KR20050072439A - Hexaarylbiimidazole compounds and photopolymerization initiator compositions containing the same - Google Patents

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Abstract

The present invention provides a novel hexaarylbiimidazole compound of the following formula (1): wherein each R1 represents a halogen, and each R2 represents an optionally substituted C1-4 alkyl group. The hexaarylbiimidazole compound of the present invention is useful as photoradical generators in photopolymerizable compositions used as resists and is characterized by low sublimating thermal decomposition products. The photopolymerizable compositions may be suitably used as resists or as color filters for color liquid crystal display elements, cameras and the like.

Description

헥사아릴비이미다졸 화합물 및 이들을 함유한 광중합 개시제 조성물{HEXAARYLBIIMIDAZOLE COMPOUNDS AND PHOTOPOLYMERIZATION INITIATOR COMPOSITIONS CONTAINING THE SAME}Hexaarylbiimidazole compound and the photoinitiator composition containing these {HEXAARYLBIIMIDAZOLE COMPOUNDS AND PHOTOPOLYMERIZATION INITIATOR COMPOSITIONS CONTAINING THE SAME}

본 발명은 신규한 헥사아릴비이미다졸 화합물에 관한 것이다. 보다 바람직하게는, 각종 레지스트로 사용되는 광중합성 조성물에서 포함된 광라디컬 개시제로서 유용하고 그 열분해물이 저승화성인 것을 특징으로 하는 헥사아릴비이미다졸 화합물 및 광라디컬 발생제를 함유한 광중합성 개시제 조성물, 이들을 사용한 광중합성 조성물에 관한 것이다. 본 발명의 광중합성 조성물은 레지스트 또는 컬러 액정 디스플레이 소자, 카메라 등에 사용되는 컬러필터로서 적절하게 사용되어도 좋다. The present invention relates to novel hexaarylbiimidazole compounds. More preferably, it is useful as an optical radical initiator contained in the photopolymerizable composition used for various resists, and the photopolymerizable containing a hexaaryl biimidazole compound and an optical radical generating agent whose thermal decomposition product is low sublimation. An initiator composition and the photopolymerizable composition using these are related. The photopolymerizable composition of the present invention may be suitably used as a color filter used for a resist or a color liquid crystal display element, a camera, or the like.

광중합성 조성물(감광성 조성물)은 각종 레지스트(광레지스트, 솔더 레지스트, 에칭 레지스트 등)를 포함한 각종 분야에서 널리 사용된다.Photopolymerizable compositions (photosensitive compositions) are widely used in various fields including various resists (photoresist, solder resist, etching resist, and the like).

최근, 특히, 컬러 액정 디스플레이, 컬러 비디오 카메라 등에 사용되는 컬러필터는 고감도, 경시 안정성, 고해상도, 고내열성 및 고내광성 등의 우수한 성능을 만족시키는 컬러필터 레지스트로서의 광중합성 조성물이 요구되고 있다.Recently, in particular, color filters used in color liquid crystal displays, color video cameras, and the like have been required for photopolymerizable compositions as color filter resists that satisfy excellent performances such as high sensitivity, time-lapse stability, high resolution, high heat resistance, and high light resistance.

컬러필터는 통상 유리등의 투명한 기판의 표면상에 흑색 매트릭스를 형성하고, 이어서, 적색, 녹색 및 청색 등의 3종 이상의 다른 색상의 줄 또는 모자이크 패턴을 수마이크론의 정밀도로 형성하여 제조된다.A color filter is usually manufactured by forming a black matrix on the surface of a transparent substrate such as glass, and then forming a string or mosaic pattern of three or more different colors such as red, green, and blue with a precision of several microns.

컬러필터의 전형적인 제조방법중의 하나는 감광성 조성물에 안료를 분산하여 제조된 착색 조성물을 사용하는 안료분산법이다. 상기 안료 분산법은 컬러필터 화소의 위치 및 막두께 등의 정밀도가 높고, 내광성, 내열성 등의 내구성에서 우수하고, 핀홀 등의 결함이 발생되지 않기 때문에, 널리 사용되고 있다.One typical method of preparing color filters is pigment dispersion using a coloring composition prepared by dispersing the pigment in the photosensitive composition. The pigment dispersion method is widely used because it has high precision such as position and film thickness of color filter pixels, excellent durability such as light resistance and heat resistance, and no defects such as pinholes.

안료분산법은 감광성 조성물을 함유한 안료를 기판상에 도포하고 포토리소그래피를 행하여 소정의 패턴 형성에 각종 착색층을 형성하는 것이다. 구체적으로는, 1개의 컬러필터색의 감광성 조성물을 유리 등의 투명한 기판상에 도포하고 패턴 노광을 행하고, 미노광부는 용제 또는 알칼리성 수용액으로 현상하여 제거하고 제1 착색 패턴을 형성한다. 전체 필터색에 상기 과정을 반복하여 컬러필터를 제조한다. 상기 감광성 조성물은 통상 컬러필터로서의 물성, 재료의 풍부함에서 네가티브형으로 고려되고, 환경문제를 피하기 위해 사실상 유기용제를 사용하지 않은 채로 현상을 행하는데, 즉, 대부분의 현상은 알칼리성 용액을 사용한 알칼리성 현상이다.In the pigment dispersion method, a pigment containing a photosensitive composition is applied onto a substrate and subjected to photolithography to form various colored layers in a predetermined pattern formation. Specifically, one color filter photosensitive composition is applied onto a transparent substrate such as glass and subjected to pattern exposure, and the unexposed portion is developed and removed with a solvent or an alkaline aqueous solution to form a first colored pattern. By repeating the above process to the entire filter color to prepare a color filter. The photosensitive composition is generally considered negative in terms of physical properties as a color filter and abundance of materials, and is developed without using an organic solvent in order to avoid environmental problems. That is, most developments are alkaline developments using alkaline solutions. to be.

제조공정에서는 일반적으로 현상공정후에 베이킹을 행한다(포스트 베이킹). 즉, 현상 처리후에, 패턴 형성된 경화 감광층(착색층, 화소 소자층 또는 레지스트층으로 공지)을 갖는 투명한 기판을, 예를 들면, 약160-250℃정도에서 약10~120분 가열(베이킹)을 행한다. 포스트 베이킹에 의해 착색층에 화학적 및 물리적인 내구성을 부여한다.In a manufacturing process, baking is generally performed after a developing process (post-baking). That is, after the development treatment, a transparent substrate having a patterned cured photosensitive layer (known as a colored layer, a pixel element layer or a resist layer) is heated for about 10 to 120 minutes at, for example, about 160 to 250 ° C (baking). Is done. Post-baking imparts chemical and physical durability to the colored layer.

그러나, 종래에 레지스트에 사용된 감광성 조성물은 종종 현상 후 포스트 베이킹시, 승화물이 발생된다. 이들 승화물이 배기 덕트 등에 부착되고, 일단 부착되면 레지스트층 위에 떨어지는 등의 문제가 발생한다. 이것은 베이킹 공정시에도 승화물의 발생을 억제하는 감광성 조성물의 개발이 요구되고, 특히 고감도에서 저승화성의 광중합개시제를 사용한 감광성 조성물의 개발이 요구되고 있다. However, photosensitive compositions conventionally used in resists often result in sublimation upon post-baking after development. These sublimates adhere to the exhaust duct and the like, and once adhered, problems such as falling on the resist layer occur. This requires the development of a photosensitive composition that suppresses the generation of a sublimation even during the baking process, and in particular, the development of a photosensitive composition using a low-sublimation photopolymerization initiator at high sensitivity.

헥사아릴비이미다졸계 화합물을 감광성 조성물에 대한 광중합 개시제 조성물의 성분으로 공지되어 있고(이하,특허 문헌1 참조), 그리고 예를 들면 후술한 식(4)에 나타낸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4'-5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸(HABI)를 사용한 컬러 필터의 감광성 조성물이 특개평 6-75372호 공보(특허문헌2 참조), 특개2000-249822호 공보(특허문헌 3참조)에 개시되어 있다. 그러나, 이들 문헌에서는 포스트 베이킹시 승화물에 대한 문제에 대해서는 처리되어 있지 않고, 당연히 이들에는 본 발명의 치환기를 갖는 헥사아릴비이미다졸 화합물이 제안되어 있지 않다.The hexaarylbiimidazole-based compound is known as a component of the photopolymerization initiator composition to the photosensitive composition (see Patent Document 1 below), and is represented by, for example, 2,2'-bis (shown in Formula (4) described below). Photosensitive compositions of color filters using 2-chlorophenyl) -4,4'-5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole (HABI) are described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-75372 (see Patent Document 2). And Japanese Patent Laid-Open No. 2000-249822 (see Patent Document 3). However, these documents have not dealt with the problem of sublimation at the time of post-baking, and naturally no hexaarylbiimidazole compound having a substituent of the present invention is proposed to them.

[특허문헌 1][Patent Document 1]

특개소 45-37277호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 45-37277

[특허문헌 2][Patent Document 2]

특개평 06-075373호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 06-075373

[특허문헌 3][Patent Document 3]

특개 2000-249822호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-249822

본 발명의 목적은 고감도 및 저승화성에서 광라디컬 발생제 및 이를 사용한 광중합 개시제 조성물 및 베이킹 공정에 있어서도 승화물이 거의 발생되지 않고 특히 컬러 필터에 적합한 광중합성 조성물을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a photopolymerizable composition at high sensitivity and low sublimation, a photopolymerization initiator composition using the same, and a photopolymerizable composition which is particularly suitable for a color filter with little sublimation even in a baking process.

상술한 문제에 대해 예의 검토한 결과, 본 발명자들은 포스트 베이킹시에 배기 덕트에 부착한 승화물이 감광성 조성물 중에서 광중합개시제 조성물에 함유된 광중합 개시제로서 사용된 헥사아릴비이미다졸계 화합물의 열 분해 산물의 결정이고, 특정 구조를 갖는 신규한 헥사아릴비이미다졸 화합물을 광라디컬 발생제로서 사용하는 광중합 개시제 조성물 및 이를 포함한 광중합성 조성물에 의해 상술한 문제를 해결하고, 본 발명에 도달하였다.As a result of earnestly examining the above-mentioned problems, the present inventors found that the thermal decomposition products of hexaarylbiimidazole-based compounds in which a sublimate adhered to the exhaust duct at the time of post-baking were used as the photopolymerization initiator contained in the photopolymerization composition in the photosensitive composition. The problem described above was solved by the photoinitiator composition which uses the novel hexaaryl biimidazole compound which is the crystal | crystallization of a, and a photopolymerizable composition containing this as a photoradical generator, and reached this invention.

도1은 MHABI의 1H-NMR 스펙트럼이다.1 is a 1 H-NMR spectrum of MHABI.

도2는 MHABI의 13C-NMR 스펙트럼이다.2 is a 13 C-NMR spectrum of MHABI.

도3은 (확대된)MHABI의 13C-NMR 스펙트럼이다.3 is a 13 C-NMR spectrum of (enlarged) MHABI.

도4는 MHABI의 질량 스펙트럼이다. 4 is the mass spectrum of MHABI.

도5는 실시예 1의 가열된 스테인레스 스틸의 사진이다.5 is a photograph of the heated stainless steel of Example 1. FIG.

도6은 비교예 1의 가열된 스테인레스 스틸의 사진이다.6 is a photograph of the heated stainless steel of Comparative Example 1. FIG.

즉 본 발명은 하기[1]~[8]에 의한 헥사아릴비이미다졸 화합물, 이를 포함한 광라디컬 발생제, 이를 사용한 광중합 개시제 조성물 및 이를 함유한 광중합성 조성물을 제공한다.That is, the present invention provides a hexaarylbiimidazole compound according to the following [1] to [8], an optical radical generator including the same, a photopolymerization initiator composition using the same, and a photopolymerizable composition containing the same.

[1]하기식(1)에 의해 정의된 헥사아릴비이미다졸 화합물:[1] Hexaarylbiimidazole compound defined by the following formula (1):

여기에서, 각 R1은 할로겐 원자이고, 각 R2는 선택적으로 치환된 탄소수 1~4의 알킬기이다Wherein each R 1 is a halogen atom and each R 2 is an optionally substituted alkyl group having 1 to 4 carbon atoms

[2]하기식(2)로 정의된 헥사아릴비이미다졸 화합물:[2] Hexaarylbiimidazole compound defined by the following formula (2):

[3][1]또는[2]에 있어서, 광라디컬 발생제로서 이용하는 것을 특징으로 하는 헥사아릴비이미다졸의 이용방법.[3] The method for using hexaarylbiimidazole according to [1] or [2], which is used as an optical radical generating agent.

[4][1]에 있어서, 헥사아릴비이미다졸 화합물을 함유한 광중합개시제 조성물.[4] The photoinitiator composition according to [1], which contains a hexaarylbiimidazole compound.

[5][4]에 있어서, 벤조페논계 화합물, 티옥산톤계 화합물 및 케토코우마린계 화합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 광중합개시제 조성물[5] The photoinitiator composition according to [4], wherein the photopolymerization initiator composition comprises at least one compound selected from the group consisting of a benzophenone compound, a thioxanthone compound and a ketocomarin compound.

[6][4]에 있어서, 상기 헥사아릴비이미다졸 화합물을 위한 수소 공여체로서 티올 화합물 및/또는 하기식(3)으로 정의된 디카르보닐 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 광중합개시제 조성물:[6] The photopolymerization initiator composition according to [4], which contains a thiol compound and / or a dicarbonyl compound defined by the following formula (3) as a hydrogen donor for the hexaarylbiimidazole compound:

여기에서 R3 및 R4는 각각 독립적으로 선택적으로 치환된 알킬, 선택적으로 치환된 알콕시, 선택적으로 치환된 아미노, 선택적으로 치환된 아랄킬, 선택적으로 치환된 아릴, 선택적으로 치환된 아릴옥시 또는 중합성 불포화기 또는 폴리머 화합물 잔기를 갖는 유기기이고, 또는 R3 및 R4는 함께 결합하여 환을 형성해도 좋다. R5는 수소원자, 선택적으로 치환된 알킬, 선택적으로 치환된 아랄킬 또는 선택적으로 치환된 아릴이다.Wherein R 3 and R 4 are each independently optionally substituted alkyl, optionally substituted alkoxy, optionally substituted amino, optionally substituted aralkyl, optionally substituted aryl, optionally substituted aryloxy or polymerization It may be an organic group having a unsaturated unsaturated group or a polymer compound residue, or R 3 and R 4 may be bonded together to form a ring. R 5 is a hydrogen atom, optionally substituted alkyl, optionally substituted aralkyl or optionally substituted aryl.

[7]적어도 하기 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 광중합성 조성물:[7] A photopolymerizable composition comprising at least the following components:

(A)[4]~[6] 중 한 항에 있어서의 광중합 개시제 조성물(A) The photoinitiator composition in any one of [4]-[6].

(B)에틸렌성 불포화기의 화합물(B) Compound of ethylenically unsaturated group

[8]적어도 하기 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 레지스트용 광중합성 조성물:[8] a photopolymerizable composition for color filter resists comprising at least the following components:

(A)[4]~[6]중 한 항에 있어서 광중합 개시제 조성물; 및(A) The photoinitiator composition in any one of [4]-[6]; And

(B)에틸렌성 불포화기의 화합물(B) Compound of ethylenically unsaturated group

감광성 조성물의 광중합 개시제 조성물의 성분으로 통상 사용되는 헥사아릴비이미다졸 화합물로 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4'-5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸(식(4), HABI로 축약)은 하기식(5)에 나타낸 화합물로 포스트 베이킹시 열분해한다. 상기 화합물은 승화성이 높고, 배기 덕트에 부착되기 쉽다.Hexaarylbiimidazole compound commonly used as a component of the photoinitiator composition of the photosensitive composition, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4'-5,5'-tetraphenyl-1,2'- Biimidazole (formula (4), abbreviated as HABI) is thermally decomposed during post-baking with the compound represented by the following formula (5). The compound is highly sublimable and easily adheres to the exhaust duct.

본 발명의 식(1)로 나타낸 헥사아릴비이미다졸 화합물은 본 발명에 있어서 처음 발견된 것이다. 식(1)로 나타낸 이들 화합물의 분해물은 HABI와 달리 저승화성이고, 포스트 베이킹시 배기 덕트상에 결정화되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에서는, 신규한 헥사아릴비이미다졸 화합물을 광라디컬 발생제로서 감광성 조성물에 사용하여 포스트 베이킹시 배기덕트에 결정이 부착되지 않고 상기 결정에 의해 발생된 문제를 막을 수 있다는 것을 처음으로 발견하였다.The hexaarylbiimidazole compound represented by formula (1) of the present invention was first discovered in the present invention. The decomposition products of these compounds represented by the formula (1) are low sublimability, unlike HABI, and are characterized by crystallization on the exhaust duct during post-baking. In the present invention, a novel hexaarylbiimidazole compound is used as a photoradical generator in a photosensitive composition for the first time that crystals do not adhere to the exhaust duct at the time of post-baking, thereby preventing problems caused by the crystals. It was.

본 발명의 실시의 형태를 상세하게 설명할 것이다.Embodiments of the present invention will be described in detail.

1. 헥사아릴비이미다졸 화합물1. Hexaarylbiimidazole compounds

본 발명의 헥사아릴비이미다졸 화합물은 하기식(1)로 나타낸다:The hexaarylbiimidazole compound of the present invention is represented by the following formula (1):

여기에서, 각 R1은 할로겐이고, 각R2는 선택적으로 치환된 탄소수 1~4의 알킬기이다.Wherein each R 1 is halogen and each R 2 is an optionally substituted alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.

식(1)에서, R1의 할로겐 원자로서 염소원자가 바람직하다. 각 R2는 선택적으로 치환된 탄소수 1~4의 알킬기이고, 바람직하게는 메틸기, 에틸기 또는 이소프로필기이고, 메틸기가 보다 바람직하다. R2의 치환기로서 메톡시기, 에톡시기, 프로폭시기, 이소프로폭시기, n-부톡시기, sec-부톡시기, tert-부톡시기 등이어도 좋다.In formula (1), a chlorine atom is preferable as the halogen atom of R 1 . Each R 2 is an optionally substituted alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, preferably a methyl group, an ethyl group or an isopropyl group, and more preferably a methyl group. As the substituent for R 2 , a methoxy group, ethoxy group, propoxy group, isopropoxy group, n-butoxy group, sec-butoxy group, tert-butoxy group or the like may be used.

식(1)로 나타낸 헥사아릴비이미다졸 화합물중에서 특히 바람직한 화합물로서는 하기식(2)로 나타낸 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4'-5,5'-테트라키스(4-메틸페닐)-1,2'-비이미다졸(MHABI)이어도 좋다.Among the hexaarylbiimidazole compounds represented by formula (1), particularly preferred compounds are 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4'-5,5'-tetrakis represented by the following formula (2): 4-methylphenyl) -1,2'-biimidazole (MHABI) may be sufficient.

본 발명의 헥사아릴비이미다졸 화합물은 고감도 컬러 필터의 감광성 조성물에 광라디컬 발생제로 적절하게 사용해도 좋다.The hexaarylbiimidazole compound of the present invention may be suitably used as an optical radical generating agent in the photosensitive composition of a high sensitivity color filter.

2.광중합 개시제 조성물2.Photoinitiator composition

2-(1)헥사아릴비이미다졸 화합물2- (1) hexaarylbiimidazole compound

본 발명의 광중합 개시제 조성물은 상기식(1)로 나타낸 헥사아릴비이미다졸을 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 광중합 개시제 조성물중에서 헥사아릴비이미다졸 화합물의 배합비는 특히 제한되지는 않지만, 20~60중량%가 바람직하고, 보다 바람직하게는 30~50중량%이다. 헥사아릴비이미다졸 화합물의 비율이 너무 낮으면, 라디컬 발생량이 감소되므로, 광감도가 나쁘게 되거나 광중합성 조성물의 경화가 불충분하게 되는 경우가 있다. 상기 양이 너무 많으면, 증감제나 수소공여체의 첨가량이 감소되고 광감도가 저하되어 바람직하지 않다.The photoinitiator composition of this invention is characterized by including the hexaaryl biimidazole represented by said Formula (1). Although the compounding ratio of a hexaaryl biimidazole compound in the said photoinitiator composition is not specifically limited, 20 to 60 weight% is preferable, More preferably, it is 30 to 50 weight%. When the ratio of the hexaarylbiimidazole compound is too low, the amount of radicals is reduced, so that the photosensitivity may be deteriorated or the curing of the photopolymerizable composition may be insufficient. If the amount is too large, the amount of addition of the sensitizer or hydrogen donor is reduced and the photosensitivity is lowered, which is not preferable.

본 발명의 광중합 개시제 조성물은 상술한 특정의 헥사아릴비이미다졸 화합물을 필수성분으로 함유한다면, 광중합 개시제 조성물에 통상 사용되는 다른 성분(수소 공여체, 증감제, 다른 광중합 개시제)도 특히 제한없이 사용된다. 이들 성분은 전체적으로 광중합 개시제의 기능을 나타내도록 상기 성분을 조합시켜도 좋지만, 하기 화합물을 첨가하는 것이 바람직하다.If the photoinitiator composition of the present invention contains the specific hexaarylbiimidazole compound described above as an essential component, other components (hydrogen donor, sensitizer, other photoinitiator) usually used in the photopolymerization initiator composition are also used without particular limitation. . Although these components may combine the said component so that it may show the function of a photoinitiator as a whole, it is preferable to add the following compound.

2-(2)벤조페논계 화합물, 티옥산톤계 화합물 및 케토코우마린계 화합물을 구성하는 기로부터 선택된 1종 이상의 화합물At least one compound selected from the group consisting of 2- (2) benzophenone compound, thioxanthone compound and ketocomarin compound

본 발명의 광중합 개시제 조성물에서는, 감도를 향상시키기 위해서는 벤조페논계 화합물, 티옥산톤계 화합물 및 케토코우마린계 화합물을 구성하는 기로부터 선택된 1종 이상의 화합물을 증감제로 사용하는 것이 바람직하다.In the photoinitiator composition of this invention, in order to improve a sensitivity, it is preferable to use at least 1 sort (s) of compound chosen from the group which comprises a benzophenone type compound, a thioxanthone type compound, and a ketocomarin type compound as a sensitizer.

벤조페논계 화합물의 예로서는 벤조페논, 2,4,6-트리메틸벤조페논, 4-페닐벤조페논, 4-벤조일-4'-메틸디페닐설피드, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논 및 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 등이 열거된다.Examples of the benzophenone compounds include benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenylsulfide, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone And 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone.

티옥산톤계 화합물의 예로서는, 2-메틸티옥산톤, 2,4-디메틸티옥산톤, 2,4-디에틸티옥산톤, 이소프로필티옥사톤, 2,4-디이소프로필티옥산톤 및 2-클로로티옥산톤 등이 열거된다.As an example of a thioxanthone type compound, 2-methyl thioxanthone, 2, 4- dimethyl thioxanthone, 2, 4- diethyl thioxanthone, isopropyl thioxatone, 2, 4- diisopropyl thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, etc. are mentioned.

케토우마린계 화합물의 예로서는 3-아세틸코우마린, 3-아세틸-7-디에틸아미노코우마린, 3-벤조일코우마린, 3-벤조일-7-디에틸아미노코우마린, 3-벤조일-7-메톡시코우마린, 3,3'-카르보닐비스코우마린, 3,3'-카르보닐비스(7-메톡시코우마린) 및 3,3'-카르보닐비스(5,7-디메톡시코우마린) 등이 열거된다.Examples of ketomarin-based compounds include 3-acetylcoumarin, 3-acetyl-7-diethylaminocomarin, 3-benzoylcomarin, 3-benzoyl-7-diethylaminocomarin, 3-benzoyl-7-meth Toxickoumarin, 3,3'-carbonylbiscomarin, 3,3'-carbonylbis (7-methoxycoumarin) and 3,3'-carbonylbis (5,7-dimethoxycoumarin) And the like.

광중합 개시제 조성물에 증감제의 혼합비율은 특히 제한되지는 않지만 전체 광중합 개시제 조성물 중에서 5~40중량%가 바람직하고 보다 바람직하게는 10~30중량%이다. 이들의 배합비율이 너무 낮으면 감도가 저하되고, 상기 비율이 너무 높으면, 레지스트 하층부에 충분한 광이 도달하지 않게 되어, 그 부분의 경화가 불충분하게 된다.Although the mixing ratio of a sensitizer to a photoinitiator composition is not specifically limited, 5-40 weight% is preferable in all the photoinitiator compositions, More preferably, it is 10-30 weight%. When these compounding ratios are too low, a sensitivity will fall, and when said ratio is too high, sufficient light will not reach | attain a resist lower layer part, and hardening of the part will become inadequate.

2-(3) 티올 화합물 및/또는 카르보닐 화합물2- (3) thiol compound and / or carbonyl compound

본 발명의 광중합 개시제 조성물은 상술한 헥사아릴비이미다졸 화합물의 수소 공여체로서 티올 화합물 및/또는 카르보닐 화합물을 사용해도 좋다.In the photopolymerization initiator composition of the present invention, a thiol compound and / or a carbonyl compound may be used as the hydrogen donor of the hexaarylbiimidazole compound described above.

[1]티올 화합물[1] thiol compounds

본 발명에 사용된 티올 화합물은 분자내에 티올기를 갖는 화합물이면 특히 제한되지 않고, 종래에 광중합 개시제 조성물로 사용된 것도 임의로 선택해서 사용해도 좋다.The thiol compound used in the present invention is not particularly limited as long as it is a compound having a thiol group in the molecule, and any of those conventionally used as a photopolymerization initiator composition may be optionally selected and used.

상기 티올 화합물의 예로서는 2-머캡토벤조티아졸, 2-머캡토벤조이미다졸, 2-머캡토벤조옥사졸, 5-클로로-2-머캡토벤조티아졸, 2-머캡토-5-메톡시벤조티아졸, 5-메틸-1,3,4-티아디아졸-2-티올, 5-머캡토-1-메틸테트라졸, 3-머캡토-4-메틸-4H-1,2,4-트리아졸, 2-머캡토-1-메틸이미다졸, 2-머캡토티아졸린, 옥탄티올, 헥산디티올, 데칸디티올, 1,4-디메틸머캡토벤젠, 1,4-부탄디올 비스(3-머캡토프로피오네이트), 1,4-부탄디올 비스(머캡토아세테이트), 에틸렌글리콜 비스(3-머캡토프로피오네이트), 에틸렌글리콜 비스(머캡토아세테이트), 트리메틸올프로판 트리스(3-머캡토프로피오네이트), 트리메틸올프로판 트리스(머캡토아세테이트), 펜타에리스리톨 테트라키스(3-머캡토프로피오네이트) 및 펜타에리스리톨 테트라키스(머캡토아세테이트)를 들수 있다.Examples of the thiol compound include 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 5-chloro-2-mercaptobenzothiazole, 2-mercapto-5-methoxy Benzothiazole, 5-methyl-1,3,4-thiadiazole-2-thiol, 5-mercapto-1-methyltetrazole, 3-mercapto-4-methyl-4H-1,2,4- Triazole, 2-mercapto-1-methylimidazole, 2-mercaptothiazoline, octanethiol, hexanedithiol, decandithiol, 1,4-dimethylmercaptobenzene, 1,4-butanediol bis (3- Mercaptopropionate), 1,4-butanediol bis (mercaptoacetate), ethylene glycol bis (3-mercaptopropionate), ethylene glycol bis (mercaptoacetate), trimethylolpropane tris (3-mercapto Propionate), trimethylolpropane tris (mercaptoacetate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate) and pentaerythritol tetrakis (mercaptoacetate).

광중합성 조성물의 유지 안정성의 관점에서, 본 발명의 티올 화합물로서 특히 바람직하게는 티올기의 α-및/또는 β- 위치의 탄소에 분기된 구조를 갖는 티올 화합물, 또는 티올기의 α-및/또는 β- 위치의 탄소에 수소 이외의 원자 3개 이상과 결합하고 있는, 즉 분기된 구조를 갖는 티올 화합물, 예를 들면, 티올기에 대해 α-및/또는 β-위치의 주쇄이외에 치환기의 적어도 1개가 알킬기인 화합물이 열거된다. 여기에, 주쇄는 티올기를 포함하는 수소 이외의 원자로 구성된 가장 긴 주쇄의 구조를 나타낸다.From the viewpoint of the holding stability of the photopolymerizable composition, the thiol compound of the present invention is particularly preferably a thiol compound having a structure branched to carbon at the α- and / or β-position of the thiol group, or the α- and / of the thiol group. Or a thiol compound having a branched structure, that is, bonded to carbon at the β-position with at least 3 atoms other than hydrogen, for example, at least one of substituents other than the main chain at the α- and / or β-position relative to the thiol group Listed are compounds in which the dog is an alkyl group. Here, the main chain shows the structure of the longest main chain which consists of atoms other than hydrogen containing a thiol group.

그 중에서도 특히, 티올기 함유 구조부가 하기식(6)으로 나타낸 티올화합물이 바람직하다.Especially, the thiol compound in which a thiol group containing structure part is represented by following formula (6) is preferable.

-(CH2)mC(R6)(R7)(CH2)nSH (6)-(CH 2 ) m C (R 6 ) (R 7 ) (CH 2 ) n SH (6)

(여기에서, R6 및 R7은 각각 독립적으로 수소 또는 알킬기를 나타내지만, R6 및 R7은 동시에 수소원자가 되지 않고, m은 0~2의 정수이고, n은 0 또는 1의 정수를 나타낸다.)(Wherein R 6 and R 7 each independently represent a hydrogen or alkyl group, R 6 and R 7 do not become hydrogen atoms at the same time, m is an integer of 0 to 2, and n represents an integer of 0 or 1 .)

여기에서, 알킬기(식(6)에서 R6 및 R7)은 탄소수 1~3의 직쇄 또는 분기의 알킬기인 것이 바람직하다. 구체적으로는, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기 등이 열거되고, 보다 바람직하게는 메틸기 또는 에틸기이다.Here, it is preferable that an alkyl group (R <6> and R <7> in Formula (6)) is a C1-C3 linear or branched alkyl group. Specifically, methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, etc. are mentioned, More preferably, they are a methyl group or an ethyl group.

본 발명에서 사용되고 있는 티올 화합물은 광감도를 높이기 위한 관점에서, 머캡토기를 2개 이상 갖는 다관능 티올 화합물이 보다 바람직하고, 광감도와 광감성 조성물의 보존 안정성을 둘다 만족시키기 위해서, 본 발명의 식(6)에 나타낸 구조를 갖는 다관능 티올화합물이 특히 바람직하다. 구체적으로는 하기화합물이 열거된다.The thiol compound used in the present invention is more preferably a polyfunctional thiol compound having two or more mercapto groups from the viewpoint of increasing the photosensitivity, and in order to satisfy both the photosensitivity and the storage stability of the photosensitive composition, the formula of the present invention ( Particularly preferred is a polyfunctional thiol compound having the structure shown in 6). Specifically, the following compounds are listed.

탄화수소 디티올의 예는 2,5-헥산디티올, 2,9-데칸디티올, 1,4-비스(1-머캡토에틸)벤젠 등을 포함한다.Examples of hydrocarbon dithiols include 2,5-hexanedithiol, 2,9-decanedithiol, 1,4-bis (1-mercaptoethyl) benzene and the like.

에스테르 결합 구조를 함유하는 화합물로서 프탈산 비스(1-머캡토에틸 에스테르), 프탈산 비스(2-머캡토프로필 에스테르), 프탈산 비스(3-머캡토부틸 에스테르), 프탈산 비스(3-머캡토이소부틸 에스테르), 에틸렌글리콜 비스(3-머캡토부티레이트), 디에틸렌글리콜 비스(3-머캡토부티레이트), 프로필렌글리콜 비스(3-머캡토부티레이트), 1,4-부탄디올 비스(3-머캡토부티레이트), 1,3-부탄디올 비스(3-머캡토부티레이트), 1,2-부탄디올 비스(3-머캡토부티레이트), 트리메틸올프로판 트리스(3-머캡토부티레이트), 펜타에리스리톨 테트라키스(3-머캡토부티레이트), 디펜타에리스리톨 헥사키스(3-머캡토부티레이트), 에틸렌글리콜 비스(2-머캡토이소부티레이트), 디에틸렌글리콜 비스(2-머캡토이소부티레이트), 프로필렌글리콜 비스(2-머캡토이소부티레이트), 1,4-부탄디올 비스(2-머캡토이소부티레이트), 트리메틸올프로판 트리스 (2-머캡토이소부티레이트), 펜타에리스리톨 테트라키스(2-머캡토이소부티레이트), 디펜타에리스리톨 헥사키스(2-머캡토이소부티레이트), 에틸렌글리톨 비스(3-머캡토이소부티레이트), 디에틸렌글리콜 비스(3-머캡토이소부티레이트), 프로필렌글리콜 비스(3-머캡토이소부티레이트), 1,4-부탄디올 비스(3-머캡토이소부티레이트), 트리메틸올프로판 트리스(3-머캡토이소부티레이트), 펜타에리스리톨 테트라키스(3-머캡토이소부티레이트) 및 디펜타에리스리톨 헥사키스(3-머캡토이소부티레이트) 등이 열거된다.Compounds containing ester linkages include phthalic bis (1-mercaptoethyl ester), phthalic bis (2-mercaptopropyl ester), phthalic bis (3-mercaptobutyl ester), phthalic bis (3-mercaptoisobutyl Ester), ethylene glycol bis (3-mercaptobutyrate), diethylene glycol bis (3-mercaptobutyrate), propylene glycol bis (3-mercaptobutyrate), 1,4-butanediol bis (3-mercaptobutyrate) , 1,3-butanediol bis (3-mercaptobutyrate), 1,2-butanediol bis (3-mercaptobutyrate), trimethylolpropane tris (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tetrakis (3-mercapto Butyrate), dipentaerythritol hexakis (3-mercaptobutyrate), ethylene glycol bis (2-mercaptoisobutyrate), diethylene glycol bis (2-mercaptoisobutyrate), propylene glycol bis (2-mercaptoiso Butyrate), 1,4-butanedi Bis (2-mercaptoisobutyrate), trimethylolpropane tris (2-mercaptoisobutyrate), pentaerythritol tetrakis (2-mercaptoisobutyrate), dipentaerythritol hexakis (2-mercaptoisobutyrate), Ethylene glycol bis (3-mercaptoisobutyrate), diethylene glycol bis (3-mercaptoisobutyrate), propylene glycol bis (3-mercaptoisobutyrate), 1,4-butanediol bis (3-mercaptoisobutyrate) Butyrate), trimethylolpropane tris (3-mercaptoisobutyrate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptoisobutyrate), dipentaerythritol hexakis (3-mercaptoisobutyrate), and the like.

이들 티올 화합물을 단독으로 또는 2종 이상 조합해서 사용해도 좋다.You may use these thiol compounds individually or in combination of 2 or more types.

상기 티올 화합물을 사용하는 경우, 광중합 개시제 조성물에 상기 티올 화합물의 혼합 비율은 특히 제한되지는 않지만, 전체 광중합 개시제 조성물에 대해 바람직하게는 20~70중량%이고, 보다 바람직하게는 30~60중량%이다.티올 화합물의 비율이 너무 낮으면, 레지스트의 표면 경화성이 저하되고, 너무 높으면, 머캡토기의 사슬 이동이 경화물의 가교도를 저하시키는 경우가 있다.In the case of using the thiol compound, the mixing ratio of the thiol compound to the photopolymerization initiator composition is not particularly limited, but is preferably 20 to 70% by weight, more preferably 30 to 60% by weight relative to the total photopolymerization initiator composition. If the ratio of the thiol compound is too low, the surface curability of the resist is lowered, and if it is too high, the chain transfer of the mercapto group may lower the crosslinking degree of the cured product.

[2]카르보닐 화합물[2] carbonyl compounds

본 발명에서 수소 공여체로서 사용되는 카르보닐 화합물로서는 하기식(3)으로 나타내는 것이 바람직하다:Preferred carbonyl compounds used as hydrogen donors in the present invention are those represented by the following formula (3):

여기에서, R3 및 R4는 각각 독립적으로 선택적으로 치환된 알킬기, 선택적으로 치환된 알콕시기, 선택적으로 치환된 아미노기, 선택적으로 치환된 아랄킬기, 선택적으로 치환된 아릴기, 선택적으로 치환된 아릴옥시기 또는 광중합 불포화기 또는 폴리머 화합물 잔기를 갖는 유기기를 나타내고, R3 및 R4는 서로 결합되어 환을 형성해도 좋다. R5는 수소, 선택적으로 치환된 알킬기, 선택적으로 치환된 아랄킬기 또는 선택적으로 치환된 아릴기를 나타낸다.Wherein R 3 and R 4 are each independently an optionally substituted alkyl group, an optionally substituted alkoxy group, an optionally substituted amino group, an optionally substituted aralkyl group, an optionally substituted aryl group, an optionally substituted aryl An organic group having an oxy group or a photopolymerizable unsaturated group or a polymer compound residue may be represented, and R 3 and R 4 may be bonded to each other to form a ring. R 5 represents hydrogen, an optionally substituted alkyl group, an optionally substituted aralkyl group or an optionally substituted aryl group.

식(3)의 R3 및 R4의 알킬기로서 바람직하게는 탄소수 1~8, 보다 바람직하게는 탄소수 1~6의 직쇄 또는 분기 알킬기 등이 열거된다. 구체예는 메틸기, 에틸기, n-프로필기, i-프로필기, n-부틸기, i-부틸기, t-부틸기, n-펜틸기, n-헥실기, n-옥틸기 및 2-에틸헥실기를 포함한다. 이들은 알콕시기, 할로겐 등으로 더 치환되어도 좋다.As an alkyl group of R <3> and R <4> of Formula (3), C1-C8, More preferably, a C1-C6 linear or branched alkyl group etc. are mentioned. Specific examples include methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, i-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-octyl group and 2-ethyl And hexyl groups. These may be further substituted with an alkoxy group, halogen or the like.

식(3)의 R3 및 R4의 알콕시기로서 탄소수 1~8, 보다 바람직하게는 탄소수 1~6의 직쇄 또는 분기 알콕시기 등이 열거된다. 구체예는 메톡시기, 에톡시기, 프로폭시기, n-부톡시기, i-부톡시기, t-부톡시기, n-펜틸옥시기, n-헥실옥시기, n-옥틸옥시기 및 2-에틸헥실옥시기를 포함한다. 이들은 알콕시기, 할로겐 등으로 더 치환되어도 좋다.As an alkoxy group of R <3> and R <4> of Formula (3), C1-C8, More preferably, a C1-C6 linear or branched alkoxy group etc. are mentioned. Specific examples include methoxy group, ethoxy group, propoxy group, n-butoxy group, i-butoxy group, t-butoxy group, n-pentyloxy group, n-hexyloxy group, n-octyloxy group and 2-ethylhex It includes a siloxy group. These may be further substituted with an alkoxy group, halogen or the like.

식(3)의 R3 및 R4의 아미노기는 알킬기, 아랄킬기 또는 아릴기 등의 탄화수소기로 치환된 이들의 수소 원자를 가져도 좋다. 아미노기의 수소원자에 치환한 알킬기로서는 메틸기, 에틸기, n-프로필기, i-프로필기, n-부틸기, i-부틸기 또는 t-부틸기 등의 탄소수 1~4것을 열거하는 것이 바람직하다. 시클로헥실 및 시클로펜틸 등의 지환성 탄화수소기를 열거해도 좋다.The amino group of R <3> and R <4> of Formula (3) may have these hydrogen atoms substituted by hydrocarbon groups, such as an alkyl group, an aralkyl group, or an aryl group. As an alkyl group substituted by the hydrogen atom of an amino group, it is preferable to list C1-C4 things, such as a methyl group, an ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, i-butyl group, or t-butyl group. Alicyclic hydrocarbon groups, such as cyclohexyl and cyclopentyl, may be enumerated.

아미노기의 수소원자에 치환한 아랄킬기로서는 벤질, 페네틸 등을 열거해도 좋다. 아미노기의 수소원자에 치환된 아릴기로서는 페닐기, 톨일기, 크실일기, 쿠메닐기, 메시틸기, 애니실기 및 나프틸기를 열거할 수 있다. 환내에 질소 원자를 갖는 복소환 아미노기도 적절하고, 상기 아미노기로서는 몰폴리노, 피페리디노 및 피롤리디노를 열거할 수 있다.As an aralkyl group substituted by the hydrogen atom of an amino group, benzyl, phenethyl, etc. may be mentioned. Examples of the aryl group substituted in the hydrogen atom of the amino group include a phenyl group, tolyl group, xylyl group, cumenyl group, mesityl group, ananiyl group and naphthyl group. A heterocyclic amino group having a nitrogen atom in the ring is also suitable, and examples of the amino group include morpholino, piperidino, and pyrrolidino.

식(3)에 R3 및 R4의 아랄킬기로서는 벤질기 및 페네틸기를 열거할 수 있다. 알킬기, 알콕시기, 아릴기, 할로겐 등으로 치환될 수 있다.Examples of the aralkyl group represented by R 3 and R 4 in formula (3) include benzyl and phenethyl groups. It may be substituted with an alkyl group, an alkoxy group, an aryl group, a halogen or the like.

식(3)에 R3 및 R4의 아릴기로서는 페닐기, 톨일기, 크실일기, 쿠메닐기, 메시틸기, 애니실기, 나프틸기 등을 열거할 수 있다. 아릴옥시기로서는 페녹시기 및 나프톡시기를 열거할 수 있다. 이들은 알킬기, 알콕시기, 아릴기, 할로겐 등으로 치환될 수 있다.As an aryl group of R <3> and R <4> in Formula (3), a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, cumenyl group, a mesityl group, an anylyl group, a naphthyl group, etc. can be mentioned. Examples of the aryloxy group include phenoxy group and naphthoxy group. These may be substituted with alkyl groups, alkoxy groups, aryl groups, halogens and the like.

식(3)에 R3 및 R4에 있어서 중합성 불포화기를 갖는 유기기로서는, 비닐기, 비닐리덴기, 아크릴오일기, 메타크릴오일기 등을 열거할 수 있다.As an organic group which has a polymerizable unsaturated group in R <3> and R <4> in Formula (3), a vinyl group, a vinylidene group, an acryl oil group, a methacryl oil group, etc. can be mentioned.

식(3) 에 R3 및 R4에 있어서 폴리머 화합물 잔기를 갖는 유기기로서는 중합 또는 중축합에 의해 각종 반복단위가 결합된 폴리머 화합물기를 갖는 것이다. 예를 들면, 상술한 중합성 불포화기를 갖는 유기기를 상기 중합성 불포화기에 있어서 중합하고 폴리머 화합물을 형성한 것을 열거할 수 있다. 별도로 상술한 것에 의하면, 식(3)의 R3 및 R4에 화합물을 공중합하여 폴리머 화합물을 형성할 수 있다.As an organic group which has a polymer compound residue in R <3> and R <4> in Formula (3), it has a polymer compound group which the various repeating unit couple | bonded by superposition | polymerization or polycondensation. For example, the thing which superposed | polymerized in the said polymerizable unsaturated group and formed the polymer compound can be mentioned. According to the above-mentioned separately, a polymer compound can be formed by copolymerizing a compound with R <3> and R <4> of Formula (3).

구체적으로는 1,3-위치에 카르보닐기를 갖는 모노머로서는 2-아세토아세톡시에틸 메타크릴레이트, 2-아세토아세톡시에틸 아크릴레이트, 2-아세토아세톡시에틸 크로토네이트 등과 메타크릴산 또는 메틸 메타크릴레이트 등의 불포화기 함유 모노머의 코폴리머를 열거할 수 있다. 폴리머 화합물 잔기의 중량 평균 분자량은 특히 제한되지는 않지만, 바람직하게는 1,000~1,000,000이다.Specifically, as monomers having a carbonyl group at the 1,3-position, 2-acetoacetoxyethyl methacrylate, 2-acetoacetoxyethyl acrylate, 2-acetoacetoxyethyl crotonate and the like or methacrylic acid or methyl methacrylate The copolymer of unsaturated group containing monomers, such as a rate, can be mentioned. The weight average molecular weight of the polymer compound residue is not particularly limited, but is preferably 1,000 to 1,000,000.

식(3)에 R3 및 R4는 서로 결합되어 환구조를 형성해도 좋고, 그 경우 5~7원의 형성된 환구조의 화합물이 바람직하다.R <3> and R <4> may combine with each other in Formula (3), and may form a ring structure, and in that case, the compound of the 5- to 7-membered ring structure is preferable.

식(3)에서 R5는 수소, 선택적으로 치환된 알킬기, 선택적으로 치환된 아랄킬기 또는 선택적으로 치환된 아릴기를 나타낸다.R 5 in formula (3) represents hydrogen, an optionally substituted alkyl group, an optionally substituted aralkyl group or an optionally substituted aryl group.

알킬기로서는 바람직하게는 탄소수 1~8, 보다 바람직하게는 탄소수 1~4의 직쇄 또는 분기 알킬기 등이 열거되고, 구체예는 메틸기, 에틸기, n-프로필기, i-프로필기, n-부틸기, i-부틸기, t-부틸기, n-펜틸기, n-헥실기, n-옥틸기 및 2-에틸헥실기를 포함한다. 아랄킬기로서는 벤질기 및 페네틸기를 열거할 수 있다. 이들은 알킬기, 아릴기, 알콕시기, 할로겐 등으로 더 치환될 수 있다. 아릴기로서는 페닐기, 톨일기, 크실일기, 쿠메닐기, 메시틸기, 애니실기, 나프틸기 등을 열거할 수 있다. 이들은 알킬기, 아릴기, 알콕시기, 할로겐 등으로 치환될 수 있다.As an alkyl group, Preferably, C1-C8, More preferably, a C1-C4 linear or branched alkyl group etc. are mentioned, A specific example is a methyl group, an ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, i-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-octyl group, and 2-ethylhexyl group. Examples of the aralkyl group include benzyl group and phenethyl group. These may be further substituted with alkyl groups, aryl groups, alkoxy groups, halogens and the like. As an aryl group, a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, cumenyl group, a mesityl group, an anyl group, a naphthyl group, etc. can be mentioned. These may be substituted with alkyl groups, aryl groups, alkoxy groups, halogens and the like.

식(3)의 화합물로서 디메틸 말로네이트, 디에틸 말로네이트, 디-n-프로필 말로네이트, 디이소프로필 말로네이트, 디-n-부틸 말로네이트, 디이소부틸 말로네이트, 디-n-헥실 말로네이트, 디-n-옥틸 말로네이트, 아세토아세트산 메틸 에스테르, 아세토아세트산 에틸 에스테르, 아세토아세트산 n-프로필 에스테르, 아세토아세트산 이소프로필 에스테르, 아세토아세트산 n-부틸 에스테르, 아세토아세트산 이소부틸 에스테르, 아세토아세트산 n-헥실 에스테르, 아세토아세트산 n-옥틸 에스테르, 아세토아세트산 벤질 에스테르, 아세토아세트산 2-메톡시에틸 에스테르, 아세토아세톡시에틸 메타크릴레이트, N-메틸아세토아세트아미드, N-에틸아세토아세트아미드, N,N-디메틸아세토아세트아미드, N,N-디에틸아세토아세트아미드, N-아세토아세틸-N-몰폴린, 아세토아세토아닐리드, N-아세토아세틸-2-클로로아닐린, N-아세토아세틸-2,5-,디클로로아닐린, N-아세토아세틸-p-톨루이딘, N-아세토아세틸-o-톨루이딘, 1,3-시클로헥산디온 및 디메톤을 열거할 수 있다.Dimethyl malonate, diethyl malonate, di-n-propyl malonate, diisopropyl malonate, di-n-butyl malonate, diisobutyl malonate, di-n-hexyl malo as compounds of formula (3) Nate, di-n-octyl malonate, acetoacetic acid methyl ester, acetoacetic acid ethyl ester, acetoacetic acid n-propyl ester, acetoacetic acid isopropyl ester, acetoacetic acid n-butyl ester, acetoacetic acid isobutyl ester, acetoacetic acid n- Hexyl ester, acetoacetic acid n-octyl ester, acetoacetic acid benzyl ester, acetoacetic acid 2-methoxyethyl ester, acetoacetoxyethyl methacrylate, N-methylacetoacetamide, N-ethylacetoacetamide, N, N- Dimethylacetoacetamide, N, N-diethylacetoacetamide, N-acetoacetyl-N-morpholine, aceto Cetoanilide, N-acetoacetyl-2-chloroaniline, N-acetoacetyl-2,5-, dichloroaniline, N-acetoacetyl-p-toluidine, N-acetoacetyl-o-toluidine, 1,3-cyclohexane Diones and dimethones may be enumerated.

식(3)의 화합물을 사용하는 경우, 광중합 개시제 조성물중에서 상기 카르보닐 화합물의 배합 비율은 특히 제한되지 않지만, 바람직하게는 20~70중량%이고, 보다 바람직하게는 30~60중량%이다. 카르보닐 화합물 비율이 너무 낮으면, 레지스트의 표면 경화성이 저하되고, 너무 높으면, 경화물의 가교도를 저하시키는 경우가 있다.When using the compound of Formula (3), although the compounding ratio of the said carbonyl compound in a photoinitiator composition is not specifically limited, Preferably it is 20 to 70 weight%, More preferably, it is 30 to 60 weight%. If the carbonyl compound ratio is too low, the surface curability of the resist is lowered, and if too high, the crosslinking degree of the cured product may be lowered.

2-(4)다른 성분2- (4) Other Ingredients

본 발명의 광중합 개시제 조성물은 상술한 성분 이외에 유기보론염 화합물도 함유할 수 있다.The photoinitiator composition of this invention can contain an organoboron salt compound in addition to the component mentioned above.

본 발명에 사용된 유기보론염 화합물은 통상의 광중합 개시제 조성물로 사용되는 일반적인 것이면 어느 것이라도 사용할 수 있지만, 바람직하게는 하기식(7)로 나타낸 구조를 갖는 것이 열거된다:The organoborone salt compound used in the present invention can be used as long as it is a general one used in a conventional photopolymerization initiator composition, but preferably those having a structure represented by the following formula (7):

식(7)에서, R8, R9, R10 및 R11은 각가 독립적으로 선택적으로 치환된 알킬기, 아릴기, 아랄킬기, 알케닐기, 알키닐기, 실일기 또는 복소환을 나타내고, Z+는 임의의 양이온을 나타낸다. R8, R9, R10 및 R11로 나타낸 기의 예는 하기에 열거된다.In formula (7), R 8 , R 9 , R 10 and R 11 each independently represent an optionally substituted alkyl group, aryl group, aralkyl group, alkenyl group, alkynyl group, silyl group or heterocycle, and Z + is Any cation. Examples of groups represented by R 8 , R 9 , R 10 and R 11 are listed below.

알킬기로서는 구체적으로 탄소수 1~12의 치환 또는 무치환된 직쇄 또는 분기 알킬기가 바람직하고, 이들의 예로서는 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기, n-펜틸기, n-헥실기, n-옥틸기, 도데실기, 시아노메틸기, 4-클로로부틸기, 2-에틸아미노에틸기 및 2-메톡시에틸기 등이 열거된다.Specifically as the alkyl group, a substituted or unsubstituted linear or branched alkyl group having 1 to 12 carbon atoms is preferable, and examples thereof include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group and sec-butyl The group, tert- butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-octyl group, dodecyl group, cyanomethyl group, 4-chlorobutyl group, 2-ethylaminoethyl group, 2-methoxyethyl group, etc. are mentioned. .

아릴기의 예로서는 치환된 또는 무치환된 페닐기, 톨일기, 크실일기, 메시틸기, 4-메톡시페닐기, 2-메톡시페닐기, 4-n-부틸페닐기, 4-tert-부틸페닐기, 나프틸기, 4-메틸나프틸기, 안트릴기, 페난트릴기, 4-니트로페닐기, 4-트리플루오로메틸페닐기, 4-플루오로페닐기, 4-클로로페닐기 및 4-디메틸아미노페닐기를 열거할 수 있다.Examples of the aryl group include substituted or unsubstituted phenyl group, tolyl group, xylyl group, mesityl group, 4-methoxyphenyl group, 2-methoxyphenyl group, 4-n-butylphenyl group, 4-tert-butylphenyl group, naphthyl group, 4-methylnaphthyl group, anthryl group, phenanthryl group, 4-nitrophenyl group, 4-trifluoromethylphenyl group, 4-fluorophenyl group, 4-chlorophenyl group, and 4-dimethylaminophenyl group can be mentioned.

아랄킬기의 예로서는 치환된 또는 무치환된 벤질기, 페네틸기,1-나프틸메틸기, 2-나프틸메틸기 및 4-메톡시벤질기를 열거할 수 있다.Examples of aralkyl groups include substituted or unsubstituted benzyl groups, phenethyl groups, 1-naphthylmethyl groups, 2-naphthylmethyl groups, and 4-methoxybenzyl groups.

알케닐기의 예로서는 치환된 또는 무치환된 비닐기, 프로페닐기, 부테닐기 및 옥테닐기를 열거할 수 있다.Examples of alkenyl groups include substituted or unsubstituted vinyl groups, propenyl groups, butenyl groups, and octenyl groups.

복소환기의 예로서는 치환된 또는 무치환된 피리딜기, 4-메틸피리딜기, 퀴놀일기 및 인돌일기를 열거할 수 있다.Examples of the heterocyclic group include substituted or unsubstituted pyridyl group, 4-methylpyridyl group, quinolyl group and indolyl group.

지환식 기의 예로서는 치환된 또는 무치환된 시클로헥실, 4-메틸시클로헥실, 시클로펜틸, 시클로헵틸 등을 열거할 수 있다.Examples of the alicyclic group include substituted or unsubstituted cyclohexyl, 4-methylcyclohexyl, cyclopentyl, cycloheptyl and the like.

식(7)에 R8은 메틸기, 에틸기, n-프로필기 또는 n-부틸기가 바람직하고, R9-R11은 각각 페닐기, 톨일기, 4-t-부틸기, 나프틸기 또는 4-메틸나프틸기가 바람직하다.In formula (7), R 8 is preferably a methyl group, an ethyl group, n-propyl group or n-butyl group, and R 9 -R 11 are each a phenyl group, tolyl group, 4-t-butyl group, naphthyl group or 4-methylnaph; Til group is preferred.

Z+는 암모늄 양이온, 술포늄 양이온, 옥소술포늄 양이온, 피리디늄 양이온, 포스포늄 양이온, 옥소늄 양이온 또는 이오도늄 양이온이 바람직하다.Z + is preferably an ammonium cation, sulfonium cation, oxosulfonium cation, pyridinium cation, phosphonium cation, oxonium cation or iodonium cation.

암모늄 양이온의 구체예로서는 테트라메틸암모늄 양이온, 테트라에틸암모늄 양이온, 테트라-n-프로필 암모늄 양이온, 테트라-n-부틸 암모늄 양이온, n-부틸트리페닐 암모늄 양이온, 테트라페닐 암모늄 양이온 및 벤질트리페닐 암모늄 양이온을 열거할 수 있다.Specific examples of the ammonium cation include tetramethylammonium cation, tetraethylammonium cation, tetra-n-propyl ammonium cation, tetra-n-butyl ammonium cation, n-butyltriphenyl ammonium cation, tetraphenyl ammonium cation and benzyltriphenyl ammonium cation. Can be enumerated.

술포늄 양이온의 구체예로서는 트리페닐술포늄 양이온, 트리(4-톨일)술포늄 양이온 및 4-tert-부틸페닐디페닐술포늄 양이온을 열거할 수 있다.Specific examples of the sulfonium cation include triphenylsulfonium cation, tri (4-tolyl) sulfonium cation and 4-tert-butylphenyldiphenylsulfonium cation.

옥소술포늄 양이온의 구체예로서는 트리페닐옥소술포늄 양이온, 트리(4-톨일) 옥소술포늄 양이온 및 4-tert-부틸페닐디페닐 옥소술포늄 양이온을 열거할 수 있다.Specific examples of the oxosulfonium cation include triphenyloxosulfonium cation, tri (4-tolyl) oxosulfonium cation and 4-tert-butylphenyldiphenyl oxosulfonium cation.

피리디늄 양이온의 구체예로서는 N-메틸피리디늄 양이온 및 N-n-부틸피리디늄양이온을 열거할 수있다.Specific examples of pyridinium cations include N-methylpyridinium cations and N-n-butylpyridinium cations.

포스포늄 양이온의 구체예로서는 테트라메틸포스포늄 양이온, 테트라-n-부틸 포스포늄 양이온, 테트라 n-옥틸포스포늄 양이온, 테트라페닐 포스포늄 양이온 및 벤질트리페닐포스포늄 양이온을 열거할 수 있다.Specific examples of the phosphonium cation include tetramethylphosphonium cation, tetra-n-butyl phosphonium cation, tetra n-octylphosphonium cation, tetraphenyl phosphonium cation and benzyltriphenylphosphonium cation.

옥소늄 양이온의 구체예로서는 트리페닐 옥소늄 양이온, 트리(4-톨일) 옥소늄 양이온 및 4-tert-부틸페닐디페닐 옥소늄 양이온을 열거할 수 있다.Specific examples of the oxonium cation include triphenyl oxonium cation, tri (4-tolyl) oxonium cation and 4-tert-butylphenyldiphenyl oxonium cation.

이오도늄 양이온의 구체예로서는 디페닐 이오도늄 양이온, 디(4-메틸페닐) 이오도늄 양이온 및 디(4-tert-부틸페닐) 이오도늄 양이온을 열거할 수 있다.Specific examples of the iodonium cation include diphenyl iodonium cation, di (4-methylphenyl) iodonium cation and di (4-tert-butylphenyl) iodonium cation.

식(7)로 나타낸 유기보론염 화합물의 예로서는 테트라메틸암모늄 n-부틸트리페닐보레이트, 테트라에틸암모늄 이소부틸트리페닐보레이트, 테트라-n-부틸암모늄 n-부틸트리(4-tert-부틸페닐)보레이트, 테트라-n-부틸암모늄 n-부틸트리나프틸보레이트, 테트라-n-부틸암모늄 메틸트리(4-메틸나프틸)보레이트, 트리페닐술포늄 n-부틸트리페닐보레이트, 트리페닐옥소술포늄 n-부틸트리페닐보레이트, 트릴페닐옥소늄 n-부틸트리페닐보레이트, N-메틸피리디늄 n-부틸트리페닐보레이트, 테트라페닐포스포늄 n-부틸트리페닐보레이트 및 디페닐이오도늄 n-부틸트리페닐보레이트를 열거할 수 있다.Examples of the organoboron salt compound represented by formula (7) include tetramethylammonium n-butyltriphenylborate, tetraethylammonium isobutyltriphenylborate, tetra-n-butylammonium n-butyltri (4-tert-butylphenyl) borate , Tetra-n-butylammonium n-butyltrinaphthylborate, tetra-n-butylammonium methyltri (4-methylnaphthyl) borate, triphenylsulfonium n-butyltriphenylborate, triphenyloxosulfonium n- Butyltriphenylborate, triphenylphenylononium n-butyltriphenylborate, N-methylpyridinium n-butyltriphenylborate, tetraphenylphosphonium n-butyltriphenylborate and diphenyliodonium n-butyltriphenylborate Can be enumerated.

식(7)에 의해 나타낸 유기보론염 화합물이 300nm이상의 파장의 광을 흡수하지 못하기 때문에, 단독으로 사용하는 경우 통상의 자외선 램프의 광원은 거의 감도를 갖지 않지만, 증감제와 조합하여 매우 높은 감도를 얻을 수 있다.Since the organic boron salt compound represented by the formula (7) cannot absorb light having a wavelength of 300 nm or more, the light source of a conventional ultraviolet lamp has little sensitivity when used alone, but in combination with a sensitizer, very high sensitivity Can be obtained.

유기보론염 화합물을 본 발명의 헥사아릴비이미졸 화합물과 병용하는 경우, 광중합성 조성물중에서 헥사아릴비이미다졸 화합물과 유기보론염 화합물의 총합은 바람직하게 총량으로 20~60중량%이고, 보다 바람직하게는 30~50중량%이다. 이들에 헥사아릴비이미다졸 화합물과 유기보론염 화합물의 비율이 너무 낮으면, 라디컬 발생량이 불충분해서 광감도가 악화되거나 경화가 불충분하게 되는 단점이 있고, 너무 높으면 증감제나 수소공여체의 첨가량이 감소되어 광감도가 저하되는 단점이 있다. When the organoboron salt compound is used in combination with the hexaarylbiimidol compound of the present invention, the total of the hexaarylbiimidazole compound and the organoboron salt compound in the photopolymerizable composition is preferably 20 to 60% by weight in total, more preferably. Preferably it is 30-50 weight%. Too low a ratio of the hexaarylbiimidazole compound and the organoboron salt compound has a disadvantage in that the amount of radicals is insufficient, resulting in deterioration of light sensitivity or insufficient curing, and too high a decrease in the amount of sensitizer or hydrogen donor added. There is a disadvantage that the photosensitivity is lowered.

3. 광중합성 조성물3. Photopolymerizable Composition

본 발명의 광중합성 조성물은 (A)본 발명의 상술한 광중합 개시제 조성물과 (B)에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물을 포함하는 것을 특징으로 한다. 바인더 수지나 착색 안료를 포함해도 좋다.The photopolymerizable composition of the present invention is characterized by comprising (A) the above-described photopolymerization initiator composition of the present invention and (B) a compound having an ethylenically unsaturated group. You may also contain binder resin and a coloring pigment.

3-(1)에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물3- (1) Compound having an ethylenically unsaturated group

본 발명의 광중합성 조성물에 에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물은 광을 조사하여 광라디컬 광중합 개시제로부터 발생된 라디컬에 의해 중합하고 가교한 화합물이고, 모노머 또는 폴리머 중에서 어느 것이어도 좋다.The compound which has an ethylenically unsaturated group in the photopolymerizable composition of this invention is a compound superposed | polymerized and bridge | crosslinked by the radical which generate | occur | produced by the photoradical photoinitiator by irradiating light, and a monomer or a polymer may be any.

3-(1)-[1]모노머3- (1)-[1] monomer

(메타)아크릴산 에스테르는 모노머로서 바람직하다. 구체적으로는 메틸 (메타)아크릴레이트, 에틸 (메타)아크릴레이트, 프로필 (메타)아크릴레이트, 부틸 (메타)아크릴레이트, 이소부틸 (메타)아크릴레이트, sec-부틸 (메타)아크릴레이트, tert-부틸 (메타)아크릴레이트, 헥실 (메타)아크릴레이트, 옥틸 (메타)아크릴레이트, 이소옥틸 (메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실 (메타)아크릴레이트, 데실 (메타)아크릴레이트, 라우릴 (메타)아크릴레이트, 및 스테아릴 (메타)아크릴레이트 등의 알킬 (메타)아크릴레이트;(Meth) acrylic acid ester is preferable as a monomer. Specifically, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, tert- Butyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, decyl (meth) acrylate, lauryl (meth) Alkyl (meth) acrylates such as) acrylate and stearyl (meth) acrylate;

시클로헥실 (메타)아크릴레이트, 이소보르닐 (메타)아크릴레이트, 디시클로펜테닐 (메타)아크릴레이트, 및 디시클로펜테닐옥시에틸 (메타)아크릴레이트 등의 지환족 (메타)아크릴레이트;Alicyclic (meth) acrylates such as cyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, and dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate;

벤질 (메타)아크릴레이트, 페닐 (메타)아크릴레이트, 페닐카르비톨 (메타)아크릴레이트, 노닐페닐 (메타)아크릴레이트, 노닐페닐카르비톨 (메타)아크릴레이트, 및 노닐페녹시 (메타)아크릴레이트 등의 방향족 (메타)아크릴레이트;Benzyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, phenylcarbitol (meth) acrylate, nonylphenyl (meth) acrylate, nonylphenylcarbitol (meth) acrylate, and nonylphenoxy (meth) acrylate Aromatic (meth) acrylates such as;

2-하이드록시에틸 (메타)아크릴레이트, 하이드록시프로필 (메타)아크릴레이트, 하이드록시부틸 (메타)아크릴레이트, 부탄디올 모노(메타)아크릴레이트, 글리세롤 (메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜 (메타)아크릴레이트 및 글리세롤 디(메타)아크릴레이트 등의 하이드록실기 함유 (메타)아크릴레이트;2-hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, butanediol mono (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, polyethylene glycol (meth) acrylic Hydroxyl group-containing (meth) acrylates such as acrylate and glycerol di (meth) acrylate;

2-디메틸아미노에틸 (메타)아크릴레이트,, 2-디에틸아미노에틸 (메타)아크릴레이트 및 2-tert-부틸아미노에틸 (메타)아크릴레이트 등의 아미노기 함유 (메타)아크릴레이트;Amino group-containing (meth) acrylates such as 2-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, 2-diethylaminoethyl (meth) acrylate and 2-tert-butylaminoethyl (meth) acrylate;

메타크릴옥시에틸 포스페이트, 비스메타크릴옥시에틸 포스페이트 및 메타크릴옥시에틸페닐산 포스페이트(페닐 P)등의 포스포러스 함유 메타크릴레이트;Phosphorus-containing methacrylates such as methacryloxyethyl phosphate, bismethacryloxyethyl phosphate and methacryloxyethylphenyl acid phosphate (phenyl P);

에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 테트라에틸렌 디(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌 글리콜 디(메타)아크릴레이트, 프로필렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 디프로필렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 트리프로필렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 1,4-부탄디올 디(메타)아크릴레이트, 1,3-부탄디올 디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜 디(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산디올 디(메타)아크릴레이트 및 비스글리시딜 (메타)아크릴레이트 등의 디아크릴레이트;Ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (Meth) acrylate, dipropylene glycol di (meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,3-butanediol di (meth) acrylate, Diacrylates such as neopentyl glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, and bisglycidyl (meth) acrylate;

트리메틸올프로판 트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨 트리(메타)아크릴레이트 및 디펜타에리스리톨 헥사(메타)아크릴레이트 등의 폴리아크릴레이트; 비스페놀S의 에틸렌 옥사이드 4몰 부가 디아크릴레이트, 비스페놀A의 에틸렌 옥사이드 4몰 부가 디아크릴레이트, 지방산 변성 펜타에리스리톨 디아크릴레이트, 트리메틸올프로판의 프로필렌 옥사이드 3몰 부가 트리아크릴레이트 및 트리메틸올프로판 프로필렌 옥사이드 6몰 부가 트리아크릴레이트 등의 변성 폴리올 폴리아크릴레이트;Polyacrylates such as trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate; 4 mole addition diacrylate of ethylene oxide of bisphenol S, 4 mole addition diacrylate of ethylene oxide of bisphenol A, fatty acid modified pentaerythritol diacrylate, 3 mole addition triacrylate of trimethylolpropane and trimethylolpropane propylene oxide Modified polyol polyacrylates such as 6 mol addition triacrylate;

비스(아크릴오일옥시에틸)모노하이드록시에틸 이소시아네이트, 트리스(아크릴오일옥시에틸) 이소시아네이트 및 ε-카프로락톤 부가 트리스(아크릴오일옥시에틸) 이소시아네이트 등의 이소시아눌산 골격을 함유하는 폴리아크릴레이트; α,ω-디아크릴오일(비스에틸렌글리콜) 프탈레이트 및 α,ω-테트라아크릴오일(비스트리메틸올프로판) 테트라하이드로프탈레이트 등의 폴리에스테르 아크릴레이트;Polyacrylates containing isocyanuric acid skeletons such as bis (acryloyloxyethyl) monohydroxyethyl isocyanate, tris (acryloyloxyethyl) isocyanate and ε-caprolactone addition tris (acryloyloxyethyl) isocyanate; polyester acrylates such as α, ω-diacrylic oil (bisethylene glycol) phthalate and α, ω-tetraacrylic oil (bistrimethylolpropane) tetrahydrophthalate;

글리시딜 (메타)아크릴레이트, 알릴 (메타)아크릴레이트; ω-하이드록시헥사노일옥시에틸 (메타)아크릴레이트; 폴리카프로락톤 (메타)아크릴레이트; (메타)아크릴오일옥시에틸 프탈레이트; (메타)아크릴오일옥시에틸 숙시네이트; 2-하이드록시-3-페녹시프로필 아크릴레이트; 페녹시에틸 아크릴레이트 등을 열거할 수 있다.Glycidyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate; ω-hydroxyhexanoyloxyethyl (meth) acrylate; Polycaprolactone (meth) acrylates; (Meth) acryloyloxyethyl phthalate; (Meth) acryloyloxyethyl ethyl succinate; 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate; Phenoxyethyl acrylate and the like.

n-비닐피롤리돈, n-비닐포름아미드 및 n-비닐아세트아미드 등의 N-비닐 화합물은 모노머로 적절하게 사용해도 좋다.N-vinyl compounds, such as n-vinylpyrrolidone, n-vinylformamide, and n-vinylacetamide, may be suitably used as a monomer.

이들 중에서 광감도를 높이기 위한 바람직한 화합물은 트리메틸올프로판 트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨 트리(메타)아크릴레이트 및 디펜타에리스톨 헥사(메타)아크릴레이트 등의 폴리아크릴레이트를 열거할 수 있다,Among these, preferred compounds for enhancing the light sensitivity may include polyacrylates such as trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, and dipentaerythrol hexa (meth) acrylate.

3-(1)-[2] 폴리머3- (1)-[2] polymer

폴리머로서는 에폭시 (메타)아크릴레이트, 우레탄 (메타)아크릴레이트 및 에틸렌성 불포화기 함유 아크릴산 코폴리머를 열거할 수 있지만, 레지스트와 컬러필터 용도에 사용하는 경우에, 알칼리 수용액으로 현상을 행하기 때문에, 카르복실기 함유 폴리머가 바람직하다. 여기에, "폴리머"는 분자량이 적은 "프리폴리머"와 "올리고머"를 포함한다.Examples of the polymer include epoxy (meth) acrylates, urethane (meth) acrylates and ethylenically unsaturated group-containing acrylic acid copolymers. However, when used in resists and color filter applications, development is carried out in an aqueous alkali solution. Carboxyl group-containing polymers are preferred. Herein, "polymer" includes "prepolymer" and "oligomer" having a low molecular weight.

<카르복실기 함유 에폭시 (메타)아크릴레이트(EA)><Carboxyl group-containing epoxy (meth) acrylate (EA)>

본 발명의 카르복실기 함유 에폭시 (메타)아크릴레이트로 특히 제한되지 않고, 에폭시화합물과 불포화기 함유 모노카르복실산의 반응물을 산무수물과 반응시켜서 얻은 에폭시(메타)아크릴레이트가 적절하다.It does not restrict | limit especially to the carboxyl group-containing epoxy (meth) acrylate of this invention, Epoxy (meth) acrylate obtained by making the reaction material of an epoxy compound and an unsaturated group containing monocarboxylic acid react with an acid anhydride is suitable.

에폭시화합물로 특히 제한되지 않지만, 비스페놀A 에폭시 화합물, 비스페놀 F에폭시 화합물, 비스페놀 S 에폭시 화합물, 페놀-노볼락 에폭시 화합물, 크레졸 노볼락 에폭시 화합물 및 지방산 에폭시 화합물을 열거할 수 있다. 이들을 단독으로 또는 2종 이상 조합해서 사용할 수 있다.Although not particularly limited to epoxy compounds, bisphenol A epoxy compounds, bisphenol F epoxy compounds, bisphenol S epoxy compounds, phenol-novolac epoxy compounds, cresol novolac epoxy compounds and fatty acid epoxy compounds may be listed. These can be used individually or in combination of 2 or more types.

불포화기 함유 모노카르복시산의 예로서는 (메타)아크릴산, 2-(메타)아크릴오일옥시에틸숙신산, 2-(메타)아크릴오일옥시에틸프탈산, (메타)아크릴오일옥시에틸헥사하이드로프탈산, (메타)아크릴산 다이머, β-푸르푸릴아크릴산, β-스티릴아크릴산, 신남산, 크로톤산, α-시아노신남산 등을 열거할 수 있다. 또한 하이드록실기 함유 아크릴레이트와 포화 또는 불포화 이염기산 무수물과의 반응생성물인 반에스테르 화합물, 불포화기 함유 모노글리시딜 에테르과 포화 또는 불포화 이염기산 무수물과의 반응생성물인 반에스테르 화합물도 열거할 수 있다. 이들은 불포화기 함유 모노카르복실산은 단독으로 또는 2종이상 조합해서 사용할 수 있다.Examples of the unsaturated group-containing monocarboxylic acid include (meth) acrylic acid, 2- (meth) acrylic oiloxyethyl succinic acid, 2- (meth) acrylic oiloxyethyl phthalic acid, (meth) acrylic oiloxyethyl hexahydrophthalic acid, (meth) acrylic acid dimer , β-furfuryl acrylic acid, β-styryl acrylic acid, cinnamic acid, crotonic acid, α-cyanocinnamic acid and the like. In addition, anti-ester compounds which are reaction products of hydroxyl group-containing acrylates and saturated or unsaturated dibasic anhydrides, and anti-ester compounds which are reaction products of unsaturated group-containing monoglycidyl ethers and saturated or unsaturated dibasic anhydrides can be listed. . These unsaturated group containing monocarboxylic acids can be used individually or in combination of 2 or more types.

산무술물로서는 말레인산 무수물, 숙신산 무수물, 이타콘산 무수물, 프탈산 무수물, 테트라하이드로프탈산 무수물, 헥사하이드로프탈산 무수물, 메틸헥사하이드로프탈산 무수물, 엔도메틸렌테트라하이드로프탈산 무수물, 메틸렌도메틸렌 테트라하이드로프탈산 무수물, 클로렌산 무수물 및 메틸테트라하이드로프탈산 무수물 등의 이염기산 무수물, 트리멜리트산 무수물, 피로멜리트산 무수물 및 벤조페논테트라카르복실산 이무수물 등의 방향족 다가 카르복실산 무수물, 또는 5-(2,5-디옥소테트라하이드로푸르푸릴)-3-메틸-3-시클로헥센-1,2-디카르복실산 무수물 및 엔도비시클로-[2,2,1]-헵트-5-엔-2,3-디카르복실산 무수물 등의 다가 카르복실산 무수물 유도체 등이 열거될 수 있다. 이들은 단독으로 또는 2종 이상 조합해서 사용될 수 있다.Examples of the acid anhydrides include maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, endomethylenetetrahydrophthalic anhydride, and methylene domethylene tetrahydrophthalic anhydride Aromatic polyhydric carboxylic acid anhydrides such as dibasic acid anhydrides such as acid anhydride and methyltetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride and benzophenonetetracarboxylic dianhydride, or 5- (2,5-di Oxotetrahydrofurfuryl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride and endobicyclo- [2,2,1] -hept-5-ene-2,3-dicar Polyhydric carboxylic acid anhydride derivatives such as acid anhydride and the like. These can be used individually or in combination of 2 or more types.

상기 방법에서 얻은 카르복실기 함유 에폭시 (메타)아크릴레이트의 분자량은 특히 제한되지 않지만, GPC에 의한 폴리스티렌을 기준으로 중량 평균 분자량은 1000-40,000이 바람직하고, 보다 바람직하게는 2000-5000이다.The molecular weight of the carboxyl group-containing epoxy (meth) acrylate obtained in the above method is not particularly limited, but the weight average molecular weight is preferably 1000-40,000, more preferably 2000-5000, based on polystyrene by GPC.

상술한 에폭시 (메타)아크릴레이트 화합물의 산가(JIS K0070에 의해 측정된 고체 산가, 이하동일)는 10mgKOH/g이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 45-160mgKOH/g의 범위이고, 알칼리성 현상성(알칼리성 용해성)과 경화막의 내알칼리성의 밸런스를 만족시키기 위해 50~140 mgKOH/g의 범위가 더욱 바람직하다. 산가가 10mgKOH/g보다 작은 경우는 알칼리성 용해도가 저하되고, 산가가 너무 높은 경우에는 레지스트용 경화성 수지조성물의 구성성분의 조합에 따라서 경화막의 내알칼리성 또는 다른 성능이 저하된다.The acid value of the above-mentioned epoxy (meth) acrylate compound (solid acid value measured by JIS K0070, hereinafter equal) is preferably at least 10 mgKOH / g, more preferably in the range of 45-160 mgKOH / g, and alkaline developability ( The range of 50-140 mgKOH / g is more preferable in order to satisfy the balance of alkali solubility) and the alkali resistance of a cured film. If the acid value is less than 10 mgKOH / g, the alkaline solubility is lowered. If the acid value is too high, the alkali resistance or other performance of the cured film is lowered depending on the combination of components of the curable resin composition for resist.

<카르복실기 함유 우레탄 (메타)아크릴레이트(UA)><Carboxyl group-containing urethane (meth) acrylate (UA)>

본 발명에 사용된 카르복실기 함유 우레탄 (메타)아크릴레이트 화합물은 아크릴산 코폴리머나 에폭시 (메타)아크릴레이트 유연 바인더 수지로 제공할 수 있으므로, 유연성과 내굴곡성이 요구되는 용도에 적합하다.Since the carboxyl group-containing urethane (meth) acrylate compound used in the present invention can be provided as an acrylic acid copolymer or an epoxy (meth) acrylate flexible binder resin, it is suitable for applications requiring flexibility and flex resistance.

카르복실기 함유 우레탄 (메타)아크릴레이트 화합물은 하이드록실기 함유 (메타)아크릴레이트 유도의 단위, 폴리올 유도의 단위, 폴리이소시아네이트 유도 단위를 구성단위로서 함유하는 화합물이다. 보다 구체적으로는, 양말단이 하이드록실기 함유 (메타)아크릴레이트 유도 단위로 이루어지고 상기 양말단의 사이에는 우레탄 결합 연결의 폴리올 유도 단위와 폴리이소시아네이트 유도 단위로 이루어지고, 이 반복단위 중에서 카르복실기가 존재한다.The carboxyl group-containing urethane (meth) acrylate compound is a compound containing a hydroxyl group-containing (meth) acrylate derived unit, a polyol derived unit, and a polyisocyanate derived unit as structural units. More specifically, the sock end is composed of a hydroxyl group-containing (meth) acrylate derived unit, and the sock end is made of a polyol derived unit and a polyisocyanate derived unit of a urethane bond linkage, and a carboxyl group is included in the repeating unit. exist.

즉, 카르복실기 함유 우레탄 (메타)아크릴레이트 화합물은 -(ORbO-OCNHRcNHCO)n-(여기에서 ORbO는 폴리올의 탈수소화된 잔기이고, Rc는 폴리이소시아네이트의 탈이소시아네이트된 잔기이다)로 나타낸다.That is, the carboxyl group-containing urethane (meth) acrylate compound is-(OR b O-OCNHR c NHCO) n- (where OR b O is a dehydrogenated moiety of the polyol and R c is a deisocyanated moiety of the polyisocyanate) ).

카르복실기 함유 우레탄 (메타)아크릴레이트 화합물은 적어도 하이드록실기 함유 (메타)아크릴레이트(a)와 폴리올(b), 폴리이소시아네이트(c)를 반응시켜서 제조할수 있지만, 카르복실기 함유 화합물은 폴리올 또는 폴리이소시아네이트 중의 어느것과 함께 사용하는 것이 필요하다. 폴리올 및/또는 폴리이소시아네이트로서 카르복실기 함유 화합물을 사용하여, Rb 또는 Rc에 카르복실기를 갖는 우레탄 (메타)아크릴레이트 화합물을 제조할 수 있다. 상기식에서, n은 1~200이 바람직하고 보다 바람직하게는 2~30이다. n의 값이 이들 범위에 있으면 경화막의 유연성이 보다 우수하게 된다.The carboxyl group-containing urethane (meth) acrylate compound can be prepared by reacting at least the hydroxyl group-containing (meth) acrylate (a) with a polyol (b) and a polyisocyanate (c), but the carboxyl group-containing compound is contained in a polyol or polyisocyanate. It is necessary to use with which. Using a carboxyl group-containing compound as the polyol and / or polyisocyanate, a urethane (meth) acrylate compound having a carboxyl group in R b or R c can be produced. In the formula, n is preferably 1 to 200, more preferably 2 to 30. If the value of n exists in these ranges, the flexibility of a cured film will become more excellent.

폴리올과 폴리이소시아네이트의 적어도 한쪽이 2종이상을 사용하는 경우, 반복단위는 복수의 종류를 나타내지만, 그 복수의 단위의 규칙성은 완전랜덤, 블록, 국부 등, 목적에 따라서 적절하게 선택할 수 있다. When at least one of a polyol and a polyisocyanate uses 2 or more types, although a repeating unit shows a some kind, the regularity of the some unit can be suitably selected according to the objective, such as a perfect random, a block, a local part, etc.

하이드록실기 함유 (메타)아크릴레이트(a)로서는 2-하이드록시에틸 (메타)아크릴레이트, 하이드록시프로필 (메타)아크릴레이트, 하이드록시부틸 (메타)아크릴레이트, 상술한 (메타)아크릴레이트의 카프로락톤 또는 알킬렌 옥사이드 부가물, 글리세린 모노(메타)아크릴레이트, 글리세린 디(메타)아크릴레이트, 글리시딜 메타아크릴레이트-아크릴산 부가물, 트리메틸올프로판 모노(메타)아크릴레이트, 트리메틸올 디(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨 트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 펜타(메타)아크릴레이트, 트리메톨올프로판-알킬렌 옥사이드 부가물-디(메타)아크릴레이트 등을 열거할 수 있다.As a hydroxyl group containing (meth) acrylate (a) of 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, and the above-mentioned (meth) acrylate Caprolactone or alkylene oxide adducts, glycerin mono (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, glycidyl methacrylate-acrylic acid adduct, trimethylolpropane mono (meth) acrylate, trimethylol di ( Meta) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, trimethololpropane-alkylene oxide adduct-di (meth) acrylate, and the like.

이들 하이드록실기 함유 (메타)아크릴레이트(a)는 단독으로 또는 2종 이상 조합해서 사용할 수 있다. 이들 중에서 바람직하게는 2-하이드록시에틸 (메타)아크릴레이트, 하이드록시프로필 (메타)아크릴레이트 및 하이드록시부틸 (메타)아크릴레이트이고, 2-하이드록시에틸 (메타)아크릴레이트가 보다 바람직하다. 2-하이드록시에틸 (메타)아크릴레이트를 사용하는 것은 카르복실기 함유 우레탄 (메타)아크릴레이트 화합물(UA)의 합성을 용이하게 한다.These hydroxyl group containing (meth) acrylates (a) can be used individually or in combination of 2 or more types. Among these, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate and hydroxybutyl (meth) acrylate are preferable, and 2-hydroxyethyl (meth) acrylate is more preferable. Using 2-hydroxyethyl (meth) acrylate facilitates the synthesis of the carboxyl group-containing urethane (meth) acrylate compound (UA).

본 발명에 사용된 폴리올(b)은 폴리머 폴리올 및/또는 디하이드록시 화합물이어도 좋다. 폴리머 폴리올로서는 폴리에틸렌 글리콜, 폴리프로필렌 글리콜 및 폴리테트라메틸렌 글리콜 등의 폴리에테르 디올, 다가알콜과 다염기산의 에스테르에서 얻은 폴리에스테르 디올, 헥사메틸렌 카르보네이트, 펜타메틸렌 카르보네이트 등에 유도된 단위를 구조단위로 함유하는 폴리카르보네이트 디올 및 폴리카프로락톤 디올 및 폴리부티롤락톤 디올 등의 폴리락톤 디올을 열거할 수 있다.The polyol (b) used in the present invention may be a polymer polyol and / or a dihydroxy compound. Examples of the polymer polyol include units derived from polyether diols such as polyethylene glycol, polypropylene glycol and polytetramethylene glycol, polyester diols obtained from esters of polyhydric alcohols and polybasic acids, hexamethylene carbonate, pentamethylene carbonate, and the like. And polylactone diols such as polycarbonate diol and polycaprolactone diol and polybutyrolactone diol.

카르복실기 함유 폴리머 디올을 사용하는 경우, 예를 들면, 상기 폴리머 폴리올 합성시 트리멜리트산(또는 무수물) 등의 3가 또는 다염기산을 첨가하여 카르복실기가 잔존하도록 합성된 화합물을 얻을 수 있다.When using a carboxyl group-containing polymer diol, a compound synthesized such that a carboxyl group remains by adding a trivalent or polybasic acid such as trimellitic acid (or anhydride), for example, in synthesizing the polymer polyol.

폴리머 폴리올은 이들의 1종 또는 2종이상을 조합하여 사용할 수 있다. 폴리머 폴리올로서는 수평균 분자량이 200~2,000을 갖는 것을 사용하면 경화막의 유연성이 보다 우수하게 된다.Polymer polyols can be used alone or in combination of two or more thereof. As a polymer polyol, when the number average molecular weight uses 200-2,000, the flexibility of a cured film will become more excellent.

디하이드록시 화합물은 2개의 알콜성 하이드록실기를 갖는 직쇄 또는 분기 화합물을 사용하지만, 카르복실기 함유 디하이드록시 지방족 카르복실산이 특히 바람직하다. 상기 디하이드록시 화합물로서 디메틸올프로피온산 및 디메틸올부탄산이 열거될 수 있다. 카르복실기 함유 디하이드록시 지방족 카르복실산을 사용하여 우레탄 (메타)아크릴레이트 화합물중에서 용이하게 카르복실기를 포함시킬 수 있다.The dihydroxy compound uses a straight chain or branched compound having two alcoholic hydroxyl groups, but carboxyl group-containing dihydroxy aliphatic carboxylic acid is particularly preferred. Dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid may be cited as the dihydroxy compound. A carboxyl group-containing dihydroxy aliphatic carboxylic acid can be used to easily include a carboxyl group in the urethane (meth) acrylate compound.

디하이드록시 화합물은 1종 또는 2종이상을 조합하여 사용할 수 있고, 선택적으로 폴리머 폴리올과 병용할 수 있다.A dihydroxy compound can be used 1 type or in combination of 2 or more types, and can be used together with a polymer polyol selectively.

카르복실기 함유 폴리머 폴리올을 조합해서 사용하는 경우, 또는 후술한 카르복실기 함유 화합물을 폴리이소시아네이트로 사용하는 경우, 에틸렌 글리콜, 디에틸렌 글리콜, 프로필렌 글리콜, 1,4-부탄디올, 1,3-부탄디올, 1,5-펜탄디올, 네오펜틸 글리콜, 3-메틸-1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올 또는 1,4-시클로헥산 디메탄올 등의 카르복실기를 갖지 않는 디하이드록시 화합물을 사용할 수 있다.When using a carboxyl group-containing polymer polyol in combination, or when using the carboxyl group-containing compound mentioned later as a polyisocyanate, ethylene glycol, diethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, 1,3-butanediol, 1,5 Dihydroxy compounds which do not have a carboxyl group such as -pentanediol, neopentyl glycol, 3-methyl-1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol or 1,4-cyclohexane dimethanol can be used.

본 발명에 사용된 폴리이소시아네이트는 구체적으로 2,4-톨루엔 디이소시아네이트, 2,6-톨루엔 디이소시아네이트, 이소포론 디이소시아네이트, 헥사메틸렌 디이소시아네이트, 디페닐메틸렌 디이소시아네이트, (o, p 또는 p)-크실렌 디이소시아네이트, 메틸렌비스(시클로헥실 이소시아네이트), 트리메틸헥사메틸렌 디이소시아네이트, 시클로헥산-1,3-디메틸렌 디이소시아네이트, 시클로헥산-1,4-디메틸렌 디이소시아네이트 및 1,5-나프탈렌 디이소시아네이트 등의 디이소시아네이트를 열거할 수 있다. 이들 폴리이소시아네이트는 단독으로 또는 2종이상 조합해서 사용할 수 있다. 카르복실기 함유 폴리이소시아네이트도 사용할 수 있다.Polyisocyanates used in the present invention are specifically 2,4-toluene diisocyanate, 2,6-toluene diisocyanate, isophorone diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, diphenylmethylene diisocyanate, (o, p or p)- Xylene diisocyanate, methylenebis (cyclohexyl isocyanate), trimethylhexamethylene diisocyanate, cyclohexane-1,3-dimethylene diisocyanate, cyclohexane-1,4-dimethylene diisocyanate and 1,5-naphthalene diisocyanate The diisocyanate of can be mentioned. These polyisocyanates can be used individually or in combination of 2 or more types. Carboxyl group-containing polyisocyanates can also be used.

본 발명에 사용된 카르복실기 함유 우레탄 (메타)아크릴레이트의 분자량은 특히 제한되지 않지만, GPC에 의한 폴리스티렌을 기준으로 중량 평균 분자량은 바람직하게는 1000~40,000이고, 보다 바람직하게는 8000~30,000이다. 또한 카르복실기 함유 우레탄 (메타) 아크릴레이트 화합물(UA)의 산가는 바람직하게는 5~150mgKOH/g이고 보다 바람직하게는 30~120mgKOH/g이었다.Although the molecular weight of the carboxyl group-containing urethane (meth) acrylate used for this invention is not restrict | limited, Preferably the weight average molecular weight is 1000-40,000 based on polystyrene by GPC, More preferably, it is 8000-30,000. The acid value of the carboxyl group-containing urethane (meth) acrylate compound (UA) is preferably 5 to 150 mgKOH / g, more preferably 30 to 120 mgKOH / g.

카르복실기 함유 우레탄 (메타)아크릴레이트 화합물(UA)의 중량 평균 분자량이 1000미만이면, 경화막의 신장과 강도는 저해될 수 있고, 40,000보다 큰 경우에는, 상기 막이 더 경화되고 덜 유연하게 될 수 있다. 산가가 5mgKOH/g미만이면, 레지스트용 경화성 수지 조성물의 알칼리성 용해도(용해하는 특성)이 저해될 수 있고, 150mgKOH/g보다 크면, 상기 경화막의 내알칼리성이 저해될 수 있다.If the weight average molecular weight of the carboxyl group-containing urethane (meth) acrylate compound (UA) is less than 1000, the elongation and strength of the cured film may be inhibited, and when larger than 40,000, the film may become more cured and less flexible. If the acid value is less than 5 mgKOH / g, the alkaline solubility (dissolving property) of the curable resin composition for resist may be inhibited. If the acid value is greater than 150 mgKOH / g, the alkali resistance of the cured film may be inhibited.

<카르복실기- 및 에틸렌성 불포화기- 함유 아크릴산 코폴리머(AP-A)><Carboxyl group and ethylenically unsaturated group-containing acrylic acid copolymer (AP-A)>

카르복실기- 및 에틸렌성 불포화기- 함유 아크릴산 코폴리머는 a)카르복실기 함유 에틸렌성 불포화 모노머와 b)상기a)이외에 에틸렌성 불포화 모노머를 공중합하여 얻은 후, 상기 모노머를 공중합하여 얻은 아크릴산 코폴리머(AP-B)의 측쇄에 일부 카르복실기에 대해, 글리시딜 (메타) 아크릴레이트 또는 알릴글리시딜 에테르 등의 각 분자에 에폭시기와 에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물의 에폭시기를 반응시키거나, 또는 아크릴산 코폴리머의 전체 하이드록실기에 대해, 2-메타크릴오일옥시에틸 이소시아네이트 등의 각 분자에 이소시아네이트기와 에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물의 이소시아네이트기를 반응시켜서 측쇄에 에틸렌성 불포화기를 도입한다.The carboxyl group- and ethylenically unsaturated group-containing acrylic acid copolymer is obtained by copolymerizing an a) carboxyl group-containing ethylenically unsaturated monomer and b) an ethylenically unsaturated monomer other than the above a), and then copolymerizing the monomer. To some carboxyl groups in the side chain of B), an epoxy group of a compound having an epoxy group and an ethylenically unsaturated group is reacted with each molecule such as glycidyl (meth) acrylate or allyl glycidyl ether, or the whole of the acrylic acid copolymer With respect to the hydroxyl group, an isocyanate group of a compound having an isocyanate group and an ethylenically unsaturated group is reacted with each molecule such as 2-methacryloyloxyethyl isocyanate to introduce an ethylenically unsaturated group into the side chain.

카르복실기 함유 에틸렌성 불포화 모노머a)는 아크릴산 코폴리머에 알칼리성 현상성을 부여하는 것을 목적으로 사용한다. 카르복실기 함유 에틸렌성 불포화 모노머의 구체예는 (메타)아크릴산, 2-(메타)아크릴오일옥시에틸숙신산, 2-(메타)아크릴오일옥시에틸프탈산, (메타)아크릴오일옥시에틸헥사하이드로프탈산, (메타)아크릴산 다이머, 말레인산, 크로톤산, 이타콘산, 푸마르산 등을 열거할 수 있다.The carboxyl group-containing ethylenically unsaturated monomer a) is used for the purpose of imparting alkaline developability to the acrylic acid copolymer. Specific examples of the carboxyl group-containing ethylenically unsaturated monomers include (meth) acrylic acid, 2- (meth) acrylic oiloxyethyl succinic acid, 2- (meth) acrylic oiloxyethyl phthalic acid, (meth) acrylic oiloxyethyl hexahydrophthalic acid, (meth) ) Acrylic acid dimer, maleic acid, crotonic acid, itaconic acid, fumaric acid, and the like.

상기a) 이외에 에틸렌성 불포화 모노머b)는 강도와 안료 분산성을 도포(레지스트, 컬러필터)를 제어하는 것을 목적으로 사용된다. 구체예로서 스티렌, α-메틸스티렌, (o, m, p-)하이드록시스티렌 및 비닐 아세테이트 등의 비닐 화합물, 메틸 (메타)아크릴레이트, 에틸 (메타)아크릴레이트, n-프로필 (메타)아크릴레이트, 이소프로필 (메타)아크릴레이트, n-부틸 (메타)아크릴레이트, tert-부틸 (메타)아크릴레이트, n-헥실 (메타)아크릴레이트, 시클로헥실 (메타)아크릴레이트, 벤질 (메타)아크릴레이트, 페녹시에틸 (메타)아크릴레이트, 이소보르닐 (메타)아크릴레이트, 테트라하이드로푸르푸릴 (메타)아크릴레이트, (메타)아크릴로니트릴, 글리시딜 (메타)아크릴레이트, 알릴글리시딜 에테르, 2-하이드록시에틸 (메타)아크릴레이트, 2-하이드록시프로필 (메타)아크릴레이트, N,N-디메틸아미노에틸 (메타)아크릴레이트, 트리플루오로에틸 아크릴레이트, 2,2,3,3-테트라플루오로프로필 (메타)아크릴레이트 및 퍼플루오로옥틸에틸 (메타)아크릴레이트, (메타)아크릴아미드, N,N-디메틸 (메타)아크릴아미드, N,N-디에틸 (메타)아크릴아미드, N-메틸 (메타)아크릴아미드, N-에틸 (메타)아크릴아미드, N-이소프로필 (메타)아크릴아미드, N-비닐피롤리돈, N-비닐카프로락톤 및 N-(메타)아크릴오일몰폴린 등의 아미노를 열거할 수 있다.In addition to the above a), the ethylenically unsaturated monomer b) is used for the purpose of controlling the application (resist, color filter) of strength and pigment dispersibility. Specific examples include vinyl compounds such as styrene, α-methylstyrene, (o, m, p-) hydroxystyrene and vinyl acetate, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylic Latex, isopropyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, tert-butyl (meth) acrylate, n-hexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylic Latex, phenoxyethyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, (meth) acrylonitrile, glycidyl (meth) acrylate, allylglycidyl Ether, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, trifluoroethyl acrylate, 2,2,3, 3-tetrafluoropropyl (meth) acrylic Yate and perfluorooctylethyl (meth) acrylate, (meth) acrylamide, N, N-dimethyl (meth) acrylamide, N, N-diethyl (meth) acrylamide, N-methyl (meth) acrylamide And amino such as N-ethyl (meth) acrylamide, N-isopropyl (meth) acrylamide, N-vinylpyrrolidone, N-vinylcaprolactone and N- (meth) acryloyl morpholine. .

a)와 b)의 공중합비는 중량을 기준으로 5:95~40:60이 바람직하고 보다 바람직하게는 10:90~35:65이다. a)의 공중합 비율이 5미만이면, 알칼리 현상성이 저하되고 패턴을 형성하는 것이 어렵게 된다. a)의 공중합 비율이 40보다 크면, 광경화부의 알칼리성 현상이 추진되기 쉽고, 선폭을 일정하게 유지하는 것이 어렵다.The copolymerization ratio of a) and b) is preferably 5:95 to 40:60 by weight, and more preferably 10:90 to 35:65. If the copolymerization ratio of a) is less than 5, alkali developability will fall and it will become difficult to form a pattern. When the copolymerization ratio of a) is larger than 40, the alkaline phenomenon of the photocured portion is easily promoted, and it is difficult to keep the line width constant.

카르복실기 및 에틸렌성 불포화기 함유 아크릴산 코폴리머의 바람직한 분자량은 겔투과크로마토그래피(GPC)에 의해 폴리스티렌 기준의 중량 평균 분자량에 대해 1000~500,000 범위가 바람직하고 보다 바람직하게는 3000~200,000이다. 1000미만에서, 막강도는 현저히 저하된다. 500,000을 초과하면, 알칼리성 용해성(현상성)이 현저하게 저하된다.The preferred molecular weight of the carboxyl group and the ethylenically unsaturated group-containing acrylic acid copolymer is preferably in the range of 1000 to 500,000, more preferably 3000 to 200,000, based on gel permeation chromatography (GPC) with respect to the weight average molecular weight on the basis of polystyrene. At less than 1000, the film strength is significantly lowered. When it exceeds 500,000, alkaline solubility (developability) falls remarkably.

상술한 에틸렌성 불포화기 함유 모노머와 폴리머는 2개 이상의 다른형태를 조합해서 사용할 수 있다.The ethylenically unsaturated group containing monomer and polymer mentioned above can be used in combination of 2 or more different form.

3-(2)바인더 수지3- (2) binder resin

본 발명의 광중합성 조성물은 에틸렌성 불포화기를 갖지 않는 바인더 수지를 포함한다. 상기 바인더 수지로서 상기 에폭시 수지, 폴리에스테르 수지 및 우레탄 수지를 열거할 수 있지만, 레지스트 용도에 있어서는, 카르복실기 함유 아크릴산 코폴리머가 특히 바람직하다. 상기 아크릴산 코폴리머로서 상기 카르복실기 함유 아크릴산 코폴리머(AP-B)를 열거할 수 있고, 바람직한 AP-B 코폴리머로서 상기 AP-A의 측쇄에 에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물을 반응시키기 전의 것을 열거할 수 있다.The photopolymerizable composition of the present invention comprises a binder resin having no ethylenically unsaturated group. Although the said epoxy resin, polyester resin, and urethane resin can be mentioned as said binder resin, In a resist use, a carboxyl group-containing acrylic acid copolymer is especially preferable. As said acrylic acid copolymer, the said carboxyl group-containing acrylic acid copolymer (AP-B) can be enumerated, As a preferable AP-B copolymer, the thing before reacting the compound which has ethylenically unsaturated group to the side chain of said AP-A can be enumerated. have.

3-(3)착색안료3- (3) coloring pigment

본 발명의 광중합성 조성물이 컬러 필터로 사용되는 경우, 착색 안료를 함유한다. 컬러 필터의 컬러색상은 적색, 녹색 및 청색의 가색 혼합계, 시안, 마젠타 및 옐로우 및 블랙 매트릭스부에 사용되는 블랙의 감색 혼합계가 주로 사용된다. 염료 및 안료가 착색제로 사용되는 경우, 안료는 내열성과 내광성 등의 관점에서 사용하는 것이 바람직하다. 적절한 스펙트럼을 얻고 2종 이상의 안료를 조합하여 사용하고, 예를 들면, 적절한 스펙트럼은 시안안료와 바이올렛 안료를 조합하여 청색을 얻고, 녹색안료와 황색 안료를 조합하여 녹색을 얻고, 적색 안료와 황색 또는 오렌지색 안료를 조합하여 적색 안료를 얻는다.When the photopolymerizable composition of the present invention is used as a color filter, it contains a colored pigment. As the color of the color filter, a red, green, and blue mixed color mixture system, a cyan, magenta, and black navy blue color mixture system used in the yellow matrix portion are mainly used. When a dye and a pigment are used as a coloring agent, it is preferable to use a pigment from a viewpoint of heat resistance, light resistance, etc. Obtain an appropriate spectrum and use a combination of two or more pigments, for example, a suitable spectrum can be obtained by combining cyan pigment and violet pigment to obtain blue color, combining green pigment and yellow pigment to obtain green color, red pigment and yellow or The orange pigment is combined to give a red pigment.

하기는 본 발명에서 사용된 착색안료로서는 하기의 것으로 열거할 수 있고, 컬러 인덱스 숫자로 나타냈다. C.I.Pigment Yellow 12, 13, 14, 17, 20, 24, 55, 83, 86, 93, 109, 110, 117, 125, 137, 139, 147, 148, 153, 154, 166, 168, C.I.Pigemtnt Orange 36, 43, 51, 55, 59, 61, C.I.Pigemtnt Red 9, 97, 122, 123, 149, 168, 177, 180, 192, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, C.I.Pigemtnt Violet 19, 23, 29, 30, 37, 40, 50, C.I.Pigemtnt Blue 15, 15:1, 15:4, 15:6, 22, 60, 64, C.I.Pigemtnt Green 7, 36, C.I.Pigemtnt Brown 23, 25, 26The following can be enumerated as the coloring pigments used in the present invention, and are represented by color index numbers. CIPigment Yellow 12, 13, 14, 17, 20, 24, 55, 83, 86, 93, 109, 110, 117, 125, 137, 139, 147, 148, 153, 154, 166, 168, CIPigemtnt Orange 36, 43, 51, 55, 59, 61, CIPigemtnt Red 9, 97, 122, 123, 149, 168, 177, 180, 192, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228 , 240, CIPigemtnt Violet 19, 23, 29, 30, 37, 40, 50, CIPigemtnt Blue 15, 15: 1, 15: 4, 15: 6, 22, 60, 64, CIPigemtnt Green 7, 36, CIPigemtnt Brown 23, 25, 26

흑색 안료로서는 카본 블랙, 티타늄 블랙 등을 열거할 수 있고, 카본 블랙의 구체예로는 Degussa제 Black 4, Special Black 100, Special Black 250, Special Black 350 Special Black 550, Colombia Carbon제 Raven 1040, Raven 1060, Raven 1080 및 Raven 1255, Mitsubishi Chemical제 MA7, MA8, MA11, MA100, MA220 및 MA230을 열거할 수 있다.Examples of the black pigment include carbon black, titanium black, and the like, and specific examples of the carbon black include Black 4, Special Black 100, Special Black 250, Special Black 350 Special Black 550, Colombia Carbon Raven 1040, and Raven 1060 made by Degussa. , Raven 1080 and Raven 1255, manufactured by Mitsubishi Chemical, MA7, MA8, MA11, MA100, MA220, and MA230.

3-(4)다른 성분3- (4) Other Ingredients

본 발명의 광중합성 조성물에서는 도포적성을 부여하기 위해 용제를 사용하여 점도를 조절하는 것이 바람직하다. 용제로서는 메탄올, 에탄올, 톨루엔, 시클로헥산, 이소포론, 셀로솔브 아세테이트, 디에틸렌글리콜 디메틸 에테르, 에틸렌글리콜 디에틸에테르, 크실렌, 에틸벤젠, 메틸셀로솔브, 에틸셀로솔브, 부틸셀로솔브, 프로필렌글리콜 모노메틸 에테르, 프로필렌글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르 아세테이트, 이소아밀 아세테이트, 에틸 락테이트, 메틸 에틸 케톤, 아세톤, 시클로헥산 등을 열거할 수 있고, 이들 중 어느 것을 단독으로 또는 2종이상 조합해서 사용할 수 있다.In the photopolymerizable composition of the present invention, in order to provide applicability, it is preferable to adjust the viscosity by using a solvent. Examples of the solvent include methanol, ethanol, toluene, cyclohexane, isophorone, cellosolve acetate, diethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, xylene, ethylbenzene, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, Propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, isoamyl acetate, ethyl lactate, methyl ethyl ketone, acetone, cyclohexane and the like. Or two or more types can be used in combination.

3-(5)광중합성 조성물의 제조Preparation of 3- (5) Photopolymerizable Composition

본 발명의 광중합성 조성물이 안료를 함유하는 경우, 3본 롤밀, 2본 롤밀, 샌드밀, 애트리터, 볼밀, 혼련기, 페인트 진탕기 등의 각종 분산 수단을 사용하여 상술한 각 성분을 혼합하여 제조할 수 있다. 분산시 중합반응에 의해 겔화를 억제하기 위해서 중합 개시제를 첨가하거나, 또는 안료분산후에 모노머나 광개시제를 첨가해도 좋다. 안료의 분산을 만족스럽게 하기 위하여 적절한 분산조제를 첨가할 수 있다. 분산조제는 안료의 분산을 용이하게 하고 분산후 재응집을 억제하는 효과를 갖는다.When the photopolymerizable composition of the present invention contains a pigment, the above-mentioned components are mixed using various dispersing means such as a three-roll mill, a two-roll mill, a sand mill, an attritor, a ball mill, a kneader, a paint shaker, and the like. Can be prepared. In order to suppress gelation by the polymerization reaction at the time of dispersion, a polymerization initiator may be added, or a monomer or a photoinitiator may be added after pigment dispersion. Appropriate dispersing aids may be added to satisfy the dispersion of the pigment. Dispersion aids facilitate the dispersion of the pigment and have the effect of inhibiting reagglomeration after dispersion.

본 발명은 실시예를 통해서 설명하지만, 본 발명에서는 이들 실시예에 의해 제한되지 않는다.The present invention will be described by way of examples, but the present invention is not limited by these examples.

합성예Synthesis Example

비이미다졸 화합물의 합성Synthesis of Biimidazole Compounds

합성예1: 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4'-5,5'-테트라키스(4-메틸페닐)-1,2'-비이미다졸(이하 MHABI로 축약)Synthesis Example 1 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4'-5,5'-tetrakis (4-methylphenyl) -1,2'-biimidazole (abbreviated as MHABI)

4,4'-디메틸벤질(Tokyo Kasei Kogyo Co.,Ltd.의 제품) 27.50g(115mmol), o-클로로벤즈알데히드(Tokyo Kasei Kogyo Co.,Ltd.의 제품) 16.25g(116mmol), 암모늄 아세테이트(Junsei Chemicals Co.,Ltd.,의 제품) 69.45g(901mmol) 및 아세트산(Junsei Chemicals Co.,Ltd.,의 제품) 450g을 1L 부피 플라스크에 채운 뒤, 117℃에서 5시간동안 상기 혼합물을 교반하였다. 상기 반응 혼합물을 냉각한 후 교반된 탈이온수 2L를 서서히 첨가하면서 2-클로로페닐-4,5-비스(4-메틸페닐)이미다졸을 석출시켰다. 2-클로로페닐-4,5-비스(4-메틸페닐)이미다졸을 여과하고 세정한 후, 메틸렌 클로라이드(Junsei Chemicals Co.,Ltd.의 제품) 500g에 용해하고, 2L 부피 4구 플라스크에 상기 용액을 넣고 5-10℃로 냉각하였다. 포타슘 페리시아나이드(Junsei Chemicals Co.,Ltd.의 제품) 117.6g(357mmol), 소디움 하이드록사이드(Junsei Chemicals Co.,Ltd.의 제품) 44.7g 및 탈이온수 600g의 혼합물을 1시간에 걸쳐서 교반하면서 첨가하고, 실온에서 18시간동안 반응을 행했다. 3배의 탈이온수로 상기 반응 혼합물을 세정한 후 무수 마그네슘 설페이트(Junsei Chemicals Co.,Ltd.의 제품) 약50g으로 탈수처리한 후, 감압하에서 메틸렌 클로라이드를 증류제거하여 MHABI의 결정을 얻었다. MABHI는 에탄올(Junsei Chemicals Co.,Ltd.의 제품)로 재결정화하고, 여과, 건조한 결과 담황색 결정 36.5g(수율 88.7%)을 얻었다.4,4'-dimethylbenzyl (product of Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.) 27.50 g (115 mmol), o-chlorobenzaldehyde (product of Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.) 16.25 g (116 mmol), ammonium acetate ( A mixture of 69.45 g (901 mmol) of acetic acid (product of Junsei Chemicals Co., Ltd.) and 450 g of acetic acid (product of Junsei Chemicals Co., Ltd.) was charged to a 1 L volumetric flask, and the mixture was stirred at 117 ° C. for 5 hours. . After cooling the reaction mixture, 2-chlorophenyl-4,5-bis (4-methylphenyl) imidazole was precipitated while slowly adding 2 L of stirred deionized water. 2-chlorophenyl-4,5-bis (4-methylphenyl) imidazole was filtered and washed, dissolved in 500 g of methylene chloride (manufactured by Junsei Chemicals Co., Ltd.), and the solution in a 2 L volume four-necked flask. Was added and cooled to 5-10 ° C. Stir a mixture of 117.6 g (357 mmol) of potassium ferricyanide (product of Junsei Chemicals Co., Ltd.), 44.7 g of sodium hydroxide (product of Junsei Chemicals Co., Ltd.) and 600 g of deionized water over 1 hour. It added while making it react at room temperature for 18 hours. The reaction mixture was washed with three times deionized water, and then dehydrated with about 50 g of anhydrous magnesium sulfate (product of Junsei Chemicals Co., Ltd.), and methylene chloride was distilled off under reduced pressure to obtain MHABI crystals. MABHI was recrystallized from ethanol (product of Junsei Chemicals Co., Ltd.), filtered and dried to give 36.5 g (yield 88.7%) of pale yellow crystals.

얻은 MHABI의 화학식은 C46H36N4C2이고, 분자량은 715.70이다.The chemical formula of MHABI obtained is C 46 H 36 N 4 C 2 , and molecular weight is 715.70.

구조분석Structural analysis

(1)1H-NMR(1) 1 H-NMR

MHABI의 1H-NMR은 도1에 도시된다. 1H-NMR은 JEOL제품의 JNM-AL400을 사용하여 중클로로포름에서 측정하였다. 1 H-NMR of MHABI is shown in FIG. 1 H-NMR was measured in heavy chloroform using JNM-AL400 manufactured by JEOL.

(2)13C-NMR(2) 13 C-NMR

MHABI의 13C-NMR은 도2, 도3에 도시된다. 13C-NMR은 Bruker제품의 AMX400을 사용하여 중클로로포름에서 측정하였다. 특징적인 화학적 이동을 할당된다. 13 C-NMR of MHABI is shown in Figs. 13 C-NMR was measured in heavy chloroform using AMX400 from Bruker. Characteristic chemical shifts are assigned.

21.0, 21.2, 21.5, 21.6ppm: 24, 25, 24', 25'에서 메틸기의 탄소원자21.0, 21.2, 21.5, 21.6 ppm: Carbon atom of methyl group at 24, 25, 24 ', 25'

110.7ppm: 2'에서 탄소원자110.7 ppm: Carbon atom at 2 '

(3)질량분석(3) mass spectrometry

MHABI의 질량분석은 JEOL 제품의 JMS-SX102A를 사용하여 측정하였다. 챠트는 도4에 나타낸다. MHABI의 분자량은 715.69이고, 분자 이온 피크는 714로 검출되었다. 이 값은 각 원자의 각 원자의 동위원소를 함유하지 않는 경우에 MHABI의 분자량과 일치하였다.Mass spectrometry of MHABI was measured using JEOL's JMS-SX102A. The chart is shown in FIG. The molecular weight of MHABI was 715.69 and the molecular ion peak was detected at 714. This value was consistent with the molecular weight of MHABI when it did not contain isotopes of each atom of each atom.

(4)융점(4) melting point

상기 융점은 Buchi에 의해 Model 510 융점 측정 장치를 사용하여 측정하였다. 상기 MHABI의 융점은 211℃이었다.The melting point was measured by Buchi using a Model 510 melting point measuring apparatus. The MHABI had a melting point of 211 ° C.

바인더 수지의 합성Synthesis of Binder Resin

합성예 2: 카르복실기 함유 아크릴산 코폴리머(AP-B), AP-1: 카르복실기 함유 아크릴산 코폴리머의 25중량%용액(용제:프로필렌글리콜 메틸 에테르 아세테이트, 이하 PGMEA로 축약, Tokyo Kasei Kogyo Co.,Ltd.의 제품)Synthesis Example 2: Carboxyl group-containing acrylic acid copolymer (AP-B), AP-1: 25% by weight solution of carboxyl group-containing acrylic acid copolymer (solvent: propylene glycol methyl ether acetate, abbreviated as PGMEA, Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd Product of.)

적하깔대기, 온도계, 냉각관, 교반기, 질소도입관을 장착한 4구 플라스크에 메타크릴산(이하 MAA로 축약, Kyoeisha Chemical Co.,Ltd.의 제품) 11.25중량부, 메틸 메타크릴레이트(이하 MMA로 축약, Kyoeisha Chemical Co.,Ltd.의 제품) 15.00중량부, n-부틸 메타크릴레이트(이하 BMA로 축약) 41.25중량부, 2-하이드록시에틸 메타크릴레이트(이하 HMEA로 축약, Kyoeisha Chemical Co.,Ltd.의 제품) 7.50중량부, PGMEA 210.0중량부를 투입하고, 1시간동안 4구 플라스크내를 질소치환하였다. 90℃로 가열한 후, MAA 11.25중량부, MMA 15.00중량부, BMA 41.25중량부, HEMA 7.50중량부(0.0776몰), PGMEA 210.0중량부 및 2,2'-아조비스이소부티로니트릴(AIBN으로 축약, Pure Chemical Industries,Ltd.의 제품) 3.20중량부를 1시간에 걸쳐서 적하첨가하였다. 3시간동안 중합후 100℃로 가열하고, AIBN 1.0중량부 및 PGMEA 30.0중량부의 혼합물을 첨가하고 1.5시간의 중합하여 카르복시기 함유 아크릴산 코폴리머(AP-1)를 얻었다. AP-1의 중량 평균 분자량(GPC의 측정, 폴리스티렌 기준)은 26,000이었다.11.25 parts by weight of methacrylic acid (hereinafter abbreviated as MAA, product of Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) to a four-necked flask equipped with a dropping funnel, thermometer, cooling tube, stirrer and nitrogen introduction tube, and methyl methacrylate (hereinafter MMA) Furnace abbreviation, produced by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) 15.00 parts, n-butyl methacrylate (hereinafter abbreviated as BMA) 41.25 parts by weight, 2-hydroxyethyl methacrylate (hereinafter abbreviated as HMEA, Kyoeisha Chemical Co. 7.50 parts by weight and 210.0 parts by weight of PGMEA were added and nitrogen-substituted in the four-necked flask for 1 hour. After heating to 90 ° C., 11.25 parts by weight of MAA, 15.00 parts by weight of MMA, 41.25 parts by weight of BMA, 7.50 parts by weight of HEMA (0.0776 moles), 210.0 parts by weight of PGMEA and 2,2′-azobisisobutyronitrile (by AIBN) Abbreviation, product of Pure Chemical Industries, Ltd.) 3.20 parts by weight was added dropwise over 1 hour. After polymerization for 3 hours, the mixture was heated to 100 ° C, a mixture of 1.0 parts by weight of AIBN and 30.0 parts by weight of PGMEA was added, and polymerization was performed for 1.5 hours to obtain a carboxyl group-containing acrylic acid copolymer (AP-1). The weight average molecular weight (measurement of GPC, polystyrene basis) of AP-1 was 26,000.

에틸렌성 불포화기 함유 화합물의 합성Synthesis of ethylenically unsaturated group-containing compound

합성예3:카르복실기 및 에틸렌성 불포화기 함유 아크릴산 코폴리머(AP-A), Synthesis Example 3 Acrylic Acid Copolymer (AP-A) Containing Carboxyl Group and Ethylenically Unsaturated Group,

AP-2: 카르복실기- 및 에틸렌성 불포화기 함유 아크릴산 코폴리머의 26중량%의 용액(용제:PGMEA)AP-2: 26 wt% solution of carboxyl group- and ethylenically unsaturated group-containing acrylic acid copolymer (solvent: PGMEA)

온도계, 냉각관, 교반기, 질소도입관을 장착한 4구 플라스크에카르복실기 함유 아크릴산 코폴리머 AP-1 600 중량부, 2-메타크릴오일옥시에틸 이소시아네이트(Karenz MOI, Showa Denko K.K.의 제품) 8.8g 및 디부틸틴 디라우레이트(Tokyo Kasei Kogyo Co.,Ltd.의 제품) 0.36g을 첨가하고 공기를 버블링하면서 60℃에서 3시간동안 반응을 행한 후, 반응 혼합물을 냉각하여 AP-2를 얻었다.600 parts by weight of the carboxyl group-containing acrylic acid copolymer AP-1, 8.8 g of 2-methacryloyloxyoxyethyl isocyanate (Karenz MOI, product of Showa Denko KK) in a four-necked flask equipped with a thermometer, a cooling tube, a stirrer, and a nitrogen introduction tube; 0.36 g of dibutyltin dilaurate (product of Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.) was added and the reaction was carried out at 60 ° C. for 3 hours while bubbling air, and then the reaction mixture was cooled to obtain AP-2.

합성예4:카르복실기 함유 에폭시 아크릴레이트(EA), EA-1:카르복실기 함유 에폭시 아크릴레이트의 60중량% 용액(용제:디에틸렌글리콜 모노에틸에테르 아세테이트)Synthesis Example 4 60% by weight solution of carboxyl group-containing epoxy acrylate (EA) and EA-1: carboxyl group-containing epoxy acrylate (solvent: diethylene glycol monoethyl ether acetate)

크레졸-노볼락 에폭시 수지(EPOTOTO YDCN-704, 에폭시 당량:210, 연화점 90℃, Toto Chemical Co.,Ltd.의 제품) 210 중량부, 아크릴산(Tokyo Kasei Kogyo Co.,Ltd.의 제품) 72중량부, 하이드로퀴논(Tokyo Kasei Kogyo Co.,Ltd.의 제품) 0.28중량부, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르 아세테이트(Tokyo Kasei Kogyo Co.,Ltd.의 제품) 232.6중량부를 넣은 후, 상기 혼합물을 95℃로 가열하고, 상기 혼합물이 균일하게 용해한 것을 확인한 후, 트리페닐포스핀(Tokyo Kasei Kogyo Co.,Ltd.의 제품) 1.4중량부을 넣고, 상기 혼합물을 100℃로 가열하고, 대략 30시간 반응시켜서 산가 0.5mgKOH/g의 반응 혼합물을 얻었다. 상기에 테트라하이드로프탈산 무수물 66.9중량부를 넣고, 상기 혼합물을 90℃로 가열하고, 대략6시간 반응시켜서, IR(적외선 흡수 스펙트럼)에 산무수물의 흡수의 손실을 확인하고, 산가 70mgKOH/g, 고형분농도 60.0%의 카르복실기 함유 에폭시 아크릴레이트 수지 EA-1을 얻었다. Cresol- novolac epoxy resin (EPOTOTO YDCN-704, epoxy equivalent: 210, softening point 90 ° C, products of Toto Chemical Co., Ltd.) 210 parts by weight, acrylic acid (product of Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.) 72 weights Part, 0.28 parts by weight of hydroquinone (product of Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.), 232.6 parts by weight of diethylene glycol monoethyl ether acetate (product of Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.), and then the mixture was After heating to make sure that the mixture was dissolved uniformly, 1.4 parts by weight of triphenylphosphine (product of Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.) was added thereto, and the mixture was heated to 100 ° C. and reacted for approximately 30 hours to give an acid value. A reaction mixture of 0.5 mg KOH / g was obtained. 66.9 parts by weight of tetrahydrophthalic anhydride was added to the mixture, and the mixture was heated to 90 ° C and reacted for approximately 6 hours to confirm the loss of absorption of acid anhydride in IR (infrared absorption spectrum), and the acid value of 70 mgKOH / g, solid content concentration. 60.0% of carboxyl group-containing epoxy acrylate resin EA-1 was obtained.

광중합성 조성물의 평가Evaluation of Photopolymerizable Compositions

시약류Reagents

에틸렌성 불포화기 함유 화합물(모노머)Ethylenically unsaturated group-containing compound (monomer)

디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트:Toa Gosei Co.,Ltd.의 제품Dipentaerythritol hexaacrylate: Product of Toa Gosei Co., Ltd.

광중합개시제Photopolymerization Initiator

1)EMK(4,4'-비스(N,N-디에틸아미노)벤조페논: Hodogaya Chemical Co.,Ltd.의 제품) 1) EMK (4,4'-bis (N, N-diethylamino) benzophenone: product of Hodogaya Chemical Co., Ltd.)

2)HABI(2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸:Hodogaya Chemical Co.,Ltd.의 제품)2) HABI (2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole: product of Hodogaya Chemical Co., Ltd.)

3)MN3M(테트라-n-부틸암모늄 메틸트리스(4-메틸나프틸)보레이트):Japanese Unexamined Patent Publication HEI No.11-222489에 기재된 공정에 의해 합성3) MN3M (tetra-n-butylammonium methyltris (4-methylnaphthyl) borate): synthesized by the process described in Japanese Unexamined Patent Publication HEI No.11-222489

4)TPMP(트리메틸올프로판트리스(3-머캡토프로피오네이트)):Yodo Kagaku Co.,Ltd.의 제품4) TPMP (trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate)): Product of Yodo Kagaku Co., Ltd.

5)Dimedone:Tokyo Kasei Kogyo Co.Ltd.의 제품5) Dimedone: Product of Tokyo Kasei Kogyo Co.Ltd.

안료Pigment

1)카본 블랙: Special Black 4, Degussa의 제품1) Carbon Black: Special Black 4, product of Degussa

다른 성분Other ingredients

1)PGMEA(프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트):Tokyo Kasei Kogyo Co.,Ltd.의 제품1) PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate): product of Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.

2)시클로헥산:Wako Pure Chemical Industries,Ltd.의 제품2) cyclohexane: product of Wako Pure Chemical Industries, Ltd.

3)FLOWLEN DOPA-33:분산제, 아미노기 함유 아크릴산 코폴리머, 고형분 농도:30중량%, 주용제:시클로헥사논, Kyoeisha Chemical Co.,Ltd.의 제품3) FLOWLEN DOPA-33: dispersant, amino group-containing acrylic acid copolymer, solid content concentration: 30% by weight, main solvent: cyclohexanone, product of Kyoeisha Chemical Co., Ltd.

광중합성 조성물의 제조Preparation of Photopolymerizable Composition

실시예1Example 1

아크릴 코폴리머 AP-1(고형분 49.0중량부, 용제분 147중량부), Special Black 4 65.0중량부, FLOWLEN DOPA-33(분산제:Kyoeisha Chemical Co.,Ltd.의 제품) 21.7중량부(고형분 6.5중량부, 용제분 15.2중량부) 및 시클로헥사논 200.0중량부를 혼합하고, 페인트 컨디셔너(Asada Iron Works Co.,Ltd.의 제품)를 사용하여 3시간동안 분산을 행했다.Acrylic copolymer AP-1 (49.0 parts by weight of solids, 147 parts by weight of solvent), 65.0 parts by weight of Special Black 4, FLOWLEN DOPA-33 (dispersant: product of Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) 21.7 parts by weight (6.5 parts by weight of solids) Part (15.2 parts by weight of solvent) and 200.0 parts by weight of cyclohexanone were mixed and dispersed for 3 hours using a paint conditioner (manufactured by Asada Iron Works Co., Ltd.).

상기 분산액에, 에틸렌성 불포화기 함유 화합물 EA-1(고형분 21.0중량부, 용제분 14.0중량부) 35.0중량부, 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트 38.5중량부, 4,4'-비스(N,N-디에틸아미노)벤조페논(이하"EMK"로 축약) 5.0중량부, MHABI 15.0중량부, TPMP 15.0중량부 및 시클로헥사논 600.0중량부를 첨가하고 용해하였다. 상기 조성물을 0.8㎛ 기공 필터(GFP용 Kiriyama filter paper)로 여과하여 본 발명의 광중합성 조성물을 얻었다. 얻은 광중합성 조성물의 물리적 특성은 하기 방법으로 평가하였다. 상기결과를 표1에 나타낸다.35.0 weight part of ethylenically unsaturated group containing compound EA-1 (solid content 21.0 weight part, solvent content 14.0 weight part), dipentaerythritol hexaacrylate, and 38.5 weight part of 4,4'-bis (N, N-) to the said dispersion liquid 5.0 parts by weight of diethylamino) benzophenone (hereinafter abbreviated as "EMK"), 15.0 parts by weight of MHABI, 15.0 parts by weight of TPMP and 600.0 parts by weight of cyclohexanone were added and dissolved. The composition was filtered with a 0.8 μm pore filter (Kiriyama filter paper for GFP) to obtain a photopolymerizable composition of the present invention. The physical properties of the obtained photopolymerizable composition were evaluated by the following method. The results are shown in Table 1.

실시예2, 비교예 1,2Example 2, Comparative Examples 1,2

실시예2 및 비교예1 및 2는 표1에 리스트된 것을 제외하고는 실시예1과 동일한 방법으로 행했다. 얻은 광중합성의 물리적 특성은 실시예1로 평가되었다. 상기 결과를 표1에 나타낸다.Example 2 and Comparative Examples 1 and 2 were carried out in the same manner as in Example 1 except as listed in Table 1. The physical properties of the obtained photopolymerizable property were evaluated in Example 1. The results are shown in Table 1.

평가 방법Assessment Methods

(1)잔막감도(1) Remnant sensitivity

얻은 광중합성 조성물을 유리 기판(100×100mm)에 건조막두께가 약1.5㎛가 되도록 스핀도포하고, 실온에서 30분동안 건조한 후, 실온에서 10분동안 진공건조하였다. 건조 도포후의 피막의 막두께를 막두께측정기(SURFCOM130A, Tokyo Seimitsu Co.,Ltd.의 제품)로 정확하게 측정한 후 초고압 수은 램프("Multilight ML-251A/B",Ushio, Inc의 제품)를 사용하여, 석영제 포토마스크를 통해 노광량을 변화시켜서 광중합성 조성물에 광을 조사하여 광경화하였다. 노광량은 자외선 적분 광속계(상품명 "UIT-150", 수광부 "UVD-S365", Ushio Inc.의 제품)를 사용하여 측정하였다. 사용된 석영제 포토마스크에 A5, 10, 30, 50, 70, 100㎛ 선/공간 패턴을 형성했다. 포토마스크와 도포사이에 갭은 100㎛로 조절하였다. 노광된 피막은 0.1% 소디움 카보네이트 용액(25℃)으로 소정의 시간동안 알칼리현상하였다. 현상시간은 노광전의 피막이 알칼리 현상에 의해 피막이 완전히 용해하는 시간:tD의 1.5배로 조절하였다. 또한 시간tD는 알칼리 현상 시간을 변화시켜서 피막의 용해의 정도를 관찰하는 실험을 반복하고, 피막이 완전히 용해할 때까지의 시간을 tD로 결정하였다. 알칼리 현상후, 유리기판을 세정하고 공기 분산에 의해 건조하고, 남의 피막(레지스프)의 막두께를 측정하고, 잔막율을 계산하였다. 잔막율은 이하의 식으로 산출했다.The obtained photopolymerizable composition was spin-coated on a glass substrate (100 x 100 mm) so as to have a dry film thickness of about 1.5 mu m, dried at room temperature for 30 minutes, and then vacuum dried at room temperature for 10 minutes. Accurately measure the film thickness of the film after dry coating with a film thickness meter (SURFCOM130A, manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.), and then use an ultra-high pressure mercury lamp ("Multilight ML-251A / B", manufactured by Ushio, Inc.). The exposure amount was changed through a quartz photomask, and the photopolymerizable composition was irradiated with light to photocure. The exposure amount was measured using an ultraviolet integrating photometer (brand name "UIT-150", light receiving part "UVD-S365", manufactured by Ushio Inc.). A5, 10, 30, 50, 70, 100 µm line / space patterns were formed on the quartz photomask used. The gap between the photomask and application was adjusted to 100 μm. The exposed film was alkali developed for a predetermined time with 0.1% sodium carbonate solution (25 ° C.). The development time was adjusted to 1.5 times the time: tD in which the film before exposure completely dissolved the film by alkali development. In addition, as time tD, the experiment which observes the extent of melt | dissolution of a film by changing alkali developing time was repeated, and time until the film melt | dissolved completely was determined as tD. After the alkali development, the glass substrate was washed and dried by air dispersion, the film thickness of the remaining film (resist soup) was measured, and the residual film ratio was calculated. The remaining film ratio was calculated by the following formula.

잔막율(%)=100×(알칼리 현상 후 막두께)/(알칼리 현상전 막두께)Residual film ratio (%) = 100 × (film thickness after alkali development) / (film thickness before alkali development)

노광량을 변화시켜서 동일한 광경화 조작을 실시하고, 노광량과 잔막율의 관계를 그래프상에 플롯하고 잔막율이 포화에 도달한 노광량(mJ/cm2)을 구하고, 이를 잔막감도로 하였다. 값이 보다 작을 수록 감도가 더 높은 것을 나타낸다.The exposure amount was changed to perform the same photocuring operation, the relationship between the exposure amount and the residual film rate was plotted on a graph, and the exposure amount (mJ / cm 2 ) at which the residual film rate reached saturation was obtained, which was defined as the residual film sensitivity. Smaller values indicate higher sensitivity.

(2)포스트 베이킹시의 승화물(2) Sublimation at the time of the post baking

얻어진 광중합성 조성물을 유리기판(100×100×1mm)에 건조막 두께를 약 1.5㎛가 되도록 스핀도포를 행하고, 실온으로 30분간 건조한 후, 10분간 실온하에서 진공건조를 하였다. 또한 상기 노광장치를 사용하여, 100mJ/cm2의 광을 조사하여 광경화하였다. 얻은 기판을 디시에 넣고, 그 디시를 핫플레이트 상에 두고, 가열하였다. 스테인레스 스틸 기판(200×200×1mm)을 디시에 두고, 그 위에 수분 함유 디시를 넣고 스테인레스 스틸 기판을 냉각하였다. 핫플레이트에서 230℃에서 30분간 유리기판을 가열한 후, 스테인레스 스틸 기판상에서 부착한 경화된 막에 유발된 승화물을 광학현미경(VH-Z250, Keyence Corporation의 제품)에서 관찰하고, 결정화물의 유무를 눈으로 판단하였다. 결과는 도5(실시예1), 도6(비교예1)에 나타냈다. HABI를 사용한 경우, 결정(도6의 새의 발자취 형상의 것)이 생성된 것을 나타내지만, MHABI를 사용한 경우에는 결정이 관찰되지 않는다.The obtained photopolymerizable composition was spin-coated on a glass substrate (100 x 100 x 1 mm) so as to have a dry film thickness of about 1.5 mu m, dried at room temperature for 30 minutes, and then vacuum dried at room temperature for 10 minutes. Further, using the exposure apparatus, light was cured by irradiating light of 100 mJ / cm 2 . The obtained board | substrate was put into the dish, the dish was put on the hotplate, and it heated. A stainless steel substrate (200 × 200 × 1 mm) was placed on the dish, and a moisture-containing dish was placed thereon to cool the stainless steel substrate. After heating the glass substrate at 230 ° C. for 30 minutes on a hot plate, the sublimation induced on the cured film deposited on the stainless steel substrate was observed under an optical microscope (VH-Z250, manufactured by Keyence Corporation), and the presence or absence of crystallization Was judged visually. The results are shown in Fig. 5 (Example 1) and Fig. 6 (Comparative Example 1). When HABI is used, it shows that crystals (birds in the shape of birds in Fig. 6) are formed, but when MHABI is used, no crystals are observed.

표1Table 1

*1:메타크릴산/메틸 메타크릴레이트/n-부틸 메타크릴레이트/2-하이드록시에틸 메타크릴레이트=15/20/55/10(중량비) 코폴리머 Mw=26,000 고형분농도 25중량% 용제 PGMEA* 1: Methacrylic acid / methyl methacrylate / n-butyl methacrylate / 2-hydroxyethyl methacrylate = 15/20/55/10 (weight ratio) copolymer Mw = 26,000 solid content concentration 25 weight% solvent PGMEA

*2:AP-1에 2-이소시아네이트 에틸 메타크릴레이트를 첨가한 아크릴산 코폴리머 고형분농도 26중량% 용제 PGMEA* 2: Acrylic acid copolymer solid content concentration 26weight% solvent PGMEA which added 2-isocyanate ethyl methacrylate to AP-1

*3: 카르복실기 함유 크레졸 노볼락 에폭시 아크릴레이트, 고형분 농도:60중량%, 산가:70mgKOH/g* 3: Carboxyl group-containing cresol novolac epoxy acrylate, solid content concentration: 60% by weight, acid value: 70 mgKOH / g

*4: FLOWLEN DOPA-33*4: 분산제, 아미노기 함유 아크릴산 코폴리머, 고형분 농도:30 중량%, 주용제:시클로헥사논* 4: FLOWLEN DOPA-33 * 4 : Dispersant, amino-group-containing acrylic acid copolymer, solid content concentration: 30 weight%, main solvent: cyclohexanone

*5: Special Black 4* 5: Special Black 4

*6: 4,4'-비스(N,N-디에틸아미노)벤조페논* 6: 4,4'-bis (N, N-diethylamino) benzophenone

*7:2,2'-비스(2-시클로페닐)-4,4'-5,5'-테트라키스(4-메틸페닐)-1,2'-비이미다졸* 7: 2,2'-bis (2-cyclophenyl) -4,4'-5,5'-tetrakis (4-methylphenyl) -1,2'-biimidazole

*8:2,2'-비스(2-시클로페닐)-4,4'-5,5'-테트라키스-1,2'-비이미다졸* 8: 2,2'-bis (2-cyclophenyl) -4,4'-5,5'-tetrakis-1,2'-biimidazole

*9:테트라-n-부틸암모늄 메틸트리스(4-메틸나프틸)보레이트* 9: tetra-n-butylammonium methyltris (4-methylnaphthyl) borate

*10:트리메틸올프로판 트리스(3-머캡토프로피오네이트)* 10: trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate)

본 발명의 신규한 헥사아릴비이미다졸 화합물은 그 열분해물이 저승화성이고, 이를 감광성 조성물중의 광중합개시제 조성물의 성분으로서 사용하면, 컬러필터 등의 레지스트 제조공정에 있어서 포스트 베이킹 시에도 승화물이 발생하지 않는다. 따라서, 종래의 광중합 개시제를 포함하는 감광성 조성물을 사용한 경우에 자주 발생하는, 배기덕트에 발생된 승화물의 부착물과 레지스트 상에 상기 부착물의 떨어짐 등의 문제를 억제할 수 있다.The novel hexaarylbiimidazole compounds of the present invention have low thermal sublimation properties, and when used as a component of a photoinitiator composition in a photosensitive composition, a sublimation product can be obtained during post-baking in a resist manufacturing process such as a color filter. Does not occur. Therefore, problems such as adhesion of the sublimate generated in the exhaust duct and dropping of the deposit on the resist, which frequently occur when a photosensitive composition containing a conventional photopolymerization initiator is used, can be suppressed.

상술한 헥사아릴비이미다졸 화합물을 사용한 본 발명의 광중합개시제 조성물은 솔더 레지스트, 에칭 레지스트, 포토레지스트 등 각종 레지스트로서 사용된 광중합성 조성물, 특히 컬러 액정디스플레이 소자, 카메라 등에 사용된 컬러필터의 제조에 사용되는 컬러필터 레지스트로서 바람직하게 사용되는 광중합 조성물에서 유효하다.The photoinitiator composition of the present invention using the above-described hexaarylbiimidazole compound is used in the production of photopolymerizable compositions used as various resists such as solder resists, etching resists, photoresists, especially color filters used in color liquid crystal display devices, cameras, and the like. It is effective in the photopolymerization composition which is preferably used as the color filter resist used.

Claims (8)

하기식(1)에 의해 정의된 헥사아릴비이미다졸 화합물:Hexaarylbiimidazole compounds defined by the following formula (1): 여기에서, 각 R1은 할로겐 원자이고, 각 R2는 선택적으로 치환된 탄소수 1~4의 알킬기이다.Here, each R 1 is a halogen atom, and each R 2 is an optionally substituted alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. 하기식(2)로 정의된 헥사아릴비이미다졸 화합물:Hexaarylbiimidazole compounds defined by the following formula (2): 제1항 또는 제 2항에 있어서, 광라디컬 발생제로서 이용하는 것을 특징으로 하는 헥사아릴비이미다졸의 이용방법.The method of using hexaarylbiimidazole according to claim 1 or 2, which is used as an optical radical generating agent. 제1항에 있어서, 헥사아릴비이미다졸 화합물을 함유한 광중합개시제 조성물.The photoinitiator composition according to claim 1, which contains a hexaarylbiimidazole compound. 제4항에 있어서, 벤조페논계 화합물, 티옥산톤계 화합물 및 케토코우마린계 화합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 광중합개시제 조성물.The photoinitiator composition according to claim 4, which contains at least one compound selected from the group consisting of benzophenone compounds, thioxanthone compounds and ketocomarin compounds. 제4항에 있어서, 상기 헥사아릴비이미다졸 화합물을 위한 수소 공여체로서 티올 화합물 및/또는 하기식(3)으로 정의된 디카르보닐 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 광중합개시제 조성물:The photoinitiator composition according to claim 4, which contains a thiol compound and / or a dicarbonyl compound defined by the following formula (3) as a hydrogen donor for the hexaarylbiimidazole compound: 여기에서 R3 및 R4는 각각 독립적으로 선택적으로 치환된 알킬, 선택적으로 치환된 알콕시, 선택적으로 치환된 아미노, 선택적으로 치환된 아랄킬, 선택적으로 치환된 아릴, 선택적으로 치환된 아릴옥시 또는 중합성 불포화기 또는 폴리머 화합물 잔기를 갖는 유기기이고, 또는 R3 및 R4는 함께 결합하여 환을 형성해도 좋다. R5는 수소원자, 선택적으로 치환된 알킬, 선택적으로 치환된 아랄킬 또는 선택적으로 치환된 아릴이다.Wherein R 3 and R 4 are each independently optionally substituted alkyl, optionally substituted alkoxy, optionally substituted amino, optionally substituted aralkyl, optionally substituted aryl, optionally substituted aryloxy or polymerization It may be an organic group having a unsaturated unsaturated group or a polymer compound residue, or R 3 and R 4 may be bonded together to form a ring. R 5 is a hydrogen atom, optionally substituted alkyl, optionally substituted aralkyl or optionally substituted aryl. 적어도 하기 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 광중합성 조성물:A photopolymerizable composition comprising at least the following components: (A)제4항~제6항 중 한 항에 있어서의 광중합 개시제 조성물(A) The photoinitiator composition of any one of Claims 4-6. (B)에틸렌성 불포화기의 화합물(B) Compound of ethylenically unsaturated group 적어도 하기 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 레지스트용 광중합성 조성물:A photopolymerizable composition for color filter resists comprising at least the following components: (A)제4항~제6항 중 한 항에 있어서의 광중합 개시제 조성물; 및(A) The photoinitiator composition of any one of Claims 4-6; And (B)에틸렌성 불포화기의 화합물(B) Compound of ethylenically unsaturated group
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