respect to the structure containing a floating electrode, (a) 전산 모사를 하고자 하는 전산 모사 실험 영역 내에 정의된 복수 개의 격자(Node)간의 연결표를 구성하는 단계;(a) constructing a connection table between a plurality of grid nodes defined in a computer simulation experiment area to be subjected to computer simulation; (b) 특정 격자가 플로팅 전극 영역에 포함되어 있는지 여부를 판단하고 격자 간격을 산출하는 단계;(b) determining whether a particular grating is included in the floating electrode region and calculating grating spacing; (c) 상기 격자간 연결표를 참조하여 특정 격자에 대하여 이전 단계에서 계산한 주변 격자의 전압 정보를 읽어온 후, 현재 단계에서 상기 특정 격자의 전압을 계산하는 단계;(c) reading the voltage information of the peripheral lattice calculated in the previous step with respect to the specific lattice with reference to the inter-grid connection table, and calculating the voltage of the specific lattice in the present step; (d) 상기 단계 (c)에서 구한 전압이 선정된 에러 값 이내에 있는지를 판단하는 단계; 및(d) determining whether the voltage obtained in step (c) is within a predetermined error value; And (e) 플로팅 전극 영역 내의 모든 격자에서 계산된 전압값의 평균치를 계산하여, 계산된 평균치를 플로팅 전극 영역의 전체 격자에 지정하는 단계(e) calculating an average value of voltage values calculated in all gratings in the floating electrode area, and assigning the calculated average value to all gratings in the floating electrode area. 를 포함하는 전산 모사 방법.Computer simulation method comprising a. 제1항에 있어서, 상기 단계 (a)는 계산하고자 하는 격자(103)가 플로팅 전극이 아닌 경우에는 최단 거리에 있는 -x 방향의 인접 격자(104), +x 방향의 인접 격자(105), +z 방향의 인접 격자(106), -z 방향의 인접 격자(107)로부터 격자간 연결표를 구성하는 것을 특징으로 하는 전산 모사 방법.The method according to claim 1, wherein the step (a) is performed when the grating 103 to be calculated is not a floating electrode, the adjacent grating 104 in the -x direction at the shortest distance, the adjacent grating 105 in the + x direction, Computational simulation method comprising the inter-grid link table from the adjacent lattice 106 in the + z direction and the adjacent lattice 107 in the -z direction. 제1항에 있어서, 상기 단계(a)에서 계산하고자 하는 격자(210)가 플로팅 전극에 해당하는 격자이면 플로팅 전극을 고려하여 최단 거리에 있는 -x 방향의 인접 격자(305), +x 방향의 인접 격자(306), +z 방향의 인접 격자(307), -z 방향의 인접 격자(308)로부터 격자간 연결표를 구성하는 것을 특징으로 하는 전산 모사 방법.According to claim 1, wherein if the grating 210 to be calculated in step (a) is a grating corresponding to the floating electrode, the adjacent grating 305 in the -x direction at the shortest distance in consideration of the floating electrode, the + x direction Computational simulation method comprising the inter-grid connection table from the adjacent grid (306), the adjacent grid (307) in the + z direction, and the adjacent grid (308) in the -z direction.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100526708B1 (en) * 2004-02-06 2005-11-09 (주)사나이시스템 Method of computer simulation for structures with floating electrode

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